JP2019049545A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図3は、本発明の実施の形態1に係る電磁波受信部31a(n個の電磁波受信領域)の構成を示す図であり、円形外形面2bの平面視を示している。電磁波受信部31aは、3個の電磁波受信領域321〜電磁波受信領域323を有している。
図4は、本発明の実施の形態2に係る電磁波受信部31b(n個の電磁波受信領域)の構成を示す図であり、円形外形面2bの平面視を示している。
以上の実施の形態1および実施の形態2においては、電磁波受信領域の個数が3個(すなわち、n=3)である場合の例を示した。但し、電磁波受信領域の個数は2以上であればいくつであってもよい。換言すれば、電磁波受信領域の個数を示すnは、2以上の自然数であればよい。
図6は、電磁波受信部31aの第1変形例に係る電磁波受信部31aaの構成を示す図であり、円形外形面2bの平面視を示している。
2a、2b 円形外形面
3 中心
4 軸
10 検査装置
20 電磁波発生源
21 電磁波
30 センサ
31、31a、31aa、31ab、31b 電磁波受信部
321〜323 電磁波受信領域
3211〜323m 小領域
331〜333 直径
Claims (6)
- 外形が円形の面である円形外形面を有している対象物を、当該円形の中心を通り当該円形外形面と略垂直な方向に伸びる線を軸として回転させながら検査する検査装置であって、
検査に供されている状態の上記対象物に関し、mおよびnをそれぞれ2以上の自然数とすると、
上記対象物に対して上記円形外形面を通過する電磁波を照射する少なくとも1個の電磁波発生源と、
上記対象物を透過した上記電磁波を受ける、それぞれm個の小領域を有しているn個の電磁波受信領域とを備えており、
上記m×n個の小領域の各々は、下記(1)および(2)のいずれかを満たすように配置されている検査装置。
(1)上記n個の電磁波受信領域毎に、上記円形外形面の平面視において上記円形の直径上に並べられている。
(2)上記(1)に対して、上記円形の中心からの離間距離が互いに同じであるn個の上記小領域の組のうち少なくとも1組が、上記線を軸として回転された配置である。 - 上記n個の電磁波受信領域の少なくとも1個に関し、
上記m個の小領域は、上記円形外形面の平面視において上記円形の中心から遠い小領域ほど、上記円形の円周に沿った方向のサイズが大きい請求項1に記載の検査装置。 - 上記n個の電磁波受信領域の少なくとも1個に関し、
上記m個の小領域は、上記円形外形面の平面視において上記円形の中心から遠い小領域ほど、移動の速い被写体の撮影に適している請求項1または2に記載の検査装置。 - 上記検査装置は、m×n個の電磁波発生源を備えており、
上記m×n個の電磁波発生源は、それぞれ、上記n個の電磁波受信領域の上記m個の小領域に対して、上記円形外形面と略垂直な方向に配置されている請求項1から3のいずれか1項に記載の検査装置。 - 上記検査装置は、1個の電磁波発生源を備えており、
上記1個の電磁波発生源は、上記円形の中心に対して、上記円形外形面と略垂直な方向に配置されている請求項1から3のいずれか1項に記載の検査装置。 - 上記n個の電磁波受信領域の各々は、互いに異なるタイミングで上記円形外形面における同一部分から上記電磁波を受け、
上記検査装置は、上記n個の電磁波受信領域の各々が上記電磁波を受けることによって得られた、n個の上記同一部分の画像を積算して得られた解析用画像を解析することにより、当該同一部分に付着した異物を検出する請求項1から5のいずれか1項に記載の検査装置。
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