JP2018525634A - 加速度計 - Google Patents
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Abstract
Description
印加加速度に応じて面内感知方向に直線移動可能であるように可撓性の支持脚によって固定基板に取り付けられた略平面状のプルーフマスであって、
プルーフマスから感知方向に略垂直に延在し、感知方向で横方向に相隔てられた移動可能な容量型電極フィンガーの第1及び第2のセットを備えたプルーフマスと、
固定基板に取り付けられた第1及び第2の固定コンデンサ電極であって、第1の固定コンデンサ電極が固定容量型電極フィンガーの第1のセットを備え、第2の固定コンデンサ電極が固定容量型電極フィンガーの第2のセットを備え、固定容量型電極フィンガーの第1及び第2のセットが感知方向に略垂直に延在し、感知方向で横方向に相隔てられ、
固定容量型電極フィンガーの第1のセットがプルーフマスの移動可能な容量型電極フィンガーの第1のセットと交互嵌合するように配設され、固定容量型電極フィンガーの第2のセットがプルーフマスの移動可能な容量型電極フィンガーの第2のセットと交互嵌合するように配設され、移動可能な容量型電極フィンガーの第1及び第2のセットが、利用時に印加加速度を感知するために出力電圧を提供するように配設された電気ピックオフ接続部をさらに備え、
移動可能な容量型電極フィンガーの第1のセットが、固定容量型電極フィンガーの第1のセットの隣接するフィンガーの間の第1の中線から第1の方向に第1の0以外のオフセットで提供され、
移動可能な容量型電極フィンガーの第2のセットが、固定容量型電極フィンガーの第2のセットの隣接するフィンガーの間の第2の中線から第2の、反対方向に第2の0以外のオフセットで提供され、第1及び第2のオフセットが第1及び第2の固定コンデンサ電極の間の中線を挟んで略対称形状であり、
プルーフマスが、プルーフマスから感知方向に略垂直に延在し、感知方向で横方向に相隔てられた移動可能ダンピングフィンガーのセットをさらに備える、第1及び第2の固定コンデンサ電極と、
固定基板に取り付けられ、移動可能ダンピングフィンガーのセットと交互嵌合するように配設された固定ダンピングフィンガーのセットであって、固定ダンピングフィンガーが感知方向に略垂直に延在し、感知方向で横方向に相隔てられ、
交互嵌合型の固定及び移動可能ダンピングフィンガーが電気的に共通であるように、固定ダンピングフィンガーのセットがプルーフマスとの電気接続部を備え、
プルーフマスが印加加速度に応じて移動する傾向にある場合に、交互嵌合型の移動可能及び固定ダンピングフィンガーが、移動可能及び固定ダンピングフィンガー間の相対移動を打ち消すダンピング効果を提供するガス状媒体内で取り付けられている、固定ダンピングフィンガーのセットと、
を備える、容量型加速度計を提供する。
プルーフマスから感知方向に略垂直に延在し、感知方向で横方向に相隔てられた移動可能な容量型電極フィンガーの第1及び第2のセットを備えたプルーフマスと、
固定基板に取り付けられた第1及び第2の固定コンデンサ電極であって、第1の固定コンデンサ電極が固定容量型電極フィンガーの第1のセットを備え、第2の固定コンデンサ電極が固定容量型電極フィンガーの第2のセットを備え、固定容量型電極フィンガーの第1及び第2のセットが感知方向に略垂直に延在し、感知方向で横方向に相隔てられ、
固定容量型電極フィンガーの第1のセットがプルーフマスの移動可能な容量型電極フィンガーの第1のセットと交互嵌合するように配設され、固定容量型電極フィンガーの第2のセットがプルーフマスの移動可能な容量型電極フィンガーの第2のセットと交互嵌合するように配設され、移動可能な容量型電極フィンガーの第1及び第2のセットが、利用時に印加加速度を感知するために出力電圧を提供するように配設された電気ピックオフ接続部をさらに備え、
移動可能な容量型電極フィンガーの第1のセットが、固定容量型電極フィンガーの第1のセットの隣接するフィンガーの間の第1の中線から第1の方向に第1の0以外のオフセットで提供され、
移動可能な容量型電極フィンガーの第2のセットが、固定容量型電極フィンガーの第2のセットの隣接するフィンガーの間の第2の中線から第2の、反対方向に第2の0以外のオフセットで提供され、第1及び第2のオフセットが第1及び第2の固定コンデンサ電極の間の中線を挟んで略対称形状であり、
プルーフマスが、プルーフマスから感知方向に略垂直に延在し、感知方向で横方向に相隔てられた移動可能ダンピングフィンガーのセットをさらに備える、第1及び第2の固定コンデンサ電極と、
移動可能ダンピングフィンガーのセットと交互嵌合するように配設された固定ダンピングフィンガーのセットであって、固定ダンピングフィンガーが感知方向に略垂直に延在し、感知方向で横方向に相隔てられ、
交互嵌合型の固定及び移動可能ダンピングフィンガーが電気的に共通であるように、固定ダンピングフィンガーのセットがプルーフマスとの電気接続部を備え、
プルーフマスが印加加速度に応じて移動する傾向にある場合に、交互嵌合型の移動可能及び固定ダンピングフィンガーが、移動可能及び固定ダンピングフィンガー間の相対移動を打ち消すダンピング効果を提供するガス状媒体内で取り付けられている、固定ダンピングフィンガーのセットと、
を備えた、容量型加速度計の操作方法であって、
電気ピックオフ接続部から出力電圧を得ることと、そこから印加加速度を決定するために出力電圧を処理することと、
を含む、容量型加速度計の操作方法に本開示が及ぶことが当業者には理解される。
Claims (15)
- 印加加速度に応じて面内感知方向に直線移動可能であるように可撓性の支持脚によって固定基板に取り付けられた略平面状のプルーフマスであって、
前記プルーフマスから前記感知方向に略垂直に延在し、前記感知方向で横方向に相隔てられた移動可能な容量型電極フィンガーの第1及び第2のセットを備えた前記プルーフマスと、
前記固定基板に取り付けられた第1及び第2の固定コンデンサ電極であって、前記第1の固定コンデンサ電極が固定容量型電極フィンガーの第1のセットを備え、前記第2の固定コンデンサ電極が固定容量型電極フィンガーの第2のセットを備え、前記固定容量型電極フィンガーの第1及び第2のセットが前記感知方向に略垂直に延在し、前記感知方向で横方向に相隔てられ、
前記固定容量型電極フィンガーの第1のセットが前記プルーフマスの前記移動可能な容量型電極フィンガーの第1のセットと交互嵌合するように配設され、前記固定容量型電極フィンガーの第2のセットが前記プルーフマスの前記移動可能な容量型電極フィンガーの第2のセットと交互嵌合するように配設され、前記移動可能な容量型電極フィンガーの第1及び第2のセットが、利用時に印加加速度を感知するために出力電圧を提供するように配設された電気ピックオフ接続部をさらに備え、
前記移動可能な容量型電極フィンガーの第1のセットが、前記固定容量型電極フィンガーの第1のセットの隣接するフィンガーの間の第1の中線から第1の方向に第1の0以外のオフセットで提供され、
前記移動可能な容量型電極フィンガーの第2のセットが、前記固定容量型電極フィンガーの第2のセットの隣接するフィンガーの間の第2の中線から第2の、反対方向に第2の0以外のオフセットで提供され、前記第1及び第2のオフセットが前記第1及び第2の固定コンデンサ電極の間の中線を挟んで略対称形状であり、
前記プルーフマスが、前記プルーフマスから前記感知方向に略垂直に延在し、前記感知方向で横方向に相隔てられた移動可能ダンピングフィンガーのセットをさらに備える、前記第1及び第2の固定コンデンサ電極と、
前記固定基板に取り付けられ、前記移動可能ダンピングフィンガーのセットと交互嵌合するように配設された固定ダンピングフィンガーのセットであって、前記固定ダンピングフィンガーが前記感知方向に略垂直に延在し、前記感知方向で横方向に相隔てられ、
前記交互嵌合型の固定及び移動可能ダンピングフィンガーが電気的に共通であるように、前記固定ダンピングフィンガーのセットが前記プルーフマスとの電気接続部を備え、
前記プルーフマスが印加加速度に応じて移動する傾向にある場合に、前記交互嵌合型の移動可能及び固定ダンピングフィンガーが、前記移動可能及び固定ダンピングフィンガー間の相対移動を打ち消すダンピング効果を提供するガス状媒体内で取り付けられている、前記固定ダンピングフィンガーのセットと、
を備える、容量型加速度計。 - 前記交互嵌合型のダンピングフィンガーの各々が前記交互嵌合型の容量型電極フィンガーよりも幅狭である、請求項1に記載の容量型加速度計。
- 各ダンピングフィンガーの付け根の幅が15ミクロン以下、好ましくは10ミクロン以下、さらに好ましくは8ミクロン以下である、請求項1または2に記載の容量型加速度計。
- 前記交互嵌合型のダンピングフィンガーが前記感知方向で概ね等しく隔てられた、先行請求項のいずれか1項に記載の容量型加速度計。
- 隣接するダンピングフィンガー間の間隙が16ミクロン未満、好ましくは10ミクロン以下、さらに好ましくは6ミクロン以下である、先行請求項のいずれか1項に記載の容量型加速度計。
- ダンピングフィンガーの前記交互嵌合型のセットが容量型電極フィンガーの前記交互嵌合型のセットよりも高い密度で横方向に相隔てられた、先行請求項のいずれか1項に記載の容量型加速度計。
- 前記ダンピングフィンガーのピッチが50ミクロン未満、好ましくは40ミクロン未満、さらに好ましくは25ミクロン未満、例えば20ミクロン以下である、先行請求項のいずれか1項に記載の容量型加速度計。
- 略対称形状に配設される複数の交互嵌合型のダンピングフィンガーのセットを備えた、先行請求項のいずれか1項に記載の容量型加速度計。
- 前記プルーフマスが、前記移動可能及び固定容量型電極フィンガーを囲むフレームを備え、ダンピングフィンガーの前記交互嵌合型のセットが前記フレームの外部に位置する、先行請求項のいずれか1項に記載の容量型加速度計。
- 前記容量型電極フィンガー及び/またはダンピングフィンガーが台形である、先行請求項のいずれか1項に記載の容量型加速度計。
- 前記容量型電極フィンガー及び前記ダンピングフィンガーが前記同じガス状媒体内で取り付けられている密閉ユニットを備えた、先行請求項のいずれか1項に記載の容量型加速度計。
- 前記第1及び第2の固定容量型電極フィンガーが、駆動電圧を提供するように配設された電気接続部を備える、先行請求項のいずれか1項に記載の容量型加速度計。
- 同相及び逆相パルス幅変調(PWM)駆動信号を前記固定容量型電極フィンガーの第1及び第2のセットに印加し、
前記PWM駆動信号のマークスペース比を変化させるために、前記電気ピックオフ接続部から得られる出力電圧を利用する、
ように配設された信号制御装置をさらに備える、請求項12に記載の容量型加速度計。 - 印加加速度に応じて面内感知方向に直線移動可能であるように可撓性の支持脚によって固定基板に取り付けられた略平面状のプルーフマスであって、
前記プルーフマスから前記感知方向に略垂直に延在し、前記感知方向で横方向に相隔てられた移動可能な容量型電極フィンガーの第1及び第2のセットを備えた前記プルーフマスと、
前記固定基板に取り付けられた第1及び第2の固定コンデンサ電極であって、前記第1の固定コンデンサ電極が固定容量型電極フィンガーの第1のセットを備え、前記第2の固定コンデンサ電極が固定容量型電極フィンガーの第2のセットを備え、前記固定容量型電極フィンガーの第1及び第2のセットが前記感知方向に略垂直に延在し、前記感知方向で横方向に相隔てられ、
前記固定容量型電極フィンガーの第1のセットが前記プルーフマスの前記移動可能な容量型電極フィンガーの第1のセットと交互嵌合するように配設され、前記固定容量型電極フィンガーの第2のセットが前記プルーフマスの前記移動可能な容量型電極フィンガーの第2のセットと交互嵌合するように配設され、前記移動可能な容量型電極フィンガーの第1及び第2のセットが、利用時に印加加速度を感知するために出力電圧を提供するように配設された電気ピックオフ接続部をさらに備え、
前記移動可能な容量型電極フィンガーの第1のセットが、前記固定容量型電極フィンガーの第1のセットの隣接するフィンガーの間の第1の中線から第1の方向に第1の0以外のオフセットで提供され、
前記移動可能な容量型電極フィンガーの第2のセットが、前記固定容量型電極フィンガーの第2のセットの隣接するフィンガーの間の第2の中線から第2の、反対方向に第2の0以外のオフセットで提供され、前記第1及び第2のオフセットが前記第1及び第2の固定コンデンサ電極の間の中線を挟んで略対称形状であり、
前記プルーフマスが、前記プルーフマスから前記感知方向に略垂直に延在し、前記感知方向で横方向に相隔てられた移動可能ダンピングフィンガーのセットをさらに備える、前記第1及び第2の固定コンデンサ電極と、
前記移動可能ダンピングフィンガーのセットと交互嵌合するように配設された固定ダンピングフィンガーのセットであって、前記固定ダンピングフィンガーが前記感知方向に略垂直に延在し、前記感知方向で横方向に相隔てられ、
前記交互嵌合型の固定及び移動可能ダンピングフィンガーが電気的に共通であるように、前記固定ダンピングフィンガーのセットが前記プルーフマスとの電気接続部を備え、
前記プルーフマスが印加加速度に応じて移動する傾向にある場合に、前記交互嵌合型の移動可能及び固定ダンピングフィンガーが、前記移動可能及び固定ダンピングフィンガー間の相対移動を打ち消すダンピング効果を提供するガス状媒体内で取り付けられる、前記固定ダンピングフィンガーのセットと、
を備えた、容量型加速度計の操作方法であって、
前記電気ピックオフ接続部から前記出力電圧を得ることと、そこから前記印加加速度を決定するために前記出力電圧を処理することと、
を含む、前記容量型加速度計の操作方法。 - 同相及び逆相パルス幅変調(PWM)駆動信号を前記固定容量型電極フィンガーの第1及び第2のセットに印加すること、
を含み、
前記出力電圧を処理することが、前記PWM駆動信号のマークスペース比を変化させるために前記電気ピックオフ接続部から得られる前記出力電圧を利用することを含む、
請求項14に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBGB1514319.1A GB201514319D0 (en) | 2015-08-12 | 2015-08-12 | Accelerometers |
GB1514319.1 | 2015-08-12 | ||
PCT/GB2016/052501 WO2017025753A1 (en) | 2015-08-12 | 2016-08-11 | Accelerometers |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018525634A true JP2018525634A (ja) | 2018-09-06 |
JP6732012B2 JP6732012B2 (ja) | 2020-07-29 |
Family
ID=54200663
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018507634A Active JP6732012B2 (ja) | 2015-08-12 | 2016-08-11 | 加速度計 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10670623B2 (ja) |
EP (1) | EP3335052B1 (ja) |
JP (1) | JP6732012B2 (ja) |
KR (1) | KR102095475B1 (ja) |
GB (1) | GB201514319D0 (ja) |
WO (1) | WO2017025753A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020085891A (ja) * | 2018-11-16 | 2020-06-04 | アトランティック・イナーシャル・システムズ・リミテッドAtlantic Inertial Systems Limited | 加速度計および面外感知方向の加速度を感知する加速度計を製作する方法 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2570714B (en) * | 2018-02-05 | 2022-03-02 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Accelerometers |
DE102018210487A1 (de) * | 2018-06-27 | 2020-01-02 | Robert Bosch Gmbh | Elektrodenanordnung für ein mikroelektromechanisches System, mikroelektromechanisches System, Verfahren zum Betrieb eines mikroelektromechanischen Systems |
GB2593132A (en) * | 2019-11-01 | 2021-09-22 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Methods for closed loop operation of capacitive accelerometers |
US11754591B2 (en) * | 2019-11-07 | 2023-09-12 | Honeywell International Inc. | Vibrating beam accelerometer with pressure damping |
CN111223671B (zh) * | 2020-02-27 | 2021-02-05 | 清华大学 | 兼具储能与冲击传感功能的自传感超级电容器及制造方法 |
DE102020211928A1 (de) | 2020-09-23 | 2022-05-19 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Dämpfungsvorrichtung für mikromechanisches Bauelement |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11118827A (ja) * | 1997-10-14 | 1999-04-30 | Denso Corp | 容量式物理量検出装置 |
JP2007501938A (ja) * | 2003-08-13 | 2007-02-01 | セルセル | 改良電極形状による外来振動抑制形加速度計 |
JP2009168777A (ja) * | 2008-01-21 | 2009-07-30 | Hitachi Ltd | 慣性センサ |
JP2010085313A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Murata Mfg Co Ltd | 複合センサ |
US8590376B2 (en) * | 2008-03-27 | 2013-11-26 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Microelectromechanical inertial sensor with atmospheric damping |
JP2014016341A (ja) * | 2012-06-13 | 2014-01-30 | Denso Corp | 静電容量式物理量センサ |
JP6067926B2 (ja) * | 2013-05-02 | 2017-01-25 | ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハーNorthrop Grumman LITEF GmbH | 加速度センサ及び加速度センサの製造方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006519362A (ja) * | 2003-02-28 | 2006-08-24 | ビ−エイイ− システムズ パブリック リミテッド カンパニ− | 加速度計 |
JP2007501983A (ja) | 2003-05-28 | 2007-02-01 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 病院情報システム |
JP5184880B2 (ja) * | 2004-02-27 | 2013-04-17 | アトランティック・イナーシャル・システムズ・リミテッド | 加速度計 |
US7069784B1 (en) * | 2004-12-29 | 2006-07-04 | Honeywell International Inc. | Pendulous in-plane MEMS accelerometer device |
WO2007008935A2 (en) | 2005-07-11 | 2007-01-18 | Ready Solar, Inc. | Solar panel and frame and related methods |
JP4310325B2 (ja) | 2006-05-24 | 2009-08-05 | 日立金属株式会社 | 角速度センサ |
KR100899812B1 (ko) | 2006-12-05 | 2009-05-27 | 한국전자통신연구원 | 정전 용량형 가속도계 |
GB201020722D0 (en) * | 2010-12-07 | 2011-01-19 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Accelerometer |
US20140090468A1 (en) * | 2012-03-16 | 2014-04-03 | Advanced Numicro Systems, Inc. | Tri-axial mems inertial sensor |
GB201317859D0 (en) * | 2013-10-09 | 2013-11-20 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Accelerometer control |
GB201322918D0 (en) * | 2013-12-23 | 2014-02-12 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Accelerometers |
GB2523320A (en) * | 2014-02-19 | 2015-08-26 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Accelerometers |
GB2524245A (en) * | 2014-03-17 | 2015-09-23 | Atlantic Inertial Systems Ltd | Accelerometers |
-
2015
- 2015-08-12 GB GBGB1514319.1A patent/GB201514319D0/en not_active Ceased
-
2016
- 2016-08-11 US US15/754,293 patent/US10670623B2/en active Active
- 2016-08-11 KR KR1020187006830A patent/KR102095475B1/ko active IP Right Grant
- 2016-08-11 EP EP16753433.8A patent/EP3335052B1/en active Active
- 2016-08-11 JP JP2018507634A patent/JP6732012B2/ja active Active
- 2016-08-11 WO PCT/GB2016/052501 patent/WO2017025753A1/en active Application Filing
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11118827A (ja) * | 1997-10-14 | 1999-04-30 | Denso Corp | 容量式物理量検出装置 |
JP2007501938A (ja) * | 2003-08-13 | 2007-02-01 | セルセル | 改良電極形状による外来振動抑制形加速度計 |
JP5442785B2 (ja) * | 2003-08-13 | 2014-03-12 | セルセル | 改良電極形状による外来振動抑制形加速度計 |
JP5599832B2 (ja) * | 2003-08-13 | 2014-10-01 | セルセル | 改良電極形状による外来振動抑制形加速度計 |
JP2009168777A (ja) * | 2008-01-21 | 2009-07-30 | Hitachi Ltd | 慣性センサ |
JP5319122B2 (ja) * | 2008-01-21 | 2013-10-16 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 慣性センサ |
US8590376B2 (en) * | 2008-03-27 | 2013-11-26 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Foerderung Der Angewandten Forschung E.V. | Microelectromechanical inertial sensor with atmospheric damping |
JP2010085313A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Murata Mfg Co Ltd | 複合センサ |
JP5267023B2 (ja) * | 2008-10-01 | 2013-08-21 | 株式会社村田製作所 | 複合センサ |
JP2014016341A (ja) * | 2012-06-13 | 2014-01-30 | Denso Corp | 静電容量式物理量センサ |
JP5772873B2 (ja) * | 2012-06-13 | 2015-09-02 | 株式会社デンソー | 静電容量式物理量センサ |
JP6067926B2 (ja) * | 2013-05-02 | 2017-01-25 | ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハーNorthrop Grumman LITEF GmbH | 加速度センサ及び加速度センサの製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020085891A (ja) * | 2018-11-16 | 2020-06-04 | アトランティック・イナーシャル・システムズ・リミテッドAtlantic Inertial Systems Limited | 加速度計および面外感知方向の加速度を感知する加速度計を製作する方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2017025753A1 (en) | 2017-02-16 |
JP6732012B2 (ja) | 2020-07-29 |
EP3335052B1 (en) | 2021-04-14 |
KR102095475B1 (ko) | 2020-04-01 |
EP3335052A1 (en) | 2018-06-20 |
KR20180040613A (ko) | 2018-04-20 |
US10670623B2 (en) | 2020-06-02 |
US20180217179A1 (en) | 2018-08-02 |
GB201514319D0 (en) | 2015-09-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190213 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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