JP2018536374A - 平面位置決め装置および平面位置決めテーブル - Google Patents
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Abstract
【選択図】図3A
Description
Claims (15)
- 平面位置決め装置であって、
扁平コイルのコイル配置を備えるステータと、
前記位置決め装置の動作位置で前記ステータに対向して配置され、複数の磁石列を備える平面磁石配置を有するロータであって、該平面磁石配置が跨る面が前記コイル配置の面に平行に配置された、ロータと、
前記ステータに対する前記ロータの位置を検出するための位置検出装置と、
前記位置検出装置の位置信号を評価し、前記ステータに対する前記ロータの位置を制御するために前記コイル配置への電流供給を制御するための評価制御装置と、を備え、
前記コイル配置は、いずれの場合でも、該コイル配置の第1の向きおよび第2の向きで互いにインターリーブされたn×3(n≧1)個の細長い扁平コイルを備え、該扁平コイルの範囲の大部分は多面プリント回路基板の第1の面の導体トラックとして設計され、前記3個の関連する扁平コイルの前記導体トラックは前記多面プリント回路基板の第2の面内に広がる重なり領域を含み、前記3個の関連する扁平コイルの接続端の全ては、各々が、前記多面プリント回路基板の小さな接続領域に集中している、平面位置決め装置。 - 前記第1の向きの前記n×3個の扁平コイルは、該扁平コイルの範囲の大部分が前記多面プリント回路基板の前記第1の面内に広がるとともに関連する重なり領域が前記第2の面内に広がり、前記第2の向きの前記n×3個の扁平コイルは、該扁平コイルの範囲の大部分が前記多面プリント回路基板の前記第2の面内に広がるとともに関連する重なり領域が前記第1の面内に広がる、請求項1に記載の平面位置決め装置。
- いずれの場合でも、前記扁平コイルの全ての接続端の一部は前記多面プリント回路基板の前記第1の面内にあり、他の部分は前記第2の面内にある、請求項1または2に記載の平面位置決め装置。
- 前記扁平コイルの全ては、実質的に同じ長さ及び同じオーム抵抗を有するように実現される、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の平面位置決め装置。
- 前記扁平コイルの全ては、略矩形の導体範囲を有するように実現される、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の平面位置決め装置。
- 前記多面プリント回路基板の前記小さな接続領域は、前記扁平コイルが占有する表面の10%未満、特に5%未満の表面を占有し、特に矩形に形成される、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の平面位置決め装置。
- 前記多面プリント回路基板は、二面プリント回路基板である、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の平面位置決め装置。
- 前記コイル配置は、実質的に前記ステータの表面全体を覆う、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の平面位置決め装置。
- 前記位置検出装置は、前記位置決め装置の動作位置において前記ステータまたは前記ロータ内に配置された少なくとも1つの位置測定ヘッドと、前記ステータまたは前記ロータの位置に正確に固定された領域スケールとを備え、前記ステータまたは前記ロータは少なくとも1つの窓、好ましくは、前記位置測定ヘッドが領域スケールを可視するようにマトリクス配置の複数の窓を有する、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の平面位置決め装置。
- 請前記マトリクス配置の前記複数の窓の少なくとも一部は、いずれの場合でも前記3個の関連する扁平コイルの隣接する扁平コイル間、または、いずれの場合でも各群が前記3個の関連する扁平コイルを備える、隣接するn群間に配置される、請求項9に記載の平面位置決め装置。
- 前記ロータは、各々が特にハルバッハ配列を形成する、チェス盤状に配置された磁石列、特に、チェス盤配置に4列の四角状の磁石列を備える、請求項1乃至10のいずれか1項に記載の平面位置決め装置。
- 前記磁石列は、実質的に前記ロータの中心領域を覆う、請求項11に記載の平面位置決め装置。
- 前記平面位置決め装置のための保持案内手段と、位置決めすべき物体を保持するための物体ホルダとを有する、請求項1乃至12のいずれか1項に記載の平面位置決め装置を備える位置決めテーブル。
- 請求項13に記載の位置決めテーブルを備える加工装置、特に工作機械。
- 請求項13に記載の位置決めテーブルを備える測定装置。
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