JP2019002746A - Inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、検査装置に関するものである。 The present invention relates to an inspection apparatus.
特許文献1に示されるように、チップの試験に用いられる錘付バイパスコンデンサ部が知られている。チップにはパスコン用パッドが設けられている。錘付バイパスコンデンサ部はコンデンサと3つの端子を有する。3つの端子はコンデンサを3点で支える。3つの端子は錘付バイパスコンデンサ部の自重によりパスコン用パッドと電気的に接続される。 As shown in Patent Document 1, a weighted bypass capacitor unit used for chip testing is known. The chip is provided with a bypass capacitor pad. The bypass capacitor unit with a weight has a capacitor and three terminals. Three terminals support the capacitor at three points. The three terminals are electrically connected to the bypass capacitor pad by the weight of the weighted bypass capacitor section.
特許文献1に示される錘付バイパスコンデンサ部では、コンデンサとパスコン用パッドとを電気的に接続しつつ、コンデンサを支えるために、3つの端子の形状と配置が固定されている。そのためにパスコン用パッドの配置が変更されると、それに応じて3つの端子の形状と配置も設計変更しなくてはならない。このように錘付バイパスコンデンサ部(検査装置)は、測定対象物の形状や配置が変更されたり、測定対象物そのものが変更されたりすると、測定対象物との電気的な接続が困難になる。 In the bypass capacitor unit with a weight shown in Patent Document 1, the shape and arrangement of three terminals are fixed to support the capacitor while electrically connecting the capacitor and the bypass capacitor pad. Therefore, when the arrangement of the bypass capacitors is changed, the shape and arrangement of the three terminals must be changed accordingly. As described above, when the shape and arrangement of the measurement object is changed or the measurement object itself is changed, the bypass capacitor unit with weight (inspection apparatus) becomes difficult to be electrically connected to the measurement object.
そこで本発明は、測定対象物の形状や配置、測定対象物そのものが変更されたとしても、測定対象物との電気的な接続が困難となることが抑制された検査装置を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has an object to provide an inspection device in which the electrical connection with the measurement object is suppressed from being difficult even if the shape and arrangement of the measurement object and the measurement object itself are changed. And
開示された発明の1つは、測定対象物と接触することで測定対象物と電気的に接続される電気的接点(51)と、
電気的接点と電気的に接続された導電部(52)と、
電気的接点と導電部の設けられる複数の把持部(31,32,33)と、
複数の把持部の電気的接点の相対位置を変動可能に、複数の把持部を連結する第1連結部(41,42,43)と、
複数の把持部の導電部と電気的に接続可能に、複数の把持部にノイズ対策素子(74)を連結する第2連結部(70,110,130)と、を有する。
One of the disclosed inventions is an electrical contact (51) electrically connected to a measurement object by contacting the measurement object;
A conductive portion (52) electrically connected to the electrical contact;
A plurality of grips (31, 32, 33) provided with electrical contacts and conductive parts;
A first connecting part (41, 42, 43) for connecting the plurality of gripping parts so that the relative positions of the electrical contacts of the plurality of gripping parts can be varied;
A second connecting portion (70, 110, 130) for connecting the noise countermeasure element (74) to the plurality of gripping portions so as to be electrically connectable to the conductive portions of the plurality of gripping portions;
このように複数の把持部(31,32,33)は第1連結部(41,42,43)によって電気的接点(51)の相対位置が変動可能に連結されている。そのため、測定対象物の形状や配置、また測定対象物そのものが変更されたとしても、それに応じて複数の把持部(31,32,33)の電気的接点(51)の相対位置を変動することができる。これにより検査装置と測定対象物との電気的な接続が困難となることが抑制される。 As described above, the plurality of gripping portions (31, 32, 33) are connected by the first connecting portions (41, 42, 43) such that the relative positions of the electrical contacts (51) can be changed. Therefore, even if the shape and arrangement of the measurement object and the measurement object itself are changed, the relative positions of the electrical contacts (51) of the plurality of gripping parts (31, 32, 33) are changed accordingly. Can do. Thereby, it is suppressed that the electrical connection between the inspection apparatus and the measurement object becomes difficult.
また複数の把持部(31,32,33)にノイズ対策素子(74)を連結する第2連結部(70,110,130)を有する。これによれば測定対象物にノイズ対策素子(74)を固定しなくとも、測定対象物のノイズの増減を検証することができる。そのためノイズ検証時間を短縮することができる。 Moreover, it has the 2nd connection part (70,110,130) which connects a noise countermeasure element (74) to a some holding | grip part (31,32,33). According to this, even if the noise countermeasure element (74) is not fixed to the measurement object, it is possible to verify the increase or decrease in noise of the measurement object. Therefore, the noise verification time can be shortened.
なお、特許請求の範囲に記載の請求項、および、課題を解決するための手段それぞれに記載の要素に括弧付きで符号をつけている。この括弧付きの符号は実施形態に記載の各構成要素との対応関係を簡易的に示すためのものであり、実施形態に記載の要素そのものを必ずしも示しているわけではない。括弧付きの符号の記載は、いたずらに特許請求の範囲を狭めるものではない。 In addition, the code | symbol with the parenthesis is attached | subjected to the element as described in the claim as described in a claim, and each means for solving a subject. The reference numerals in parentheses are for simply indicating the correspondence with each component described in the embodiment, and do not necessarily indicate the element itself described in the embodiment. The description of the reference numerals with parentheses does not unnecessarily narrow the scope of the claims.
以下、本発明の実施形態を図に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(第1実施形態)
図1〜図8に基づいて本実施形態にかかる検査装置を説明する。この検査装置10は、回路基板の設計レイアウトを決定する際に用いられる。回路基板が測定対象物に相当する。
(First embodiment)
The inspection apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. This
回路基板は、配線基板と、配線基板に設けられた電子素子と、を有する。配線基板は絶縁基板と、この絶縁基板に形成された配線パターンと、を有する。絶縁基板にはスルーホールが形成されている。このスルーホールに電子素子のリードが挿入される。そしてリードと配線パターンとがはんだなどによって電気的および機械的に接続される。 The circuit board includes a wiring board and an electronic element provided on the wiring board. The wiring substrate has an insulating substrate and a wiring pattern formed on the insulating substrate. A through hole is formed in the insulating substrate. The lead of the electronic element is inserted into this through hole. Then, the lead and the wiring pattern are electrically and mechanically connected by solder or the like.
このように配線基板に電子素子を搭載することで回路基板の設計レイアウトが決定される。この回路基板に電源が接続され、それによって回路基板の駆動が開始すると、回路基板に電磁ノイズが発生する。この電磁ノイズの発生を抑制するためには、コンデンサなどの回路素子を配線基板に新たに搭載することになる。すなわち、設計レイアウトの見直しが必要になる。電磁ノイズの発生の抑制を検証するには、この設計レイアウトの変更を必要に応じて繰り返すことになる。 In this way, the design layout of the circuit board is determined by mounting the electronic elements on the wiring board. When a power source is connected to the circuit board and thereby driving of the circuit board is started, electromagnetic noise is generated on the circuit board. In order to suppress the generation of the electromagnetic noise, a circuit element such as a capacitor is newly mounted on the wiring board. That is, it is necessary to review the design layout. In order to verify the suppression of the generation of electromagnetic noise, this design layout change is repeated as necessary.
このような設計レイアウトの変更に伴う工数の増大を抑制するのに検査装置10は用いられる。以下においては互いに直交の関係にある3方向を、x方向、y方向、z方向と示す。
The
(検査装置の概要)
図1に示すように検査装置10は、本体部30、プローブ50、および、架橋部70を有する。本体部30はユーザが手などで把持するものである。本体部30はユーザが片手で把持する形状となっている。また本体部30はユーザの操作によって弾性変形可能となっている。この本体部30に複数のプローブ50が設けられている。ユーザによる本体部30の弾性変形によって、複数のプローブ50の相対距離が変動する。このプローブ50の先端が、回路基板におけるノイズ検証部位に接触される。
(Outline of inspection equipment)
As shown in FIG. 1, the
架橋部70は複数のプローブ50を電気的に接続している。架橋部70はコンデンサなどのノイズ対策素子74を有する。このノイズ対策素子74が複数のプローブ50と電気的に接続されている。したがって2つのプローブ50がノイズ検証部位に接触されると、そのノイズ検証部位に対して、2つのプローブ50と架橋部70によって構成されたバイパス経路が接続される。このバイパス経路に上記のノイズ対策素子74が直列接続されている。このためバイパス経路とノイズ対策素子74から成るバイパス回路がノイズ検証部位に並列接続される。このように検査装置10によれば、回路基板の設計レイアウトを変更することなく、任意のノイズ検証部位にバイパス回路を並列接続することができる。このような検査装置10の回路基板への接続をユーザが適宜選択し、その都度回路基板の出力をスペクトラムアナライザーなどによって検証する。こうすることで設計レイアウトの変更に伴う工数の増大が抑制される。
The bridging
なおもちろんではあるが、複数の検査装置10を用意しておき、これら複数の検査装置10を回路基板に接触することで、設計レイアウトの変更を検討してもよい。この複数の検査装置10それぞれのノイズ対策素子74はもちろん異なってもよい。また、回路基板を作成している途中において、配線基板に検査装置10を電子素子の代わりとして接続する。こうすることで回路基板の設計レイアウトを検証してもよい。
Of course, it is also possible to consider changing the design layout by preparing a plurality of
(検査装置の構成)
次に、検査装置10の構成を詳説する。図1に示すように検査装置10の本体部30は、第1把持部31、第2把持部32、および、連結部41を有する。これら第1把持部31、第2把持部32、および、連結部41それぞれの形成材料は弾性体である。この弾性体は、絶縁性の樹脂である。本体部30は射出成型などによって製造される。第1把持部31、第2把持部32、および、連結部41は一体である。図1では第1把持部31、第2把持部32、および、連結部41の境界が不明りょうとなることを避けるために、連結部41を破線で囲って示している。連結部41が第1連結部に相当する。
(Configuration of inspection equipment)
Next, the configuration of the
第1把持部31と第2把持部32それぞれの端部は連結部41によって一体的に連結されている。これにより第1把持部31と第2把持部32それぞれは連結部41によって片持ち支持され、その先端が自由端となっている。第1把持部31と第2把持部32それぞれの先端はx方向で離間している。
The end portions of the
本実施形態の本体部30はいわゆるピンセットと同一の形状を成している。ユーザは第1把持部31と第2把持部32とを片手でつかみ、第1把持部31と第2把持部32それぞれの先端が互いに近づくように本体部30を弾性変形させる。若しくは、ユーザは第1把持部31と第2把持部32それぞれの先端が互いに離れるように本体部30を弾性変形させる。これにより第1把持部31と第2把持部32の先端同士の離間間隔が変動する。
The
第1把持部31と第2把持部32それぞれの先端にプローブ50が設けられる。上記の本体部30の弾性変形により、第1把持部31と第2把持部32それぞれのプローブ50の相対位置が変動する。これにより回路基板と接触される2つのプローブ50の先端の間隔が変動する。
A
図2に示すようにプローブ50は電気的接点51と導電部52を有する。電気的接点51は接触端子53、スプリング54、および、筒部55を有する。筒部55は底を有する筒形状を成している。この筒部55の中空にスプリング54とともに接触端子53が挿入される。接触端子53と筒部55とはスプリング54を介して電気的および機械的に接続される。接触端子53の延長方向に沿う圧力が接触端子53に付与されるとスプリング54が弾性変形する。これにより接触端子53は筒部55の中空に対して挿抜するように移動可能となっている。なお図2では筒部55の中にスプリング54があることを示すために、スプリング54を破線で示している。
As shown in FIG. 2, the
回路基板との接触によって接触端子53に筒部55の中空へと向かう応力が印加されるとスプリング54は縮む。これによりスプリング54は回路基板へと向かう復元力を接触端子53に付与する。この復元力によって接触端子53の先端が回路基板に押圧される。これにより接触端子53と回路基板との接触が確保される。電気的接点51と回路基板との電気的な接続が安定化される。
When a stress toward the hollow of the
導電部52は筒部55の外径よりも広い内径を有している。そして導電部52の中空にはストッパ52aが形成されている。このストッパ52aと導電部52の開口部との離間距離は筒部55と等しくなっている。筒部55の端部がストッパ52aに接触するまで、筒部55を導電部52の中空に挿入する。すると導電部52に筒部55が収納され、導電部52の開口部から接触端子53が外に飛び出す態様となる。導電部52と筒部55とは互いに接触し、互いに電気的に接続される。これにより、導電部52と接触端子53とが、筒部55とスプリング54とを介して電気的に接続されている。このプローブ50のインピーダンスは、接触端子53への応力の印加によるスプリング54の弾性変形に応じて変化する。すなわち、図4に示すプローブ50の長さLに応じてインピーダンスが変化する。また、架橋部70によって連結される2つのプローブ50の離間距離Wによってもインピーダンスが変化する。これにより上記のバイパス回路によって構成される共振回路の共振点が変化する。なお図2では導電部52の中にストッパ52aがあることを示すために、ストッパ52aを破線で示している。
The
図1に示すように、第1把持部31と第2把持部32それぞれはプローブ50の接触端子53が設けられる自由端部30aと、自由端部30aと連結部41とを連結する固定端部30bと、を有する。自由端部30aと固定端部30bそれぞれは一方向に延びた直線形状を有する。しかしながら自由端部30aと固定端部30bの延びる方向は異なっている。そのために自由端部30aと固定端部30bとは交差して連結されている。固定端部30bの一端が連結部41に連結され、他端が自由端部30aの一端と一体的に連結されている。自由端部30aの他端が把持部の先端(自由端)となっている。
As shown in FIG. 1, each of the
第1把持部31と第2把持部32それぞれの固定端部30bの一端が連結部41に固定されている。第1把持部31と第2把持部32それぞれの固定端部30bは、x方向で互いに対向している。第1把持部31の固定端部30bと第2把持部32の固定端部30bとのx方向における離間距離は、z方向に沿って連結部41から離れるにしたがって徐々に長くなっている。このように第1把持部31の固定端部30bと第2把持部32の固定端部30bは、z方向において連結部41側から自由端部30a側に向かうにしたがって末広がりになっている。
One end of the
第1把持部31と第2把持部32それぞれの自由端部30aは、x方向で互いに対向している。第1把持部31の自由端部30aと第2把持部32の自由端部30aとのx方向における離間距離は、z方向において連結部41側からプローブ50側に向かうにしたがって徐々に短くなっている。この結果、第1把持部31と第2把持部32それぞれの自由端部30aの他端のx方向の離間距離が、第1把持部31と第2把持部32それぞれの固定端部30bの他端のx方向の離間距離よりも短くなっている。
The
図3に示すように自由端部30aと固定端部30bには、プローブ50を挿入して固定するための挿入孔30cが形成されている。挿入孔30cは自由端部30aと固定端部30bとの連結部位から、自由端部30aの他端(先端)へと向かって、自由端部30aの延びる方向に沿って形成されている。挿入孔30cは上記の連結部位と先端それぞれで開口している。この挿入孔30cの連結部位の開口部から先端の開口部へと向かって、接触端子53を先頭としてプローブ50が挿入される。これにより、図4に示すように挿入孔30cに導電部52が収納され、自由端部30aの先端から接触端子53が外に飛び出す態様となっている。挿入孔30cの連結部位側の開口部は樹脂などによって閉塞される。
As shown in FIG. 3, an
架橋部70は第1把持部31のプローブ50と第2把持部32のプローブ50とを電気的に接続する。図5に示すように架橋部70は、可撓基板71、第1配線基板72、第2配線基板73、および、ノイズ対策素子74を有する。架橋部70が第2連結部に相当する。
The bridging
可撓基板71は可撓性を有する。可撓基板71はフレキシブル基板である。可撓基板71は第1配線パターン75を有する。図4および図5に示すように、可撓基板71はx方向に延びた形状を成している。そして可撓基板71の中央は、連結部41側に凸となるように湾曲している。そのために可撓基板71はx方向に弾性変形し易くなっている。この可撓基板71の一端に第1配線基板72が連結されている。可撓基板71の他端に第2配線基板73が連結されている。
The
第1配線基板72と第2配線基板73それぞれは可撓基板71よりも硬い材料で形成されている。第1配線基板72と第2配線基板73はガラエポ基板である。第1配線基板72と第2配線基板73は第2配線パターン76を有する。この第2配線パターン76ははんだなどを介して第1配線パターン75と電気的に接続されている。
Each of the
第1配線基板72と第2配線基板73それぞれはx方向に延びた形状を成している。第1配線基板72と第2配線基板73それぞれの一端が可撓基板71と連結される。第1配線基板72と第2配線基板73それぞれの他端が導電部52と接続される。
Each of the
図5に示すように、第1配線基板72と第2配線基板73それぞれの一端の上面に可撓基板71の下面が連結されている。これにより第1配線基板72と第2配線基板73それぞれの一端の端面はx方向で離間している。本実施形態では第1配線基板72と第2配線基板73それぞれの一端の端面の少なくとも一部がx方向で互いに対向している。
As shown in FIG. 5, the lower surface of the
図5に示すように第1配線基板72と第2配線基板73それぞれの他端の中央部が切欠いている。これにより第1配線基板72と第2配線基板73それぞれの他端は二又に分かれた形状になっている。
As shown in FIG. 5, the center part of the other end of each of the
図5に示すように第1把持部31と第2把持部32それぞれの自由端部30aには、挿入孔30cと連通する横穴30dが形成されている。横穴30dはx方向に沿って形成されている。この横穴30dを形作る4面のうちの自由端部30aの延びる方向に交差する上面と下面とに挿入孔30cが開口している。そのために挿入孔30cに挿入されたプローブ50の導電部52が横穴30dの上面と下面とを貫いている。これにより導電部52の一部が横穴30dに設けられている。なお横穴30dは第1把持部31と第2把持部32の互いに対向する面と、その反対側の面に開口しているが、対向する面の開口面積は、反対側の面の開口面積よりも狭くなっている。横穴30dを形作る上面は、対向する面から反対側の面に向かうにしたがって横穴30dを形作る下面から徐々に遠ざかる斜面形状となっている。
As shown in FIG. 5, a
第1把持部31の横穴30dに設けられた導電部52が、第1配線基板72の端部の二又に分かれた部位の間の端面と接触している。導電部52と第1配線基板72の第2配線パターン76とははんだを介して電気的に接続されている。第1配線基板72は横穴30dを形作る下面に接着材によって固定されている。
The
同様にして、第2把持部32の横穴30dに設けられた導電部52が、第2配線基板73の端部の二又に分かれた部位の間の端面と接触している。導電部52と第2配線基板73の第2配線パターン76とははんだを介して電気的に接続されている。第2配線基板73は横穴30dを形作る下面に接着材によって固定されている。
Similarly, the
ノイズ対策素子74は第1配線基板72に設けられている。このノイズ対策素子74の設けられる第1配線基板72の第2配線パターン76の一部が除去されて、電気的な接続が断たれている。ノイズ対策素子74はこの電気的な接続が断たれた第2配線パターン76を架橋して接続するように、はんだによって第1配線基板72に固定されている。ノイズ対策素子74の一部は第1把持部31の横穴30d内に設けられている。
The
以上に示した電気的な接続構成により、第1把持部31のプローブ50、ノイズ対策素子74、架橋部70、および、第2把持部32のプローブ50によってバイパス回路が構成されている。
With the electrical connection configuration described above, a bypass circuit is configured by the
検査装置10は、本体部30、プローブ50、および、架橋部70の他に、第1把持部31と第2把持部32それぞれのプローブ50の相対位置を規定する位置規定部90を有する。位置規定部90は、図1に示す連結ネジ91と、図1と図6に示すナット92を有する。図3に示すように第1把持部31と第2把持部32それぞれの固定端部30bには、連結ネジ91を挿入するための規定孔30eが形成されている。規定孔30eは第1把持部31と第2把持部32の対向する方向に沿って形成されている。図1で言えば、規定孔30eはx方向に沿って形成されている。規定孔30eは、第1把持部31と第2把持部32の互いに対向する面(以下、内面と示す)と、その反対側の外面それぞれに開口している。
In addition to the
第1把持部31の規定孔30eにはネジ溝が形成されている。この第1把持部31の規定孔30eに連結ネジ91が締結される。連結ネジ91はネジ頭93とネジ軸94を有する。ネジ軸94の端部にネジ頭93が一体的に連結されている。このネジ頭93が第1把持部31の外面と接触するように、第1把持部31と第2把持部32それぞれの規定孔30eに連結ネジ91が挿入される。これによりネジ軸94の先端が第2把持部32の規定孔30eを挿通している。
A thread groove is formed in the defining
第2把持部32の規定孔30eはネジ軸94よりも径が長くなっている。連結ネジ91と第2把持部32の規定孔30eを構成する内壁面とは、本体部30の弾性変形によっては、非接触状態となっている。ナット92は、第2把持部32の規定孔30eから外に飛び出したネジ軸94の先端に取り付けられている。このためネジ頭93とナット92との間に第1把持部31と第2把持部32それぞれの固定端部30bが位置している。ナット92の連結ネジ91への取り付け位置は、連結ネジ91の軸方向に可変となっている。このナット92のネジ軸94への取り付け位置の調整により、第1把持部31と第2把持部32との最大離間距離が規定される。
The diameter of the defining
図7の(a)欄に示すように、本実施形態では、ユーザによって本体部30が弾性変形させられていない場合、ナット92と第2把持部32とは離間している。しかしながら、図7の(b)欄に示すように、例えばユーザが第1把持部31と第2把持部32の先端が互いに離れるように本体部30を変形すると、第2把持部32がナット92に接触する。これにより第1把持部31と第2把持部32との最大離間距離が規定されている。この本体部30の変形により可撓基板71は伸びるように変形する。しかしながらその可撓基板71の伸びは、上記の第2把持部32とナット92との接触によって規定される。なおもちろんではあるが、ユーザによって本体部30が弾性変形させられていない状態において、ナット92と第2把持部32とが接触する構成を採用することもできる。
As shown in the column (a) of FIG. 7, in this embodiment, when the
図7の(c)欄に示すように、ユーザによって第1把持部31と第2把持部32の先端が互いに近づくように本体部30が変形すると、第1配線基板72と第2配線基板73の一端の端面同士が接触する。これにより第1把持部31と第2把持部32との最小離間距離が規定されている。この本体部30の変形により可撓基板71は縮むように変形する。しかしながらその可撓基板71の縮みは、上記の第1配線基板72と第2配線基板73との接触によって規定されている。この第1配線基板72と第2配線基板73との接触により、第1把持部31のプローブ50と第2把持部32のプローブ50との接触が避けられている。
As shown in the column (c) of FIG. 7, when the
(ノイズ検証方法)
次に、図8に基づいて検査装置10を用いたノイズ検証方法を説明する。先ずステップS10において、ユーザはノイズ対策素子74を選択する。本実施形態の検査装置10は本体部30にノイズ対策素子74の設けられた架橋部70がはんだによって接続された構成となっている。そのため、ユーザは異なるノイズ対策素子74を有する検査装置10を複数用意し、その複数の検査装置10の中から、ノイズ検証に用いるノイズ対策素子74の設けられたものを選択する。この後にユーザはステップS20へ進む。なお、第4実施形態などで例示するように、検査装置10へのノイズ対策素子74の取り付けが可変な構成の場合、ステップS10においてユーザはノイズ検証に用いるノイズ対策素子74を選択し、それを検査装置10に取り付ける。
(Noise verification method)
Next, a noise verification method using the
ステップS20において、ユーザは本体部30を把持して、回路基板のノイズ検証部位に応じて本体部30を弾性変形させる。すなわちユーザは第1把持部31と第2把持部32とを手でつかみ、回路基板のノイズ検証部位に応じて第1把持部31と第2把持部32それぞれの先端が互いに近づくように、若しくは、互いに離れるように本体部30を弾性変形させる。これにより第1把持部31と第2把持部32それぞれに設けられたプローブ50の接触端子53の相対距離を変動させる。ユーザはこの接触端子53の先端をノイズ検証部位に押圧する。こうすることでプローブ50のスプリング54を弾性変形させ、スプリング54の復元力によって接触端子53とノイズ検証部位との電気的な接続を安定化させる。この後にユーザはステップS30へ進む。
In step S <b> 20, the user holds the
ステップS30において、ユーザはスペクトルアナライザなどによって回路基板の出力に含まれる電磁ノイズが減少したか否かを判定する。電磁ノイズがユーザの所望値よりも減少した場合、ノイズ検証は終了となる。これとは異なり電磁ノイズが所望値よりも減少していない場合、ユーザはステップS40へ進む。 In step S30, the user determines whether or not electromagnetic noise included in the output of the circuit board has been reduced by a spectrum analyzer or the like. If the electromagnetic noise has decreased below the user's desired value, the noise verification ends. On the other hand, if the electromagnetic noise has not decreased below the desired value, the user proceeds to step S40.
ステップS40において、ユーザは検査装置10と回路基板との接触位置を変更する。すなわちユーザはノイズ検証部位を変更する。この後にユーザはステップS50へ進む。
In step S40, the user changes the contact position between the
ステップS50において、ユーザはスペクトルアナライザなどによって回路基板の出力に含まれる電磁ノイズが減少したか否かを判定する。電磁ノイズが所望値よりも減少した場合、ノイズ検証は終了となる。これとは異なり電磁ノイズが所望値よりも減少していない場合、ユーザはステップS10へと戻る。そしてユーザは再度ステップS10〜ステップS50の処理を繰り返す。以上に示したように、回路基板の設計レイアウトを変更せずに、検査装置10や検査装置10の接触位置を変更することで電磁ノイズの減少を検証する。
In step S50, the user determines whether or not the electromagnetic noise included in the output of the circuit board has been reduced by using a spectrum analyzer or the like. If the electromagnetic noise is reduced below the desired value, the noise verification is finished. On the other hand, if the electromagnetic noise has not decreased below the desired value, the user returns to step S10. And a user repeats the process of step S10-step S50 again. As described above, the reduction of electromagnetic noise is verified by changing the
(作用効果)
次に、本実施形態にかかる検査装置10の作用効果を説明する。上記したように検査装置10は本体部30とプローブ50を有する。本体部30は、第1把持部31、第2把持部32、および、連結部41を有する。これら第1把持部31、第2把持部32、および、連結部41は同一の弾性体からなる。第1把持部31と第2把持部32それぞれの端部が連結部41によって一体的に連結されている。これにより本体部30を弾性変形させることで、第1把持部31と第2把持部32の先端同士の離間間隔が変動する。
(Function and effect)
Next, the function and effect of the
第1把持部31と第2把持部32それぞれにプローブ50が設けられている。したがって本体部30の弾性変形により、第1把持部31と第2把持部32それぞれのプローブ50の相対位置を変動させることができる。
A
以上により、回路基板の形状や配置、また測定対象物として回路基板そのものが変更されたとしても、それに応じて第1把持部31と第2把持部32それぞれのプローブ50の相対位置を変動する。これにより検査装置10と回路基板との電気的な接続が困難となることが抑制される。
As described above, even if the circuit board itself is changed as the shape and arrangement of the circuit board and the measurement object, the relative positions of the
検査装置10は架橋部70を有する。架橋部70はノイズ対策素子74を有し、架橋部70によって第1把持部31と第2把持部32それぞれのプローブ50が電気的に接続されている。これによれば回路基板の設計レイアウトを変更しなくとも、回路基板の電磁ノイズの増減を検証することができる。そのためノイズ検証時間を短縮することができる。
The
第1把持部31と第2把持部32それぞれの端部が連結部41によって一体的に連結されている。これによれば、例えば複数の把持部の中央部が連結部によって連結される構成とは異なり、第1把持部31と第2把持部32それぞれと連結部41との連結部位が、ユーザによる第1把持部31と第2把持部32の操作の妨げになることが抑制される。
The end portions of the
プローブ50の電気的接点51は接触端子53とスプリング54を有し、接触端子53の延長方向に沿う圧力によってスプリング54が弾性変形する。これによれば、スプリング54の復元力によって接触端子53と回路基板との接触状態が確保される。この結果、電気的接点51と回路基板との電気的な接続が安定化される。
The
架橋部70は、可撓基板71、第1配線基板72、第2配線基板73、および、ノイズ対策素子74を有する。可撓基板71は可撓性を有し、その中央は湾曲している。この可撓基板71の両端に、可撓基板71よりも硬い第1配線基板72と第2配線基板73が連結されている。そして第1配線基板72にノイズ対策素子74が搭載されている。第1配線基板72は第1把持部31に固定され、第2配線基板73は第2把持部32に固定されている。
The bridging
これによれば、第1把持部31と第2把持部32の相対位置の変動によって、ノイズ対策素子74とプローブ50との接続が不安定になることが抑制される。
According to this, it is suppressed that the connection between the
またノイズ対策素子74が可撓基板71に搭載される構成と比べて、第1把持部31と第2把持部32の相対位置の変動による可撓基板71の変形によって、ノイズ対策素子74と架橋部70との接続が不安定になることが抑制される。
Compared with the configuration in which the
位置規定部90により第1把持部31と第2把持部32との最大離間距離が規定されている。これにより、架橋部70の可撓基板71の伸びが規定されている。そのため第1把持部31と第2把持部32との離間により架橋部70に損傷が生じることが抑制される。
The
架橋部70の有する第1配線基板72と第2配線基板73の一端の端面同士の接触により第1把持部31と第2把持部32との最小離間距離が規定されている。これにより、架橋部70の可撓基板71の縮みが規定されている。そのため第1把持部31と第2把持部32との接近により架橋部70に損傷が生じることが抑制される。
The minimum separation distance between the first gripping
ノイズ対策素子74の一部は第1把持部31の横穴30d内に設けられている。これによれば、ノイズ対策素子74に外部から力が印加されることが抑制される。そのためノイズ対策素子74と架橋部70との接続が不安定になることが抑制される。なおもちろんではあるが、ノイズ対策素子74の全てが横穴30d内に設けられた構成を採用することもできる。
A part of the
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態を図9および図10に基づいて説明する。以下に示す各実施形態にかかる検査装置は上記した実施形態によるものと共通点が多い。そのため以下においては共通部分の説明を省略し、異なる部分を重点的に説明する。また以下においては上記した実施形態で示した要素と同一の要素には同一の符号を付与する。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described based on FIG. 9 and FIG. The inspection apparatus according to each embodiment shown below has much in common with the above-described embodiment. Therefore, in the following description, description of common parts is omitted, and different parts are mainly described. In the following description, the same reference numerals are given to the same elements as those described in the above embodiment.
第1実施形態では、第1把持部31と第2把持部32それぞれの端部が連結部41によって一体的に連結された例を示した。これに対して本実施形態では、別体の第1把持部31と第2把持部32それぞれの端部が、連結ネジ42によって回転可能に連結された構成となっている点を特徴とする。連結ネジ42が第1連結部に相当する。
In the first embodiment, the example in which the end portions of the first gripping
図9に第1把持部31を示す。第2把持部32は第1把持部31と構成が同等なのでその記載を省略している。第1把持部31と第2把持部32それぞれの固定端部30bの一端には、y方向に沿う連結孔30fが形成されている。この連結孔30fに連結ネジ42が通される。これにより図10に示すように第1把持部31と第2把持部32とが、連結ネジ42を中心として回転可能になっている。なお図10では架橋部70と位置規定部90の図示を省略している。
FIG. 9 shows the
これによれば第1把持部31と第2把持部32を回転させることで、第1把持部31と第2把持部32のプローブ50の相対位置を変動させることができる。
According to this, the relative position of the
なお本実施形態にかかる検査装置10には、第1実施形態に記載の検査装置10と同等の構成要素が含まれている。そのため同等の作用効果を奏することは言うまでもない。以下に示す各実施形態でも同様である。したがってその記載を省略する。
Note that the
(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態を図11および図12に基づいて説明する。
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the present invention will be described based on FIG. 11 and FIG.
第2実施形態では、別体の第1把持部31と第2把持部32それぞれの端部が、連結ネジ42によって回転可能に連結された例を示した。これに対して本実施形態では第1把持部31と第2把持部32それぞれの端部に形成されたボールジョイント43によって、第1把持部31と第2把持部32それぞれの端部が回転可能に連結された構成となっている点を特徴とする。ボールジョイント43が第1連結部に相当する。
In the second embodiment, an example in which the end portions of the separate first
ボールジョイント43は、球体部44と、球殻部45と、を有する。球体部44はその名の通り球体形状を成している。球殻部45はその名の通り球殻形状を成している。球体部44は第1把持部31の固定端部30bの一端に形成されている。球殻部45は第2把持部32の固定端部30bの一端に形成されている。
The ball joint 43 has a
球殻部45には、その内部に球体部44を挿入するための切欠きが形成されている。この切欠きを介して球殻部45の内部に球体部44が挿入される。これにより第1把持部31と第2把持部32とが連結される。
The
なお、球殻部45の内径は球体部44の径と同等、若しくは、若干長い構成となっている。球殻部45の内径は、球体部44が球殻部45に対して摺動可能となるように設定される。これにより図12に示すように第1把持部31と第2把持部32とが、ボールジョイント43を中心として回転可能になっている。この結果、第1把持部31と第2把持部32のプローブ50の相対位置を変動可能となっている。なお図12では架橋部70と位置規定部90の図示を省略している。もちろんではあるが、検査装置10は位置規定部90を有していなくともよい。
Note that the inner diameter of the
また、球体部44から球殻部45を抜くことができる。すなわち、第1把持部31は第2把持部32の球殻部45に対して着脱可能である。逆に言えば、第2把持部32は第1把持部31の球体部44に対して着脱可能である。これによれば、第1把持部31、若しくは、第2把持部32にて故障が生じたとしても、故障した把持部を交換することができる。
Further, the
なお、検査装置10が第1把持部31と第2把持部32の他に、第3把持部33を有する構成の場合においても、第3把持部33を第1把持部31と第2把持部32それぞれに対して回転可能に連結することができる。
Even when the
説明の都合上、第2把持部32に連結された球殻部45を第1球殻部45とすると、ボールジョイント43は、球体部44と、第1球殻部45と、第2球殻部46と、を有する。図13に示すように第2球殻部46は第3把持部33の固定端部30bの一端に形成されている。第2球殻部46の内径は、第1球殻部45が第2球殻部46に対して摺動可能となるように設定される。第2球殻部46には、その内部に第1球殻部45を挿入するための切欠きが形成されている。この切欠きを介して第2球殻部46の内部に球体部44とともに第1球殻部45が挿入される。これにより第1把持部31、第2把持部32、および、第3把持部33が連結される。
For convenience of explanation, if the
(第4実施形態)
次に、本発明の第4実施形態を図14〜図17に基づいて説明する。図14では位置規定部90の図示を省略している。
(Fourth embodiment)
Next, 4th Embodiment of this invention is described based on FIGS. In FIG. 14, the illustration of the
これまでの各実施形態では、検査装置10が架橋部70を有する例を示した。これに対して本実施形態では検査装置10が挟持部110を有する点を特徴とする。挟持部110が第2連結部に相当する。
In each of the embodiments so far, the example in which the
図14に示すように挟持部110はノイズ対策素子74のリード77を挟持して本体部30に固定する機能を果たす。挟持部110は第1把持部31と第2把持部32それぞれの自由端部30aに設けられている。より詳しく言えば、挟持部110は自由端部30aの横穴30dに設けられている。
As shown in FIG. 14, the
図15に示すように挟持部110は第1挟持部111と第2挟持部112を有する。第1挟持部111と第2挟持部112それぞれは、板部113、バネ114、押圧部115を有する。板部113とバネ114それぞれは横穴30dに設けられている。押圧部115の一部が横穴30dに設けられている。板部113は横穴30dの中心側に位置している。この板部113と押圧部115とはバネ114を介して連結されている。バネ114はy方向に弾性変形可能となっている。また板部113は導電性の材料から成り、導電部52と電気的に接続されている。
As shown in FIG. 15, the
横穴30dの上面と下面との間の左面と右面それぞれには押圧部115の一部を外に露出させるための窓が形成されている。第1挟持部111の押圧部115は左面の窓に設けられている。第2挟持部112の押圧部115は右面の窓に設けられている。そして第1挟持部111の板部113と第2挟持部112の板部113とはx方向に並ぶ態様で、横穴30dの中心側に設けられている。図15〜図17では第1挟持部111が紙面上方に、第2挟持部112が紙面下方に位置することを明示するために、第2挟持部112における第1挟持部111で隠れた部位を破線で示している。
A window for exposing a part of the
第1挟持部111と第2挟持部112それぞれの板部113にはx方向に貫通する挟持孔113aが形成されている。挟持孔113aはリード77よりも径が長くなっている。この第1挟持部111と第2挟持部112それぞれの挟持孔113aにノイズ対策素子74のリード77が挿入される。
Each
図15に示すようにリード77が挟持孔113aに挿入される前の状態において、第1挟持部111と第2挟持部112それぞれの挟持孔113aはx方向で互いに重なっている。より詳しく言えば、第1挟持部111と第2挟持部112それぞれの挟持孔113aの横穴30dの中心側が、x方向で互いに重なっている。この2つの挟持孔113aの重なりにより、x方向に貫通する貫通孔が構成されている。この貫通孔のy方向の間隔は、リード77の径よりも短くなっている。
As shown in FIG. 15, before the
図16に示すように2つの挟持孔113aによって構成される貫通孔にリード77が挿入される。すると板部113は、貫通孔が広がるようにバネ114の復元力に抗して移動する。詳しく言えば、第1挟持部111の板部113は実線矢印で示すようにy方向に沿って右面側に移動する。第2挟持部112の板部113は破線矢印で示すようにy方向に沿って左面側に移動する。これにより、第1挟持部111のバネ114には左面側に移動しようとする復元力が生じる。第2挟持部112のバネ114には右面側に移動しようとする復元力が生じる。この互いに逆向きの復元力によって、リード77は2つの板部113それぞれの挟持孔113aを形作る環状の端面によって挟持される。これによりリード77と板部113とが機械的および電気的に接続される。この結果、リード77と板部113とを介してノイズ対策素子74とプローブ50とが電気的に接続される。
As shown in FIG. 16, the
図17に白抜き矢印で示すように、第1挟持部111と第2挟持部112それぞれの押圧部115における横穴30dの外に飛び出している部位を横穴30dの中心へと向かって押圧する。そうすることで第1挟持部111の板部113を実線矢印で示すようにy方向に沿って右面側に移動させる。第2挟持部112の板部113を破線矢印で示すようにy方向に沿って左面側に移動させる。これにより貫通孔を広げてリード77と挟持孔113aを形作る環状の端面との接触を解除する。この状態でリード77を挟持孔113aから抜く。これにより挟持部110によるリード77の挟持が解除される。
As shown by the white arrows in FIG. 17, the portion protruding from the
なお当然ではあるが、図17に示すように押圧部115を押圧して貫通孔を広げた状態で、貫通孔にリード77を挿入する。その後に押圧部115への押圧を解除する。これによってリード77を挟持部110に挟持してもよい。
Of course, as shown in FIG. 17, the
上記したように、リード77を有するノイズ対策素子74であれば、検査装置10に対して着脱可能である。したがって、ノイズ対策素子74として例えば容量の異なるコンデンサを用意しておき、そのコンデンサを適宜選択して検査装置10に接続することで、ノイズ検証を行うことができる。
As described above, the
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上記した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。 The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.
(第1の変形例)
各実施形態では、自由端部30aと固定端部30bが一体物である例を示した。しかしながら図18に示すように自由端部30aと固定端部30bとは別体でもよい。これによれば、自由端部30a、若しくは、固定端部30bにて故障が生じたとしても、故障した自由端部30a、若しくは、固定端部30bを交換することができる。
(First modification)
In each embodiment, an example in which the
自由端部30aと固定端部30bとの連結構造としては、例えば図18に示す構成を採用することもできる。図18では、自由端部30aの一端と固定端部30bの他端とにネジ溝30gが形成されている。自由端部30aの一端は凸型のネジ形状を成している。固定端部30bの他端は凹型のネジ形状を成している。ネジ溝30gは自由端部30aの軸方向(延設方向)周りに形成されている。
As a connection structure between the
以上により、自由端部30aの一端を固定端部30bの他端にネジ締結することで、自由端部30aと固定端部30bとを固定することができる。逆に、ネジ締結を解除することで、自由端部30aと固定端部30bとの固定を解除することができる。さらに言えば、自由端部30aと固定端部30bとのネジ締め具合を調整することで、自由端部30aを固定端部30bに対して延設方向に移動させることができる。これによれば、自由端部30aに設けられるプローブ50と回路基板との接続位置を調整することができる。
Thus, the
なお図示しないが、例えば、自由端部30aの一端と固定端部30bの他端それぞれに、自由端部30aの軸方向に直交する環状の複数の溝を形成してもよい。すなわち、図18で言えば、ネジ溝のようならせん形状ではなく、円環状の溝を自由端部30aの一端と固定端部30bの他端それぞれに形成してもよい。これによれば、自由端部30aを固定端部30bに対して延設方向に押し込んだり、引っ張ったりして自由端部30aと固定端部30bの互いに嵌合する溝の位置を調整することで、自由端部30aを固定端部30bに対して延設方向に移動することができる。
Although not shown, for example, a plurality of annular grooves orthogonal to the axial direction of the
(第2の変形例)
第3実施形態では、球体部44が第1把持部31の固定端部30bの一端に形成され、球殻部45は第2把持部32の固定端部30bの一端に形成された例を示した。しかしながら図18に示すように、球体部44が第1把持部31の固定端部30bの一端に連結された構成を採用することもできる。図示しないが、球殻部45が第2把持部32の固定端部30bの一端に連結された構成を採用することもできる。これによれば、固定端部30b、若しくは、ボールジョイント43にて故障が生じたとしても、故障した固定端部30b、若しくは、ボールジョイント43を交換することができる。なお、図18に示す変形例では、固定端部30bの一端と球体部44の支持部44aそれぞれに互いを嵌合して連結するための鈎部47が形成されている。
(Second modification)
In 3rd Embodiment, the
(第3の変形例)
例えば第1実施形態では、ノイズ対策素子74がはんだを介して第1配線基板72の第2配線パターン76と電気的に接続され、第1配線基板72に固定された例を示した。しかしながら、例えば図19に破線で囲って模式的に示すように、第1配線基板72に、第2配線パターン76とともにノイズ対策素子74を形成してもよい。また図示しないが、ノイズ対策素子74は第1配線パターン75とともに可撓基板71に形成されてもよい。
(Third Modification)
For example, in the first embodiment, the
(第4の変形例)
例えば第1実施形態では、架橋部70によって第1把持部31と第2把持部32それぞれのプローブ50を電気的に接続する例を示した。しかしながら例えば図20に示すように第1実施形態に記載の連結部41の端面にノイズ対策素子74が固定される構成を採用することもできる。この場合、固定端部30bの内部には、プローブ50と電気的に接続するための配線を設ける。そしてその配線を連結部41の端面から外部に露出させる。この配線とノイズ対策素子74とをはんだ130を介して電気的に接続する。またはんだ130によってノイズ対策素子74を連結部41に固定する。このはんだ130が第2連結部に相当する。
(Fourth modification)
For example, in the first embodiment, an example in which the
これによれば第1把持部31と第2把持部32の相対位置の変化範囲が、ノイズ対策素子74とプローブ50との接続によって規制されることが抑制される。また、第1把持部31と第2把持部32の相対位置が変動したとしても、ノイズ対策素子74とプローブ50との電気的な接続が不安定になることが抑制される。
According to this, it is possible to suppress the change range of the relative position between the
なお、この変形例の場合、配線長が長くなりがちである。そのために検査装置10のインピーダンスの増大が懸念される。したがってこの変形例の場合、検査装置10の大きさとしては、片手で操作できる程度を採用することはできるが、より好適には指で操作できる程度を採用するとよい。
In the case of this modification, the wiring length tends to be long. Therefore, there is a concern about an increase in impedance of the
(その他の変形例)
各実施形態では、自由端部30aと固定端部30bとが交差して連結された例を示した。しかしながら図21に示すように自由端部30aと固定端部30bとが連続して連結された構成を採用することもできる。
(Other variations)
In each embodiment, an example in which the
カードエッジコネクタなどの多数の端子が並列に並んだ電子デバイスの場合、複数の端子の離間距離が短いため、任意の2つの端子と検査装置10との電気的な接続を保持することが困難と成りやすい。そこで、図22に示すようにプローブ50の接触端子53に接続される導電性の端子部56を検査装置10は有してもよい。この端子部56は接触端子53と電気的に接続されるとともに接触端子53を固定するための固定孔の形成された本体部56aを有する。また端子部56は複数の新たな接触端子としての機能を果たす、本体部56aに連結された複数の端子接点56bを有する。この端子接点56bの太さは、図22および図23に示すように接触端子53よりも太くとも細くともよい。これによれば1つの接触端子53によって複数の端子間を電気的に接続することができる。
In the case of an electronic device in which a large number of terminals such as a card edge connector are arranged in parallel, it is difficult to maintain an electrical connection between any two terminals and the
各実施形態ではノイズ対策素子74の具体例としてコンデンサを示した。当然ながらノイズ対策素子74としては上記例に限定されず、一般的な受動素子を採用することができる。例えば、ノイズ対策素子74としては抵抗、インダクタ、コモンモードチョークコイルなどを採用することもできる。
In each embodiment, a capacitor is shown as a specific example of the
各実施形態では検査装置10が2つの把持部を有する例を示した。しかしながら、検査装置10は3つ以上の把持部を有してもよい。このように3つ以上の把持部を有する構成は、特に第2実施形態や第3実施形態の構成で有用である。
In each embodiment, the example which the
例えば第1実施形態では第1把持部31と第2把持部32それぞれの端部が連結部41によって連結された例を示した。しかしながら第1把持部31と第2把持部32それぞれの中央部が連結部41によって連結された構成を採用することもできる。なおもちろんではあるが、連結部41ではなく、例えば第2実施形態に示した連結ネジ42によって第1把持部31と第2把持部32それぞれの中央部が連結された構成を採用することもできる。
For example, in the first embodiment, the example in which the end portions of the first gripping
10…検査装置、30a…自由端部、30b…固定端部、30d…横穴、31…第1把持部、32…第2把持部、33…第3把持部、41…連結部、42…連結ネジ、43…ボールジョイント、51…電気的接点、52…導電部、53…接触端子、54…スプリング、56…端子部、56b…端子接点、70…架橋部、71…可撓基板、72…第1配線基板、73…第2配線基板、74…ノイズ対策素子、90…位置規定部、110…挟持部、130…はんだ
DESCRIPTION OF
Claims (15)
前記電気的接点と電気的に接続された導電部(52)と、
前記電気的接点と前記導電部の設けられる複数の把持部(31,32,33)と、
複数の前記把持部の前記電気的接点の相対位置を変動可能に、複数の前記把持部を連結する第1連結部(41,42,43)と、
複数の前記把持部の前記導電部と電気的に接続可能に、複数の前記把持部にノイズ対策素子(74)を連結する第2連結部(70,110,130)と、を有する検査装置。 An electrical contact (51) electrically connected to the measurement object by contact with the measurement object;
A conductive portion (52) electrically connected to the electrical contact;
A plurality of grip portions (31, 32, 33) provided with the electrical contact and the conductive portion;
A first connecting portion (41, 42, 43) for connecting the plurality of gripping portions so that the relative positions of the electrical contacts of the plurality of gripping portions can be varied;
An inspection apparatus comprising: a second connecting portion (70, 110, 130) for connecting a noise countermeasure element (74) to the plurality of gripping portions so as to be electrically connected to the conductive portions of the plurality of gripping portions.
複数の前記把持部の前記一端とは反対側の他端それぞれが前記第1連結部に連結される請求項1に記載の検査装置。 The electrical contact is provided at one end of the grip portion,
The inspection apparatus according to claim 1, wherein each of the other ends opposite to the one ends of the plurality of gripping portions is connected to the first connecting portion.
前記第1連結部と前記把持部それぞれの形成材料は弾性体である請求項2に記載の検査装置。 Each of the other ends of the plurality of gripping portions and the first connecting portion are integrally connected,
The inspection apparatus according to claim 2, wherein the forming material of each of the first connection part and the grip part is an elastic body.
前記自由端部の延設方向に、前記自由端部は前記固定端部に対して移動可能となっている請求項4または請求項5に記載の検査装置。 The grip portion has a free end (30a) where the electrical contact is provided at the one end, and a fixed end (30b) where the first connection is connected to the other end,
6. The inspection apparatus according to claim 4, wherein the free end portion is movable with respect to the fixed end portion in the extending direction of the free end portion.
前記スプリングは前記接触端子の延長方向に弾性変形可能である請求項2〜7いずれか1項に記載の検査装置。 The electrical contact has a contact terminal (53) that contacts the measurement object, and a spring (54) connected to the contact terminal,
The inspection device according to claim 2, wherein the spring is elastically deformable in an extending direction of the contact terminal.
前記架橋部は、架橋する複数の前記把持部の相対位置の変動に対応して弾性変形可能である請求項1〜8いずれか1項に記載の検査装置。 The second connecting portion includes a bridging portion (70) on which the noise countermeasure element is mounted, which bridges the conductive portions of the plurality of gripping portions,
The inspection apparatus according to claim 1, wherein the bridging portion is elastically deformable in response to a change in a relative position of the plurality of gripping portions to be bridged.
前記ノイズ対策素子は前記架橋部の端に設けられている請求項9に記載の検査装置。 The center of the bridging portion is more easily elastically deformed according to the change in relative position of the plurality of gripping portions than the end,
The inspection apparatus according to claim 9, wherein the noise countermeasure element is provided at an end of the bridging portion.
前記ノイズ対策素子の少なくとも一部が前記横穴に設けられている請求項10に記載の検査装置。 The grip part is formed with a lateral hole (30d) in which an end of the bridging part is provided,
The inspection apparatus according to claim 10, wherein at least a part of the noise countermeasure element is provided in the lateral hole.
前記挟持部は複数の前記把持部それぞれに設けられており、
前記挟持部と前記導電部とは電気的に接続されている請求項1〜8いずれか1項に記載の検査装置。 The second connecting part has a conductive clamping part (110) for clamping and fixing the lead of the noise countermeasure element,
The clamping part is provided in each of the plurality of gripping parts,
The inspection apparatus according to claim 1, wherein the clamping unit and the conductive unit are electrically connected.
前記端子部は複数の端子接点(56b)を有する請求項1〜14いずれか1項に記載の検査装置。 A conductive terminal portion (56) fixed to the electrical contact;
The inspection device according to claim 1, wherein the terminal portion has a plurality of terminal contacts (56 b).
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