JP2019007985A - 半導体検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[第1実施形態]
[第2実施形態]
[第3実施形態]
[第4実施形態]
Claims (12)
- 半導体デバイスを検査する半導体検査装置であって、
前記半導体デバイスに照射する光を発生させる第1の光源と、
前記第1の光源と光学的に接続された導光素子と、
前記第1の光源と前記導光素子を介して光学的に接続可能な位置に設けられた一対のガルバノミラーと、
前記導光素子と前記一対のガルバノミラーを内部に保持し、前記一対のガルバノミラーと光学的に接続可能な位置に設けられた光学素子を取り付けるための第1の取付部を有する筐体と、
前記一対のガルバノミラーの振れ角を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記半導体デバイスと光学的に接続される光路を、前記一対のガルバノミラー及び前記導光素子を通る第1の光路と、前記一対のガルバノミラー及び前記第1の取付部を通る第2の光路との間で切り替えるように前記振れ角を制御し、かつ、
前記第1の光路に切り替えた際の前記振れ角と、前記第2の光路に切り替えた際の前記振れ角とが重複しないように、前記振れ角を制御する、
半導体検査装置。 - 前記半導体デバイスからの光を検出する第1の光検出器をさらに備え、
前記導光素子は前記第1の光検出器と光学的に接続されている、
請求項1記載の半導体検査装置。 - 前記半導体デバイスからの光を検出する第2の光検出器をさらに備え、
前記第2の光検出器は、前記第1の取付部に取り付けられることにより、前記第2の光路を経由して前記光を検出可能とされている、
請求項1又は2に記載の半導体検査装置。 - 前記第2の光検出器は、第1の取付部にコリメータレンズ及び光ファイバを介して取り付けられている、
請求項3記載の半導体検査装置。 - 前記半導体デバイスに照射する光を発生させる第2の光源をさらに備え、
前記第2の光源は、前記第1の取付部に取り付けられることにより、前記第2の光路を経由して前記光を照射可能とされている、
請求項1又は2に記載の半導体検査装置。 - 前記第2の光源は、第1の取付部にコリメータレンズ及び光ファイバを介して取り付けられている、
請求項5記載の半導体検査装置。 - 前記半導体デバイスに照射する光を発生させる第2の光源と、前記半導体デバイスからの光を検出する第2の光検出器と、前記第2の光源と前記第2の光検出器と光学的に接続された光路分割素子をさらに備え、
前記光路分割素子が前記第1の取付部に取り付けられることにより、前記第2の光路を経由して前記光を照射及び/又は検出可能とされている、
請求項1又は2に記載の半導体検査装置。 - 前記筐体は、前記一対のガルバノミラーと光学的に接続可能な位置に設けられた光学素子を取り付けるための第2の取付部をさらに有し、
前記制御部は、前記第1の光路と、前記第2の光路と、前記一対のガルバノミラー及び前記第2の取付部を通る第3の光路との間で切り替えるように前記振れ角を制御し、かつ、
前記第1の光路に切り替えた際の前記振れ角と、前記第2の光路に切り替えた際の前記振れ角と、前記第3の光路に切り替えた際の前記振れ角とが重複しないように、前記振れ角を制御する、
請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体検査装置。 - 前記導光素子は、ミラーである、
請求項1〜8のいずれか1項に記載の半導体検査装置。 - 前記ミラーは、ダイクロイックミラーであり、
前記筐体は、前記一対のガルバノミラーと前記ダイクロイックミラーとを結ぶ延長線上に光学素子を取り付けるための第3の取付部をさらに有する、
請求項9記載の半導体検査装置。 - 前記導光素子と光学的に接続された第3の光源をさらに備える、
請求項1〜10のいずれか1項に記載の半導体検査装置。 - 前記第2の光検出器は、超電導単一光子検出器である、
請求項3記載の半導体検査装置。
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WO2000009993A1 (fr) * | 1998-08-10 | 2000-02-24 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Dispositif de verification de cartes a circuit imprime |
JP2008188638A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Sony Corp | 欠陥修正装置、配線基板の製造方法、ディスプレイ装置の製造方法 |
WO2009011441A1 (ja) * | 2007-07-19 | 2009-01-22 | Nikon Corporation | 走査型共焦点顕微鏡 |
WO2013172887A1 (en) * | 2012-05-15 | 2013-11-21 | The Boeing Company | Contamination identification system |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10118778A (ja) * | 1996-10-16 | 1998-05-12 | Keyence Corp | レーザマーキング装置 |
WO2000009993A1 (fr) * | 1998-08-10 | 2000-02-24 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Dispositif de verification de cartes a circuit imprime |
JP2008188638A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Sony Corp | 欠陥修正装置、配線基板の製造方法、ディスプレイ装置の製造方法 |
WO2009011441A1 (ja) * | 2007-07-19 | 2009-01-22 | Nikon Corporation | 走査型共焦点顕微鏡 |
WO2013172887A1 (en) * | 2012-05-15 | 2013-11-21 | The Boeing Company | Contamination identification system |
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