JP2019029374A - Wafer processing method - Google Patents

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Abstract

To provide a method for processing a wafer with reduced polishing failures of a wafer.SOLUTION: A wafer processing method of an embodiment comprises: a prescribed value setting step of setting an appropriate inclination θ of a rotational axis 92 of a chuck table 9 to a polishing unit 5 as a prescribed value; a grinding step of grinding the wafer 200 held on the chuck table 9 by a rough grinding unit and a finish grinding unit; a polishing preparation step of positioning the polished wafer 200 blow the polishing unit 5 by rotating a turn table; a rotational axis adjusting step of adjusting the inclination θ of the rotational axis 92 of the chuck table 9 positioned below the polishing unit 5 to the prescribed value by causing a control device to drive inclination adjusting means; and a polishing step of polishing the wafer 200 by the polishing unit 5.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

ウエーハを加工するウエーハの加工方法に関する。   The present invention relates to a wafer processing method for processing a wafer.

一般に、半導体デバイスが表面に形成されたシリコンなどからなる半導体ウエーハや、光デバイスが形成されたサファイア、ＳｉＣ（炭化ケイ素）などからなる光デバイスウエーハなどの各種ウエーハは、裏面側が研削砥石で研削されて薄化された（例えば、特許文献１参照）後、裏面が研磨される。この種のウエーハを加工する加工装置として、ウエーハをそれぞれ保持する複数のチャックテーブルと、複数のチャックテーブルが配設されるターンテーブルと、チャックテーブルの上方にそれぞれ設けられる粗研削用の研削手段、仕上げ研削用の研削手段及び研磨手段と、を有し、１枚のウエーハを粗研削、仕上げ研削、研磨、という順序で連続して加工するものが知られている。   In general, various wafers such as semiconductor wafers made of silicon with semiconductor devices formed on the surface and optical device wafers made of sapphire, SiC (silicon carbide) with optical devices formed on the back side are ground with a grinding wheel. After being thinned (for example, see Patent Document 1), the back surface is polished. As a processing apparatus for processing this type of wafer, a plurality of chuck tables each holding a wafer, a turntable provided with a plurality of chuck tables, and a grinding means for rough grinding provided above the chuck table, 2. Description of the Related Art It is known to have a grinding means and a polishing means for finish grinding, and continuously process one wafer in the order of rough grinding, finish grinding, and polishing.

この種の加工装置では、加工後のウエーハの厚みばらつきを抑えるために、仕上げ研削用の研削手段に対して、チャックテーブルの回転軸の傾きが調整される。複数のチャックテーブルは、それぞれチャックテーブルを支える部材（土台部やポーラス部）の高さや形状に個体差がある。このため、チャックテーブル毎に回転軸の傾きが異なる状態が生じる場合がある。これに対して、最終加工を行う研磨用の研磨手段では、従来、チャックテーブルの回転軸の傾きの調整は行われていない。   In this type of processing apparatus, the tilt of the rotation axis of the chuck table is adjusted with respect to the grinding means for finish grinding in order to suppress the thickness variation of the processed wafer. Each of the plurality of chuck tables has individual differences in height and shape of members (base portions and porous portions) that support the chuck tables. For this reason, a state in which the inclination of the rotating shaft differs for each chuck table may occur. On the other hand, in the polishing means for polishing that performs the final processing, conventionally, the inclination of the rotation axis of the chuck table has not been adjusted.

この理由は、（１）研磨する量が数ｕｍと微少であること、（２）研磨パッドは研削用ホイールに比べて柔らかい素材であるため、ウエーハを保持するチャックテーブルの回転軸の傾きが、チャックテーブル毎に多少異なっていても、研磨パッドをウエーハに押し当てて研削する際に研磨パッドが変形してウエーハに押し当てられて研磨がされること、（３）たとえ研磨不良が発生しても、品質に影響のない範囲であったためである。   This is because (1) the amount to be polished is as small as several um, and (2) the polishing pad is a soft material compared to the grinding wheel, so the inclination of the rotation axis of the chuck table holding the wafer is Even if the chuck table is slightly different, when the polishing pad is pressed against the wafer and ground, the polishing pad is deformed and pressed against the wafer for polishing. (3) Even if a polishing failure occurs. This is because it was in a range that did not affect the quality.

特開２０１３−１１９１２３号公報JP 2013-119123 A

ところで、近年、研磨パッドの材質が多様化しており、チャックテーブルの回転軸の傾きに追従して変形できない固さを有する研磨パッドも存在している。この種の研磨パッドを用いて、研磨加工を行った場合、チャックテーブルの回転軸の傾きによっては、ウエーハの加工面に品質に支障をきたす未加工領域や焦げ等の研磨不良が発生するといった問題があった。また。品質に影響が無い場合も見栄えが悪いという理由で加工面の未加工領域や焦げを解消したいという要望があった。   By the way, in recent years, the materials of the polishing pad are diversified, and there are polishing pads having a hardness that cannot be deformed following the inclination of the rotation axis of the chuck table. When this type of polishing pad is used for polishing, depending on the inclination of the rotation axis of the chuck table, there is a problem in that polishing defects such as unprocessed areas and scoring that cause quality problems on the processed surface of the wafer may occur. was there. Also. There has been a demand for eliminating unprocessed areas and scorching on the processed surface because the appearance is poor even when the quality is not affected.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ウエーハの研磨不良の低減を図ったウエーハの加工方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a method for processing a wafer in which defective polishing of the wafer is reduced.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、ウエーハを回転可能に保持するチャックテーブルと、該ウエーハを研削する研削手段と、該研削手段によって研削されたウエーハを研磨する研磨手段と、該チャックテーブルを複数配設した回転可能なターンテーブルと、各構成要素を駆動制御する制御部と、を少なくとも備える加工装置によって、該ウエーハを所定厚みまで薄化するウエーハの加工方法であって、該チャックテーブルは、該ウエーハを保持する保持面と、該保持面の中心を通る回転軸と、該回転軸の傾きを調整する傾き調整手段と、を少なくとも備え、該研磨手段に対する該回転軸の適切な傾きを規定値として設定する規定値設定ステップと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを該研削手段によって研削する研削ステップと、該研削ステップにおいて研削されたウエーハを、該ターンテーブルを回転させて該研磨手段の下に位置づける研磨準備ステップと、該制御部が該傾き調整手段を駆動させ、該研磨手段の下に位置する該チャックテーブルの該回転軸の傾きを該規定値に調整する回転軸調整ステップと、該研磨手段によって該ウエーハを研磨する研磨ステップと、を備えることを特徴とする。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention provides a chuck table that rotatably holds a wafer, a grinding means that grinds the wafer, and a polishing that polishes the wafer ground by the grinding means. A wafer processing method for thinning the wafer to a predetermined thickness by a processing device comprising at least means, a rotatable turntable provided with a plurality of chuck tables, and a control unit that drives and controls each component. The chuck table includes at least a holding surface for holding the wafer, a rotating shaft passing through the center of the holding surface, and an inclination adjusting means for adjusting the inclination of the rotating shaft, A specified value setting step for setting an appropriate inclination of the rotating shaft as a specified value, and the wafer held on the chuck table is ground by the grinding means. A grinding step, a polishing preparation step of positioning the wafer ground in the grinding step under the polishing means by rotating the turntable, the control unit drives the inclination adjusting means, A rotating shaft adjusting step for adjusting the inclination of the rotating shaft of the chuck table positioned below to the specified value, and a polishing step for polishing the wafer by the polishing means are provided.

この構成によれば、研磨手段に対する適切なチャックテーブルの回転軸の傾きの規定値を事前に設定しているため、研磨開始前にチャックテーブルの回転軸の傾きを調整することができ、ウエーハの研磨不良を防止することができる。   According to this configuration, since an appropriate specified value of the inclination of the rotation axis of the chuck table with respect to the polishing means is set in advance, the inclination of the rotation axis of the chuck table can be adjusted before the polishing is started. Polishing defects can be prevented.

また、該規定値設定ステップにおいて、該回転軸の傾きの規定値は、研磨対象となるウエーハの種別、及び、該研磨手段が備える研磨パッドの種別をそれぞれ組み合わせたパターンごとに、事前に実験に基づいて設定されており、該ウエーハの種別及び該研磨パッドの種別が選択されると、該回転軸調整ステップにおいて、制御部は、該回転軸の傾きを該当するパターンに応じた規定値に調整してもよい。   Further, in the specified value setting step, the specified value of the inclination of the rotation axis is determined in advance for each pattern obtained by combining the type of wafer to be polished and the type of polishing pad provided in the polishing unit. When the wafer type and the polishing pad type are selected, the control unit adjusts the inclination of the rotation axis to a specified value corresponding to the corresponding pattern when the wafer type and the polishing pad type are selected. May be.

本発明によれば、研磨手段に対する適切なチャックテーブルの回転軸の傾きの規定値を事前に設定しているため、研磨開始前にチャックテーブルの回転軸の傾きを調整することができ、ウエーハの研磨不良を防止することができる。   According to the present invention, since an appropriate specified value of the inclination of the rotation axis of the chuck table with respect to the polishing means is set in advance, the inclination of the rotation axis of the chuck table can be adjusted before the polishing is started. Polishing defects can be prevented.

図１は、本実施形態に係るウエーハの加工方法の加工対象のウエーハの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a wafer to be processed by the wafer processing method according to the present embodiment. 図２は、本実施形態に係るウエーハの加工方法で用いられる研削研磨装置の構成例の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a configuration example of a grinding and polishing apparatus used in the wafer processing method according to the present embodiment. 図３は、図２に示す研削研磨装置の研磨ユニット、チャックテーブル及び傾き調整機構を示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing a polishing unit, a chuck table, and an inclination adjusting mechanism of the grinding and polishing apparatus shown in FIG. 図４は、図３に示す傾き調整機構を構成する位置調整ユニットの配置例を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing an arrangement example of the position adjustment units constituting the tilt adjustment mechanism shown in FIG. 図５は、研磨ユニットに対してチャックテーブルを傾けた状態を示す模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing a state in which the chuck table is tilted with respect to the polishing unit. 図６は、本実施形態に係るウエーハの加工方法の手順を示すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart showing the procedure of the wafer processing method according to this embodiment.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. The constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the structures described below can be combined as appropriate. Various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the scope of the present invention.

本実施形態に係るウエーハの加工方法を図面に基づいて説明する。図１は、本実施形態に係るウエーハの加工方法の加工対象のウエーハの斜視図である。図２は、本実施形態に係るウエーハの加工方法で用いられる研削研磨装置の構成例の斜視図である。図３は、図２に示す研削研磨装置の研磨ユニット、チャックテーブル及び傾き調整機構を示す側面図である。図４は、図３に示す傾き調整機構を構成する位置調整ユニットの配置例を示す平面図である。図５は、研磨ユニットに対してチャックテーブルを傾けた状態を示す模式図である。   A wafer processing method according to this embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of a wafer to be processed by the wafer processing method according to the present embodiment. FIG. 2 is a perspective view of a configuration example of a grinding and polishing apparatus used in the wafer processing method according to the present embodiment. FIG. 3 is a side view showing a polishing unit, a chuck table, and an inclination adjusting mechanism of the grinding and polishing apparatus shown in FIG. FIG. 4 is a plan view showing an arrangement example of the position adjustment units constituting the tilt adjustment mechanism shown in FIG. FIG. 5 is a schematic diagram showing a state in which the chuck table is tilted with respect to the polishing unit.

本実施形態に係るウエーハの加工方法は、図１に示すウエーハ２００の裏面２０１を研削及び研磨する加工方法であって、ウエーハ２００を所定の仕上げ厚さに薄化する方法である。本実施形態に係るウエーハの加工方法の加工対象であるウエーハ２００は、シリコンを母材とする円板状の半導体ウエーハやサファイア、ＳｉＣ（炭化ケイ素）などを母材とする光デバイスウエーハである。ウエーハ２００は、図１に示すように、表面２０２に形成された格子状の分割予定ライン２０３に区画された複数の領域にデバイス２０４が形成されている。ウエーハ２００は、図２に示すように、表面２０２に保護部材２０５が貼着された状態で、研削研磨装置１によって裏面２０１に研削が施されて、所定の厚さまで薄化された後に、該裏面２０１に研磨が施される。保護部材２０５は、ウエーハ２００と同じ大きさの円板状に形成され、可撓性を有する合成樹脂により構成されている。   The wafer processing method according to the present embodiment is a processing method of grinding and polishing the back surface 201 of the wafer 200 shown in FIG. 1, and is a method of thinning the wafer 200 to a predetermined finish thickness. A wafer 200 to be processed by the wafer processing method according to this embodiment is a disk-shaped semiconductor wafer having silicon as a base material, an optical device wafer having sapphire, SiC (silicon carbide), or the like as a base material. As shown in FIG. 1, the wafer 200 has devices 204 formed in a plurality of regions partitioned by lattice-shaped division planned lines 203 formed on the surface 202. As shown in FIG. 2, the wafer 200 is ground on the back surface 201 by the grinding and polishing apparatus 1 with the protective member 205 adhered to the front surface 202 and thinned to a predetermined thickness. The back surface 201 is polished. The protection member 205 is formed in a disk shape having the same size as the wafer 200 and is made of a flexible synthetic resin.

研削研磨装置１は、図２に示すように、装置本体２と、粗研削ユニット（研削手段）３と、仕上げ研削ユニット（研削手段）４と、研磨ユニット（研磨手段）５と、研磨ユニット移動機構６と、加工液供給ユニット７と、ターンテーブル８上に設置された例えば４つのチャックテーブル９（９ａ〜９ｄ）と、カセット１１，１２と、ポジションテーブル１３と、搬送アーム１５と、ロボットピック１６と、スピンナー洗浄装置１７と、制御装置（制御部）１００とを主に備えている。   As shown in FIG. 2, the grinding and polishing apparatus 1 includes an apparatus main body 2, a rough grinding unit (grinding means) 3, a finish grinding unit (grinding means) 4, a polishing unit (polishing means) 5, and a polishing unit moving. For example, four chuck tables 9 (9a to 9d) installed on a turntable 8, a cassette 11, 12, a position table 13, a transfer arm 15, a robot pick, a mechanism 6, a processing liquid supply unit 7, 16, a spinner cleaning device 17, and a control device (control unit) 100.

粗研削ユニット３は、スピンドル３ａの下端に装着された粗研削ホイール３ｂを回転させながら、チャックテーブル９に保持されたウエーハ２００の裏面２０１に押圧することによって、該ウエーハ２００の裏面２０１を粗研削加工する。同様に、仕上げ研削ユニット４は、スピンドル４ａに装着された仕上げ研削ホイール４ｂを回転させながら、上記粗研削された後のウエーハ２００の裏面２０１に押圧することによって、該ウエーハ２００の裏面２０１で仕上げ研削加工する。   The rough grinding unit 3 performs rough grinding on the back surface 201 of the wafer 200 by pressing the back surface 201 of the wafer 200 held on the chuck table 9 while rotating the rough grinding wheel 3b mounted on the lower end of the spindle 3a. Process. Similarly, the finish grinding unit 4 finishes the back surface 201 of the wafer 200 by pressing the back surface 201 of the wafer 200 after the rough grinding while rotating the finish grinding wheel 4b mounted on the spindle 4a. Grind.

研磨ユニット５は、図３に示すように、スピンドル５ａの下端に研磨マウント５ｃを介して装着された研磨パッド５ｂを備える。研磨パッド５ｂは、スピンドル５ａと共に、この研磨パッド５ｂの中心を通る図３中に一点鎖線で示す回転軸５３を中心に回転しながら、チャックテーブル９に保持された仕上げ研削加工後のウエーハ２００の裏面２０１に押圧することによって、該ウエーハ２００の裏面２０１を研磨加工する。研磨パッド５ｂは、研磨対象となるウエーハ２００の形状に追従して変形し、研磨パッド５ｂの下面は、ウエーハ２００の裏面２０１に接触して該裏面２０１の研磨面となる。   As shown in FIG. 3, the polishing unit 5 includes a polishing pad 5b attached to the lower end of the spindle 5a via a polishing mount 5c. The polishing pad 5b rotates together with the spindle 5a along the center of the polishing pad 5b about a rotating shaft 53 indicated by a one-dot chain line in FIG. 3 while the wafer 200 after finish grinding held on the chuck table 9 is held. By pressing the back surface 201, the back surface 201 of the wafer 200 is polished. The polishing pad 5b deforms following the shape of the wafer 200 to be polished, and the lower surface of the polishing pad 5b comes into contact with the back surface 201 of the wafer 200 and becomes the polishing surface of the back surface 201.

研磨ユニット移動機構６は、図２に示すように、研磨ユニット５を水平方向（研磨パッド５ｂの径方向、図２ではＸ軸方向）および垂直方向（スピンドル５ａの軸方向、図２ではＺ軸方向）に移動させることができる。加工液供給ユニット７は、研磨加工時に、研削加工後のウエーハ２００の裏面２０１に研磨液と洗浄液とを選択的に供給する。この加工液供給ユニット７は、加工液供給路７２を介して、研磨ユニット５の上端部と連結され、研磨ユニット５に研磨液または洗浄液を供給する。   As shown in FIG. 2, the polishing unit moving mechanism 6 moves the polishing unit 5 in the horizontal direction (the radial direction of the polishing pad 5b, the X axis direction in FIG. 2) and the vertical direction (the axial direction of the spindle 5a, the Z axis in FIG. 2). Direction). The processing liquid supply unit 7 selectively supplies the polishing liquid and the cleaning liquid to the back surface 201 of the wafer 200 after grinding during polishing. The machining liquid supply unit 7 is connected to the upper end portion of the polishing unit 5 through the machining liquid supply path 72 and supplies the polishing liquid or the cleaning liquid to the polishing unit 5.

ターンテーブル８は、装置本体２の上面に設けられた円盤状のテーブルであり、水平方向に回転可能に設けられ、所定のタイミングで回転駆動される。このターンテーブル８上には，例えば、４つのチャックテーブル９（９ａ〜９ｄ）が、例えば９０度の位相角で等間隔に配設されている。   The turntable 8 is a disk-shaped table provided on the upper surface of the apparatus main body 2, is provided so as to be rotatable in the horizontal direction, and is driven to rotate at a predetermined timing. On the turntable 8, for example, four chuck tables 9 (9a to 9d) are arranged at equal intervals with a phase angle of 90 degrees, for example.

チャックテーブル９は、図３に示すように、ウエーハ２００の表面２０２側を、保護部材２０５を介して保持する保持面９１と、保持面９１の中心を通る図３中に一点鎖線で示す回転軸９２と、この回転軸９２を鉛直方向に対して傾斜させる傾き調整機構（傾き調整手段）４０とを備える。チャックテーブル９は、保持面９１に真空チャックを備えたチャックテーブル構造のものであり、保持面９１に載置されたウエーハ２００を真空吸着して保持する。   As shown in FIG. 3, the chuck table 9 has a holding surface 91 for holding the surface 202 side of the wafer 200 via a protective member 205, and a rotation axis indicated by a one-dot chain line in FIG. 92 and a tilt adjusting mechanism (tilt adjusting means) 40 that tilts the rotating shaft 92 with respect to the vertical direction. The chuck table 9 has a chuck table structure in which a holding surface 91 includes a vacuum chuck, and holds the wafer 200 placed on the holding surface 91 by vacuum suction.

保持面９１は、図５に詳細に示すように、外周部９１Ｂが中心９１Ａに比べて僅かに低い円錐状に形成されている。即ち、保持面９１は、中心９１Ａを頂点とした円錐面に形成されて、中心９１Ａから外周部９１Ｂに向けて下降する傾斜を有する斜面に形成されている。チャックテーブル９は、加工対象のウエーハ２００を保持面９１の円錐面にならって保持する。なお、図５は、保持面９１の円錐面の傾斜を誇張して示しているが、保持面９１の円錐面の傾斜は、実際には肉眼では認識できないほどの僅かな傾斜である。   As shown in detail in FIG. 5, the holding surface 91 has a conical shape in which the outer peripheral portion 91 </ b> B is slightly lower than the center 91 </ b> A. That is, the holding surface 91 is formed as a conical surface having the center 91A as a vertex, and is formed as an inclined surface having an inclination descending from the center 91A toward the outer peripheral portion 91B. The chuck table 9 holds the wafer 200 to be processed following the conical surface of the holding surface 91. FIG. 5 exaggerates the inclination of the conical surface of the holding surface 91, but the inclination of the conical surface of the holding surface 91 is so slight that it cannot be recognized by the naked eye.

傾き調整機構４０は、各チャックテーブル９に取り付けられている。傾き調整機構４０は、回転軸９２の鉛直方向（Ｚ方向）に対する傾きθ（図５）を変更（調整）するためのものである。傾き調整機構４０は、図３に示すように、支持台２２と、支持台２２に連結された位置調整ユニット２３とを備える。支持台２２は、図示しない軸受を介してチャックテーブル９を回転自在に支持する円筒状に形成された支持筒部２２０と、支持筒部２２０から拡径したフランジ部２２１とを備える。傾き調整機構４０は、フランジ部２２１の傾きを調整することにより、回転軸９２の傾きθを調整する。   The tilt adjustment mechanism 40 is attached to each chuck table 9. The tilt adjusting mechanism 40 is for changing (adjusting) the tilt θ (FIG. 5) with respect to the vertical direction (Z direction) of the rotating shaft 92. As shown in FIG. 3, the tilt adjustment mechanism 40 includes a support base 22 and a position adjustment unit 23 connected to the support base 22. The support base 22 includes a cylindrical support cylinder portion 220 that rotatably supports the chuck table 9 via a bearing (not shown), and a flange portion 221 that has a diameter increased from the support cylinder portion 220. The tilt adjustment mechanism 40 adjusts the tilt θ of the rotating shaft 92 by adjusting the tilt of the flange portion 221.

位置調整ユニット２３は、図４に示すように、フランジ部２２１の円弧に沿って、等間隔に２つ以上設けられている。本実施形態において、傾き調整機構４０は、１２０度間隔で２つの位置調整ユニット２３と、フランジ部２２１を固定する固定部２３ａとを配置しているが、本発明では、位置調整ユニット２３を３つ以上配置しても良い。   As shown in FIG. 4, two or more position adjustment units 23 are provided at equal intervals along the arc of the flange portion 221. In the present embodiment, the tilt adjustment mechanism 40 includes the two position adjustment units 23 and the fixing portion 23a that fixes the flange portion 221 at intervals of 120 degrees. Two or more may be arranged.

位置調整ユニット２３は、図３に示すように、ターンテーブル８に固定された筒部２３０と、筒部２３０を貫通するシャフト２３１と、シャフト２３１の下端に連結された駆動部２３２と、シャフト２３１の上端においてフランジ部２２１に固定された固定部２３３とを備える。駆動部２３２は、シャフト２３１を回転させるモータ２３２ａと、シャフト２３１の回転速度を弱めるとともにターンテーブル８に固定された減速機２３２ｂとを備える。   As shown in FIG. 3, the position adjustment unit 23 includes a cylindrical portion 230 fixed to the turntable 8, a shaft 231 that penetrates the cylindrical portion 230, a drive portion 232 that is connected to the lower end of the shaft 231, and a shaft 231. And a fixing portion 233 fixed to the flange portion 221 at the upper end of. The drive unit 232 includes a motor 232 a that rotates the shaft 231, and a speed reducer 232 b that weakens the rotation speed of the shaft 231 and is fixed to the turntable 8.

固定部２３３は、シャフト２３１の上端部に形成された図示しない雄ねじが螺合する図示しない雌ねじが設けられている。位置調整ユニット２３は、モータ２３２ａが減速機２３２ｂを介してシャフト２３１を軸心回りに回転することで、回転軸９２の傾きθを調整する。また、ターンテーブル８には、チャックテーブル９を回転軸９２を中心に回転するモータ２４が取り付けられている。   The fixing portion 233 is provided with a female screw (not shown) to which a male screw (not shown) formed at the upper end of the shaft 231 is screwed. The position adjustment unit 23 adjusts the inclination θ of the rotation shaft 92 by the motor 232a rotating the shaft 231 around the axis via the speed reducer 232b. A motor 24 that rotates the chuck table 9 about the rotation shaft 92 is attached to the turntable 8.

チャックテーブル９は、研削時及び研磨時には、回転軸９２を中心として、モータ２４により回転駆動される。このようなチャックテーブル９は、ターンテーブル８の回転によって、図２に示すように、搬入搬出領域Ａ、粗研削領域Ｂ、仕上げ研削領域Ｃ、研磨領域Ｄの順番に移動して周回する。   The chuck table 9 is rotationally driven by the motor 24 around the rotation shaft 92 during grinding and polishing. As shown in FIG. 2, the chuck table 9 moves around in order of the carry-in / carry-out area A, the rough grinding area B, the finish grinding area C, and the polishing area D as the turntable 8 rotates.

カセット１１，１２は、複数のスロットを有するウエーハ２００用の収容器である。一方のカセット１１は、研削研磨前のウエーハ２００を収容し、他方のカセット１２は、研磨加工後のウエーハ２００を収容する。ポジションテーブル１３は、カセット１１から取り出されたウエーハ２００が仮置きされて，その中心位置合わせを行うためのテーブルである。   The cassettes 11 and 12 are containers for the wafer 200 having a plurality of slots. One cassette 11 accommodates the wafer 200 before grinding and polishing, and the other cassette 12 accommodates the wafer 200 after polishing. The position table 13 is a table on which the wafer 200 taken out from the cassette 11 is temporarily placed and its center position is aligned.

搬送アーム１５は，水平方向（Ｙ軸方向）に移動可能に構成されており、ポジションテーブル１３に載置された研削研磨前のウエーハ２００を搬送して，搬入搬出領域Ａに位置するチャックテーブル９ａに載置する。また，搬送アーム１５は，搬入搬出領域Ａに位置するチャックテーブル９ａに載置された研磨後のウエーハ２００を搬送して、スピンナー洗浄装置１７のスピンナーテーブルに載置する。   The transfer arm 15 is configured to be movable in the horizontal direction (Y-axis direction). The transfer arm 15 transfers the unpolished wafer 200 placed on the position table 13 and is located in the loading / unloading area A. Placed on. Further, the transport arm 15 transports the polished wafer 200 placed on the chuck table 9 a located in the carry-in / out area A and places it on the spinner table of the spinner cleaning device 17.

ロボットピック１６は，ウエーハ保持部（例えば，Ｕ字型ハンド）１６Ａを備え，このウエーハ保持部１６Ａによってウエーハ２００を吸着保持して搬送する。具体的には，ロボットピック１６は，研削研磨前のウエーハ２００をカセット１１からポジションテーブル１３へ搬送する。また，研磨後のウエーハ２００をスピンナー洗浄装置１７からカセット１２へ搬送する。スピンナー洗浄装置１７は，研磨後のウエーハ２００を洗浄して、研削および研磨された加工面に付着している研削屑や研磨屑等のコンタミネーションを除去する。   The robot pick 16 includes a wafer holding unit (for example, a U-shaped hand) 16A, and the wafer 200 is sucked and held by the wafer holding unit 16A and conveyed. Specifically, the robot pick 16 conveys the wafer 200 before grinding and polishing from the cassette 11 to the position table 13. Further, the polished wafer 200 is transported from the spinner cleaning device 17 to the cassette 12. The spinner cleaning device 17 cleans the polished wafer 200 and removes contamination such as grinding scraps and polishing scraps adhering to the ground and polished processed surface.

制御装置１００は、研削研磨装置１を構成する上述した構成要素をそれぞれ制御するものである。即ち、制御装置１００は、ウエーハ２００に対する研削研磨動作を研削研磨装置１に実行させるものである。制御装置１００は、コンピュータプログラムを実行可能なコンピュータである。制御装置１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理部１０１と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶部１０２と、入出力インタフェース装置とを有する。演算処理部１０１は、ＲＯＭに記憶されているコンピュータプログラムをＲＡＭ上で実行して、研削研磨装置１を制御するための制御信号を生成し、生成された制御信号は入出力インタフェース装置を介して研削研磨装置１の各構成要素に出力される。   The control device 100 controls the above-described components constituting the grinding / polishing device 1. That is, the control device 100 causes the grinding / polishing device 1 to perform a grinding / polishing operation on the wafer 200. The control device 100 is a computer that can execute a computer program. The control device 100 includes an arithmetic processing unit 101 having a microprocessor such as a CPU (central processing unit), a storage unit 102 having a memory such as a read only memory (ROM) or a random access memory (RAM), and input / output And an interface device. The arithmetic processing unit 101 executes a computer program stored in the ROM on the RAM to generate a control signal for controlling the grinding and polishing apparatus 1, and the generated control signal is transmitted via the input / output interface device. Output to each component of the grinding and polishing apparatus 1.

また、本実施形態の記憶部１０２には、研磨加工を行う際に、研磨ユニット５に対するチャックテーブル９の回転軸９２の傾きθの規定値が設定されたデータベース１０３が記憶されている。このデータベース１０３には、例えば、ウエーハ２００の種別（材質や大きさ）と、研磨パッド５ｂの種別（例えば、研磨パッド５ｂの素材や硬度、研磨パッド５ｂの砥粒の有無や砥粒の種類）とをそれぞれ組み合わせたパターンごとに、適切な傾きθの規定値が設定されている。この規定値は、仕上げ研削後のウエーハ２００を複数用意し、これらのウエーハ２００に対して、上記したパターンごとに回転軸９２の傾きθを変更しながら研磨する実験を事前に行い、研磨後の状態をそれぞれ観察することにより設定される。   The storage unit 102 of the present embodiment stores a database 103 in which a prescribed value of the inclination θ of the rotation shaft 92 of the chuck table 9 with respect to the polishing unit 5 is set when performing polishing. The database 103 includes, for example, the type (material and size) of the wafer 200 and the type of the polishing pad 5b (for example, the material and hardness of the polishing pad 5b, the presence / absence of abrasive grains and the type of abrasive grains). An appropriate specified value of the inclination θ is set for each pattern combining the above. This specified value is obtained by preparing a plurality of wafers 200 after finish grinding and conducting an experiment in advance for polishing the wafers 200 while changing the inclination θ of the rotation shaft 92 for each pattern described above. It is set by observing each state.

また、本実施形態のように、複数（４つ）のチャックテーブル９（９ａ〜９ｄ）がターンテーブル８と共に回転する構成では、チャックテーブル９ａ〜９ｄの個体差も発生するため、上記した実験を実機（チャックテーブル９ａ〜９ｄ）に載せて行い、データベース１０３には、チャックテーブル９ａ〜９ｄの番号を記憶しておくことが好ましい。また、データベース１０３に、ウエーハ２００に対する研磨加工の条件（化学的機械的研磨やゲッタリング層加工など）を追加してもよい。この構成では、事前に様々なパターンに応じて、チャックテーブル９の傾きθの規定値を設定しておくため、実際の研磨ステップにおいて、該当するパターンに対応する規定値を選んでチャックテーブル９の位置調整ユニット２３を駆動させればよい。このため、研磨対象のウエーハ２００や研磨パッド５ｂの種別が変わっても、適切な研磨加工を行うことができ、研磨不良の発生を防止することができる。   Further, in the configuration in which a plurality (four) of the chuck tables 9 (9a to 9d) rotate together with the turntable 8 as in the present embodiment, individual differences of the chuck tables 9a to 9d also occur. It is preferable to place the number on the actual machine (chuck tables 9a to 9d) and store the numbers of the chuck tables 9a to 9d in the database 103. Further, polishing conditions for the wafer 200 (chemical mechanical polishing, gettering layer processing, etc.) may be added to the database 103. In this configuration, since the specified value of the inclination θ of the chuck table 9 is set in advance according to various patterns, the specified value corresponding to the corresponding pattern is selected in the actual polishing step to select the chuck table 9. The position adjustment unit 23 may be driven. For this reason, even if the type of the wafer 200 or the polishing pad 5b to be polished is changed, an appropriate polishing process can be performed and the occurrence of defective polishing can be prevented.

次に、本実施形態に係るウエーハの加工方法について説明する。図６は、ウエーハの加工方法の手順を示すフローチャートである。まず、研磨ユニット５に対するチャックテーブル９の回転軸９２の適切な傾きθを規定値として設定する（ステップＳ１；規定値設定ステップ）。この規定値設定ステップは、実際のウエーハ２００の加工よりも前に行われる。例えば、研磨対象としてのウエーハ２００が素材や大きさを異ならせて複数種類存在し、研磨パッド５ｂの素材や硬さ、もしくは、砥粒の有無、砥粒の種類を異ならせて複数種類存在する。   Next, a wafer processing method according to this embodiment will be described. FIG. 6 is a flowchart showing the procedure of the wafer processing method. First, an appropriate inclination θ of the rotation shaft 92 of the chuck table 9 with respect to the polishing unit 5 is set as a specified value (step S1; specified value setting step). This specified value setting step is performed before the actual processing of the wafer 200. For example, there are a plurality of types of wafers 200 to be polished with different materials and sizes, and there are a plurality of types with different materials and hardness of the polishing pad 5b, presence / absence of abrasive grains, and types of abrasive grains. .

作業者は、複数種類（種別）のウエーハ２００と研磨パッド５ｂとの組み合わせのパターンを作成する。そして、１つの組み合わせのパターンごとに、チャックテーブル９の保持面９１に保持された複数のウエーハ２００を、研磨ユニット５に対するチャックテーブル９の回転軸９２の傾きθを変更しつつ研磨加工を行う実験を行う。そして、研磨後の加工状態の良否を判別し、適切な（最適な）加工状態に研磨加工できた傾きθを、ウエーハ２００及び研磨パッド５ｂの組み合わせのパターンと共にデータベース１０３に記憶させる。   The operator creates a combination pattern of a plurality of types (types) of wafers 200 and polishing pads 5b. An experiment in which polishing is performed on a plurality of wafers 200 held on the holding surface 91 of the chuck table 9 while changing the inclination θ of the rotation shaft 92 of the chuck table 9 with respect to the polishing unit 5 for each combination pattern. I do. Then, the quality of the processed state after polishing is determined, and the inclination θ that has been polished to an appropriate (optimal) processed state is stored in the database 103 together with the combination pattern of the wafer 200 and the polishing pad 5b.

この作業は、使用されるウエーハ及び研磨パッドの組み合わせの数だけ事前に実行し、その適切な（最適な）傾きθを組み合わせのパターンと共にデータベース１０３に記憶する。ここで、本実施形態で使用される研削研磨装置１のように、複数（４つ）のチャックテーブル９（９ａ〜９ｄ）がターンテーブル８と共に回転する構成では、チャックテーブル９ａ〜９ｄの個体差も発生するため、上記した実験をチャックテーブル９ａ〜９ｄごとに行い、データベース１０３には、チャックテーブル９ａ〜９ｄの番号を合わせて記憶しておくことが好ましい。また、ウエーハ２００に対する研磨加工の条件が複数存在する場合には、各条件（例えば、化学的機械的研磨やゲッタリング層加工など）をデータベース１０３に追加することが好ましい。   This operation is executed in advance for the number of combinations of wafers and polishing pads to be used, and the appropriate (optimum) inclination θ is stored in the database 103 together with the combination pattern. Here, in the configuration in which a plurality (four) of the chuck tables 9 (9a to 9d) rotate together with the turntable 8 as in the grinding and polishing apparatus 1 used in the present embodiment, individual differences between the chuck tables 9a to 9d. Therefore, the experiment described above is preferably performed for each chuck table 9a to 9d, and the database 103 preferably stores the numbers of the chuck tables 9a to 9d together. Further, when there are a plurality of polishing conditions for the wafer 200, it is preferable to add each condition (for example, chemical mechanical polishing, gettering layer processing, etc.) to the database 103.

上記した規定値設定ステップを事前に行い、この規定値設定ステップで設定された規定値に基づいて研削研磨加工が実行される。この研削研磨加工を開始する際に、加工対象であるウエーハ２００の種別や、研磨ユニット５に設けられた研磨パッド５ｂの種別が選択されて登録される。   The above-mentioned specified value setting step is performed in advance, and the grinding / polishing process is executed based on the specified value set in the specified value setting step. When starting the grinding / polishing process, the type of the wafer 200 to be processed and the type of the polishing pad 5b provided in the polishing unit 5 are selected and registered.

次に、ウエーハ２００をチャックテーブル９の保持面９１に保持する（ステップＳ２；保持ステップ）。ウエーハ２００は、表面２０２側に保護部材２０５が貼着され、裏面２０１側を上方に向けて、ターンテーブル８の搬入搬出領域Ａにてチャックテーブル９の保持面９１に保持される。   Next, the wafer 200 is held on the holding surface 91 of the chuck table 9 (step S2; holding step). The wafer 200 is held by the holding surface 91 of the chuck table 9 in the loading / unloading area A of the turntable 8 with the protective member 205 attached to the front surface 202 side and the back surface 201 side facing upward.

次に、チャックテーブル９に保持されたウエーハ２００に対して粗研削及び仕上げ研削加工を施す（ステップＳ３；研削ステップ）。チャックテーブル９に保持されたウエーハ２００は、ターンテーブル８の回転によって、粗研削領域Ｂに移動する。この粗研削領域Ｂでは、チャックテーブル９を回転させた状態で、粗研削ユニット３の粗研削ホイール３ｂを回転させつつ下降させ、回転する粗研削ホイール３ｂをウエーハ２００の裏面２０１に接触させて所定厚みまで薄化する粗研削を行う。粗研削の終了後、ターンテーブル８をさらに回転させることにより、粗研削されたウエーハ２００を保持するチャックテーブル９は、ターンテーブル８の回転によって、仕上げ研削領域Ｃに移動する。この仕上げ研削領域Ｃでは、チャックテーブル９を回転させた状態で、仕上げ研削ユニット４の仕上げ研削ホイール４ｂを回転させつつ下降させ、回転する仕上げ研削ホイール４ｂをウエーハ２００の裏面２０１に接触させて所定の仕上げ厚さまで薄化する仕上げ研削を行う。この場合、チャックテーブル９の回転軸９２は、仕上げ研削加工に応じて設定された傾きに調整されており、仕上げ研削ホイール４ｂが常にウエーハ２００の裏面２０１の回転中心に接触するようになっている。   Next, rough grinding and finish grinding are performed on the wafer 200 held on the chuck table 9 (step S3; grinding step). The wafer 200 held on the chuck table 9 moves to the rough grinding region B by the rotation of the turntable 8. In the rough grinding region B, with the chuck table 9 rotated, the rough grinding wheel 3b of the rough grinding unit 3 is lowered while rotating, and the rotating rough grinding wheel 3b is brought into contact with the back surface 201 of the wafer 200 to be predetermined. Rough grinding is performed to reduce the thickness. After the rough grinding is finished, the turntable 8 is further rotated, so that the chuck table 9 holding the roughly ground wafer 200 is moved to the finish grinding region C by the rotation of the turntable 8. In the finish grinding region C, with the chuck table 9 rotated, the finish grinding wheel 4b of the finish grinding unit 4 is lowered while rotating, and the rotating finish grinding wheel 4b is brought into contact with the back surface 201 of the wafer 200 to be predetermined. Perform finish grinding to reduce the finish thickness to. In this case, the rotation shaft 92 of the chuck table 9 is adjusted to an inclination set according to finish grinding, and the finish grinding wheel 4b is always in contact with the rotation center of the back surface 201 of the wafer 200. .

次に、仕上げ研削されたウエーハ２００を保持するチャックテーブル９は、ターンテーブル８の回転によって、研磨領域Ｄに移動し、研磨ユニット５の下に位置づける（ステップＳ４；研磨準備ステップ）。そして、次に、傾き調整機構４０を駆動させて、研磨ユニット５の下に位置するチャックテーブル９の回転軸９２の傾きを規定値に調整する（ステップＳ５；回転軸調整ステップ）。制御装置１００の演算処理部１０１は、加工開始時に登録されたウエーハ２００及び研磨パッド５ｂの種類の組み合わせのパターンに応じた傾きθの規定値を、記憶部１０２のデータベース１０３から読み出し、チャックテーブル９の回転軸９２の傾きθをこの規定値に調整する。これにより、チャックテーブル９の回転軸９２の傾きθを、ウエーハ２００と研磨パッド５ｂの組み合わせのパターンに応じた適切な傾きに調整することができる。ここで、演算処理部１０１は、研磨領域Ｄに移動したチャックテーブル９が４つのチャックテーブル９ａ〜９ｄのいずれであるかを認識している。このため、データベース１０３にチャックテーブル９ａ〜９ｄの個体差も合わせて記憶されている場合には、研磨領域Ｄにあるチャックテーブル９ａ〜９ｄに対応する傾きθの規定値を読み出す。これにより、チャックテーブル９ａ〜９ｄの個体差を考慮し、チャックテーブル９の回転軸９２の傾きθをより適切な傾きに調整することができる。   Next, the chuck table 9 holding the finish-ground wafer 200 moves to the polishing region D by the rotation of the turntable 8 and is positioned below the polishing unit 5 (step S4; polishing preparation step). Next, the tilt adjusting mechanism 40 is driven to adjust the tilt of the rotating shaft 92 of the chuck table 9 positioned below the polishing unit 5 to a specified value (step S5; rotating shaft adjusting step). The arithmetic processing unit 101 of the control device 100 reads the specified value of the inclination θ corresponding to the combination pattern of the types of the wafer 200 and the polishing pad 5b registered at the start of processing from the database 103 of the storage unit 102, and the chuck table 9 The inclination θ of the rotary shaft 92 is adjusted to this specified value. Thereby, the inclination θ of the rotation shaft 92 of the chuck table 9 can be adjusted to an appropriate inclination according to the combination pattern of the wafer 200 and the polishing pad 5b. Here, the arithmetic processing unit 101 recognizes which of the four chuck tables 9a to 9d is the chuck table 9 moved to the polishing region D. For this reason, when the individual differences of the chuck tables 9a to 9d are also stored in the database 103, the specified value of the inclination θ corresponding to the chuck tables 9a to 9d in the polishing region D is read. Accordingly, the inclination θ of the rotation shaft 92 of the chuck table 9 can be adjusted to a more appropriate inclination in consideration of individual differences between the chuck tables 9a to 9d.

次に、研磨ユニット５によってウエーハ２００を研磨する（ステップＳ６；研磨ステップ）。チャックテーブル９の回転軸９２の傾きθを規定値に調整した上で、このチャックテーブル９を回転させる。この状態で、研磨ユニット５の研磨パッド５ｂを回転させつつ下降させ、回転する研磨パッド５ｂをウエーハ２００の裏面２０１に接触させて研磨を行う。この場合、加工液供給ユニット７から加工液が供給されるため、研磨パッド５ｂと加工液とによって、ウエーハ２００の裏面２０１を化学的機械的研磨（ＣＭＰ研磨）することができる。また、加工液を使用しないで研磨するドライポリッシュを行うこともできる。   Next, the wafer 200 is polished by the polishing unit 5 (step S6; polishing step). The chuck table 9 is rotated after adjusting the inclination θ of the rotation shaft 92 of the chuck table 9 to a specified value. In this state, the polishing pad 5b of the polishing unit 5 is lowered while rotating, and the rotating polishing pad 5b is brought into contact with the back surface 201 of the wafer 200 for polishing. In this case, since the processing liquid is supplied from the processing liquid supply unit 7, the back surface 201 of the wafer 200 can be subjected to chemical mechanical polishing (CMP polishing) with the polishing pad 5b and the processing liquid. Further, it is possible to perform dry polishing without using a working fluid.

以上、本実施形態のウエーハの加工方法は、研磨ユニット５に対するチャックテーブル９の回転軸９２の適切な傾きθを規定値として設定する規定値設定ステップＳ１と、チャックテーブル９に保持されたウエーハ２００を粗研削ユニット３及び仕上げ研削ユニット４によって研削する研削ステップＳ３と、研削ステップＳ３において研削されたウエーハ２００を、ターンテーブル８を回転させて研磨ユニット５の下に位置づける研磨準備ステップＳ４と、制御装置１００に傾き調整機構４０を駆動させて、研磨ユニット５の下に位置するチャックテーブル９の回転軸９２の傾きθを上記した規定値に調整する回転軸調整ステップＳ５と、研磨ユニット５によってウエーハ２００を研磨する研磨ステップＳ６と、を備えるため、研磨ユニット５に対する適切なチャックテーブル９の回転軸９２の傾きθの規定値を事前に設定することにより、研磨開始前にチャックテーブル９の回転軸９２の傾きを調整することができ、ウエーハ２００の研磨不良を防止することができる。   As described above, in the wafer processing method of the present embodiment, the specified value setting step S1 for setting the appropriate inclination θ of the rotating shaft 92 of the chuck table 9 with respect to the polishing unit 5 as the specified value, and the wafer 200 held on the chuck table 9 are performed. A grinding step S3 for grinding the surface by the rough grinding unit 3 and the finish grinding unit 4, a polishing preparation step S4 for positioning the wafer 200 ground in the grinding step S3 under the polishing unit 5 by rotating the turntable 8 and control. The apparatus 100 is driven by the tilt adjusting mechanism 40 to adjust the tilt θ of the rotating shaft 92 of the chuck table 9 positioned below the polishing unit 5 to the specified value as described above. A polishing step 5 for polishing 200, a polishing unit 5 By setting in advance a predetermined value of the inclination θ of the rotation shaft 92 of the chuck table 9 with respect to the angle, the inclination of the rotation shaft 92 of the chuck table 9 can be adjusted before the polishing is started. Can be prevented.

また、本実施形態によれば、規定値設定ステップＳ１において、チャックテーブル９の回転軸９２の傾きθの規定値は、研磨対象となるウエーハ２００の種別、及び、研磨ユニット５が備える研磨パッド５ｂの種別をそれぞれ組み合わせたパターンごとに、事前に実験に基づいて設定されており、ウエーハ２００の種別及び研磨パッド５ｂの種別が選択されると、回転軸調整ステップＳ５において、制御装置１００は、回転軸９２の傾きθを、該当するパターンに応じた規定値に調整するため、ウエーハ２００や研磨パッド５ｂが変更された場合であっても、適切な回転軸９２の傾きθに調整されることにより、ウエーハ２００の研磨状態を良好に保つことができる。   Further, according to the present embodiment, in the specified value setting step S1, the specified value of the inclination θ of the rotation shaft 92 of the chuck table 9 includes the type of the wafer 200 to be polished and the polishing pad 5b provided in the polishing unit 5. For each pattern in which the types are combined, it is set based on experiments in advance. When the type of the wafer 200 and the type of the polishing pad 5b are selected, the control device 100 rotates in the rotation axis adjustment step S5. In order to adjust the inclination θ of the shaft 92 to a specified value according to the corresponding pattern, even when the wafer 200 or the polishing pad 5b is changed, the inclination θ of the rotation shaft 92 is adjusted to an appropriate value. The polished state of the wafer 200 can be kept good.

なお、上記した本実施形態に係る加工方法によれば、以下の研磨装置が得られる。
（付記１）
ウエーハを回転可能に保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持されたウエーハを研磨する研磨手段と、
各構成要素を駆動制御する制御部と、を少なくとも備えた加工装置であって、
該チャックテーブルは、該ウエーハを保持する保持面の中心を通る回転軸の傾きを調整する傾き調整手段を備え、
該制御部は、研磨対象となるウエーハの種別、及び、該研磨手段が備える研磨パッドの種別をそれぞれ組み合わせたパターンごとに、事前に実験に基づいて設定された該回転軸の傾きの規定値を記憶する記憶部と、
該ウエーハの種別及び該研磨パッドの種別が選択された場合に、
該傾き調整手段を駆動させ、該研磨手段の下に位置する該チャックテーブルの該回転軸の傾きを、該当するパターンに応じた規定値に調整する演算処理部とを備えることを特徴とする研磨装置。 In addition, according to the processing method which concerns on this embodiment mentioned above, the following polishing apparatuses are obtained.
(Appendix 1)
A chuck table for rotatably holding the wafer;
A polishing means for polishing the wafer held on the chuck table;
A processing device comprising at least a control unit that drives and controls each component,
The chuck table includes an inclination adjusting unit that adjusts an inclination of a rotation shaft that passes through a center of a holding surface that holds the wafer.
The control unit sets a predetermined value of the inclination of the rotation axis set based on an experiment in advance for each pattern in which the type of wafer to be polished and the type of polishing pad provided in the polishing unit are combined. A storage unit for storing;
When the type of the wafer and the type of the polishing pad are selected,
A polishing unit comprising: an arithmetic processing unit that drives the tilt adjusting unit and adjusts the tilt of the rotation shaft of the chuck table located under the polishing unit to a specified value according to a corresponding pattern. apparatus.

上記研磨装置は、本実施形態に係る加工方法と同様に、研磨ユニット５に対する適切なチャックテーブル９の回転軸９２の傾きθの規定値を事前に設定するため、研磨開始前にチャックテーブル９の回転軸９２の傾きを適切に調整することができ、ウエーハ２００の研磨不良を防止することができる。   Similar to the processing method according to the present embodiment, the polishing apparatus sets in advance a prescribed value of the inclination θ of the rotation shaft 92 of the chuck table 9 appropriate to the polishing unit 5. The inclination of the rotation shaft 92 can be adjusted appropriately, and poor polishing of the wafer 200 can be prevented.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。   The present invention is not limited to the above embodiment. That is, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

１ 研削研磨装置（研磨装置）
２ 装置本体
３ 粗研削ユニット（研削手段）
３ａ スピンドル
３ｂ 粗研削ホイール
４ 仕上げ研削ユニット（研削手段）
４ａ スピンドル
４ｂ 仕上げ研削ホイール
５ 研磨ユニット（研磨手段）
５ａ スピンドル
５ｂ 研磨パッド
５ｃ 研磨マウント
７ 加工液供給ユニット
８ ターンテーブル
９、９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ チャックテーブル
２２ 支持台
２３ 位置調整ユニット
２３ａ 固定部
２４ モータ
４０ 傾き調整機構（傾き調整手段）
９１ 保持面
９１Ａ 中心
９１Ｂ 外周部
９２ 回転軸
１００ 制御装置（制御部）
１０１ 演算処理部
１０２ 記憶部
１０３ データベース
２００ ウエーハ
２０１ 裏面
２０２ 表面
２０３ 分割予定ライン
２０４ デバイス
２０５ 保護部材 1 Grinding and polishing equipment (polishing equipment)
2 Main unit 3 Rough grinding unit (grinding means)
3a Spindle 3b Coarse grinding wheel 4 Finish grinding unit (grinding means)
4a Spindle 4b Finish grinding wheel 5 Polishing unit (polishing means)
5a Spindle 5b Polishing pad 5c Polishing mount 7 Processing liquid supply unit 8 Turntable 9, 9a, 9b, 9c, 9d Chuck table 22 Support base 23 Position adjustment unit 23a Fixing part 24 Motor 40 Tilt adjustment mechanism (Tilt adjustment means)
91 holding surface 91A center 91B outer periphery 92 rotating shaft 100 control device (control unit)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 Arithmetic processing part 102 Memory | storage part 103 Database 200 Wafer 201 Back surface 202 Front surface 203 Scheduled division line 204 Device 205 Protection member

Claims (2)

ウエーハを回転可能に保持するチャックテーブルと、
該ウエーハを研削する研削手段と、
該研削手段によって研削されたウエーハを研磨する研磨手段と、
該チャックテーブルを複数配設した回転可能なターンテーブルと、
各構成要素を駆動制御する制御部と、を少なくとも備える加工装置によって、該ウエーハを所定厚みまで薄化するウエーハの加工方法であって、
該チャックテーブルは、該ウエーハを保持する保持面と、
該保持面の中心を通る回転軸と、
該回転軸の傾きを調整する傾き調整手段と、を少なくとも備え、
該研磨手段に対する該回転軸の適切な傾きを規定値として設定する規定値設定ステップと、
該チャックテーブルに保持されたウエーハを該研削手段によって研削する研削ステップと、
該研削ステップにおいて研削されたウエーハを、該ターンテーブルを回転させて該研磨手段の下に位置づける研磨準備ステップと、
該制御部が該傾き調整手段を駆動させ、該研磨手段の下に位置する該チャックテーブルの該回転軸の傾きを該規定値に調整する回転軸調整ステップと、
該研磨手段によって該ウエーハを研磨する研磨ステップと、
を備える事を特徴とするウエーハの加工方法。 A chuck table for rotatably holding the wafer;
Grinding means for grinding the wafer;
Polishing means for polishing the wafer ground by the grinding means;
A rotatable turntable provided with a plurality of the chuck tables;
A wafer processing method for thinning the wafer to a predetermined thickness by a processing device comprising at least a control unit that drives and controls each component;
The chuck table includes a holding surface for holding the wafer;
A rotation axis passing through the center of the holding surface;
An inclination adjusting means for adjusting the inclination of the rotating shaft,
A specified value setting step for setting an appropriate inclination of the rotating shaft with respect to the polishing means as a specified value;
A grinding step of grinding the wafer held on the chuck table by the grinding means;
A polishing preparation step of positioning the wafer ground in the grinding step under the polishing means by rotating the turntable;
A rotation axis adjustment step in which the control unit drives the inclination adjustment means to adjust the inclination of the rotation axis of the chuck table located under the polishing means to the specified value;
A polishing step of polishing the wafer by the polishing means;
A wafer processing method characterized by comprising: 該規定値設定ステップにおいて、該回転軸の傾きの規定値は、研磨対象となるウエーハの種別、及び、該研磨手段が備える研磨パッドの種別をそれぞれ組み合わせたパターンごとに、事前に実験に基づいて設定されており、
該ウエーハの種別及び該研磨パッドの種別が選択されると、該回転軸調整ステップにおいて、制御部は、該回転軸の傾きを、該当するパターンに応じた規定値に調整することを特徴とする請求項１に記載のウエーハの加工方法。 In the specified value setting step, the specified value of the inclination of the rotation axis is determined based on experiments in advance for each pattern in which the type of wafer to be polished and the type of polishing pad provided in the polishing unit are combined. Is set,
When the type of the wafer and the type of the polishing pad are selected, in the rotation axis adjustment step, the control unit adjusts the inclination of the rotation axis to a specified value corresponding to a corresponding pattern. The wafer processing method according to claim 1.
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