JP2019075437A - Pressure-sensitive adhesive tape sticking device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、環状フレーム等の被着体に粘着テープを貼着する粘着テープ貼着装置に関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to an adhesive tape attaching apparatus for attaching an adhesive tape to an adherend such as an annular frame.
半導体ウェーハやパッケージ基板等、各種電子デバイスを備える板状の被加工物を、研削砥石で薄化する研削装置、切削ブレードで個々のチップに分割する分割装置、レーザービームの照射により個々のチップに分割するレーザー加工装置が知られている。 Grinding equipment that thins plate-like workpieces with various electronic devices such as semiconductor wafers and package substrates, etc. with a grinding stone, division equipment that divides into individual chips with cutting blades, individual chips with laser beam irradiation Laser processing apparatuses that divide are known.
これらの加工装置では、板状の被加工物はチャックテーブルに保持されるが、チャックテーブルに触れる面に傷が付くのを防止するため、被加工物には粘着テープである保護テープやダイシングテープが貼着されるのが一般的である。 In these processing devices, although a plate-like workpiece is held on a chuck table, a protective tape or dicing tape, which is an adhesive tape, is used on the workpiece in order to prevent the surface touching the chuck table from being scratched. Is generally affixed.
こうした粘着テープは、剥離シートに仮接着された積層シートの状態で被加工物の大きさに合わせてカットされた後、剥離シートから剥がされて被加工物に貼着される。粘着テープを被加工物の大きさに合わせてカットするのには、彫刻刀やピナクルダイ(登録商標)等の切断刃が外周面に装着された打ち抜きローラと、打ち抜きローラと平行に対面するように配置された受圧ローラとからなる打ち抜きユニットが用いられる。 Such a pressure-sensitive adhesive tape is cut in accordance with the size of the workpiece in the state of the laminated sheet temporarily adhered to the release sheet, and then peeled off from the release sheet and attached to the workpiece. In order to cut the adhesive tape according to the size of the workpiece, a cutting blade such as a chisel or pinnacle die (registered trademark) faces the punching roller mounted on the outer peripheral surface and parallel to the punching roller. A punching unit is used which comprises a pressure receiving roller arranged at
切断刃の摩耗による切り残しや、粘着テープの滑りによる打ち抜き形状変化等の打ち抜き不良が発生しないよう、打ち抜きローラの切断刃と受圧ローラとの間隔は積層シートの厚さ未満の平行な隙間が設けられるよう精密に位置付けられている。 The gap between the cutting blade of the punching roller and the pressure receiving roller should be a parallel gap less than the thickness of the laminated sheet, so that punching defects such as cutting residue due to abrasion of the cutting blade and punching shape change due to sliding of the adhesive tape do not occur. Precisely positioned to
しかし、打ち抜きローラの切断刃と受圧ローラとの間隔が精密に位置付けられたとしても、切断刃の摩耗や積層シートを繰り出す繰り出しユニットのテンションの変動等により、積層シートが打ち抜きローラと受圧ローラとの間を滑って打ち抜きローラが空転状態となり、その結果、例えば楕円のような形状に粘着テープを打ち抜いてしまうという課題がある。 However, even if the distance between the cutting blade of the punching roller and the pressure receiving roller is precisely positioned, the laminated sheet is not the same as the punching roller and the pressure receiving roller due to wear of the cutting blade and fluctuation of tension of the feeding unit for feeding the laminated sheet. There is a problem that the punching roller slips while slipping, and as a result, the adhesive tape is punched into, for example, an elliptical shape.
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、積層シートが打ち抜きローラと受圧ローラとの間を滑って打ち抜きローラが空転状態となるのを防止可能な粘着テープ貼着装置を提供することである。 The present invention has been made in view of such a point, and an object of the present invention is to use an adhesive which can prevent the laminated sheet from sliding between the punching roller and the pressure receiving roller and the punching roller becoming idle. It is providing a tape sticking device.
本発明によると、基材の片面に粘着層を備える帯状の粘着テープが剥離シートに仮接着された積層シートを巻回する積層シートローラと、該積層シートローラから該積層シートを繰り出す繰り出しユニットと、該積層シートローラから繰り出された該積層シートの該粘着テープのみを所定形状に打ち抜く打ち抜きユニットと、打ち抜かれた該粘着テープを該剥離シートから剥離して被着体に貼着する貼着ユニットと、を備えた粘着テープ貼着装置であって、該打ち抜きユニットは、該積層シートの該粘着テープに向かって切り込む環状に形成された切断刃が外周に装着された打ち抜きローラと、該積層シートの該剥離シート側に該打ち抜きローラと対面して平行に設置され、該切断刃の押圧力を受け止める受圧ローラと、を含み、該打ち抜きローラは、該受圧ローラと協働して該積層シートを挟持するテープグリップ部を外周面に備えることを特徴とする粘着テープ貼着装置が提供される。 According to the present invention, there is provided a laminated sheet roller for winding a laminated sheet in which a strip-like adhesive tape having an adhesive layer on one side of a substrate is temporarily adhered to a release sheet, and a delivery unit for delivering the laminated sheet from the laminate sheet roller A punching unit for punching out only the pressure-sensitive adhesive tape of the laminated sheet drawn out from the laminated sheet roller into a predetermined shape, and a sticking unit for peeling the punched pressure-sensitive adhesive tape from the release sheet and sticking it to an adherend An adhesive tape sticking apparatus comprising: a punching roller having a cutting blade formed in an annular shape to cut into the pressure-sensitive adhesive tape of the laminated sheet mounted on an outer periphery; and the laminated sheet And a pressure receiving roller disposed in parallel with the punching roller on the side of the release sheet and facing the pressing force of the cutting blade. Over la is characterized in that it comprises on the outer peripheral surface of the tape grip portion for holding the receiving pressure roller in cooperation with the laminated sheet adhesive tape adhering apparatus is provided.
好ましくは、テープグリップ部は、受圧ローラに対して連続的に積層シートを押圧できるように打ち抜きローラの円周面の全周にわたって形成されている。好ましくは、テープグリップ部は、打ち抜きローラの回転軸に対して斜めに延在するように形成された複数の尾根及び谷の繰り返しから構成される。 Preferably, the tape grip portion is formed over the entire circumference of the circumferential surface of the punching roller so as to continuously press the laminated sheet against the pressure receiving roller. Preferably, the tape grip portion is composed of a repetition of a plurality of ridges and valleys formed to extend obliquely to the rotational axis of the punching roller.
本発明の粘着テープ貼着装置によると、積層シートが滑ってしまうのを防ぐため、打ち抜きローラにテープグリップ部を設けることで、積層シートが滑ることによる打ち抜きローラの空転を防ぎ、粘着テープを確実に所望の形状に打ち抜けるという効果を奏する。また、積層シートが滑ってしまうことで発生し易い切断刃の摩耗や曲がりを抑制することもできる。 According to the adhesive tape sticking apparatus of the present invention, in order to prevent the laminated sheet from slipping, by providing the tape grip portion on the punching roller, slippage of the punching roller due to the sliding of the laminated sheet is prevented, and the adhesive tape is surely secured. It has the effect of breaking into the desired shape. In addition, it is possible to suppress the wear and bending of the cutting blade which is easily generated by the slip of the laminated sheet.
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、本発明実施形態に係る粘着テープ貼着装置2の全体構成図が示されている。粘着テープ貼着装置2は、水平方向に往復動可能な保持テーブル4を備えており、粘着テープ貼着時には保持テーブル4上に環状フレーム6とウェーハ11の表面を保護する保護テープ13側が保持される。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Referring to FIG. 1, an overall configuration view of an adhesive tape sticking apparatus 2 according to an embodiment of the present invention is shown. The adhesive tape sticking apparatus 2 includes a holding table 4 capable of reciprocating in the horizontal direction, and at the time of adhesive tape sticking, the side of the annular frame 6 and the protective tape 13 for protecting the surface of the wafer 11 is held on the holding table 4 Ru.
8は基材15の片面に粘着層17を備える帯状の粘着テープ19が剥離シート21に仮接着された積層シートであり、軸12回りに積層シート8が巻回されて積層シートローラ10を構成している。 8 is a laminated sheet in which a strip-like adhesive tape 19 provided with an adhesive layer 17 on one side of a substrate 15 is temporarily adhered to a release sheet 21. The laminated sheet 8 is wound around a shaft 12 to constitute a laminated sheet roller 10. doing.
積層シートローラ10に巻回された積層シート8は、フィードロール14と押圧ロール16とからなる繰り出しユニット18により、積層シートローラ10から矢印A方向に繰り出されて、打ち抜きユニット24に搬送される。 The laminated sheet 8 wound around the laminated sheet roller 10 is fed out from the laminated sheet roller 10 in the direction of arrow A by the feeding unit 18 composed of the feed roll 14 and the pressing roll 16 and conveyed to the punching unit 24.
打ち抜きユニット24は、積層シート8の粘着テープ19に向かって切り込む環状に形成された切断刃40が外周面に装着された打ち抜きローラ20と、積層シート8の剥離シート21側に打ち抜きローラ20と対面して平行に配置され、切断刃40の押圧力を受け止める受圧ローラ22とから構成される。 The punching unit 24 faces the punching roller 20 on the outer peripheral surface of which the cutting blade 40 formed in an annular shape is cut into the adhesive tape 19 of the lamination sheet 8 and the punching roller 20 on the peeling sheet 21 side of the lamination sheet 8. And a pressure receiving roller 22 which receives the pressing force of the cutting blade 40 and is disposed in parallel.
打ち抜きローラ20は、ローラ表面の大部分を占める円周面20aと平坦面20bを有しており、円周面20aの全周に渡り環状の切断刃40が装着されている。 The punching roller 20 has a circumferential surface 20a and a flat surface 20b which occupy most of the roller surface, and an annular cutting blade 40 is mounted over the entire circumference of the circumferential surface 20a.
26は上下方向に移動可能に構成された押圧ローラ28と、先端が楔状に形成されたピールプレート30とから構成される貼着ユニットであり、貼着ユニット26のピールプレート30を通過した積層シート8は、打ち抜きローラ20により所定の大きさに打ち抜かれた円形の粘着テープ19が貼着された剥離シート21と、打ち抜かれた部分が円形の穴となった廃棄粘着テープ19とに分離され、廃棄粘着テープ19は廃棄テープローラ32の軸34回りに巻き取られる。 Reference numeral 26 denotes a bonding unit including a pressing roller 28 configured to be movable in the vertical direction and a peel plate 30 whose tip is formed in a bowl shape, and a laminated sheet passing through the peel plate 30 of the bonding unit 26 8 are separated into a release sheet 21 on which a circular adhesive tape 19 is punched to a predetermined size by a punching roller 20 and a waste adhesive tape 19 in which the punched part is a circular hole. The waste adhesive tape 19 is wound around an axis 34 of the waste tape roller 32.
一方、ピールプレート30の楔形状に沿って折り返された円形の粘着テープ19が貼着された剥離シート21は、矢印C方向に搬送されて剥離シートローラ36の軸38回りに巻き取られる。 On the other hand, the release sheet 21 to which the circular adhesive tape 19 folded back along the wedge shape of the peel plate 30 is attached is conveyed in the direction of arrow C and wound around the axis 38 of the release sheet roller 36.
剥離シート21に貼着されている円形の粘着テープ19は押圧ローラ28により環状フレーム6に押し付けられ、保持テーブル4を矢印X1方向に環状フレーム6を横断する位置まで移動することにより、円形の粘着テープ19がウェーハ11の裏面及び環状フレーム6に貼着される。 The circular adhesive tape 19 adhered to the release sheet 21 is pressed against the annular frame 6 by the pressing roller 28 and moves the holding table 4 in the direction of arrow X1 to a position crossing the annular frame 6 to form a circular adhesive. A tape 19 is attached to the back surface of the wafer 11 and the annular frame 6.
図2を参照すると、本発明実施形態の打ち抜きローラ20の正面図が示されている。打ち抜きローラ20の円周面20aには円形の切断刃40が装着されている。切断刃40の外周には一対の外周テープグリップ部42a,42bが形成されており、円形の切断刃40の内周には内周テープグリップ部48が形成されている。 Referring to FIG. 2, a front view of the punching roller 20 of the present invention embodiment is shown. A circular cutting blade 40 is mounted on the circumferential surface 20 a of the punching roller 20. A pair of outer peripheral tape grip portions 42 a and 42 b are formed on the outer periphery of the cutting blade 40, and an inner peripheral tape grip portion 48 is formed on the inner periphery of the circular cutting blade 40.
図1に示されるように、打ち抜きローラ20は円周面20aと、平坦面20bとを有している。上述したように、円周面20aの全周には円形の切断刃40が装着されているが、平坦部20bを設けたことにより、打ち抜きローラ20の平坦部20bを受圧ローラ22に対面させて打ち抜きローラ20の回転を停止することにより、積層シート8の粘着テープ19を打ち抜かずに積層シート8を通過させることができる。 As shown in FIG. 1, the punching roller 20 has a circumferential surface 20a and a flat surface 20b. As described above, the circular cutting blade 40 is mounted on the entire circumference of the circumferential surface 20a, but the flat portion 20b of the punching roller 20 is made to face the pressure receiving roller 22 by providing the flat portion 20b. By stopping the rotation of the punching roller 20, the laminated sheet 8 can be passed without punching the adhesive tape 19 of the laminated sheet 8.
外周テープグリップ部42aは、打ち抜きローラ20の回転軸に対して斜め方向に延在する複数の尾根44及び谷46とから構成される。複数の尾根44で受圧ローラ22と協働して積層シート8の粘着テープ19をグリップする。 The outer peripheral tape grip portion 42 a is composed of a plurality of ridges 44 and valleys 46 that extend in an oblique direction with respect to the rotation axis of the punching roller 20. A plurality of ridges 44 cooperate with the pressure receiving roller 22 to grip the adhesive tape 19 of the laminated sheet 8.
同様に、外周テープグリップ部42bも、打ち抜きローラ20の回転軸に対して斜め方向に延在する複数の尾根44と谷46とから構成される。受圧ローラ22と協働して複数の尾根44で積層シート8の粘着テープ19をグリップする。 Similarly, the outer peripheral tape grip portion 42 b is also composed of a plurality of ridges 44 and valleys 46 that extend in an oblique direction with respect to the rotation axis of the punching roller 20. The adhesive tape 19 of the laminated sheet 8 is gripped by the plurality of ridges 44 in cooperation with the pressure receiving roller 22.
図2に示されているように、環状の切断刃40の外周に形成された一方の外周テープグリップ部42aと他方の外周テープグリップ部42bとは尾根44及び谷46が互いに逆方向に傾斜している。 As shown in FIG. 2, the ridges 44 and the valleys 46 of the outer peripheral tape grip portion 42a formed on the outer periphery of the annular cutting blade 40 and the outer peripheral tape grip portion 42b are inclined in opposite directions to each other. ing.
このように外周テープグリップ部42a,42bが回転軸に対して斜め方向に延在すると、受圧ローラに対して切断刃が対面する際、常に積層シートにグリップすることが出来る。 When the outer peripheral tape grips 42a and 42b extend in an oblique direction with respect to the rotation axis as described above, when the cutting blade faces the pressure receiving roller, the laminated sheet can always grip.
また外周テープグリップ部42a,42bが互いに逆方向に傾斜していることにより、積層シート8に偏った力をかけることなく積層シート8の粘着テープ19を一様にグリップすることができる。 In addition, since the outer peripheral tape grips 42a and 42b are inclined in the opposite direction to each other, the adhesive tape 19 of the laminated sheet 8 can be uniformly gripped without applying a biased force to the laminated sheet 8.
打ち抜きローラ20は、SUS(ステンレス鋼板)等の金属から形成されたローラ本体の表面にピナクルダイ(登録商標)等の切断刃40がマグネットにより装着されている。同様に、外周テープグリップ部42a,42bも金属製のローラ本体にマグネットにより装着されている。マグネットによる装着に替えて、切断刃40及び外周テープグリップ部40a,42bをねじ止めで固定するようにしてもよい。 In the punching roller 20, a cutting blade 40 such as a pinnacle die (registered trademark) is attached by a magnet to the surface of a roller body made of metal such as SUS (stainless steel plate). Similarly, the outer peripheral tape grips 42a and 42b are also attached to the metal roller body by magnets. The cutting blade 40 and the outer peripheral tape grips 40a and 42b may be screwed and fixed instead of the magnet mounting.
打ち抜かれる領域の外周の外周グリップ部42a,42bは粘着テープ19を強くグリップするため、上述したようなSUS等の金属から形成するのが好ましい。一方、打ち抜かれる領域の内周である内周グリップ部48は、粘着テープ19が変形したりするのを防ぐため強いグリップはしたくないので、本実施形態では内周グリップ部48をスポンジゴムから構成した。 The outer peripheral grip portions 42a and 42b on the outer periphery of the area to be punched out are preferably formed of a metal such as SUS as described above in order to grip the adhesive tape 19 strongly. On the other hand, since the inner grip portion 48 which is the inner periphery of the area to be punched does not want a strong grip to prevent the adhesive tape 19 from being deformed or the like, the inner grip portion 48 is made of sponge rubber in this embodiment. Configured.
図3を参照すると、打ち抜きユニット24の要部断面図が示されている。打ちぬきローラ20及び受圧ローラ22とも中実な金属から形成されているため、図3に示す断面図では打ち抜きローラ20及び受圧ローラ22にハッチングが必要であるが、図面の明瞭化のためにハッチングを省略した。 Referring to FIG. 3, a cross-sectional view of an essential part of the punching unit 24 is shown. Since both the punching roller 20 and the pressure receiving roller 22 are formed of solid metal, hatching is necessary for the punching roller 20 and the pressure receiving roller 22 in the cross-sectional view shown in FIG. Was omitted.
互いに平行に配置された打ち抜きローラ20と受圧ローラ22との間の間隙は積層シート8の厚さ未満の間隙となるように精密に位置付けられ固定されている。例えば、基材15と粘着層17とからなる粘着テープ19の厚さが100μm、剥離シート21の厚さが30μmで積層シート8の厚さが130μmの場合には、打ち抜きローラ20と受圧ローラ22との間隙は110μm程度に精密に維持されている。 The gap between the punching roller 20 and the pressure receiving roller 22 arranged parallel to each other is precisely positioned and fixed so as to be a gap smaller than the thickness of the laminated sheet 8. For example, in the case where the thickness of the adhesive tape 19 consisting of the substrate 15 and the adhesive layer 17 is 100 μm, the thickness of the release sheet 21 is 30 μm, and the thickness of the laminated sheet 8 is 130 μm, the punching roller 20 and the pressure receiving roller 22 The gap between them is precisely maintained at about 110 μm.
外周グリップ部42aはベース43に尾根44及び谷46が一体的に形成されており、ベース43が打ち抜きローラ20本体にマグネットで装着されている。一方、内周テープグリップ部48を構成するスポンジゴムは打ち抜きローラ20の本体に接着されている。 In the outer peripheral grip portion 42a, a ridge 44 and a valley 46 are integrally formed on a base 43, and the base 43 is attached to the punching roller 20 by a magnet. On the other hand, the sponge rubber constituting the inner circumferential tape grip portion 48 is adhered to the main body of the punching roller 20.
環状の切断刃40は同じく環状のベース41と一体的に形成されており、ベース41はマグネットにより打ち抜きローラ20の本体に装着されている。切断刃40の刃先は積層シート8の粘着テープ19を完全に切断し剥離シート21に部分的に陥入する高さに位置付けられている。 The annular cutting blade 40 is also integrally formed with the annular base 41, and the base 41 is attached to the main body of the punching roller 20 by a magnet. The cutting edge of the cutting blade 40 is positioned at a height at which the adhesive tape 19 of the laminated sheet 8 is completely cut and partially intruded into the release sheet 21.
本実施形態では、切断刃40の高さは打ち抜きローラ20の表面から0.56mmに設定され、外周テープグリップ部42a,42bの尾根44は切断刃40より20μm低くなるように設定されている。 In the present embodiment, the height of the cutting blade 40 is set to 0.56 mm from the surface of the punching roller 20, and the ridges 44 of the outer peripheral tape grips 42a and 42b are set to be 20 μm lower than the cutting blade 40.
しかし、内周グリップ部48が弾性の高いスポンジゴムから形成されている場合には、内周グリップ部48を切断刃40より高くなるように設定してもよい。更に、本実施形態では内周グリップ部48をスポンジゴムから形成しているが、内周グリップ部は積層シート8の粘着テープ19を強くグリップする必要がないので、内周グリップ部48を省略してもよい。 However, when the inner circumferential grip portion 48 is formed of a highly elastic sponge rubber, the inner circumferential grip portion 48 may be set higher than the cutting blade 40. Furthermore, although the inner peripheral grip portion 48 is formed of sponge rubber in this embodiment, the inner peripheral grip portion 48 is omitted because the inner peripheral grip portion does not need to strongly grip the adhesive tape 19 of the laminated sheet 8. May be
上述した本実施形態によると、打ち抜きローラ20に受圧ローラ22と協働して積層シート8の粘着テープ19を強くグリップする外周グリップ部42a,42bを設けたので、積層シート8の粘着テープ19が滑ってしまうことを防止でき、剥離シート21に貼着されている粘着テープ19を確実に所望の形状に打ち抜くことができる。また、粘着テープ19が滑ってしまうことで発生し易い切断刃40の刃の摩耗や曲がりを抑制することができる。 According to the above-described embodiment, the punching roller 20 is provided with the outer peripheral grip portions 42a and 42b which strongly grip the adhesive tape 19 of the laminated sheet 8 in cooperation with the pressure receiving roller 22, so the adhesive tape 19 of the laminated sheet 8 Slippage can be prevented, and the pressure-sensitive adhesive tape 19 attached to the release sheet 21 can be reliably punched into a desired shape. In addition, it is possible to suppress wear and bending of the blade of the cutting blade 40 that is likely to occur due to the adhesive tape 19 slipping.
2 粘着テープ貼着装置
4 保持テーブル
6 環状フレーム
8 積層シート
10 積層シートローラ
18 繰り出しユニット
19 粘着テープ
20 打ち抜きローラ
21 剥離シート
22 受圧ローラ
24 打ち抜きユニット
26 貼着ユニット
28 押圧ローラ
30 ピールプレート
32 廃棄テープローラ
36 剥離シートローラ
40 切断刃
42a,42b 外周テープグリップ部
44 尾根
46 谷
48 内周テープグリップ部
2 adhesive tape sticking device 4 holding table 6 annular frame 8 lamination sheet 10 lamination sheet roller 18 feeding unit 19 adhesive tape 20 punching roller 21 peeling sheet 22 pressure receiving roller 24 punching unit 26 sticking unit 26 pressing unit 28 pressing roller 30 peel plate 32 waste tape Roller 36 Peeling sheet roller 40 Cutting blade 42a, 42b Outer peripheral tape grip portion 44 Ridge 46 Valley 48 Inner peripheral tape grip portion
Claims (3)
該打ち抜きユニットは、
該積層シートの該粘着テープに向かって切り込む環状に形成された切断刃が外周に装着された打ち抜きローラと、
該積層シートの該剥離シート側に該打ち抜きローラと対面して平行に設置され、該切断刃の押圧力を受け止める受圧ローラと、を含み、
該打ち抜きローラは、該受圧ローラと協働して該積層シートを挟持するテープグリップ部を外周面に備えることを特徴とする粘着テープ貼着装置。 A lamination sheet roller for winding a lamination sheet in which a strip-like adhesive tape having an adhesive layer on one side of a substrate is temporarily adhered to a release sheet, a feeding unit for feeding the lamination sheet from the lamination sheet roller, and the lamination sheet roller And a sticking unit for punching out only the adhesive tape of the laminated sheet drawn out from the sheet into a predetermined shape, and a sticking unit for peeling the punched pressure-sensitive adhesive tape from the release sheet and sticking it to an adherend It is an adhesive tape sticking device, and
The punching unit is
A punching roller on which an annularly formed cutting blade for cutting the laminated sheet toward the adhesive tape is mounted on the outer periphery;
A pressure receiving roller disposed in parallel on the release sheet side of the laminated sheet facing the punching roller and receiving the pressing force of the cutting blade;
A pressure-sensitive adhesive tape applicator according to claim 1, wherein the punching roller comprises a tape grip portion for clamping the laminated sheet in cooperation with the pressure receiving roller.
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