JP2019056645A - 物理量センサー、慣性計測装置、測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体 - Google Patents
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Abstract
【課題】誤作動を低減し、高精度に加速度を検出することができる物理量センサーを提供すること、また、この物理量センサーを備える慣性計測装置、測位装置、電子機器および移動体を提供すること。【解決手段】第1周波数で振動する第1振動子と、加速度に応じて前記第1周波数とは異なる変化量で変化する第2周波数で前記第1振動子とは独立して振動する第2振動子と、前記第1周波数と前記第2周波数との差分に基づいて、物理量を検出する検出回路と、を備えることを特徴とする物理量センサー。【選択図】図1
Description
本発明は、物理量センサー、慣性計測装置、測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体に関するものである。
加速度等の物理量を検出する物理量センサーが知られている(例えば、特許文献1参照)。例えば、特許文献1に記載の振動式加速度計は、一端がベースに固定された支柱と、この支柱の自由端側に固定された所定の質量を有する重りと、前記支柱に平行に、かつ、対向して設けられ、前記ベースと前記重りに両端を固定された一対の振動梁と、これらの振動梁を振動させる励振手段と、前記振動梁の固有振動数を検出する振動検出手段と、前記振動検出手段で検出した各振動梁の固有振動数を加算および減算する演算手段とを具備する。
特許文献1に記載の振動式加速度計では、2つの振動梁の自由端同士が重りにより連結されているため、一方の振動梁の振動が他方の振動梁に伝わって2つの振動梁が干渉し、誤作動を生じてしまうという課題がある。
本発明の目的は、誤作動を低減し、高精度に加速度を検出することができる物理量センサーを提供すること、また、この物理量センサーを備える慣性計測装置、測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体を提供することにある。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例または形態として実現することが可能である。
本適用例の物理量センサーは、第1周波数で振動する第1振動子と、
加速度に応じて前記第1周波数とは異なる変化量で変化する第2周波数で前記第1振動子とは独立して振動する第2振動子と、
前記第1周波数と前記第2周波数との差分に基づいて、物理量を検出する検出回路と、を備えていることを特徴とする。
加速度に応じて前記第1周波数とは異なる変化量で変化する第2周波数で前記第1振動子とは独立して振動する第2振動子と、
前記第1周波数と前記第2周波数との差分に基づいて、物理量を検出する検出回路と、を備えていることを特徴とする。
このような物理量センサーによれば、第2周波数(第2振動子の振動周波数)が加速度に応じて第1周波数(第1振動子の振動周波数)とは異なる変化量で変化するため、第1周波数と第2周波数との差分に基づいて物理量(当該加速度またはそれに基づく物理量)を検出することができる。ここで、第1振動子および第2振動子が互いに独立して振動するため、これらの振動子の干渉を低減し(実質的に無くし)、物理量センサーの誤作動を低減することができる。また、第1振動子および第2振動子の温度特性を互いに等しくまたは近似させることにより、これらの振動子の温度特性を相殺または低減し、検出精度を高めることができる。
本適用例の物理量センサーでは、前記独立とは、前記第1振動子と前記第2振動子とが別体で設けられていることが好ましい。
本適用例の物理量センサーでは、前記第1振動子および前記第2振動子は、互いに同一の材料を用いて構成されていることが好ましい。
これにより、第1振動子および第2振動子の温度特性を容易に互いに等しくまたは近似させることができる。
本適用例の物理量センサーでは、前記第1振動子は、
第1基部と、
前記第1基部に設けられている第1振動腕と、を有し、
前記第2振動子は、
第2基部と、
前記第2基部に設けられている第2振動腕と、を有することが好ましい。
第1基部と、
前記第1基部に設けられている第1振動腕と、を有し、
前記第2振動子は、
第2基部と、
前記第2基部に設けられている第2振動腕と、を有することが好ましい。
これにより、優れた周波数特性を有する第1振動子および第2振動子を実現することができる。その結果、検出精度を高めることができる。
本適用例の物理量センサーでは、前記第2振動腕の前記第2基部側とは反対側の端部側の幅は、前記第1振動腕の前記第1基部側とは反対側の端部側の幅よりも大きいことが好ましい。
これにより、第1振動子および第2振動子の構成の簡単化を図りつつ、第2周波数を加速度に応じて第1周波数とは異なる変化量で変化させることができる。
本適用例の物理量センサーでは、前記第1振動子および前記第2振動子は、それぞれ、水晶を用いて構成されていることが好ましい。
これにより、第1振動子および第2振動子の温度特性を容易に互いに等しくまたは近似させることができる。また、優れた特性(周波数温度特性、低位相ジッタ、低位相雑音、低消費電力等)を有する第1振動子および第2振動子を実現することができる。
本適用例の物理量センサーでは、前記第1振動子および前記第2振動子は、それぞれ、櫛歯状の電極を有する静電容量型の共振子であることが好ましい。
これにより、第1振動子および第2振動子の構成の簡単化を図りつつ、第2周波数を加速度に応じて第1周波数とは異なる変化量で変化させることができる。
本適用例の物理量センサーでは、前記第1振動子および前記第2振動子は、それぞれ、シリコンを用いて構成されていることが好ましい。
これにより、第1振動子および第2振動子の温度特性を容易に互いに等しくまたは近似させることができる。また、極めて小型な第1振動子および第2振動子を実現することができる。
本適用例の慣性計測装置は、本適用例の物理量センサーと、
前記物理量センサーの動作を制御する制御回路と、を備えることを特徴とする。
前記物理量センサーの動作を制御する制御回路と、を備えることを特徴とする。
このような慣性計測装置によれば、物理量センサーの高精度な検出結果を用いることで、計測精度を高めることができる。
本適用例の測位装置は、本適用例の慣性計測装置と、
測位用衛星から受信した衛星信号に基づいて測位計算を行う受信機と、
前記慣性計測装置の計測結果および前記受信機の測位計算結果に基づいて、受信点の位置を算出する処理を行う処理部と、を備えることを特徴とする。
測位用衛星から受信した衛星信号に基づいて測位計算を行う受信機と、
前記慣性計測装置の計測結果および前記受信機の測位計算結果に基づいて、受信点の位置を算出する処理を行う処理部と、を備えることを特徴とする。
このような測位装置によれば、慣性計測装置の高精度な計測結果を用いることで、測位精度を高めることができる。
本適用例の携帯型電子機器は、本適用例の物理量センサーと、
前記物理量センサーが収容されているケースと、
前記ケースに収容され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、
前記ケースに収容されている表示部と、
前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、
を含むことを特徴とする。
前記物理量センサーが収容されているケースと、
前記ケースに収容され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、
前記ケースに収容されている表示部と、
前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、
を含むことを特徴とする。
このような携帯型電子機器は、物理量センサーの効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
本適用例の電子機器は、本適用例の物理量センサーを備えることを特徴とする。
このような電子機器によれば、物理量センサーの高精度な検出結果を用いることで、電子機器の特性(例えば信頼性)を高めることができる。
このような電子機器によれば、物理量センサーの高精度な検出結果を用いることで、電子機器の特性(例えば信頼性)を高めることができる。
本適用例の移動体は、本適用例の物理量センサーを備えることを特徴とする。
このような移動体によれば、物理量センサーの高精度な検出結果を用いることで、移動体の特性(例えば信頼性)を高めることができる。
このような移動体によれば、物理量センサーの高精度な検出結果を用いることで、移動体の特性(例えば信頼性)を高めることができる。
以下、本発明の物理量センサー、慣性計測装置、測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
1.物理量センサー
<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る物理量センサーの概略構成を示すブロック図である。図2は、図1に示す物理量センサーが備える第1振動子の平面図である。図3は、図2中のA−A線断面図である。図4は、図1に示す物理量センサーが備える第2振動子の平面図である。図5は、図4中のB−B線断面図である。図6は、第1周波数f1、第2周波数f2およびこれらの周波数の差分Δfと加速度との関係を示すグラフである。
<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る物理量センサーの概略構成を示すブロック図である。図2は、図1に示す物理量センサーが備える第1振動子の平面図である。図3は、図2中のA−A線断面図である。図4は、図1に示す物理量センサーが備える第2振動子の平面図である。図5は、図4中のB−B線断面図である。図6は、第1周波数f1、第2周波数f2およびこれらの周波数の差分Δfと加速度との関係を示すグラフである。
なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する3つの軸であるX軸、Y軸およびZ軸を適宜用いて説明を行う。また、各図において、これらの軸を示す矢印の先端側を「+」、基端側を「−」とする。また、X軸に平行な方向を「X軸方向」、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」、Z軸に平行な方向を「Z軸方向」という。
図1に示す物理量センサー1は、物理量として加速度を検出する加速度センサーである。この物理量センサー1は、第1振動子2と、第2振動子3と、第1振動子2を発振させる第1発振回路4と、第2振動子3を発振させる第2発振回路5と、第1振動子2の発振周波数(振動周波数)と第2振動子3の発振周波数(振動周波数)との差分に基づいて物理量(加速度またはそれに基づく速度、距離等の物理量)を検出する検出回路6と、を備える。
第1振動子2および第2振動子3は、それぞれ、独立して振動する共振子である。ここで、第1振動子2は、第1周波数(第1共振周波数)で振動(共振)し、一方、第2振動子3は、第2周波数(第2共振周波数)で振動(共振)する。ただし、第1振動子2は、加速度を受けても、第1周波数が変化しないか、または、その変化量が第2周波数の変化量に比べて小さい。一方、第2振動子3は、加速度を受けたとき、その加速度に応じて第2周波数が第1周波数よりも大きく変化する。なお、第1振動子2および第2振動子3の具体的構成については、後に詳述する。
第1発振回路4および第2発振回路5は、例えば、IC(Integrated Circuit)チップ内に集積化されて構成されている。第1発振回路4は、第1振動子2とともに発振器(第1発振器)を構成しており、第1振動子2を発振(共振)させる駆動信号を出力し、その発振周波数である第1周波数の発振信号を出力する。第2発振回路5は、第2振動子3とともに発振器(第2発振器)を構成しており、第2振動子3を発振(共振)させる駆動信号を出力し、その発振周波数である第2周波数の発振信号を出力する。なお、第1発振回路4および第2発振回路5は、同一のICチップ内に設けられていてもよいし、別々のICチップ内に設けられていてもよい。
検出回路6は、第1発振回路4からの発振信号と第2発振回路5からの発振信号との周波数差に応じた周波数の信号を出力する演算回路61を有する。この演算回路61は、例えば、減算回路を含んで構成されている。演算回路61から出力される信号の周波数は、物理量センサー1に加わった加速度に応じた周波数となる。なお、検出回路6の少なくとも一部は、前述した第1発振回路4および第2発振回路5のうちの少なくとも一方とともにICチップ内に設けられていてもよい。
このような物理量センサー1は、前述したように、第2周波数が加速度に応じて第1周波数とは異なる変化量で変化するため、第1周波数と第2周波数との差分に基づいて物理量(当該加速度またはそれに基づく物理量)を検出することができる。また、第1振動子2および第2振動子3が互いに独立して振動するため、第1振動子2および第2振動子3の互いの干渉を低減し(実質的に無くし)、物理量センサー1の誤作動を低減することができる。その結果、物理量センサー1の検出精度を高めることができる。また、第1振動子2および第2振動子3の温度特性を互いに等しくまたは近似させることで、第1振動子2および第2振動子3の互いの温度特性を相殺または低減し、この点でも、物理量センサー1の検出精度を高めることができる。以下、第1振動子2および第2振動子3の具体的構成について詳述する。
(第1振動子)
図2および図3に示すように、第1振動子2は、素子片21と、素子片21を収納しているパッケージ22と、を有する。
図2および図3に示すように、第1振動子2は、素子片21と、素子片21を収納しているパッケージ22と、を有する。
パッケージ22は、図3に示すように、基板221と、基板221に接合された蓋体222と、を有する。基板221は、例えばガラス材料で構成されており、基板221の蓋体222側の面には、凹部223が設けられている。また、凹部223の底面には、1対の凸部224および1対の凸部225が設けられている。一方、蓋体222は、例えばシリコンで構成されており、蓋体222の基板221側の面には、凹部226が設けられている。このような基板221および蓋体222は、例えば陽極接合により互いに接合されている。そして、基板221の凹部223および蓋体222の凹部226によって、素子片21を収納する空間が気密的に形成されている。この空間は、例えば、減圧(真空)状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。
素子片21は、図2に示すように、1対の固定部211と、2組の1対の固定電極212、213と、振動部214と、1対のバネ部215と、1対の可動電極216と、を有する。これらは、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされた導電性のシリコン基板をエッチングによってパターニングすることで一括形成される。また、各固定部211および各固定電極212、213は、それぞれ、前述した基板221に対して例えば陽極接合により接合されている。
1対の固定部211は、前述したパッケージ22の1対の凸部224の頂面に接合され、X軸方向に並んで配置されている。1対の固定電極212は、前述したパッケージ22の1対の凸部225の頂面に接合され、Y軸方向に並んで配置されている。1対の固定電極213は、前述したパッケージ22の凹部223の外側において基板221に接合され、Y軸方向に並んで配置されている。各固定電極212、213は、櫛歯状をなす電極部を有する。
振動部214は、矩形の枠体であり、その内側には、1対の固定部211および1対の固定電極212が配置されている。そして、振動部214は、1対のバネ部215を介して1対の固定部211に接続されている。一方、振動部214の外側には、振動部214を介して1対の固定電極212に対向するように1対の固定電極213が配置されている。
また、振動部214には、1対の可動電極216が設けられている。各可動電極216は、固定電極212に噛み合う櫛歯状をなす電極部と、固定電極213に噛み合う櫛歯状をなす電極部と、を有する。
以上のように構成された第1振動子2では、振動部214に直流電圧が印加される。これにより、固定電極212、213と可動電極216との間に電位差が生じ、その電位差に応じて固定電極212、213のそれぞれの表面に電荷がチャージされる。この状態で、1対の固定電極212のうち一方の可動電極216に対向する固定電極212、および、1対の固定電極213のうち他方の可動電極216に対向する固定電極213のそれぞれに、駆動信号として第1周波数の交流電圧が印加される。これにより、振動部214が1対のバネ部215の弾性変形(曲げ変形)を伴ってY軸方向に振動する。また、1対の固定電極212のうち前述した駆動信号が印加される固定電極212とは異なる固定電極212、および、1対の固定電極213のうち前述した駆動信号が印加される固定電極213とは異なる固定電極213のそれぞれから、第1周波数の信号が出力される。
ここで、第1周波数は、振動部214(可動電極216を含む)の質量および1対のバネ部215のバネ定数に応じて設定される。例えば、振動部214の質量を大きくしたり、バネ部215を長くまたは細くしたりすることで、第1周波数を低く(小さく)することができる。逆に、振動部214の質量を小さくしたり、バネ部215の短くまたは太くしたりすることで、第1周波数を高く(大きく)することができる。
(第2振動子)
図4に示す第2振動子3は、2組の1対の固定部331、332と、錘部333と、1対のバネ部335と、を有し、かつ、前述した第1振動子2の1対のバネ部215のうちの一方のバネ部215に代えて、バネ部336を有する以外は、第1振動子2と同様に構成されている。
図4に示す第2振動子3は、2組の1対の固定部331、332と、錘部333と、1対のバネ部335と、を有し、かつ、前述した第1振動子2の1対のバネ部215のうちの一方のバネ部215に代えて、バネ部336を有する以外は、第1振動子2と同様に構成されている。
具体的に説明すると、図4および図5に示すように、第2振動子3は、素子片31と、素子片31を収納しているパッケージ32と、を有する。
パッケージ32は、図5に示すように、基板321と、基板321に接合された蓋体322と、を有する。基板321は、例えばガラス材料で構成されており、基板321の蓋体322側の面には、凹部323が設けられている。また、凹部323の底面には、凸部324および1対の凸部325が設けられている(図4参照)。一方、蓋体322は、例えばシリコンで構成されており、蓋体322の基板321側の面には、凹部326が設けられている。このような基板321および蓋体322は、例えば陽極接合により互いに接合されている。そして、基板321の凹部323および蓋体322の凹部326によって、素子片31を収納する空間が気密的に形成されている。この空間は、例えば、減圧(真空)状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよいが、前述した第1振動子2のパッケージ22の空間と同じ減圧状態または不活性ガス封入状態であることが好ましい。これにより、第1振動子2および第2振動子3の温度特性を等しくまたは近似させることが容易となる。
素子片31は、図4に示すように、1対の固定部311と、2組の1対の固定電極312、313と、振動部314と、バネ部315と、1対の可動電極316と、2組の1対の固定部331、332と、錘部333と、1対のバネ部335と、バネ部336と、を有する。これらは、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされた導電性のシリコン基板をエッチングによってパターニングすることで一括形成される。また、各固定部311、各固定電極312、313および各固定部331、332は、それぞれ、基板321に対して例えば陽極接合により接合されている。
固定部311は、前述したパッケージ32の凸部324の頂面に接合されている。1対の固定電極312は、前述したパッケージ32の1対の凸部325の頂面に接合され、Y軸方向に並んで配置されている。1対の固定電極313は、前述したパッケージ32の凹部323の外側において基板321に接合され、Y軸方向に並んで配置されている。各固定電極312、313は、櫛歯状をなす電極部を有する。
振動部314は、矩形の枠体であり、その内側には、固定部311および1対の固定電極312が配置されている。そして、振動部314は、バネ部315を介して固定部311に接続されている。一方、振動部314の外側には、振動部314を介して1対の固定電極312に対向するように1対の固定電極313が配置されている。
また、振動部314には、1対の可動電極316が設けられている。各可動電極316は、固定電極312に噛み合う櫛歯状をなす電極部と、固定電極313に噛み合う櫛歯状をなす電極部と、を有する。
また、振動部314に対して−X軸方向側には、錘部333が配置されている。この錘部333は、板状をなしており、前述した枠状の振動部314のような開口部を有しない。これにより、錘部333の質量を大きくすることができる。
ここで、錘部333は、Y軸方向に延びている1対のバネ部334を介して1対の固定部331に接続されている。1対の固定部331は、前述したパッケージ32の凹部323の外側において基板321に接合され、Y軸方向に並んで配置されている。
また、錘部333の振動部314側の端部は、Y軸方向に延びているバネ部336を介して振動部314に接続されている。これにより、素子片31が有する振動系の質量を大きくすることができる。一方、錘部333の振動部314とは反対側の端部は、ミアンダ状の1対のバネ部335を介して1対の固定部332に接続されている。これにより、錘部333をX軸方向に変位させることができる。1対の固定部332は、前述したパッケージ32の凹部323の外側において基板321に接合され、Y軸方向に並んで配置されている。
以上のように構成された第2振動子3では、振動部314に直流電圧が印加される。これにより、固定電極312、313と可動電極316との間に電位差が生じ、その電位差に応じて固定電極312、313のそれぞれの表面に電荷がチャージされる。この状態で、1対の固定電極312のうち一方の可動電極316に対向する固定電極312、および、1対の固定電極313のうち他方の可動電極316に対向する固定電極213のそれぞれに、駆動信号として第2周波数の交流電圧が印加される。これにより、振動部314がバネ部315、336の弾性変形(曲げ変形)を伴ってY軸方向に振動する。また、1対の固定電極312のうち前述した駆動信号が印加される固定電極312とは異なる固定電極312、および、1対の固定電極313のうち前述した駆動信号が印加される固定電極313とは異なる固定電極313のそれぞれから、第2周波数の信号が出力される。なお、錘部333は、Y軸方向に延びている1対のバネ部334により支持されているため、振動部314のY軸方向の振動に伴って振動することは実質的にない。
ここで、第2周波数は、振動部314(可動電極316を含む)の質量および1対のバネ部315のバネ定数に応じて設定される。例えば、振動部314の質量を大きくしたり、バネ部315を長くまたは細くしたりすることで、第2周波数を低く(小さく)することができる。逆に、振動部314の質量を小さくしたり、バネ部315の短くまたは太くしたりすることで、第2周波数を高く(大きく)することができる。
また、第2振動子3がX軸方向の加速度を受けたとき、1対のバネ部335の弾性変形(曲げ変形)を伴って錘部333がX軸方向に変位する。これにより、バネ部315、336のうちの一方が引張、他方が圧縮され、バネ部315、336のバネ定数がともに増加する。そのため、前述したように振動部314を振動させた状態で第2振動子3がX軸方向の加速度を受けると、図6中破線で示すように、第2振動子3が受けた加速度に応じて第2周波数f2が大きくなる。
これに対し、前述した第1振動子2は、第2振動子3のような錘部333およびこれに付随する構成を有しないため、加速度の影響を受け難い。そのため、第1振動子2は、図6中1点鎖線で示すように、X軸方向の加速度を受けても、第1周波数f1がほとんど変化しない。したがって、第1周波数f1と第2周波数f2との差分Δfは、物理量センサー1(第1振動子2および第2振動子3)が受けた加速度に応じた値となる。
このように、第1周波数f1を基準周波数とし、第2周波数f2を物理量(加速度)検出のための検出周波数として用い、物理量センサー1が受けた加速度を把握することができる。また、この加速度を積分等することで、速度、距離等の物理量を求めることもできる。
なお、図6では、説明の便宜上、第1周波数f1および第2周波数f2のそれぞれが加速度に応じて線形的に変化しているが、図示の変化に限定されない。また、図6では、第2周波数f2が第1周波数f1よりも高い場合を例に示しているが、第2周波数f2が第1周波数f1よりも低くてもよい。また、図6では、差分Δfが(f2−f1)である場合を例に示しているが、差分Δfが(f1−f2)であってもよい。この場合、図示の例では、受ける加速度が大きくなるほど、差分Δfが小さくなるため、これを加味した処理を検出回路6で行えばよい。
以上のような物理量センサー1は、前述したように、第1周波数f1で振動する第1振動子2と、加速度に応じて第1周波数f1とは異なる変化量で変化する第2周波数f2で第1振動子2とは独立して振動する第2振動子3と、第1周波数f1と第2周波数f2との差分Δfに基づいて、物理量を検出する検出回路6と、を備える。
このような物理量センサー1によれば、第2周波数f2(第2振動子の振動周波数)が加速度に応じて第1周波数f1(第1振動子の振動周波数)とは異なる変化量で変化するため、第1周波数f1と第2周波数f2との差分Δfに基づいて物理量(当該加速度またはそれに基づく物理量)を検出することができる。ここで、第1振動子2および第2振動子3が互いに独立して振動するため、これらの振動子の干渉を低減し(実質的に無くし)、物理量センサー1の誤作動を低減することができる。また、第1振動子2および第2振動子3の温度特性を互いに等しくまたは近似させることで、これらの振動子の温度特性を相殺または低減し、検出精度を高めることができる。
本実施形態では、第1振動子2および第2振動子3は、それぞれ、櫛歯状の電極(固定電極212、213、312、313および可動電極216、316)を有する静電容量型の共振子である。これにより、第1振動子2および第2振動子3の構成の簡単化を図りつつ、第2周波数f2を加速度に応じて第1周波数f1とは異なる変化量で変化させることができる。
ここで、第1振動子2および第2振動子3、特に、素子片21、31は、互いに同一の材料を用いて構成されていることが好ましい。これにより、第1振動子2および第2振動子3の温度特性を容易に互いに等しくまたは近似させることができる。なお、第1振動子2および第2振動子3の構成材料が互いに異なっていてもよいが、この場合、第1振動子2および第2振動子3の互いに温度特性を相殺または低減する処理を検出回路6で行うことが好ましい。ここで、「同一」とは、実質的に同一であることを意味し、組成が全く同一の他、組成が近似するもの、同種のものも含む概念である。
特に、第1振動子2および第2振動子3、特に、素子片21、31は、それぞれ、シリコンを用いて構成されていることが好ましい。これにより、第1振動子2および第2振動子3の温度特性を容易に互いに等しくまたは近似させることができる。また、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いて、極めて小型な第1振動子2および第2振動子3を実現することができる。
なお、物理量センサー1において、第1振動子2と第2振動子3との配置(位置関係)としては、特に限定されず、例えば、第1振動子2と第2振動子3とがX軸方向、Y軸方向またはZ軸方向に並んで配置される場合や、X−Y平面上、X−Z平面上またはY−Z平面上の任意の箇所に配置される場合、その他両者が離間して配置される場合等が挙げられる。
<第2実施形態>
図7は、本発明の第2実施形態に係る物理量センサーが備える振動子(共通してパッケージ化された第1振動子および第2振動子)を示す平面図である。図8は、図7中のC−C線断面図である。
図7は、本発明の第2実施形態に係る物理量センサーが備える振動子(共通してパッケージ化された第1振動子および第2振動子)を示す平面図である。図8は、図7中のC−C線断面図である。
本実施形態は、第1振動子および第2振動子の構成が異なる以外は、前述した第1実施形態と同様である。以下、第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本実施形態の物理量センサー1Aは、振動子20を備え、振動子20は、素子片23、24と、素子片23、24を収納しているパッケージ25と、を有する。ここで、素子片23およびパッケージ25が第1振動子2Aを構成し、素子片24およびパッケージ25が第2振動子3Aを構成している。すなわち、第1振動子2Aは、素子片23およびパッケージ25を有し、第2振動子3Aは、素子片24およびパッケージ25を有する。このように、同一パッケージ25内に素子片23、24を収納することで、第1振動子2Aおよび第2振動子3Aの周波数温度特性の差を小さくすることが容易となる。
パッケージ25は、図8に示すように、ベース251と、ベース251に接合された蓋体252と、を有する。ベース251は、例えばセラミックス材料で構成されており、ベース251の蓋体252側の面には、凹部253が設けられている。一方、蓋体252は、板状をなし、例えばガラス材料またはコバール等の金属材料で構成されている。このような蓋体252は、ベース251に対して凹部253を塞ぐようにシーム溶接等により接合されている。これにより、凹部253が素子片23、24を収納する空間として気密的に形成されている。この空間は、例えば、減圧(真空)状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。
素子片23、24は、それぞれ、例えば、Zカット水晶板で構成されている。これにより、第1振動子2Aおよび第2振動子3Aは、それぞれ、優れた振動特性を発揮することができる。Zカット水晶板とは、水晶のZ軸(光学軸)を厚さ方向とする水晶基板である。なお、水晶のZ軸は、水晶基板の厚さ方向と一致しているのが好ましいが、厚さ方向に対して若干(15°未満程度)傾いていてもよい。
この素子片23は、図7に示すように、前述したベース251に対して1対の接着剤26(例えば、導電性接着剤)により固定(接合)されている基部231と、基部231からY軸方向に延出する1対の振動腕232と、を有している。同様に、素子片24は、前述したベース251に対して1対の接着剤27(例えば、導電性接着剤)により固定(接合)されている基部241と、基部241からY軸方向に延出する1対の振動腕242と、を有している。ただし、素子片23の振動腕232は、幅が一定であるのに対し、素子片24の振動腕242は、先端側の端部243の幅が基部241側の端部の幅よりも大きくなっている。これにより、振動腕242の基部241側とは反対側の端部243側の幅W2を、振動腕232の基部231側とは反対側の端部側233の幅W1よりも大きくすることができる。その結果、振動腕242の基部241側とは反対側の端部243側の質量を、振動腕232の基部231側とは反対側の端部233側の質量よりも大きくすることができる。
なお、各振動腕232、242には、Z軸方向での両面に開口する溝または孔が設けられていてもよい。また、振動腕242の基部241側とは反対側の端部243側の質量が振動腕232の基部231側とは反対側の端部233側の質量よりも大きければ、素子片23の振動腕232は、先端側の端部233の幅が基部231側の端部の幅よりも大きくなっていてもよい。この場合、例えば、端部233の幅を振動腕242の端部243の幅よりも小さくすればよい。また、図示では、平面視で素子片23、24がX軸方向に沿って並んで配置されているが、素子片23、24の配置は、図示の配置に限定されず、任意である。
このような各振動腕232、242には、図示しないが、金属材料等で構成された1対の駆動電極が形成されている。そして、第1振動子2Aでは、1対の駆動電極間に交番電圧が駆動信号として印加されることで、1対の振動腕232が互いに接近と離間を繰り返すように面内方向(XY平面方向)に第1周波数で振動する。一方、第2振動子3Aでは、1対の駆動電極間に交番電圧が駆動信号として印加されることで、1対の振動腕242が互いに接近と離間を繰り返すように面内方向(XY平面方向)に第2周波数で振動する。
ここで、第1周波数は、振動腕232の質量(特に端部233の質量)およびバネ定数(振動腕232の基部231側の部分のバネ定数)に応じて設定される。同様に、第2周波数は、振動腕242の質量(特に端部243の質量)およびバネ定数(振動腕242の基部241側の部分のバネ定数)に応じて設定される。
また、第2振動子3Aが駆動振動の方向とは異なる所定方向(例えばZ軸方向)の加速度を受けたとき、1対の振動腕242の端部243側が当該所定方向に変位する。これにより、各振動腕242の変形により各振動腕242のバネ定数がともに増加し、第2振動子3Aが受けた加速度に応じて第2周波数が大きくなる。
これに対し、前述した第1振動子2Aは、各振動腕232の幅が一定であるため、端部233が加速度の影響を受け難い。そのため、第1振動子2Aは、当該所定方向の加速度を受けても、第1周波数がほとんど変化しない。
したがって、前述したような第1振動子2Aおよび第2振動子3Aを用いても、第1周波数と第2周波数との差分に基づいて、物理量センサー1が受けた加速度を検出することができる。
以上のように、本実施形態の物理量センサー1Aでは、第1振動子2Aは、第1基部である基部231と、基部231から延出している第1振動腕である振動腕232と、を有し、第2振動子3Aは、第2基部である基部241と、基部241から延出している第2振動腕である振動腕242と、を有する。これにより、優れた周波数特性を有する第1振動子2Aおよび第2振動子3Aを実現することができる。その結果、物理量センサー1Aの検出精度を高めることができる。
ここで、振動腕242(第2振動腕)の基部241(第2基部)側とは反対側の端部243側の幅W2は、振動腕232(第1振動腕)の基部231(第1基部)側とは反対側の端部233側の幅W1よりも大きい。これにより、第1振動子2Aおよび第2振動子3Aの構成の簡単化を図りつつ、第2周波数を加速度に応じて第1周波数とは異なる変化量で変化させることができる。
また、第1振動子2Aおよび第2振動子3A、特に、素子片23、34は、互いに同一の材料を用いて構成されていることが好ましい。これにより、第1振動子2Aおよび第2振動子3Aの温度特性を容易に互いに等しくまたは近似させることができる。
特に、第1振動子2Aおよび第2振動子3A、特に素子片23、24は、それぞれ、水晶を用いて構成されていることが好ましい。これにより、第1振動子2Aおよび第2振動子3Aの温度特性を容易に互いに等しくまたは近似させることができる。また、優れた特性(周波数温度特性、低位相ジッタ、低位相雑音、低消費電力等)を有する第1振動子2Aおよび第2振動子3Aを実現することができる。
以上説明したような第2実施形態によっても、誤作動を低減し、高精度に加速度を検出することができる。
2.慣性計測装置
図9は、本発明の慣性計測装置の実施形態を示す分解斜視図である。図10は、図9に示す慣性計測装置が備える基板の斜視図である。
図9は、本発明の慣性計測装置の実施形態を示す分解斜視図である。図10は、図9に示す慣性計測装置が備える基板の斜視図である。
図9に示す慣性計測装置(IMU:Inertial Measurement Unit)2000は、いわゆる6軸モーションセンサーであり、例えば、自動車、ロボット等の移動体(計測対象物)に装着して用いられ、当該移動体の姿勢および挙動(慣性運動量)を検出する。
この慣性計測装置2000は、アウターケース2100と、接合部材2200と、センサーモジュール2300と、を備え、センサーモジュール2300がアウターケース2100内に接合部材2200を介在させた状態で篏合(挿入)されている。
アウターケース2100は、箱状をなしており、このアウターケース2100の対角にある2つの角部には、計測対象物に対するネジ止めのためのネジ孔2110が設けられている。
センサーモジュール2300は、インナーケース2310と、基板2320と、を備え、インナーケース2310が基板2320を支持した状態で、前述したアウターケース2100の内部に収納されている。ここで、インナーケース2310は、アウターケース2100に対して、接合部材2200(例えばゴム製のパッキン)を介して、接着剤等により接合されている。また、インナーケース2310は、基板2320上に実装される部品の収納空間として機能する凹部2311と、基板2320上に設けられているコネクター2330を外部に露出するための開口部2312と、を有する。基板2320は、例えば、多層配線基板であり、インナーケース2310に対して接着剤等により接合されている。
図10に示すように、基板2320には、コネクター2330、角速度センサー2340X、2340Y、2340Z、加速度センサー2350および制御IC2360が実装されている。
コネクター2330は、図示しない外部装置に電気的に接続され、当該外部装置と慣性計測装置2000との間で電力、計測データ等の電気信号の送受信を行うのに用いられる。
角速度センサー2340Xは、X軸まわりの角速度を検出し、角速度センサー2340Yは、Y軸まわりの角速度を検出し、角速度センサー2340Zは、Z軸まわりの角速度を検出する。角速度センサー2340X、2340Y、2340Zは、それぞれ、例えば、コリオリの力を用いて角速度を検出する振動ジャイロセンサーである。また、加速度センサー2350は、前述した物理量センサー1または1Aを有して構成され、X軸、Y軸およびZ軸の各軸方向での加速度を検出する。
制御IC2360は、MCU(Micro Controller Unit)であり、不揮発性メモリーを含む記憶部、A/Dコンバーター等を内蔵しており、慣性計測装置2000の各部を制御する。ここで、記憶部には、加速度および角速度を検出するための順序と内容を規定したプログラム、検出データをデジタル化してパケットデータに組込むプログラム、付随するデータ等が記憶されている。
以上のように、慣性計測装置2000は、物理量センサー1または1Aと、物理量センサー1または1Aの動作を制御する制御回路である制御IC2360と、を備える。このような慣性計測装置2000によれば、物理量センサー1または1Aの高精度な検出結果を用いることで、計測精度を高めることができる。
3.測位装置
図11は、本発明の測位装置の実施形態の概略構成を示すブロック図である。
図11は、本発明の測位装置の実施形態の概略構成を示すブロック図である。
図11に示す測位装置3000は、例えば、図示しない移動体に装着して用いられ、当該移動体の測位を行う装置である。当該移動体としては、例えば、自動車、オートバイ、自転車、船、電車、人間等が挙げられる。測位装置300を人間に装着する場合、例えば、測位装置3000を時計型等の携帯情報機器等に組み込めばよい。
この測位装置3000は、測位用衛星NSからの衛星信号に基づいて測位計算を行う受信機3100と、角速度および加速度を計測する慣性計測装置3300と、受信機3100の測位計算結果および慣性計測装置3300の計測結果に基づいて受信点の位置を算出する処理を行う処理部3400と、を備える。
受信機3100は、例えば、GPS(Global Positioning System)受信機であり、アンテナ3200を介して測位用衛星NS(GPS衛星)からの衛星信号を受信し、当該衛星信号に含まれる軌道情報(エフェメリスデータやアルマナックデータ等)および時刻情報(週番号データやZカウントデータ等)に基づいて測位計算を行う。より具体的には、受信機3100は、例えば、RF(Radio Frequency)回路、ベースバンド処理回路等を有して構成され、RF回路が、アンテナ3200で受信した衛星信号のダウンコンバート、増幅等を行い、ベースバンド処理部が、RF回路を介した4つ以上の衛星信号に含まれる軌道情報および時刻情報に基づいて測位計算を行い、その測位計算結果(位置情報)を出力する。なお、受信機3100は、位置情報を、時刻情報、受信状況(測位用衛星NSの捕捉数、衛星信号の強度等)等の各種情報とともに、NMEAデータとして出力してもよい。
慣性計測装置3300は、3軸の各軸まわりの角速度および各軸方向の加速度を検出する装置である。この慣性計測装置3300は、3軸の各軸まわりの角速度を検出する角速度センサー3310と、3軸の各軸方向の角速度を検出する加速度センサー3320と、角速度センサー3310および加速度センサー3320の動作を制御する制御回路3330と、を備える。ここで、慣性計測装置3300は、前述した慣性計測装置2000と同様に構成されている。そして、慣性計測装置3300は、3軸の各軸まわりの角速度および各軸方向の加速度を含む慣性情報を計測結果として出力する。
処理部3400は、慣性計測装置3300の計測結果に基づいて測位計算(例えば加速度および角速度を積分する演算)を行い、その測位計算結果および受信機3100の測位計算結果に基づいて、受信点の位置を算出し、その算出結果(位置情報)を出力する。これにより、高精度な位置情報を生成することができる。なお、処理部3400は、受信機3100の測位計算結果の値をそのまま前述した受信点の位置の算出に用いてもよいし、受信機3100の測位計算結果を所定時間ごとに統計処理(例えば平均値、中央値または最頻値を求める処理)した結果を前述した受信点の位置の算出に用いてもよい。また、前述した受信点の位置の算出において、慣性計測装置3300の計測結果に基づく測位計算を行わずに、慣性計測装置3300の計測結果(加速度情報および角速度情報)を直接用いて受信機3100の測位計算結果を補正してもよい。
以上のように、測位装置3000は、慣性計測装置3300と、測位用衛星NSから受信した衛星信号に基づいて測位計算を行う受信機3100と、慣性計測装置3300の計測結果および受信機3100の測位計算結果に基づいて、受信点の位置を算出する処理を行う処理部3400と、を備える。このような測位装置3000によれば、慣性計測装置3300の高精度な計測結果を用いることで、測位精度を高めることができる。
4.電子機器
次に、本発明の物理量センサーを備える電子機器について説明する。
次に、本発明の物理量センサーを備える電子機器について説明する。
図12は、本発明の電子機器の実施形態(モバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューター)を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部1108を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター1100には、前述した慣性計測装置2000(物理量センサー1または1A)が内蔵されている。
図13は、本発明の電子機器の実施形態(携帯電話機)を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機1200は、アンテナ(図示せず)、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部1208が配置されている。このような携帯電話機1200には、前述した慣性計測装置2000(物理量センサー1または1A)が内蔵されている。
この図において、携帯電話機1200は、アンテナ(図示せず)、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部1208が配置されている。このような携帯電話機1200には、前述した慣性計測装置2000(物理量センサー1または1A)が内蔵されている。
図14は、本発明の電子機器の実施形態(デジタルスチールカメラ)を示す斜視図である。
デジタルスチールカメラ1300におけるケース1302の背面には表示部1310が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部1310は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。そして、撮影者が表示部1310に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押すと、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。このようなデジタルスチールカメラ1300には、前述した慣性計測装置2000(物理量センサー1または1A)が内蔵されており、この慣性計測装置2000の計測結果は、例えば、手振れ補正に用いられる。
以上のような電子機器は、物理量センサー1または1Aを備える。このような電子機器によれば、物理量センサー1または1Aの高精度な検出結果を用いることで、電子機器の特性(例えば信頼性)を高めることができる。
なお、本発明の電子機器は、図12のパーソナルコンピューター、図13の携帯電話機、図14のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、スマートフォン、タブレット端末、時計(スマートウォッチを含む)、インクジェット式吐出装置(例えばインクジェットプリンター)、HMD(ヘッドマウントディスプレイ)等のウェアラブル端末、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、携帯端末用の基地局、フライトシミュレーター等に適用することができる。
5.携帯型電子機器
次に、本発明の携帯型電子機器の実施形態について説明する。
次に、本発明の携帯型電子機器の実施形態について説明する。
図15は、本発明の携帯型電子機器の実施形態を示す平面図である。図16は、図15に示す携帯型電子機器の概略構成を示す機能ブロック図である。
図15に示す腕時計型の活動計1400(アクティブトラッカー)は、本発明の携帯型電子機器を適用したリスト機器である。活動計1400は、バンド1401によってユーザーの手首等の部位(被検体)に装着される。また、活動計1400は、デジタル表示の表示部1402を備えるとともに、無線通信が可能である。上述した本発明に係る物理量センサー1は、加速度を測定するセンサーや角速度を計測するセンサーとして活動計1400に組込まれている。
活動計1400は、物理量センサー1が収容されているケース1403と、ケース1403に収容され、物理量センサー1からの出力データを処理する処理部1410と、ケース1403に収容されている表示部1402と、ケース1403の開口部を塞いでいる透光性カバー1404と、を備えている。また、透光性カバー1404の外側にはベゼル1405が設けられている。また、ケース1403の側面には複数の操作ボタン1406、1407が設けられている。
図16に示すように、物理量センサー1としての加速度センサー1408は、互いに交差する(理想的には直交する)3軸方向の各々の加速度を検出し、検出した3軸加速度の大きさおよび向きに応じた信号(加速度信号)を出力する。また、角速度センサー1409は、互いに交差する(理想的には直交する)3軸方向の各々の角速度を検出し、検出した3軸角速度の大きさおよび向きに応じた信号(角速度信号)を出力する。
表示部1402を構成する液晶ディスプレイ(LCD)では、種々の検出モードに応じて、例えば、GPSセンサー1411や地磁気センサー1412を用いた位置情報、移動量や物理量センサー1に含まれる加速度センサー1408や角速度センサー1409などを用いた運動量などの運動情報、脈拍センサー1413などを用いた脈拍数などの生体情報、もしくは現在時刻などの時刻情報などが表示される。なお、温度センサー1414を用いた環境温度を表示することもできる。
通信部1415は、ユーザー端末と図示しない情報端末との間の通信を成立させるための各種制御を行う。通信部1415は、例えば、Bluetooth(登録商標)(BTLE:Bluetooth Low Energyを含む)、Wi−Fi(登録商標)(Wireless Fidelity)、Zigbee(登録商標)、NFC(Near field communication)、ANT+(登録商標)等の近距離無線通信規格に対応した送受信機や、USB(Universal Serial Bus)等の通信バス規格に対応したコネクターを含んで構成される。
処理部1410(プロセッサー)は、例えば、MPU(Micro Processing Unit)、DSP(Digital Signal Processor)、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)等により構成される。処理部1410は、記憶部1416に格納されたプログラムと、操作部1417(例えば操作ボタン1406、1407)から入力された信号とに基づき、各種の処理を実行する。処理部1410による処理には、GPSセンサー1411、地磁気センサー1412、圧力センサー1418、加速度センサー1408、角速度センサー1409、脈拍センサー1413、温度センサー1414、計時部1419の各出力信号に対するデータ処理、表示部1402に画像を表示させる表示処理、音出力部1420に音を出力させる音出力処理、通信部1415を介して情報端末と通信を行う通信処理、バッテリー1421からの電力を各部へ供給する電力制御処理などが含まれる。
このような活動計1400では、少なくとも以下のような機能を有することができる。
1.距離:高精度のGPS機能により計測開始からの合計距離を計測する。
2.ペース:ペース距離計測から、現在の走行ペースを表示する。
3.平均スピード:平均スピード走行開始から現在までの平均スピードを算出し表示する。
4.標高:GPS機能により、標高を計測し表示する。
5.ストライド:GPS電波が届かないトンネル内などでも歩幅を計測し表示する。
6.ピッチ:1分あたりの歩数を計測し表示する。
7.心拍数:脈拍センサーにより心拍数を計測し表示する。
8.勾配:山間部でのトレーニングやトレイルランにおいて、地面の勾配を計測し表示する。
9.オートラップ:事前に設定した一定距離や一定時間を走った時に、自動でラップ計
測を行う。
10.運動消費カロリー:消費カロリーを表示する。
11.歩数:運動開始からの歩数の合計を表示する。
1.距離:高精度のGPS機能により計測開始からの合計距離を計測する。
2.ペース:ペース距離計測から、現在の走行ペースを表示する。
3.平均スピード:平均スピード走行開始から現在までの平均スピードを算出し表示する。
4.標高:GPS機能により、標高を計測し表示する。
5.ストライド:GPS電波が届かないトンネル内などでも歩幅を計測し表示する。
6.ピッチ:1分あたりの歩数を計測し表示する。
7.心拍数:脈拍センサーにより心拍数を計測し表示する。
8.勾配:山間部でのトレーニングやトレイルランにおいて、地面の勾配を計測し表示する。
9.オートラップ:事前に設定した一定距離や一定時間を走った時に、自動でラップ計
測を行う。
10.運動消費カロリー:消費カロリーを表示する。
11.歩数:運動開始からの歩数の合計を表示する。
このような活動計1400(携帯型電子機器)は、物理量センサー1と、物理量センサー1が収容されているケース1403と、ケース1403に収容され、物理量センサー1からの出力データを処理する処理部1410と、ケース1403に収容されている表示部1402と、ケース1403の開口部を塞いでいる透光性カバー1404と、を含んでいる。そのため、前述した物理量センサー1の効果を享受でき、高い信頼性を発揮することができる。
なお、活動計1400は、ランニングウォッチ、ランナーズウォッチ、デュアスロンやトライアスロン等マルチスポーツ対応のランナーズウォッチ、アウトドアウォッチ、および衛星測位システム、例えばGPSを搭載したGPSウォッチ、等に広く適用できる。
また、上述では、衛星測位システムとしてGPS(Global Positioning System)を用いて説明したが、他の全地球航法衛星システム(GNSS:Global Navigation Satellite System)を利用してもよい。例えば、EGNOS(European Geostationary-Satellite Navigation Overlay Service)、QZSS(Quasi Zenith Satellite System)、GLONASS(GLObal NAvigation Satellite System)、GALILEO、BeiDou(BeiDou Navigation Satellite System)、等の衛星測位システムのうち1又は2以上を利用してもよい。また、衛星測位システムの少なくとも1つにWAAS(Wide Area Augmentation System)、EGNOS(European Geostationary-Satellite Navigation Overlay Service)等の静止衛星型衛星航法補強システム(SBAS:Satellite-based Augmentation System)を利用してもよい。
6.移動体
次に、本発明の移動体について説明する。
次に、本発明の移動体について説明する。
図17は、本発明の移動体の実施形態(自動車)を示す斜視図である。
自動車1500には、前述した慣性計測装置2000(物理量センサー1)が内蔵されており、例えば、慣性計測装置2000(物理量センサー1)によって車体1501の姿勢を検出することができる。慣性計測装置2000(物理量センサー1)の検出信号は、車体姿勢制御装置1502に供給され、車体姿勢制御装置1502は、その信号に基づいて車体1501の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪1503のブレーキを制御したりすることができる。
自動車1500には、前述した慣性計測装置2000(物理量センサー1)が内蔵されており、例えば、慣性計測装置2000(物理量センサー1)によって車体1501の姿勢を検出することができる。慣性計測装置2000(物理量センサー1)の検出信号は、車体姿勢制御装置1502に供給され、車体姿勢制御装置1502は、その信号に基づいて車体1501の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪1503のブレーキを制御したりすることができる。
その他、このような姿勢制御は、二足歩行ロボットやラジコンヘリコプター(ドローンを含む)で利用することができる。以上のように、各種移動体の姿勢制御の実現にあたって、慣性計測装置2000(物理量センサー1)が組み込まれる。
以上のような移動体である自動車1500は、物理量センサー1または1Aを備える。このような自動車1500によれば、物理量センサー1または1Aの高精度な検出結果を用いることで、自動車1500の特性(例えば信頼性)を高めることができる。
以上、本発明の物理量センサー、慣性計測装置、測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
また、前述した実施形態では、第1振動子および第2振動子として、櫛歯状の電極を有する共振子および音叉型振動子を用いた場合を例に説明したが、これに限定されず、例えば、カンチレバー式の振動子等を用いてもよい。また、第1振動子と第2振動子の駆動方式が異なっていてもよい。
また、第1実施形態において、第2実施形態と同様、素子片21、31を同一のパッケージに収納してもよいし、第2実施形態において、第1実施形態と同様、素子片23、24を別々のパッケージに収納してもよい。
1…物理量センサー、1A…物理量センサー、2…第1振動子、2A…第1振動子、3…第2振動子、3A…第2振動子、4…第1発振回路、5…第2発振回路、6…検出回路、20…振動子、21…素子片、22…パッケージ、23…素子片、24…素子片、25…パッケージ、26…接着剤、27…接着剤、31…素子片、32…パッケージ、34…素子片、61…演算回路、211…固定部、212…固定電極、213…固定電極、214…振動部、215…バネ部、216…可動電極、221…基板、222…蓋体、223…凹部、224…凸部、225…凸部、226…凹部、231…基部(第1基部)、232…振動腕(第1振動腕)、233…端部、241…基部(第2基部)、242…振動腕(第2振動腕)、243…端部、251…ベース、252…蓋体、253…凹部、300…測位装置、311…固定部、312…固定電極、313…固定電極、314…振動部、315…バネ部、316…可動電極、321…基板、322…蓋体、323…凹部、324…凸部、325…凸部、326…凹部、331…固定部、332…固定部、333…錘部、334…バネ部、335…バネ部、336…バネ部、1100…パーソナルコンピューター、1102…キーボード、1104…本体部、1106…表示ユニット、1108…表示部、1200…携帯電話機、1202…操作ボタン、1204…受話口、1206…送話口、1208…表示部、1300…デジタルスチールカメラ、1302…ケース、1304…受光ユニット、1306…シャッターボタン、1308…メモリー、1310…表示部、1400…活動計、1401…バンド、1402…表示部、1403…ケース、1404…透光性カバー、1405…ベゼル、1406、1407…操作ボタン、1408…加速度センサー、1409…角速度センサー、1410…処理部、1411…GPSセンサー、1412…地磁気センサー、1413…脈拍センサー、1414…温度センサー、1415…通信部、1416…記憶部、1417…操作部、1418…圧力センサー、1419…計時部、1420…音出力部、1421…バッテリー、1500…自動車、1501…車体、1502…車体姿勢制御装置、1503…車輪、2000…慣性計測装置、2100…アウターケース、2110…ネジ孔、2200…接合部材、2300…センサーモジュール、2310…インナーケース、2311…凹部、2312…開口部、2320…基板、2330…コネクター、2340X…角速度センサー、2340Y…角速度センサー、2340Z…角速度センサー、2350…加速度センサー、3000…測位装置、3100…受信機、3200…アンテナ、3300…慣性計測装置、3310…角速度センサー、3320…加速度センサー、3330…制御回路、3400…処理部、2360…制御IC、NS…測位用衛星、f1…第1周波数、f2…第2周波数、Δf…差分
Claims (13)
- 第1周波数で振動する第1振動子と、
加速度に応じて前記第1周波数とは異なる変化量で変化する第2周波数で前記第1振動子とは独立して振動する第2振動子と、
前記第1周波数と前記第2周波数との差分に基づいて、物理量を検出する検出回路と、を備えていることを特徴とする物理量センサー。 - 前記独立とは、前記第1振動子と前記第2振動子とが別体で設けられている請求項1に記載の物理量センサー。
- 前記第1振動子および前記第2振動子は、互いに同一の材料を用いて構成されている請求項1または2に記載の物理量センサー。
- 前記第1振動子は、
第1基部と、
前記第1基部に設けられている第1振動腕と、を有し、
前記第2振動子は、
第2基部と、
前記第2基部に設けられている第2振動腕と、を有する請求項1ないし3のいずれか一項に記載の物理量センサー。 - 前記第2振動腕の前記第2基部側とは反対側の端部側の幅は、前記第1振動腕の前記第1基部側とは反対側の端部側の幅よりも大きい請求項4に記載の物理量センサー。
- 前記第1振動子および前記第2振動子は、それぞれ、水晶を用いて構成されている請求項4または5に記載の物理量センサー。
- 前記第1振動子および前記第2振動子は、それぞれ、櫛歯状の電極を有する静電容量型の共振子である請求項1ないし3のいずれか一項に記載の物理量センサー。
- 前記第1振動子および前記第2振動子は、それぞれ、シリコンを用いて構成されている請求項7に記載の物理量センサー。
- 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーの動作を制御する制御回路と、を備えることを特徴とする慣性計測装置。 - 請求項9に記載の慣性計測装置と、
測位用衛星から受信した衛星信号に基づいて測位計算を行う受信機と、
前記慣性計測装置の計測結果および前記受信機の測位計算結果に基づいて、受信点の位置を算出する処理を行う処理部と、を備えることを特徴とする測位装置。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の物理量センサーと、
前記物理量センサーが収容されているケースと、
前記ケースに収容され、前記物理量センサーからの出力データを処理する処理部と、
前記ケースに収容されている表示部と、
前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、
を含むことを特徴とする携帯型電子機器。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の物理量センサーを備えることを特徴とする移動体。
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JP2017181735A JP2019056645A (ja) | 2017-09-21 | 2017-09-21 | 物理量センサー、慣性計測装置、測位装置、携帯型電子機器、電子機器および移動体 |
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