JP2019056142A - 金属皮膜の成膜装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施形態の金属皮膜の成膜装置1の模式的分解斜視図であり、図2(a)は、図1に示す成膜装置1の要部断面図であり、(b)は、(a)の成膜前の状態を示す断面図である。図3は、図1に示す成膜装置1による金属皮膜Fの成膜を説明するための模式的図である。図1に示すように、本実施形態に係る成膜装置1は、基材Wの表面wfに金属皮膜Fを成膜する装置である。
まず、図1および図2(b)に示すように、成膜装置1の固体電解質膜13に対向する位置に、基材Wを配置する。次に、固体電解質膜13の表面が、基材Wの表面wfに接触するように固体電解質膜13を基材Wに配置する。
陽極としてニッケル板(製品番:NI−313551、大きさ:厚さ2mm×40×50mm、(株)ニラコ製)、電解液(金属溶液)として(1M塩化ニッケル、酢酸/酢酸ニッケル緩衝液0.5M)水溶液(pH3.0)、固体電解質膜としてイオン交換膜(電解質膜:CSH50、旭硝子社製)を準備した。
実施例1と同じように、ニッケル皮膜を成膜した。実施例1と相違する点は、遮蔽板がMCナイロン(高結晶ナイロン)からなる点である。遮蔽板のMCナイロン(高結晶ナイロン)では、比誘電率が4.25の誘電体であり、引張強さが76MPaであり、曲げ弾性率が2.5GPaの樹脂材料である。
実施例1と同じように、ニッケル皮膜を成膜した。実施例1と相違する点は、遮蔽板が塩化ビニルからなる点である。遮蔽板の塩化ビニルは、比誘電率が5.4の誘電体であり、引張強さが19MPaであり、曲げ弾性率が2.9GPaの樹脂材料である。
実施例1と同じように、ニッケル皮膜を成膜した。実施例1と相違する点は、遮蔽板がポリテトラフルオロエチレン(PTFE)らなる点である。遮蔽板のポリテトラフルオロエチレンでは、比誘電率が4の誘電体であり、引張強さが25MPaであり、曲げ弾性率が0.5GPaの樹脂材料である。
実施例1と同じように、ニッケル皮膜を成膜した。実施例1と相違する点は、遮蔽板を設けなかった点である。
実施例1と同じように、ニッケル皮膜を成膜した。実施例1と相違する点は、遮蔽板がステンレス鋼(SUS304)からなる点である。遮蔽板のステンレス鋼では、比誘電率が1であり、引張強さが520MPaであり、曲げ弾性率が197GPaの金属材料である。
実施例1と同じように、ニッケル皮膜を成膜した。実施例1と相違する点は、遮蔽板がフェノール樹脂からなる点である。遮蔽板のフェノール樹脂では、比誘電率が7.5の誘電体であり、引張強さが5MPaであり、曲げ弾性率が8GPaの樹脂材料である。したがって、比較例3では、フェノール樹脂の比誘電率および引張強さが、本発明の範囲から外れている。
実施例1と同じように、ニッケル皮膜を成膜した。実施例1と相違する点は、遮蔽板がシリコーン樹脂からなる点である。遮蔽板のシリコーン樹脂では、比誘電率が5の誘電体であり、引張強さが120MPaであり、曲げ弾性率が13GPaの樹脂材料である。したがって、比較例4では、シリコーン樹脂の引張強さが、本発明の範囲を超えている。
実施例1と同じように、ニッケル皮膜を成膜した。実施例1と相違する点は、遮蔽板がウレタンゴムからなる点である。遮蔽板のウレタンゴムでは、比誘電率が7の誘電体であり、引張強さが60MPaであり、曲げ弾性率が10GPaの樹脂材料である。したがって、比較例5では、ウレタンゴムの比誘電率が、本発明の範囲を超えている。
実施例1〜4および比較例1〜5の成膜装置で成膜した際に、陽極と基材との間の電圧変化を測定した。この結果を、図4〜図8に示す。図4(a)、(b)は、実施例1、2に係る陽極と基材との間の電圧変化を示したグラフであり、図5(a)、(b)は、実施例3、4に係る陽極と基材との間の電圧変化を示したグラフである。図6(a)、(b)は、比較例1、2に係る陽極と基材との間の電圧変化を示したグラフである。図7は、比較例3に係る陽極と基材との間の電圧変化を示したグラフである。図8(a)、(b)は、比較例4、5に係る陽極と基材との間の電圧変化を示したグラフである。なお、成膜されたニッケル皮膜を、上述したマイクロスコープで観察した。
Claims (1)
- 陽極と、
前記陽極と陰極となる基材との間に配置される固体電解質膜と、
前記陽極と前記固体電解質膜との間において、前記陽極と前記固体電解質膜に金属イオンを含む金属溶液が接触するように、前記金属溶液を収容する溶液収容部と、
前記陽極と前記基材との間に電圧を印加する電源部とを、備えた金属皮膜の成膜装置であって、
前記溶液収容部は、収容された前記金属溶液を、前記固体電解質膜に加圧するものであり、
前記溶液収容部の内部には、前記固体電解質膜を覆うように前記固体電解質膜に隣接し、かつ、複数の貫通孔が形成された遮蔽板が配置されており、
前記遮蔽板は、比誘電率が2.0〜5.4の誘電体であり、引張強さが、19〜80MPaであり、曲げ弾性率が50GPa以下の樹脂材料からなることを特徴とする金属皮膜の成膜装置。
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JP2017101300A (ja) * | 2015-12-03 | 2017-06-08 | トヨタ自動車株式会社 | 配線基板の製造方法 |
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JP2016125087A (ja) * | 2014-12-26 | 2016-07-11 | トヨタ自動車株式会社 | 金属皮膜の成膜装置およびその成膜方法 |
JP2017101300A (ja) * | 2015-12-03 | 2017-06-08 | トヨタ自動車株式会社 | 配線基板の製造方法 |
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