JP2019016715A5 - ステージ装置、リソグラフィ装置、および物品製造方法 - Google Patents
ステージ装置、リソグラフィ装置、および物品製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019016715A5 JP2019016715A5 JP2017133984A JP2017133984A JP2019016715A5 JP 2019016715 A5 JP2019016715 A5 JP 2019016715A5 JP 2017133984 A JP2017133984 A JP 2017133984A JP 2017133984 A JP2017133984 A JP 2017133984A JP 2019016715 A5 JP2019016715 A5 JP 2019016715A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- article manufacturing
- stage
- lithographic apparatus
- lithographic
- stage apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 2
Description
本発明は、ステージ装置、リソグラフィ装置、および物品製造方法に関する。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017133984A JP7022527B2 (ja) | 2017-07-07 | 2017-07-07 | ステージ装置、リソグラフィ装置、および物品製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017133984A JP7022527B2 (ja) | 2017-07-07 | 2017-07-07 | ステージ装置、リソグラフィ装置、および物品製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2019016715A JP2019016715A (ja) | 2019-01-31 |
| JP2019016715A5 true JP2019016715A5 (ja) | 2020-08-13 |
| JP7022527B2 JP7022527B2 (ja) | 2022-02-18 |
Family
ID=65357129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017133984A Active JP7022527B2 (ja) | 2017-07-07 | 2017-07-07 | ステージ装置、リソグラフィ装置、および物品製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7022527B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3950861B2 (ja) * | 2004-02-25 | 2007-08-01 | キヤノン株式会社 | 位置決め装置及び露光装置 |
| JP2007329435A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Canon Inc | ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP2011244608A (ja) * | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Nikon Corp | リニアモータ、移動体装置、露光装置、デバイス製造方法、及びフラットパネルディスプレイの製造方法 |
| JP2012004201A (ja) * | 2010-06-15 | 2012-01-05 | Nikon Corp | 移動体装置、露光装置、デバイス製造方法、フラットパネルディスプレイの製造方法、及び移動体装置の制御方法 |
| WO2013160123A1 (en) * | 2012-04-27 | 2013-10-31 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus comprising an actuator, and method for protecting such actuator |
| JP6452338B2 (ja) * | 2013-09-04 | 2019-01-16 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、およびその駆動方法 |
-
2017
- 2017-07-07 JP JP2017133984A patent/JP7022527B2/ja active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2017211493A5 (ja) | 露光装置、および、物品の製造方法 | |
| JP2018100276A5 (ja) | ||
| JP2018012698A5 (ja) | ||
| JP2017137500A5 (ja) | ||
| JP2015053052A5 (ja) | ||
| JP2017140920A5 (ja) | ||
| JP2016540360A5 (ja) | 基板処理システム及び基板処理方法 | |
| JP2017199730A5 (ja) | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 | |
| JP2020528637A5 (ja) | ||
| JP2015186128A5 (ja) | ||
| JP2016508934A5 (ja) | ||
| JP2016516874A5 (ja) | ||
| JP2018519528A5 (ja) | ||
| JP2018019120A5 (ja) | ||
| JP2015529327A5 (ja) | ||
| JP2017077228A5 (ja) | 移動式搾乳装置および該移動式搾乳装置を使用した放牧方法 | |
| JP2017110293A5 (ja) | ||
| JP2019086093A5 (ja) | ||
| JP2019016715A5 (ja) | ステージ装置、リソグラフィ装置、および物品製造方法 | |
| JP2017149782A5 (ja) | ||
| JP2018006450A5 (ja) | ||
| JP2017531656A5 (ja) | ||
| JP2018034633A5 (ja) | ||
| JP2017096332A5 (ja) | ||
| JP2020017862A5 (ja) | 情報処理装置、制御方法およびプログラム |