JP2019014634A - Method and apparatus for producing sintered body - Google Patents

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Abstract

To provide a method and apparatus for producing a sintered body, capable of peeling an unwanted layer stably off a laminated plate having a sintered layer and the unwanted layer.SOLUTION: A method for producing a sintered body includes producing the sintered body S2 from a laminated plate S1 having a sintered layer SA and an unwanted layer SB. The method for producing the sintered body includes a step of peeling the unwanted layer SB off the sintered layer SA by bringing the unwanted layer SB in a state of being wet by a peeling liquid into slide contact with a brush body 14. In the peeling step, the unwanted layer SB provided on one side of a main surface of the laminated plate S1 is peeled off in a state where the laminate plate S1 is held by a holding plate 12 for sucking the other side of the main surface of the laminated plate S1. A peeling part P2 in an apparatus 11 for producing the sintered body includes: the holding plate 12; a peeling liquid-feeding part 13 for feeding the peeling liquid to the unwanted layer SB provided on the other side of the main surface of the laminated plate S1 held by the holding plate 12; and the brush body 14 to be brought into slide contact with the unwanted layer SB to which the peeling liquid is fed.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、焼結体の製造方法及び焼結体の製造装置に関する。   The present invention relates to a sintered body manufacturing method and a sintered body manufacturing apparatus.

セラミックス基板等の焼結体は、例えば、グリーンシートと呼ばれる未焼結体を焼成することで得られる。近年、未焼結体の焼成法の一種として、無収縮焼成法が知られている(例えば、特許文献1参照)。無収縮焼成法では、未焼結体層と、未焼結体層を拘束する拘束層とを積層した未焼結積層板を焼成工程に供する方法である。この無収縮焼成法では、未焼結体層の焼成に伴う面内の収縮が拘束層により抑制されるため、寸法精度を高めた焼結体を製造することが可能となる。ここで、無収縮焼成法において、未焼結積層板の拘束層については、焼成工程の後に不要な不要層となる。このように焼結体に積層されている不要層を剥離する方法としては、例えば、特許文献1に開示されるように水等の剥離液とブラシ体とを用いる方法が知られている。   A sintered body such as a ceramic substrate can be obtained, for example, by firing an unsintered body called a green sheet. In recent years, a non-shrinkage firing method is known as a kind of firing method for a green body (see, for example, Patent Document 1). The non-shrinkage firing method is a method in which an unsintered laminated board in which an unsintered body layer and a constraining layer that restrains the unsintered body layer are laminated is subjected to a firing step. In this non-shrinkage firing method, in-plane shrinkage due to firing of the unsintered body layer is suppressed by the constraining layer, so that a sintered body with improved dimensional accuracy can be manufactured. Here, in the non-shrinkage firing method, the constraining layer of the unsintered laminated plate becomes an unnecessary unnecessary layer after the firing step. As a method of peeling off the unnecessary layer laminated on the sintered body in this way, for example, a method using a peeling solution such as water and a brush body as disclosed in Patent Document 1 is known.

特開2004−253497号公報JP 2004-253497 A

上記のように焼結体層と不要層とを有する積層板において、不要層を剥離するためにブラシ体を用いた場合、ブラシ体の摺接により積層板の位置が所定の位置からずれることで、不要層の剥離力が不安定となるおそれがあった。   In the laminate having the sintered body layer and the unnecessary layer as described above, when the brush body is used to peel off the unnecessary layer, the position of the laminate is shifted from the predetermined position by the sliding contact of the brush body. The peeling force of the unnecessary layer may become unstable.

本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、焼結体層と不要層とを有する積層板における不要層を安定して剥離することを可能にした焼結体の製造方法及び焼結体の製造装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of such circumstances, and the object thereof is to produce a sintered body that can stably peel off an unnecessary layer in a laminate having a sintered body layer and an unnecessary layer. The object is to provide a method and an apparatus for producing a sintered body.

上記課題を解決する焼結体の製造方法は、焼結体層と不要層とを有する積層板から焼結体を製造する焼結体の製造方法であって、剥離液で湿らせた状態の前記不要層にブラシ体を摺接することで前記焼結体層から前記不要層を剥離する剥離工程を備え、前記剥離工程において、前記積層板の一方の主面を吸引する保持プレートにより前記積層板を保持した状態で前記積層板の他方の主面側に設けられた前記不要層を剥離する。   A method of manufacturing a sintered body that solves the above-described problem is a method of manufacturing a sintered body from a laminate having a sintered body layer and an unnecessary layer, and is in a state of being moistened with a stripping solution. The laminate includes a peeling step of peeling the unnecessary layer from the sintered body layer by sliding a brush body in contact with the unnecessary layer, and the holding plate that sucks one main surface of the laminate in the peeling step. In this state, the unnecessary layer provided on the other main surface side of the laminated plate is peeled off.

この方法によれば、積層板の不要層にブラシ体を摺接する際に、上記のように保持プレートで保持することで積層板の位置が安定するため、ブラシ体の摺接力を積層板の不要層に安定して得ることができる。   According to this method, when the brush body is slidably contacted to the unnecessary layer of the laminated plate, the position of the laminated plate is stabilized by holding it with the holding plate as described above. Therefore, the sliding contact force of the brush body is unnecessary for the laminated plate. The layer can be obtained stably.

上記焼結体の製造方法において、前記保持プレートは、前記積層板の一方の主面における外周縁の全周にわたって接触する外周接触面を有することが好ましい。
この方法によれば、ブラシ体の摺接力を積層板の不要層の外周縁に伝え易くなる。
In the method for manufacturing a sintered body, it is preferable that the holding plate has an outer peripheral contact surface that is in contact with the entire circumference of the outer peripheral edge of one main surface of the laminated plate.
According to this method, the sliding contact force of the brush body can be easily transmitted to the outer peripheral edge of the unnecessary layer of the laminated plate.

上記焼結体の製造方法において、前記保持プレートは、前記外周接触面よりも内周側に位置するとともに前記積層板の一方の主面に接触する内周接触面をさらに有することが好ましい。   In the method for manufacturing a sintered body, it is preferable that the holding plate further has an inner peripheral contact surface that is positioned on an inner peripheral side with respect to the outer peripheral contact surface and that contacts one main surface of the laminated plate.

この方法によれば、保持プレートと積層板との接触面積を増大することができるため、積層板をより安定して保持することができる。これにより、積層板の不要層にブラシ体の摺接力をより伝え易くなる。   According to this method, the contact area between the holding plate and the laminated plate can be increased, so that the laminated plate can be held more stably. Thereby, it becomes easier to transmit the sliding contact force of the brush body to the unnecessary layer of the laminate.

上記焼結体の製造方法において、前記保持プレートは、前記外周接触面と連続した平坦面を形成し、かつ前記積層板と非接触となる非接触面を有し、前記非接触面は、前記外周接触面を取り囲むように配置されていることが好ましい。   In the method for manufacturing a sintered body, the holding plate has a non-contact surface that forms a flat surface continuous with the outer peripheral contact surface and is not in contact with the laminated plate. It is preferable to arrange so as to surround the outer peripheral contact surface.

この方法によれば、保持プレートの外周接触面の変形を抑えることができるため、外周接触面と積層板との密着性を高めることができる。これにより、積層板を吸引する保持プレートの吸引力が十分に発揮されることで、ブラシ体から比較的強い摺接力が積層板の不要層に加わったとしても、積層板の位置ずれを防止することが可能となる。   According to this method, since the deformation of the outer peripheral contact surface of the holding plate can be suppressed, the adhesion between the outer peripheral contact surface and the laminated plate can be enhanced. As a result, the suction force of the holding plate that sucks the laminated plate is sufficiently exhibited, so that even if a relatively strong sliding contact force is applied to the unnecessary layer of the laminated plate from the brush body, the positional deviation of the laminated plate is prevented. It becomes possible.

上記焼結体の製造方法において、前記ブラシ体は、回転駆動されるロールブラシであり、前記保持プレートと前記ロールブラシとを相対移動させることが好ましい。
この方法によれば、例えば、剥離工程を効率的に行うことができるとともに、剥離工程で剥離された不要層の排出が容易となる。
In the method for manufacturing a sintered body, the brush body is a roll brush that is rotationally driven, and it is preferable that the holding plate and the roll brush are relatively moved.
According to this method, for example, the peeling process can be efficiently performed, and the unnecessary layer peeled in the peeling process can be easily discharged.

上記焼結体の製造方法において、前記相対移動において規定される前記積層板の移動方向に逆らって前記ロールブラシを回転させることが好ましい。
この方法によれば、積層板の不要層を剥離する剥離力をより高めることができる。
In the method for manufacturing a sintered body, it is preferable that the roll brush is rotated against the moving direction of the laminated plate defined in the relative movement.
According to this method, the peeling force which peels the unnecessary layer of a laminated board can be raised more.

上記焼結体の製造方法において、前記積層板は、前記焼結体層の両面にそれぞれ不要層を有し、前記剥離工程は、一方の前記不要層を剥離する第1段階と、他方の前記不要層を剥離する第2段階とを備え、前記第1段階及び前記第2段階で用いる前記ブラシ体は、共通の前記ロールブラシであり、前記第1段階及び前記第2段階の前記相対移動において規定される前記積層板の移動方向は、互いに同一の移動方向であることが好ましい。   In the method for manufacturing a sintered body, the laminated plate has unnecessary layers on both sides of the sintered body layer, and the peeling step includes a first stage of peeling one of the unnecessary layers, and the other The brush body used in the first stage and the second stage is a common roll brush, and in the relative movement of the first stage and the second stage. It is preferable that the defined moving directions of the laminated plates are the same moving directions.

この方法によれば、積層板の搬入、及び焼結体の搬出のスペースの確保が容易であり、また製造設備を小型化することが可能となる。
上記焼結体の製造方法において、前記ブラシ体のブラシの材質は、ポリアミド系樹脂であることが好ましい。
According to this method, it is easy to secure the space for carrying in the laminate and carrying out the sintered body, and it is possible to reduce the size of the manufacturing equipment.
In the method for manufacturing a sintered body, the material of the brush of the brush body is preferably a polyamide resin.

この方法によれば、積層板の焼結体層の主面に傷が生じ難く、かつ不要層の剥離力を十分に得ることができる。
上記焼結体の製造方法において、前記積層板は、未焼結体層と前記未焼結体層を拘束する拘束層とが積層された未焼結積層板の前記未焼結体層を焼成することで得られ、前記積層板の前記不要層は、前記拘束層であることが好ましい。
According to this method, scratches are not easily generated on the main surface of the sintered body layer of the laminated plate, and the peeling force of the unnecessary layer can be sufficiently obtained.
In the method for manufacturing a sintered body, the laminate is formed by firing the unsintered body layer of the unsintered laminate in which an unsintered body layer and a constraining layer that restrains the unsintered body layer are laminated. It is preferable that the unnecessary layer of the laminated plate is the constraining layer.

この方法によれば、寸法精度の高い焼結体を得ることができる。
上記焼結体の製造方法において、前記積層板の厚さは、5mm以下であってもよい。
積層板は、その厚さが薄くなるほど変形や破損が発生し易い。このように厚さの薄い積層板であっても、上記焼結体の製造方法のように保持プレートを用いることで、積層板を保護しつつ、ブラシ体からの摺接力を積層板の不要層に十分に伝えることができる。
According to this method, a sintered body with high dimensional accuracy can be obtained.
In the method for manufacturing a sintered body, the thickness of the laminated plate may be 5 mm or less.
The laminated plate is more likely to be deformed or damaged as its thickness is reduced. Even in such a thin laminated plate, by using the holding plate as in the above-described method for manufacturing a sintered body, the sliding contact force from the brush body is applied to the unnecessary layer of the laminated plate while protecting the laminated plate. I can tell you enough.

上記課題を解決する焼結体の製造装置の一態様は、焼結体層と不要層とを有する積層板から焼結体を製造する焼結体の製造装置であって、前記焼結体層から前記不要層を剥離する剥離部を備え、前記剥離部は、前記積層板の一方の主面を吸引して前記積層板を保持する保持プレートと、前記保持プレートに保持された前記積層板の他方の主面側に設けられた前記不要層に剥離液を供給する剥離液供給部と、前記剥離液が供給された前記不要層に摺接されるブラシ体と、を備える。   One aspect of a sintered body manufacturing apparatus that solves the above-described problem is a sintered body manufacturing apparatus that manufactures a sintered body from a laminate having a sintered body layer and an unnecessary layer, the sintered body layer A peeling portion for peeling the unnecessary layer from the holding plate, the peeling portion sucking one main surface of the laminated plate to hold the laminated plate, and the laminated plate held by the holding plate A stripping solution supply unit that supplies stripping solution to the unnecessary layer provided on the other main surface side, and a brush body that is in sliding contact with the unnecessary layer to which the stripping solution is supplied.

本発明によれば、焼結体層と不要層とを有する積層板における不要層を安定して剥離することが可能となる。   According to the present invention, an unnecessary layer in a laminate having a sintered body layer and an unnecessary layer can be stably peeled off.

実施形態における焼結体の製造装置を示す概略正面図である。It is a schematic front view which shows the manufacturing apparatus of the sintered compact in embodiment. (a)は、保持プレートを示す平面図であり、(b)は、(a)の2b−2b線に沿った断面図である。(A) is a top view which shows a holding | maintenance plate, (b) is sectional drawing along the 2b-2b line of (a). 焼結体の製造装置の一部を示す概略正面図である。It is a schematic front view which shows a part of manufacturing apparatus of a sintered compact. 焼結体の製造装置の一部を示す概略正面図である。It is a schematic front view which shows a part of manufacturing apparatus of a sintered compact. 焼結体の製造装置の一部を示す概略正面図である。It is a schematic front view which shows a part of manufacturing apparatus of a sintered compact. 焼結体の製造装置の一部を示す概略正面図である。It is a schematic front view which shows a part of manufacturing apparatus of a sintered compact.

以下、焼結体の製造方法及び焼結体の製造装置の実施形態について図面を参照して説明する。なお、図面では、説明の便宜上、構成の一部を誇張又は簡略化して示す場合がある。また、各部分の寸法比率についても、実際と異なる場合がある。まず、焼結体の製造装置について説明する。   Embodiments of a sintered body manufacturing method and a sintered body manufacturing apparatus will be described below with reference to the drawings. Note that in the drawings, for convenience of explanation, some components may be exaggerated or simplified. Further, the dimensional ratio of each part may be different from the actual one. First, the manufacturing apparatus of a sintered compact is demonstrated.

<焼結体の製造装置の概要>
図1に示すように、本実施形態における焼結体の製造装置11は、積層板S1から焼結体S2を製造する装置である。積層板S1は、焼結体層SAと、不要層SBとを有している。焼結体の製造装置11に搬入される積層板S1は、焼結体層SAの両面にそれぞれ不要層SBを有している。
<Overview of sintered body manufacturing equipment>
As shown in FIG. 1, the manufacturing apparatus 11 of the sintered compact in this embodiment is an apparatus which manufactures the sintered compact S2 from the laminated board S1. The laminate S1 has a sintered body layer SA and an unnecessary layer SB. The laminated sheet S1 carried into the sintered body manufacturing apparatus 11 has unnecessary layers SB on both sides of the sintered body layer SA.

焼結体の製造装置11は、積層板S1の搬入部P1と、積層板S1の焼結体層SAから不要層SBを剥離する剥離部P2と、不要層SBを剥離した焼結体層SAの主面を後処理する後処理部P3と、積層板S1を反転させる反転部P4と、焼結体S2を搬出する搬出部P5とを備えている。   The sintered body manufacturing apparatus 11 includes a carry-in portion P1 of the laminated plate S1, a peeling portion P2 that peels the unnecessary layer SB from the sintered body layer SA of the laminated plate S1, and a sintered body layer SA that peels the unnecessary layer SB. A post-processing section P3 for post-processing the main surface, a reversing section P4 for reversing the laminated sheet S1, and a carrying-out section P5 for carrying out the sintered body S2.

焼結体の製造装置11は、積層板S1の一方の主面(本実施形態では下面)を吸引して積層板S1を保持する保持プレート12を備えている。焼結体の製造装置11における剥離部P2は、積層板S1の不要層SBの他方の主面側に設けられた不要層SBに剥離液を供給する剥離液供給部13と、剥離液が供給された不要層SBに摺接されるブラシ体14とを備えている。本実施形態の焼結体の製造装置11は、保持プレート12をブラシ体14に対して相対移動させる移動機構15と、反転部P4において積層板S1を反転させる反転機構16とをさらに備えている。   The sintered body manufacturing apparatus 11 includes a holding plate 12 that sucks one main surface (the lower surface in the present embodiment) of the laminated plate S1 and holds the laminated plate S1. The peeling part P2 in the sintered body manufacturing apparatus 11 is supplied with the peeling liquid supply part 13 for supplying the peeling liquid to the unnecessary layer SB provided on the other main surface side of the unnecessary layer SB of the laminate S1, and the peeling liquid supplied. And a brush body 14 that is in sliding contact with the unnecessary layer SB. The sintered body manufacturing apparatus 11 of the present embodiment further includes a moving mechanism 15 that moves the holding plate 12 relative to the brush body 14 and a reversing mechanism 16 that reverses the laminate S1 in the reversing portion P4. .

<保持プレート>
図2(a)及び図2(b)に示すように、焼結体の製造装置11における保持プレート12は、積層板S1の一方の主面に接触する接触面17を有している。保持プレート12の接触面17は、積層板S1の一方の主面における外周縁の全周にわたって接触する外周接触面17aと、外周接触面17aよりも内周側に位置する内周接触面17bとを有している。内周接触面17bは、保持プレート12の面内方向において互いに離間した複数から構成されている。
<Holding plate>
As shown in FIGS. 2A and 2B, the holding plate 12 in the sintered body manufacturing apparatus 11 has a contact surface 17 that contacts one main surface of the laminated plate S1. The contact surface 17 of the holding plate 12 includes an outer peripheral contact surface 17a that is in contact with the entire periphery of the outer peripheral edge of one main surface of the laminated plate S1, and an inner peripheral contact surface 17b that is positioned on the inner peripheral side of the outer peripheral contact surface 17a. have. The inner peripheral contact surface 17 b is composed of a plurality of spaced apart ones in the in-plane direction of the holding plate 12.

本実施形態の保持プレート12は、4つの内周接触面17bを有しているが、内周接触面17bは、単数であってもよいし、4つ以外の複数であってもよい。
保持プレート12は、外周接触面17aの内縁に沿って連続した環状の外周凹溝18aを有している。本実施形態の保持プレート12は、隣り合う内周接触面17bの間に形成され、外周凹溝18aに連続した内側凹溝18bを有している。
Although the holding plate 12 of this embodiment has four inner peripheral contact surfaces 17b, the inner peripheral contact surface 17b may be singular or plural other than four.
The holding plate 12 has an annular outer circumferential groove 18a that is continuous along the inner edge of the outer circumferential contact surface 17a. The holding plate 12 of the present embodiment is formed between adjacent inner peripheral contact surfaces 17b and has an inner concave groove 18b continuous with the outer peripheral concave groove 18a.

保持プレート12は、外周接触面17aと連続した平坦面であり、かつ積層板S1と非接触となる非接触面19を有している。非接触面19は、外周接触面17aを取り囲むように配置されている。   The holding plate 12 has a non-contact surface 19 that is a flat surface continuous with the outer peripheral contact surface 17a and is not in contact with the laminated sheet S1. The non-contact surface 19 is disposed so as to surround the outer peripheral contact surface 17a.

保持プレート12は、外周接触面17aよりも内周側であり、平面視で内周接触面17bと重ならない位置に開口する吸引孔20を有している。吸引孔20には、吸引装置21が接続されている。吸引装置21としては、減圧ポンプ等を用いることができる。なお、吸引孔20は、単数であってもよいし、複数であってもよい。   The holding plate 12 has a suction hole 20 that is on the inner peripheral side with respect to the outer peripheral contact surface 17a and opens at a position that does not overlap the inner peripheral contact surface 17b in plan view. A suction device 21 is connected to the suction hole 20. As the suction device 21, a decompression pump or the like can be used. In addition, the suction hole 20 may be single or plural.

このように構成された保持プレート12に積層板S1を載置した状態で、吸引孔20を通じた吸引を行うことで、外周凹溝18a及び内側凹溝18bが減圧されるため、積層板S1の一方の主面が吸引される。これにより、積層板S1は、保持プレート12の接触面17に密着した状態に維持することができる。   Since the outer circumferential groove 18a and the inner groove 18b are depressurized by performing suction through the suction hole 20 with the laminated plate S1 placed on the holding plate 12 configured in this manner, One main surface is sucked. Thereby, the laminated sheet S1 can be maintained in a state of being in close contact with the contact surface 17 of the holding plate 12.

保持プレート12の外周接触面17aの形状や寸法は、積層板S1の外形に応じて変更することができる。保持プレート12の外周接触面17aの幅寸法は、5mm以上であることが好ましい。すなわち、積層板S1の主面は、外縁から5mm以上の幅で保持プレート12の外周接触面17aに接触していることが好ましい。保持プレート12の内周接触面17bの形状や寸法についても、変更することができる。保持プレート12の接触面17の面積は、積層板S1の主面の面積を100%としたとき、60%以上であることが好ましく、より好ましくは70%以上である。保持プレート12の接触面17の面積をより広くすることで、積層板S1を安定して保持することができる。   The shape and dimensions of the outer peripheral contact surface 17a of the holding plate 12 can be changed according to the outer shape of the laminated plate S1. The width dimension of the outer peripheral contact surface 17a of the holding plate 12 is preferably 5 mm or more. That is, it is preferable that the main surface of the laminate S1 is in contact with the outer peripheral contact surface 17a of the holding plate 12 with a width of 5 mm or more from the outer edge. The shape and dimensions of the inner peripheral contact surface 17b of the holding plate 12 can also be changed. The area of the contact surface 17 of the holding plate 12 is preferably 60% or more, more preferably 70% or more, where the area of the main surface of the laminate S1 is 100%. By making the area of the contact surface 17 of the holding plate 12 wider, the laminated plate S1 can be stably held.

保持プレート12の接触面17は、緩衝性や積層板S1との密着性の高い材料から構成することが好ましい。詳述すると、本実施形態の保持プレート12は、プレート基体12aと、プレート基体12aに積層されたパッド部12bとを備えている。プレート基体12aには、上記吸引孔20が貫設されている。パッド部12bは、上述した接触面17及び非接触面19を有している。パッド部12bは、プレート基体12aよりも軟質な材料から形成されている。プレート基体12aは、例えば、金属材料から構成されることが好ましい。パッド部12bは、例えば、ゴム系材料又は樹脂系材料から構成されることが好ましく、独立気泡構造を有する発泡体から構成されることがより好ましく、独立気泡構造を有するエステル系ポリウレタン発泡体から構成されることがさらに好ましい。パッド部12bの硬度は、タイプAデュロメータで測定されるA硬度(JIS K6253−3:2012)において、A50以上、A80以下であることが好ましい。   The contact surface 17 of the holding plate 12 is preferably made of a material having high buffering properties and high adhesion to the laminate S1. Specifically, the holding plate 12 of the present embodiment includes a plate base 12a and a pad portion 12b stacked on the plate base 12a. The suction hole 20 is formed through the plate base 12a. The pad portion 12b has the contact surface 17 and the non-contact surface 19 described above. The pad portion 12b is made of a softer material than the plate base 12a. The plate base 12a is preferably made of, for example, a metal material. The pad portion 12b is preferably made of, for example, a rubber material or a resin material, more preferably made of a foam having a closed cell structure, and made of an ester polyurethane foam having a closed cell structure. More preferably. The hardness of the pad portion 12b is preferably A50 or more and A80 or less in A hardness (JIS K6253-3: 2012) measured with a type A durometer.

<ブラシ体>
焼結体の製造装置11におけるブラシ体14は、回転駆動されるロールブラシである。ブラシ体14には、モーター等の回転駆動部22が連結されている。ブラシ体14は、積層板S1の板面に沿って延在する回転軸を中心に回転駆動される。ブラシ体14と保持プレート12との間隔は、周知のねじ機構や流体圧シリンダ等の位置調整機構を用いて調整することができる。
<Brush body>
The brush body 14 in the sintered body manufacturing apparatus 11 is a roll brush that is rotationally driven. A rotation drive unit 22 such as a motor is connected to the brush body 14. The brush body 14 is rotationally driven around a rotation axis extending along the plate surface of the laminated plate S1. The distance between the brush body 14 and the holding plate 12 can be adjusted by using a position adjusting mechanism such as a well-known screw mechanism or a fluid pressure cylinder.

ブラシ体14のブラシの材質は、ポリアミド系樹脂であることが好ましい。ブラシの繊維には、研磨材が含まれていてもよい。ブラシの毛丈は、10mm以上、30mm以下であることが好ましい。ブラシの毛丈が10mm以上の場合、焼結体層SAに過剰な負荷がかかり難くなるため、焼結体層SAの破損を抑えることができる。ブラシの毛丈が30mm以下の場合、不要層SBの剥離力を高めることができる。ブラシの線径は、0.1mm以上、0.5mm以下であることが好ましい。ブラシの線径が0.1mm以上の場合、不要層SBの剥離力を高めることができる。ブラシの線径が0.5mm以下の場合、焼結体層SAに過剰な負荷がかかり難くなるため、焼結体層SAの破損を抑えることができる。   The material of the brush of the brush body 14 is preferably a polyamide resin. The fiber of the brush may contain an abrasive. The brush length is preferably 10 mm or more and 30 mm or less. When the bristle length of the brush is 10 mm or more, it is difficult to apply an excessive load to the sintered body layer SA, so that the sintered body layer SA can be prevented from being damaged. When the bristle length of the brush is 30 mm or less, the peeling force of the unnecessary layer SB can be increased. The wire diameter of the brush is preferably 0.1 mm or more and 0.5 mm or less. When the wire diameter of the brush is 0.1 mm or more, the peeling force of the unnecessary layer SB can be increased. When the wire diameter of the brush is 0.5 mm or less, it is difficult to apply an excessive load to the sintered body layer SA, so that damage to the sintered body layer SA can be suppressed.

<剥離液供給部>
焼結体の製造装置11における剥離液供給部13は、剥離液を保持プレート12に保持された積層板S1に向けて噴射する。剥離液供給部13は、剥離液を噴射するノズルを備えている。剥離液は、焼結体層SAからの不要層SBの剥離を促進し得る液体であれば特に限定されない。剥離液としては、取扱いが容易であることから、水が好適に用いられる。
<Peeling liquid supply unit>
The stripping solution supply unit 13 in the sintered body manufacturing apparatus 11 sprays the stripping solution toward the laminated plate S1 held by the holding plate 12. The stripping solution supply unit 13 includes a nozzle that ejects the stripping solution. The stripping solution is not particularly limited as long as it is a liquid that can promote stripping of the unnecessary layer SB from the sintered body layer SA. As the stripping solution, water is preferably used because it is easy to handle.

<移動機構>
焼結体の製造装置11における移動機構15は、搬入部P1から反転部P4まで保持プレート12を往復移動可能に構成されている。移動機構15は、例えば、保持プレート12を搬送するコンベア部と、コンベア部を移動させる駆動部とから構成することができる。移動機構15のコンベア部は、保持プレート12をコンベア部に対して位置決めする周知のチャック機構を備えている。
<Movement mechanism>
The moving mechanism 15 in the sintered compact manufacturing apparatus 11 is configured to be able to reciprocate the holding plate 12 from the carry-in part P1 to the reversing part P4. The moving mechanism 15 can be comprised from the conveyor part which conveys the holding | maintenance plate 12, and the drive part which moves a conveyor part, for example. The conveyor unit of the moving mechanism 15 includes a known chuck mechanism that positions the holding plate 12 with respect to the conveyor unit.

<反転機構>
焼結体の製造装置11における反転機構16は、例えば、積層板S1の両端部を保持し、積層板S1の表裏を反転させた後に保持プレート12に載置するように構成されている。詳述すると、反転機構16は、積層板S1を保持する保持部と、保持部を昇降する昇降機構と、積層板S1を反転させるように保持部を回転させる回転機構とを備えている。
<Reversing mechanism>
The reversing mechanism 16 in the sintered body manufacturing apparatus 11 is configured to hold both end portions of the laminated plate S1 and place the laminated plate S1 on the holding plate 12 after reversing the front and back of the laminated plate S1, for example. Specifically, the reversing mechanism 16 includes a holding unit that holds the laminated plate S1, an elevating mechanism that raises and lowers the holding unit, and a rotating mechanism that rotates the holding unit so as to reverse the laminated plate S1.

<洗浄及び乾燥>
焼結体の製造装置11は、剥離部P2の後工程において、さらに洗浄液を供給する洗浄液供給部23を備えた後処理部P3を備えている。洗浄液供給部23は、ブラシ体14と反転機構16との間において保持プレート12の移動経路に洗浄液を供給するように配置されている。洗浄液供給部23は、洗浄液を噴射するノズルを備えている。洗浄液としては、水が好適に用いられる。
<Washing and drying>
The sintered body manufacturing apparatus 11 includes a post-processing unit P3 including a cleaning liquid supply unit 23 that further supplies a cleaning liquid in a subsequent process of the peeling unit P2. The cleaning liquid supply unit 23 is arranged to supply the cleaning liquid to the moving path of the holding plate 12 between the brush body 14 and the reversing mechanism 16. The cleaning liquid supply unit 23 includes a nozzle that ejects the cleaning liquid. Water is preferably used as the cleaning liquid.

本実施形態における焼結体の製造装置11の後処理部P3は、さらに不要層SBが剥離されることで露出した焼結体層SA(焼結体S2)の主面を乾燥する乾燥装置24を備えている。乾燥装置24は、洗浄液で洗い流された焼結体層SAの主面を乾燥するように配置されている。乾燥装置24としては、例えば、温風を焼結体層SAの主面に吹き付ける送風装置を用いることができる。なお、乾燥装置24は、赤外線ヒーター等の加熱装置であってもよい。   The post-processing unit P3 of the sintered body manufacturing apparatus 11 in the present embodiment further dries the main surface of the sintered body layer SA (sintered body S2) exposed by peeling off the unnecessary layer SB. It has. The drying device 24 is arranged so as to dry the main surface of the sintered body layer SA washed away with the cleaning liquid. As the drying device 24, for example, a blower that blows hot air on the main surface of the sintered body layer SA can be used. The drying device 24 may be a heating device such as an infrared heater.

<焼結体の製造方法>
次に、焼結体の製造方法を説明する。
焼結体の製造方法は、積層板S1から焼結体S2を製造する方法である。積層板S1は、未焼結体層と、この未焼結体層を拘束する拘束層とが積層された未焼結積層板の未焼結体層を焼成することで得られる。未焼結体層としては、周知のグリーンシートを用いることができる。グリーンシートとしては、例えば、多層セラミックス基板形成用グリーンシート、波長変換部材形成用のグリーンシート等が挙げられる。未焼結体層は、単層構造を有していてもよいし、多層構造を有していてもよい。未焼結体層(グリーンシート)は、例えば、ガラス粉末及びバインダーを含有する。
<Method for producing sintered body>
Next, the manufacturing method of a sintered compact is demonstrated.
The method for manufacturing the sintered body is a method for manufacturing the sintered body S2 from the laminated plate S1. The laminate S1 is obtained by firing the unsintered body layer of the unsintered laminate in which the unsintered body layer and the constraining layer that restrains the unsintered body layer are laminated. As the green body layer, a known green sheet can be used. Examples of the green sheet include a multilayer ceramic substrate forming green sheet and a wavelength conversion member forming green sheet. The green body layer may have a single layer structure or a multilayer structure. An unsintered body layer (green sheet) contains glass powder and a binder, for example.

拘束層は、未焼結体層の焼成温度では焼結しない材料から構成される。拘束層は、例えば、無機粉体及びバインダーを含有する。無機粉体としては、例えば、金属酸化物の粉体であり、酸化アルミニウムの粉体を好適に用いることができる。   The constraining layer is made of a material that does not sinter at the firing temperature of the green body layer. The constraining layer contains, for example, inorganic powder and a binder. The inorganic powder is, for example, a metal oxide powder, and an aluminum oxide powder can be suitably used.

未焼結積層板は、未焼結体層と拘束層とを圧着することで形成することができる。未焼結積層板の未焼結体層を焼成する焼成工程は、未焼結積層板を厚み方向に加圧した状態で行ってもよいし、加圧せずに行ってもよい。   An unsintered laminated board can be formed by press-bonding an unsintered body layer and a constraining layer. The firing step of firing the green body layer of the unsintered laminate may be performed with the unsintered laminate being pressed in the thickness direction, or may be performed without applying pressure.

このように構成された未焼結積層板を焼成する無収縮焼成法では、未焼結体層の焼成に伴う面内の収縮が拘束層により抑制されるため、寸法精度を高めた焼結体S2を製造することが可能となる。未焼結積層板の拘束層は、未焼結体層を焼成した後に不要となる。すなわち、未焼結積層板の拘束層は、焼成工程後の積層板S1において不要となった不要層SBである。積層板S1は、例えば、5mm以下の厚さを有している。積層板S1の厚さは、例えば、0.5mm以上である。   In the non-shrinkage firing method for firing the unsintered laminated plate configured as described above, in-plane shrinkage due to firing of the unsintered body layer is suppressed by the constraining layer, so that the sintered body has improved dimensional accuracy. S2 can be manufactured. The constraining layer of the unsintered laminate becomes unnecessary after the unsintered body layer is fired. That is, the constraining layer of the unsintered laminated board is an unnecessary layer SB that is no longer necessary in the laminated board S1 after the firing step. The laminated sheet S1 has a thickness of 5 mm or less, for example. The thickness of the laminated board S1 is 0.5 mm or more, for example.

焼結体の製造方法は、剥離液で湿らせた状態の不要層SBにブラシ体14を摺接することで焼結体層SAから不要層SBを剥離する剥離工程を備えている。本実施形態の剥離工程は、積層板S1の一方の不要層SBを剥離する第1段階と、積層板S1の他方の不要層SBを剥離する第2段階とを備えている。   The manufacturing method of the sintered body includes a peeling step of peeling the unnecessary layer SB from the sintered body layer SA by sliding the brush body 14 in contact with the unnecessary layer SB wetted with a peeling solution. The peeling process of the present embodiment includes a first stage in which one unnecessary layer SB of the laminated board S1 is peeled off and a second stage in which the other unnecessary layer SB of the laminated board S1 is peeled off.

図3に示すように、剥離工程の第1段階は、積層板S1の一方の主面を吸引する保持プレート12により積層板S1を保持した状態で行われる。剥離工程の第1段階では、積層板S1の他方の主面側に設けられた不要層SBを剥離する。この第1段階では、保持プレート12を移動機構15により第1移動方向D1に移動させる。これにより、保持プレート12と、ロールブラシ(ブラシ体14)とを相対移動させることができる。このとき、不要層SBの剥離力を高めるという観点から、ロールブラシ(ブラシ体14)は、第1移動方向D1に逆らって回転させることが好ましい。   As shown in FIG. 3, the first stage of the peeling step is performed in a state where the laminated plate S1 is held by the holding plate 12 that sucks one main surface of the laminated plate S1. In the first stage of the peeling process, the unnecessary layer SB provided on the other main surface side of the laminate S1 is peeled off. In the first stage, the holding plate 12 is moved by the moving mechanism 15 in the first moving direction D1. Thereby, the holding plate 12 and the roll brush (brush body 14) can be relatively moved. At this time, it is preferable to rotate the roll brush (brush body 14) against the first moving direction D1 from the viewpoint of increasing the peeling force of the unnecessary layer SB.

図4に示すように、焼結体の製造方法では、剥離工程の第1段階の後、洗浄工程と乾燥工程が行われる。洗浄工程では、第1段階において不要層SBが剥離されることで露出した焼結体層SAの主面を洗浄液供給部23から供給される洗浄液により洗浄する。乾燥工程では、洗浄液により洗浄された焼結体層SAの主面を乾燥する。洗浄工程及び乾燥工程は、上述した焼結体の製造装置11における後処理部P3に保持プレート12を移動させることで行うことができる。   As shown in FIG. 4, in the manufacturing method of a sintered compact, a washing | cleaning process and a drying process are performed after the 1st step of a peeling process. In the cleaning process, the main surface of the sintered body layer SA exposed by peeling off the unnecessary layer SB in the first stage is cleaned with the cleaning liquid supplied from the cleaning liquid supply unit 23. In the drying step, the main surface of the sintered body layer SA cleaned with the cleaning liquid is dried. The cleaning step and the drying step can be performed by moving the holding plate 12 to the post-processing unit P3 in the sintered body manufacturing apparatus 11 described above.

次に、焼結体の製造装置11における反転部P4に保持プレート12を移動させる。このとき、積層板S1の他方の主面(上面)は、焼結体層SAが露出した露出面となっている。   Next, the holding plate 12 is moved to the reversing part P4 in the sintered body manufacturing apparatus 11. At this time, the other main surface (upper surface) of the laminate S1 is an exposed surface from which the sintered body layer SA is exposed.

続いて、図5に示すように、焼結体の製造方法では、反転部P4において反転工程が行われる。反転工程では、積層板S1の不要層SBが上面となるように積層板S1を反転機構16により反転させる。このように反転工程で反転された積層板S1を保持プレート12に保持させる。すなわち、反転工程後の積層板S1では、焼結体層SAが露出した主面(下面)を保持プレート12により吸引することで保持プレート12に保持する。次に、保持プレート12を第1移動方向D1とは反対の第2移動方向D2に移動させる。   Then, as shown in FIG. 5, in the manufacturing method of a sintered compact, the inversion process is performed in the inversion part P4. In the reversing step, the reversing mechanism 16 reverses the laminated plate S1 so that the unnecessary layer SB of the laminated plate S1 becomes the upper surface. Thus, the laminated plate S1 reversed in the reversing step is held on the holding plate 12. That is, in the laminated plate S1 after the reversing step, the main surface (lower surface) from which the sintered body layer SA is exposed is sucked by the holding plate 12 to be held on the holding plate 12. Next, the holding plate 12 is moved in the second movement direction D2 opposite to the first movement direction D1.

続いて、図6に示すように、剥離工程の第1段階と同様に、剥離部P2において剥離工程の第2段階が行われる。すなわち、剥離工程の第1段階及び第2段階では、共通のブラシ体14(ロールブラシ)を用いる。また、剥離工程の第1段階及び第2段階において、積層板S1の移動方向は、互いに同一の第1移動方向D1である。なお、本実施形態では、剥離工程の第2段階の後においても、洗浄工程及び乾燥工程を行った後、得られた焼結体S2を搬出部P5に搬出する。   Subsequently, as shown in FIG. 6, the second stage of the peeling process is performed in the peeling portion P <b> 2, similarly to the first stage of the peeling process. That is, the common brush body 14 (roll brush) is used in the first stage and the second stage of the peeling process. Further, in the first stage and the second stage of the peeling process, the moving direction of the laminate S1 is the same first moving direction D1. In the present embodiment, even after the second stage of the peeling process, after performing the cleaning process and the drying process, the obtained sintered body S2 is carried out to the carry-out part P5.

得られた焼結体S2には、必要に応じて表面研磨等の後加工が施される。焼結体S2としては、例えば、多層セラミックス基板、入射した励起光とは異なる波長の蛍光を出射する波長変換部材等が挙げられる。   The obtained sintered body S2 is subjected to post-processing such as surface polishing as necessary. Examples of the sintered body S2 include a multilayer ceramic substrate, a wavelength conversion member that emits fluorescence having a wavelength different from the incident excitation light, and the like.

以上詳述した実施形態によれば、次のような作用効果が発揮される。
(1)焼結体の製造方法は、焼結体層SAと不要層SBとを有する積層板S1から焼結体S2を製造する方法である。焼結体の製造方法は、剥離液で湿らせた状態の不要層SBにブラシ体14を摺接することで積層板S1の焼結体層SAから不要層SBを剥離する剥離工程を備えている。剥離工程では、積層板S1の一方の主面を吸引する保持プレート12により積層板S1を保持した状態で積層板S1の他方の主面側に設けられた不要層SBを剥離する。
According to the embodiment described in detail above, the following operational effects are exhibited.
(1) The manufacturing method of a sintered compact is a method of manufacturing sintered compact S2 from laminated board S1 which has sintered compact layer SA and unnecessary layer SB. The manufacturing method of the sintered body includes a peeling step of peeling the unnecessary layer SB from the sintered body layer SA of the laminate S1 by sliding the brush body 14 on the unnecessary layer SB wetted with the peeling liquid. . In the peeling step, the unnecessary layer SB provided on the other main surface side of the laminated plate S1 is peeled in a state where the laminated plate S1 is held by the holding plate 12 that sucks one main surface of the laminated plate S1.

この方法によれば、積層板S1の不要層SBにブラシ体14を摺接する際に、上記のように保持プレート12で保持することで積層板S1の位置が安定するため、ブラシ体14の摺接力を積層板S1の不要層SBに安定して伝えることができる。従って、焼結体層SAと不要層SBとを有する積層板S1における不要層SBを安定して剥離することが可能となる。   According to this method, when the brush body 14 is brought into sliding contact with the unnecessary layer SB of the laminated board S1, the position of the laminated board S1 is stabilized by being held by the holding plate 12 as described above. The contact force can be stably transmitted to the unnecessary layer SB of the laminate S1. Therefore, the unnecessary layer SB in the laminate S1 having the sintered body layer SA and the unnecessary layer SB can be stably peeled off.

(2)焼結体の製造方法において、保持プレート12は、積層板S1の一方の主面における外周縁の全周にわたって接触する外周接触面17aを有している。この場合、ブラシ体14の摺接力を積層板S1の不要層SBの外周縁に伝え易くなる。従って、積層板S1の不要層SBを剥離する剥離力を高めることができる。   (2) In the manufacturing method of a sintered compact, the holding plate 12 has the outer peripheral contact surface 17a which contacts over the perimeter of the outer periphery in one main surface of laminated board S1. In this case, the sliding contact force of the brush body 14 can be easily transmitted to the outer peripheral edge of the unnecessary layer SB of the laminate S1. Accordingly, it is possible to increase the peeling force for peeling off the unnecessary layer SB of the laminate S1.

(3)焼結体の製造方法において、保持プレート12は、外周接触面17aよりも内周側に位置するとともに積層板S1の一方の主面に接触する内周接触面17bをさらに有している。この場合、保持プレート12と積層板S1との接触面積を増大することができるため、積層板S1をより安定して保持することができる。これにより、ブラシ体14の摺接力を積層板S1の不要層SBにより伝え易くなる。従って、積層板S1の不要層SBを剥離する剥離力をより高めることができる。   (3) In the method for manufacturing a sintered body, the holding plate 12 further includes an inner peripheral contact surface 17b that is positioned on the inner peripheral side with respect to the outer peripheral contact surface 17a and that is in contact with one main surface of the laminate S1. Yes. In this case, since the contact area between the holding plate 12 and the laminated plate S1 can be increased, the laminated plate S1 can be held more stably. Thereby, it becomes easy to transmit the sliding contact force of the brush body 14 to the unnecessary layer SB of the laminate S1. Therefore, the peeling force for peeling the unnecessary layer SB of the laminate S1 can be further increased.

(4)焼結体の製造方法において、保持プレート12は、外周接触面17aと連続した平坦面であり、かつ積層板S1と非接触となる非接触面19を有している。保持プレート12の非接触面19は、外周接触面17aを取り囲むように配置されている。   (4) In the method for manufacturing a sintered body, the holding plate 12 has a non-contact surface 19 that is a flat surface continuous with the outer peripheral contact surface 17a and is not in contact with the laminated sheet S1. The non-contact surface 19 of the holding plate 12 is disposed so as to surround the outer peripheral contact surface 17a.

この場合、保持プレート12の外周接触面17aの変形を抑えることができるため、外周接触面17aと積層板S1との密着性を高めることができる。これにより、積層板S1を吸引する保持プレート12の吸引力が十分に発揮されることで、ブラシ体14から比較的強い摺接力が積層板S1の不要層SBに加わったとしても、積層板S1の位置ずれを防止することが可能となる。従って、積層板S1の不要層SBを剥離する剥離力をより高めることができる。   In this case, since the deformation of the outer peripheral contact surface 17a of the holding plate 12 can be suppressed, the adhesion between the outer peripheral contact surface 17a and the laminate S1 can be enhanced. Thereby, even if a relatively strong sliding contact force is applied from the brush body 14 to the unnecessary layer SB of the laminated plate S1 by sufficiently exerting the suction force of the holding plate 12 that sucks the laminated plate S1, the laminated plate S1. It is possible to prevent the displacement of the position. Therefore, the peeling force for peeling the unnecessary layer SB of the laminate S1 can be further increased.

(5)焼結体の製造方法において、ブラシ体14は、回転駆動されるロールブラシであり、保持プレート12とロールブラシとを相対移動させている。この場合、剥離工程を効率的に行うことができるとともに、剥離工程で剥離された不要層SBの排出が容易となる。従って、焼結体S2の生産性を容易に高めることができる。   (5) In the method for manufacturing a sintered body, the brush body 14 is a roll brush that is rotationally driven, and relatively moves the holding plate 12 and the roll brush. In this case, the peeling process can be efficiently performed, and the unnecessary layer SB peeled in the peeling process can be easily discharged. Therefore, the productivity of the sintered body S2 can be easily increased.

(6)焼結体の製造方法では、保持プレート12とロールブラシとの相対移動において規定される積層板S1の移動方向(第1移動方向D1)に逆らってロールブラシを回転させている。すなわち、本実施形態では、ロールブラシを積層板S1の移動方向に向かう正回転に対して逆回転させている。この場合、積層板S1の不要層SBを剥離する剥離力をより高めることができる。これにより、例えば、ブラシ体14の数を削減することで、製造設備を小型化することが可能となる。また、例えば、焼結体S2の製造効率を高めることが可能となる。   (6) In the method for manufacturing a sintered body, the roll brush is rotated against the moving direction (first moving direction D1) of the laminated plate S1 defined in the relative movement between the holding plate 12 and the roll brush. That is, in this embodiment, the roll brush is rotated in reverse with respect to the normal rotation in the moving direction of the laminate S1. In this case, the peeling force for peeling off the unnecessary layer SB of the laminate S1 can be further increased. Thereby, for example, it becomes possible to reduce a manufacturing facility by reducing the number of the brush bodies 14. In addition, for example, it is possible to increase the manufacturing efficiency of the sintered body S2.

(7)積層板S1は、焼結体層SAの両面にそれぞれ不要層SBを有している。焼結体の製造方法における剥離工程は、一方の不要層SBを剥離する第1段階と、他方の不要層SBを剥離する第2段階とを備えている。剥離工程において、第1段階及び第2段階で用いるブラシ体14は、共通のロールブラシであり、第1段階及び第2段階の相対移動において規定される積層板S1の移動方向は、互いに同一の移動方向(第1移動方向D1)である。   (7) The laminate S1 has unnecessary layers SB on both surfaces of the sintered body layer SA. The peeling step in the method for manufacturing a sintered body includes a first stage for peeling one unnecessary layer SB and a second stage for peeling the other unnecessary layer SB. In the peeling process, the brush body 14 used in the first stage and the second stage is a common roll brush, and the moving directions of the laminate S1 defined in the relative movement in the first stage and the second stage are the same. It is a moving direction (first moving direction D1).

この場合、積層板S1の搬入、及び焼結体S2の搬出のスペースの確保が容易であり、また製造設備を小型化することが可能となる。
(8)焼結体の製造方法において、ブラシ体14のブラシの材質は、ポリアミド系樹脂であることが好ましい。この場合、積層板S1の焼結体層SAの主面に傷が生じ難く、かつ不要層SBの剥離力を十分に得ることができる。従って、焼結体S2の歩留まりを向上したり、焼結体S2の生産効率を高めたりすることが可能となる。
In this case, it is easy to secure a space for carrying in the laminated plate S1 and carrying out the sintered body S2, and it is possible to reduce the size of the manufacturing equipment.
(8) In the manufacturing method of a sintered compact, it is preferable that the material of the brush of the brush body 14 is a polyamide-type resin. In this case, the main surface of the sintered body layer SA of the laminate S1 is hardly damaged, and a sufficient peeling force for the unnecessary layer SB can be obtained. Accordingly, it is possible to improve the yield of the sintered body S2 and increase the production efficiency of the sintered body S2.

(9)積層板S1は、未焼結体層と未焼結体層を拘束する拘束層とが積層された未焼結積層板の未焼結体層を焼成することで得られる。積層板S1の不要層SBは、拘束層である。この場合、寸法精度の高い焼結体S2を得ることができる。   (9) The laminate S1 is obtained by firing the unsintered body layer of the unsintered laminate in which the unsintered body layer and the constraining layer that restrains the unsintered body layer are laminated. The unnecessary layer SB of the laminate S1 is a constraining layer. In this case, a sintered body S2 with high dimensional accuracy can be obtained.

(10)積層板S1は、その厚さが薄くなるほど変形や破損が発生し易い。このように厚さの薄い積層板S1であっても、上記焼結体の製造方法のように保持プレート12を用いることで、積層板S1を保護しつつ、ブラシ体14からの摺接力を積層板S1の不要層SBに十分に伝えることができる。従って、本実施形態の焼結体の製造方法は、厚さが5mm以下の積層板S1から焼結体S2を製造する方法として好適に用いることができる。   (10) The laminated plate S1 is more likely to be deformed or damaged as its thickness is reduced. Even in such a thin laminated plate S1, the sliding plate force from the brush body 14 is laminated while the laminated plate S1 is protected by using the holding plate 12 as in the manufacturing method of the sintered body. It can be sufficiently transmitted to the unnecessary layer SB of the plate S1. Therefore, the manufacturing method of the sintered compact of this embodiment can be used suitably as a method of manufacturing sintered compact S2 from laminated board S1 whose thickness is 5 mm or less.

(11)焼結体の製造装置11は、焼結体層SAと不要層SBとを有する積層板S1から焼結体S2を製造する装置である。焼結体の製造装置11は、積層板S1の焼結体層SAから不要層SBを剥離する剥離部P2を備えている。剥離部P2は、積層板S1の一方の主面を吸引して積層板S1を保持する保持プレート12と、保持プレート12に保持された積層板S1の他方の主面側に設けられた不要層SBに剥離液を供給する剥離液供給部13と、剥離液が供給された不要層SBに摺接されるブラシ体14とを備えている。   (11) The sintered body manufacturing apparatus 11 is an apparatus for manufacturing the sintered body S2 from the laminated plate S1 having the sintered body layer SA and the unnecessary layer SB. The sintered body manufacturing apparatus 11 includes a peeling portion P2 that peels the unnecessary layer SB from the sintered body layer SA of the laminated plate S1. The peeling part P2 sucks one main surface of the laminated plate S1 to hold the laminated plate S1, and an unnecessary layer provided on the other main surface side of the laminated plate S1 held by the holding plate 12 A stripping solution supply unit 13 that supplies stripping solution to the SB and a brush body 14 that is in sliding contact with the unnecessary layer SB supplied with the stripping solution are provided.

この構成によれば、上記(1)欄で述べた作用効果と同様の作用効果が得られる。
(変更例)
上記実施形態を次のように変更してもよい。
According to this configuration, the same effect as the effect described in the above section (1) can be obtained.
(Example of change)
You may change the said embodiment as follows.

・焼結体の製造方法で用いる保持プレート12の構成としては、例えば、積層板S1の一方の主面の外周縁よりも内側のみに接触面を有する構成、内周接触面17bを省略した構成、外周接触面17aを取り囲む非接触面19を省略した構成等を採用してもよい。   -As a structure of the holding | maintenance plate 12 used with the manufacturing method of a sintered compact, the structure which has a contact surface only inside the outer periphery of one main surface of laminated board S1, for example, the structure which abbreviate | omitted the inner peripheral contact surface 17b A configuration in which the non-contact surface 19 surrounding the outer peripheral contact surface 17a is omitted may be employed.

・上記焼結体の製造方法において、剥離工程の第1段階及び第2段階の少なくとも一方の段階を、複数のブラシ体を用いて行ってもよい。
・上記焼結体の製造方法において、ブラシ体14としてロールブラシを用いているが、例えば、積層板S1の板面に直交する回転軸を中心に回転される円盤ブラシを用いてもよい。この場合、積層板S1の外形よりも大きい外形を有する円盤ブラシを用いることで、ブラシ体と積層板S1とを相対移動させずに剥離工程を行うこともできる。また、ブラシ体を回転不能な板ブラシに変更することもできる。
-In the manufacturing method of the said sintered compact, you may perform at least one step of the 1st step and the 2nd step of a peeling process using a some brush body.
-In the manufacturing method of the said sintered compact, although the roll brush is used as the brush body 14, the disk brush rotated centering around the rotating shaft orthogonal to the plate surface of laminated sheet S1 may be used, for example. In this case, by using a disk brush having an outer shape larger than the outer shape of the laminated plate S1, the peeling step can be performed without relatively moving the brush body and the laminated plate S1. Also, the brush body can be changed to a non-rotatable plate brush.

・焼結体の製造方法において、ブラシ体14(ロールブラシ)を積層板S1の移動速度よりも周速を速めた回転駆動により積層板S1の移動方向に向かって回転(正回転)させてもよい。   -In the manufacturing method of a sintered compact, even if it rotates the brush body 14 (roll brush) toward the moving direction of the laminated board S1 by the rotational drive which accelerated the circumferential speed rather than the moving speed of the laminated board S1, (forward rotation). Good.

・焼結体の製造方法において、剥離工程の第1段階及び第2段階では、保持プレート12(積層板S1)を移動させているが、保持プレート12を移動させずにブラシ体14(ロールブラシ)を移動させてもよい。この場合であっても、上記(5)欄で述べた作用効果と同様の作用効果を得ることができる。なお、ブラシ体14を移動させる場合、保持プレート12(積層板S1)とロールブラシとの相対移動において規定される積層板S1の移動方向は、ブラシ体14の移動方向と反対の方向となる。   In the manufacturing method of the sintered body, the holding plate 12 (laminated plate S1) is moved in the first stage and the second stage of the peeling process, but the brush body 14 (roll brush) is moved without moving the holding plate 12. ) May be moved. Even in this case, the same effect as the effect described in the column (5) can be obtained. In addition, when moving the brush body 14, the moving direction of the laminated board S1 prescribed | regulated in the relative movement of the holding | maintenance plate 12 (laminated board S1) and a roll brush turns into a direction opposite to the moving direction of the brush body 14. FIG.

・焼結体の製造方法において、剥離工程の第1段階及び第2段階では、共通のブラシ体14を用いているが、第1段階で用いるブラシ体と異なるブラシ体を第2段階で用いてもよい。例えば、剥離工程の第1段階を行うラインと、剥離工程の第2段階を行うラインとを直列、又は並列させて配置することで、剥離工程の第1段階及び第2段階を行うこともできる。   In the manufacturing method of the sintered body, the common brush body 14 is used in the first stage and the second stage of the peeling process, but a brush body different from the brush body used in the first stage is used in the second stage. Also good. For example, the first stage and the second stage of the peeling process can be performed by arranging a line that performs the first stage of the peeling process and a line that performs the second stage of the peeling process in series or in parallel. .

・焼結体の製造方法において、剥離工程の第1段階及び第2段階では、積層板S1の移動方向は、互いに同一の第1移動方向D1であるが、第2段階は、第1移動方向D1と反対の第2移動方向D2に積層板S1を移動して行うこともできる。また、第2段階において、上記のように第1段階と異なるブラシ体を用いた場合、第1移動方向D1及び第2移動方向D2のいずれの方向とも異なる方向に積層板S1を移動して行うこともできる。   In the manufacturing method of the sintered body, in the first stage and the second stage of the peeling process, the moving direction of the laminated sheet S1 is the same first moving direction D1, but the second stage is the first moving direction. It can also be performed by moving the laminated sheet S1 in the second movement direction D2 opposite to D1. In the second stage, when the brush body different from the first stage is used as described above, the laminate S1 is moved in a direction different from both the first movement direction D1 and the second movement direction D2. You can also.

・上記焼結体の製造方法において、積層板S1を保持プレート12に保持した後に、積層板S1の不要層SBを剥離液で湿らせた状態としているが、積層板S1の不要層SBを剥離液で湿らせた状態とした後に、積層板S1を保持プレート12に保持させてもよい。   -In the manufacturing method of the sintered body, after the laminated plate S1 is held on the holding plate 12, the unnecessary layer SB of the laminated plate S1 is moistened with the peeling liquid, but the unnecessary layer SB of the laminated plate S1 is peeled off. The laminated plate S1 may be held by the holding plate 12 after being wetted with the liquid.

・上記積層板S1は、焼結体層SAの両面にそれぞれ不要層SBを有しているが、焼結体層SAの片面に不要層SBを有する積層板であってもよい。すなわち、焼結体の製造方法において、反転工程、及び剥離工程の第2段階を省略してもよい。   The laminate S1 has the unnecessary layers SB on both sides of the sintered body layer SA, but may be a laminate having the unnecessary layer SB on one side of the sintered body layer SA. That is, in the method for manufacturing a sintered body, the second step of the inversion step and the peeling step may be omitted.

・上記積層板S1の不要層SBは、未焼結積層板に積層された拘束層であるが、不要層SBは拘束層に限らず、例えば、焼結の過程で焼結体層SAの主面に析出した不純物層であってもよい。   The unnecessary layer SB of the laminated plate S1 is a constrained layer laminated on an unsintered laminated plate, but the unnecessary layer SB is not limited to the constrained layer, for example, the main layer of the sintered body layer SA in the course of sintering. It may be an impurity layer deposited on the surface.

・上記積層板S1は、平面視で四角形状であるが、例えば、四角形状以外の多角形状や円形状等の他の形状の積層板に変更してもよい。
・焼結体の製造方法において、洗浄液供給部23を用いた洗浄工程、及び乾燥装置24を用いた乾燥工程の少なくとも一方の工程を省略することもできる。例えば、焼結体S2を後工程で洗浄したり、自然乾燥したりすることもできる。
The laminate S1 has a quadrangular shape in plan view, but may be changed to a laminate having another shape such as a polygonal shape or a circular shape other than the quadrangular shape.
In the method for manufacturing a sintered body, at least one of the cleaning process using the cleaning liquid supply unit 23 and the drying process using the drying device 24 can be omitted. For example, the sintered body S2 can be washed in a later process or naturally dried.

11…焼結体の製造装置、12…保持プレート、13…剥離液供給部、14…ブラシ体、17a…外周接触面、17b…内周接触面、19…非接触面、D1…第1移動方向、P2…剥離部、S1…積層板、S2…焼結体、SA…焼結体層、SB…不要層。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Manufacturing apparatus of a sintered compact, 12 ... Holding plate, 13 ... Stripping liquid supply part, 14 ... Brush body, 17a ... Outer peripheral contact surface, 17b ... Inner peripheral contact surface, 19 ... Non-contact surface, D1 ... First movement Direction, P2 ... peeling part, S1 ... laminated board, S2 ... sintered body, SA ... sintered body layer, SB ... unnecessary layer.

Claims (11)

焼結体層と不要層とを有する積層板から焼結体を製造する焼結体の製造方法であって、
剥離液で湿らせた状態の前記不要層にブラシ体を摺接することで前記焼結体層から前記不要層を剥離する剥離工程を備え、
前記剥離工程において、前記積層板の一方の主面を吸引する保持プレートにより前記積層板を保持した状態で前記積層板の他方の主面側に設けられた前記不要層を剥離することを特徴とする焼結体の製造方法。
A method for producing a sintered body for producing a sintered body from a laminate having a sintered body layer and an unnecessary layer,
A peeling step of peeling the unnecessary layer from the sintered body layer by sliding the brush body in contact with the unnecessary layer moistened with a peeling liquid;
In the peeling step, the unnecessary layer provided on the other main surface side of the laminated plate is peeled in a state where the laminated plate is held by a holding plate that sucks one main surface of the laminated plate. A method for manufacturing a sintered body.
前記保持プレートは、前記積層板の一方の主面における外周縁の全周にわたって接触する外周接触面を有することを特徴とする請求項1に記載の焼結体の製造方法。   The method for manufacturing a sintered body according to claim 1, wherein the holding plate has an outer peripheral contact surface that is in contact with the entire periphery of the outer peripheral edge of one main surface of the laminated plate. 前記保持プレートは、前記外周接触面よりも内周側に位置するとともに前記積層板の一方の主面に接触する内周接触面をさらに有することを特徴とする請求項2に記載の焼結体の製造方法。   3. The sintered body according to claim 2, wherein the holding plate further includes an inner peripheral contact surface that is positioned on an inner peripheral side with respect to the outer peripheral contact surface and that contacts one main surface of the laminated plate. Manufacturing method. 前記保持プレートは、前記外周接触面と連続した平坦面であり、かつ前記積層板と非接触となる非接触面を有し、
前記非接触面は、前記外周接触面を取り囲むように配置されていることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載の焼結体の製造方法。
The holding plate is a flat surface continuous with the outer peripheral contact surface, and has a non-contact surface that is non-contact with the laminated plate,
The said non-contact surface is arrange | positioned so that the said outer peripheral contact surface may be surrounded, The manufacturing method of the sintered compact of Claim 2 or Claim 3 characterized by the above-mentioned.
前記ブラシ体は、回転駆動されるロールブラシであり、
前記保持プレートと前記ロールブラシとを相対移動させることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の焼結体の製造方法。
The brush body is a roll brush that is driven to rotate,
The method for manufacturing a sintered body according to any one of claims 1 to 4, wherein the holding plate and the roll brush are relatively moved.
前記相対移動において規定される前記積層板の移動方向に逆らって前記ロールブラシを回転させることを特徴とする請求項5に記載の焼結体の製造方法。   The method for manufacturing a sintered body according to claim 5, wherein the roll brush is rotated against the moving direction of the laminated plate defined in the relative movement. 前記積層板は、前記焼結体層の両面にそれぞれ不要層を有し、
前記剥離工程は、一方の前記不要層を剥離する第1段階と、他方の前記不要層を剥離する第2段階とを備え、
前記第1段階及び前記第2段階で用いる前記ブラシ体は、共通の前記ロールブラシであり、前記第1段階及び前記第2段階の前記相対移動において規定される前記積層板の移動方向は、互いに同一の移動方向であることを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の焼結体の製造方法。
The laminated plate has unnecessary layers on both sides of the sintered body layer,
The peeling step includes a first stage for peeling one of the unnecessary layers and a second stage for peeling the other unnecessary layer,
The brush bodies used in the first stage and the second stage are the common roll brushes, and the movement directions of the laminated plates defined in the relative movement of the first stage and the second stage are mutually The method for producing a sintered body according to claim 5 or 6, wherein the directions of movement are the same.
前記ブラシ体のブラシの材質は、ポリアミド系樹脂であることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の焼結体の製造方法。   The method for manufacturing a sintered body according to any one of claims 1 to 7, wherein a material of the brush of the brush body is a polyamide-based resin. 前記積層板は、未焼結体層と前記未焼結体層を拘束する拘束層とが積層された未焼結積層板の前記未焼結体層を焼成することで得られ、前記積層板の前記不要層は、前記拘束層であることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の焼結体の製造方法。   The laminate is obtained by firing the unsintered laminate layer of an unsintered laminate in which an unsintered laminate layer and a constraining layer that restrains the unsintered laminate layer are laminated. The method according to claim 1, wherein the unnecessary layer is a constraining layer. 前記積層板の厚さは、5mm以下であることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の焼結体の製造方法。   The thickness of the said laminated board is 5 mm or less, The manufacturing method of the sintered compact as described in any one of Claims 1-9 characterized by the above-mentioned. 焼結体層と不要層とを有する積層板から焼結体を製造する焼結体の製造装置であって、
前記焼結体層から前記不要層を剥離する剥離部を備え、
前記剥離部は、前記積層板の一方の主面を吸引して前記積層板を保持する保持プレートと、前記保持プレートに保持された前記積層板の他方の主面側に設けられた前記不要層に剥離液を供給する剥離液供給部と、前記剥離液が供給された前記不要層に摺接されるブラシ体と、を備えることを特徴とする焼結体の製造装置。
A sintered body manufacturing apparatus for manufacturing a sintered body from a laminate having a sintered body layer and an unnecessary layer,
A peeling portion for peeling off the unnecessary layer from the sintered body layer,
The peeling portion includes a holding plate that sucks one main surface of the laminated plate to hold the laminated plate, and the unnecessary layer provided on the other main surface side of the laminated plate held by the holding plate. An apparatus for manufacturing a sintered body, comprising: a peeling liquid supply unit that supplies a peeling liquid to the brush and a brush body that is slidably contacted with the unnecessary layer to which the peeling liquid is supplied.
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