JP2019005898A5

JP2019005898A5 - 略ディスク形状を有する研磨部材の製造方法および研磨部材

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Publication number: JP2019005898A5
Application number: JP2018120980A
Authority: JP
Filing date: 2018-06-26
Publication date: 2019-02-28
Anticipated expiration: 2038-06-26

Claims

略ディスク形状を有する研磨部材（１０ａ、１０）の製造方法であって、前記方法が、
−補強部材（１３）の少なくとも一部分が硬化性研磨樹脂化合物に物理的に直接接触し、前記補強部材（１３）が裏当て部材（１６）により少なくとも部分的に覆われ、かつ前記裏当て部材（１６）の少なくとも一部分が前記硬化性研磨樹脂化合物に物理的に直接接触するように、型内において前記硬化性研磨樹脂化合物の層と前記裏当て部材（１６）との間に前記補強部材（１３）を配設するステップと、
−前記硬化性研磨樹脂化合物を硬化させることにより前記補強部材（１３）と前記裏当て部材（１６）とを接合するステップであって、前記硬化した研磨樹脂化合物が前記研磨部材（１０）の研磨層（１２）を形成する、ステップと
を含む、方法。
前記補強部材（１３）および前記裏当て部材（１６）が互いに物理的に係合される、請求項１に記載の方法。
前記補強部材（１３）および前記裏当て部材（１６）が互いに機械的に連結される、請求項１または２に記載の方法。
前記補強部材（１３）および前記裏当て部材（１６）が、前記硬化性研磨樹脂化合物を硬化させて前記研磨部材（１０）の中心開口（１４）を画定する前に同軸に位置合わせされる中心孔を有する、請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
前記補強部材（１３）が、外側環状形状を有し、かつ前記中心開口（１４）の周囲の円周部分において前記研磨部材（１０）を補強するようになされる、請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法。
前記裏当て部材（１５）は、前記中心開口（１４）を取り囲む前記裏当て部材（１６）の径方向内側部分が前記補強部材（１３）に物理的に直接接触しかつ前記裏当て部材（１６）の径方向外側部分が前記硬化性研磨樹脂化合物の層に物理的に直接接触するように、前記型内に位置決めされる、請求項１〜５のいずれか一項に記載の方法。
前記補強部材（１３）が、機械的な力を前記研磨部材（１０）に伝達するようになされる、請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
前記補強部材（１３）が突出部を含み、前記突出部が、硬化後に前記研磨層（１２）の材料中に少なくとも部分的に入り込むように配設される、請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
硬化前および硬化中の少なくともいずれか一方において、前記研磨部材（１０、１０ａ）の構成要素に軸方向圧力を加えることを更に含む、請求項１〜８のいずれか一項に記載の方法。
前記硬化性研磨樹脂化合物が熱硬化される、請求項１〜９のいずれか一項に記載の方法。
第１の裏当て部材（１５）が、前記硬化性研磨樹脂化合物を前記型内に導入する前に該型に挿入される、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の方法。
前記補強部材（１３）は、前記補強部材（１３）が、硬化後に、前記概してディスク形状の研磨部材（１０）の上側平表面と下側平表面との中間にある中心部に位置する様式で、前記型内に位置決めされる、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の方法。
前記裏当て部材（１５、１６）が繊維織物から作製され、または前記硬化性研磨樹脂化合物が熱硬化性合成ポリマーを含み、または前記補強部材（１３）が金属または合金から作製される、あるいはこれらが組み合わせて行われる、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の方法。
前記研磨層（１２）と裏当て部材（１６）との間に位置する補強部材（１３）を含む、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の方法に従って製造された研磨部材（１０ａ、１０）。
前記補強部材（１３）が前記研磨部材（１０）の重心を取り囲むように位置決めされる、請求項１４に記載の研磨部材（１０ａ、１０）。