JP2019011989A

JP2019011989A - 電流センサ

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Publication number: JP2019011989A
Application number: JP2017127887A
Authority: JP
Inventors: 大場　佳成; Yoshinari Oba; 佳成大場; 亮介小林; Ryosuke Kobayashi
Original assignee: FDK Corp
Current assignee: FDK Corp
Priority date: 2017-06-29
Filing date: 2017-06-29
Publication date: 2019-01-24
Anticipated expiration: 2037-06-29
Also published as: JP6920114B2

Abstract

【課題】軽量小型化が可能で、高温環境下でも大電流を高い精度で測定することができる電流センサを提供する。【解決手段】上下方向に扁平な矩形平板状の圧電素子１０ａと圧電素子の上面と下面に積層された矩形平板状の第１および第２の磁歪体（２０、３０）とを備え、磁歪体は短辺方向の電流Ｉによって発生する磁界によって、長辺方向に伸張あるいは収縮する一方向に変形し、圧電素子の圧電体１１において互いに対向する第１および第２端面の当該対向方向に分極しており、圧電素子は上面と下面に磁歪体の変形方向に沿う応力を受けてｄ１５モードあるいはｄ３３モードで電気機械変換を行って第１の電極１２と第２の電極１３との間に電圧Ｖを発生する電流センサ１ａとしている。【選択図】図２

Description

本発明は電流センサに関する。

電線に流れる直流電流が発生する磁界を検出することで電線に流れる電流を非接触で測定できる電流センサがある。そして、この種の電流センサとしてはホール素子を用いたものがよく知られている。ホール素子を用いた電流センサは、環状の磁性体コアに設けたギャップ部位にホール素子を配置した構成を有している。この構成において、ホール素子は、環状の磁性体コアに挿通された電線を流れる電流によって発生した磁界の強さに応じたホール電圧を発生させる。そして、そのホール電圧の電圧値に基づいて電線を流れる電流値を非接触で測定するのである。

また以下の特許文献１には、磁歪素子を用いた磁界センサと、その磁界センサを用いた電流センサ（電流検出器）について記載されている。磁歪効果は、強磁性体が磁化すると形状が変化する現象である。特許文献１に記載されている磁歪効果を利用した電流センサは、大きな磁歪効果を有する「超磁歪材料」を板状に成形した磁歪体に圧電素子を積層させた構造を有している。圧電素子は、磁歪体の変形に伴って自身も変形して機械電気変換を行い、電圧を発生させる。そして、磁歪体を用いた電流センサでは、その圧電素子が発生する電圧に基づいて電流を測定している。

以下の特許文献２には、逆磁歪効果（ビラリ効果）を用いた電流センサについて記載されている。この特許文献２に記載の電流センサは、円環状の圧電体の表裏に円環状の磁性体を積層させてなる円環状の積層体と、その円環状の積層体の内外に線材を巻回させてなるピックアップコイルとを備えている。そして、ホール素子を用いた電流センサと同様に積層体の円環内に測定対象となる電線を挿通している。なお以下の非特許文献１には、圧電素子の特性などが記載されている。

特開２０００−８８９３７号公報特開２００８−１４５２２０号公報

ＦＤＫ株式会社、"圧電セラミックス"、[online]、[平成２９年５月２９日検索]、インターネット＜ＵＲＬ：http://www.fdk.co.jp/cyber-j/pdf/BZ-TEJ001.pdf＞

近年、燃料電池車やハイブリット車を含む電気自動車に搭載する電流センサに注目が集まっている。車載用の電流センサには、大きな直流電流を非接触、かつ高精度で検出できることに加え、比較的に高温となるような厳しい環境でも電流測定が行えることが求められている。しかし、電流センサを含め、車載用途の各種センサには、特に、小型軽量であること、壊れにくい簡素な構造を備えていることなどがより重要となる。もちろん、車載用途に限らず、電流センサには、軽量小型化、高温環境下での信頼性、簡素な構造、および設置の容易性が求められている。そして従来の電流センサは、このような要求の全てに対応できるものではなかった。

例えば、ホール素子を用いた電流センサは、大電流の測定用途には適しているが、高温環境下での電流測定には向かない。また測定対象となる電線を環状の素子の内側に挿通する必要があり、設置形態が限られる。特許文献２に記載のビラリ効果を用いた電流センサはコイルを備えていることから簡素な構造であるとは言い難い。またホール素子と同様に設置形態が限られる。

一方、特許文献１に記載の「電流検出器」は、構造が簡素で小型化にも適しており、閉じた円環状の電流センサ内に電線を挿通する必要が無いことから、測定対象となる電線の敷設状態に応じて柔軟に設置することができる。また圧電素子や磁歪素子を構成する圧電体や磁歪体は、極めて熱に強い焼結体（セラミックス）からなる。したがって、現時点においては磁歪素子を用いた電流センサが、上述した要求の全てに対応できる可能性がある。しかしながら、従来の磁歪素子を用いた電流センサは、磁歪素子の変形に対する圧電素子の機械電気変換効率が十分ではなく、高い精度で電流を測定することが難しかった。

そこで本発明は、軽量小型化が可能で、高温環境下でも大電流を高い精度で測定することができる電流センサを提供することを目的としている。

上記目的を達成するための本発明の一態様は、
上下方向に扁平な矩形平板状の圧電素子と、
前記圧電素子の上面に積層された矩形平板状の第１の磁歪体と、
前記圧電素子の下面に積層された矩形平板状の第２の磁歪体と、
を備え、
前記圧電素子は、矩形平板状の圧電体において、互いに対向する第１および第２の端面に電極が形成されてなり、
矩形平板状の前記第１の磁歪体と前記第２の磁歪体は、それぞれが、短辺方向の電流によって発生する磁界によって、長辺方向に伸張あるいは収縮する一方向に変形し、
前記圧電体は、前記第１の端面と前記第２の端面が互いに対向する方向に分極しており、
前記圧電素子は、上面および下面が前記第１の磁歪体および前記第２の磁歪体の変形方向に沿う応力を受けて、ｄ_１５モードあるいはｄ_３３モードで電気機械変換を行って第１および第２の前記端面に形成されている電極間に電圧を発生する、
ことを特徴とする電流センサとしている。

前記電極が前記圧電体の上面と下面に形成され、
前記第１の磁歪体と前記第２の磁歪体が、前記磁界によって互いに逆方向に変形し、
前記圧電体が、ｄ_１５モードで機械電気変換を行う、
電流センサとすることもできる。

好ましくは、前記第１の端面および第２の端面に形成されている電極が、前記圧電体の長辺方向を二分割するように形成されて一つの圧電体に対して二つの圧電素子が形成されているとともに、当該二つの圧電素子が直列接続されている電流センサとすることである。

また、より好適な本発明の一態様は、前記電極が矩形平板状の前記圧電体の短辺側の縁端面に形成され、前記第１の磁歪体と前記第２の磁歪体が前記磁界によって同方向に変形することを特徴とする電流センサである。

本発明に係る電流センサは、小型で簡素な構造を備え、高温環境下でも大電流を高い精度で測定することができる。なお、その他効果については以下の記載で明らかにする。

本発明の実施例に係る電流センサの基本構造を示す図である。本発明の第１の実施例に係る電流センサの構造を示す図である。上記第１の実施例に係る電流センサの動作を示す図である。本発明の第２の実施例に係る電流センサを示す図である。本発明の第３の実施例に係る電流センサを示す図である。比較例に係る電流センサを示す図である。本発明の実施例に係る電流センサの特性を示す図である。

本発明の実施形態について、以下に添付図面を参照しつつ説明する。なお、以下の説明に用いた図面において、同一または類似の部分に同一の符号を付して重複する説明を省略することがある。図面によっては説明に際して不要な符号を省略することもある。

＝＝＝電流センサの基本的な構造と動作＝＝＝
本発明の実施例に係る電流センサの動作原理は、上記特許文献１に記載の電流センサと同様であり、平板状の圧電素子と磁歪体を積層した構造を有し、電線を流れる電流によって発生する磁界によって磁歪体を変形させ、その変形による応力で圧電素子をさらに変形させている。そして圧電素子が変形に応じた電圧を発生させ、その電圧の値から電流値を求める。

図１に本発明の実施例に係る電流センサ１の基本構造を示した。図１に示したように、実施例に係る電流センサ１は、平板状の圧電素子１０の表裏両面に平板状の磁歪体（２０、３０）が積層されており、圧電素子１０は、圧電体において、互いに対向する二つの端面に電極が形成されてなる。そして、このような電流センサ１の構造によれば、圧電素子１０には、二つの磁歪体（２０、３０）から応力を受けることになり、圧電素子１０がより大きく変形し、より大きな電圧を発生させることができるようになっている。

さらに本発明の実施例に係る電流センサは、上記基本構造とともに、電極の形成箇所や構造、磁歪体（２０、３０）の変形方向、および圧電素子１０を構成する圧電体の分極方向などに特徴を有して、より大きな電流をより高い精度で検出できるようになっている。概略的には、圧電素子がｄ_１５モードあるいはｄ_３３モードで電気機械変換を行って電極間に電圧を発生するように、上述した各特徴に関わる構成や構造が適宜に設定されている。以下では、電極の構造や圧電体の分極方向などが異なる幾つかの実施例を挙げ、その上で各実施例に係る電流センサの特性について説明する。

＝＝＝実施例＝＝＝
＜第１の実施例＞
図２に第１の実施例に係る電流センサ１ａの構造を示した。図２では電流センサ１ａの構成が分かり易いように、各構成要素を異なるハッチングで示した。図２に示したように、電流センサ１ａを構成する圧電素子１０ａは、矩形平板状の圧電体１１の表裏両面に全面電極（１２、１３）が形成された構造を有し、当該圧電素子１０の表裏両面には矩形平板状の磁歪体（２０、３０）が積層されている。ここで、図中に示したように、圧電素子１０ａと磁歪体（２０、３０）の長辺方向を左右方向とし、短辺方向を前後方向、積層方向を上下方向とすると、圧電素子１０ａと磁歪体（２０、３０）の短辺の幅Ｗは同じであり、圧電素子１０ａの長辺の長さＬ１は磁歪体（２０、３０）の長辺Ｌ２より長い。そして圧電素子１０ａと磁歪体（２０、３０）は、互いの長辺同士を上下方向で揃えつつ、圧電素子１０ａが磁歪体（２０、３０）に対して左右一方の方向に突出するように積層されている。また、圧電素子１０ａにおいて、磁歪体（２０、３０）に対して左右一方に突出した部分の上下それぞれの面にリード線（１４，１５）が取り付けられている。そして、この例では、圧電体１１と二つの磁歪体（２０、３０）は、全て同じ厚さｔとしている。なお、実際の電極（１２、１３）の厚さ（例えば５μｍ）は、圧電体１１や磁歪体（２０、３０）の厚さｔ（例えば１ｍｍ）に比べて極めて薄く、ここでは、圧電素子１０ａの厚さを圧電体１１の厚さｔとしている。

圧電素子１０ａを構成する圧電体１１は圧電材料からなる焼結体であり、ここでは、上記非特許文献１に製品名「Ｐ−１５」として記載されたＰＺＴからなる圧電体１１を用いた。また、圧電素子１０ａの電極（１２、１３）は、圧電体１１の上下両面に銀ペーストを塗布して焼き付けることで形成している。

二つの磁歪体（２０、３０）は、粉末冶金法などによって作製される焼結体であり、第１の実施例に係る電流センサ１ａでは、二つの磁歪体（２０、３０）が異なる材料からなり、一方の磁歪体（２０または３０）は、磁界に対して伸張するように変形し、他方の磁歪体（３０または２０）は、磁界に対して収縮するように変形する。ここでは、一方の磁歪体２０が組成式Ｔｂ_０．３Ｄｙ_０．７Ｆｅ_１．９２で表されるＴｂ―Ｄｙ−Ｆｅ系の磁歪材料からなり、このＴｂ―Ｄｙ−Ｆｅ系の磁歪材料は、磁界によって形状が伸張する方向に変形する。他方の磁歪体３０ａは、Ｓｍ−Ｆｅ−Ｃｏ系の磁歪材料からなり、このＳｍ−Ｆｅ―Ｃｏ系の磁歪材料は磁界によって形状が収縮する方向に変形する。そして、電線４０に流れる電流Ｉを測定するためには、例えば、電線４０が磁歪体（２０、３０）の左右中央の位置にて前後方向に延長するように電流センサ１ａを配置し、電流センサ１ａの上下一方の面を電線４０に近接させる、あるいは接触させればよい。

図３に、第１の実施例に係る電流センサ１ａの動作を示した。図３（Ａ）は、電流センサ１ａを前後方向から見たときの図であり、磁歪体（２０、３０）の変形方向と圧電体１１の分極方向を示している。図３（Ｂ）は、動作中にある電流センサ１ａにおける圧電体１１の変形状態を示す模式図である。ここで電線４０が電流センサの下面側に敷設されていることとして上下の各方向を規定し、磁歪体（２０、３０）に対して圧電素子１０ａが右方に突出していることとして左右の各方向を規定することとする。そして、前方から後方を見たときに左右の各方向が一致するように前後の各方向を規定する。

図３（Ａ）には、磁歪体（２０、３０）の変形方向が図中黒塗りの矢印で示され、圧電体１１の分極方向が白塗り矢印で示されている。第１の実施例に係る電流センサ１ａにおいて、圧電素子１０ａを構成する圧電体１１は、上下方向を分極方向とし、圧電素子１０ａの下方に積層されている磁歪体３０は、Ｓｍ−Ｆｅ−Ｃｏ系の磁歪材料からなる。そして圧電素子１０ａの上方に積層されている磁歪体２０がＴｂ−Ｄｙ−Ｆｅ系の磁歪材料からなる。そのため、図３（Ｂ）に示したように、前後方向に延長して敷設された電線４０に電流Ｉを流すと、圧電体１１の下面には左右方向に収縮する方向に応力が掛り、上面には左右方向に伸張する方向に応力が掛かる。それによって、図中に鎖線の矢印で示したように、圧電体１１は、左右方向で二分された二つの領域（１１Ｌ、１１Ｒ）が滑り振動モード、すなわちｄ_１５モードで機械電気変換を行い、上下方向で対面する電極間（１２、１３）に電圧Ｖが発生する。

＜第２の実施例＞
第１の実施例に係る電流センサ１ａでは、圧電素子１０ａは、圧電体１１の上下両面の全面に電極（１２、１３）が形成されていた。そして、図３（Ｂ）に示したように、圧電体１１が左右二つの領域でｄ_１５モードによって機械電気変換を行う際、電極（１２、１３）が二つの領域（１１Ｌ、１１Ｒ）に跨がって形成されているため、圧電体１１が変形し難くなる可能性がある。そこで、本発明の第２の実施例として、圧電体１１の変形が阻害されにくい電極構造を備えた電流センサを示す。

図４に本発明の第２の実施例に係る電流センサ１ｂの構造と動作を示した。図４（Ａ）は電流センサ１ｂの外観図であり、図４（Ｂ）は電流センサ１ｂを圧電素子１０ｂと磁歪体（２０、３０）に分解したときの図である。図４（Ｃ）は電流センサ１ｂにおける磁歪体（２０、３０）の変形方向と圧電体１１の分極方向を示している。そして、図４（Ｄ）は動作中にある電流センサ１ｂにおける圧電体１１の変形状態を模式的に示す図である。なお、図４では、上下左右前後の各方向を、図２、図３に示した方向に一致させている。

図４（Ａ）に示したように、第２の実施例に係る電流センサ１ｂは、圧電素子１０ｂが自身の上下両面に積層されている磁歪体（２０、３０）に対して左右両方向に突出し、その突出した部位の上下両面の電極（１２、１３）にリード線（１４、１５）が接続されている。

また、図４（Ｂ）に示したように、電流センサ１ｂは、磁界に対する磁歪体（２０、３０）の変形方向や圧電体１１の分極方向は第１の実施例と同様であるが、圧電素子１０ｂにおける上下両面の電極（１２、１３）が、それぞれ、左右方向で二分割されている。そして、圧電体１１の上面の左方および右方に形成されている電極１２Ｌおよび電極１２Ｒのそれぞれが、圧電体１１の下面の左方および右方に形成されている電極１３Ｌおよび電極１３Ｒと対面している。第２の実施例に係る電流センサ１ｂでは、このような電極構造を備えることで、図４（Ｃ）に示したように、実質的に、二つの同じ圧電素子（１０ｂＬ、１０ｂＲ）が左右に並んで配置されている構造になっている。

さらにリード線（１４、１５）は、二つの圧電素子（１０ｂＬ、１０ｂＲ）を直列に接続するように結線されている。この例では、右上方の電極１２Ｒに接続されたリード線１４Ｒが左下方の電極１２Ｌに接続されたリード線１５Ｌを兼ね、右方の圧電素子１０ｂＲにおける上方の電極１２Ｒと左方の圧電素子１０ｂＬにおける下方の電極１５Ｌが接続されている。また、右下方の電極１３Ｒに接続されているリード線１５Ｒと、左上方の電極１２Ｌに接続されているリード線１４Ｌが電圧計に接続されている。そして、第２の実施例に係る電流センサ１ｂでは、図４（Ｄ）に示したように、左右二つの圧電素子（１０ｂＬ、１０ｂＲ）に対応する領域間（１１Ｌ、１１Ｒ）に、圧電体１１の変形を阻害する電極（１２、１３）が形成されていないため、圧電体１１は、左右それぞれの領域においてｄ_１５モードでの機械電気変換をより効率的に行うことができる。その結果、磁歪体（２０、３０）の変形に対し、圧電素子１０ｂはより大きな電圧を発生することができ、より高い精度で電流を検出することができる。

＜第３の実施例＞
第１および第２の実施例に係る電流センサ（１ａ、１ｂ）では、圧電体１１をｄ_１５モードで機械電気変換させる構造や構成を備えていた。しかし、同じサイズの平板状の圧電体１１を用いるのであれば、圧電体１１を長辺方向に伸縮するように変形させて、長辺方向に電圧を発生させるｄ_３３モードの方が機械電気変換の効率が高い。そこで本発明の第３の実施例として、第１および第２の実施例に係る電流センサ（１ａ、１ｂ）と実質的に同じサイズとしながら、圧電体をｄ_３３モードで機械電気変換させる電流センサを示す。

図５に本発明の第３の実施例に係る電流センサ１ｃの構造を示した。図５（Ａ）は電流センサ１ｃの外観図であり、図５（Ｂ）は磁歪体（２０、３０）の変形方向と圧電体１１の分極方向を示している。図５（Ａ）に示したように、第３の実施例に係る電流センサ１ｃは、圧電素子１０ｃと磁歪体（２０、３０）は、左右の長さ（Ｌ１、Ｌ２）が同じであり、圧電素子１０ｃの電極（１６、１７）が圧電体１１の左右の端面に形成され、それぞれの電極（１６，１７）にリード線（１４、１５）が接続されている。

また、第３の実施例に係る電流センサ１ｃは、図５（Ｂ）に示したように、圧電体１１が、左右方向、すなわち矩形平板状の圧電体１１の長辺方向に分極しており、圧電素子１０ｃの上下両面に積層されている磁歪体（２０、３０）は、前後方向の電流によって発生する磁界によって左右同方向に伸張、あるいは収縮する。この例では、二つの磁歪体（２０、３０）は、Ｔｂ―Ｄｙ−Ｆｅ系の磁歪材料を用いたものであり、左右方向に伸張するように変形する。そして、圧電素子１０ｃは、左右方向を縦方向とした縦振動モード、すなわちｄ_３３モードで機械電気変換を行う。

＝＝＝性能評価＝＝＝
＜電流センサの作製条件＞
次に、上述した各構造や構成を備えた第１〜第３の実施例に係る電流センサ（１ａ〜１ｃ）の性能を評価した。また、第１〜第３の実施例に係る電流センサ（１ａ〜１ｃ）に対する比較例として、図６に示した電流センサ１ｄを作製した。図６は、比較例に係る電流センサ１ｄを前方から見たときの図であり、第１の実施例の電流センサ１ａに対して、圧電素子１０ｄの上下両面に同じ材料からなる磁歪体（２０、３０）が積層されている点のみが異なっている。すなわち、比較例に係る電流センサ１ｄでは、圧電体１１の上下両面の長辺方向に同方向の応力が係るようになっている。そして、比較例に係る電流センサ１ｄは、長辺方向伸び振動モード、すなわちｄ_３１モードでの機械電気変換により電極間（１２、１３）に電圧Ｖを発生させる。

ここで図２を参照しつつ、各電流センサ（１ａ〜１ｄ）のサイズについて説明すると、磁歪体（２０、３０）は、左右長Ｌ２＝１０ｍｍ、前後幅Ｗ＝６ｍｍであり、厚さはｔ＝１ｍｍである。圧電素子（１０ａ〜１０ｄ）を構成する圧電体１１は、いずれの電流センサ（１ａ〜１ｄ）でも幅Ｗ＝６ｍｍであるが、第１、第２の実施例、および比較例のそれぞれに係る電流センサ（１ａ、１ｂ、および１ｃ）では、左右長Ｌ１＝８ｍｍであり、磁歪体（２０、３０）の左右長Ｌ２＝６ｍｍよりも２ｍｍ長い。そして、第１の実施例に係る電流センサ１ａと比較例に係る電流センサ１ｄのそれぞれについては、圧電素子（１０ａ、１０ｄ）が磁歪体（２０、３０）に対して左右一方向に突出するように、圧電素子（１０ａ、１０ｄ）と磁歪体（２０、３０）を積層させた。第２の実施例に係る電流センサ１ｂについては、圧電素子１０ｂを磁歪体（２０、３０）に対して左右均等に突出させた。なお、第３の実施例に係る電流センサ１ｃについては、圧電体１１は、左右の長さＬ１が磁歪体（２０、３０）の長さＬ２と同じでＬ１＝Ｌ２＝６ｍｍである。

また、各電流センサ（１ａ〜１ｄ）における磁歪体（２０、３０）を構成する磁歪材料は、前後方向の電流が発生させる磁界に対する変形方向が同じであれば同じ材料を用いている。すなわち、磁歪体（２０、３０）は、左右方向に伸張するＴｂ―Ｄｙ−Ｆｅ系の磁歪材料、または左右方向に収縮するＳｍ−Ｆｅ−Ｃｏ系の磁歪材料のいずれかからなる。第１、第２の実施例のそれぞれに係る電流センサ（１ａ、１ｂ）では、圧電素子（１０ａ、１０ｂ）の上方にＴｂ―Ｄｙ−Ｆｅ系の磁歪材料からなる磁歪体２０を積層し、下方にＳｍ−Ｆｅ−Ｃｏ系の磁歪材料からなる磁歪体３０を積層した。第３の実施例および比較例のそれぞれに係る電流センサ（１ｃ、１ｄ）では、圧電素子（１０ｃ、１０ｄ）の上下両側にＴｂ―Ｄｙ−Ｆｅ系の磁歪材料からなる磁歪体（２０、３０）を積層した。

また、第１、第２の実施例、および比較例のそれぞれに係る電流センサ（１ａ、１ｂ、１ｄ）では、圧電体１１として、上下方向で互いに対向する端面に形成された電極間（１２、１３）に所定の強度の電界(例えば、２ｋＶ／ｍｍ）を所定時間(例えば、１５ｍｉｎ)印加することで分極させたものを用いた。ここでは、分極方向が下方から上方に向かうように分極させた。第３の実施例に係る電流センサ１ｃでは、圧電体１１として、左右方向で互いに対向する端面に形成された電極間（１６、１７）に、他の実施例や比較例と同様の強度の電界(例えば、２ｋＶ／ｍｍ）を所定時間(例えば、１５ｍｉｎ)印加することで分極させたものを用いた。ここでは、分極方向が左方から右方に向かうように分極させた。

圧電素子（１０ａ〜１０ｄ）と磁歪体（２０、３０）との接着にはエポキシ系の接着剤を用いた。ここでは圧電素子（１０ａ〜１０ｄ）と磁歪体（２０、３０）との積層界面に接着剤を塗布した後、接着剤の厚さが５μｍ程度になるまで積層方向に荷重を掛け、余分な接着剤を積層界面から外方に押し出し、その上で接着剤を硬化させた。

＜電流検出特性＞
上述した条件で作製した各電流センサ（１ａ〜１ｄ）に対し、磁歪体（２０、３０）の左右中央を前後方向に延長するように電線４０を配置し、各電流センサ（１ａ〜１ｄ）をその電線４０上に載置した。そして、電線４０に流す電流Ｉの値を変え、各電流センサ（１ａ〜１ｄ）が出力する電圧を測定した。図７に、各電流センサ（１ａ〜１ｄ）の電流検出特性として、電線４０に流す電流Ｉと出力電圧Ｖとの関係を示した。当該図７に示したように、各電流センサ（１ａ〜１ｄ）のいずれも、１０Ａの電流までは電流Ｉと電圧Ｖの関係がほぼ正確に比例しており、１０Ａの電流までは確実に検出できることが確認できた。また、各電流センサ（１ａ〜１ｄ）のいずれにおいても圧電素子（１０ａ〜１０ｄ）が出力する電圧Ｖに飽和傾向が見られないことから、さらに大きな電流Ｉを検出できることが容易に予想される。さらに実施例１〜３に係る電流センサ（１ａ〜１ｃ）は、比較例に係る電流センサ１ｄと比較すると、同じ電流Ｉに対してより大きな電圧Ｖを出力することが分かった。そして、その出力電圧Ｖは、電流Ｉの値が同じであれば、第１、第２、第３のそれぞれの実施例に係る電流センサ（１ａ、１ｂ、１ｃ）の順で大きくなった。

＝＝＝その他の実施例＝＝＝
第１と第２の実施例に係る電流センサ（１ａ、１ｂ）において、圧電体１１の分極方向、あるいは磁歪体（２０、３０）の伸縮方向は、上下逆方向、あるいは左右逆方向であってもよい。第３の実施例に係る電流センサ１ｃについても、圧電体１１の分極方向や磁歪体（２０、３０）の伸縮方向を左右逆方向としてもよい。

上記各実施例に係る電流センサ（１ａ〜１ｃ）は電線４０を流れる電流Ｉの前後方向の成分を測定するものであって、電流Ｉを測定する際に、電流センサ（１ａ〜１ｃ）の前後方向を測定対象となる電線４０の延長方向とを必ず一致させる必要はない。もちろん、本発明の実施例に係る電流センサ（１ａ〜１ｃ）の本質は磁気センサであることから、本発明の実施例に係る電流センサ（１ａ〜１ｃ）を、例えば、永久磁石の磁界強度など、定常的な磁界の強度を測定する用途に供することもできる。

上記各実施例に係る電流センサ（１ａ〜１ｃ）において、圧電素子（１０ａ〜１０ｃ）の電極（１２、１３、１６、１７）は、スパッタリングや蒸着などによって形成した薄膜とすればより好ましい。特に第１および第２の実施例に係る電流センサ（１ａ、１ｂ）では、磁歪体（２０、３０）の変形がより確実に圧電体１１に伝達され、圧電素子（１０ａ、１０ｂ）に、より大きな電圧を発生させることができる。

また当然のことながら、磁歪体（２０、３０）や圧電体１１の作製方法や、これらを構成する材料は、上記実施例に限らない。作製方法については、種々のセラミックスの製造方法を適用することができる。

１,１ａ〜１ｄ電流センサ、１０ａ〜１０ｄ圧電素子、１１圧電体、
１２，１２Ｌ，１２Ｒ，１３，１３Ｌ，１３Ｒ，１６，１７電極、
１４，１４Ｌ，１４Ｒ，１５，１５Ｌ，１５Ｒ，１８，１９リード線、
２０,３０磁歪体、４０電線、Ｉ電流Ｖ電圧

Claims

上下方向に扁平な矩形平板状の圧電素子と、
前記圧電素子の上面に積層された矩形平板状の第１の磁歪体と、
前記圧電素子の下面に積層された矩形平板状の第２の磁歪体と、
を備え、
前記圧電素子は、矩形平板状の圧電体において、互いに対向する第１および第２の端面に電極が形成されてなり、
矩形平板状の前記第１の磁歪体と前記第２の磁歪体は、それぞれが、短辺方向の電流によって発生する磁界によって、長辺方向に伸張あるいは収縮する一方向に変形し、
前記圧電体は、前記第１の端面と前記第２の端面が互いに対向する方向に分極しており、
前記圧電素子は、上面および下面が前記第１の磁歪体および前記第２の磁歪体の変形方向に沿う応力を受けて、ｄ_１５モードあるいはｄ_３３モードで電気機械変換を行って第１および第２の前記端面に形成されている電極間に電圧を発生する、
ことを特徴とする電流センサ。
請求項１に記載の電流センサであって、
前記電極は前記圧電体の上面と下面に形成され、
前記第１の磁歪体と前記第２の磁歪体は、前記磁界によって互いに逆方向に変形し、
前記圧電体は、ｄ_１５モードで機械電気変換を行う、
ことを特徴とする電流センサ。
請求項２に記載の電流センサであって、前記第１の端面および第２の端面に形成されている電極は、前記圧電体の長辺方向を二分割するように形成されて一つの圧電体に対して二つの圧電素子が形成されているとともに、当該二つの圧電素子が直列接続されていることを特徴とする電流センサ。
請求項１に記載の電流センサであって、前記電極は、矩形平板状の前記圧電体の短辺側の縁端面に形成され、前記第１の磁歪体と前記第２の磁歪体は、前記磁界によって同方向に変形することを特徴とする電流センサ。