JP2019041013A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
部分放電評価用に、3.3kV用のパワー半導体装置を作製した。積層基板としては、Cu導電性板厚さ0.3mm、絶縁基板厚さ0.625mmのデンカSINプレート(電気化学工業製、額縁長1.0mm)を用いた。積層基板上に、はんだ及びSiパワー半導体素子、はんだ及び銅ピン、プリント基板を、N2リフロー炉ではんだ接合することにより配設して、被封止部材を得た。次に被封止部材を金型にセットした。封止材としては、脂肪族エポキシ樹脂主剤:jER630(三菱化学製)、硬化剤:jERキュア113(三菱化学製)、無機充填剤(シリカ):エクセリカ 平均粒径数μm〜数十μm(トクヤマ)を、質量比10:5:3で混合したものを用いた。この封止材を真空脱泡し、金型に注入した。これを、100℃、1時間で一次硬化後、150℃、3時間で二次硬化して、パワー半導体モジュールを得た。
高誘電率粒子として酸化銅(CuO)粒子(比誘電率εr=18、平均粒子径1μm)を用いたこと以外は実施例1と同様にして、実施例2のパワー半導体装置を得た。
高誘電率粒子としてチタン酸バリウム(TiBaO3)粒子(比誘電率εr=1450、平均粒子径5μm)を用いたこと以外は実施例3と同様にして、実施例2のパワー半導体装置を得た。
サーマルコンパウンドの調製において、高誘電率粒子としてアルミナフィラー(Al2O3粒子、比誘電率εr=8.3、平均粒子径10μm)を混合したこと以外は実施例1と同様にして、比較例のパワー半導体装置を得た。
実施例1〜3、比較例1のパワー半導体装置について、部分放電評価を実施した。部分放電評価は、AC3.3kVまで徐々に印加し、1分後の放電電荷量が10pC以下の場合に、部分放電が見られなかったものとした。評価結果を表1に示す。部分放電が見られなかった場合、評価は「良好」とし、部分放電が見られた場合は、その場合の電圧を表示した。
Claims (10)
- 半導体素子を実装した積層基板と、封止材とを備える半導体モジュールと、
比誘電率が10以上の高誘電率粒子を含む充填材と、基油とを含むサーマルコンパウンドを介して、前記半導体モジュールに配設された冷却器と
を含む半導体装置。 - 前記高誘電率粒子が、粉末状ポリフッ化ビニリデンを含む、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記高誘電率粒子が、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、酸化ハフニウム(IV)、五酸化タンタル、酸化銅(CuO)から選択される1以上の無機粒子を含む、請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記充填材の含有量が、サーマルコンパウンドの総質量に対し、70質量%以上であって95質量%以下であり、前記充填材が高誘電率粒子からなる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記充填材の含有量が、サーマルコンパウンドの総質量に対し、70質量%以上であって95質量%以下であり、前記高誘電率粒子が、前記充填材の総質量に対し、50質量%以上であって100%未満の量で含まれる、請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記高誘電率粒子が、チタン酸バリウム、酸化チタン(IV)、ジルコニア、五酸化タンタルから選択される1つ以上の無機粒子である、請求項5に記載の半導体装置。
- 前記高誘電率粒子の平均粒子径が、1μm以上であって50μm以下である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記サーマルコンパウンドが、50μm以上であって300μm以下の厚みで形成される、請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記封止材が、エポキシ樹脂を含む、請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記サーマルコンパウンドが、前記積層基板に接して設けられる、請求項1〜9のいずれか1項に記載の半導体装置。
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