JP2019066352A - 振動検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】例えば、より不都合の少ない新規な構成を備えた振動検出装置を得る。【解決手段】実施形態の振動検出装置は、例えば、筐体と、振動センサと、回路基板と、配線部材と、を備える。振動センサは、筐体内に収容される。回路基板は、筐体内に収容され、回路基板には、少なくとも振動センサの検出信号を処理する電気部品が設けられる。配線部材は、可撓性を有し、振動センサと回路基板とを電気的に接続し、筐体内で振動センサとの第一接続部と回路基板との第二接続部との間の少なくとも一つの屈曲部で曲がるとともに当該屈曲部の曲げ形状が変化可能な状態で収容される。【選択図】図２

Description

本実施形態は、振動検出装置に関する。

従来、検査対象物に取り付けられた振動センサによって振動を検出する装置が知られている。

特開２００４−３４４３３８号公報

この種の振動検出装置では、より不都合の少ない新規な構成が得られれば、有益である。

実施形態の振動検出装置は、例えば、筐体と、振動センサと、回路基板と、配線部材と、を備える。振動センサは、筐体内に収容される。回路基板は、筐体内に収容され、回路基板には、少なくとも振動センサの検出信号を処理する電気部品が設けられる。配線部材は、可撓性を有し、振動センサと回路基板とを電気的に接続し、筐体内で振動センサとの第一接続部と回路基板との第二接続部との間の少なくとも一つの屈曲部で曲がるとともに当該屈曲部の曲げ形状が変化可能な状態で収容される。

図１は、実施形態の振動検出装置の例示的かつ模式的な斜視図である。 図２は、図１のII−II断面図である。 図３は、実施形態の振動検出装置内に収容された基板アセンブリ、フレキシブルプリント配線板、および振動センサの例示的かつ模式的な斜視図である。 図４は、実施形態の振動検出装置に含まれるベースブロックの斜視図である。 図５は、実施形態の変形例の振動検出装置内に収容された基板アセンブリ、フレキシブルプリント配線板、および振動センサの例示的かつ模式的な斜視図である。

以下、振動検出装置の例示的な実施形態および変形例が開示される。以下に示される実施形態の構成（技術的特徴）は、一例である。また、以下に例示される実施形態および変形例には、同様の構成要素が含まれている。以下、同様の構成要素には共通の符号が付与され、重複する説明は省略される。

また、各図には、便宜上、方向を示す矢印が記載されている。方向Ｘ、方向Ｙ、および方向Ｚは、互いに直交している。また、方向Ｄｉは、突出部１３のベース部１２からの突出方向（長手方向）を示し、方向Ｄｊは、突出部１３（または回路基板３１）の厚さ方向を示している。方向Ｄｉと方向Ｄｊとは互いに直交している。

［実施形態］
図１は、振動検出装置１０の斜視図である。図１に示されるように、振動検出装置１０は、アタッチメント１１、ベース部１２、および突出部１３を備えている。

アタッチメント１１は、検査対象物１００の表面１００ａに接した状態で固定される固定部１１ａを有している。固定部１１ａは、方向Ｚと交差した（例えば直交した）接触面１１ｂを有している。接触面１１ｂは、表面１００ａに、例えば接着等によって固定され、これにより、アタッチメント１１ひいては振動検出装置１０が検査対象物１００に固定される。アタッチメント１１は、ブラケットとも称されうる。方向Ｚは、第一方向の一例である。

ベース部１２は、アタッチメント１１に着脱可能に接続される。ベース部１２は、方向Ｚに略一定の高さを有している。ベース部１２の形状は、方向Ｚと交差して広がる扁平な直方体状である。

ベース部１２と突出部１３とは、略Ｌ字状あるいは略Ｖ字状に構成されている。突出部１３は、ベース部１２の長手方向の一端に位置する端部１２ａから、検査対象物１００の表面１００ａから離れるように突出している。突出部１３は、方向Ｚに対し傾斜している。すなわち突出部１３は方向Ｄｉに沿って設けられ、かつ、ベース部１２側に傾斜している。方向Ｚと方向Ｄｉとは、鋭角を成している。すなわち、方向Ｄｉは、方向Ｚに対して斜めに傾斜している。言い換えると、ベース部１２と突出部１３とのなす角は鋭角である。突出部１３は、略一定の幅および略一定の厚さの扁平な形状を有している。突出部１３の形状は、方向Ｄｊと交差して広がる扁平な直方体状である。方向Ｄｊは、方向Ｄｉと直交している。方向Ｘは、第二方向の一例である。

振動検出装置１０は、前面１０ａ、後面１０ｂ、天面１０ｃ、底面１０ｄ、側面１０ｅ、上面１０ｆ、および端面１０ｇを有している。前面１０ａは、突出部１３の方向Ｄｊに対し直交する面である。後面１０ｂは、突出部１３の方向Ｄｊに直交するもう一つの面である。天面１０ｃは、突出部１３の方向Ｄｉに直交する面である。底面１０ｄは、方向Ｚに直交する面であって、検査対象物１００の表面１００ａに略並行な面である。側面１０ｅは、ベース部１２および突出部１３の側面であり、方向Ｙに直交する面である。上面１０ｆは、ベース部１２の上面であり、方向Ｚに直交し、底面１０ｄに略並行な面である。端面１０ｇは、ベース部１２の側面であって方向Ｘに直交する面である。

振動検出装置１０は、筐体２０を備えている。筐体２０は、ベースブロック２１、フロントケース２２、リヤケース２３、およびリヤカバー２４を有している。ベースブロック２１は、側面１０ｅの一部および端面１０ｇを構成している。ベースブロック２１は、ベース部１２の一部を構成している。フロントケース２２は、前壁２２ａ、天壁２２ｂ、および側壁２２ｃを有している。前壁２２ａは、前面１０ａを構成している。天壁２２ｂは、天面１０ｃを構成している。また、側壁２２ｃは、側面１０ｅの一部を構成している。リヤケース２３は、後壁２３ａを有している。リヤケース２３は、突出部１３の一部を構成している。後壁２３ａは、後面１０ｂを構成している。リヤカバー２４は、上面１０ｆを構成している。リヤカバー２４は、ベース部１２の一部および突出部１３の一部を構成している。筐体２０は、内部に部品を収容する空間を構成している。

ベースブロック２１とフロントケース２２とは、ねじやリベットのような結合具２５によって結合されている。

図２は、図１のII−II断面図である。図２に示されるように、前壁２２ａは、方向Ｄｊに沿う略一定の厚さを有し、方向Ｄｉおよび方向Ｙに沿って延びている。後壁２３ａは、前壁２２ａと方向Ｄｊに離間し、方向Ｄｊに沿う略一定の厚さを有し、方向Ｄｉおよび方向Ｙに沿って延びている。天壁２２ｂは、方向Ｄｊに沿う略一定の厚さを有し、方向Ｄｉおよび方向Ｙに沿って延びている。リヤカバー２４は、後面１０ｂと上面１０ｆとの間を接続する境界面１０ｈを構成している。リヤカバー２４の厚さは、前壁２２ａや、後壁２３ａ、天壁２２ｂ、側壁２２ｃの厚さと略同じである。また、ベースブロック２１の方向Ｚに沿う厚さは、前壁２２ａや、後壁２３ａ、天壁２２ｂの厚さよりも厚い。

前壁２２ａ、後壁２３ａ、天壁２２ｂ、側壁２２ｃ、リヤカバー２４、およびベースブロック２１によって囲まれた室２０ａ内には、基板アセンブリ３０や、フレキシブルプリント配線板４０、振動センサ５０等の部品が収容されている。

ベースブロック２１には、方向Ｚに沿って延びた開口部２１ａが設けられている。開口部２１ａは、室２０ａ内に向けて開放された有底の凹部であってもよいし、ベースブロック２１を方向Ｚに略沿って貫通した貫通孔であってもよい。

基板アセンブリ３０は、回路基板３１、増幅部３２、コネクタ３３、および外部接続コネクタ３４を有している。増幅部３２、コネクタ３３、および外部接続コネクタ３４は、回路基板３１に例えばはんだ付け等によって固定されている。

回路基板３１は、方向Ｄｊに沿う略一定の厚さを有し、方向Ｄｉおよび方向Ｙに沿って延びている。すなわち、回路基板３１は、突出部１３内に、接触面１１ｂと交差した方向（本実施形態では方向Ｄｉ）に延びた姿勢で収容されている。なお、回路基板３１の一部は、ベース部１２内に収容されてもよい。回路基板３１は、不図示のクッション部材を介して後壁２３ａに固定されている。回路基板３１は、前壁２２ａと面した前面３１ａと、後壁２３ａと面した後面３１ｂと、を有している。また、回路基板３１は、ベースブロック２１に近接した端部３１ｃと、天壁２２ｂに近接した端部３１ｄと、を有している。

増幅部３２は、端部３１ｃと端部３１ｄとの間の、回路基板３１の方向Ｄｉにおける中間部において、前面３１ａに実装されている。増幅部３２は、カバー３２ａに覆われた状態で、回路基板３１に固定されている。増幅部３２には、振動センサ５０の検出信号を増幅する回路が含まれている。増幅部３２は、振動センサ５０の検出信号を増幅処理する電気部品の一例である。

コネクタ３３は、回路基板３１の端部３１ｃにおいて、前面３１ａに実装されている。コネクタ３３には、フレキシブルプリント配線板４０の第二端部４０ｂが挿入されている（装着される）。コネクタ３３の導体（不図示）は、フレキシブルプリント配線板４０の内部の導体（配線、不図示）と回路基板３１の導体（配線、不図示）とを電気的に接続する。

外部接続コネクタ３４は、回路基板３１の端部３１ｄにおいて、前面３１ａに実装されている。天壁２２ｂの、外部接続コネクタ３４に対して天面１０ｃ側には、貫通孔２２ｂ１（開口部）が設けられている。外部接続コネクタ３４には、貫通孔２２ｂ１を貫通したコネクタ（不図示）が装着される。

フレキシブルプリント配線板４０は、複数の配線パターン（導体、不図示）と、当該複数の配線パターンを覆う絶縁層（不図示）と、を有している。フレキシブルプリント配線板４０は、配線部材の一例である。

フレキシブルプリント配線板４０は、第一端部４０ａと、第二端部４０ｂとの間で屈曲しながら延びている。第一端部４０ａは、方向Ｚに沿って延びた状態で、ベースブロック２１に設けられた有底の凹部としての開口部２１ａ内に挿入されている。第一端部４０ａは、振動センサ５０が実装された状態で、当該開口部２１ａ内に挿入された状態でベースブロック２１に接着剤や封止剤等によって固定されている。すなわち、開口部２１ａ内で、振動センサ５０の周囲は、接着剤や封止剤で覆われ、動かないように固定されるとともに、周囲の接着剤や封止剤によって、振動センサ５０への振動の伝達が抑制されている。第一端部４０ａは、第一接続部の一例である。第二端部４０ｂは、方向Ｄｉに沿って延びた状態で、コネクタ３３に装着されている。第二端部４０ｂは、第二接続部の一例である。図２に示される方向Ｙに沿った視線では、第一端部４０ａが延びる方向Ｚと、第二端部４０ｂが延びる方向Ｄｉとは、斜めに交差している。第一端部４０ａが延びる方向Ｚは、第三方向の一例でもある。なお、第一端部４０ａは、方向Ｚとは異なる方向に延びてもよい。第二端部４０ｂが延びる方向Ｄｉは、第四方向の一例である。

フレキシブルプリント配線板４０は、可撓性および弾性を有し、第一端部４０ａと第二端部４０ｂとの間で、弾性的に屈曲した状態で、設けられている。フレキシブルプリント配線板４０は、第一端部４０ａと中間部４０ｃとの間の第一屈曲部４０ｄ、および中間部４０ｃと第二端部４０ｂとの間の第二屈曲部４０ｅとの二箇所で、Ｓ字状あるいはクランク状に屈曲している。すなわち、第一屈曲部４０ｄおよび第二屈曲部４０ｅにおいて、フレキシブルプリント配線板４０は、互いに逆方向に曲がっている。このように、フレキシブルプリント配線板４０は、互いに逆方向に曲がった二箇所の屈曲部（第一屈曲部４０ｄおよび第二屈曲部４０ｅ）を含んでいる。

また、少なくとも第一屈曲部４０ｄおよび第二屈曲部４０ｅの近傍では、フレキシブルプリント配線板４０と筐体２０（ベースブロック２１、前壁２２ａ、リヤカバー２４）との間に、隙間が設けられている。すなわち、フレキシブルプリント配線板４０は、第一屈曲部４０ｄおよび第二屈曲部４０ｅにおけるフレキシブルプリント配線板４０の曲げ形状（位置や、曲率半径等）が変化可能となる状態で、筐体２０の室２０ａ内に収容されている。

アタッチメント１１は、接触面１１ｂを有した固定部１１ａと、ベースブロック２１と接続される雄ねじ部１１ｃと、を有している。接触面１１ｂは、方向Ｚと交差している（直交している）。固定部１１ａは円盤形状であって方向Ｚに直交する。雄ねじ部１１ｃは、固定部１１ａの中央部から方向Ｚに突出する。ベースブロック２１には、雄ねじ部１１ｃと噛み合う雌ねじ部２１ｂが設けられている。雄ねじ部１１ｃおよび雌ねじ部２１ｂは、接続部とも称されうる。雄ねじ部１１ｃに対して雌ねじ部２１ｂすなわち筐体２０を回転させることにより、筐体２０がアタッチメント１１に装着された状態と、筐体２０がアタッチメント１１から離脱した状態とを、切り替えることができる。

図３は、基板アセンブリ３０、フレキシブルプリント配線板４０、および振動センサ５０の斜視図である。図３に示されるように、回路基板３１は、四角形状（長方形状）の板状である。回路基板３１の四隅には、当該回路基板３１を後壁２３ａと固定するねじ等の結合具（不図示）を通す貫通孔３１ｅが設けられている。

増幅部３２のカバー３２ａは、方向Ｄｉに薄い扁平な直方体状である。増幅部３２は、回路基板３１の前面３１ａの略中央部に位置されている。

コネクタ３３には、フレキシブルプリント配線板４０の第二端部４０ｂが、挿入された状態で装着されている。

また、フレキシブルプリント配線板４０の第一端部４０ａにおいて、振動センサ５０は、フレキシブルプリント配線板４０の表面４０ｆに例えばはんだ付け等によって実装されている。振動センサ５０としては、例えば、圧電振動センサや、ＭＥＭＳ（micro electro mechanical systems）振動センサ、３軸加速度センサ等、種々の形式のセンサを採用することができる。なお、振動センサ５０は、表面４０ｆとは反対側の表面４０ｇに実装されてもよい。

図４は、ベースブロック２１の斜視図である。図４に示されるように、ベースブロック２１には、方向Ｚに沿って延びる複数の開口部２１ａが設けられている。また、ベースブロック２１には、結合具２５の雄ねじ部（不図示）が挿入されて噛み合う雌ねじ部２１ｃが設けられている。開口部２１ａは、ベースブロック２１における振動の伝播を抑制する。

以上、説明したように、本実施形態では、例えば、フレキシブルプリント配線板４０（配線部材）は、可撓性を有し、振動センサ５０と回路基板３１とを電気的に接続し、筐体２０内で第一端部４０ａ（第一接続部）と第二端部４０ｂ（第二接続部）との間の第一屈曲部４０ｄおよび第二屈曲部４０ｅで曲がるとともに第一屈曲部４０ｄおよび第二屈曲部４０ｅの曲げ形状が変化可能な状態で収容されている。よって、本実施形態によれば、例えば、回路基板３１を含む基板アセンブリ３０に慣性等による振動が生じた場合にあっても、当該振動がフレキシブルプリント配線板４０の第一屈曲部４０ｄあるいは第二屈曲部４０ｅの曲げによって緩和されるため、振動センサ５０に伝わり難くなる。よって、本実施形態によれば、例えば、回路基板３１を含む基板アセンブリ３０の慣性による振動が振動センサ５０による振動の検出に影響を及ぼすのを抑制することができる。なお、屈曲部は一箇所であってもよいし、三箇所以上であってもよい。

また、本実施形態では、例えば、突出部１３は、接触面１１ｂと交差した方向（方向Ｄｉ）に延びた姿勢で回路基板３１を収容し、接触面１１ｂから離れるようにベース部１２から突出している。仮に、筐体２０の回路基板３１を収容した部位が、検査対象物１００に取り付けられた状態で検査対象物１００に沿って長く延びるような構成である場合、検査対象物１００の表面１００ａ、すなわち振動検出装置１０の被取付面に、振動検出装置１０を装着するために比較的広い領域が必要となる。この点、本実施形態によれば、例えば、検査対象物１００の表面１００ａのより狭い領域に振動検出装置１０を取り付けることができるため、振動検出装置１０の取付位置（検出位置）の自由度をより高めることができ、ひいては振動の検出が必要な位置や振動の検出により適した位置に振動検出装置１０を取り付けやすくなるといった効果が得られる。

また、本実施形態では、例えば、突出部１３は、方向Ｚ（および方向Ｘ）に対し傾斜した方向Ｄｉに突出している。言い換えると、突出部１３は、ベース部１２から、方向Ｚと方向Ｘとの間の方向Ｄｉに突出している。よって、本実施形態によれば、例えば、突出部１３が方向Ｚに沿って突出した構成に比べて、突出部１３の重心Ｃｇ１（図２）を方向Ｚに沿って接触面１１ｂにより近付けることができる。これにより、接触面１１ｂ（の方向Ｘの中央位置）を支点とするベース部１２の重心Ｃｇ１のモーメントアームをより短くすることができるため、突出部１３の慣性による振動をより小さくすることができ、ひいては、突出部１３の慣性による振動が振動センサ５０による振動の検出に影響を及ぼすのを抑制することができる。方向Ｄｉと方向Ｚとの狭い方の角度は、例えば、０°以上４５°以下である。

また、本実施形態では、例えば、また、突出部１３は、ベース部１２の方向Ｘの端部から、方向Ｚに対して傾斜した方向Ｄｉへ突出している。よって、本実施形態によれば、例えば、突出部１３がベース部１２の中央部から方向Ｄｉへ突出した構成と比べて、突出部１３の重心Ｃｇ１（図２）を接触面１１ｂにより近付けることができる。これにより、接触面１１ｂ（の方向Ｘの中央位置）を支点とするベース部１２の重心Ｃｇ１のモーメントアームをより短くすることができるため、突出部１３の慣性による振動をより小さくすることができ、ひいては、突出部１３の慣性による振動が振動センサ５０による振動の検出に影響を及ぼすのを抑制することができる。なお、突出部１３がベース部１２から突出する位置は、ベース部１２の方向Ｘの端部には限定されず、ベース部１２の方向Ｘの中央部から当該方向Ｘにずれていればよく、例えば、端部と中央部との間の位置や、端面１０ｇ側の端部と中央部との間の位置あるいは端面１０ｇ側の端部、であってもよい。ただし、突出部１３がベース部１２の方向Ｘの中央部と端面１０ｇ側の端部との間の位置、あるいは端面１０ｇ側の端部、から突出する場合、突出部１３は中央部に近付く方向に斜めに突出する。

また、本実施形態では、例えば、フレキシブルプリント配線板４０は、第一端部４０ａと第二端部４０ｂとの間で弾性的に曲げられた状態で筐体２０内に収容されている。よって、本実施形態によれば、例えば、回路基板３１を含む基板アセンブリ３０に慣性等による振動が生じた場合にあっても、当該振動が第一屈曲部４０ｄあるいは第二屈曲部４０ｅの弾性変形によって緩和され、振動センサ５０に伝わり難くなる。なお、弾性を有した配線部材は、フレキシブルプリント配線板４０には限定されない。

また、本実施形態では、例えば、フレキシブルプリント配線板４０の振動センサ５０が実装される第一端部４０ａが延びる方向Ｚと、フレキシブルプリント配線板４０の回路基板３１と接続される第二端部４０ｂが延びる方向Ｄｉとが、斜めに交差している。フレキシブルプリント配線板４０にあっては、当該フレキシブルプリント配線板４０が延びる方向の振動成分が、最も伝達されやすい。ここで、仮に、回路基板３１と接続されている第二端部４０ｂが延びる方向と、振動センサ５０が接続されている（実装されている）第一端部４０ａが延びる方向とが同じであったとすると、第二端部４０ｂから比較的大きな振動成分が第一端部４０ａに伝達され、回路基板３１を含む基板アセンブリ３０の慣性による振動が振動センサ５０による振動の検出に影響を及ぼす虞がある。この点、本実施形態によれば、振動センサ５０が実装される第一端部４０ａが延びる方向Ｚと、回路基板３１と接続される第二端部４０ｂが延びる方向Ｄｉとが、斜めに交差している。よって、第一端部４０ａには、主として、第二端部４０ｂで入力された方向Ｄｉの振動の、方向Ｚと方向Ｄｉとの角度差によって直交分解された方向Ｚに沿う成分、すなわち、方向Ｄｉの振動よりも振幅の小さい振動が、伝達される。よって、本実施形態によれば、例えば、回路基板３１を含む基板アセンブリ３０の慣性による振動が振動センサ５０による振動の検出に影響を及ぼすのを抑制することができる。

また、本実施形態では、例えば、回路基板３１と振動センサ５０とを電気的に接続する配線部材は、フレキシブルプリント配線板４０である。よって、本実施形態によれば、例えば、厚さが比較的薄いフレキシブルプリント配線板４０を有することにより、配線部材を収容するスペースをより小さくすることができ、筐体２０ひいては振動検出装置１０をよりコンパクトに構成することができる。

また、本実施形態では、例えば、振動センサ５０は、フレキシブルプリント配線板４０の表面４０ｆに実装されている。よって、本実施形態によれば、例えば、振動センサ５０を比較的容易に実装することができるとともに、振動センサ５０を有した構成をより小さいあるいはより簡素な構成として実現することができる。

図５は、実施形態の変形例の基板アセンブリ３０Ａ、フレキシブルプリント配線板４０、および振動センサ５０の斜視図である。図５に示されるように、本変形例では、回路基板３１の後面３１ｂにおいて、接触面１１ｂからより遠い端部３１ｄよりも、接触面１１ｂにより近い端部３１ｃに近い位置に、電池３５のような比較的重い電気部品が実装されている。このような構成によれば、例えば、基板アセンブリ３０Ａの重心Ｃｇ２を、端部３１ｄよりも端部３１ｃに近付け、ひいては接触面１１ｂにより近付けることができる。よって、本変形例によれば、突出部１３の慣性による振動が振動センサ５０による振動の検出に影響を及ぼすのを抑制することができる。なお、本変形例では、回路基板３１の後面３１ｂには、ＭＰＵ（micro controller unit）等のコントローラ３６が実装されている。コントローラ３６は、増幅機能の他、検出信号から電気信号や検出値（データ）を得る機能を有している。また、回路基板３１には、不図示の不揮発性メモリが実装されうる。この場合、コントローラ３６は、不揮発性メモリへのデータの書き込みや不揮発性メモリからのデータの読み出しを実行できる。また、コントローラ３６は、外部接続コネクタ３４（図２，３等）を介して外部装置とのデータの授受等を実行することができる。コントローラ３６は、検出信号に種々の処理を施すことが可能な電気部品の一例である。なお、電池３５は、回路基板３１とは別に、例えばベース部１２（ベースブロック２１）内に収容されてもよい。

以上、本発明の実施形態や変形例を例示したが、上記実施形態や変形例は一例であって、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態や変形例は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、組み合わせ、変更を行うことができる。これら実施形態や変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、各実施形態や各変形例の構成や形状は、部分的に入れ替えて実施することも可能である。また、各構成や形状等のスペック（構造や、種類、方向、形状、大きさ、長さ、幅、厚さ、高さ、数、配置、位置、材質等）は、適宜に変更して実施することができる。

例えば、配線部材は、フレキシブルプリント配線板４０には限定されず、フレキシブルフラットケーブルや、複数のケーブルのような、可撓性（柔軟性）を有した他の配線部材であってもよい。

１０…振動検出装置、１１ｂ…接触面、１２…ベース部、１３…突出部、２０…筐体、
３１…回路基板、３２…増幅部（電気部品）、３６…コントローラ（電気部品）、４０…フレキシブルプリント配線板（配線部材）、４０ａ…第一端部（第一接続部）、４０ｂ…第二端部（第二接続部）、４０ｄ…第一屈曲部（屈曲部）、４０ｅ…第二屈曲部（屈曲部）、４０ｆ…表面、５０…振動センサ、１００…検査対象物、Ｚ…方向（第一方向および第三方向）。

Claims (8)

1. 筐体と、
   前記筐体内に収容された振動センサと、
   前記筐体内に収容され、少なくとも前記振動センサの検出信号を処理する電気部品が設けられた回路基板と、
   前記振動センサと前記回路基板とを電気的に接続し、前記筐体内で前記振動センサとの第一接続部と前記回路基板との第二接続部との間に少なくとも一つの屈曲部を有した、可撓性の配線部材と、
   を備えた、振動検出装置。
2. 検査対象物と接触する接触面を備え、
   前記筐体は、
   前記振動センサを収容したベース部と、
   前記回路基板の少なくとも一部が前記接触面と交差した方向に沿って収容され、前記ベース部から突出した突出部と、
   を有した、請求項１に記載の振動検出装置。
3. 前記突出部は、前記接触面に直交する第一方向に対し、傾斜して設けられる、請求項２に記載の振動検出装置。
4. 前記ベース部は、前記第一方向に対し直交する第二方向に沿って設けられ、前記ベース部と前記突出部とのなす角は鋭角になるよう各々設けられた、請求項３に記載の振動検出装置。
5. 前記配線部材の前記屈曲部は、曲げ形状が変化可能な状態で筐体内に収容された、請求項１〜４のうちいずれか一つに記載の振動検出装置。
6. 前記第一接続部が延びる第三方向と、前記第二接続部が延びる第四方向とが、斜めに交差している、請求項５に記載の振動検出装置。
7. 前記配線部材は、フレキシブルプリント配線板である、請求項１〜６のうちいずれか一つに記載の振動検出装置。
8. 前記振動センサは、前記第一接続部において、前記フレキシブルプリント配線板の表面に実装されている、請求項７に記載の振動検出装置。