JP2019043828A - 液面レベル検出装置の調整用治具および調整方法 - Google Patents
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Abstract
Description
このような液面レベルの測定方法として、例えば特許文献1に記載の方法が知られている。
次に、治具に設けられた測定器を用いて、仮想原料融液面と熱遮蔽体下端面との距離Aを測定する。また、チャンバ外部の定点測定機を用いて、基準反射体の実像と仮想原料融液面に反射した鏡像との位置を測定する。そして、この測定結果に基づいて、実像と鏡像との距離Bを算出する。このような距離Aの測定と距離Bの算出とを、異なる2水準の高さの仮想原料融液面において行うことで、距離Aと距離Bとの関係を求める。
この後、シリコン単結晶の引き上げ中に、定点測定機で測定された基準反射体の実像と、シリコン融液面で反射した鏡像との距離が距離Bとなるように、坩堝の高さを調整することで、シリコン融液面と熱遮蔽体下端面との距離を所望の距離Aにしている。
また、水平器を用いて仮想原料融液面を水平面と平行にすることも考えられるが、厳密に平行することは困難である。
本発明において、液面レベル検出装置を調整する際には、まず、シリコン融液が収容されていない坩堝または坩堝支持部に、調整用治具を取り付けて、液体収容部を坩堝の内部に対応する所定位置に位置決めする。また、液体収容部を位置決めする前または位置決めした後に、液体収容部に液体を入れて、その液面によってシリコン融液の疑似液面を形成する。そして、疑似液面に対してレーザ光を出射し、このレーザ光の反射光を受光部で受光し、この受光部における反射光の受光位置が所定位置となるように、反射光の光路を調整する。
このように、本発明によれば、液体収容部に液体を入れるだけの簡単な方法で、シリコン融液と同じように疑似液面を水平面と平行にすることができる。そして、この水平面と平行な疑似液面を用いて、高精度な液面レベルの検出を可能とする液面レベル検出装置の調整を容易に行うことができる。
透明な液体の液面では、レーザ光の反射率が2%程度のため、受光部での受光量を多くするには、レーザパワーを10数mW程度に高める必要がある。このようにレーザパワーを高めないと、レーザ光が疑似液面で反射せずに液体内部を透過してしまい、液体収容部の底面が水平面と平行でないときには、この底面で反射したレーザ光を用いて液面レベルの検出が行われることになり、液面レベル検出装置の調整を高精度に行えない。
これに対し、不透明な液体の液面では、反射率が5%〜10%と高いため、レーザパワーを0.3mW〜5mW程度に抑制しても、反射光における液体収容部底面での反射成分を小さくすることができ、液面レベル検出器の調整を高精度に行うことができる。
本発明によれば、不透明、かつ、水平面と平行な疑似液面でレーザ光を反射させることで、レーザパワーを高めることなく、高精度な検出を可能とする液面レベル検出装置の調整をより高精度に行うことができる。
なお、擬似液面に用いる液体を水としてインクで着色するようにすれば、取り扱いを簡便にすることができる。
本発明によれば、緑色以外のレーザ光を用いる場合と比べて、受光部としてのCCD素子における反射光の受光強度を強くすることができる。
このように受光強度が強い反射光の波形は、ガウス分布状となるため、例えば、ガウス関数をモデル関数とした正規化相関関数によるマッチングを行うガウシアンフィティング法により、反射光の波形の中心位置を精度よく求め、受光部の結像スポットの中心位置を受光光の中心位置(画素)であると決定することができる。したがって、高精度な検出を可能とする液面レベル検出装置の調整をさらに高精度に行うことができる。
なお、前記ガウシアンフィティング法を行う際に、相関係数に閾値を設けることができる。例えば、不透明な疑似液面の場合には、相関係数の閾値は99%〜100%の範囲となり、液面レベル検出装置の調整をより高精度に行うことができる。
以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。
〔調整用治具の構成〕
まず、調整用治具の構成について説明する。
図1に示すように、調整用治具100は、液体収容部110と、位置決め部120とを備えている。液体収容部110および位置決め部120を構成する部材は、ステンレスなどの金属により形成されている、
保持部本体131には、その長手方向(水平方向)に液体収容部110が移動可能に取り付けられている。
第1の水平板状部134の長手方向両端側および第2の水平板状部135の長手方向他端側には、それぞれ2個ずつの図示しないねじ孔が設けられている。
固定部140は、長孔141を介して第1,第2の水平板状部134,135のねじ孔に螺合される2個の蝶ねじ143によって、第1,第2の水平板状部134,135の長手方向にスライド可能、つまり保持部130に対する水平方向の位置を変更可能に設けられている。
次に、単結晶引き上げ装置1および液面レベル検出装置5の構成について説明する。
なお、単結晶引き上げ装置1および液面レベル検出装置5の説明に関し、図3に示す+X方向、−X方向、+Y方向、−Y方向、+Z方向、−Z方向を、それぞれ右方向、左方向、前方向、後方向、上方向、下方向という。
チャンバ21の内部には、ガス導入口21AからArガスなどの不活性ガスが導入され、当該チャンバ21の下部に設けられた図示しないガス排気口からチャンバ21内の気体が排出される。
坩堝22は、石英坩堝221と、この石英坩堝221を収納する黒鉛坩堝222とを備えている。この坩堝22は、坩堝支持部26に支持されている。坩堝支持部26は、その下端に接続された図示しない坩堝駆動部の駆動によって所定の速度で回転および昇降が可能な支持軸261と、この支持軸261の上端に設けられ、坩堝22を下方から支持する受台262とを備えている。
ヒータ23は、坩堝22内のシリコンを融解し、シリコン融液Mを生成する。
引き上げケーブル24は、シリコン単結晶SMを回転させながら引き上げる。
熱遮蔽体25は、ヒータ23から上方に向かって放射される輻射熱を遮断する。
液面レベル検出装置5は、シリコン単結晶SMの引き上げ中におけるシリコン融液Mの表面と熱遮蔽体25の下面との距離(ギャップ)を測定する。この液面レベル検出装置5は、箱状のケース51と、このケース51を上下に延びる回転軸C1を中心に回転させるケース回転駆動部52とを備えている。ケース51における下部には、光透過窓511が設けられている。この光透過窓511に対向する面には、覗き窓512が設けられている。ケース回転駆動部52は、光透過窓511が単結晶引き上げ装置1の光透過窓27に対向するように、図示しない検出装置固定部に固定されている。
発光部53は、下方に向けて緑色のレーザ光R1を投射するレーザ光源により構成されていることが好ましいが、レーザ光として、赤色レーザ光、紫色レーザ光、青色レーザ光を用いてもよい。また、レーザ光源に代えて、キセノン、水銀、ハロゲン等の光源や、ナトリウム線等の単一波長光源を用いてもよい。
ミラー54は、シリコンミラーにより構成されている。ミラー54は、レーザ光R1を光透過窓511および光透過窓27を介してプリズム28へ向けて反射する。
ミラー回転駆動部55は、ミラー54を保持し、当該ミラー54を前後に延びる回転軸C2を中心に回転させる。
レンズ57は、ターゲット56の上方において、ターゲット56を透過した反射光R2が入射可能な位置に設けられている。
受光部58は、例えば緑色の分光感度特性が他の色と比べて高いCCD素子により構成されていることが好ましいが、CMOS(Complementary metal Oxide Semiconductor)イメージセンサで構成されていてもよい。受光部58は、レンズ57の上方において、レンズ57で屈折した、または、屈折していない反射光R2を受光可能な位置に設けられている。
具体的には、図4に示すように、液面M1の液面レベルが実線で示す目標レベルTの場合、反射光R2は、破線で示すように、ターゲット56のターゲット中心部563を通過して、受光部58における座標Pで受光される。また、液面M1の液面レベルが二点鎖線で示すレベルT1の場合、反射光R2は、二点鎖線で示すように、ターゲット56のターゲット中心部563からずれた位置を通過して、受光部58における座標Pからずれた座標P1で受光される。検出部59は、このように、三角測量の原理に基づいて、受光部58での受光位置から液面レベルを検出する。
また、プリズム28から液面M1までの距離は、シリコン単結晶SMの直径によっても異なるが、1000mm以上2300mm以下程度である。
次に、調整用治具100を用いた液面レベル検出装置5の調整方法について説明する。
まず、検出装置固定部に調整用治具100を固定するとともに、図5に示すように、液面レベル検出装置5を黒鉛坩堝222に取り付ける(治具取り付け工程)。液面レベル検出装置5を黒鉛坩堝222に取り付ける前または取り付けた後に、液体収容部110内に液体Lを入れて、水平面と平行な疑似液面L1を形成する。このとき、液体Lに緑色のインクを入れて、少なくとも疑似液面L1を不透明にすることが好ましい。液体Lは、水であることが好ましいが、水以外の液体、例えば油であってもよく、シリコンオイルにすれば、着色や取り扱いが容易になる。また、液体Lは、緑色以外に着色されていてもよい。また、液体Lが液体収容部110からこぼれたときに備えて、黒鉛坩堝222内に樹脂シートを敷いてもよい。
以上の作業は、疑似液面L1の水平方向の位置がレーザ光R1が入射可能な位置となり、かつ、疑似液面L1の液面レベルがシリコン単結晶SM引き上げ中のシリコン融液Mの液面M1の液面レベルと同じとなるように行われる。
そして、受光部58における反射光R2の受光位置が所定位置である座標Pとなるように、例えば、反射光R2がターゲット56のターゲット中心部563を通過するように、液面レベル検出装置5を調整する(受光位置調整工程)。
ここで、疑似液面L1を不透明にする場合、当該疑似液面L1におけるレーザ光R1の反射率が5%〜10%のため、発光工程におけるレーザ光R1のレーザパワーは、0.3mW〜5mW程度であってもよい。このようにレーザパワーを抑制しても、反射光R2における液体収容部110の底面での反射成分を小さくすることができ、液面レベル検出装置5の調整を高精度に行うことができる。また、緑色のレーザ光R1を受光部58としてのCCD素子で受光するため、反射光R2の受光強度を強くすることができ、液面レベル検出装置5の調整をさらに高精度に行うことができる。
そして、図6(B)に示すように、上から見て反射光R2がターゲット56のターゲット中心部563を通過している場合、特に液面レベル検出装置5の調整を行わない。反射光R2のターゲット56における通過位置は、例えば覗き窓512から作業者が目視で確認することが例示できるが、他の方法を用いてもよい。
つまり、ケース回転駆動部52が、反射光R2の光路を調整する光路調整部として機能する。
しかし、図7(B)に示すように、前から見て反射光R2がターゲット中心部563よりも右側(+X方向側)にずれている場合、ミラー回転駆動部55を駆動して、前後方向と平行な回転軸C2を中心にしてミラー54のみを、時計回り方向J1に回転させる。この回転によって、レーザ光R1および反射光R2の光路が変わり、図7(A)に示すように、反射光R2がターゲット中心部563を通過するように液面レベル検出装置5が調整される。
つまり、ミラー回転駆動部55が、反射光R2の光路を調整する光路調整部として機能する。
上記実施形態によれば、液体収容部110に液体Lを入れるだけの簡単な方法で、水平面と平行な疑似液面L1を形成でき、この疑似液面L1を用いて、高精度な液面レベルの検出を可能とする液面レベル検出装置5の調整を容易に行うことができる。
特に、3つの固定部140全ての位置を変更可能としたため、黒鉛坩堝222の中心に対する液体収容部110の位置を変更することなく、複数のサイズの黒鉛坩堝222に調整用治具100を取り付けることができる。
なお、本発明は上記実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の改良ならびに設計の変更などが可能である。
保持部130は、液体収容部110を上下方向に移動可能に保持してもよいし、水平方向に移動不能に保持してもよい。
保持部130に対する位置を変更可能な固定部140は、1つまたは2つであってもよいし、4つ以上あってもよい。また、全ての固定部140を保持部130に対する位置を変更不可能なように構成してもよい。さらに、固定部140のスライド方向は、水平面に対して交差する方向であってもよい。
液面レベル検出装置5は、ケース回転駆動部52を備えずに、左右方向のみの受光位置を調整する機能のみを備えていてもよいし、ミラー回転駆動部55を備えずに、前後方向のみの受光位置を調整する機能のみを備えていてもよい。
Claims (6)
- チョクラルスキー法によるシリコン単結晶の育成に際し、坩堝に収容されたシリコン融液の液面レベルを三角測量の原理に基づき検出する液面レベル検出装置の調整用治具であって、
内部に収容された液体の液面によって前記シリコン融液の疑似液面を形成可能な液体収容部と、
前記坩堝または前記坩堝を支持する坩堝支持部に取り付け可能に構成され、前記液体収容部を前記坩堝の内部の所定位置に位置決めする位置決め部とを備えていることを特徴とする液面レベル検出装置の調整用治具。 - 請求項1に記載の液面レベル検出装置の調整用治具において、
前記位置決め部は、前記液体収容部を保持する保持部と、前記坩堝の周方向の異なる位置に着脱自在に固定可能な複数の固定部とを備え、
前記複数の固定部のうち少なくとも1つの固定部は、前記保持部に対する水平方向の位置を変更可能に構成されていることを特徴とする液面レベル検出装置の調整用治具。 - チョクラルスキー法によるシリコン単結晶の育成に際し、坩堝に収容されたシリコン融液の液面レベルを三角測量の原理に基づき検出する液面レベル検出装置の調整方法であって、
前記液面レベル検出装置は、前記シリコン融液にレーザ光を出射する発光部と、前記シリコン融液の液面で反射した反射光を受光する受光部と、前記反射光の光路を調整する光路調整部とを備え、
前記調整方法は、
前記シリコン融液が収容されていない前記坩堝または前記坩堝を支持する坩堝支持部に、請求項1または請求項2に記載の調整用治具を、前記液体収容部が前記坩堝の内部に対応する所定位置に位置決めされるように取り付ける治具取り付け工程と、
前記液体収容部内の液体の液面によって形成された前記シリコン融液の疑似液面に対し、前記レーザ光を出射する発光工程と、
前記疑似液面で反射された反射光を受光部で受光する受光工程と、
前記受光部における前記反射光の受光位置が所定位置となるように、前記光路調整部を用いて前記反射光の光路を調整する受光位置調整工程とを備えていることを特徴とする液面レベル検出装置の調整方法。 - 請求項3に記載の液面レベル検出装置の調整方法において、
前記発光工程は、不透明な前記疑似液面に前記レーザ光を出射することを特徴とする液面レベル検出装置の調整方法。 - 請求項4に記載の液面レベル検出装置の調整方法において、
前記受光部として、CCD(Charge Coupled Device)素子を用い、
前記発光工程は、前記不透明な疑似液面に緑色の前記レーザ光を出射することを特徴とする液面レベル検出装置の調整方法。 - 請求項3に記載の液面レベル検出装置の調整方法において、
前記液体収容部に収容された液体は、ガリウム・インジウム・スズ共晶合金であり、
前記発光工程は、前記ガリウム・インジウム・スズ共晶合金の前記疑似液面に前記レーザ光を出射することを特徴とする液面レベル検出装置の調整方法。
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