JP2019035699A - 付着物測定装置 - Google Patents
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Description
例えば、「ある方向に」、「ある方向に沿って」、「平行」、「直交」、「中心」、「同心」或いは「同軸」等の相対的或いは絶対的な配置を表す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。
例えば、「同一」、「等しい」及び「均質」等の物事が等しい状態であることを表す表現は、厳密に等しい状態を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の差が存在している状態も表すものとする。
例えば、四角形状や円筒形状等の形状を表す表現は、幾何学的に厳密な意味での四角形状や円筒形状等の形状を表すのみならず、同じ効果が得られる範囲で、凹凸部や面取り部等を含む形状も表すものとする。
一方、一の構成要素を「備える」、「具える」、「具備する」、「含む」、又は、「有する」という表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的な表現ではない。
はじめに本発明の少なくとも1実施形態に係る付着物測定装置1’の前提技術について説明する。この前提技術は、以下に説明するように、本願発明者の鋭意研究によって得られた知見に基づくものである。
尚、図1では、壁面2(測定面6)上には測定対象となる厚さtの付着物22が存在している場合が例示されている。
尚、絶縁層の厚さは任意でよいが、装置サイズを小さく抑えるために努めて薄くするとよい。
尚、ガード電極12の外側には絶縁層16を介してケーシング8が配置されている。
尚、ガード電極12は、測定面6と反対側においてケーシング8の開口部8aから外部に露出することにより、外部から電気的に接続可能に構成されている。
尚、リード線L1,L2は寄生容量の影響を抑えるため、同軸ケーブルを用いるとよく、またリード線L1,L2間の静電容量が努めて小さくなるように設計されるとよい。
続いて上述の前提技術を参考に、第1実施形態に係る付着物測定装置1について説明する。図6は第1実施形態に係る付着物測定装置1の内部構成を示す断面図である。尚、上述の前提技術に対応する箇所には共通の符号を付すこととし、重複する説明は適宜省略する。
尚、図7及び図8では、簡略化のためケーシング8より下方の構成は図示を省略している。
続いて第2実施形態に係る付着物測定装置1について説明する。図10は第2実施形態に係る付着物測定装置1の内部構成を示す断面図である。尚、上述の前提技術及び第1実施形態に対応する箇所には共通の符号を付すこととし、重複する説明は適宜省略する。
また比S1/S2、S2/S3及びS3/S1を複数用いて、例えばそれらの平均を算出することで付着物22の厚さtを求めてもよい。
続いて第3実施形態に係る付着物測定装置1について説明する。図12は第3実施形態に係る付着物測定装置1の内部構成を示す断面図である。尚、上述の前提技術及び各実施形態に対応する箇所には共通の符号を付すこととし、重複する説明は適宜省略する。
続いて第4実施形態に係る付着物測定装置1について説明する。図13は第4実施形態に係る付着物測定装置1の内部構成を示す断面図である。尚、上述の前提技術及び各実施形態に対応する箇所には共通の符号を付すこととし、重複する説明は適宜省略する。
尚、図14では、第1中心電極10、第1ガード電極12、第2中心電極52及び第2ガード電極50のうち、第1電源18又は第2電源54によって交流電圧が印加された電極を濃いハッチングで区別して示している。
2 壁面
3 穴部
4 空間
6 測定面
8 ケーシング
8a 開口部
10 中心電極(第1中心電極)
12 ガード電極(第1ガード電極)
14,16,26,27,28,29,51 絶縁層
18 電源(第1電源)
20 電流検出部(第1電流検出部)
22 付着物
24,40 サブ電極
24a 第1サブ電極
24b 第2サブ電極
30,42 切替部
50 第2ガード電極
52 第2中心電極
54 第2交流電源
56 第2電流検出部
56 第2電源
Claims (9)
- 壁面上に付着した付着物の厚さを測定するための付着物測定装置であって、
前記壁面上の空間に面する中心電極と、
前記空間に面し、且つ、前記中心電極と電気的に絶縁されて隣接する少なくとも1つのサブ電極と、
前記空間に面し、且つ、前記少なくとも1つのサブ電極と電気的に絶縁されて隣接するガード電極と、
前記中心電極及び前記ガード電極に交流電圧を印加可能な電源と、
前記中心電極及び前記ガード電極に対する前記少なくとも1つのサブ電極の接続状態を選択的に切替可能な切替部と、
前記中心電極を流れる電流を検出する電流検出部と、
を備え、
前記中心電極及び前記ガード電極に対する前記少なくとも1つのサブ電極の複数の前記接続状態において前記電流検出部でそれぞれ検出された電流の比に基づいて前記付着物の厚さを算出する、付着物測定装置。 - 前記少なくとも1つのサブ電極は単一の前記サブ電極であり、
前記サブ電極が前記中心電極に接続された第1接続状態において前記電流検出部で検出される第1電流と、前記サブ電極が前記ガード電極に接続された第2接続状態において前記電流検出部で検出される第2電流との比に基づいて前記付着物の厚さを算出する、請求項1に記載の付着物測定装置。 - 前記少なくとも1つのサブ電極は、
前記中心電極に電気的に絶縁されて隣接する第1サブ電極と、
前記第1サブ電極に電気的に絶縁されて隣接する第2サブ電極と
を含み、
前記第1サブ電極及び前記第2サブ電極が前記中心電極に接続された第1接続状態において前記電流検出部で検出される第1電流と、前記第1サブ電極が前記中心電極に接続され、且つ、前記第2サブ電極が前記ガード電極に接続された第2接続状態において前記電流検出部で検出される第2電流と、前記第1サブ電極及び前記第2サブ電極が前記ガード電極に接続された第3接続状態において前記電流検出部で検出される第3電流と、のいずれかの比に基づいて前記付着物の厚さを算出する、請求項1に記載の付着物測定装置。 - 前記中心電極は前記ガード電極によって少なくとも部分的に囲まれる、請求項1から3のいずれか一項に記載の付着物測定装置。
- 前記ガード電極及び前記サブ電極は、前記第1電極を中心として同心円状に配置される、請求項4に記載の付着物測定装置。
- 前記中心電極、前記サブ電極及び前記ガード電極は前記壁面と面一に形成される、請求項1から5のいずれか一項に記載の付着物測定装置。
- 壁面上に付着した付着物の厚さを測定するための付着物測定装置であって、
前記壁面上の空間に面する中心電極と、
前記空間に面し、且つ、前記中心電極と電気的に絶縁されて前記中心電極を囲むガード電極と、
前記空間に面し、且つ、前記ガード電極の外側に前記ガード電極と電気的に絶縁されて隣接するサブ電極と、
前記中心電極及び前記ガード電極に交流電圧を印加可能な電源と、
前記ガード電極に対する前記サブ電極の接続状態を選択的に切替可能な切替部と、
前記中心電極を流れる電流を検出する電流検出部と、
を備え、
前記ガード電極は、前記中心電極と前記サブ電極との間に位置する第1領域が、前記第1領域を除く第2領域と異なる幅を有し、
前記ガード電極に対する前記サブ電極の複数の前記接続状態において前記電流検出部でそれぞれ検出された電流の比に基づいて前記付着物の厚さを算出する、付着物測定装置。 - 壁面上に付着した付着物の厚さを測定するための付着物測定装置であって、
前記壁面上の空間に面する第1中心電極と、
前記空間に面し、且つ、前記第1中心電極と電気的に絶縁されて前記第2中心電極を囲む第1ガード電極と、
前記第1中心電極及び前記第1ガード電極に交流電圧を印加可能な第1電源と、
前記第1中心電極及び前記第1ガード電極に対する前記電源の接続状態を選択的に切替可能な第1切替部と、
前記第1中心電極を流れる電流を検出する第1電流検出部と、
前記空間に面し、且つ、前記第1ガード電極の外側に前記ガード電極と電気的に絶縁されて隣接する第2ガード電極と、
前記空間に面し、且つ、前記第2ガード電極によって囲まれる第2中心電極と、
前記第2中心電極及び前記第2ガード電極に交流電圧を印加可能な第2電源と、
前記第2中心電極及び前記第2ガード電極に対する前記第2電源の接続状態を選択的に切替可能な第2切替部と、
前記第2中心電極を流れる電流を検出する第2電流検出部と、
を備え、
前記第1中心電極、前記第1ガード電極、前記第2中心電極及び前記第2ガード電極の異なる接続状態において前記第1電流検出部及び前記第2電流検出部でそれぞれ検出された電流の比に基づいて前記付着物の厚さを算出する、付着物測定装置。 - 前記第1中心電極と前記第2中心電極は所定方向に沿って配列されている、請求項8に記載の付着物測定装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112729051A (zh) * | 2020-12-08 | 2021-04-30 | 广东化一环境科技有限公司 | 介质厚度检测设备 |
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JPH0829111A (ja) * | 1994-07-19 | 1996-02-02 | Kyoto Jushi Seiko Kk | 静電容量計を用いた厚みまたは変位測定装置、および静電容量計を用いた厚みまたは変位測定方法 |
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-
2017
- 2017-08-18 JP JP2017158156A patent/JP6924652B2/ja active Active
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