JP2019002725A - 欠陥検査装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】欠陥の検出精度を向上することのできる欠陥検査装置を提供する。【解決手段】欠陥検査装置100は、中間転写ベルト1の外面1aに光を照射する光源31と、外面1aからの光を受光し、受光した光に基づく信号を送信するラインカメラ32と、中間転写ベルト1の内面1bに光を照射する光源41と、内面1bからの光を受光し、受光した光に基づく信号を送信するラインカメラ42とを備える。欠陥検査装置100は、ラインカメラ32から受信した信号に基づき外面1aの二次元画像である外面画像を作成し、ラインカメラ42から受信した信号に基づき内面1bの二次元画像である内面画像を作成する。欠陥検査装置100は、外面画像および内面画像に基づいて、中間転写ベルト1に含まれる欠陥を検出する。【選択図】図1

Description

本発明は、欠陥検査装置に関する。より特定的には、本発明は、欠陥の検出精度を向上することのできる筒状物の欠陥検査装置に関する。
電子写真式の画像形成装置には、スキャナー機能、ファクシミリ機能、複写機能、プリンターとしての機能、データ通信機能、およびサーバー機能を備えたMFP(Multi Function Peripheral)、ファクシミリ装置、複写機、プリンターなどがある。
画像形成装置は一般に、像担持体上に形成した静電潜像を現像装置によって現像してトナー像を形成し、このトナー像を用紙へ転写した後、定着装置によってトナー像を用紙に定着させることにより、用紙に画像を形成する。また、画像形成装置の中には、感光体の表面の静電潜像を現像装置によって現像してトナー像を形成し、一次転写ローラーを用いてトナー像を中間転写ベルトに転写し、二次転写ローラーを用いて中間転写ベルト上のトナー像を用紙へ二次転写するものも存在する。
中間転写ベルトは、薄肉円筒形状を有している。一般的に、中間転写ベルトは次の方法で製造される。熱可塑性樹脂を含む原料を準備し、原料中の熱可塑性樹脂を溶融させる。溶融した熱可塑性樹脂を含む原料を、金型を用いて筒状に射出成形する。射出成形により得られた成形体を送り出しながら冷却し、所定の長さに切断して筒状物を得る。筒状物の形状を矯正し、筒状物をさらに中間転写ベルトの長さに切断する。その後、検査工程において中間転写ベルトの外面(外周面)の欠陥の有無を目視にて検査する。
なお、たとえば下記特許文献1などには、感光体ドラムの検査に関する技術が開示されている。下記特許文献1では、駆動装置により感光体ドラムが反時計方向に低速の回転状態とされる。高周波蛍光灯を点灯して感光体ドラム表面からの正反射光を第1ラインセンサで受光してその出力する電気信号により画像処理装置において色ムラの有無が検出される。同時にドラム表面からの散乱光を第2ラインセンサで受光してその出力する電気信号により画像処理装置において凹凸の有無が検出される。
特開平7−128240号公報
中間転写ベルトの内面(内周面)に異物や局所的な折れに起因する欠陥が存在する場合には、中間転写ベルトの内面に出現する欠陥のサイズは大きい一方で、中間転写ベルトの外面に出現する欠陥のサイズは小さいことがある。しかし、従来の技術では、中間転写ベルトの外面の欠陥の有無のみが検査されていたため、中間転写ベルトの内面の上記のような欠陥は、外面では微小な欠陥にすぎず、検出されないことがあった。このため、従来の技術には欠陥の検出精度が低いという問題があった。中間転写ベルトの内面の欠陥もまた、中間転写ベルトの品質に悪影響を及ぼすことがあるため、中間転写ベルトにおいては、外面だけではなく内面の品質も重要である。
欠陥の検出精度が低いという問題は、検査対象が中間転写ベルトである場合のみならず、検査対象が筒状物である場合全般において起こり得るものであった。
本発明は、上記課題を解決するためのものであり、その目的は、欠陥の検出精度を向上することのできる欠陥検査装置を提供することである。
本発明の一の局面に従う欠陥検査装置は、筒状物の欠陥検査装置であって、筒状物の外面に光を照射する外照射部と、外面からの光を受光し、受光した光に基づく信号を送信する外受光部と、筒状物の内面に光を照射する内照射部と、内面からの光を受光し、受光した光に基づく信号を送信する内受光部と、外受光部から受信した信号に基づき外面の二次元画像である外面画像を作成し、内受光部から受信した信号に基づき内面の二次元画像である内面画像を作成する画像処理手段と、外面画像および内面画像に基づいて、筒状物に含まれる欠陥を検出する検出手段とを備える。
上記欠陥検査装置において好ましくは、検出手段は、外面画像に基づいて、外面に含まれる欠陥を検出する外面検出手段と、内面画像に基づいて、内面に含まれる欠陥を検出する内面検出手段と、外面および内面のうち一方の面で欠陥を検出した場合に、一方の面において検出した欠陥の位置に対応する位置であって、外面および内面のうち他方の面における位置で欠陥を検出したか否かを判別する判別手段と、他方の面における位置で欠陥を検出したと判別手段にて判別した場合に、一方の面において検出した欠陥と、他方の面において検出した欠陥とを第1の種類の同一の欠陥として識別する識別手段とを含み、他方の面における位置で欠陥を検出しないと判別手段にて判別した場合に、一方の面において検出した欠陥を第1の種類の欠陥として識別しない。
上記欠陥検査装置において好ましくは、判別手段は、内面にて欠陥を検出した場合に、内面において検出した欠陥の位置に対応する外面における位置で欠陥を検出したか否かを判別し、識別手段は、外面における位置で欠陥を検出しないと判別手段にて判別した場合に、内面にて検出した欠陥を欠陥として識別しない。
上記欠陥検査装置において好ましくは、判別手段は、外面にて欠陥を検出した場合に、外面において検出した欠陥の位置に対応する内面における位置で欠陥を検出したか否かを判別し、識別手段は、内面における位置で欠陥を検出しないと判別手段にて判別した場合に、外面にて検出した欠陥を第1の種類とは異なる第2の種類の欠陥として識別する。
上記欠陥検査装置において好ましくは、中心軸周りに筒状物を回転させる回転部と、外照射部、外受光部、内照射部、および内受光部の各々を、中心軸に沿って移動させる移動駆動部とをさらに備える。
上記欠陥検査装置において好ましくは、画像処理手段は、移動駆動部にて外照射部、外受光部、内照射部、および内受光部の各々を第1の位置に移動させた状態で、回転部にて筒状物を一回転させることにより、筒状物における第1の部分の外面画像および内面画像を作成する第1の画像作成手段と、移動駆動部にて外照射部、外受光部、内照射部、および内受光部の各々を第1の位置とは異なる第2の位置に移動させた状態で、回転部にて筒状物を一回転させることにより、筒状物における第1の部分とは異なる第2の部分の外面画像および内面画像を作成する第2の画像作成手段とを含む。
上記欠陥検査装置において好ましくは、回転部は、中心軸が鉛直方向となる状態で筒状物の一方の端部を保持する第1の保持部と、中心軸が鉛直方向となる状態で筒状物の他方の端部を保持する第2の保持部と、第1および第2の保持部を回転させる回転駆動部とを含み、第1および第2の保持部のうち少なくともいずれか一方の保持部は環状であり、移動駆動部は、内照射部および内受光部の各々を、少なくともいずれか一方の保持部を通じて筒状部の内部に対して出し入れする。
上記欠陥検査装置において好ましくは、外照射部、外受光部、内照射部、および内受光部の各々を固定するフレームをさらに備え、移動駆動部は、フレームを中心軸に沿って移動させることにより、外照射部、外受光部、内照射部、および内受光部の各々を移動させる。
上記欠陥検査装置において好ましくは、フレームは、外照射部および外受光部の各々を固定する第1のフレームと、内照射部および内受光部の各々を固定する第2のフレームとを含み、移動駆動部は、第1のフレームと、第2のフレームの各々を互いに独立して移動させることにより、外照射部および外受光部と、内照射部および内受光部とを互いに独立して移動させる。
上記欠陥検査装置において好ましくは、外照射部、外受光部、内照射部、および内受光部の各々を固定するフレームをさらに備え、回転部は、中心軸が鉛直方向となる状態で筒状物の一方の端部を保持する第1の保持部と、中心軸が鉛直方向となる状態で筒状物の他方の端部を保持する第2の保持部と、第1および第2の保持部を回転させる回転駆動部とを含み、フレームは、第1の保持部をさらに固定し、移動駆動部は、フレームを中心軸に沿って移動させることにより、外照射部、外受光部、内照射部、および内受光部の各々と、第1の保持部とを移動させる。
上記欠陥検査装置において好ましくは、外受光部は複数であり、複数の外受光部の各々は中心軸に沿って配置されており、内受光部は複数であり、複数の内受光部の各々は中心軸に沿って配置されている。
上記欠陥検査装置において好ましくは、筒状物の回転中に、内受光部は、外受光部が外面における所定の領域からの光を受光するタイミングと同一のタイミングで、内面における所定の領域に対応する領域からの光を受光する。
上記欠陥検査装置において好ましくは、筒状物の回転中に、外受光部は、内受光部が内面における所定の領域からの光を受光するタイミングとは異なるタイミングで、外面における所定の領域に対応する領域からの光を受光する。
本発明によれば、欠陥の検出精度を向上することのできる欠陥検査装置を提供することができる。
本発明の第1の実施の形態における欠陥検査装置100の構成を示す正面図である。 図1中II−II線に沿った断面図である。 本発明の第1の実施の形態における欠陥検査装置100の制御構成を示すブロック図である。 本発明の第1の実施の形態における欠陥検査装置100の動作を示す第1の図である。 本発明の第1の実施の形態における欠陥検査装置100の動作を示す第2の図である。 本発明の第1の実施の形態における欠陥検査装置100の動作を示す第3の図である。 本発明の第1の実施の形態における欠陥検査装置100の動作を示す第4の図である。 本発明の第1の実施の形態において、撮影画像取得部103が作成する外面画像および内面画像を模式的に示す図である。 本発明の第1の実施の形態における欠陥検査装置100の画像取得動作を示すフローチャートである。 本発明の第1の実施の形態における欠陥検査装置100の欠陥検出動作を示すフローチャートである。 本発明の第1の実施の形態の変形例における欠陥検査装置100の欠陥検出動作を示すフローチャートである。 本発明の第2の実施の形態における欠陥検査装置100aの構成を示す正面図である。 本発明の第3の実施の形態における欠陥検査装置100bの構成を示す正面図である。 本発明の第3の実施の形態における欠陥検査装置100bの動作を示す図である。 本発明の第4の実施の形態における欠陥検査装置100cの構成を示す正面図である。 本発明の第4の実施の形態における欠陥検査装置100cの画像取得動作を示すフローチャートである。
以下、本発明の実施の形態について、図面に基づいて説明する。
以下の実施の形態では、欠陥検査装置の検査対象が中間転写ベルトである場合について説明する。本発明の欠陥検査装置の検査対象は任意の筒状物であればよく、中間転写ベルトの他、感光体、定着ベルト、または中間転写ベルトの製品長に切断する前の筒状物(中間転写ベルトの材料)などであってもよい。
図1は、本発明の第1の実施の形態における欠陥検査装置100の構成を示す正面図である。図2は、図1中II−II線に沿った断面図である。なお図2では、上記の断面から見えるアーム22および23、光源31および41、ラインカメラ32および42、ならびにレンズ33および43の構成が示されている。
図1および図2を参照して、本実施の形態における欠陥検査装置100は、中間転写ベルト1(筒状物の一例)の検査を行う。中間転写ベルト1は薄肉円筒状であり、中心軸CXと、外面(外周面)1aと、内面(内周面)1bとを含んでいる。欠陥検査装置100は、回転部10と、フレーム20と、光源31(外照射部の一例)および41(内照射部の一例)と、ラインカメラ32(外受光部の一例)および42(内受光部の一例)と、レンズ33および43と、軸受駆動部51と、カメラ光源移動駆動部52(移動駆動部の一例)と、PC(Personal Computer)60とを備えている。
回転部10は、中心軸CX周りに中間転写ベルト1を回転させる。回転部10は、回転台11(第1の保持部の一例)と、軸受12(第2の保持部の一例)と、回転レール13と、回転駆動部14とを含んでいる。
回転台11は、中心軸CXが鉛直方向(図1中縦方向)となる状態で中間転写ベルト1の下端部を保持する。回転台11は、環状であり、小径部11aと大径部11bとを含んでいる。小径部11aは大径部11bよりも上側に設けられている。回転台11は、小径部11aの外周面と、中間転写ベルト1の下端部の内周面との係合により、中間転写ベルト1を保持する。
軸受12は、中心軸CXが鉛直方向となる状態で中間転写ベルト1の上端部を保持する。軸受12は、環状であり、小径部12aと大径部12bとを含んでいる。小径部12aは大径部12bよりも下側に設けられている。軸受12は、小径部12aの外周面と、中間転写ベルト1の上端部の内周面との係合により、中間転写ベルト1を保持する。軸受12は、中間転写ベルト1を回転させる際に発生する振動(ブレ)を防止する役割を果たす。
回転レール13は、環状のレールを含んでいる。回転レール13は、環状のレールで軸受12と係合しており、軸受12を回転可能に支持している。回転レール13は、軸受駆動部51からの動力を受ける部分である延在部13aを含んでいる。
回転駆動部14は、回転台11の大径部11bの外周面を通じて動力を与えることにより、回転台11および中間転写ベルト1を矢印AR3で示すように中心軸CX周りに回転させる。この際、軸受12もまた、回転台11および中間転写ベルト1を介して回転駆動部14から受ける動力によって、回転レール13の環状のレールに沿って回転(自転)する。中間転写ベルト1を回転させる際に軸受12と中間転写ベルト1との間に摩擦は生じない。
フレーム20は、本体部21と、アーム22および23(第1および第2のフレームの一例)と、延在部24とを含んでいる。本体部21は、棒状であり、水平方向に延在している。アーム22および23の各々は、本体部21から下方に突出している。延在部24は、カメラ光源移動駆動部52からの動力を受ける部分である。
光源31、ラインカメラ32、およびレンズ33は、アーム22に固定されている。光源31は、中間転写ベルト1の外面1aに光L1を照射する。ラインカメラ32は、レンズ33を介して外面1aからの反射光L2を受光し、受光した反射光L2に基づく信号をPC60に送信する。
光源41、ラインカメラ42、およびレンズ43は、アーム23に固定されている。光源41は、中間転写ベルト1の内面1bに光L3を照射する。ラインカメラ42は、レンズ43を介して内面1bからの反射光L4を受光し、受光した反射光L4に基づく信号をPC60に送信する。
光源31と光源41とは対向しており、ラインカメラ32とラインカメラ42とは対向しており、レンズ33とレンズ43とは対向していることが好ましい。これにより、中間転写ベルト1における同じ位置の外面1aおよび内面1bの各々を、ラインカメラ32およびラインカメラ42を用いて同時に撮影することができる。
軸受駆動部51は、延在部13aを通じて動力を与えることにより、軸受12および回転レール13を矢印AR1で示すように中心軸CXに沿って(鉛直方向に)移動させる。軸受駆動部51は、アーム23、光源41、ラインカメラ42、およびレンズ43の各々を、軸受12および回転レール13の内側の穴を通じて中間転写ベルト1の内部に対して出し入れする。軸受12および回転レール13を移動可能とすることで、回転台11および軸受12に対する中間転写ベルト1の着脱が容易になる。なお、回転台11が環状である場合には、軸受駆動部51は、光源41、ラインカメラ42、およびレンズ43の各々を、回転台11の内側の穴を通じて中間転写ベルト1の内部に対して出し入れしてもよい。
カメラ光源移動駆動部52は、延在部24を通じて動力を与えることにより、フレーム20、光源31および41、ラインカメラ32および42、ならびにレンズ33および43を矢印AR2で示すように中心軸CXに沿って(鉛直方向に)移動させる。
PC60は、欠陥検査装置100全体の動作を制御し、CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)、操作部、表示部、および記憶部104(図3)などのハードウェアにより構成されている。PC60は、回転駆動部14、光源31および41、ラインカメラ32および42、軸受駆動部51、ならびにカメラ光源移動駆動部52と接続されている。
図3は、本発明の第1の実施の形態における欠陥検査装置100の制御構成を示すブロック図である。
図3を参照して、欠陥検査装置100は、制御部101と、光源制御部102と、撮影画像取得部103(画像処理手段の一例)と、記憶部104と、検査部105(検査手段の一例)と、結果出力部106とを備えている。制御部101、光源制御部102、撮影画像取得部103、検査部105、および結果出力部106の各々は、PC60によって実現される機能である。
制御部101は、PC60全体を制御する。また制御部101は、回転駆動部14、軸受駆動部51およびカメラ光源移動駆動部52の各々の動作を制御する。
光源制御部102は、光源31および41の各々を制御する。
撮影画像取得部103は、反射光L2に基づく信号をラインカメラ32から受信し、受信した信号に基づいて、外面1aの二次元画像である外面画像を作成する。撮影画像取得部103は、反射光L4に基づく信号をラインカメラ42から受信し、受信した信号に基づいて、内面1bの二次元画像である内面画像を作成する。撮影画像取得部103は、作成した外面画像および内面画像を記憶部104に保存する。
記憶部104は、HDD(Hard Disk Drive)などよりなっており、各種情報を記憶する。
検査部105は、欠陥検出処理部105a(外面検出手段および内面検出手段の一例)と、欠陥種別判定部105b(判別手段および識別手段の一例)とを含んでいる。欠陥検出処理部105aは、外面画像および内面画像に基づいて、中間転写ベルト1に含まれる欠陥を検出する。欠陥種別判定部105bは、欠陥検出処理部105aにて欠陥を欠陥した場合に、その欠陥の種別を判定する。
結果出力部106は、検査部105による検査結果をPC60の表示部などに表示する。
続いて、本実施の形態における欠陥検査装置100の動作について説明する。
図4〜図7は、本発明の第1の実施の形態における欠陥検査装置100の動作を示す図である。
図4を参照して、軸受駆動部51は、軸受12および回転レール13を上昇させ、軸受12および回転レール13を回転台11の上部において、回転台11から十分に離した状態にする。またカメラ光源移動駆動部52は、フレーム20を上昇させ、フレーム20を軸受12および回転レール13の上部において、軸受12および回転レール13から十分に離した状態にする。
次に作業者は、中間転写ベルト1の下端部を回転台11の小径部11aに挿入する。回転台11の小径部11aの外周面は中間転写ベルト1の内面1bと接触する。
続いて、矢印AR1Aで示すように、軸受駆動部51は、軸受12および回転レール13を下降させ、軸受12の小径部12aを中間転写ベルト1の上端部に挿入する。軸受12の小径部12aの外周面は中間転写ベルト1の内面1bと接触する。これにより、中間転写ベルト1が回転部10に固定される。
図5を参照して、次にカメラ光源移動駆動部52は、矢印AR2Aで示すようにフレーム20を下降させ、光源31および41、ラインカメラ32および42、ならびにレンズ33および43の各々を第1の位置まで移動させる。アーム23、光源41、ラインカメラ42、およびレンズ43は、軸受12および回転レール13の内側の穴を通じて中間転写ベルト1の内部に挿入される。このとき、ラインカメラ32から中間転写ベルト1の外面1aまでの距離と、ラインカメラ42から中間転写ベルト1の内面1bまでの距離とが同一となる位置に中間転写ベルト1が固定されることが好ましい。
ここでは、第1の位置は、ラインカメラ32が中間転写ベルト1の上部の外面1aの領域を撮影し、ラインカメラ42が中間転写ベルト1の上部の内面1bの領域を撮影する位置である。
図6を参照して、続いてラインカメラ32および42の各々は、矢印AR3で示すように回転駆動部14によって中間転写ベルト1を一回転させながら、領域RG1およびRG2の各々を撮影する。光源31は領域RG1を通過する外面1aの領域に光を照射し、ラインカメラ32はその反射光を受光し、受光した反射光に基づく信号を撮影画像取得部103に送信する。光源41は領域RG2を通過する内面1bの領域に光を照射し、ラインカメラ42はその反射光を受光し、受光した反射光に基づく信号を撮影画像取得部103に送信する。撮影画像取得部103は、ラインカメラ32から受信した信号に基づいて、中間転写ベルト1の上部の外面1aの円筒状の領域の画像(外面画像)を作成する。撮影画像取得部103は、ラインカメラ42から受信した信号に基づいて、中間転写ベルト1の上部の内面1bの円筒状の領域の画像(内面画像)を作成する。
なお、中間転写ベルトの回転中に、ラインカメラ42は、ラインカメラ32が外面1aにおける所定の領域からの光を受光するタイミングと同一のタイミングで、内面1bにおける上記所定の領域に対応する領域からの光を受光することが好ましい。
図7を参照して、次にカメラ光源移動駆動部52は、矢印AR2Aで示すようにフレーム20を下降させ、光源31および41、ラインカメラ32および42、ならびにレンズ33および43の各々を第2の位置まで移動させる。
ここでは、第2の位置は、ラインカメラ32が中間転写ベルト1の下部の外面1aの領域を撮影し、ラインカメラ42が中間転写ベルト1の下部の内面1bの領域を撮影する位置である。
続いてラインカメラ32および42の各々は、矢印AR3で示すように回転駆動部14によって中間転写ベルト1を一回転させながら、領域RG3およびRG4の各々を撮影する。光源31は領域RG3を通過する外面1aの領域に光を照射し、ラインカメラ32はその反射光を受光し、受光した反射光に基づく信号を撮影画像取得部103に送信する。光源41は領域RG4を通過する内面1bの領域に光を照射し、ラインカメラ42はその反射光を受光し、受光した反射光に基づく信号を撮影画像取得部103に送信する。撮影画像取得部103は、ラインカメラ32から受信した信号に基づいて、中間転写ベルト1の下部の外面1aの円筒状の領域の画像(外面画像)を作成する。撮影画像取得部103は、ラインカメラ42から受信した信号に基づいて、中間転写ベルト1の下部の内面1bの円筒状の領域の画像(内面画像)を作成する。
ここでは、中間転写ベルト1の外面1aおよび内面1bの検査対象となる領域を2回に分けて撮影する場合について示したが、中間転写ベルト1の検査対象となる領域の中心軸CX方向の長さと、ラインカメラ32および42の各々が撮影可能な領域の大きさとの関係に基づいて、撮影回数は任意の回数に設定される。
図8は、本発明の第1の実施の形態において、撮影画像取得部103が作成する外面画像および内面画像を模式的に示す図である。図8(a)は外面画像であり、図8(b)は修正前の内面画像であり、図8(c)は内面画像である。なお、図8では中間転写ベルト1の周方向をx軸方向とし、中心軸CX方向をy軸方向としている。
図8(a)を参照して、撮影画像取得部103は、中間転写ベルト1の上部の外面画像(1回目にラインカメラ32で撮影した画像)PE1と、中間転写ベルト1の下部の外面画像(2回目にラインカメラ32で撮影した画像)PE2とを中心軸CX方向で合成することにより、中間転写ベルト1の外面1aの検査対象となる領域全体の画像である外面画像IMaを作成する。
図8(b)を参照して、撮影画像取得部103は、中間転写ベルト1の上部の内面1bの円筒状の領域の画像(1回目にラインカメラ42で撮影した画像)PE3と、中間転写ベルト1の下部の内面1bの円筒状の領域の画像(2回目にラインカメラ42で撮影した画像)PE4とを中心軸CX方向で合成することにより、中間転写ベルト1の内面1bの検査対象となる領域全体の画像である内面画像IMbを作成する。
図8(c)を参照して、中間転写ベルト1の厚みが無視できないレベルである場合は、内面画像IMbよりも外面画像IMaのほうが周方向の長さが長くなる。このため、撮影画像取得部103は、内面画像IMbの周方向の長さが外面画像IMaの周方向の長さと同じになるように内面画像IMbを拡大することにより、修正された内面画像IMcを作成してもよい。これにより、外面画像IMaの座標(x,y)と内面画像IMcの座標(x,y)とが一致する。
欠陥検出処理部105aは、外面画像IMaに基づいて、外面1aに含まれる欠陥を検出する。また欠陥検出処理部105aは、内面画像IMc(またはIMb)に基づいて、内面1bに含まれる欠陥を検出する。欠陥種別判定部105bは、欠陥検出処理部105aにて外面1aおよび内面1bのうち一方の面(ここでは外面1a)で欠陥FA1を検出した場合に、欠陥FA1の位置に対応する位置であって、外面1aおよび内面1bのうち他方の面(ここでは内面1b)における位置で欠陥FA2を検出したか否かを判別する。一般的に、欠陥は、欠陥以外の部分と比較して明度などが異なっている。
欠陥種別判定部105bは、他方の面における欠陥FA1に対応する位置で欠陥FA2を検出したと判別した場合に、一方の面において検出した欠陥FA1と、他方の面において検出した欠陥FA2とを「折れ欠陥」(第1の欠陥の一例)という同一の欠陥として識別する。
折れ欠陥とは、中間転写ベルト1が局所的に折り曲げられることにより生じた凹凸の欠陥である。折れ欠陥は、外面1aおよび内面1bの両方において検出されるが多い。折れ欠陥が中間転写ベルト1の品質に与える悪影響は大きい。
欠陥種別判定部105bは、他方の面における欠陥FA1に対応する位置で欠陥FA2を検出しないと判別した場合に、欠陥FA1を折れ欠陥として識別しない。
具体的には、欠陥種別判定部105bは、内面1bにて欠陥FA2を検出した場合に、欠陥FA2の位置に対応する外面1aにおける位置で欠陥を検出したか否かを判別し、欠陥FA2の位置に対応する外面1aにおける位置で欠陥を検出しないと判別した場合に、内面1bにて検出した欠陥FA2を欠陥として識別しないようにしてもよい。
中間転写ベルト1の場合、外面1aの表面状態が重要であり、内面1bにおける折れ欠陥以外の別の欠陥(第2の欠陥の一例、「汚れ」や「キズ」などの欠陥)は、中間転写ベルト1の品質に与える悪影響は小さく、実際の製造において良品とみなすことができるためである。
また、欠陥種別判定部105bは、外面1aにて欠陥FA1を検出した場合に、欠陥FA1の位置に対応する内面1bにおける位置で欠陥を検出したか否かを判別し、欠陥FA1の位置に対応する内面1bにおける位置で欠陥を検出しないと判別した場合に、欠陥FA1を折れ欠陥以外の別の欠陥として識別してもよい。また欠陥種別判定部105bは、サイズの閾値に基づいて、欠陥FA1を別の欠陥として識別するか否かを決定してもよい。
図9は、本発明の第1の実施の形態における欠陥検査装置100の画像取得動作を示すフローチャートである。なお、以降のフローチャートはいずれも、PC60のCPUがROMに記憶されたプログラムをRAMにロードすることにより、実行される。
図9を参照して、CPUは、中間転写ベルト1の回転を開始し(S1)、ラインカメラ32および42を未撮影領域の撮影位置に移動させる(S3)。CPUは、撮影を開始し(S5)、撮影開始から中間転写ベルト1が一回転したか否かを判別する(S7)。撮影開始から中間転写ベルト1が一回転したと判別するまで、CPUはステップS7の処理を繰り返す。
ステップS7において、撮影開始から中間転写ベルト1が一回転したと判別した場合(S7でYES)、CPUは、中間転写ベルト1の撮影を停止し(S9)、中間転写ベルト1の全ての領域の撮影が完了したか否かを判別する(S11)。
ステップS11において、中間転写ベルト1の全ての領域の撮影が完了しないと判別した場合(S11でNO)、CPUは、ラインカメラ32および42を未撮影領域の撮影位置に移動させ(S13)、ステップS5の処理へ進む。
ステップS11において、中間転写ベルト1の全ての領域の撮影が完了したと判別した場合(S11でYES)、CPUは、中間転写ベルト1の回転および撮影を停止し(S15)、外面画像および内面画像を作成し(S17)、処理を終了する。
図10は、本発明の第1の実施の形態における欠陥検査装置100の欠陥検出動作を示すフローチャートである。
図10を参照して、CPUは、外面1aおよび内面1bのうち一方の画像である第1の読取画像から第1の欠陥を検出し(S31)、外面1aおよび内面1bのうち他方の画像である第2の読取画像から第2の欠陥を検出する(S35)。続いてCPUは、第1の欠陥の位置と対応する位置に第2の欠陥が存在するか否かを判別する(S37)。
ステップS37において、第1の欠陥の位置と対応する位置に第2の欠陥が存在すると判別した場合(S37でYES)、CPUは、第1および第2の欠陥が折れ欠陥であると判定し(S39)、処理を終了する。
ステップS37において、第1の欠陥の位置と対応する位置に第2の欠陥が存在しないと判別した場合(S37でNO)、CPUは、第1の欠陥の大きさが判定用閾値以上であるか否かを判別する(S41)
ステップS41において、第1の欠陥の大きさが判定用閾値以上であると判別した場合(S41でYES)、CPUは、第1の欠陥が折れ欠陥以外の別の欠陥であると判定し(S43)、処理を終了する。
ステップS41において、第1の欠陥の大きさが判定用閾値以上でないと判別した場合(S41でNO)、CPUは、第1の欠陥が欠陥ではないと判定し(S45)、処理を終了する。
図11は、本発明の第1の実施の形態の変形例における欠陥検査装置100の欠陥検出動作を示すフローチャートである。
図11を参照して、本フローチャートは、図10のステップS41においてYESに進んだ場合に、ステップS42の処理を行う点において、図10のフローチャートとは異なっている。
ステップS42において、CPUは、第1の欠陥が外面の欠陥であるか否かを判別する(S42)。
ステップS42において、第1の欠陥が外面の欠陥であると判別した場合(S42でYES)、CPUは、第1の欠陥が折れ欠陥以外の別の欠陥であると判定し(S43)、処理を終了する。
ステップS42において、第1の欠陥が外面の欠陥でないと判別した場合(S42でNO)、CPUは、第1の欠陥が欠陥ではないとであると判定し(S43)、処理を終了する。
なお、本フローチャートにおける上述以外の処理は、図10のフローチャートと同様であるため、その説明は繰り返さない。
本実施の形態によれば、中間転写ベルトの外面および内面の欠陥の有無が検査されるので、欠陥の検出精度を向上することができる。
[第2の実施の形態]
図12は、本発明の第2の実施の形態における欠陥検査装置100aの構成を示す正面図である。
図12を参照して、本実施の形態における欠陥検査装置100aは、外面1aを撮影するための構成として、複数の光源31aおよび31bと、複数のラインカメラ32aおよび32bと、複数のレンズ33aおよび33bとを備えている。
光源31aおよび31bは中心軸CXに沿って(鉛直方向に)配置されており、アーム22に固定されている。ラインカメラ32aおよび32bは中心軸CXに沿って(鉛直方向に)配置されており、アーム22に固定されている。レンズ33aおよび33bは中心軸CXに沿って(鉛直方向に)配置されており、アーム22に固定されている。
光源31aは、回転する中間転写ベルト1の外面1aの上部の領域RG1に光を照射する。ラインカメラ32aは、レンズ33aを介して外面1aの領域RG1からの反射光を受光し、受光した反射光に基づく信号をPC60に送信する。光源31bは、回転する中間転写ベルト1の外面1aの下部の領域RG3に光を照射する。ラインカメラ32bは、レンズ33bを介して外面1aの領域RG3からの反射光を受光し、受光した反射光に基づく信号をPC60に送信する。領域RG1およびRG3は互いに異なる領域であるが、一部重複していてもよい。
また欠陥検査装置100aは、内面1bを撮影するための構成として、複数の光源41aおよび41bと、複数のラインカメラ42aおよび42bと、複数のレンズ43aおよび43bとを含んでいる。
光源41aおよび41bは中心軸CXに沿って(鉛直方向に)配置されており、アーム23に固定されている。ラインカメラ42aおよび42bは中心軸CXに沿って(鉛直方向に)配置されており、アーム23に固定されている。レンズ43aおよび43bは中心軸CXに沿って(鉛直方向に)配置されており、アーム23に固定されている。
光源41aは、中間転写ベルト1の内面1bの上部の領域RG2に光を照射する。ラインカメラ42aは、レンズ43aを介して内面1bの領域RG2からの反射光を受光し、受光した反射光に基づく信号をPC60に送信する。光源41bは、中間転写ベルト1の内面1bの下部の領域RG4に光を照射する。ラインカメラ42bは、レンズ43bを介して内面1bの領域RG4からの反射光を受光し、受光した反射光に基づく信号をPC60に送信する。領域RG2およびRG4は互いに異なる領域であるが、一部重複していてもよい。
なお、本実施の形態における欠陥検査装置100aの上述以外の構成および動作は、第1の実施の形態における欠陥検査装置100の構成および動作と同様であるため、同一の部材には同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。
本実施の形態によれば、中間転写ベルト1の外面1aおよび内面1bの必要な全ての領域を、中間転写ベルト1が1回転する間に撮影することが可能となる。中間転写ベルト1を回転させる回数およびラインカメラを移動させる回数を低減することができ、検査に要する時間を短縮することができる。
[第3の実施の形態]
図13は、本発明の第3の実施の形態における欠陥検査装置100bの構成を示す正面図である。
図13を参照して、本実施の形態における欠陥検査装置100bにおいて、軸受12および回転レール13はフレーム20に固定されている。回転レール13の上面は、フレーム20の本体部21の下面と接触している。これにより、カメラ光源移動駆動部52は、軸受12および回転レール13を、フレーム20、光源31a、31b、41a、および41b、ラインカメラ32a、32b、42a、および42b、ならびにレンズ33a、33b、43a、および43bとともに中心軸CXに沿って移動させることが可能となる。
続いて、本実施の形態における欠陥検査装置100bの動作について説明する。
カメラ光源移動駆動部52は、フレーム20などとともに軸受12および回転レール13を上昇させ、軸受12および回転レール13を回転台11の上部において、回転台11から十分に離した状態にする。次に作業者は、中間転写ベルト1の下端部を回転台11の小径部11aに挿入する。
図14は、本発明の第3の実施の形態における欠陥検査装置100bの動作を示す図である。
図14を参照して、次にカメラ光源移動駆動部52は、矢印AR2Aで示すようにフレーム20を下降させ、光源31aおよび41a、ラインカメラ32aおよび42a、ならびにレンズ33aおよび43aの各々を第1の位置まで移動させ、光源31bおよび41b、ラインカメラ32bおよび42b、ならびにレンズ33bおよび43bの各々を第2の位置まで移動させる。
ここでは、第1の位置は、ラインカメラ32aが中間転写ベルト1の上部の外面1aの領域を撮影し、ラインカメラ42aが中間転写ベルト1の上部の内面1bの領域を撮影する位置である。第2の位置は、ラインカメラ32bが中間転写ベルト1の下部の外面1aの領域を撮影し、ラインカメラ42bが中間転写ベルト1の下部の内面1bの領域を撮影する位置である。
光源31aおよび41a、ラインカメラ32aおよび42a、ならびにレンズ33aおよび43aの各々が第1の位置に移動し、光源31bおよび41b、ラインカメラ32bおよび42b、ならびにレンズ33bおよび43bの各々が第2の位置まで移動した状態では、軸受12および回転レール13は、軸受12の小径部12aが中間転写ベルト1の上端部に挿入される位置まで下降する。これにより、中間転写ベルト1が回転部10に固定される。
続いて、ラインカメラ32a、32b、42a、および42bの各々は、矢印AR3で示すように回転駆動部14で中間転写ベルト1を一回転させながら、領域RG1、RG3、RG2、およびRG4の各々を撮影する。これにより、中間転写ベルト1の上部の外面1aの円筒状の領域の画像がラインカメラ32aによって撮影され、中間転写ベルト1の上部の内面1bの円筒状の領域の画像がラインカメラ42aによって撮影され、中間転写ベルト1の下部の外面1aの円筒状の領域の画像がラインカメラ32bによって撮影され、中間転写ベルト1の下部の内面1bの円筒状の領域の画像がラインカメラ42bによって撮影される。
なお、本実施の形態における欠陥検査装置100bの上述以外の構成および動作は、第2の実施の形態における欠陥検査装置100aの構成および動作と同様であるため、同一の部材には同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。
本実施の形態によれば、軸受12および回転レール13と、フレーム20、光源31a、31b、41a、および41b、ラインカメラ32a、32b、42a、および42b、ならびにレンズ33a、33b、43a、および43bとを一体的に(同期して)移動させることができる。これにより、欠陥検査装置における部材の移動のためのアクチュエーター(図1の延在部13aおよび軸受駆動部51などの構成)を減らすことができる。
[第4の実施の形態]
図15は、本発明の第4の実施の形態における欠陥検査装置100cの構成を示す正面図である。
図15を参照して、本実施の形態における欠陥検査装置100cにおいて、フレーム20は、互いに接続されていないアーム22および23を含んでおり、本体部21および延在部24(図1)を含んでいない。光源31、ラインカメラ32、およびレンズ33は、アーム22に固定されている。光源41、ラインカメラ42、およびレンズ43は、アーム23に固定されている。
またカメラ光源移動駆動部52は、2つのカメラ光源移動駆動部52aおよび52bを備えている。カメラ光源移動駆動部52aは、アーム22に対して動力を与えることにより、アーム22、光源31、ラインカメラ32、およびレンズ33を矢印AR21で示すように中心軸CXに沿って(鉛直方向に)移動させる。カメラ光源移動駆動部52bは、アーム23に対して動力を与えることにより、アーム23、光源41、ラインカメラ42、およびレンズ43を矢印AR22で示すように中心軸CXに沿って(鉛直方向に)移動させる。
すなわち、カメラ光源移動駆動部52は、アーム22とアーム23との各々を互いに独立して移動させることにより、光源31、ラインカメラ32、およびレンズ33と、光源41、ラインカメラ42、およびレンズ43とを互いに独立して移動させる。これにより、中間転写ベルト1の回転中に、ラインカメラ32は、ラインカメラ42が内面1bにおける所定の領域からの光を受光するタイミングとは異なるタイミングで、外面1aにおける上記の所定の領域に対応する領域からの光を受光することが可能となる。
続いて、本実施の形態における欠陥検査装置100bの動作について説明する。
図16は、本発明の第4の実施の形態における欠陥検査装置100cの画像取得動作を示すフローチャートである。
図16を参照して、CPUは、中間転写ベルト1の回転を開始し(S71)、ラインカメラ32を第1の領域(領域RG1およびRG3のうちいずれか一方)の撮影位置)に移動させる(S73)。CPUは、第1の領域の撮影を開始し(S75)、ラインカメラ32の第1の領域の撮影開始から中間転写ベルト1が一回転したか否かを判別する(S77)。ラインカメラ32の第1の領域の撮影開始から中間転写ベルト1が一回転したと判別するまで、CPUはステップS77の処理を繰り返す。
ステップS77において、ラインカメラ32の第1の領域の撮影開始から中間転写ベルト1が一回転したと判別した場合(S77でYES)、CPUは、ラインカメラ32による撮影を停止し(S79)、ラインカメラ32を第3の領域(領域RG1およびRG3のうちいずれか他方)の撮影位置に移動させる(S81)。CPUは、第3の領域の撮影を開始し(S83)、ラインカメラ32の第3の領域の撮影開始から中間転写ベルト1が一回転したか否かを判別する(S85)。ラインカメラ32の第3の領域の撮影開始から中間転写ベルト1が一回転したと判別するまで、CPUはステップS85の処理を繰り返す。
ステップS85において、ラインカメラ32の第3の領域の撮影開始から中間転写ベルト1が一回転したと判別した場合(S85でYES)、CPUは、ラインカメラ32による撮影を停止し(S87)、ステップS105の処理へ進む。
CPUは、ラインカメラ32による撮影に関する処理(ステップS73〜S87)と並行して、ラインカメラ42による撮影に関する処理(ステップS89〜S103)を行う。CPUは、ステップS71の処理に続いて、ラインカメラ42を第2の領域(領域RG2およびRG4のうちいずれか一方)の撮影位置に移動させる(S89)。CPUは、第2の領域の撮影を開始し(S91)、ラインカメラ42の第2の領域の撮影開始から中間転写ベルト1が一回転したか否かを判別する(S93)。ラインカメラ42の第2の領域の撮影開始から中間転写ベルト1が一回転したと判別するまで、CPUはステップS93の処理を繰り返す。
ステップS93において、ラインカメラ42の第2の領域の撮影開始から中間転写ベルト1が一回転したと判別した場合(S93でYES)、CPUは、ラインカメラ42による撮影を停止し(S95)、ラインカメラ42を第4の領域(領域RG2およびRG4のうちいずれか他方)の撮影位置に移動させる(S97)。CPUは、第4の領域の撮影を開始し(S99)、ラインカメラ42の第4の領域の撮影開始から中間転写ベルト1が一回転したか否かを判別する(S101)。ラインカメラ42の第4の領域の撮影開始から中間転写ベルト1が一回転したと判別するまで、CPUはステップS101の処理を繰り返す。
ステップS101において、ラインカメラ42の第4の領域の撮影開始から中間転写ベルト1が一回転したと判別した場合(S101でYES)、CPUは、ラインカメラ32による撮影を停止し(S103)、ステップS105の処理へ進む。
ステップS105において、CPUは、ラインカメラ32および42の各々の撮影を停止した後で(全ての撮影が完了したタイミングで)、中間転写ベルト1の回転を停止し(S105)、外面画像および内面画像を作成し(S107)、処理を終了する。
なお、本実施の形態における欠陥検査装置100cの上述以外の構成および動作は、第1の実施の形態における欠陥検査装置100の構成および動作と同様であるため、同一の部材には同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。
本実施の形態によれば、外面1aを撮影するラインカメラ32と内面1bを撮影するラインカメラとを個別で移動することができ、別々のタイミングで撮影を行うことができる。また、ラインカメラ32の撮影領域の大きさと、ラインカメラ42の撮影領域の大きさとを個別に設定することができる。一例として、ラインカメラ32と中間転写ベルト1との距離を、ラインカメラ42と中間転写ベルト1との距離よりも大きくすることにより、ラインカメラ32の撮影領域を、ラインカメラ42の撮影領域よりも大きくすることができる。
[その他]
複数のラインカメラが一台の光源からの光を用いて撮影を行ってもよい。
上述の実施の形態は、互いに組み合わせることが可能である。たとえば第3の実施の形態のように軸受12および回転レール13がフレーム20に固定された構成を、第1の実施の形態のように外面1aおよび内面1bの各々をそれぞれ1つのラインカメラ32および42の各々で撮影する構成に適用してもよい。また、第4の実施の形態のように外面1aを撮影するラインカメラ32と内面1bを撮影するラインカメラ42とが独立して移動可能な構成を、第2の実施の形態のように外面1aおよび内面1bの各々をそれぞれ複数のラインカメラ32aおよび32b、ならびにラインカメラ42aおよび42bの各々で撮影する構成に適用してもよい。
上述の実施の形態における処理は、ソフトウェアにより行っても、ハードウェア回路を用いて行ってもよい。また、上述の実施の形態における処理を実行するプログラムを提供することもできるし、そのプログラムをCD−ROM、フレキシブルディスク、ハードディスク、ROM、RAM、メモリカードなどの記録媒体に記録してユーザーに提供することにしてもよい。プログラムは、CPUなどのコンピューターにより実行される。また、プログラムはインターネットなどの通信回線を介して、装置にダウンロードするようにしてもよい。
上述の実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 中間転写ベルト(筒状物の一例)
1a 中間転写ベルトの外面
1b 中間転写ベルトの外面
10 回転部
11 回転台(第1の保持部の一例)
11a 回転部の小径部
11b 回転部の大径部
12 軸受(第2の保持部の一例)
12a 軸受の小径部
12b 軸受の大径部
13 回転レール
13a 回転レールの延在部
14 回転駆動部
20 フレーム
21 フレームの本体部
22,23 フレームのアーム(第1および第2のフレームの一例)
24 フレームの延在部
31,31a,31b,41,41a,41b 光源(外照射部および内照射部の一例)
32,32a,32b,42,42a,42b ラインカメラ(外受光部および内受光部の一例)
33,33a,33b,43,43a,43b レンズ
51 軸受駆動部
52,52a,52b カメラ光源移動駆動部(移動駆動部の一例)
100,100a,100b,100c 欠陥検査装置
101 制御部
102 光源制御部
103 撮影画像取得部(画像処理手段の一例)
104 記憶部
105 検査部(検査手段の一例)
105a 欠陥検出処理部(外面検出手段および内面検出手段の一例)
105b 欠陥種別判定部(判別手段および識別手段の一例)
106 結果出力部
CX 中間転写ベルトの中心軸
FA1,FA2 欠陥
IMa 外面画像
IMb,IMc 内面画像
L1,L3 光
L2,L4 反射光
RG1,RG2,RG3,RG4 撮影する領域

Claims (13)

  1. 筒状物の欠陥検査装置であって、
    前記筒状物の外面に光を照射する外照射部と、
    前記外面からの光を受光し、受光した光に基づく信号を送信する外受光部と、
    前記筒状物の内面に光を照射する内照射部と、
    前記内面からの光を受光し、受光した光に基づく信号を送信する内受光部と、
    前記外受光部から受信した信号に基づき前記外面の二次元画像である外面画像を作成し、前記内受光部から受信した信号に基づき前記内面の二次元画像である内面画像を作成する画像処理手段と、
    前記外面画像および前記内面画像に基づいて、前記筒状物に含まれる欠陥を検出する検出手段とを備えた、欠陥検査装置。
  2. 前記検出手段は、
    前記外面画像に基づいて、前記外面に含まれる欠陥を検出する外面検出手段と、
    前記内面画像に基づいて、前記内面に含まれる欠陥を検出する内面検出手段と、
    前記外面および前記内面のうち一方の面で欠陥を検出した場合に、前記一方の面において検出した欠陥の位置に対応する位置であって、前記外面および前記内面のうち他方の面における位置で欠陥を検出したか否かを判別する判別手段と、
    前記他方の面における位置で欠陥を検出したと前記判別手段にて判別した場合に、前記一方の面において検出した欠陥と、前記他方の面において検出した欠陥とを第1の種類の同一の欠陥として識別する識別手段とを含み、
    前記他方の面における位置で欠陥を検出しないと前記判別手段にて判別した場合に、前記一方の面において検出した欠陥を前記第1の種類の欠陥として識別しない、請求項1に記載の欠陥検査装置。
  3. 前記判別手段は、前記内面にて欠陥を検出した場合に、前記内面において検出した欠陥の位置に対応する前記外面における位置で欠陥を検出したか否かを判別し、
    前記識別手段は、前記外面における位置で欠陥を検出しないと前記判別手段にて判別した場合に、前記内面にて検出した欠陥を欠陥として識別しない、請求項2に記載の欠陥検査装置。
  4. 前記判別手段は、前記外面にて欠陥を検出した場合に、前記外面において検出した欠陥の位置に対応する前記内面における位置で欠陥を検出したか否かを判別し、
    前記識別手段は、前記内面における位置で欠陥を検出しないと前記判別手段にて判別した場合に、前記外面にて検出した欠陥を前記第1の種類とは異なる第2の種類の欠陥として識別する、請求項3に記載の欠陥検査装置。
  5. 中心軸周りに前記筒状物を回転させる回転部と、
    前記外照射部、前記外受光部、前記内照射部、および前記内受光部の各々を、前記中心軸に沿って移動させる移動駆動部とをさらに備えた、請求項1〜4のいずれかに記載の欠陥検査装置。
  6. 前記画像処理手段は、
    前記移動駆動部にて前記外照射部、前記外受光部、前記内照射部、および前記内受光部の各々を第1の位置に移動させた状態で、前記回転部にて前記筒状物を一回転させることにより、前記筒状物における第1の部分の前記外面画像および前記内面画像を作成する第1の画像作成手段と、
    前記移動駆動部にて前記外照射部、前記外受光部、前記内照射部、および前記内受光部の各々を前記第1の位置とは異なる第2の位置に移動させた状態で、前記回転部にて前記筒状物を一回転させることにより、前記筒状物における前記第1の部分とは異なる第2の部分の前記外面画像および前記内面画像を作成する第2の画像作成手段とを含む、請求項5に記載の欠陥検査装置。
  7. 前記回転部は、
    前記中心軸が鉛直方向となる状態で前記筒状物の一方の端部を保持する第1の保持部と、
    前記中心軸が鉛直方向となる状態で前記筒状物の他方の端部を保持する第2の保持部と、
    前記第1および前記第2の保持部を回転させる回転駆動部とを含み、
    前記第1および前記第2の保持部のうち少なくともいずれか一方の保持部は環状であり、
    前記移動駆動部は、前記内照射部および前記内受光部の各々を、前記少なくともいずれか一方の保持部を通じて前記筒状部の内部に対して出し入れする、請求項5または6に記載の欠陥検査装置。
  8. 前記外照射部、前記外受光部、前記内照射部、および前記内受光部の各々を固定するフレームをさらに備え、
    前記移動駆動部は、前記フレームを前記中心軸に沿って移動させることにより、前記外照射部、前記外受光部、前記内照射部、および前記内受光部の各々を移動させる、請求項5〜7のいずれかに記載の欠陥検査装置。
  9. 前記フレームは、前記外照射部および前記外受光部の各々を固定する第1のフレームと、前記内照射部および前記内受光部の各々を固定する第2のフレームとを含み、
    前記移動駆動部は、前記第1のフレームと、前記第2のフレームの各々を互いに独立して移動させることにより、前記外照射部および前記外受光部と、前記内照射部および前記内受光部とを互いに独立して移動させる、請求項5〜7のいずれかに記載の欠陥検査装置。
  10. 前記外照射部、前記外受光部、前記内照射部、および前記内受光部の各々を固定するフレームをさらに備え、
    前記回転部は、
    前記中心軸が鉛直方向となる状態で前記筒状物の一方の端部を保持する第1の保持部と、
    前記中心軸が鉛直方向となる状態で前記筒状物の他方の端部を保持する第2の保持部と、
    前記第1および前記第2の保持部を回転させる回転駆動部とを含み、
    前記フレームは、前記第1の保持部をさらに固定し、
    前記移動駆動部は、前記フレームを前記中心軸に沿って移動させることにより、前記外照射部、前記外受光部、前記内照射部、および前記内受光部の各々と、前記第1の保持部とを移動させる、請求項5または6に記載の欠陥検査装置。
  11. 前記外受光部は複数であり、複数の外受光部の各々は前記中心軸に沿って配置されており、
    前記内受光部は複数であり、複数の内受光部の各々は前記中心軸に沿って配置されている、請求項5〜10のいずれかに記載の欠陥検査装置。
  12. 前記筒状物の回転中に、前記内受光部は、前記外受光部が前記外面における所定の領域からの光を受光するタイミングと同一のタイミングで、前記内面における前記所定の領域に対応する領域からの光を受光する、請求項5〜11のいずれかに記載の欠陥検査装置。
  13. 前記筒状物の回転中に、前記外受光部は、前記内受光部が前記内面における所定の領域からの光を受光するタイミングとは異なるタイミングで、前記外面における前記所定の領域に対応する領域からの光を受光する、請求項5〜11のいずれかに記載の欠陥検査装置。
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