JP2019015661A - 分析装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、分析装置100の概略的な構成を説明する図である。図2は、分析装置100の具体的な構成例を説明する図である。本実施形態の図1、図2では、垂直に交わるX軸、Y軸、Z軸を図示の通り定義している。また、図1中、ガスの流れを白抜き矢印で示し、光(赤外線)の進行方向を破線の矢印で示す。図2中、光(赤外線)の進行方向を破線の矢印で示す。なお、図1中、理解を容易にするために、図2には示される延在部124a、124b、透過窓126、パージガス供給部170を省略する。また、図2中、理解を容易にするために、図1には示される原料ガス供給部140、真空ポンプ150、反応制御部160、分析制御部240を省略する。
反応ユニット110は、反応管120と、加熱炉130と、原料ガス供給部140と、真空ポンプ150と、反応制御部160と、パージガス供給部170とを含んでいる。
図1に戻って説明すると、分析ユニット210は、光源部220と、受光部230と、分析制御部240とを含んでいる。光源部220は、交差部122b、反応部122a内に赤外線を通過させる。受光部230は、本体部122を通過した赤外線を受光する。
120 反応管
122a 反応部
122b 交差部(光通過部)
124a 延在部(光通過部)
124b 延在部(光通過部)
126 透過窓
128 迷光遮蔽機構
130 加熱炉
160 反応制御部
170 パージガス供給部
220 光源部
230 受光部
Claims (4)
- 管形状の反応部と、前記反応部と交差する管形状であり、赤外線を透過させる透過窓が前記反応部との交差箇所を挟んで両側に設けられた光通過部とを有する反応管と、
前記反応管のうち、少なくとも前記反応部を加熱する加熱炉と、
前記光通過部における一方の透過窓に赤外線を入射させる光源部と、
前記光通過部における他方の透過窓を透過した赤外線を受光する受光部と、
を備える分析装置。 - 前記反応部内を流れるガスの流速を調整する反応制御部を備える請求項1に記載の分析装置。
- 窒素、アルゴン、ヘリウム、および、水素のうち、いずれか1または複数のパージガスを前記光通過部内に供給するパージガス供給部を備える請求項1または2に記載の分析装置。
- 前記光通過部内に迷光遮蔽機構を備える請求項1から3のいずれか1項に記載の分析装置。
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