JP2018523628A - ガラスを加工するための方法及び装置 - Google Patents

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Abstract

ガラス板を加工するための装置及び方法は、ガラス板の主面にコーティングを供給するための供給ポートを含むコーティングチャンバを含み得る。いくつかの実施形態では、装置は、筐体を含む煙霧チャンバと、筐体に煙霧を提供するための煙霧発生器と、筐体内の通路であって、この通路から煙霧が筐体を出て、ガラス板の主面に接触し得る、通路とを含み得る。いくつかの実施形態では、方法は、ガラス板をコーティングチャンバに提供するステップと、ガラス板の主面にコーティングを供給するステップとを含み得る。いくつかの実施形態では、方法は、ガラス板を煙霧チャンバに提供するステップと、煙霧チャンバの筐体に煙霧を提供するステップと、筐体内の通路を通じて筐体から煙霧を送ることにより、ガラス板の主面を煙霧に接触させるステップとを含み得る。

Description

関連出願の相互参照
本出願は、米国特許法第１１９条下における、２０１６年６月６日に出願の米国特許仮出願第６２／３４６２００号、２０１５年８月２１日に出願の米国特許仮出願第６２／２０８３４８号、２０１６年１月１５日に出願の米国特許仮出願第６２／２７９１９４号、及び２０１６年６月６日に出願の米国特許仮出願第６２／３４６１７５号に対する優先権の利益を主張する。これらのそれぞれの内容全体は、依拠され且つ参照により本明細書に組み込まれる。
本開示は、ガラスを加工するための方法及び装置に関する。
ガラスを加工し、所望の特性を有する１つ以上のガラス板を得ることが知られている。更に、更なる加工のため、顧客に輸送するために１つ以上のガラス板を梱包することが知られている。
以下は、本開示の簡潔な概要を示し、詳細な説明に記載するいくつかの例示的実施形態の基本的理解を提供する。
本開示は、概して、ガラスを加工するための方法及び装置に関し、特に、所望の特性を有するガラス板を得るためにガラスリボンを加工するための方法及び装置に関する。
いくつかの実施形態では、ガラス板を加工するための装置は、コーティングチャンバであって、ガラス板の少なくとも１つの主面にコーティングを供給するように方向付けられた供給ポートを含むコーティングチャンバを含み得る。
いくつかの実施形態では、供給ポートは、ガラス板の少なくとも１つの主面をコーティングするためのプラズマを供給するように方向付けられたプラズマ蒸着ポートを含み得る。
いくつかの実施形態では、ガラス板を加工するための装置は、第１の複数の供給ポート及び第２の複数の供給ポートを含むコーティングチャンバを含み得る。第１の複数の供給ポートのそれぞれは、ガラス板の第１の主面にコーティングを供給するように方向付けられ得、及び第２の複数の供給ポートのそれぞれは、ガラス板の第２の主面にコーティングを供給するように方向付けられ得る。
いくつかの実施形態では、第１の複数の供給ポートのそれぞれは、ガラス板の第１の主面をコーティングするためのプラズマを供給するように方向付けられたプラズマ蒸着ポートを含み得、及び第２の複数の供給ポートのそれぞれは、ガラス板の第２の主面をコーティングするためのプラズマを供給するように方向付けられたプラズマ蒸着ポートを含み得る。
いくつかの実施形態では、ガラス板を加工する方法は、ガラス板をコーティングチャンバに提供するステップと、ガラス板の少なくとも１つの主面にコーティングを供給するステップとを含み得る。
いくつかの実施形態では、コーティングチャンバは、供給ポートであって、供給ポートからコーティングが供給され得る、供給ポートを含み得る。
いくつかの実施形態では、コーティングは、ガラス板の少なくとも１つの主面に保護層を提供することができる。
いくつかの実施形態では、コーティングは、プラズマ蒸着によって少なくとも１つの主面にコーティングされ得る。
いくつかの実施形態では、コーティングは、ポリマーを含み得る。
いくつかの実施形態では、ガラス板を加工する方法は、ガラス板をコーティングチャンバに提供するステップと、ガラス板の第１の主面にコーティングを供給するステップと、ガラス板の第２の主面にコーティングを供給するステップとを含み得る。
いくつかの実施形態では、コーティングチャンバは、第１の複数の供給ポートであって、第１の複数の供給ポートからガラス板の第１の主面にコーティングが供給され得る、第１の複数の供給ポートと、第２の複数の供給ポートであって、第２の複数の供給ポートからガラス板の第２の主面にコーティングが供給され得る、第２の複数の供給ポートとを含み得る。
いくつかの実施形態では、コーティングは、ガラス板の第１の主面及び第２の主面に保護層を提供することができる。
いくつかの実施形態では、コーティングは、プラズマ蒸着によって第１の主面及び第２の主面にコーティングされ得る。
いくつかの実施形態では、コーティングは、ポリマーを含み得る。
いくつかの実施形態では、ガラス板を加工するための装置は、筐体を含む煙霧チャンバを含み得る。煙霧発生器は、筐体に煙霧を提供することができる。この装置は、筐体内の通路であって、この通路から煙霧が筐体を出て、ガラス板の少なくとも１つの主面に接触し得る、通路を含み得る。
いくつかの実施形態では、コンベヤは、通路に沿って延びている移動経路を画定することができ、及びコンベヤは、移動経路に沿ってガラス板を移動するように方向付けられ得る。
いくつかの実施形態では、通路は、スロットノズルを含み得、煙霧は、スロットノズルを通って筐体を出て、ガラス板の少なくとも１つの主面に接触し得る。
いくつかの実施形態では、スロットノズルは、通路に沿って延びている移動経路に沿って離間された複数の長尺状の孔を含み得る。
いくつかの実施形態では、通路は、拡散ノズルを含み得、煙霧は、拡散ノズルを通って筐体を出て、ガラス板の少なくとも１つの主面に接触し得る。
いくつかの実施形態では、拡散ノズルは、複数の孔であって、複数の孔を煙霧が通過し得る、複数の孔を含み得る。
いくつかの実施形態では、煙霧チャンバは、煙霧チャンバの外部から煙霧チャンバの内部に延びる入口経路を画定する入口を含み得る。いくつかの実施形態では、入口は、ガラス板を受け入れて、入口経路に沿って煙霧チャンバの外部から煙霧チャンバの内部に送るように方向付けられ得る。
いくつかの実施形態では、装置は、入口を選択的に遮断するための扉を更に含み得る。
いくつかの実施形態では、ガラス板を加工するための装置は、第１の筐体及び第２の筐体を含む煙霧チャンバを含み得る。いくつかの実施形態では、この装置は、第１の筐体及び第２の筐体に煙霧を提供するための煙霧発生器を含み得る。この装置は、第１の筐体内の第１の通路であって、第１の通路から煙霧が第１の筐体を出て、ガラス板の第１の主面に接触し得る、第１の通路を含み得る。この装置は、第２の筐体内の第２の通路であって、第２の通路から煙霧が第２の筐体を出て、ガラス板の第２の主面に接触し得る、第２の通路を含み得る。
いくつかの実施形態では、第１の通路は、第２の通路に面することができる。
いくつかの実施形態では、第１の通路は、第２の通路から所定の距離だけ離間され得、及び所定の距離は、ガラス板の移動経路を画定し得る。
いくつかの実施形態では、この装置は、第１の通路と第２の通路との間の移動経路に沿ってガラス板を移動するように方向付けられたコンベヤを含み得る。
いくつかの実施形態では、第１の通路は、第１のスロットノズルを含み得、煙霧は、第１のスロットノズルを通って第１の筐体を出て、ガラス板の第１の主面に接触し得る。いくつかの実施形態では、第２の通路は、第２のスロットノズルを含み得、煙霧は、第２のスロットノズルを通って第２の筐体を出て、ガラス板の第２の主面に接触し得る。
いくつかの実施形態では、第１のスロットノズル及び第２のスロットノズルのそれぞれは、第１の通路と第２の通路との間で側方に、第１の通路及び第２の通路に沿って延びている移動経路に沿って離間された複数の長尺状の孔を含み得る。
いくつかの実施形態では、第１の通路は、第１の拡散ノズルを含み得、煙霧は、第１の拡散ノズルを通って第１の筐体を出て、ガラス板の第１の主面に接触し得る。いくつかの実施形態では、第２の通路は、第２の拡散ノズルを含み得、煙霧は、第２の拡散ノズルを通って第２の筐体を出て、ガラス板の第２の主面に接触し得る。
いくつかの実施形態では、第１の拡散ノズル及び第２の拡散ノズルのそれぞれは、複数の孔であって、複数の孔を煙霧が通過することができる、複数の孔を含み得る。
いくつかの実施形態では、煙霧チャンバは、煙霧チャンバの外部から煙霧チャンバの内部に延びる入口経路を画定する入口を含み得る。いくつかの実施形態では、入口は、ガラス板を受け入れて、入口経路に沿って煙霧チャンバの外部から煙霧チャンバの内部に送るように方向付けられ得る。
いくつかの実施形態では、この装置は、入口を選択的に遮断するための入口扉を含み得る。
いくつかの実施形態では、第１の通路は、第２の通路に面することができ、第１の通路は、第２の通路から所定の距離だけ離間され得、及び所定の距離は、ガラス板の移動経路を画定し得る。
いくつかの実施形態では、煙霧チャンバは、煙霧チャンバの内部から煙霧チャンバの外部に延びる出口経路を画定する出口を含み得る。いくつかの実施形態では、出口は、ガラス板を受け入れて、出口経路に沿って煙霧チャンバの内部から煙霧チャンバの外部に移動するように方向付けられ得る。
いくつかの実施形態では、この装置は、出口を選択的に遮断するための出口扉を含み得る。
いくつかの実施形態では、第１の通路は、第２の通路に面することができ、第１の通路は、第２の通路から所定の距離だけ離間され得、及び所定の距離は、ガラス板の移動経路を画定し得る。
いくつかの実施形態では、この装置は、入口を選択的に遮断するための入口扉及び出口を選択的に遮断するための出口扉を含み得る。
いくつかの実施形態では、ガラス板を加工する方法は、ガラス板を煙霧チャンバに提供するステップと、煙霧チャンバの筐体に煙霧を提供するステップとを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、筐体内の通路を通じて筐体から煙霧を送ることにより、ガラス板の少なくとも１つの主面を煙霧に接触させるステップを含み得る。
いくつかの実施形態では、この方法は、通路に沿って延びている移動経路に沿ってガラス板を搬送するステップを含み得る。
いくつかの実施形態では、通路は、長尺状の孔を含むスロットノズルを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、スロットノズルの長尺状の孔を通じて筐体から煙霧を送ることにより、ガラス板の少なくとも１つの主面を接触させるステップを含み得る。
いくつかの実施形態では、通路は、複数の孔を含む拡散ノズルを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、拡散ノズルの複数の孔を通じて筐体から煙霧を送ることにより、ガラス板の少なくとも１つの主面を接触させるステップを含み得る。
いくつかの実施形態では、この方法は、入口経路に沿って煙霧チャンバの外部から煙霧チャンバの内部にガラス板を移動させるステップを含み得る。
いくつかの実施形態では、この方法は、入口を選択的に遮断する扉を開くステップと、入口経路に沿って煙霧チャンバの外部から煙霧チャンバの内部にガラス板を移動させるステップと、その後、入口を遮断するために扉を閉じるステップとを含み得る。
いくつかの実施形態では、ガラス板を加工する方法は、ガラス板を煙霧チャンバに提供するステップと、煙霧チャンバの第１の筐体及び煙霧チャンバの第２の筐体に煙霧を提供するステップとを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、第１の筐体内の第１の通路を通じて第１の筐体から煙霧を送ることにより、ガラス板の第１の主面を煙霧に接触させるステップを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、第２の筐体内の第２の通路を通じて第２の筐体から煙霧を送ることにより、ガラス板の第２の主面を煙霧に接触させるステップを含み得る。
いくつかの実施形態では、この方法は、第１の通路と第２の通路との間で側方に、第１の通路及び第２の通路に沿って延びている移動経路に沿ってガラス板を搬送するステップを含み得る。
いくつかの実施形態では、第１の通路は、第２の通路に面することができ、及び第１の通路は、第２の通路から所定の距離だけ離間され得る。
いくつかの実施形態では、第１の通路は、第１の長尺状の孔を含む第１のスロットノズルを含み得、及び第２の通路は、第２の長尺状の孔を含む第２のスロットノズルを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、第１のスロットノズルの第１の長尺状の孔を通じて第１の筐体から煙霧を送ることにより、ガラス板の第１の主面に接触させるステップを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、第２のスロットノズルの第２の長尺状の孔を通じて第２の筐体から煙霧を送ることにより、ガラス板の第２の主面に接触させるステップを含み得る。
いくつかの実施形態では、第１の通路は、第１の複数の孔を含む第１の拡散ノズルを含み得、及び第２の通路は、第２の複数の孔を含む第２の拡散ノズルを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、第１の拡散ノズルの第１の複数の孔を通じて第１の筐体から煙霧を送ることにより、ガラス板の第１の主面に接触させるステップを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、第２の拡散ノズルの第２の複数の孔を通じて第２の筐体から煙霧を送ることにより、ガラス板の第２の主面に接触させるステップを含み得る。
いくつかの実施形態では、この方法は、入口経路に沿って煙霧チャンバの外部から煙霧チャンバの内部にガラス板を移動させるステップを含み得る。
いくつかの実施形態では、この方法は、出口経路に沿って煙霧チャンバの内部から煙霧チャンバの外部にガラス板を移動させるステップを含み得る。
いくつかの実施形態では、この方法は、煙霧チャンバの入口を選択的に遮断する入口扉を開くステップと、入口経路に沿って煙霧チャンバの外部から煙霧チャンバの内部にガラス板を移動させるステップと、その後、入口を遮断するために入口扉を閉じるステップとを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法はまた、煙霧チャンバの出口を選択的に遮断する出口扉を開くステップと、出口経路に沿って煙霧チャンバの内部から煙霧チャンバの外部にガラス板を移動させるステップと、その後、出口を遮断するために出口扉を閉じるステップとを含み得る。
いくつかの実施形態では、この方法は、ガラス板が垂直方向である状態で実施され得る。
前述の概要及び以下の詳細な説明の両方は、本開示の本実施形態を示すと共に、記載及び特許請求される実施形態の性質及び特徴の理解の概要又は枠組みを提供するものであると理解すべきである。添付の図面は、実施形態の更なる理解を提供するために含まれ、本明細書の一部分に組み込まれ、本明細書の一部分を構成する。図面は、本開示の種々の実施形態を示すものであり、本明細書と共にその原理及び動作を説明する役割を果たす。
本開示のこれら及び他の特徴、態様、及び利点は、添付の図面を参照しながら読むことで更に理解され得る。
ガラスリボンを延伸するためのフュージョンダウンドロー装置を含むガラス加工装置の概略図である。 図１の線２−２に沿って取ったフュージョンダウンドロー装置の断面斜視図である。 レーザービームがガラスリボン上の経路の第１の端部位置に照射されている、図１の線３−３に沿った例示的なガラスセパレータの概略断面図である。 ガラスリボン上の経路の中間位置に照射されているレーザービームを示す。 ガラスリボン上の経路の第２の端部位置に照射されているレーザービームを示す。 レーザービームの焦点深度内に配置されている、ガラスリボン上の経路を示す。 ガラスリボンの経路に沿って変化する出力密度を示す、図６のガラスリボンの側面図である。 経路上のガラスリボンに欠陥を作成するステップを示す。 経路が複数のレーザービームに曝露し、複数のレーザービームのそれぞれが対応する経路の区分に沿って熱応力を生成する、別の例示的な方法を示す。 下流側位置に配置されたガラスセパレータを示す、図１の線１０−１０に沿って取ったフュージョンダウンドロー装置の断面図である。 上流側位置に配置されたガラスセパレータを示す、図１の線１０−１０に沿って取ったフュージョンダウンドロー装置の断面図である。 図１０及び図１１の線１２−１２に沿って取ったフュージョンダウンドロー装置の断面図である。 図１１に示されるフュージョンダウンドロー装置の例示的実施形態である。 図１３の線１４−１４に沿って取ったフュージョンダウンドロー装置の断面図である。 ガラス加工装置の洗浄ステーションの概略斜視図である。 ガラス加工装置のコーティング適用ステーションの概略斜視図である。 ガラス加工装置の別のコーティング適用ステーションの概略斜視図である。 図１７の線１５−１５に沿って取ったコーティング適用ステーションの概略断面図である。 ガラス加工装置のサイズ変更ステーションの概略斜視図である。 ガラス加工装置の仕上げステーションの概略斜視図である。 図２０の線１７−１７に沿って取った縁部仕上げ装置の部分概略断面図である。 図２１の線１８−１８に沿って取った縁部仕上げ装置の概略断面図である。 ガラス加工装置のコーティング除去ステーションの部分概略斜視図である。 ガラス加工装置の検査ステーションの部分概略斜視図である。 本開示の実施形態による、ガラスリボンを加工する例示的なステップを示すフローチャートである。
ここで、本開示の例示的実施形態を示す添付の図面を参照しながら装置及び方法についてより詳細に記載する。可能な場合、同様の又は同一の部品を参照するために、図面の全体を通して同じ参照番号を使用する。しかしながら、本開示は多くの異なる形態において具現化してもよく、本明細書中で説明する実施形態に限定されるものと解釈すべきではない。
ガラス板は、一般に、溶融ガラスを成形体に流すことによって作製され、ガラスリボンは、フロート、スロットドロー、ダウンドロー、フュージョンダウンドロー、アップドロー、又は任意の他の成形法を含む種々のリボン成形法によって形成してもよい。これら成形法のいずれかによるガラスリボンは、その後続いて、ディスプレイ用途を含むがこれに限定されない所望の用途に更に加工するのに好適な１つ以上のガラス板を提供するために分割してもよい。例えば、１つ以上のガラス板は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、電気泳動ディスプレイ（ＥＰＤ）、有機ＬＥＤディスプレイ（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等を含む種々のディスプレイ用途で使用され得る。ガラス板は、１つの位置から別の位置に搬送してもよい。ガラス板は、ガラス板のスタックを所定の位置に固定するように設計された従来の支持フレームによって搬送してもよい。更に、ガラス板の新品状態の表面間の接触を防ぎ、したがって保護するのを補助するために、それぞれの隣接するガラス板間に間紙材料が配置され得る。
本明細書中に開示される特定の実施形態は例示的であり、したがって、非限定的であることを意図するものであることを理解すべきである。したがって、本開示は、ガラスリボン及びガラス板の少なくとも１つを加工するための方法及び装置に関する。いくつかの実施形態では、加工されるガラスリボンは、ガラス製造装置から形成することができるか、ガラスリボンがガラス製造装置から形成される際に提供することができるか、スプールから巻き出され得る前に成形されたガラスリボンのスプールから提供することができるか、又は独立したガラスリボンとして提供することができる。いくつかの実施形態では、加工されるガラス板は、ガラス製造装置によって形成することができるか、ガラスリボンから分離されたガラス板として提供することができるか、別のガラス板から分離されたガラス板として提供することができるか、ガラス板のスプールから巻き出されたガラス板として提供することができるか、ガラス板のスタックから得られたガラス板として提供することができるか、又は独立したガラス板として提供することができる。
ここで、ガラスリボン及びガラス板の少なくとも１つを加工するための方法及び装置を、ガラス製造装置から形成されるガラスリボンを加工するための一実施形態、及びガラスリボンから分離されたガラス板を加工するための一実施形態を含む例示的実施形態を用いて記載する。少なくとも一部の実施形態に関し、上述した例示的なガラスリボン及びガラス板の任意の１つ以上を加工するために類似の又は同一の技術も適用してよいという理解と共に、ガラスリボン及びガラス板の少なくとも１つを加工する他の実施形態についても記載する。
本開示は、望ましい特性を得るための、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４の少なくとも１つの加工を提供する。いくつかの実施形態では、ガラス板１０４はガラスリボン１０３から分離され得る。加えて、本開示は、本開示の実施形態によるガラスリボン１０３及びガラス板１０４を加工するために使用してもよい、図１〜図２５に概略的に示される、ガラス加工装置１００を含む例示的なガラス加工装置及びガラス加工方法２１００（図２５を参照）を提供する。示されるように、ガラス加工装置１００は、個々に又は互いに組み合わせて使用してもよい複数の例示的な加工ステーションを含み得る。示されるように、加工ステーションは、望ましい特性を付与するようにガラスリボン１０３及びガラス板１０４の少なくとも１つを加工するため、互いに連続して配置してもよい。更に、（例えば、顧客がガラス板１０４をディスプレイ用途のために更に加工することによって）ガラスリボン１０３又はガラス板１０４を更に加工することが望ましい場合がある。いくつかの実施形態では、本明細書中に記載される方法及び装置は、デブリがガラスリボン１０３及びガラス板１０４に接触して汚染しないようにすることを補助することができ、したがって、種々のディスプレイ用途にとって望まれ得るガラスリボン１０３及びガラス板１０４の新品状態の特性を保持する。
説明のため、本開示の範囲内では他の種類のデブリも存在し得、且つそのように考えられるという理解と共に、ガラス加工装置１００に関連する２種類のデブリについてここで記載する。図１０を参照すると、分離デブリ１００１は、ガラスセパレータ１４９に関連するデブリを含み得、ガラスセパレータ１４９による分離工程前、その間、又はその後にガラス加工装置１００の任意の種類の動作条件下で生成される。いくつかの実施形態では、分離デブリ１００１は、ガラスリボン１０３に切り込みが入れられたときに生成されたガラス破片及びガラスチップ、並びにガラスリボン１０３がガラスセパレータ１４９によって分離されたときにガラスリボン１０３から出得るガラス破片及びガラスチップを含み得る。分離デブリ１００１はまた、機械的なダスト、潤滑剤、微粒子、繊維、及び任意の他の種類のデブリなど、ガラスセパレータ１４９及びその関連構成要素から出る粒子及び他の汚染物質を含み得る。いくつかの実施形態では、分離デブリ１００１はまた、ガラスリボン１０３が例えば加工の不具合によって予期せず破損、ひび割れ、又は粉砕した場合にガラスリボン１０３から出たガラス破片及びガラスチップを含み得る。環境デブリ１００２は、ガラス、ガラス粒子、ガラス破片、ガラスチップ、微粒子、繊維、ダスト、ヒトによる汚染物質、及び任意の他の種類のデブリなど、ガラスリボン１０３の周囲環境からのデブリを含み得る。いくつかの実施形態では、環境デブリ１００２は、ガラス加工装置１００が配置されている環境内の床又は他の近傍の構造体から放出されたダスト及び他の粒子を含み得る。このような環境デブリ１００２は、通風、微風、ガラス加工装置１００による空気の流れなどの空気流に曝されると、又は人（例えば、技術者、オペレータ）、機械若しくは他の原因によりかき混ぜられると空気中に浮遊し得る。同様に、環境デブリ１００２は、分離デブリ１００１を受け入れるように方向付けられた真空ポート１０１１を含む、ガラス微粒子を保持するために使用され得る環境内の保管容器から発生し得る。環境デブリ１００２はまた、人（例えば、技術者、オペレータ、又は他のソース）から環境内に導入された衣服の繊維、ダスト、及び他の汚染物質などの微粒子を含み得る。本明細書中に記載される装置及び方法は、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４を、分離デブリ１００１及び環境デブリ１００２の少なくとも１つへの曝露及び接触から隔離することができる。
加えて、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４の少なくとも１つをガラス加工装置１００によって迅速に加工することで、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４の少なくとも１つの高い生産速度をもたらす可能性がある。また、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４の少なくとも１つを迅速に加工することで、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４の少なくとも１つの新品状態の表面にデブリ（例えば、分離デブリ１００１、環境デブリ１００２）が付着しないようにすることができる。実際、ガラスリボン１０３の主面（例えば、第１の主面２１３ａ、第２の主面２１３ｂ）及びガラス板１０４の主面（例えば、第１の主面２１４ａ、第２の主面２１４ｂ）に付着したデブリは、デブリが主面２１４ａ、２１４ｂに長く接触するほど主面２１４ａ、２１４ｂにより強固に結合し得る。したがって、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４の少なくとも１つがステーションからステーションへ移動する速度を増加することで、ガラスリボン１０３の主面２１３ａ、２１３ｂ及びガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂ上に留まるデブリを迅速に除去し、それにより、後のデブリ除去を複雑にする可能性のある強固な結合の回避を可能にすることができる。例えば、１つのステーションがデブリを生成した場合（例えば、分離デブリ１００１を生成する、ガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離するガラス分離ステーション）、ガラス板１０４をそのステーションから例えば洗浄ステーションに約１秒〜約２０秒、例えば約１秒〜約１５秒以内に迅速に移動させ、そこでデブリをガラス板１０４から除去することができる。
加工ステーションの例示的な順序が示されるが、いくつかの実施形態では、加工ステーションは異なる順序で配置してもよい。いくつかの実施形態では、ガラス加工装置１００は、図示される例示的な加工ステーションより多くの加工ステーションを含んでもよい。いくつかの実施形態では、ガラス加工装置１００は、図示される例示的な加工ステーションより少ない加工ステーションを含んでもよい。更に、いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４の少なくとも１つを単独で又は任意の１つ以上の他の加工ステーションとの組合せのいずれかにおいて加工するために使用することができる１つの加工ステーションを設けてもよい。
いくつかの実施形態では、ガラス加工装置１００は、スロットドロー装置、フロートバス装置、ダウンドロー装置、アップドロー装置、プレスロール装置、又は他のガラスリボン製造装置などのガラス製造装置１０１によってガラスリボン１０３を提供する。図１は、ガラス製造装置１０１を概略的に示す。ガラス製造装置１０１は、後にガラス板１０４に加工するためのガラスリボン１０３のフュージョンドロー用のフュージョンダウンドロー装置１０１を含む。
フュージョンダウンドロー装置１０１は、貯蔵ビン１０９からバッチ材料１０７を受け入れるように方向付けられた溶解器１０５を含み得る。バッチ材料１０７は、モータ１１３により動力が供給されるバッチ送出デバイス１１１によって導入され得る。任意のコントローラ１１５が、矢印１１７によって示されるように所望の量のバッチ材料１０７を溶解器１０５に導入するためにモータ１１３を作動させるように構成され得る。ガラス溶解プローブ１１９を使用して、直立管１２３内における溶融材料１２１の高さを測定し、測定された情報を、通信回線１２５を介してコントローラ１１５に通信することができる。
フュージョンダウンドロー装置１０１はまた、溶解器１０５の下流側に配置されており、且つ第１の接続導管１２９によって溶解器１０５に結合されている清澄器１２７を含み得る。いくつかの実施形態では、溶融材料１２１は、溶解器１０５から清澄器１２７に第１の接続導管１２９を介して重力供給されてもよい。例えば、重力は、溶融材料１２１を推進し、溶解器１０５から清澄器１２７へ第１の接続導管１２９の内部経路を通過させるように作用してもよい。清澄器１２７内において、種々の手法により溶融材料１２１から泡が除去されてもよい。
フュージョンダウンドロー装置１０１は、清澄器１２７の下流側に配置されてもよい混合チャンバ１３１を更に含み得る。混合チャンバ１３１は、溶融材料１２１の均質組成物を得ることで、清澄器１２７を出る溶融材料１２１内に存在し得る不均等性を有するコードを低減又は排除するために使用され得る。示されるように、清澄器１２７は第２の接続導管１３５を介して混合チャンバ１３１に結合されてもよい。いくつかの実施形態では、溶融材料１２１は、清澄器１２７から混合チャンバ１３１に第２の接続導管１３５を介して重力供給されてもよい。例えば、重力は、溶融材料１２１を推進し、清澄器１２７から混合チャンバ１３１へ第２の接続導管１３５の内部経路を通過させるように作用してもよい。
フュージョンダウンドロー装置１０１は送出器１３３を更に含み得る。送出器１３３は混合チャンバ１３１の下流側に配置されてもよい。送出器１３３は、ガラス成形機１４０に供給される溶融材料１２１を調整してもよい。例えば、送出器１３３は、溶融材料１２１の均一な流れを調節し、ガラス成形機１４０に供給するためのアキュムレータ及び／又はフローコントローラとして機能し得る。示されるように、混合チャンバ１３１は第３の接続導管１３７を介して送出器１３３に結合されてもよい。いくつかの実施形態では、溶融材料１２１は、混合チャンバ１３１から送出器１３３へ第３の接続導管１３７を介して重力供給されてもよい。例えば、重力は、溶融材料１２１を推進し、混合チャンバ１３１から送出器１３３へ第３の接続導管１３７の内部経路を通過させるように作用してもよい。
更に示されるように、送出管１３９は、フュージョンダウンドロー装置１０１のガラス成形機１４０に溶融材料１２１を送出するために配置され得る。以下でより詳細に記載するように、ガラス成形機１４０は、溶融材料１２１を成形器１４３の底部１４５からガラスリボン１０３に延伸してもよい。図示される実施形態では、成形器１４３は、送出器１３３の送出管１３９から溶融材料１２１を受け入れるように方向付けられた入口１４１を含み得る。
図２は、図１の線２−２に沿って取ったフュージョンダウンドロー装置１０１の断面斜視図である。示されるように、成形器１４３は、入口１４１から溶融材料１２１を受け入れるように方向付けられたトラフ１７０を含み得る。成形器１４３は成形楔１７１を更に含み得る。成形楔１７１は、成形楔１７１の対向する端部間に延びる下方向に傾斜する集束表面部１７３、１７５の対を含む。下方向に傾斜する集束表面部１７３、１７５の対は延伸方向１７７に沿って集束し、底部１４５を形成する。延伸平面１８１が底部１４５内に延びており、ガラスリボン１０３は延伸平面１８１に沿って延伸方向１７７に延伸してもよい。示されるように、延伸平面１８１は底部１４５を二分し得るが、延伸平面１８１は底部１４５に対して他の方向に延びてもよい。
図２を参照すると、いくつかの実施形態では、溶融材料１２１は入口１４１から成形器１４３のトラフ１７０に流れ得る。溶融材料１２１は、その後、対応する堰１７２ａ、１７２ｂを越え、対応する堰１７２ａ、１７２ｂの外部表面１７４ａ、１７４ｂ上を下方に同時に流れることによってトラフ１７０から溢れることができる。溶融材料１２１の各流れは、その後、成形楔１７１の下方向に傾斜する集束表面部１７３、１７５に沿って流れ、成形器１４３の底部１４５を離れて延伸される。底部１４５において、流れは集束し、ガラスリボン１０３に融合する。ガラスリボン１０３は、その後、底部１４５を離れ、延伸平面１８１内を延伸方向１７７に沿ってフュージョンドローされてもよい。延伸方向１７７において、ガラス板１０４は、その後続いて、ガラスリボン１０３から分離されてもよい。
図２に示すように、ガラス加工装置１００は、ガラスリボン１０３を、ある量の溶融材料１２１からガラス成形機１４０の延伸平面１８１に沿って延伸方向１７７に延伸するためのガラス成形機１４０を含み得る。ガラスリボン１０３は、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａ及びガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂを有して底部１４５から延伸されてもよい。示されるように、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａとガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂとは反対方向に面することができ、約１ミリメートル（ｍｍ）以下、約０．５ミリメートル以下、約５００マイクロメートル（μｍ）以下、例えば、約３００マイクロメートル以下、例えば、約２００マイクロメートル以下、又は例えば、約１００マイクロメートル以下であり得るガラスリボン１０３の厚み「Ｔ」を画定することができるが、いくつかの実施形態では他の厚みが使用されてもよい。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３の厚み「Ｔ」は、約１００マイクロメートル〜約０．５ミリメートル、約３００マイクロメートル〜約０．４ミリメートル、又は約０．３ミリメートル〜約５００マイクロメートル、及びこれらの間の全ての部分範囲であり得る。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３の厚み「Ｔ」は、約５０マイクロメートル〜約５００マイクロメートル、例えば、約５０マイクロメートル〜約３００マイクロメートル、例えば、約５０マイクロメートル〜約２００マイクロメートル、例えば、約５０マイクロメートル〜約１００マイクロメートル、並びにこれらの間の全ての範囲及び部分範囲であり得る。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３の厚み「Ｔ」は、１ミリメートル超、例えば、約１ミリメートル〜約３ミリメートル、及びこれらの間の全ての部分範囲であり得る。ソース又は製造方法を問わず、ガラスリボン１０３及びガラスリボン１０３から分離されたガラス板１０４は、いくつかの実施形態では、約５０マイクロメートル〜１０００マイクロメートルの範囲内の厚みを含み得る（上述した全ての範囲及び部分範囲を含む）が、いくつかの実施形態では他の厚みを提供してもよい。
いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」は、約２０ｍｍ以上、例えば、約５０ｍｍ以上、例えば、約１００ｍｍ以上、例えば、約５００ｍｍ以上、例えば、約１０００ｍｍ以上、例えば、約２０００ｍｍ以上、例えば、約３０００ｍｍ以上、例えば、約４０００ｍｍ以上であり得るが、いくつかの実施形態では上述の幅より小さい又は大きい他の幅が提供され得る。
いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」は、約２０ｍｍ〜約４０００ｍｍ、例えば、約５０ｍｍ〜約４０００ｍｍ、例えば、約１００ｍｍ〜約４０００ｍｍ、例えば、約５００ｍｍ〜約４０００ｍｍ、例えば、約１０００ｍｍ〜約４０００ｍｍ、例えば、約２０００ｍｍ〜約４０００ｍｍ、例えば、約３０００ｍｍ〜約４０００ｍｍ、例えば、約２０ｍｍ〜約３０００ｍｍ、例えば、約５０ｍｍ〜約３０００ｍｍ、例えば、約１００ｍｍ〜約３０００ｍｍ、例えば、約５００ｍｍ〜約３０００ｍｍ、例えば、約１０００ｍｍ〜約３０００ｍｍ、例えば、約２０００ｍｍ〜約３０００ｍｍ、例えば、約２０００ｍｍ〜約２５００ｍｍ、並びにこれらの間の全ての範囲及び部分範囲であり得る。
ガラスリボン１０３は、ソーダ石灰ガラス、ホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス、アルカリ含有ガラス、又はアルカリフリーガラスを含むがこれらに限定されない種々の組成物を含み得る。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３は、≦１５ｐｐｍ／℃、≦１０ｐｐｍ／℃、又は≦５ｐｐｍ／℃、例えば、約５ｐｐｍ／℃〜約１５ｐｐｍ／℃、例えば、約５ｐｐｍ／℃〜約１０ｐｐｍ／℃、並びにこれらの間の全ての範囲及び部分範囲の熱膨張係数を含み得る。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３は、≧５０ミリメートル／秒（ｍｍ／ｓ）、≧１００ｍｍ／ｓ、又は≧５００ｍｍ／ｓ、例えば、約５０ｍｍ／ｓ〜約５００ｍｍ／ｓ、例えば、約１００ｍｍ／ｓ〜約５００ｍｍ／ｓ、並びにこれらの間の全ての範囲及び部分範囲の横断速度を含み得る。
ガラスリボン１０３は、底部１４５を離れ、ガラスリボン１０３がガラス成形機１４０の下部開口部１８３を出るまで延伸平面１８１に沿って延伸方向１７７に延伸し続けることができる。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３は、ガラス成形機１４０の下部開口部１８３を出る前に徐冷工程を経ることができる。下部開口部１８３を出ると、ガラスリボン１０３は、その後、ガラスセパレータ１４９によって最終的に１つ以上のガラス板１０４に分離され得る。示されるように、ガラスセパレータ１４９は、ガラス成形機１４０の下流側（例えば、図２に示される延伸方向１７７に沿って）に配置され得ると共に、ガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離するように方向付けられ得る。本開示の実施形態では、種々のガラスセパレータ１４９が設けられてもよい。例えば、ガラスリボン１０３に切り込みを入れ、その後、ガラスリボン１０３を切り込み線に沿って割ることができる移動アンビルマシンが設けられてもよい。いくつかの実施形態では、例えば、図１３に示されるように、ガラスセパレータ１４９は、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに面している第１のガラスセパレータ１４９ａと、ガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに面している第２のガラスセパレータ１４９ｂとを含み得る。いくつかの実施形態では、第１のガラスセパレータ１４９ａと第２のガラスセパレータ１４９ｂとは、ガラスリボン１０３からガラス板１０４を（例えば、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」に沿って延伸方向１７７を横断する横断分離経路１５１に沿って）分離することができるよう共に動作することができる。
いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は、ガラスリボン１０３に対してガラス板１０４を曲げ、切り込み線に対応する横断分離経路１５１に沿ってガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離するように方向付けられたロボット１５０（例えば、ロボットアーム）を含み得る。いくつかの実施形態では、レーザーアシスト式分離デバイスが、以下において及びまたその全体が参照により本明細書中に組み込まれる２０１４年１１月１９日に出願された同時係属中の米国特許出願第１４／５４７，６８８号明細書に記載されるように設けられてもよい。このようなレーザーアシスト式分離デバイスとしては、ガラスリボン１０３を加熱し、その後、ガラスリボン１０３を冷却して、ガラスリボン１０３を分離するためのベントをガラスリボン１０３内に作成するレーザースコアリング技術が挙げられ得るがこれに限定されない。このようなレーザーアシスト式分離デバイスは、また、ガラスリボン１０３を加熱してガラスリボン１０３内に応力付与領域を生成し、その後、ガラスリボン１０３を分離するためのクラックを開始するための欠陥をガラスリボン１０３の応力付与領域に適用するレーザー切断技術を含んでもよい。図１は、例示的なガラスセパレータ１４９の全体概略図を示し、図３〜図６、図８及び図９は、ガラスセパレータ１４９の例示的な特徴を概略的に示す。示されるように、例示的なガラスセパレータ１４９は、ガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３とガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５との間の、ガラス成形機１４０の延伸方向１７７を横断するガラスリボン１０３の幅「Ｗ」に沿って延びている横断分離経路１５１に沿って、ガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離してもよい。
いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は、ガラス板１０４の第１の横断縁部１６５とガラス板１０４の第２の横断縁部１６７との間の長さ「Ｌ」に沿って延びている垂直分離経路１６３に沿ってガラス板１０４の中央部分１６１からガラス板１０４の外側部分１５９を分離することができる。示されるように、このような手法は垂直方向で実施され得るが、いくつかの実施形態では水平方向が提供されてもよい。いくつかの実施形態では、垂直方向は、ガラス粒子を重力によって運び去るのを容易にしてもよく、それにより、ガラスリボン１０３の新品であるはずの第１の主面２１３ａ及びガラスリボン１０３の新品であるはずの第２の主面２１３ｂの汚染を低減又は防止する。いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は、ガラスセパレータ１４９の周囲の局所領域内において、局所領域から分離デブリ１００１を除去するよう動作することができるチップ真空システムなどの真空部１４８（図１０、図１１では真空部１４８として、図１３では真空部１４８として概略的に示される。いくつかの実施形態では、第１の真空部１４８ａ及び第２の真空部１４８ｂを含み得る）を含み得る。いくつかの実施形態では、真空部１４８はガラスセパレータ１４９に取り付けることができ、ガラスセパレータ１４９がガラスリボン１０３に対して動き、ガラスリボン１０３を分離し得る際、ガラスセパレータ１４９と共に移動することができる。図１３に示すように、いくつかの実施形態では、第１の真空部１４８ａはガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａ及びガラス板１０４の第１の主面２１４ａに面して配置することができ、第２の真空部１４８ｂはガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂ及びガラス板１０４の第２の主面２１４ｂに面して配置することができる。第１の真空部１４８ａ及び第２の真空部１４８ｂの少なくとも１つは、ガラスセパレータ１４９の周囲の局所領域内において、局所領域から分離デブリ１００１を除去するよう動作することができる。いくつかの実施形態では、第１の真空部１４８ａ及び第２の真空部１４８ｂの少なくとも１つは、ガラスセパレータ１４９に取り付けることができ、ガラスセパレータ１４９がガラスリボン１０３に対して動き、ガラスリボン１０３を分離し得る際、ガラスセパレータ１４９と共に移動することができる。
図３は、ガラスリボン１０３を横断分離経路１５１に沿って分離することに関する、図１に概略的に示されるガラスセパレータ１４９の一実施形態を示す。いくつかの実施形態では、同じ又は類似の技法を用いて、ガラスリボン１０３及び任意の他のガラスリボンを任意の経路に沿って分離することができ、ガラス板１０４及び任意の他のガラス板を任意の経路に沿って分離することができることを理解すべきである。ガラスセパレータ１４９は、レーザービーム２０３を発生させるように構成されたレーザービーム発生器２０１を含み得る。いくつかの実施形態では、レーザービーム発生器２０１及びレーザービーム２０３は、エネルギーの連続的な流れに近似し得る比較的長いパルスのレーザー光によって横断分離経路１５１を加熱することができるＣＯ２レーザーを含み得る。したがって、レーザービーム２０３は、ガラスリボン１０３を損傷することなくガラスリボン１０３上の横断分離経路１５１を加熱するよう設計してもよい。この用途において、ガラスリボン１０３を損傷することなくガラスリボン１０３上の横断分離経路１５１を加熱することは、欠陥７０３の適用なしにガラスリボン１０３の分離をもたらす手法で、ガラスリボン１０３を損傷することなく横断分離経路１５１を加熱することを意味するものである。ガラスリボン１０３を損傷することなく横断分離経路１５１を加熱するいくつかの実施形態は、ガラスリボン１０３を溶融することなく加熱すること、ガラスリボン１０３を切除することなく加熱すること、ガラスリボン１０３に大きいクラックを作成することなく加熱すること、及びガラスリボン１０３に切り込みを入れることなく加熱することを含み得る。以下に記載されるように、レーザービーム２０３はガラスリボン１０３の損傷を回避し、欠陥７０３の適用前にガラスリボン１０３を分離することなく、ガラスリボン１０３の横断分離経路１５１に沿った所望のレベルの熱応力の発生を可能にしてもよい。
図３に更に示されるように、ガラスセパレータ１４９は、所望のビームプロファイルを付与すると共に、ガラスリボン１０３の第１の外側縁部部分２１１ａ、ガラスリボン１０３の第２の外側縁部部分２１１ｂ、又はガラスリボン１０３の主面（例えば、第１の主面２１３ａ、第２の主面２１３ｂ）にレーザービームスポット２０９を生成するように構成されている、一連のミラー２０５ａ、２０５ｂ、２０５ｃ、２０５ｄ及び１つ以上の光学レンズ２０７を更に含んでもよい。いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は多角形反射デバイス２１５を含み得る。多角形反射デバイス２１５は、８つのミラー２１９ａ〜２１９ｈを含む、図示される八角形反射デバイスを含み得るが、いくつかの実施形態では異なる数のミラーを有する他の多角形構成を設けてもよい。
いくつかの実施形態では、方法は、多角形反射デバイス２１５を時計回り又は反時計回りに回転させることにより、ガラスリボン１０３に沿った横断分離経路１５１をレーザービーム２０３に曝露させるステップを含み得る。例えば、図３〜図６及び図８に示すように、多角形反射デバイス２１５は、８つのミラー２１９ａ〜２１９ｈのそれぞれをレーザービーム２０３の発射経路内に順次配置するために反時計回り方向２１７に回転させてもよい。図示されている回転は、レーザービーム２０３の掃引の原理を示す。多角形反射デバイス２１５の実際の構成及び／又は回転は、レーザービーム２０３をガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３からガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５までの先端位置間において掃引することを望むかどうか、又は図６〜図８に示すように、レーザービームをガラスリボン１０３から離れて掃引するかどうかなどの広範な要素に依存し得る。
以下に記載されるように、レーザービーム２０３はガラスリボン１０３上の横断分離経路１５１を加熱することができる。実際の経路は、ガラスリボン１０３の第１の外側縁部部分２１１ａ、ガラスリボン１０３の第２の外側縁部部分２１１ｂ、及びガラスリボン１０３の主面２１３ａ、２１３ｂの１つ又は両方との一致を含めてガラスリボン１０３に一致し得るという理解と共に、図面全体を通して横断分離経路１５１が破線として概略的に示される。図３に示すように、単に１つの実施形態において、横断分離経路１５１は、ガラスリボン１０３の第１の外側縁部部分２１１ａ、ガラスリボン１０３の第２の外側縁部部分２１１ｂ、及びガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３からガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５まで、ガラスセパレータ１４９に面しているガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに沿って延び得る。いくつかの実施形態では、横断分離経路１５１は、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａ又はガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂのいずれかに沿って、及びガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａとガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂとの間の中間厚みにおいて延び得る。実際、示されるように、横断分離経路１５１は、ガラスリボン１０３の第１の外側縁部部分２１１ａの外部表面及びガラスリボン１０３の第２の外側縁部部分２１１ｂの外部表面に一致して延びることができ、また、ガラスリボン１０３の主面２１３ａ、２１３ｂに一致して延びることができる。更に、示されるように、ガラスリボン１０３の第１の外側縁部部分２１１ａは、ガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３を含み得、ガラスリボン１０３の第２の外側縁部部分２１１ｂはガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５を含み得る。横断分離経路１５１は、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」の大部分に沿って又はガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体に沿って延び得る。同様に、図１を参照すると、ガラス板１０４は、ガラス板１０４の第１の横断縁部１６５及びガラス板１０４の第２の横断縁部１６７を含み得、垂直分離経路１６３は、ガラス板１０４の長さ「Ｌ」全体の大部分に沿って又はガラス板１０４の長さ「Ｌ」全体に沿って延び得る。
ここで、例示的な多角形反射デバイス２１５を有する横断分離経路１５１を加熱する非限定的な例示的方法について記載する。図３に示すように、例えば、第１のミラー２１９ａがレーザービーム２０３の経路を横切る際、第１のミラー２１９ａの第１の縁部領域２２１ａがレーザービーム２０３の経路をまず横切り、レーザービームスポット２０９を反射し、横断分離経路１５１の第１の端部位置２２１をガラスリボン１０３に沿ってレーザービーム２０３に曝露させる。実際、示されるように、横断分離経路１５１の第１の端部位置２２１はレーザービームスポット２０９に曝露され、それにより、その位置で横断分離経路１５１を加熱することができる。多角形反射デバイス２１５は反時計回り方向２１７に回転するため、発射されるレーザービーム２０３に対する第１のミラー２１９ａの角度は、レーザービームスポット２０９が、ガラスリボン１０３の第１の外側縁部部分２１１ａからガラスリボン１０３の第２の外側縁部部分２１１ｂに向かって延びる掃引方向２２５に沿って移動するように変化する。
図４は、第１のミラー２１９ａの中間部分２２１ｂがレーザービーム２０３の経路を続いて横切り、レーザービーム２０３を反射し、横断分離経路１５１の中間位置３０１をレーザービームスポット２０９に曝露させ、それにより、その位置で横断分離経路１５１を加熱するように回転させた多角形反射デバイス２１５を示す。
図５に更に示すように、多角形反射デバイス２１５は、第１のミラー２１９ａの第２の縁部部分２２１ｃがレーザービーム２０３の経路を続いて横切り、レーザービーム２０３を反射し、横断分離経路１５１の第２の端部位置４０１をレーザービームスポット２０９に曝露させ、それにより、その位置で横断分離経路１５１を加熱するように、反時計回り方向２１７に更に一層回転させることができる。図５に示される反時計回り方向２１７における更なる漸進的回転により、第２のミラー２１９ｂの第１の縁部領域４０３がレーザービーム２０３の経路を横切ることができ、レーザービームスポット２０９は横断分離経路１５１の第２の端部位置４０１から消失することができ、図３に示すように横断分離経路１５１の第１の端部位置２２１において再出現することができる。当然、実際のレーザービーム２０３は有限直径を有し、単一点ではないレーザービームスポット２０９を生成するため、レーザービームスポット２０９が隣接するミラーの隣接する部分から同時に反射することができる短い瞬間があり得る。こうした瞬間には、レーザービームスポット２０９は掃引経路の外側先端に同時に部分的に出現することができる。例えば、図５を参照すると、短時間にわたり、ビームスポット２０９は、第１のミラー２１９ａの第２の縁部部分２２１ｃ及び第２のミラー２１９ｂの第１の縁部領域４０３から同時に反射することができる。こうした瞬間には、ビームスポット２０９は、図５に示される位置（例えば、横断分離経路１５１の第２の端部位置４０１）に部分的に出現することができると共に、図３に示される位置（例えば、横断分離経路１５１の第１の端部位置２２１）に部分的に出現することができる。
したがって、加熱は、横断分離経路１５１に沿って熱応力を生成するためにレーザービームスポット２０９を横断分離経路１５１に沿って繰り返し通過させることを含み得る。更に、図示される実施形態では、レーザービームスポット２０９を繰り返し通過させることは、任意選択的に、レーザービームスポット２０９を掃引方向２２５に繰り返し通過させることを含み得る。実際、多角形反射デバイス２１５が図示される反時計回り方向２１７に回転している間、各ミラー２１９ａ〜２１９ｈがレーザービーム２０３の経路を横切ると、レーザービームスポット２０９は、横断分離経路１５１の第１の端部位置２２１から横断分離経路１５１の第２の端部位置４０１へ掃引方向２２５に移動することができる。レーザービームスポット２０９は、多角形反射デバイス２１５の回転速度に応じて掃引方向２２５に沿って種々の速度で移動することができる。いくつかの実施形態では、レーザービームスポット２０９は、約０．５ｋｍ／ｓ〜約６ｋｍ／ｓ、例えば、約１ｋｍ／ｓ〜約５ｋｍ／ｓ、例えば、約２ｋｍ／ｓ〜約４ｋｍ／ｓ、例えば、約３ｋｍ／ｓで移動することができる。
図示しないが、いくつかの実施形態では、横断分離経路１５１は多様な手法で加熱してもよい。例えば、複数のレーザービーム発生器２０１が設けられてもよく、及び／又はレーザービーム発生器２０１によって生成されるレーザービーム２０３は、異なるミラー及び／又は多角形反射デバイス２１５の同一ミラーの異なる部分からのレーザービームを同時に反射するために２つ以上のレーザービームに分割されてもよい。したがって、掃引方向２２５に沿って又は光学構成に応じて反対方向に沿って同時に移動する複数のレーザービームスポットが設けられてもよい。いくつかの実施形態では、レーザービーム発生器２０１によって生成されるレーザービーム２０３は、横断分離経路１５１全体を同時に加熱するように構成された長尺状のレーザービームスポット２０９へ延びてもよい。このような実施形態では、横断分離経路１５１全体を同時に加熱する間、レーザービームスポット２０９は静止したままであってもよい。
いくつかの実施形態では、それぞれが横断分離経路１５１全体の一区分を作成する複数のガラスセパレータ１４９が設けられてもよい。例えば、図９に示すように、任意選択的に、前述のガラスセパレータ１４９に類似又は同一であってもよい複数のガラスセパレータ１４９が設けられてもよい。図９には５つのガラス分離装置１４９を示しているが、特段の記載がない限り、このような表示は、本明細書に添付される特許請求の範囲を限定すべきでないことを理解すべきである。したがって、いくつかの実施形態では、任意の数のガラス分離装置（例えば、１つ、２つ、３つ、４つから６つ以上のガラス分離装置）を用いることができる。各ガラスセパレータ１４９は、横断分離経路１５１全体の対応する区分８０１、８０３、８０５、８０７、８０９に沿って熱応力を生成することができるレーザービーム８０２、８０４、８０６、８０８、８１０を生成してもよい。いくつかの実施形態では、横断分離経路１５１全体の区分８０１、８０３、８０５、８０７、８０９は端から端まで配置されてもよい。しかしながら、示されるように、区分８０１、８０３、８０５、８０７、８０９間に十分な加熱を与えるために、横断分離経路１５１の各区分は、重なり領域８１１、８１３、８１５、８１７において、横断分離経路１５１の少なくとも１つの隣接する区分と重なってもよい。いくつかの実施形態では、重なり領域８１１、８１３、８１５、８１７は、区分８０１、８０３、８０５、８０７、８０９の少なくとも１つの長さの約５％〜約４０％、区分８０１、８０３、８０５、８０７、８０９の少なくとも１つの長さの例えば約１０％〜約３０％、例えば約１０％〜約２５％である重なった長さを含んでもよい。いくつかの実施形態では、横断分離経路１５１全体の各対応する区分８０１、８０３、８０５、８０７、８０９は約８００ｍｍの長さを有することができ、各重なり領域８１１、８１３、８１５、８１７は約１００ｍｍの重なった長さを有する。横断分離経路１５１全体の区分８０１、８０３、８０５、８０７、８０９及び任意の重なり領域８１１、８１３、８１５、８１７を設けることで、ガラスリボン１０３に沿って延びている横断分離経路１５１全体に沿って、十分なレベルの熱応力を得ることを補助することができる。
本開示のいくつかの実施形態は、ガラスリボン１０３の全寸法など、大部分に沿って移動するレーザービームスポット２０９を示し、いくつかの実施形態では、レーザービームスポット２０９はまた、ガラスリボン１０３を離れて移動することが示される。したがって、横断分離経路１５１は、同様に、ガラスリボン１０３の全寸法など、ガラスリボン１０３の大部分に沿って延びることができる。例えば、図１に示すように、横断分離経路１５１がガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体に沿って延びるように、レーザービームスポット２０９は、ガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３からガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５までガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体に沿って通過することができる。同様に、図１に更に示されるように、垂直分離経路１６３がガラス板１０４の長さ「Ｌ」全体に延びるように、レーザービームスポット２０９は、ガラス板１０４の第１の横断縁部１６５からガラス板１０４の第２の横断縁部１６７までガラス板１０４の長さ「Ｌ」全体に沿って通過することができる。いくつかの実施形態では、横断分離経路１５１及び垂直分離経路１６３の少なくとも１つは約５０ｍｍ〜約５０００ｍｍ、例えば、約５０ｍｍ〜約１０００ｍｍであり得るが、いくつかの実施形態では、レーザービームスポット２０９はより長い又はより短い経路に沿って移動するように構成されてもよい。
レーザービームスポット２０９は円形スポットを含み得るが、いくつかの実施形態では、楕円形又は他の形状のスポットを設けてもよい。集束されたウエストにおけるレーザービームスポット２０９の最小直径は、レーザービームスポット２０９の強度プロファイルの１／ｅ２として決定される場合、約１ミリメートル（ｍｍ）〜約２ｍｍであり得るが、いくつかの実施形態では他の寸法を設けてもよい。同様に、楕円形又は他のスポット形状の最大長さは約１ｍｍ〜約３ｍｍであり得るが、いくつかの実施形態では他の寸法を設けてもよい。例えば、静止レーザービームを利用する場合、レーザービームスポット２０９の形状は実質的に長尺状とすることができ、数十センチメートル（ｃｍ）の長さ、例えば、１メートル（ｍ）を超える長さを有することができる。１つ又は複数のレーザービーム２０３を使用して、横断分離経路１５１及び垂直分離経路１６３の少なくとも１つを曝露及び加熱してもよい。
図３〜図６、図８及び図９は、レーザービーム２０３が第１の外側位置４０５と第２の外側位置４０７との間を掃引する一実施形態を示す。本開示の実施形態のいずれにおいても、横断分離経路１５１を加熱する間、レーザービーム２０３はガラスリボン１０３を離れて移動することができる。例えば、図６、図８及び図９に示すように、レーザービーム２０３の掃引は、ガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３及びガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５の外側である、第１の最外位置５０１と第２の最外位置５０３との間に任意選択的に延びることができる。加熱中、レーザービーム２０３がガラスリボン１０３を離れて移動することを可能にすることで、横断分離経路１５１に沿ったガラスリボン１０３の全ての部分が十分なレベルの熱応力を得ることを確実とすることができる。
図６に更に示されるように、ガラスリボン１０３に沿った横断分離経路１５１をレーザービーム２０３に曝露する間、ガラスリボン１０３は、横断分離経路１５１全体がレーザービーム２０３の焦点深度「ＤＯＦ」の範囲内に位置するように配置されてもよい。焦点深度「ＤＯＦ」は次式によって算出することができる。
Figure 2018523628
式中、「Ｆ」は、レンズ２０７の焦点距離、「Ｄ」は、レンズ前のビーム径、及び「λ」は、波長である。
横断分離経路１５１全体をレーザービーム２０３の焦点深度「ＤＯＦ」内に配置することで、レーザービーム２０３から横断分離経路１５１へのエネルギー伝達効率の増加を補助することができる。レーザービーム２０３の焦点深度「ＤＯＦ」は分離中のガラスのゆがみ、厚みの変化、及びガラスリボン１０３の動きの大きさを超えることから、焦点深度「ＤＯＦ」により、同じく移動することができるか又はレーザービーム２０３に対する方向をある程度変化させることができる、変化する厚みを有する非平坦ガラスの分離が可能になる。いくつかの実施形態では、焦点深度「ＤＯＦ」は、約２０ｍｍ〜約４００ｍｍ、例えば、約２０ｍｍ〜約２００ｍｍであり得るが、いくつかの実施形態では他の焦点深度を設けてもよい。
更に、いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３の横断分離経路１５１に加え、ガラスリボン１０３全体を焦点深度「ＤＯＦ」内に配置してもよい。レーザービーム２０３の焦点深度「ＤＯＦ」は、ガラスの厚みの変化、ガラスのゆがみ、又は他の考えられるガラスリボン１０３の位置の変化を超えるほど十分に大きくすることができ、したがって、本開示の方法中、ガラスリボン１０３上の横断分離経路１５１全体をレーザービーム２０３に曝露させることができる。いくつかの実施形態では、レーザービーム２０３の焦点深度「ＤＯＦ」は、ガラスの厚みの変化の大きさ、ゆがみ（例えば、ひずみ）の大きさ、ビーム源に対するガラスの動き又は他の加工条件の変化の大きさを超えてもよい。更に、いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３の主面２１３ａ、２１３ｂ上のレーザービームスポット２０９の寸法は、特に横断分離経路１５１の端部近傍において、レーザービームスポット２０９を横断分離経路１５１に沿って繰り返し通過させる間に変化し得る。例えば、ガラスリボン１０３の主面２１３ａ、２１３ｂ上のレーザービームスポット２０９の寸法は、レーザービーム２０３が第１の掃引経路５０７又は第２の掃引経路５０９に沿って集束される際、横断分離経路１５１に沿って変化してもよいが、ガラスリボン１０３を焦点深度「ＤＯＦ」内になお維持しつつ、他の経路を設けてもよい。
図７に示されるように、第２の掃引経路５０９（図６に示される）に沿って移動する場合、図示される切頭楕円状の出力密度領域６０１によって示されるように、横断分離経路１５１に沿ったレーザービームスポット２０９の直径及び形状の変化により、レーザービームスポット２０９は横断分離経路１５１に沿って変化する出力密度を適用することができる。図７に示される実施形態では、レーザービーム２０３がガラスリボン１０３を意図的に離れて移動した結果、ガラスリボン１０３の主面２１３ａ、２１３ｂ上の楕円状出力密度領域６０１は頂点が切り落とされ得る。いくつかの実施形態では、非切頭楕円出力密度領域が設けられてもよい。例えば、いくつかの実施形態では、楕円出力密度領域の終点はガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３及びガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５に配置されてもよい。ガラスリボン１０３の第１の外側縁部部分２１１ａ及びガラスリボン１０３の第２の外側縁部部分２１１ｂが厚みを増した縁部部分を含む場合、ガラスリボン１０３の中心領域内で重なっているレーザービームスポットの部分を有する、厚みを増した縁部部分（例えば、縁部ビード）の近傍に又は厚みを増した縁部部分（例えば、縁部ビード）に位置する最大出力密度を生成する２つのレーザービームを使用してガラスリボン１０３を分離すると更により有利であり得る。最大出力密度が、厚みを増した縁部部分の近傍又は厚みを増した縁部部分に位置するため、より高い熱応力は厚みを増した縁部部分を標的とすることができ、熱応力の増加をもたらす。同時に、ガラスリボン１０３の中心領域のレーザービーム経路の末端によってもたらされる比較的低い出力密度を部分的に重ねることで、重なったレーザービームによる二重の曝露により熱応力の向上をもたらすことができる。こうした重なりは、また、図９に示される重なり領域８１１、８１３、８１５、８１７にもたらすことができ、二重の曝露は横断分離経路１５１の区分８０１、８０３、８０５、８０７、８０９の外側端部における低い出力密度を相殺し、ガラスリボン１０３に沿って延びている横断分離経路１５１全体に沿った十分なレベルの熱応力の達成を補助することができる。
横断分離経路１５１の局所加熱により、ガラスリボン１０３の異なる部分間に温度差を生成し、横断分離経路１５１に沿って熱応力を生成する。横断分離経路１５１を加熱するプロセスは、上記のように、既定の応力レベルが達成されるまで実施され得る。いくつかの実施形態では、例示的な応力レベルは、ガラスのひずみ温度点の約７０％〜約１００％、例えば、ガラスのひずみ温度点の約８０％〜約１００％、例えば、約９０％〜約１００％、例えば、約９５％〜約１００％である、横断分離経路１５１に沿う温度に対応する応力であり得る。この加熱レベルにより、ガラスリボン１０３における残留応力の発生を回避する。いくつかの実施形態では、既定の応力レベルは、ガラスのひずみ温度点から徐冷点までである、横断分離経路１５１に沿う温度に対応する応力であり得る。より低温も可能な場合があるが、横断分離経路１５１に沿った熱応力を最大にするために、比較的高温に達することが望まれる可能性がある。比較的高い熱応力を付与することで、以下でより詳細に記載する欠陥７０３の適用後の分離時間を低減するのを補助することができる。いくつかの実施形態では、分離時間は欠陥７０３の作成後の約０．１秒〜約３秒であり得るが、いくつかの実施形態では他の分離時間も可能である。
横断分離経路１５１を所望の熱応力レベルに加熱するのに必要な時間は、レーザー出力、ガラスの種類、ガラスの寸法、ガラスの厚みなどの広範な要素又は他の要素に依存し得る。いくつかの実施形態では、横断分離経路１５１は、約３００Ｗ〜約１．５ｋＷのＣＯ２レーザー出力及び約０．１ｍｍ〜約３ｍｍのガラスの厚みを有して、約０．１秒〜約５秒の範囲内で十分に加熱されてもよい。
上で説明したように、ガラスリボン１０３を分離する例示的な非限定的方法は、ガラスリボン１０３を損傷することなく横断分離経路１５１に沿って熱応力を生成するためにガラスリボン１０３上の横断分離経路１５１を少なくとも１つのレーザービーム２０３に曝露させるステップを含み得る。この方法はまた、横断分離経路１５１が、ガラスリボン１０３上の横断分離経路１５１を少なくとも１つのレーザービーム２０３に曝露させたときに生成された熱応力下にある間、横断分離経路１５１上に欠陥７０３を生成するステップを含み得、その結果、欠陥７０３に応じて、ガラスリボン１０３は横断分離経路１５１に沿って迅速に分離され得る。
いくつかの実施形態では、欠陥７０３は、横断分離経路１５１を少なくとも１つのレーザービーム２０３に曝露させたとき、横断分離経路１５１に沿って既定の熱応力レベルが得られた後に作成され得る。実際、横断分離経路１５１全体が既定の熱応力レベル下にある際、欠陥７０３の開始により、欠陥７０３に応じたガラスリボン１０３の横断分離経路１５１に沿った迅速な分離を直接生じさせることができる。迅速な分離は欠陥７０３が作成された際又は欠陥７０３が作成された直後に開始することができる。したがって、ガラスリボン１０３の分離は、大きいクラック１５０５を横断分離経路１５１全体に沿って迅速に伝搬し、ガラスリボン１０３を分離する欠陥７０３の直接の結果として起こり得る。本明細書で使用する場合、大きいクラック（ｆｕｌｌ ｂｏｄｙ ｃｒａｃｋ）１５０５という用語は、ガラスリボン１０３の全厚み（例えば、厚み「Ｔ」）を貫通するクラック意味する。本開示の実施形態によるガラスリボン１０３を分離するための時間は、ガラスリボン１０３を分離する従来の手法と比較したとき、ガラスリボン１０３を分離するために必要な時間を大幅に低減することができる。したがって、本開示の実施形態は、ガラスリボン１０３の、従来の手法を超える迅速な分離が望ましい用途において有益であり得る。例えば、延伸速度を増加させた用途では、ガラスリボン１０３の所与の移動長さの範囲内において分離を行うことを可能にするために、迅速な分離が有益であり得る。更に、本開示の方法は、高温条件であってもガラスリボン１０３を分離することができる。例えば、ガラスリボン１０３が室温にある間に分離を行うことができるが、分離はまた、ガラスリボン１０３が典型的にはガラスのひずみ点未満の高温、例えば、４００℃以下の温度のときに行うことができる。しかし、いくつかの実施形態では他の最高温度を設けてもよい。したがって、本開示の方法は、形成プロセス中又は他の加工手順中、ガラスリボン１０３が冷却される前に分離を行うことができる。
いくつかの実施形態では、図８及び本明細書中に記載される実施形態のいずれかに示すように、欠陥７０３を作成するステップは、横断分離経路１５１を少なくとも１つのレーザービーム２０３に曝露し、横断分離経路１５１に沿って熱応力を生成する間に実施され得る。横断分離経路１５１をレーザービーム２０３に曝露している間に欠陥７０３を作成するステップは、欠陥７０３を作成するステップに直接応答して起こるガラスリボン１０３の迅速な分離を行うための十分なレベルの熱応力を横断分離経路１５１に沿って維持するのを補助することができる。いくつかの実施形態では、横断分離経路１５１をレーザービーム２０３に曝露するステップは、欠陥７０３を作成するステップ後に完了してもよく、横断分離経路１５１に沿ったガラスリボン１０３の分離が完了するまで更に継続させてもよい。横断分離経路１５１をレーザービーム２０３に曝露している間に欠陥７０３を作成することの別の利点は、ガラスリボン１０３をレーザービーム２０３に曝露（例えば、加熱）中、又はガラスリボン１０３をレーザービーム２０３に曝露させる前、欠陥７０３が作成される際に開始するおそれのある制御不能な破損の確率の低減である。これにより、強化ガラス、積層ガラス構造体、及び高い内部応力を有する任意の他のガラスの信頼性の高い分離を可能にすることができる。ガラスリボン１０３をレーザービーム２０３に曝露している間に欠陥７０３を作成することの更に別の利点は、ガラスリボン１０３の分離に必要な全体的な時間の低減である。
いくつかの実施形態では、横断分離経路１５１を曝露させるステップは、欠陥７０３を作成するステップの直前に、欠陥７０３が作成されるときに、欠陥７０３が作成された直後に、又は欠陥７０３の作成後間もなく完了してもよい。このような実施形態では、欠陥７０３は、横断分離経路１５１に沿ってガラスリボン１０３の迅速な分離を行うための十分な残留熱応力が横断分離経路１５１沿いにある場合、なお作成することができる。いくつかの実施形態では、しかしながら、欠陥７０３を作成するステップ中、及び欠陥７０３を作成するステップ後にも（例えば、ガラスリボン１０３の分離全体にわたって）ガラスリボン１０３を少なくとも１つのレーザービーム２０３に曝露させ続けることにより分離の速度を増加することができる。実際、欠陥７０３を作成するステップ中にガラスリボン１０３をレーザービーム２０３に曝露させ続けると、横断分離経路１５１に沿って最大熱応力などの所定の熱応力を維持することによりガラスリボン１０３の分離の速度を増加することができる。しかしながら、過熱による分離後の縁部に沿った残留応力の発生を最小にするか又は回避するために、レーザービーム２０３への横断分離経路１５１の過度の曝露は避けるべきである。
欠陥７０３を作成するステップは多様な手法で実施されてもよい。例えば、図１に概略的に示されるように、いくつかの実施形態では、欠陥７０３は、ガラスリボン１０３を、例えば、スクライブ７０１（例えば、スコアホイール、ダイヤモンドチップ等）又は他の機械的デバイスと機械的に係合することによって作成してもよい。実際、図８に示すように、スクライブ７０１の先端部によって表面不完全性（例えば、表面クラック）などの欠陥７０３を作成することができる。いくつかの実施形態では、欠陥７０３は、点欠陥又は切り込み線を含んでもよい。図示しないが、スクライブ７０１によって印加される力の相殺を補助し、欠陥７０３の作成を容易にするために、空気軸受又は機械的接触支持部材などの支持デバイスが設けられてもよい。
いくつかの実施形態では、図１に示すように、欠陥７０３はレーザー１６９によって作成してもよい。いくつかの実施形態では、レーザー１６９は、表面不完全性などの欠陥７０３を作成するように構成されたパルスレーザーを含み得るが、表面下の不完全性も設けてよい。いくつかの実施形態では、レーザー１６９によって作成される欠陥７０３としては、クラック、点欠陥、切り込み線、又は他の欠陥を挙げることができ、このような欠陥７０３は、アブレーションプロセスによって任意選択的に作成してもよい。
いくつかの実施形態では、欠陥７０３を切り込み線として設けることは、適切な大きいクラック１５０５を横断分離経路１５１の方向に沿って導くことを補助するのに有益であり得る。例えば、切り込み線は、横断分離経路１５１に沿って延びる長さ、及び横断分離経路１５１に垂直な幅を有し得る。例示的な切り込み線は、約０．５ｍｍ〜約５ｍｍの範囲内の長さ及び約０．１ｍｍ〜約０．３ｍｍの幅などの広範な長さ及び幅を有し得る。表面欠陥として与えられる場合、欠陥７０３の深さは、ガラスの種類によっては、約５マイクロメートル〜約５００マイクロメートルであり得る。例えば、化学強化ガラスにより、ガラスリボン１０３の化学強化層を過ぎて延びるようなより深い深さを有する欠陥７０３が与えられてもよい。
欠陥７０３は、横断分離経路１５１上を含む横断分離経路１５１に沿った任意の位置に与えられてもよい。いくつかの実施形態では、欠陥７０３は、ガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３又はガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５の１つの近傍に配置され得る。いくつかの実施形態では、本明細書中に記載されるように、レーザービームスポット２０９の走査が開始されるガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３の近傍に欠陥７０３を配置することが有益であり得る。例えば、図８に示すように、欠陥７０３は、ガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３とガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５との間に適用することができ、或いはいくつかの実施形態では、欠陥７０３はガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３及び／又はガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５に設けられてもよい。欠陥７０３をガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３とガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５との間に適用することで、ガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３及び／又はガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５に存在し得る縁部不完全性よりもむしろ欠陥７０３の位置においてクラックが伝播を開始することを確実にするのを補助することができる。更に、欠陥７０３をガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３とガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５との間に適用することで、ガラスリボン１０３のより迅速な分離をもたらすこともできる。いくつかの実施形態では、欠陥７０３は、ガラスリボン１０３の第１の外側縁部部分２１１ａ及び第２の外側縁部部分２１１ｂに一般に認められる縁部ビードに作成することができる。或いは、図８及び図９に示すように、欠陥７０３は、任意選択的に、縁部ビードの内側に設けられてもよい。いくつかの実施形態では、欠陥７０３はガラスリボン１０３の少なくとも１つの縁部からある距離に作成することができ、この距離は、約１ｍｍ〜約２５ｍｍである。例えば、図８及び図９に示すように、いくつかの実施形態では、欠陥７０３はガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３又はガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５から距離「Ｄ」に作成してもよく、「Ｄ」は、約１ｍｍ〜約２５ｍｍ、例えば、約１ｍｍ〜約１０ｍｍであり得るが、いくつかの実施形態では異なる距離が与えられてもよい。
いくつかの実施形態では、欠陥７０３は、横断分離経路１５１の中間位置３０１に、又はガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３若しくはガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５のより近傍に作成してもよい。いくつかの実施形態では、図８に示すように、欠陥７０３は、ガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５よりガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３の近傍に作成してもよい。レーザービームスポット２０９が上述のように第１の垂直縁部１５３から第２の垂直縁部１５５に向かって掃引方向２２５に移動する場合、欠陥７０３をガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３の近傍に設けること（例えば、第１の垂直縁部１５３から距離「Ｄ」）が特に有益であり得る。このような実施形態では、第１の垂直縁部１５３は、レーザービームスポット２０９の掃引方向２２５に沿った、横断分離経路１５１に沿う上流側であり得る。大きいクラック１５０５はレーザービームスポット２０９の掃引方向２２５に伝播する傾向にあるため、欠陥７０３をガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３の近傍に配置することで、大きいクラック１５０５がガラスリボン１０３に沿った横断分離経路１５１に沿う下流側で掃引方向２２５に迅速に伝播するのを補助することができる。更に、欠陥７０３は、第１の垂直縁部１５３から距離「Ｄ」に配置することができる。この距離「Ｄ」はガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３になお十分に近傍であり、また、大きいクラック１５０５が上流側に伝播してガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３と交差し、それにより、ガラスリボン１０３を横断分離経路１５１に沿って分離することを可能にする。
更に、図９を参照すると、レーザービーム８０２、８０４、８０６、８０８、８１０は、隣接するレーザービームのレーザービームスポットが重なり領域８１１、８１３、８１５、８１７に沿って同時に存在し得るように、各レーザービームによって生成されるレーザービームスポット２０９が対応する掃引方向２２５ａ、２２５ｂ、２２５ｃ、２２５ｄ、２２５ｅに沿って連続的なパターンで移動することを可能にするように時間調整され得る。したがって、レーザービームスポット２０９は、ガラスリボン１０３の全体寸法に沿って、掃引方向２２５ａ、２２５ｂ、２２５ｃ、２２５ｄ、２２５ｅに沿って実質的に連続的に移動し、横断分離経路１５１全体の各対応する区分８０１、８０３、８０５、８０７、８０９に沿って大きいクラック１５０５を迅速に入れて、ガラスリボン１０３を横断分離経路１５１全体に沿って分離するのを補助してもよい。
本明細書中に記載する方法のいずれも、本明細書中に開示される例示的な種類のガラスリボン１０３及びガラス板１０４を含むがこれらに限定されないガラス（例えば、ガラスリボン１０３、ガラス板１０４）の分離に適用してもよい。したがって、ガラスリボン１０３に関して記載した実施形態は、ガラス板１０４にも適用してよい。例えば、図１に関して示したように、横断分離経路１５１は、ガラスリボン１０３の第１の垂直縁部１５３とガラスリボン１０３の第２の垂直縁部１５５との間のガラスリボン１０３の幅「Ｗ」に沿って延び得る。このような実施形態では、図１に示すように、欠陥７０３を作成することで、ガラス板１０４をガラスリボン１０３から分離することができる。同じく図１に示されるいくつかの実施形態では、垂直分離経路１６３は、ガラス板１０４の第１の横断縁部１６５とガラス板１０４の第２の横断縁部１６７との間のガラス板１０４の長さ「Ｌ」に沿って延び得る。このような実施形態では、欠陥７０３を作成することで、ガラス板１０４の外側部分１５９をガラス板１０４の中央部分１６１から分離することができる。
いくつかの実施形態では、開示される方法のいずれも、平坦（示されるような）であってもよく、又は例えば、Ｃ字形、Ｓ字形若しくは他の構成に湾曲させた非平坦（例えば、反った）構成を有してもよいガラスリボン１０３及びガラス板１０４を含む広範なガラスの分離を容易にすることができる。更に、開示される方法のいずれも、実質的に均一な厚み又は不均一な可変の厚みを有するガラスリボン１０３及びガラス板１０４を含むガラスの分離を容易にすることができる。例えば、示されるように、比較的厚い縁部ビード及び比較的薄い中央部分１６１を有するガラスリボン１０３を分離することができる。
いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４を含むガラスは、ガラスが比較的静止状態にあるとき、又はガラスが動いているときに分離してもよい。例えば、ガラスリボン１０３は、ガラスリボン１０３がガラス成形機１４０から延伸されている際に動いている最中、又はガラスリボン１０３がガラス成形機１４０に対してわずかに揺れている及び／又はねじれている場合に分離されてもよい。また更に、本開示の方法のいずれかを使用して、ガラスのほぼひずみ点を超えない高温のガラスリボン１０３及びガラス板１０４を含むガラスを分離することができる。
更に、本開示の方法を使用して、非強化ガラスリボン１０３及び非強化ガラス板１０４若しくは強化ガラスリボン１０３及び強化ガラス板１０４を含む非強化ガラス又は強化ガラスを分離することができる。例えば、方法を使用して、圧縮下にある少なくとも１つの外層と、張力がかけられた別の層とを含む強化ガラス（例えば、化学強化ガラス）を分離することができる。いくつかの実施形態では、本開示の方法を使用して、ガラスの２つの主面が圧縮されており、ガラスの中央部分に張力がかけられている、両面が強化された強化ガラスを分離することができる。
いくつかの実施形態では、本開示の方法を使用して、積層ガラス層を含むガラスを分離してもよい。いくつかの実施形態では、積層構造体は、圧縮表面層と張力下にある中心層とを含み得る。いくつかの実施形態では、積層構造体は、２つの圧縮表面層を含み得、２つの圧縮層間に張力下にある中心層が挟まれている。更に別の実施形態では、本開示の方法を使用して、複数の層の少なくとも２つが異なる組成物及び／又は異なる熱膨張係数を含む積層ガラス層を分離してもよい。いくつかの実施形態では、ガラスは、ガラスがイオン交換又は熱処理によって生成された表面圧縮応力層を含む、化学又は熱強化ガラスであってもよい。
図１に示すように、いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離する方法は、ガラス板１０４の外側部分１５９を含むガラスリボン１０３又はガラス板１０４を曲げる必要なく実施され得る。実際、図１に示すように、ガラスセパレータ１４９は、ガラス板１０４及びガラスリボン１０３が垂直に向けられた状態のままで、ガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離することができる。このような実施形態では、分離中に発生したデブリ（例えば、図１０、図１１及び図１３に示される分離デブリ１００１）を重力によって垂直下方に引くことができ、それにより、ガラスリボン１０３又はガラス板１０４が曲がった（例えば、非垂直）方向を含む場合にデブリが載る可能性のある水平又は角度をなした表面を回避する。同様に、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４の垂直方向によって環境デブリ１００２（図１０、図１１及び図１３を参照）がガラスリボン１０３及びガラス板１０４に接触する可能性が低下し得るが、これは、このような環境デブリ１００２も重力によって下方に引かれ得るからである。後に続く、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４からデブリを除去する手順を用いることができることは認識されているものの、いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４の表面汚染を完全に回避すること、又はガラスリボン１０３の主面２１３ａ、２１３ｂ若しくはガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂにデブリが接触し得る時間を少なくとも低減し、これによりデブリとガラスリボン１０３又はガラス板１０４との間に比較的強固な結合が生じる可能性を低下させることが望ましい場合がある。
分離デブリ１００１をガラスリボン１０３から除去するために真空部１４８（例えば、第１の真空部１４８ａ、第２の真空部１４８ｂ）を用いることに加えて又はその代わりに、いくつかの実施形態では、分離デブリ１００１の除去を更に容易にするために、分離デブリ１００１をガスカーテン中に取り込み、ガラスリボン１０３及び／又はガラス板１０４から迅速に運び去ってもよく、これにより、分離デブリ１００１がガラスリボン１０３の新品状態の主面２１３ａ、２１３ｂ及びガラス板１０４の新品状態の主面２１４ａ、２１４ｂに接触し、付着する機会を更に一層低減する。いくつかの実施形態では、図２に示すように、第１の長尺状ガスポート１８５ａ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂは、ガラスリボン１０３がガラス成形機１４０を出る下部開口部１８３の近辺など、ガラス成形機１４０の近傍に配置されてもよい。第１の長尺状ガスポート１８５ａ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂは、例えば、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体に沿って又は更にガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体を超えて、それぞれ第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂを分配するように方向付けられ得る。いくつかの実施形態では、第１の長尺状ガスポート１８５ａ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂは、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体未満に沿ってそれぞれ第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂを分配するように方向付けられ得る。加えて、いくつかの実施形態では、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂはガラスリボン１０３を完全に取り囲むことができ、いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３を環境デブリ１００２による汚染から隔離することができる。第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂは、従来の表面コーティング及び保護剤をガラスリボン１０３に通常適用することができない比較的高温を含め、ガラスリボン１０３の温度を問わず、ガラスリボン１０３の隔離のために用いることができる。例えば、いくつかの従来の表面コーティング及び保護剤はガラスリボン１０３の温度が２００℃以下、１５０℃以下、又は１００℃以下の場合に好適であり得る一方、本出願の第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂは、ガラスリボン１０３が１００℃超、１５０℃超、２００℃超、３００℃超、４００℃超、５００℃超の温度、又はガラスリボン１０３の任意の他の温度を含む場合、ガラスリボン１０３の隔離のために用いることができる。第１の長尺状ガスポート１８５ａ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂは、環境デブリ１００２の侵入を阻止又は更に防止し得るガスの連続的で均一なカーテンを形成するために、ガスが分配され得る１つの長尺状のノズル、ポート、ジェット等又はガスが分配され得る複数のノズル、ポート、ジェット等を含み得る。いくつかの実施形態では、第１の長尺状ガスポート１８５ａ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂのそれぞれは、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂをそれぞれ分配するように方向付けられた、連続的な長尺状のスロット及び複数の長尺状のスロットの任意の１つ以上を含み得る。
いくつかの実施形態では（例えば、図１１の代替的実施形態を示す図１３に示すように）、第１の長尺状ガスポート１８５ａ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂは、また、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄをそれぞれ分配するように方向付けられ得る。第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄは、いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体に沿って又は更にガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体を超えて延び得る。いくつかの実施形態では、第１の長尺状ガスポート１８５ａ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂは、また、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体未満に沿って延び得る第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄをそれぞれ分配するように方向付けられ得る。加えて、いくつかの実施形態では、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄは、ガラスリボン１０３を完全に取り囲むことができ、環境デブリ１００２及び分離デブリ１００１の少なくとも１つによる汚染からガラスリボン１０３を隔離することができる。いくつかの実施形態では、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄは、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂと同一の、類似の、又は異なる特徴を含み得る。例えば、いくつかの実施形態では、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄは、従来の表面コーティング及び保護剤を、ガラスリボン１０３に通常適用することができない比較的高温（例えば、１００℃超、１５０℃超、２００℃超、３００℃超、４００℃超、５００℃超、又はガラスリボン１０３の任意の他の温度）を含むガラスリボン１０３の温度を問わず、ガラスリボン１０３の隔離のために用いることができる。第１の長尺状ガスポート１８５ａ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂは、１つ以上の環境デブリ１００２の侵入を阻止又は更に防止し得る連続的で均一なガスカーテンを形成するために、ガスが分配され得る１つの長尺状のノズル、ポート、ジェット等、又はガスが分配され得る複数のノズル、ポート、ジェット等を含み得る。いくつかの実施形態では、第１の長尺状ガスポート１８５ａ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂのそれぞれは、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、並びに第２の外部ガスカーテン１８７ｂ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄをそれぞれ分配するように方向付けられた連続的な長尺状のスロット及び複数の長尺状のスロットの任意の１つ以上を含み得る。
図１、図１０、図１１、及び図１３に更に示されるように、ガラス加工装置１００は、ガラスセパレータ１４９の下流側に配置され（例えば、図２に示される延伸方向１７７に沿って）、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂ中に取り込まれたデブリを受け入れるように方向付けられた真空ポート１０１１（例えば、長尺状真空ポート）を含み得る。いくつかの実施形態では、真空ポート１０１１は、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄ中に取り込まれたデブリを受け入れるように方向付けられ得る。真空源１０１３は、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの任意の１つ以上に取り込まれたデブリ（例えば、分離デブリ１００１、環境デブリ１００２）を真空ポート１０１１に引くことができる。真空源１０１３は、送風機、真空チャンバ、ポンプ、ファン、又は真空ポート１０１１において高圧（例えば、負圧、吸引）を生成するための他の適切な機構を含み得る。
示されるように、第１の外部ガスカーテン１８７ａは、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａから離間されている第１の外部上流側部分１８８ａと、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに向かって内側に集束し、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる第１の外部下流側部分１８９ａとを含み得る。同様に、第２の外部ガスカーテン１８７ｂは、ガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂから離間されている第２の外部上流側部分１８８ｂと、ガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに向かって内側に集束し、ガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる第２の外部下流側部分１８９ｂとを含み得る。示されるように、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部上流側部分１８８ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部上流側部分１８８ｂは延伸平面１８１に平行であり得る。更に示されるように、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂは、延伸平面１８１に対して対称に配置され得ると共に、延伸平面１８１に対する共通の高さにおいてガラスリボン１０３に当たることができる。延伸平面１８１に対する第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの対称な配置により、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂにより、ガラスリボン１０３に対する等しく且つ反対の力の印加を行うことができる。有利には、ガラスリボン１０３の対向する主面（例えば、第１の主面２１３ａ、第２の主面２１３ｂ）に対する等しく且つ反対の力の印加により、外力からガラスリボン１０３中に誘発される応力を最小限にすることができると共に、ガラスリボン１０３を延伸平面１８１に沿って垂直方向に維持することもでき、いくつかの実施形態では、デブリ（例えば、分離デブリ１００１、環境デブリ１００２）がガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａ及びガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに接触する可能性を低下させるため、デブリは、少なくとも部分的に重力によりガラスリボン１０３から離れて下方に移動してもよい。示されるように、ガラスリボン１０３は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部上流側部分１８８ａと第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部上流側部分１８８ｂとの間に延伸することができ、その後、ガラスリボン１０３は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａと第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂとの間に延伸することができる。
図１３に示すように、いくつかの実施形態では、第１の内部ガスカーテン１８７ｃは、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａと第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部上流側部分１８８ａとの間に、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａから離間されている第１の内部上流側部分１８８ｃを含み得る。第１の内部ガスカーテン１８７ｃはまた、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３に当たる場所の上流側にある、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに向かって内側に集束し、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる第１の内部下流側部分１８９ｃを含み得る。同様に、第２の内部ガスカーテン１８７ｄは、ガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂと第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部上流側部分１８８ｂとの間に、ガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂから離間されている第２の内部上流側部分１８８ｄを含み得る。第２の内部ガスカーテン１８７ｄは、また、第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３に当たる場所の上流側にある、ガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに向かって内側に集束し、ガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる第２の内部下流側部分１８９ｄを含み得る。
いくつかの実施形態では、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部上流側部分１８８ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部上流側部分１８８ｄは延伸平面１８１に平行であり得る。更に示されるように、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄは、延伸平面１８１に対して対称に配置され得ると共に、延伸平面１８１に対する共通の高さにおいてガラスリボン１０３に当たることができる。いくつかの実施形態では、延伸平面１８１に対する第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの対称な配置により、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄにより、ガラスリボン１０３に対する等しく且つ反対の力の印加を行うことができる。有利には、ガラスリボン１０３の対向する主面（例えば、第１の主面２１３ａ、第２の主面２１３ｂ）に対する等しく且つ反対の力の印加により、外力からガラスリボン１０３中に誘発される応力を最小限にすることができると共に、ガラスリボン１０３を延伸平面１８１に沿って垂直方向に維持することもでき、いくつかの実施形態では、デブリ（例えば、分離デブリ１００１、環境デブリ１００２）がガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａ及びガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに接触する可能性を低下させるため、デブリは、少なくとも部分的に重力によりガラスリボン１０３から離れて下方に移動してもよい。示されるように、ガラスリボン１０３は第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部上流側部分１８８ｃと第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部上流側部分１８８ｄとの間に延伸することができ、その後、ガラスリボン１０３は、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃと第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄとの間に延伸することができる。
第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの任意の１つ以上を形成するガスは、いくつかの実施形態では、空気、不活性ガス（例えば、窒素又は他の適切なガス）、清浄な乾燥空気、加湿空気等を含み得る。図１０、図１１、及び図１３に示すように、第１の長尺状ガスポート１８５ａ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂから清浄なガスを提供するために、ガスは圧縮ガスタンク、空気圧縮機等などの加圧ガス源１００４との間に配置されたフィルタ１００６によって濾過してもよい。更に、いくつかの実施形態では、ガスの水分含有量を大幅に低減してもよく、これにより、より高水分含有量のガスと比較して、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａ及び第２の主面２１３ｂ、又はガラス板１０４の第１の主面２１４ａ及び第２の主面２１４ｂにデブリが付着する可能性を低下させてもよい。いくつかの実施形態では、ガスの温度は制御されてもよく、例えば、ガスは、必要に応じて応力、圧密化、又はガラスリボン１０３及びガラス板１０４の他の特性の制御を支援するように加熱又は冷却されてもよい。いくつかの実施形態では、ガスの流量はまた、必要に応じて応力、圧密化、又はガラスリボン１０３及びガラス板１０４の他の特性の制御を支援するように温度制御を伴って又は伴わずに制御されてもよい。
いくつかの実施形態では、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの任意の１つ以上は、ガラスリボン１０３の隣接する主面（例えば、第１の主面２１３ａ、第２の主面２１３ｂから）約１ｍｍにあってもよい。このような距離は、ガラスリボン１０３の隣接する主面（例えば、第１の主面２１３ａ、第２の主面２１３ｂ）と、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、並びに第２の外部ガスカーテン１８７ｂ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄがそれぞれ分配される対応する第１の長尺状ガスポート１８５ａ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂとの間の横方向距離と定義され得る。当然、この距離は異なってもよく、特段の記載がない限り、このような開示は本明細書に添付される特許請求の範囲の範囲を限定すべきではない。例えば、ガラスリボン１０３の隣接する主面（例えば、第１の主面２１３ａ、第２の主面２１３ｂ）に対する第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの任意の１つ以上の距離は、約１ｍｍ〜約５０ｍｍ、約５ｍｍ〜４０ｍｍ、約１０ｍｍ〜約３０ｍｍであってもよく、また、ガラスリボン１０３自体に沿った延伸方向１７７において異なってもよい。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａ又はガラス板１０４の第１の主面２１４ａに対する第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第１の内部ガスカーテン１８７ｃの少なくとも１つの距離は、ガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂ又はガラス板１０４の第２の主面２１４ｂに対する第２の外部ガスカーテン１８７ｂ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの少なくとも１つの距離より大きくても小さくてもよい。
いくつかの実施形態では、通常動作下において、ガラス成形機１４０は、ガラス成形機１４０の下部開口部１８３を通じてガスの冷却流１００３を引いてもよい。例えば、ガラスリボン１０３はガラス成形機１４０の内部内のガスを加熱する傾向がある可能性があり、加熱空気は、少なくとも自然対流に基づく差圧により、ガラス成形機１４０の内部内を上昇することができ、それにより、ガラス成形機１４０の下部開口部１８３を通じて引かれるガスの冷却流１００３を生じさせる。いくつかの実施形態では、ガスの冷却流１００３は、第１の長尺状ガスポート１８５ａから第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂから第２の外部ガスカーテン１８７ｂ中に供給されるガスを含み得る。同様に、いくつかの実施形態では、ガスの冷却流１００３は、第１の長尺状ガスポート１８５ａから第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂから第２の内部ガスカーテン１８７ｄ中に供給されるガスを含み得る。したがって、冷却流１００３は、加圧ガス源１００４と、第１の長尺状ガスポート１８５ａ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂとの間に配置されたフィルタ１００６によって濾過された清浄なガスを含み得る。
いくつかの実施形態では、冷却流１００３によってガラス成形機１４０の下部開口部１８３に入るガスは制御することができ、ガラス成形機１４０を妨げる可能性のある任意の汚染物質及び粒子を除去することができる。例えば、いくつかの実施形態では、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄは冷却流１００３の流れを相殺する（例えば、遅延させる）ように流れることができるため、冷却流１００３中に取り込まれるあらゆるデブリ（例えば、分離デブリ１００１、環境デブリ１００２）がガラス成形機１４０の下部開口部１８３に入るのを妨げる。冷却流１００３の流れを相殺することにより、冷却流１００３中に取り込まれたデブリも、例えば、より高速で移動する冷却流１００３中に取り込まれたデブリと比較して、真空部１４８及び真空ポート１０１１の少なくとも１つにより容易に引くことができる。更に、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄを設けることにより、冷却流１００３によってガラス成形機１４０の下部開口部１８３に入るガスを制御することができ、ガラス成形機１４０を妨げる可能性のある任意の汚染物質及び粒子を除去することができる。いくつかの実施形態では、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄはまた、第１の外部ガスカーテン１８７ａと第２の外部ガスカーテン１８７ｂとの間をデブリが再循環することを防ぐことができる。いくつかの実施形態では、再循環するデブリ（例えば、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄが設けられない場合に起こる場合がある）はガラスリボン１０３を汚染する可能性があると共に、ガラス成形機１４０の下部開口部１８３に入る可能性がある。したがって、いくつかの実施形態では、本開示の特徴を用いて、ガラスリボン１０３の新品状態の第１及び第２の主面２１３ａ、２１３ｂを含む、より高品質の特性及び特徴を含み得るガラスリボン１０３を作成することができる。更に、デブリによるガラスリボン１０３の汚染を低減し、防止することにより、後続の、例えば、ガラスリボン１０３からデブリを除去するための清浄化ステップを低減してもよく、より適切に実施してもよく、いくつかの実施形態では完全に排除してもよい。
いくつかの実施形態では、ガラス成形機１４０の下部開口部１８３に引かれる冷却流１００３による第１の外部ガスカーテン１８７ａと第２の外部ガスカーテン１８７ｂとの間の干渉を回避するためにバッフル（例えば、第１のバッフル１００５ａ、第２のバッフル１００５ｂ）が設けられてもよい。いくつかの実施形態では、本開示のバッフルのいずれも、ガラス成形機１４０から離れる方向に下流側に延び得る。いくつかの実施形態では、本開示のバッフルのいずれも、ガラス成形機１４０の完全に外部など、ガラス成形機１４０の少なくとも部分的に外部に配置され得る。更なる例では、本開示のいずれのバッフルの少なくとも一部分は、ガラス成形機１４０内に部分的に延び得る。示されるように、冷却流１００３は、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａと第１のバッフル１００５ａの第１の内部表面１００７ａとの間、及びまたガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂと第２のバッフル１００５ｂの第２の内部表面１００８ａとの間を通過することができる。冷却流１００３は、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの下流側方向の反対側の上流側方向に移動することができる。更に、図１に示すように、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂはガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体に沿って延びることができると共に、示されるように、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体を超えて延びることができる。いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂはガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体未満に沿って延びることができる。
同様に、いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂは、第１の外部ガスカーテン１８７ａと第１の内部ガスカーテン１８７ｃとの間の干渉、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂと第２の内部ガスカーテン１８７ｄとの間の干渉を回避するために設けられてもよい。いくつかの実施形態では、冷却流１００３は、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａと第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部上流側部分１８８ｃとの間、及びまたガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂと第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部上流側部分１８８ｄとの間に送ることにより、ガラス成形機１４０の下部開口部１８３に引くことができる。冷却流１００３は、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの下流側方向と反対側の上流側方向に移動することができる。
加えて、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂは、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる高さを制御するために、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる高さを制御するために、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部上流側部分１８８ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部上流側部分１８８ｂを延長することができる。同様に、いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂは、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる高さを制御するために、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる高さを制御するために、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部上流側部分１８８ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部上流側部分１８８ｄを延長することができる。
いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａ及び／又は第２のバッフル１００５ｂは、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂそれぞれの高さ「Ｈ」を選択的に調整することができ、これにより更に第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる高さを制御することができると共に、第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる高さを制御することができるように調節可能であり得る。同様に、いくつかの実施形態では、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる高さを制御するために、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる高さを制御するために、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂそれぞれの高さ「Ｈ」を選択的に調整することができる。
図１０、図１１、及び図１３に更に示されるように、第１の長尺状ガスポート１８５ａは、第１の外部ガスカーテン１８７ａを、第１のバッフル１００５ａの第１の下流側縁部１００９ａ上を移動する前に第１のバッフル１００５ａの外部表面（例えば、第１の外部表面１００７ｂ）上を通過するように分配するように方向付けられ得る。同様に、第２の長尺状ガスポート１８５ｂは、第２の外部ガスカーテン１８７ｂを、第２のバッフル１００５ｂの第２の下流側縁部１００９ｂ上を移動する前に第２のバッフル１００５ｂの外部表面（例えば、第２の外部表面１００８ｂ）上を通過するように分配するように方向付けられ得る。示されるように、第１の下流側縁部１００９ａ上を通過した後、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂは集束して、ガラスリボン１０３の対応する第１の主面２１３ａ及び第２の主面２１３ｂに当たり、その後、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａ及び第２の主面２１３ｂに沿って近接して移動し、これにより、分離区間内におけるデブリの取込みを容易にする。第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂ中に取り込まれたデブリは、その後、重力及び真空源１０１３によって真空ポート１０１１に引くことができ、そこで、その後、デブリは廃棄されてもよい。いくつかの実施形態では、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂ中に取り込まれたデブリは、例えば、第１の真空源１４７ａ及び第２の真空源１４７ｂ（図１３に示される）によって真空部１４８（例えば、第１の真空部１４８ａ、第２の真空部１４８ｂ）に引くことができ、そこで、その後、デブリは廃棄されてもよい。いくつかの実施形態では、第１の真空源１４７ａ及び第２の真空源１４７ｂは、送風機、真空チャンバ、ポンプ、ファン、又は第１の真空源１４７ａ及び第２の真空源１４７ｂにおいて高圧（例えば、負圧、吸引）を生成するための他の適切な機構を含み得る。
図１３に示されるように、いくつかの実施形態では、第１の長尺状ガスポート１８５ａは、第１の内部ガスカーテン１８７ｃを、第１のバッフル１００５ａの内部表面（例えば、第１の内部表面１００７ａ）上を通過するように分配するように方向付けられ得る。いくつかの実施形態では、第１の内部ガスカーテン１８７ｃは、第１のバッフル１００５ａの第１の下流側縁部１００９ａ上を移動する前に第１のバッフル１００５ａの第１の内部表面１００７ａ上を通過することができる。同様に、第２の長尺状ガスポート１８５ｂは、第２の内部ガスカーテン１８７ｄを、第２のバッフル１００５ｂの内部表面（例えば、第２の内部表面１００８ａ）上を通過するように分配するように方向付けられ得る。いくつかの実施形態では、第２の内部ガスカーテン１８７ｄは、第２のバッフル１００５ｂの第２の下流側縁部１００９ｂ上を移動する前に第２のバッフル１００５ｂの第２の内部表面１００８ａ上を通過することができる。示されるように、第１の下流側縁部１００９ａ上を通過した後、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄは集束して、ガラスリボン１０３の対応する第１の主面２１３ａ及び第２の主面２１３ｂに当たり、その後、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａ及び第２の主面２１３ｂに沿って近接して移動し、これにより、分離区間内におけるデブリの取込みを容易にすることができる。第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄ中に取り込まれたデブリは、その後、重力及び真空源１０１３によって真空ポート１０１１に引くことができ、そこで、その後、デブリは廃棄されてもよい。いくつかの実施形態では、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄ中に取り込まれたデブリは、第１の真空源１４７ａ及び第２の真空源１４７ｂによって真空部１４８（例えば、第１の真空部１４８ａ、第２の真空部１４８ｂ）に引くことができ、そこで、その後、デブリは廃棄されてもよい。いくつかの実施形態では、示されるように、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄ中に取り込まれたデブリは、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａ又はガラス板１０４の第１の主面２１４ａに当たる場所の上流側、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂ又はガラス板１０４の第２の主面２１４ｂに当たる場所の上流側の少なくとも１つにおいて、真空部１４８（例えば、第１の真空部１４８ａ、第２の真空部１４８ｂ）に引くことができる。
いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂそれぞれの内部表面（例えば、第１の内部表面１００７ａ、第２の内部表面１００８ａ）は、ガラスリボン１０３の各主面２１３ａ、２１３ｂから、ガラス成形機１４０の下部開口部１８３に入る冷却流１００３の発生を可能にするのに十分な距離「ｂ」だけ離間され得る。いくつかの実施形態では、距離「ｂ」は、約２センチメートル（ｃｍ）〜約２００センチメートル、約１０ｃｍ〜約１５０ｃｍ、約２５ｃｍ〜約１２５ｃｍ、約６０ｃｍ〜約６５ｃｍ、約６３．５ｃｍ、及びこれらの間の全ての部分範囲であり得る。ガラスリボン１０３から第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂのこのような距離「ｂ」は、ガラスリボン１０３の安定性を妨げず、ガラスリボン１０３に沿ったガラスセパレータ１４９の任意の動きのための十分な間隙を付与するように選択され得る。同様に、いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂそれぞれの内部表面は、ガラスリボン１０３の各主面２１３ａ、２１３ｂから、ガラス成形機１４０の下部開口部１８３に入る冷却流１００３の発生を可能にし、ガラスリボン１０３の安定性を妨げず、ガラスリボン１０３に沿ったガラスセパレータ１４９の任意の動きのための十分な間隙を付与するように、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄが各々の第１のバッフル１００５ａとガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａとの間、及び第２のバッフル１００５ｂとガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂとの間を移動するための空間を付与するのに十分な距離「ｂ」だけ離間され得る。
いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂは、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂそれぞれの高さ「Ｈ」が、約０メートル（ｍ）〜約２．５メートル、約０メートル〜約０．９メートル、約２センチメートル（ｃｍ）〜約２５０センチメートル、約２センチメートル〜約２００センチメートル、約１０ｃｍ〜約１５０ｃｍ、約２５ｃｍ〜約１２５ｃｍ、及びこれらの間の全ての部分範囲の範囲内の任意の高さに固定され得るように配置することができる。いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂは、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂそれぞれの高さ「Ｈ」を、約０メートル（ｍ）〜２．５メートル、約０メートル〜約０．９メートル、約２センチメートル（ｃｍ）〜約２５０センチメートル、約２センチメートル〜約２００センチメートル、約１０ｃｍ〜約１５０ｃｍ、約２５ｃｍ〜約１２５ｃｍ、及びこれらの間の全ての部分範囲に選択的に調整することができるように選択的に調整することができる。いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂの調整可能な高さは、ガラスセパレータ１４９が、ガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離するために、延伸平面１８１上のある高さに対して延伸方向１７７に沿って移動する際のガラスセパレータ１４９の位置に対応し得る。例えば、いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９が延伸方向１７７に沿って上流側位置から下流側位置に移動する際、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂは、バッフル１００５ａ、１００５ｂの最小高さを画定する後退位置から、バッフル１００５ａ、１００５ｂの最大高さを画定する伸張位置へ延びることができる。同様に、いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９が延伸方向１７７に沿って下流側位置から上流側位置に移動する際、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂは、バッフル１００５ａ、１００５ｂの最大高さを画定する伸張位置から、バッフル１００５ａ、１００５ｂの最小高さを画定する後退位置に後退することができる。
いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａの高さ「Ｈ」は、ガラス成形機１４０の底部から第１のバッフル１００５ａの第１の下流側縁部１００９ａまでとすることができ、第２のバッフル１００５ｂの高さ「Ｈ」は、ガラス成形機１４０の底部から第２のバッフル１００５ｂの第２の下流側縁部１００９ｂまでとすることができる。いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａの高さ「Ｈ」は、第１の長尺状ガスポート１８５ａから（例えば、第１の長尺状ガスポート１８５ａの出口、この出口から第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第１の内部ガスカーテン１８７ｃを分配することができる）第１のバッフル１００５ａの第１の下流側縁部１００９ａまでの垂直距離と定義することができ、第２のバッフル１００５ｂの高さ「Ｈ」は、第２の長尺状ガスポート１８５ｂから（例えば、第２の長尺状ガスポート１８５ｂの出口、この出口から第２の外部ガスカーテン１８７ｂ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄを分配することができる）第２のバッフル１００５ｂの第２の下流側縁部１００９ｂまでの垂直距離と定義することができる。
図１０、図１１、及び図１３に示すように、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂは対として設けることができ、各バッフルの内部表面は、対応する面しているガラスリボン１０３の主面２１３ａ、２１３ｂに面しており、各バッフルの外部表面はガラスリボン１０３とは逆に面している。例えば、図１２に示すように、第１のバッフル１００５ａの第１の内部表面１００７ａは延伸平面１８１に面して配置され得る。同様に、第２のバッフル１００５ｂの第２の内部表面１００８ａは延伸平面１８１に面して、及び第１のバッフル１００５ａの第１の内部表面１００７ａに面して配置され得る。第１の長尺状ガスポート１８５ａは、第１の外部ガスカーテン１８７ａを、第１のバッフル１００５ａの第１の下流側縁部１００９ａ上を通過する前に第１のバッフル１００５ａの第１の外部表面１００７ｂ上を通過するように供給するように方向付けられ得る。第２の長尺状ガスポート１８５ｂは、第２の外部ガスカーテン１８７ｂを、第２のバッフル１００５ｂの第２の下流側縁部１００９ｂ上を通過する前に第２のバッフル１００５ｂの第２の外部表面１００８ｂ上を通過するように供給するように方向付けられ得る。
いくつかの実施形態では、例えば、図１４に示すように、第１の長尺状ガスポート１８５ａが、第１の外部ガスカーテン１８７ａを、第１のバッフル１００５ａの第１の下流側縁部１００９ａ上を通過する前に第１のバッフル１００５ａの第１の外部表面１００７ｂ上を通過するよう供給するように、及び第１の内部ガスカーテン１８７ｃを、第１のバッフル１００５ａの第１の内部表面１００７ａ上を通過するように供給するように方向付けられ得るように、第１のバッフル１００５ａは第１の長尺状ガスポート１８５ａを分割する（例えば、分断する、仕切る）ように配置され得る。同様に、第２の長尺状ガスポート１８５ｂが、第２の外部ガスカーテン１８７ｂを、第２のバッフル１００５ｂの第２の下流側縁部１００９ｂ上を通過する前に第２のバッフル１００５ｂの第２の外部表面１００８ｂ上を通過するよう供給するように、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄを、第２のバッフル１００５ｂの第２の内部表面１００８ａ上を通過するように供給するように方向付けられ得るように、第２のバッフル１００５ｂは第２の長尺状ガスポート１８５ｂを分割する（例えば、分断する、仕切る）ように配置され得る。
いくつかの実施形態では、第１の長尺状ガスポート１８５ａ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂは、各第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂによって分割され得る１つの長尺状のノズル、ポート、ジェット等を含み得、環境デブリ１００２の侵入を阻止又は更に防止し得る連続的で均一なガスカーテンを形成するために、１つの長尺状のノズル、ポート、ジェット等から、各々の第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂのそれぞれの両側を通過するガスが分配され得る。いくつかの実施形態では、第１の長尺状ガスポート１８５ａ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂは、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂの両側に配置され得る複数のノズル、ポート、ジェット等を含み得、環境デブリ１００２の侵入を阻止又は更に防止し得る連続的で均一なガスカーテンを形成するために、複数のノズル、ポート、ジェット等から、ガスが分配され得る。いくつかの実施形態では、第１の長尺状ガスポート１８５ａ及び第２の長尺状ガスポート１８５ｂのそれぞれは、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、並びに第２の外部ガスカーテン１８７ｂ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄをそれぞれ分配するように方向付けられた連続的な長尺状のスロット及び複数の長尺状のスロットの任意の１つ以上を含み得る。
第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂは延伸平面１８１に平行であり得ると共に、いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体に沿って延び得る。同様に、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの任意の１つ以上は、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体に沿って延び得る。ガラスリボン１０３は、第１のバッフル１００５ａの第１の内部表面１００７ａと第２のバッフル１００５ｂの第２の内部表面１００８ａとの間に延伸することができる。いくつかの実施形態では、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂが延伸平面１８１に対して対称に配置され、延伸平面１８１に対する共通の高さにおいてガラスリボン１０３に当たり得るように、第１のバッフル１００５ａの第１の下流側縁部１００９ａ及び第２のバッフル１００５ｂの第２の下流側縁部１００９ｂは、延伸平面１８１に対する共通の上流側高さにおいて延伸平面１８１に対して対称に配置され得る。
示されるように、いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂは、ガラス成形機１４０の延伸平面１８１に平行であってもよく、且つガラスリボン１０３に平行（例えば、垂直に対してゼロ度の角度に方向付けられている。垂直は、延伸平面１８１に平行な方向と定義される）であってもよいが、いくつかの実施形態では他の方向付けも可能である。例えば、いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂは、延伸平面１８１に向かって内側に約０°〜約４５°、延伸平面１８１に向かって内側に約０°〜約３０°、延伸平面１８１に向かって内側に約０°〜約１５°、延伸平面１８１に向かって内側に０°〜約５°、並びにこれらの間の全角度及び部分角度の範囲内の垂直に対する角度で、固定された方向又は選択的に調整可能な方向に方向付けられていてもよい。バッフルが、延伸平面１８１に向かって内側に角度を付けられ過ぎている（例えば、垂直に対して延伸平面１８１に向かって内側に４５°を超える角度）場合、ガスカーテン（例えば、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの任意の１つ以上）は迅速に集束し過ぎて、所望されるより上の高さでガラスリボン１０３に当たる可能性がある。逆に、いくつかの実施形態では、バッフルが、延伸平面１８１から外側に離れる方に角度を付けられ過ぎている（例えば、垂直に対して延伸平面１８１から外側に離れる方に５°を超える角度）場合、ガスカーテン（例えば、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの任意の１つ以上）は、集束が困難な場合があるか、又は全く集束しない場合があり、したがってガラスリボン１０３に当たらない可能性があるため、ガラスリボン１０３を環境デブリ１００２及び分離デブリ１００１の少なくとも１つから隔離する適切なガスカーテンの生成を妨げる。
いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂそれぞれは、印加される力に曝されたときに形状を維持する剛性材料、又は印加される力に曝されたときにその形状がシフトし、変化し得る可撓性材料から製造してもよい。例えば、いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂが製造され得る剛性材料は、動作中に既定の形状を維持する構造体を提供することができる。逆に、いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂが製造され得る可撓性材料は、動作中に形状又は複数の形状を画定するように調整する構造体を提供することができる。
いくつかの実施形態では、第１のバッフル１００５ａ及び第２のバッフル１００５ｂそれぞれは、少なくとも２つの部分を有する区分化されたバッフルとして設けられてもよく、少なくとも２つの部分のそれぞれは、垂直に対して異なる角度に方向付けられている。例えば、いくつかの実施形態では、区分化されたバッフルは、垂直からゼロ度に方向付けられた区分化されたバッフルの上部分と、延伸平面１８１に向かって内側に約０°〜約４５°、延伸平面１８１に向かって内側に約０°〜約３０°、延伸平面１８１に向かって内側に約０°〜約１５°、延伸平面１８１に向かって内側に０°〜約５°、並びにこれらの間の全角度及び部分角度の範囲内の垂直に対する角度で、固定された又は選択的に調整可能な方向に方向付けられた区分化されたバッフルの上部分の下流側にある、区分化されたバッフルの下部分とを含み得る。上記のように、区分化されたバッフルの下部分が、延伸平面１８１に向かって内側に角度を付けられ過ぎている（例えば、垂直に対して延伸平面１８１に向かって内側に４５°を超える角度）場合、ガスカーテン（例えば、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの任意の１つ以上）は迅速に集束し過ぎて、所望されるより上の高さでガラスリボン１０３に当たる可能性がある。逆に、いくつかの実施形態では、区分化されたバッフルの下部分が延伸平面１８１から外側に離れる方に角度を付けられ過ぎている（例えば、垂直に対して延伸平面１８１から外側に離れる方に５°を超える角度）場合、ガスカーテン（例えば、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの任意の１つ以上）は集束が困難な場合があるか、又は全く集束しない場合があり、したがってガラスリボン１０３に当たらない可能性があるため、ガラスリボン１０３を環境デブリ１００２及び分離デブリ１００１の少なくとも１つから隔離する適切なガスカーテンの生成を妨げる。
いくつかの実施形態では、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる高さを制御するために、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる高さを制御するために、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの速度を制御（例えば、増加、減少）して、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部上流側部分１８８ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部上流側部分１８８ｂを調節する（例えば、伸長する、短縮する）ことができる。同様に、いくつかの実施形態では、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる高さを制御するために、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる高さを制御するために、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの速度を制御（例えば、増加、減少）して、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部上流側部分１８８ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部上流側部分１８８ｄを調節する（例えば、伸長する、短縮する）ことができる。いくつかの実施形態では、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの任意の１つ以上が形成されるガスの温度は制御し、調節し、維持することができる。
いくつかの実施形態では、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの任意の１つ以上の流量（例えば、単位時間当たりのガスの体積）を制御し、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの任意の１つ以上間で同一の、類似の、又は異なる流量を提供することはもとより、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの任意の１つ以上の流量を一定に維持し、調整することができる。例えば、いくつかの実施形態では、第１の内部ガスカーテン１８７ｃは、第１の長尺状ガスポート１８５ａから供給されるガスの流量の０％（例えば、流れがない）〜約４０％、例えば、約０％〜約２０％の範囲内の流量を含み得る。したがって、いくつかの実施形態では、第１の外部ガスカーテン１８７ａは、第１の長尺状ガスポート１８５ａから供給されるガスの流量の１００％〜約６０％、例えば、約１００％〜約８０％の範囲内の対応する流量を含み得る。同様に、いくつかの実施形態では、第２の内部ガスカーテン１８７ｄは、第２の長尺状ガスポート１８５ｂから供給されるガスの流量の０％（例えば、流れがない）〜約４０％、例えば、約０％〜約２０％の範囲内の流量を含み得る。したがって、いくつかの実施形態では、第２の外部ガスカーテン１８７ｂは、第２の長尺状ガスポート１８５ｂから供給されるガスの流量の１００％〜約６０％、例えば、約１００％〜約８０％の範囲内の対応する流量を含み得る。いくつかの実施形態では、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの任意の１つ以上の流量は、本明細書中に明示的に開示されない流量を含む他の流量を本開示の範囲から逸脱することなく含んでもよいことを理解すべきである。
いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３を環境デブリ１００２から隔離できる制御された環境を生成するために、動作中、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂのみを提供してもよい。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３を環境デブリ１００２及び分離デブリ１００１の少なくとも１つから隔離できる制御された環境を生成するために、動作中、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄを提供してもよい。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３を環境デブリ１００２及び分離デブリ１００１の少なくとも１つから隔離できる制御された環境を選択的に生成するために、動作中、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの任意の１つ以上を選択的（例えば、連続的、断続的、定期的等の少なくとも１つ）に提供してもよい。
図１０、図１１、及び図１３に示すように、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂは、横断分離経路１５１に沿って、対応するガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａ及びガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに沿って移動し得る。したがって、分離デブリ１００１は第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂ中に取り込まれ、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａ及び第２の主面２１４ｂに付着するか又はそうでなければ接触する時間が比較的ない状態でガラス板１０４を迅速に通過することができる。更に、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂは、環境デブリ１００２が侵入しないガスバリア（例えば、効果的なクリーンルーム）を生成することができる。加えて、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂは同様に、環境デブリ１００２及び分離デブリ１００１を取り込むことができ、このデブリタイプは両方とも、その後、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａ及び第２の主面２１４ｂに付着するか又はそうでなければ接触する時間が比較的ない状態でガラス板１０４を迅速に通過することができ、真空ポート１０１１内に堆積され得る。更に、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂはガラスリボン１０３を周囲空気から隔離することができると共に、横断分離経路１５１に沿ってガラスリボン１０３の高温を維持することができる。これは、ガラスリボン１０３が比較的高温で供給される場合により容易になり得る一部の分離プロセスの際に有利となり得る。
図１３に示すように、いくつかの実施形態では、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄは、横断分離経路１５１に沿って、対応するガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａ及びガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに沿って移動し得る。したがって、分離デブリ１００１は第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄ中に取り込まれ、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａ及び第２の主面２１４ｂに付着するか又はそうでなければ接触する時間が比較的ない状態でガラス板１０４を迅速に通過することができる。更に、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄは、環境デブリ１００２が侵入しないガスバリア（例えば、効果的なクリーンルーム）を生成することができる。加えて、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄは同様に、環境デブリ１００２及び分離デブリ１００１を取り込むことができ、このデブリタイプは両方とも、その後、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａ及び第２の主面２１４ｂに付着するか又はそうでなければ接触する時間が比較的ない状態でガラス板１０４を迅速に通過することができ、真空ポート１０１１内に堆積され得る。更に、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄはガラスリボン１０３を周囲空気から隔離することができると共に、横断分離経路１５１に沿ってガラスリボン１０３の高温を維持することができる。これは、ガラスリボン１０３が比較的高温で供給される場合により容易になり得る一部の分離プロセスの際に有利となり得る。
加えて、いくつかの実施形態では、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄは同様に、環境デブリ１００２及び分離デブリ１００１を取り込むことができ、このデブリタイプは両方とも、その後、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａ及び第２の主面２１３ｂに付着するか又はそうでなければ接触する時間が比較的ない状態でガラスリボン１０３を迅速に通過することができ、その後、対応する第１の真空部１４８ａ及び第２の真空部１４８ｂ内に堆積され得る。例えば、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部上流側部分１８８ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部上流側部分１８８ｄは各々の第１の内部上流側経路及び第２の内部上流側経路に沿って移動し、ガラスリボン１０３の両主面上にガラスセパレータ１４９を通過させることができる。対応する第１の真空部１４８ａ及び第２の真空部１４８ｂは、その後、各々の第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄを第１の真空部１４８ａ及び第２の真空部１４８ｂに引くことができる。いくつかの実施形態では、第１の真空部１４８ａ及び第２の真空部１４８ｂはまた、例えば、少なくとも部分的に自然対流に基づき上流側方向に移動し得る第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂから第１の真空部１４８ａ及び第２の真空部１４８ｂにガスの成分を引き、プロセスにおいて分離デブリ１００１及び環境デブリ１００２の少なくとも１つを取り込み、ガラスリボン１０３の汚染を防止することができる。
図１０に示すように、いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の下流側（例えば、図２に示される延伸方向１７７に沿って）に配置され得る。いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は、第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の下流側に配置され得る。更に、いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の下流側、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の下流側に配置され得る。第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の下流側、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の下流側の少なくとも一方にガラスセパレータ１４９を配置することにより、並びに第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の下流側、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の下流側の少なくとも一方でガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離することにより、分離デブリ１００１は第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの少なくとも１つに即座に取り込まれ得る。第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの少なくとも１つに取り込まれる分離デブリ１００１は、その後、真空ポート１０１１に適用される負圧によって真空ポート１０１１に引くことができる。第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの少なくとも１つに分離デブリ１００１を取り込み、その後、分離デブリ１００１を真空ポート１０１１に引くことにより、分離デブリ１００１はガラスリボン１０３の周囲の領域から除去することができ、ガラスリボン１０３の主面２１３ａ、２１３ｂ及びガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂへの接触及び付着を妨げることができる。
図１１に示すように、いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の上流側（例えば、図２に示される延伸方向１７７に沿って）に配置され得る。いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は、第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の上流側に配置され得る。更に、いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の上流側、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の上流側に配置され得る。第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の上流側、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の上流側の少なくとも一方にガラスセパレータ１４９を配置することにより、並びに第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の上流側、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の上流側の少なくとも一方でガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離することにより、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４は第１の外部ガスカーテン１８７ａと第２の外部ガスカーテン１８７ｂとの間で側方に画定された領域１２１２内においてガラスリボン１０３の主面２１３ａ、２１３ｂ及びガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂにそうでなければ接触し、付着する可能性のある環境デブリ１００２から隔離され得る。示されるように、いくつかの実施形態では、領域１２１２は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の上流側、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の上流側の少なくとも一方であり得る。いくつかの実施形態では、真空部１４８の動作により、領域１２１２内で生成された分離デブリ１００１を領域１２１２から除去することができる。加えて、分離デブリ１００１は重力によって下方に移動することができ、第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの少なくとも１つに取り込まれ得る。第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの少なくとも１つに取り込まれる分離デブリ１００１は、その後、真空ポート１０１１に適用される負圧によって真空ポート１０１１に引くことができる。
図１３に示すように、いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の下流側（例えば、図２に示される延伸方向１７７に沿って）に配置され得る。いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は、第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の下流側に配置され得る。いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の下流側、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の下流側に配置され得る。第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の下流側、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の下流側の少なくとも一方にガラスセパレータ１４９を配置することにより、並びに第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の下流側、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の下流側の少なくとも一方でガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離することにより、分離デブリ１００１は、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの少なくとも１つに即座に取り込まれ得る。第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの少なくとも１つに取り込まれる分離デブリ１００１は、その後、真空ポート１０１１（真空ポート１０１１に適用される負圧によって）及び第１の真空部１４８ａ及び第２の真空部１４８ｂの少なくとも１つに引くことができる。第１の内部ガスカーテン１８７ｃ及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの少なくとも１つに分離デブリ１００１を取り込み、その後、分離デブリ１００１を真空ポート１０１１及び第１の真空部１４８ａ及び第２の真空部１４８ｂの少なくとも１つに引くことにより、分離デブリ１００１をガラスリボン１０３の周囲の領域から除去することができ、ガラスリボン１０３の主面２１３ａ、２１３ｂ及びガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂへの接触及び付着を妨げることができる。
図１３に示すように、いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の上流側（例えば、図２に示される延伸方向１７７に沿って）、及び第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の下流側に配置され得る。いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は、第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の上流側、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の下流側に配置され得る。いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の上流側、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の上流側、及び第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の下流側、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の下流側に配置され得る。
いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４は、第１の外部ガスカーテン１８７ａと第２の外部ガスカーテン１８７ｂとの間で側方に画定された領域１２１２内においてガラスリボン１０３の主面２１３ａ、２１３ｂ及びガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂにそうでなければ接触し、付着する可能性のある環境デブリ１００２から隔離され得る。例えば、いくつかの実施形態では、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の上流側、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の上流側にガラスセパレータ１４９を配置することにより、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４は領域１２１２内において隔離され得る。加えて、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の下流側、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の下流側にガラスセパレータ１４９を配置することにより、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４は領域１２１２内において隔離され得る。したがって、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の上流側、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の上流側、及び第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の下流側、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の下流側でガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離することにより、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４は、環境デブリ１００２及び分離デブリ１００１の少なくとも１つと接触しないように、領域１２１２内において隔離され得る。
同様に、ガラスリボン１０３及びガラス板１０４は、第１の内部ガスカーテン１８７ｃと第２の内部ガスカーテン１８７ｄとの間で側方に画定された領域１２１２内においてガラスリボン１０３の主面２１３ａ、２１３ｂ及びガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂにそうでなければ接触し、付着する可能性のある環境デブリ１００２及び分離デブリ１００１の少なくとも１つから隔離され得る。示されるように、いくつかの実施形態では、領域１２１２は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の上流側、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の上流側の少なくとも一方であり得る。いくつかの実施形態では、領域１２１２は、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の上流側、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の上流側の少なくとも一方であり得る。
したがって、いくつかの実施形態では、ガラスセパレータ１４９は、第１の外部ガスカーテン１８７ａと第１の内部ガスカーテン１８７ｃとの間に配置することができ、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに面しており、ガラスセパレータ１４９は第２の外部ガスカーテン１８７ｂと第２の内部ガスカーテン１８７ｄとの間に配置することができ、ガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに面している。第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄは、したがって、ガラスセパレータ１４９を閉じ込め、分離デブリ１００１及び環境デブリ１００２の少なくとも１つがガラスリボン１０３の主面２１３ａ、２１３ｂに接触し、付着しないようにガラスリボン１０３を隔離することができる。いくつかの実施形態では、例えば、真空部１４８（例えば、第１の真空部１４８ａ、第２の真空部１４８ｂ）の動作により、領域１２１２内で生成された分離デブリ１００１を領域１２１２から除去することができる。加えて、分離デブリ１００１は重力によって下方に移動することができ、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの少なくとも１つに取り込まれ得る。第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの少なくとも１つに取り込まれる分離デブリ１００１は、その後、真空ポート１０１１に適用される負圧によって真空ポート１０１１に引くことができる。
更に示されるように、ガラス加工装置１００は任意のガスディスペンサ１２００を含み得、ガスディスペンサ１２００は、延伸平面１８１に沿って延伸方向１７７にガス流１２０５を供給するように方向付けられたガス出口１２０２を含む。ガス出口１２０２は、ガラス成形機１４０の下流側（例えば、図２に示される延伸方向１７７に沿って）に、及びガラスセパレータ１４９の上流側（例えば、延伸方向１７７に沿って）に配置され得る。いくつかの実施形態では、ガス出口１２０２は、ガス流１２０５を、延伸平面１８１に沿って、延伸平面１８１の全幅に沿って（例えば、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体に沿って）供給するように方向付けられ得る。いくつかの実施形態では、ガス出口１２０２は、ガス流１２０５を、延伸平面１８１を取り囲むように（例えば、ガラスリボン１０３を取り囲むように）延伸平面１８１に沿って供給するように方向付けられ得る。図１２及び図１４に示すように、ガスディスペンサ１２００は延伸平面１８１を取り囲む（例えば、ガラスリボン１０３を取り囲む）ことができ、ガスディスペンサ１２００のガス出口１２０２は、第１のバッフル１００５ａと第２のバッフル１００５ｂとの間で側方に配置され得る。第１の外部ガスカーテン１８７ａ及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂに供給されるガスと同様に、ガスディスペンサ１２００に供給されるガスを濾過して、あらゆる汚染物質を除去することができる。
ガスディスペンサ１２００は、領域１２１２から第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの任意の１つ以上に侵入し得る分離デブリ１００１及び任意の環境デブリ１００２を含むデブリを除去することができる。示されるように、ガスディスペンサ１２００は、ガス流１２０５を、延伸平面１８１に沿って延伸方向１７７に供給することができる。いくつかの実施形態では、ガス流１２０５は、ガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体に沿って延びることができ、いくつかの実施形態では、ガス流１２０５は延伸平面１８１を取り囲み得ると共に、ガラスリボン１０３を取り囲み得る。ガスディスペンサ１２００のガス出口１２０２は、個々に又は組合せにおいて、ガス流１２０５を延伸平面１８１に沿って延伸方向１７７に供給するように方向付けられ得る任意の１つ以上のノズル、ポート、ジェット等を含み得ることを理解すべきである。いくつかの実施形態では、ガス出口１２０２は、ガス流１２０５を延伸平面１８１に沿って延伸方向１７７に供給するように方向付けられた連続的な長尺状のスロット及び複数の長尺状のスロットの任意の１つ以上を含み得る。いくつかの実施形態では、ガスディスペンサは、領域１２１２内に空気を再循環させることなく領域１２１２があらゆる微粒子を含まないように洗浄することができる。更に、ガスディスペンサ１２００は、例えば、ガラス製造プロセスの開始時、ガラス製造プロセスの全体を通して定期的に、及びガラス製造プロセスの終了時に領域１２１２からデブリを除去するように選択的に動作され得る。
図１５に矢印１３０１によって示されるように、ガラス加工装置１００は、また、洗浄部１３０３を含み得る。洗浄部１３０３は、図１を参照して上述したように、ガラス板１０４がガラスリボン１０３から分離された後及び／又は外側部分１５９がガラス板１０４の中央部分１６１から分離された後比較的迅速にガラス板１０４を受け取ることができる。いくつかの実施形態では、ガラス板１０４は、分離ステーション（例えば、ガラスセパレータ１４９）と洗浄ステーション（例えば、洗浄部１３０３）との間を迅速に移動することができる。上記のように、洗浄部１３０３により受け取られるガラス板１０４をガラスセパレータ１４９から比較的迅速に移動させることで、デブリ（例えば、ガラス破片、粒子等）が新品状態の主面（例えば、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａ及びガラス板１０４の第２の主面２１４ｂ）に付着しないようにすることができる。実際、分離ステップ中にガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂに付いたデブリは、デブリがガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂとの強固な結合を形成する時間を有する前に迅速に除去することができる。いくつかの実施形態では、ガラス板１０４の比較的迅速な移動（図１及び図１５に移動方向１３２１で示される）は、ガラス板１０４が分離ステーションを出たときからガラス板１０４が洗浄部１３０３によって受け取られ始めるまで約１秒〜約２０秒、例えば、約１秒〜約１５秒の経過時間を含み得る。
洗浄部１３０３はハウジング１３０５を含み得る。ハウジング１３０５は第１の液体ディスペンサ１３０７（例えば、複数の第１の液体ディスペンサ１３０７）を有し、第１の液体ディスペンサ１３０７は、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂに対して液体を供給するように方向付けられた第１の液体ノズル１３０９（例えば、複数の第１の液体ノズル１３０９）を含む。図示しないが、例示的な洗浄部１３０３は、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａ及びガラス板１０４の第２の主面２１４ｂの両方に対して液体を供給することができる。したがって、片面供給の描写は、このような描写は視覚的に明瞭にするために行われるものであるため、特段の記載がない限り、本明細書に添付される特許請求の範囲の範囲を限定すべきではない。示されるように、第１の液体ノズル１３０９は、回転矢印１３１１によって示されるように、回転軸線の周りを任意選択的に回転することができる。いくつかの実施形態では（図示せず）、第１の液体ノズル１３０９は固定され、非回転とされ得る。適切なノズルとしては、任意の１つ以上の円錐ノズル、フラットノズル、直進ノズル、中空円錐ノズル、微細噴霧ノズル、楕円ノズル、矩形ノズル等が挙げられ得る。いくつかの実施形態では、ノズルは、約０ｐｓｉ（０Ｐａ）〜約４０００ｐｓｉ（２７５８６２０６．８９６４Ｐａ）の圧力で動作する約０．２５ガロン（０．９４６３５２９リットル）／分〜約２５００ガロン（９４６３．５２９リットル）／分（ｇｐｍ）の流量を含み得る。いくつかの実施形態では、本明細書中に明示的に開示されないノズルを含む他のノズルタイプ及び設計が提供されてもよい。
いくつかの実施形態では、ハウジング１３０５は実質的に密閉され得るが、図１５の側壁はハウジング１３０５の内部の特徴を見せるために取り外されている。いくつかの実施形態では、ハウジング１３０５は、ハウジング１３０５の内部を第１の領域１３１５ａと第２の領域１３１５ｂとに分割する隔壁１３１３を含み得る。第２の領域１３１５ｂは、第１の領域１３１５ａの下流側（例えば、移動方向１３２１に沿って）に配置され得る。図示される実施形態では、第１の領域１３１５ａは第１の液体ディスペンサ１３０７を含み得る。第１の領域１３１５ａ内における洗浄プロセスにより液体中に取り込まれた任意のデブリと共に液体を除去するためのドレン１３１６が設けられ得る。圧力の蓄積を防ぎ、蒸気及び／又はガスがハウジング１３０５の第１の領域１３１５ａから出ることを可能にするためのベント１３１８も設けられ得る。示されるように、例示的実施形態は、ガラス板１０４を垂直方向に加工することができる。こうした垂直方向のために使用される好適な機構及びその動作については、２０１４年１０月２１日に出願され、その全体が参照により本明細書中に組み込まれる同時係属中の米国特許出願第６２／０６６，６５６号明細書に記載されている。
洗浄部１３０３は、示されるように、ハウジング１３０５の第２の領域１３１５ｂ内など、第１の液体ディスペンサ１３０７の下流側に配置された（例えば、移動方向１３２１に沿って）ガスナイフ１３１７を更に含み得る。ガスナイフ１３１７は、ガラス板１０４の長さ「Ｌ」全体に沿って延びるように方向付けられており、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂに対してガスを供給し、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂから液体を除去するように方向付けられたガスノズル１３１９（例えば、長尺状のノズル）を含み得る。ガスナイフ１３１７は、洗浄部１３０３内におけるガラス板１０４の移動方向１３２１に対して第１の角度「Ａ１」に方向付けられていてもよい。いくつかの実施形態では、第１の角度「Ａ１」は、約９０°（例えば、垂直）、約４５°、約４５°〜約９０°、例えば、約６０°〜約８５°、例えば、約７０°〜約８０°、並びにこれらの間の全ての範囲及び部分範囲であり得る。いくつかの実施形態では、第１の角度「Ａ１」は、約１３５°、約９０°〜約１３５°、例えば、約９５°〜約１２０°、例えば、約１００°〜約１１０°、並びにこれらの間の全ての範囲及び部分範囲であり得る。ガスナイフ１３１７は、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂに対してガスを供給し、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂから液体を除去するように設計され得る。好適なガスとしては、空気、窒素、低湿ガス等が挙げられるが、これらに限定されない。
更に示されるように、第２の領域１３１５ｂは、任意選択的に、第２の液体ディスペンサ１３２３を含み得る。第２の液体ディスペンサ１３２３は、ガスナイフ１３１７から上流側（例えば、移動方向１３２１に沿って）の位置においてガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂをすすぐように方向付けられた第２の液体ノズル１３２７を含む。いくつかの実施形態では、第２の液体ディスペンサ１３２３は、第１の領域１３１５ａ内の第１の液体ディスペンサ１３０７により生じる液体流の圧力に比して低圧液体流を含み得る。実際、第２の液体ディスペンサ１３２３の低圧液体流はガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂを溢れさせ、任意の洗浄剤、化学物質、デブリ、又はガラス板１０４に残った他の不純物を除去することができる。示されるように、いくつかの実施形態では、第２の液体ディスペンサ１３２３の下流側（例えば、移動方向１３２１に沿って）及びガスナイフ１３１７の上流側にデフレクタ１３２５が配置され得る。デフレクタ１３２５は、第２の液体ディスペンサ１３２３からある量の液体を、ガスナイフ１３１７から離れる方に導くように方向付けられ得る。示されるように、ワイパーブレードなどのデフレクタ１３２５は、洗浄部１３０３内におけるガラス板１０４の移動方向１３２１に対して第２の角度「Ａ２」に方向付けられていてもよい。示されるように、第１の角度「Ａ１」及び第２の角度「Ａ２」は互いに実質的に等しいものであり得る。しかしながら、こうした描写は、特段の記載がない限り、本明細書に添付される特許請求の範囲の範囲を限定すべきではなく、いくつかの実施形態では、種々の角度（移動方向に対して斜角、鋭角等）を提供してもよい。更に、示されるように、第２の液体ディスペンサ１３２３は同様に任意選択的に、洗浄部１３０３内におけるガラス板１０４の移動方向１３２１に対し、デフレクタ１３２５及びガスナイフ１３１７と類似の又は同一の角度に方向付けられた第２の液体ノズル１３２７（例えば、長尺状の液体ノズル）を含んでもよい。デフレクタ１３２５は、第２の液体ディスペンサ１３２３から下方に且つガスナイフ１３１７から離れる方に液体を導くことができ、これにより、ガスナイフ１３１７がガラス板１０４から除去するのに必要な液体の量を低減する。
図１５の特徴はガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂの１つに作用するものとして示されるが、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａ及びガラス板１０４の第２の主面２１４ｂの両方を完全に洗浄するために、ガラス板１０４の両側に類似の又は同一の特徴を設けてもよいことは理解されるであろう。したがって、洗浄部１３０３の左側斜視図は図１５に示される洗浄部１３０３の右側斜視図の鏡像であり得る。図１５の上記説明及び描写は視覚的に明瞭にするために行うものである。
図１５に矢印１４０１で示されるように、洗浄部１３０３を出る清浄及び乾燥ガラス板１０４は、その後、ガラス板１０４の清浄な主面２１４ａ、２１４ｂを保護するために、図１６に示されるコーティングチャンバ１４０３によってコーティングしてもよい。或いは、図１５に矢印１４０２で示されるように、洗浄部１３０３を出る清浄及び乾燥ガラス板１０４は、その後、ガラス板１０４の清浄な主面２１４ａ、２１４ｂを保護するために、図１７及び図１８に示されるコーティングチャンバ１４０３の例示的実施形態を含むシート表面保護装置によってコーティングしてもよい。いくつかの実施形態では、コーティングチャンバ１４０３は単独で、又は煙霧チャンバ１４５３、プラズマ蒸着チャンバ、若しくはガラス板１０４の第１の主面２１４ａ及び第２の主面２１４ｂの少なくとも１つをコーティングするためのコーティングを提供するための他の適切なコーティングチャンバの任意の１つ以上の特徴との組合せのいずれかにおいて設けられ得る。
図１６は、ガラス加工装置１００のコーティング適用ステーションの概略斜視図である。図１６を参照すると、ガラス板１０４の単一面のみをコーティングするものとして示すが、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａ及びガラス板１０４の第２の主面２１４ｂの両方を保護するために、ガラス板１０４の両面をコーティングすることができると理解されたい。したがって、コーティングチャンバ１４０３の左側斜視図は、図１６に示されるコーティングチャンバ１４０３の右側斜視図の鏡像であり得る。コーティングチャンバ１４０３の一部又は全部を排気するために、コーティングチャンバ１４０３にベント又は排気管を設けてもよい。示されるように、例示的実施形態は、ガラス板１０４を垂直方向に加工することができる。このような垂直方向のために使用される好適な機構及びその動作については、２０１４年１０月２１日に出願され、その全体が参照により本明細書中に組み込まれる同時係属中の米国特許出願第６２／０６６，６５６号明細書に記載されている。
図１６に示すように、いくつかの実施形態では、コーティングチャンバ１４０３は、ガラス板１０４の片面又は両面上に、噴霧ノズルなどの供給ポート１４０５（例えば、複数の供給ポート１４０５）を含み得る。供給ポート１４０５は、ガラス板１０４の主面（例えば、第１の主面２１４ａ及び第２の主面２１４ｂ）にコーティングを供給するように方向付けられている。いくつかの実施形態では、第１の複数の供給ポート１４０５及び第２の複数の供給ポート１４０５が設けられ得る。第１の複数の供給ポートのそれぞれは、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａにコーティングを供給するように方向付けられ得る。第２の複数の供給ポートのそれぞれは、ガラス板１０４の第２の主面２１４ｂにコーティングを供給するように方向付けられ得る。必須ではないが、供給ポート１４０５の任意の１つ以上は、ガラス板１０４の１つ又は両方の主面２１４ａ、２１４ｂをコーティングするためにプラズマを供給するように方向付けられたプラズマ蒸着ポートを含み得る。以下に記載されるように、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂ上のコーティングは、下流側のプロセス中に容易に除去されてもよいポリマーを含み得る。いくつかの実施形態では、コーティングは、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂの少なくとも１つに保護層を提供することができる。
いくつかの実施形態では、４００℃を超える温度に耐えるコーティング用に炭化水素前駆体を使用することができる。例示的な炭化水素コーティングは、作動ガス又は付加的な前駆体のいずれかによって炭化水素コーティング上に官能基を付加することにより、３０ｍＪ／ｍ２〜７５ｍＪ／ｍ２の調整可能な表面エネルギースペクトルを有することができる。いくつかの実施形態では、４００℃を超える温度に耐え得る有機金属前駆体コーティングを堆積させることができる。更に別の実施形態では、３０〜７５ｍＪ／ｍ２の調整可能な表面エネルギーを有する、４００℃を超える温度に耐え得るコーティング用に炭化水素と有機ケイ素前駆体との組合せを使用することができる。いくつかの実施形態では、表面エネルギーはまた、有機金属前駆体コーティングに、アミン、ヒドロキシル、カルボニル、及びカルボキシル等などであるがこれらに限定されない他の官能基を付加することにより、又はコーティング（トップ）の組成若しくは有孔率を制御することによって制御され得る。
本明細書で使用する場合、用語「プラズマ」、「大気圧プラズマ」及びこれらの変化形は、高周波電界を通過するガスを意味するものである。電磁界に接することで、ガスの原子のイオン化が生じ、電子が放出され、高速且つしたがって高運動エネルギーへ加速される。高速電子のいくつかは他の原子を、その最外殻電子と衝突することによりイオン化し、これら放出された電子は、更に、更なるイオン化を生じさせることができ、カスケード式イオン化効果（ｃａｓｃａｄｉｎｇ ｉｏｎｉｚａｔｉｏｎ ｅｆｆｅｃｔ）をもたらす。生じたプラズマはストリームで流れることができ、このストリーム中に捕捉された高エネルギー粒子を物体（例えば、ガラス板１０４）に向かって投射することができる。
プラズマは、種々の実施形態では、大気圧（ＡＰ）プラズマ、及び熱又は低温プラズマであり得る。例えば、プラズマの温度は、室温（例えば、約２５℃）〜約３００℃などのより高温の範囲であり得る。非限定的な実施形態では、プラズマの温度は、約２５℃〜約３００℃、例えば、約５０℃〜約２５０℃、又は約１００℃〜約２００℃、これらの間の全ての範囲及び部分範囲を含む範囲であり得る。プラズマは、いくつかの例を挙げると、アルゴン、ヘリウム、窒素、空気、水素、水蒸気、及びこれらの混合物から選択される少なくとも１種のガスを含み得る。いくつかの実施形態によれば、プラズマガスとしてアルゴンが用いられ得る。
非限定的な実施形態では、プラズマは、また、ガスの形態で存在し得る少なくとも１種の炭化水素を含み得る。好適な炭化水素としては、いくつかの例を挙げると、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカンなどのＣ１〜Ｃ１２炭化水素並びにこれらの組合せが挙げられ得るがこれらに限定されない。種々の実施形態によれば、低沸点（例えば、１００℃未満）を有する揮発性炭化水素、例えば、Ｃ１〜Ｃ６炭化水素を使用してもよい。更に別の実施形態では、炭化水素はメタン又はエタンであり得る。プラズマは、例えば、約１体積％〜約２０体積％、例えば、約２体積％〜約１８体積％、約３体積％〜約１５体積％、約４体積％〜約１２体積％、約５体積％〜約１０体積％、又は約６体積％〜約８体積％、これらの間の全ての範囲及び部分範囲を含む少なくとも１種の炭化水素を含み得る。
プラズマとガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂとの間の接触は、当該技術分野で周知の任意の適切な手段を使用して実現することができ、例えば、任意の数のプラズマジェット、ノズル、又はトーチを使用して、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂを走査することができる。走査速度は、特定用途のための所望のコーティング密度及び／又は効率を達成するために必要に応じて変更することができる。例えば、走査速度は、約５ｍｍ／ｓ〜約１００ｍｍ／ｓ、例えば、約１０ｍｍ／ｓ〜約７５ｍｍ／ｓ、約２５ｍｍ／ｓ〜約６０ｍｍ／ｓ、又は約４０ｍｍ／ｓ〜約５０ｍｍ／ｓ、これらの間の全ての範囲及び部分範囲を含む範囲であり得る。
滞留時間（例えば、プラズマがガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂに接触している間の時間）も同様に走査速度及び所望のコーティング特性に応じて変更することができる。非限定的な実施形態では、滞留時間は、１秒未満〜数分、例えば、約１秒〜約１０分、約３０秒〜約９分、約１分〜約８分、約２分〜約７分、約３分〜約６分、又は約４分〜約５分、これらの間の全ての範囲及び部分範囲を含む範囲であり得る。種々の実施形態では、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂは１回の通過においてプラズマと接触させることができ、或いはいくつかの実施形態では、２回以上の通過、３回以上の通過、４回以上の通過、５回以上の通過、１０回以上の通過、２０回以上の通過等など、複数回の通過を用いてもよい。
図１６に示されるように、プラズマとの接触後、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂの少なくとも一部分は、例示的な炭化水素層によってコーティングされてもよい。ある実施形態では、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂ全体が炭化水素層でコーティングされ得る。いくつかの実施形態では、例えば、ガラス板１０４の縁部若しくは外周部、中心領域、又は任意の他の領域若しくはパターンなど、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂの所望の部分を必要に応じてコーティングすることができる。ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂのコーティング済部分は、種々の実施形態では、約５０ｍＪ／ｍ２未満、例えば、約４５ｍＪ／ｍ２未満、約４０ｍＪ／ｍ２未満、約３５ｍＪ／ｍ２未満、約３０ｍＪ／ｍ２未満、又は約２５ｍＪ／ｍ２未満、これらの間の全ての範囲及び部分範囲を含む総表面エネルギーを有してもよい。極性表面エネルギーは、例えば、約１５ｍＪ／ｍ２未満、例えば、約１０ｍＪ／ｍ２未満、約９ｍＪ／ｍ２未満、約８ｍＪ／ｍ２未満、約７ｍＪ／ｍ２未満、約６ｍＪ／ｍ２未満、約５ｍＪ／ｍ２未満、約４ｍＪ／ｍ２未満、約３ｍＪ／ｍ２未満、約２ｍＪ／ｍ２未満、又は約１ｍＪ／ｍ２未満であり得、これらの間の全ての範囲及び部分範囲を含む。コーティング済部分の分散エネルギーは、ある実施形態では、約２５ｍＪ／ｍ２超、例えば、約３０ｍＪ／ｍ２超、約３５ｍＪ／ｍ２超、又は約４０ｍＪ／ｍ２超であり得、これらの間の全ての範囲及び部分範囲を含む。
種々の実施形態によれば、プラズマとの接触後、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂのコーティング済部分は、約２０度〜約９５度、例えば、約３０度〜約９０度、約４０度〜約８５度、約５０度〜約８０度、又は約６０度〜約７０度、これらの間の全ての範囲及び部分範囲を含む範囲の接触角を有してもよい。炭化水素層は、また、ある実施形態では、必要に応じてガラス板１０４から除去され得る（例えば、最終使用用のガラス板１０４の仕上げ前に）。本明細書中に開示される方法に関して上述したように、湿式及び／又は乾式洗浄方法を使用して炭化水素層を除去することができる。洗浄後、ガラス板１０４の、前にコーティング済みの主面２１４ａ、２１４ｂの接触角は、例えば、０度まで大幅に低減され得る。例えば、コーティングされたときの接触角は９５度に達することができ、洗浄後、接触角は、２０度未満、例えば、１５度未満、１０度未満、５度未満、３度未満、２度未満、又は１度未満であり得、これらの間の全ての範囲及び部分範囲を含む。
図１７は、ガラス加工装置１００のコーティングチャンバ１４０３のシート表面保護装置の別実施形態の概略斜視図であり、図１８は、図１７の線１５−１５に沿って取ったコーティングチャンバ１４０３の断面図である。図１７に示すように、いくつかの実施形態では、例示的非限定的なコーティングチャンバ１４０３は煙霧チャンバ１４５３を含み得、煙霧チャンバ１４５３は１つ以上の筐体（例えば、第１の筐体１４５１及び第２の筐体１４５２の少なくとも１つ）を含み得る。コーティングチャンバ１４０３はまた、煙霧（煙霧１４６３及び煙霧１４６４として概略的に示される）を筐体（例えば、各々の第１の筐体１４５１、各々の第２の筐体１４５２）に供給するための煙霧発生器（例えば、第１の煙霧発生器１４６１、第２の煙霧発生器１４６２）を含み得る。いくつかの実施形態では、煙霧チャンバ１４５３は、筐体（例えば、各々の第１の筐体１４５１、各々の第２の筐体１４５２）内に通路（例えば、第１の開口部１４５７、第２の開口部１４５８）を含み得、この通路から煙霧が筐体を出てガラス板１０４の少なくとも１つの主面２１４ａ、２１４ｂに接触することができる。いくつかの実施形態では、煙霧はガラス板１０４の少なくとも１つの主面２１４ａ、２１４ｂ上で凝縮し、ガラス板１０４の少なくとも１つの主面２１４ａ、２１４ｂ上に煙霧コーティングを堆積させることができる。
いくつかの実施形態では、１つの筐体のみが設けられてもよく、いくつかの実施形態では、２つ以上の筐体が設けられてもよい。したがって、特段の記載がない限り、図は、本明細書に添付される特許請求の範囲の範囲を限定すべきではない。いくつかの実施形態では、ガラス加工装置１００は煙霧チャンバ１４５３を含み得、煙霧チャンバ１４５３は、第１の筐体１４５１及び第２の筐体１４５２の少なくとも１つ、第１の筐体１４５１に煙霧１４６３を供給するための第１の煙霧発生器１４６１及び第２の筐体１４５２に煙霧１４６４を供給するための第２の煙霧発生器１４６２の少なくとも１つを含む。煙霧チャンバ１４５３は、第１の筐体１４５１内の第１の通路（例えば、第１の開口部１４５７）であり、この第１の通路から煙霧１４６３が第１の筐体１４５１を出てガラス板１０４の第１の主面２１４ａに接触することができる第１の通路、及び第２の筐体１４５２内の第２の通路（例えば、第２の開口部１４５８）であり、この第２の通路から煙霧１４６４が第２の筐体１４５２を出てガラス板１０４の第２の主面２１４ｂに接触することができる第２の通路の少なくとも１つを含み得る。いくつかの実施形態では、第１の通路（例えば、第１の開口部１４５７）は通路（例えば、第２の開口部１４５８）に面することができる。いくつかの実施形態では、第１の通路（例えば、第１の開口部１４５７）は第２の通路（例えば、第２の開口部１４５８）から所定の距離１４５９だけ離間され得る。所定の距離１４５９は、ガラス板１０４の移動経路１４８１を画定し得る。いくつかの実施形態では、移動経路１４８１は、第１の通路と第２の通路との間に第１の通路及び第２の通路に沿って側方に延び得る。したがって、いくつかの実施形態では、第１の通路と第２の通路との間の所定の距離１４５９は、第１の筐体１４５１と第２の筐体１４５２との間に、ガラス板１０４を煙霧に曝されるように配置できる領域を設けるように選択することができる。
第１の筐体１４５１及び第２の筐体１４５２を含む煙霧チャンバ１４５３は任意の形状及び構造を含み得ることを理解すべきである。したがって、第１の筐体１４５１及び第２の筐体１４５２を含む煙霧チャンバ１４５３は矩形筐体（例えば、箱）として示されるが、このような図は、特段の記載がない限り、本開示の範囲を限定すべきではない。例えば、いくつかの実施形態では、煙霧チャンバ１４５３が配置され、用いられてもよい場所は、他の構成要素を含み得る。したがって、いくつかの実施形態では、環境内の任意の構成要素を含む、煙霧チャンバ１４５３が用いられる環境の場所、形状、構造等は、少なくとも部分的に第１の筐体１４５１及び第２の筐体１４５２の形状を制御し得る。いくつかの実施形態では、第１の筐体１４５１及び第２の筐体１４５２を含む煙霧チャンバ１４５３は、本開示の範囲から逸脱することなく、任意の１つ以上の形状及び特徴で作成され得ると共に、任意の１つ以上の形状及び特徴を含み得る。加えて、いくつかの実施形態では、１つの煙霧発生器が設けられ得ることを理解すべきである。例えば、１つの煙霧発生器は、煙霧チャンバ１４５３の第１の筐体１４５１及び第２の筐体１４５２に移送され得る（例えば、配管、チューブ、導管等により）煙霧を供給することができる。同様に、いくつかの実施形態では、煙霧チャンバ１４５３の第１の筐体１４５１及び第２の筐体１４５２に移送され得る（例えば、配管、チューブ、導管等により）煙霧を生成するための複数の煙霧発生器が設けられ得る。いくつかの実施形態では、煙霧の移送のために配管、チューブ、導管等を用いることなく第１の筐体１４５１及び第２の筐体１４５２の少なくとも１つ内に煙霧を供給するために、１つ以上の煙霧発生器が第１の筐体１４５１及び第２の筐体１４５２の少なくとも１つ内に配置され得る。
いくつかの実施形態では、煙霧発生器は、超音波煙霧発生器、アトマイザー式煙霧発生器、超音波又は空気圧式アトマイザー、無空気式噴霧器（ａｉｒｌｅｓｓ ｆｏｇｇｅｒ）、及び煙霧を生成する任意の他のデバイスの任意の１つ以上を含み得る。例えば、いくつかの実施形態では、煙霧発生器は、Ｐｒｏｔｏｔｙｐｅ Ｖｉｃｋｓ超音波煙霧発生器、Ｍａｉｎｌａｎｄ Ｍａｒｔ超音波煙霧発生器、ＴＳＩアトマイザー噴霧器、及びＢｅｎｅｑから入手可能な原子層堆積又はエアロゾルコーティングシステムの任意の１つ以上を含み得る。いくつかの実施形態では、煙霧発生器は、ポンプ、モータ、水フィルタ、制御盤、ノズル、及びチューブの任意の１つ以上を含み得る、Ａｔｏｍｉｚｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍｓ、Ｉｎｃ．により製造される煙霧システムを含み得る。いくつかの実施形態では、Ａｔｏｍｉｚｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍｓ社の煙霧システムは、約４００ｐｓｉ（２７５８６２０．６８９６４Ｐａ）〜約３２００ｐｓｉ（２２０６８９６５．５１７１２Ｐａ）の調整可能な作動圧力により動作され得る。いくつかの実施形態では、煙霧システムは、任意の１つ以上のノズルを含み得、１つ以上のノズルはオリフィスを有し、このオリフィスは、約０．１ｍｍ〜約０．４ｍｍの範囲内であり、１０００ｐｓｉ（６８９６５５１．７２４１Ｐａ）において約０．０１ガロン（０．０３７８５４１２リットル）／分（ｇｐｍ）〜約０．１２ｇｐｍ（０．４５４２４９４ｌｐｍ）の流量を有し、例えば、約０．１１ｍｍ（約０．０１４ｇｐｍ（０．０５２９９５７６５ｌｐｍ）〜約０．０１７ｇｐｍ（０．０６４３５２ｌｐｍ））、約０．１３ｍｍ（約０．０２０ｇｐｍ（０．０７５７０８２４ｌｐｍ））、約０．１４ｍｍ（約０．０２５ｇｐｍ（０．０９４６３５２９５ｌｐｍ））、約０．１５ｍｍ（約０．０２６ｇｐｍ（０．０９８４２０７０６ｌｐｍ））、約０．２０ｍｍ（約０．０４６ｇｐｍ（０．１７４１２８９４ｌｐｍ））、約０．２５ｍｍ（約０．０７２ｇｐｍ（０．２７２５４９６５ｌｐｍ））、約０．３０ｍｍ（約０．０９２ｇｐｍ（０．０３４８２５７８８４ｌｐｍ））、及び約０．３８ｍｍ（０．１２０ｇｐｍ（０．４５４２４９４ｌｐｍ））である。いくつかの実施形態では、煙霧システムは、ルビーオリフィス、衝突ピン、及びノズルの基部に粒子を捕捉するのを避けるためのポリプロピレンフィルタを有するステンレス鋼本体を含むノズルを含み得る。したがって、高圧液体がノズルに供給され、微細な液体ジェットが衝突ピンに対して発射されることによって煙霧を生成することができる。ノズルの非限定的な実施形態としては、ＡＳＩ−４Ｒ、ＡＳＩ−４５Ｒ、ＡＳＩ−５Ｒ、ＡＳＩ−５５Ｒ、ＡＳＩ−６Ｒ、ＡＳＩ−８Ｒ、ＡＳＩ−１０Ｒ、ＡＳＩ−１２Ｒ、及びＡＳＩ−１５Ｒを含み得る。いくつかの実施形態では、煙霧発生器は、Ｍｅｅ Ｉｎｄｕｓｔｒｉｅｓ、Ｉｎｃ．により製造される煙霧システムを含み得、これは、約２０００ｐｓｉ（１３７９３１０３．４４８２Ｐａ）の動作圧で煙霧を生成する直径１５０マイクロメートルの開口部を含むＭｅｅＦｏｇブランドのインパクションピン（ｉｍｐａｃｔｉｏｎ ｐｉｎ）型煙霧ノズルを含み得る。いくつかの実施形態では、本明細書中に明示的に開示されない煙霧システムを含む他の煙霧システムが用いられ得る。
いくつかの実施形態では、煙霧発生器は、煙霧を供給するよう定期的に（例えば、ガラス板１０４が煙霧チャンバ１４５３内に供給される場合）又は煙霧を供給するよう連続的に（例えば、ガラス板１０４が煙霧チャンバ１４５３内に供給されるかどうかを問わず煙霧チャンバ１４５３内の煙霧を維持するために）動作することができる。いくつかの実施形態では、煙霧チャンバ１４５３内に煙霧を連続的に供給することで、例えば、煙霧を定期的に又は断続的に供給することに比べ、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂをより良好にコーティングすることができるより均一な一定の煙霧を供給することができる。或いは、いくつかの実施形態では、煙霧を定期的に供給することは、単独で、又は煙霧チャンバ１４５３内に均一な一定の煙霧を供給するために、例えば、煙霧チャンバ１４５３に更なる煙霧を付加するため、煙霧チャンバ１４５３から消失した煙霧を置換するため、及び煙霧チャンバ１４５３内の煙霧を循環し、再分配するために煙霧を連続的に供給することとの組合せのいずれかにおいて有利となり得る。
いくつかの実施形態では、煙霧は、薄い煙霧コーティング用の化学物質をガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂ上に適用することができる。いくつかの実施形態では、煙霧は、約３０°〜約６０°、例えば、約４５°〜約６０°、例えば、約５５°〜約６０°（これらの間の全ての範囲及び部分範囲を含む）のぬれ性（例えば、液体−蒸気界面がガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂの１つに接触する場所の接触角）を含むコーティングを提供する煙霧コーティング用化学物質を提供することができる。いくつかの実施形態では、煙霧コーティング用化学物質は、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂ上への汚染物質（例えば、環境デブリ１００２及び分離デブリ１００１の少なくとも１つ）の付着を低減すると共に、ガラス板１０４をかき傷及び欠けから保護することができる。いくつかの実施形態では、煙霧コーティング用化学物質は、デブリ（例えば、環境デブリ１００２及び分離デブリ１００１の少なくとも１つ）を収集することができ、デブリがガラス表面に接触することを妨げ、その後、ガラス板１０４から、例えば洗浄によって除去することができる。いくつかの実施形態では、煙霧コーティング用化学物質は、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂ上に堆積され得る単層又は多層コーティングを含み得る。煙霧は種々の化学成分及び化合物を含み得、その特定の組成は、特段の記載がない限り、本開示の範囲の限定を意図するものではない。
非限定的な実施形態では、煙霧は、ガスの形態で存在し得る少なくとも１種の炭化水素を含み得る。好適な炭化水素としては、いくつかの例を挙げると、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカンなどのＣ１〜Ｃ１２炭化水素並びにこれらの組合せが挙げられ得るがこれらに限定されない。種々の実施形態によれば、低沸点（例えば、１００℃未満）を有する揮発性炭化水素、例えば、Ｃ１〜Ｃ６炭化水素を使用してもよい。更に別の実施形態では、炭化水素はメタン又はエタンであり得る。プラズマは、例えば、約１体積％〜約２０体積％、例えば、約２体積％〜約１８体積％、約３体積％〜約１５体積％、約４体積％〜約１２体積％、約５体積％〜約１０体積％、又は約６体積％〜約８体積％、これらの間の全ての範囲及び部分範囲を含む少なくとも１種の炭化水素を含み得る。加えて、いくつかの実施形態では、煙霧は、約５μｍ〜約１５μｍ、例えば、約１０μｍ〜約１５μｍ、例えば、約１０μｍ〜約１２μｍ（これらの間の全ての範囲及び部分範囲を含む）の粒径（例えば、液滴径）を含む粒子を含み得る。いくつかの実施形態では、これら範囲内の粒径を含む煙霧は、例えば、これら範囲外にある粒径を含む煙霧に比べてより良好な品質（例えば、より均一に分配された）表面コーティングを提供することができる。しかしながら、いくつかの実施形態では、本明細書中に明示的に開示されない粒径を含む任意の粒径の粒子を有する煙霧を供給することができる。
いくつかの実施形態では、第１の筐体１４５１及び第２の筐体１４５２の少なくとも１つ内の煙霧を循環させるための１つ以上のファン（例えば、第１のファン１４９５、第２のファン１４９６）が設けられ得る。いくつかの実施形態では、例えば、第１のファン１４９５及び第２のファン１４９６は、煙霧に作用する重力に基づき煙霧チャンバ１４５３内に不均一な煙霧分布を発生させた可能性のある、異なる大きさ及び重量の少なくとも１つを有する粒子を再分配することができる。例えば、いくつかの実施形態では、より大きく、より重い煙霧粒子は重力に基づき第１の筐体１４５１及び第２の筐体１４５２の底部の方に沈殿してもよく、第１のファン１４９５及び第２のファン１４９６を操作して、より大きく、より重い煙霧粒子を第１の筐体１４５１及び第２の筐体１４５２の上部の方に再分配し、重力を相殺することができる。いくつかの実施形態では、粒子の一様分布を有する煙霧を供給することで、例えば、粒子の非一様分布を有する煙霧の提供に比べ、ガラス板１０４上により良好な品質の煙霧コーティングを生成することができる。
図１８に示すように、いくつかの実施形態では、ガラス加工装置１００はコンベヤ１４８０を含み得る。コンベヤ１４８０は、第１の通路（例えば、第１の開口部１４５７）及び第２の通路（例えば、第２の開口部１４５８）の少なくとも１つに沿って延びている移動経路１４８１を画定する。いくつかの実施形態では、コンベヤ１４８０は、移動経路１４８１に沿ってガラス板１０４を横断するように方向付けられ得る。例えば、いくつかの実施形態では、コンベヤ１４８０は、ブラケット１４８３及びクリップ１４８２が接続され得るプーリシステム、軌道、又はベルトを含み得る。ガラス板１０４が煙霧チャンバ１４５３内を移動経路１４８１に沿って移動することができるように、クリップ１４８２は、ガラス板１０４がコンベヤ１４８０から吊され得る方向にガラス板１０４を保持することができる。いくつかの実施形態では、コンベヤ１４８０は、第１の通路と第２の通路との間の移動経路１４８１に沿ってガラス板１０４を横断するように方向付けられ得る。いくつかの実施形態では、ガラス板１０４が移動経路１４８１に沿って移動する際、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａは第１の筐体１４５１の第１の通路（例えば、第１の開口部１４５７）に面することができ、ガラス板１０４の第２の主面２１４ｂは第２の筐体１４５２の第２の通路（例えば、第２の開口部１４５８）に面することができる。
いくつかの実施形態では、示されるように、第１の通路（例えば、第１の開口部１４５７）及び第２の通路（例えば、第２の開口部１４５８）の高さＨ１は、第１の筐体１４５１（又は第２の筐体１４５２）の頂壁の内部表面と、第１の筐体１４５１（又は第２の筐体）の底壁の内部表面との間に延び得る。いくつかの実施形態では、第１の通路（例えば、第１の開口部１４５７）及び第２の通路（例えば、第２の開口部１４５８）の高さＨ１は、ガラス板１０４の高さＨ２より大きくすることができる。したがって、いくつかの実施形態では、ガラス板１０４が移動経路１４８１に沿って移動する際、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａの高さＨ２全体が第１の筐体１４５１の第１の通路に面することができ、ガラス板１０４の第２の主面２１４ｂの高さＨ２全体が第２の筐体１４５２の第２の通路に面することができる。ガラス板１０４が移動経路１４８１に沿って移動する際、第１の主面２１４ａ及び第２の主面２１４ｂの全体が各第１の通路（例えば、第１の開口部１４５７）及び第２の通路（例えば、第２の開口部１４５８）を出る煙霧に曝され得、例えば、一様に曝され得る。
いくつかの実施形態では、第１の開口部１４５７の幅Ｗ１はガラス板１０４の幅Ｗ２より小さくてもよいが、更なる実施形態では、幅Ｗ１はガラス板１０４の幅Ｗ２に等しいか又はこの幅を超えてもよい。ガラス板１０４が移動経路１４８１に沿って移動する際、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂの全幅Ｗ２はそれぞれ、各々の開口部１４５７、１４５８に最終的に面することができる。したがって、開口部１４５７、１４５８の幅Ｗ１がガラス板１０４の幅Ｗ２より小さい場合であってもガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂの全幅Ｗ２が煙霧１４６３、１４６４に曝され得る。
いくつかの実施形態では、ガラス板１０４は煙霧チャンバ１４５３内を移動経路１４８１に沿って１回（例えば、１回の通過）移動し得る。いくつかの実施形態では、ガラス板１０４は煙霧チャンバ１４５３内を移動経路１４８１に沿って複数回（例えば、複数回の通過）移動し得る。いくつかの実施形態では、ガラス板１０４は煙霧チャンバ１４５３内を移動経路１４８１に沿って前方、及び移動経路１４８１に沿って後方（例えば、反対方向に）の少なくとも１つに移動し得る。いくつかの実施形態では、ガラス板は、煙霧チャンバ１４５３内に配置され得る（例えば、手動で配置される）。いくつかの実施形態では、ガラス板１０４の少なくとも１つの主面２１４ａ、２１４ｂ上に煙霧が凝縮する間、ガラス板１０４は静止状態に維持され得る（例えば、移動経路１４８１に沿って移動することなく）。いくつかの実施形態では、コンベヤ１４８０はガラス板１０４を煙霧チャンバ１４５３に与えることができ、そこでガラス板１０４は煙霧に曝され得る。その後、コンベヤ１４８０は、ガラス板１０４を、煙霧コーティング用化学物質がガラス板１０４に適用された状態で煙霧チャンバ１４５３から送出することができる。
煙霧チャンバ１４５３の記載において、ガラス板の主面の領域は、主面から、主面に垂直な方向に離れる方に突出する主面の領域のフットプリントが通路を通過する場合、通路に「面している」とみなされる。図１８は、煙霧に１４６３に曝される、第１の筐体１４５１の第１の開口部１４５７に面している第１の主面２１４ａの領域を示す。実際、第１の主面２１４ａから、第１の主面２１４ａに垂直な方向に離れる方に突出する第１の主面２１４ａの領域のフットプリントは第１の開口部１４５７を通過する。同様に、同様の手法で、第２の主面２１４ｂの領域は第２の筐体１４５２の第２の開口部１４５８に面することができ、煙霧１４６４に曝される。
いくつかの実施形態では、破線１５Ａ−１５Ａに沿って取った断面（即ち、図１７の対向する断面１５−１５）が図１８の鏡像として示され得る。したがって、いくつかの実施形態では、第１の通路（例えば、第１の開口部１４５７）の特徴（例えば、寸法）は、第２の通路（例えば、第２の開口部１４５８）の特徴（例えば、寸法）と同一であってもよい。したがって、図１８は、ガラス板１０４の片面（例えば、第１の主面２１４ａ）のみが煙霧でコーティングされる実施形態を示す一方、図１７の線１５Ａ−１５Ａに沿って取った図１８の鏡像は、例えば、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａ及び第２の主面２１４ｂの両方を保護するために、第１の主面２１４ａ及び第２の主面２１４ｂの両方が同時に各通路を通過する煙霧１４６３、１４６４でコーティングされる実施形態の代表例であり得る。
いくつかの実施形態では、第１の開口部１４５７及び／又は第２の開口部１４５８に加えて又はその代わりに、煙霧チャンバ１４５３の通路は、移動経路１４８１に沿った第１の開口部１４５７の上流側又は下流側に配置されたスロットノズル１４９０を任意選択的に含み得る。例えば、図１８に示すように、一実施形態において、スロットノズル１４９０は、第１の開口部１４５７に対して上流側に配置することができ、入口１４７１を通り方向１４０２に沿って移動するガラス板は、第１の開口部１４５７の前にまずスロットノズル１４９０に接触する。加えて又は或いは、いくつかの実施形態では、煙霧チャンバ１４５３の通路は、移動経路１４８１に沿った、第２の開口部１４５８の上流側又は下流側に配置されたスロットノズル１４９０を含み得る。例えば、図１７の断面線１５Ａ−１５Ａに沿って見ると、図１８の鏡像は、第２の開口部１４５８に対して上流側に配置されたスロットノズル１４９０を示すことができ、入口１４７１を通り方向１４０２に沿って移動するガラス板１０４は、第２の開口部１４５８の前にまずスロットノズル１４９０に接触する。
図１８に示すように、いくつかの実施形態では、煙霧チャンバ１４５３は、各々のスロットノズル１４９０に面するガラス板１０４の高さＨ２全体に沿った領域などの第１の主面２１４ａ及び／又は第２の主面２１４ｂの領域に煙霧を供給することができる。したがって、いくつかの実施形態では、煙霧はスロットノズル１４９０を通り第１の筐体１４５１を出て、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａに接触することができる。いくつかの実施形態では、スロットノズル１４９０は、長尺状の孔又は複数の長尺状の孔を含み得、この孔を煙霧が通過することができる。いくつかの実施形態では、スロットノズル１４９０を通過する煙霧がガラス板１０４の高さＨ２（例えば、高さＨ２全体）に曝され得るように、長尺状の孔は、ガラス板１０４の高さＨ２以上であり得る高さＨ３を含み得る。いくつかの実施形態では、煙霧チャンバ１４５３は、複数のスロットノズル１４９０（例えば、２つのスロットノズル、３つのスロットノズル等）を含み得、複数のスロットノズル１４９０は、例えば互いに平行に整列され、移動経路１４８１に沿って順次離間され得る。例えば、いくつかの実施形態では、煙霧チャンバ１４５３の通路に沿って延びている移動経路１４８１に沿って複数の長尺状の孔が離間され得る。
いくつかの実施形態では、第１の開口部１４５７、第２の開口部１４５８及び／又はスロットノズル１４９０に加えて又はその代わりに、煙霧チャンバ１４５３の通路は、移動経路１４８１に沿って、第１の開口部１４５７の上流側又は下流側に配置された拡散ノズル１４９１を任意選択的に含み得る。例えば、図１８に示すように、いくつかの実施形態では、拡散ノズル１４９１は、移動経路１４８１に沿って、第１の開口部１４５７に対して下流側に配置することができ、入口１４７１を通り方向１４０２に沿って移動するガラス板は、拡散ノズル１４９１の前にまず第１の開口部１４５７に接触する。加えて又は或いは、いくつかの実施形態では、煙霧チャンバ１４５３の通路は、移動経路１４８１に沿って、第２の開口部１４５８の上流側又は下流側に配置された拡散ノズル１４９１を含み得る。例えば、図１７の断面線１５Ａ−１５Ａに沿って見ると、図１８の鏡像は、移動経路１４８１に沿って、第２の開口部１４５８に対して下流側に配置された拡散ノズル１４９１を示すことができ、入口１４７１を通り移動経路１４８１に沿って移動するガラス板１０４は、拡散ノズル１４９１の前にまず第２の開口部１４５８に接触する。
図１８に示すように、いくつかの実施形態では、煙霧チャンバ１４５３は、各々の拡散ノズル１４９１に面するガラス板１０４の高さＨ２全体に沿った領域などの第１の主面２１４ａ及び／又は第２の主面２１４ｂの領域に煙霧を供給することができる。したがって、いくつかの実施形態では、煙霧は各々の拡散ノズル１４９１を通り第１の筐体１４５１又は第２の筐体１４５２を出て、ガラス板１０４の各々の第１の主面２１４ａ又は第２の主面２１４ｂに接触することができる。いくつかの実施形態では、拡散ノズル１４９１は、複数の孔１４９２を含み得、複数の孔１４９２を煙霧が通過することができる。拡散ノズル１４９１は、任意の大きさ、形状、及び分布の任意の数の孔１４９２を含み得る。例えば、複数の孔１４９２は、互い違いに配置された孔及び等しく離間された孔の少なくとも１つを含むパターンで配置され得る。
煙霧チャンバ１４５３の通路の実施形態は、第１の開口部１４５７、スロットノズル１４９０、及び拡散ノズル１４９１の１つ又は任意の組合せを含み得る。更に、いくつかの実施形態では、開口部、スロットノズル、及び拡散ノズルは全て、任意の１つ以上が部分的に又は完全に動作停止された状態で設けられてもよい。例えば、通路の１つ以上（例えば、第１の開口部１４５７、スロットノズル１４９０及び／又は拡散ノズル１４９１）の一部又は全体にマスクを配置し、マスクが付けられた位置において煙霧が通路を通過することを、例えば防止するなど、阻止してもよい。
したがって、第１の筐体１４５１に関して示したが、いくつかの実施形態では、煙霧チャンバ１４５３は、第１の開口部１４５７に対して配置された第１のスロットノズル１４９０と（この場合、煙霧は第１のスロットノズル１４９０を通り第１の筐体１４５１を出て、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａに接触することができる）、第２の開口部１４５８内に配置された第２のスロットノズル（図示せず）と（この場合、煙霧は第２のスロットノズルを通り第２の筐体１４５２を出て、ガラス板１０４の第２の主面２１４ｂに接触することができる）を含み得ることを理解すべきである。いくつかの実施形態では、第１のスロットノズル１４９０及び第２のスロットノズルのそれぞれは、長尺状の孔又は複数の長尺状の孔を含み得、この孔を煙霧が通過することができる。同様に、いくつかの実施形態では、煙霧チャンバ１４５３は、第１の開口部１４５７に対して配置された第１の拡散ノズル１４９１と（この場合、煙霧は第１の拡散ノズル１４９１を通り第１の筐体１４５１を出て、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａに接触することができる）、第２の開口部１４５８に対して配置された第２の拡散ノズル（図示せず）と（この場合、煙霧は第２の拡散ノズルを通り第２の筐体１４５２を出て、ガラス板１０４の第２の主面２１４ｂに接触することができる）を含み得る。いくつかの実施形態では、第１の拡散ノズル１４９１及び第２の拡散ノズルのそれぞれは、煙霧が通過することができる複数の孔１４９２を含み得る。いくつかの実施形態では、拡散ノズル１４９１は、第１の筐体１４５１内に煙霧を閉じ込めると共に、煙霧が拡散ノズル１４９１の複数の孔１４９２を通過してガラス板１０４に接触することも可能にする透過性のバリアを提供することができる。
いくつかの実施形態では、煙霧チャンバ１４５３は入口１４７１を含み得る。入口１４７１は、煙霧チャンバ１４５３の外部１４４０から入口１４７１を通り煙霧チャンバ１４５３の内部１４４４へ延びる入口経路１４７３を画定する。入口１４７１は、ガラス板１０４を受け入れ、入口経路１４７３に沿って煙霧チャンバ１４５３の外部１４４０から煙霧チャンバ１４５３の内部１４４４に送るように方向付けられ得る。いくつかの実施形態では、ガスチャンバ１４５３は、入口１４７１を選択的に遮断するための入口扉１４７５（図１７に示されるが明確にするために図１８には図示しない）を含み得る。いくつかの実施形態では、方向１４０２は、入口１４７１を通り、第１の通路（例えば、第１の開口部１４５７）と第２の通路（例えば、第２の開口部１４５８）との間で側方に延び得る。更に、ガラス板１０４が存在しない場合、いくつかの実施形態では、第１の通路（例えば、第１の開口部１４５７）は第２の通路（例えば、第２の開口部１４５８）に面することができ、第１の通路は第２の通路から所定の距離１４５９だけ離間され、ガラス板１０４の移動経路１４８１を画定し得る。示されるように、移動経路１４８１は入口１４７１を通り、第１の通路と第２の通路との間で側方に延び得る。
いくつかの実施形態では、煙霧チャンバ１４５３は、出口１４７２を含み得る。出口１４７２は、煙霧チャンバ１４５３の内部１４４４から出口１４７２を通り煙霧チャンバ１４５３の外部１４４０へ延びる出口経路１４７４を画定する。出口１４７２は、ガラス板１０４を受け入れ、出口経路１４７４に沿って煙霧チャンバ１４５３の内部１４４４から煙霧チャンバ１４５３の外部１４４０へ移動するように方向付けられ得る。いくつかの実施形態では、煙霧チャンバ１４５３は、出口１４７２を選択的に遮断するための出口扉１４７６（図１７に概略的に示されており、明確にするために図１８には図示しない）を含み得る。いくつかの実施形態では、移動経路１４８１は、入口１４７１を通り、第１の通路と第２の通路との間で側方に第２の開口部１４５８を通って出るように延び得る。
いくつかの実施形態では、ガラス板１０４を加工する方法は、ガラス板１０４を煙霧チャンバ１４５３に供給するステップと、煙霧チャンバ１４５３の第１の筐体１４５１及び第２の筐体１４５２の少なくとも１つに煙霧１４６３、１４６４を供給するステップと、第１の筐体１４５１（第１の筐体１４５１の第１の開口部１４５７を含む第１の通路を通じて）、及び第２の筐体１４５２（第２の筐体１４５２の第２の開口部１４５８を含む第２の通路を通じて）の少なくとも１つから煙霧を送ることによりガラス板１０４の少なくとも１つの主面２１４ａ、２１４ｂを煙霧に接触させるステップとを含み得る。いくつかの実施形態では、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａに接触させるステップは、スロットノズル１４９０の形態の別の通路を通じて第１の筐体１４５１から煙霧を送るステップを含み得る。このような例では、ガラス板１０４の第２の主面２１４ｂに接触させるステップは、第１の開口部１４５７に対して配置されたスロットノズル１４９０の長尺状の孔を通じて第２の筐体１４５２から煙霧を送るステップを含み得る。いくつかの実施形態では、通路は拡散ノズル１４９１を含んでもよく、ガラス板１０４の第１の主面２１４ａに接触させるステップは、第１の開口部１４５７に対して配置された拡散ノズル１４９１の複数の孔１４９２を通じて第１の筐体１４５１から煙霧を送るステップを含み得る。同様に、ガラス板１０４の第２の主面２１４ｂを煙霧に接触させるステップは、第２の筐体１４５２に対して配置された第２の開口部１４５８を通じて第２の筐体１４５２から煙霧を送るステップを含み得る。いくつかの実施形態では、ガラス板１０４の第２の主面２１４ｂに接触させるステップは、第２の筐体１４５２から第２の開口部１４５８に対して配置された第２のスロットノズル（図示せず）の第２の長尺状の孔を通じて煙霧を送るステップを含み得る。いくつかの実施形態では、ガラス板１０４の第２の主面２１４ｂに接触させるステップは、第２の筐体１４５２から第２の開口部１４５８に対して配置された第２の拡散ノズル（図示せず）の第２の複数の孔を通じて煙霧を送るステップを含み得る。
いくつかの実施形態では、この方法は、ガラス板１０４を入口経路１４７３に沿って煙霧チャンバ１４５３の外部１４４０から煙霧チャンバ１４５３の入口１４７１を通り煙霧チャンバ１４５３の内部１４４４へ移動するステップを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、入口１４７１を選択的に遮断する入口扉１４７５を開くステップと、ガラス板１０４を入口経路１４７３に沿って煙霧チャンバ１４５３の外部１４４０から入口１４７１を通り煙霧チャンバ１４５３の内部１４４４へ移動するステップと、その後、入口１４７１を遮断するために入口扉１４７５を閉じるステップとを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、ガラス板１０４を出口経路１４７４に沿って煙霧チャンバ１４５３の内部１４４４から煙霧チャンバ１４５３の出口１４７２を通して移動するステップを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、煙霧チャンバ１４５３の出口１４７２を選択的に遮断する出口扉１４７６を開くステップと、ガラス板１０４を出口経路１４７４に沿って煙霧チャンバ１４５３の内部１４４４から出口１４７２を通して煙霧チャンバ１４５３の外部１４４０に移動するステップと、その後、出口１４７２を遮断するために出口扉１４７６を閉じるステップとを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、ガラス板１０４を第１の通路と第２の通路との間で側方に第１の通路及び第２の通路に沿って延びている移動経路１４８１に沿って煙霧チャンバ１４５３の入口１４７１から煙霧チャンバ１４５３の出口１４７２まで搬送するステップを含み得る。
入口１４７１を選択的に遮断するための入口扉１４７５及び出口１４７２を遮断するための出口扉１４７６を選択的に開閉することにより、いくつかの実施形態では、煙霧チャンバ１４５３内の煙霧は煙霧チャンバ１４５３が利用されている環境に分散することなく制御され、煙霧チャンバ１４５３内に閉じ込められ得る。したがって、いくつかの実施形態では、入口扉１４７５は入口１４７１を遮断することができ、出口扉１４７６は出口１４７２を遮断することができ、煙霧を閉じ込めることができる密閉筐体を提供し、したがって、必要に応じて煙霧チャンバ１４５３内外に選択的にアクセスすることが可能になる。加えて、いくつかの実施形態では、煙霧は、煙霧チャンバ１４５３が用いられている環境に分散されることに対し、制御され、煙霧チャンバ１４５３内に閉じ込められることが望まれる化学物質を含み得る。入口扉１４７５及び出口扉１４７６は、したがって、煙霧中に任意の化学物質を含む煙霧が環境に排出されるのを防ぐことができる。いくつかの実施形態では、入口１４７１又は出口１４７２は単独で設けることができ、ガラス板１０４は入口１４７１のみを通って又は出口１４７２のみを通って煙霧チャンバ１４５３に供給され得る及び煙霧チャンバ１４５３から送出され得る。
新たにコーティングされたガラス板１０４は既に所望の既定の大きさのものであってもよいが、いくつかの実施形態では、ガラス板１０４は、また、ガラス板１０４に顧客が望む最終寸法を与えるように大きさを変えてもよい。例えば、図１６の矢印１５０１並びに図１７及び図１８の矢印１５０２によって示されるように、ガラス板１０４は、図１９に示される、ガラス板１０４が所望の最終の大きさへ分離され得るサイズ変更ステーションに任意選択的に進めてもよい。図示される実施形態では、大きいクラック１５０５はレーザー加熱ゾーン１５０９に続く冷却ゾーン１５０７によって伝播させてもよいが、いくつかの実施形態では、かき傷及び／又は破壊などの他の手法が行われてもよい。使用される手法を問わず、コーティングチャンバ１４０３によりガラス板１０４の第１の主面２１４ａに適用される対応する第１のコーティング層１５０３ａ及びガラス板１０４の第２の主面２１４ｂに適用される第２のコーティング層１５０３ｂにより、分離中に発生した任意のデブリがガラス板１０４の第１の主面２１４ａ及びガラス板１０４の第２の主面２１４ｂに接触するのを防止することができる。
図１９の矢印１６０１によって示されるように、ガラス板１０４は、その後、図２０に示される縁部仕上げステーションに送られ得る。縁部仕上げステーションでは、ガラス板１０４の縁部を、ガラス板１０４の強度を損なうおそれのあるマイクロクラック又は他の不完全性を除去するよう仕上げることができる。いくつかの実施形態では、示されるように、加工時間を低減するために複数の研削デバイス１６０３を設けることができる。いくつかの実施形態では、研削デバイス１６０３の１つ以上は異なる仕上げ作業を行ってもよい。例えば、１つの研削デバイス１６０３は粗い研削工程を施すことができる一方、別の研削デバイス１６０３（例えば、より細かい研削ホイールを有する）は、微調整された研削又は研磨工程を施してもよい。加えて、図示しないが、研磨及び／又は研削中に発生したデブリを除去するように設計された洗浄ホイールを有する別の類似のデバイスが設けられてもよい。
図２１に示される実施形態では、スピンドル１７０１により、回転軸線１７０５の周りを回転するように研削ホイール１７０３を駆動してもよい。研削ホイール１７０３は垂直に移動し（例えば、二重矢印１７０７によって示されるように）、ガラス板１０４の対応する縁部１７０９を受け入れるために研削ホイール１７０３の適切な溝を露出させてもよい。図２１に示すように、ガラス板１０４の縁部１７０９はシュラウド１７１３の横方向開口部１７１１を通して受け入れられ得る。流体潤滑剤及び／又は冷却剤（図示せず）が、例えば、流体の流れとしてシュラウド１７１３の内部内のガラス板１０４の縁部１７０９に適用され得る。シュラウド１７１３は、シュラウド１７１３の外部にあるガラス板１０４の保護コーティングを、縁部機械加工技法中に発生した、流体冷却剤中に取り込まれるかなりのデブリから保護することができる。流体の流れをガラス板１０４上に堆積させるよりもむしろ、図２２に示されるように、流体の流れはガラス板１０４から離れて配置された流体出口ポート１８０１、１８０３において出ることができる。
図２２に更に示されるように、いくつかの実施形態では、流体の流れ１８０５（例えば、潤滑剤）は研削ホイール１７０３の作業面に当たり、研削ホイール１７０３内に埋め込まれたデブリを除去し、それにより、研削ホイール１７０３の研削性能を回復してもよい。いくつかの実施形態では、１つ以上の研削デバイスガスノズル１８０７ａ、１８０７ｂが横方向開口部１７１１に向かってガスを導き、シュラウド１７１３内の流体がガラス板１０４の内部に向かって移動しないように拘束してもよい。したがって、研削デバイスガスノズル１８０７ａ、１８０７ｂは、シュラウド１７１３の機能を更に促進し、これにより、ガラス板１０４の中央部のデブリ及び流体への曝露を低減することができる。いくつかの実施形態では、図２２に示すように、縁部（例えば、シュラウド１７１３内の）からデブリを取り込んだ液体を除去するための従研削デバイスノズル１８０９が設けられてもよい。更に示されるように、機械加工工程によりガラス板１０４上に残った任意の残留流体をより完全に除去するために研削デバイスガスナイフ１８１１も設けられてよい。
図２０に矢印１９０１によって示されるように、ガラス板１０４の縁部が仕上げられると、保護コーティング（例えば、第１のコーティング層１５０３ａ、第２のコーティング層１５０３ｂ）は図２３に示されるコーティング除去ステーション１９０３において除去されてもよい。いくつかの実施形態では、保護コーティングを除去するように設計された液体にガラス板１０４の両面を曝露させるために、複数の洗浄ヘッド１９０５が設けられ得る。例えば、液体は、ブラシ研磨又は他の手法を用いて若しくは用いずにガラス板１０４から保護層を除去するように設計されたアルカリ性物質及び／又は洗浄剤を含み得る。保護層上に堆積した任意のデブリも液体と共に押し流されてよい。
図示しないが、ガラス板１０４は、その後、例えば、ガスナイフ又は他の乾燥工程によって乾燥させてもよい。図２３に矢印２００１によって示されるように、ガラス板１０４は、その後、図２４に示される検査ステーション２００３に送られてもよい。検査ステーション２００３では、品質を確保するために、及びガラス板１０４が顧客により設定され得る１つ以上の要件を満たすかどうかを判定するために、検査デバイス２００５によりガラス板１０４の１つ以上の特性を検査してもよい。検査デバイス２００５は、泡、混入物、表面粒子、コード、厚み、直角度、寸法、縁部品質、かき傷、クラック、表面不完全性、表面形状、表面特徴、又はガラス板１０４の他の特性の１つ以上を検知するように設計され得る。
ガラス板１０４が検査要件を満たす場合、清浄なガラス板１０４は他のガラス板１０４と共に梱包されてもよい。いくつかの実施形態では、ガラス板１０４は隣接するガラス板１０４間に配置された高品質な間紙又は他の材料（例えば、高分子材料）と共に積み重ねて配置されてもよい。高品質な間紙又は他の材料は、化学物質又は繊維によるガラス板１０４の任意の汚染を回避するよう選択され得る。
ここで、本明細書中に開示される種々の実施形態によるガラス加工方法２１００を概略的に示す図２５を参照してガラスリボン１０３及びガラス板１０４を加工する方法について記載する。ガラス加工方法２１００は分離ステップ２１０１から開始することができ、分離ステップ２１０１では、例えば、ガラス板１０４はガラスセパレータ１４９によってガラスリボン１０３から分離され得る。いくつかの実施形態では、ガラス板１０４は、図１に示すようにガラスリボン１０３から分離され得る。いくつかの実施形態では、ガラス板１０４の外側部分１５９はガラス板１０４の中央部分１６１から分離され得る。いずれの場合でも、図１０〜図１４に関して上で記載した工程の一部又は全部を用いてもよい。例えば、分離工程中に発生したデブリ（例えば、分離デブリ１００１）を取り込むための、並びに環境デブリ１００２がガラスリボン１０３及びガラス板１０４に接触することを防ぐためのガスカーテン（例えば、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の内部ガスカーテン１８７ｄ）を作成してもよい。
ガラス加工方法２１００は、その後、デブリ除去ステップ２１０３に進んでもよく、デブリ除去ステップ２１０３では、分離ステップ２１０１中に発生したデブリが図１５に関して記載した洗浄部１３０３によって除去され得る。ガラス加工方法２１００は、その後、コーティング適用ステップ２１０５に進み得る。コーティング適用ステップ２１０５中、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂは、図１６に関して上で記載したコーティングチャンバ１４０３により、第１のコーティング層１５０３ａ及び第２のコーティング層１５０３ｂにより保護され得る。いくつかの実施形態では、デブリ除去ステップ２１０３後であるが、コーティング適用ステップ２１０５中の保護層適用前、洗浄及び乾燥したガラス板１０４は任意の検査ステップ２１２７中に検査され得る。いくつかの実施形態では、検査ステップ２１２７において、検査デバイス２００５を使用してもよい。
コーティング適用ステップ２１０５後、ガラス板１０４に更なるサイズ変更が必要な場合、ガラス板１０４はサイズ変更ステップ２１０９に進むことができる。サイズ変更ステップ２１０９中、ガラス板１０４は図１９に関して上で記載したようにサイズ変更され得る。或いは、ガラス板１０４が既に所望の寸法である場合、ガラス板１０４はサイズ変更ステップ２１０９を省略してもよい。いずれの場合でも、ガラス加工方法２１００は、その後、縁部仕上げステップ２１１５に進んでもよい。縁部仕上げステップ２１１５中、保護されるガラス板１０４の縁部は図２０〜図２２に関して上で記載したように仕上げられ得る。
顧客がガラス板１０４を保護コーティングが除去された状態で受け取ることを望む場合、仕上げ済みの縁部を有するガラス板１０４は、その後、保護コーティング（例えば、第１のコーティング層１５０３ａ、第２のコーティング層１５０３ｂ）が図２３に関して上で記載したように除去されるコーティング除去ステップ２１２１に進んでもよい。乾燥されると、ガラス板１０４は、その後、図２４に関して記載したような検査ステップ２１２３及び検査ステーション２００３に送られてもよい。清浄及び乾燥ガラス板１０４は、その後、最終梱包及び輸送ステップ２１２５中に輸送用に梱包されてもよい。
顧客側の加工時間を低減するために、ガラス板を保護表面なしで顧客に提供することが望ましい場合がある。しかしながら、新品状態のガラス板を保護コーティングなしで輸送することには課題がある場合がある。例えば、保護表面なしでは、輸送中ガラスが損傷し得る可能性が高まる。更に、表面自体が保護されていない場合、梱包された又は積み重ねられたガラス板を分離するために間紙を使用してもよく、間紙材料はガラス板に直接接触するため、繊維の脱落又はガラス板に悪影響を及ぼす他の効果を低減するために比較的高価な間紙が用いられる場合がある。更に加えて、表面保護なしでは、梱包後にデブリが導入されるおそれがあり、このことは顧客にとって容認できないことが分かっている場合がある。
輸送中に保護コーティングを残し、顧客に現場でコーティングを除去させることには利点があり得る。例えば、保護コーティングは、ガラス表面を損傷する可能性を回避することができる。いくつかの実施形態では、輸送中に生成される任意のデブリを、後のコーティング除去ステップ２１３１中、保護コーティングと共に除去することができる。ガラス板が保護コーティングを有して輸送される場合におけるガラス板１０４の可能な加工方法の１つも図２５に示す。実際、コーティング適用ステップ２１０５及び任意のサイズ変更ステップ２１０９を経た後、ガラス板１０４は、その後、縁部仕上げステップ２１１５中に仕上げられ得る。コーティング除去ステップ２１２１でコーティングを除去するよりもむしろ、ガラス板１０４は、その後、梱包及び輸送ステップ２１２９によって示されるように梱包され、輸送されてもよい。ガラス板１０４は保護コーティングによって既に保護されていることから、より安価な間紙を使用してもよい。実際、間紙の任意の脱落は、図２３に関して上で記載したように保護コーティングが除去される、後のコーティング除去ステップ２１３１中に除去され得る。前に記載したように、後のコーティング除去ステップ２１３１は、顧客にガラス板１０４を輸送後に実施され得る。いくつかの実施形態では、後のコーティング除去ステップは、上述のコーティング除去ステップ２１２１に類似するか又は同一であり得る。
ガラスリボン１０３を加工する方法は、ある量の溶融材料１２１から延伸平面１８１に沿って延伸方向１７７にガラスリボン１０３を延伸するステップと、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部上流側部分１８８ａを、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａから離間されている第１の外部上流側経路に沿って通過させるステップと、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａを、第１の外部下流側経路に沿ってガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに向かう方向に通過させるステップと、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａをガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当てるステップとを含み得る。この方法は、第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部上流側部分１８８ｂを、ガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂから離間され得る第２の外部上流側経路に沿って通過させるステップと、第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂを、第２の外部下流側経路に沿ってガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに向かう方向に通過させるステップと、第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂをガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当てるステップとを更に含み得る。
いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３を加工する方法は、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部上流側部分１８８ｃを、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａから離間されている第１の内部上流側経路に沿って通過させるステップと、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃを、第１の内部下流側経路に沿ってガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに向かう方向に通過させるステップと、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃをガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当てるステップとを含み得る。この方法は、第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部上流側部分１８８ｄを、ガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂから離間され得る第２の内部上流側経路に沿って通過させるステップと、第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄを、第２の内部下流側経路に沿ってガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに向かう方向に通過させるステップと、第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄをガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当てるステップとを更に含み得る。
いくつかの実施形態では、この方法は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部上流側部分１８８ａを、第１の内部表面１００７ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに面している状態で配置された第１のバッフル１００５ａの第１の外部表面１００７ｂ上に通過させるステップと、その後、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部上流側部分１８８ａを、第１のバッフル１００５ａの第１の下流側縁部１００９ａ上に通過させるステップとを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、ガスの冷却流１００３を、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａと、第１のバッフル１００５ａの第１の内部表面１００７ａとの間に画定された第１の空間内に通過させるステップであって、冷却流１００３は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の下流側方向とは反対側の第１の上流側方向に移動し得る、ステップを含み得る。この方法は、また、第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部上流側部分１８８ｂを、第２の内部表面１００８ａがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに面している状態で配置された第２のバッフル１００５ｂの第２の外部表面１００８ｂ上に通過させるステップと、その後、第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部上流側部分１８８ｂを、第２のバッフル１００５ｂの第２の下流側縁部１００９ｂ上に通過させるステップとを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、ガスの冷却流１００３を、ガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂと、第２のバッフル１００５ｂの第２の内部表面１００８ａとの間に画定された第２の空間内に通過させるステップであって、冷却流１００３は、第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の下流側方向とは反対側の第２の上流側方向に移動し得る、ステップを含み得る。
いくつかの実施形態では、この方法は、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部上流側部分１８８ｃを、第１の外部表面１００７ｂがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａとは逆に面している状態で配置された第１のバッフル１００５ａの第１の内部表面１００７ａ上に通過させるステップと、その後、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部上流側部分１８８ｃを、第１のバッフル１００５ａの第１の下流側縁部１００９ａ上に通過させるステップとを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、ガスの冷却流１００３を、ガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａと、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部上流側部分１８８ｃとの間に画定された第１の空間内に通過させるステップであって、冷却流１００３は、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の下流側方向とは反対側の第１の上流側方向に移動し得る、ステップを含み得る。この方法は、また、第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部上流側部分１８８ｄを、第２の外部表面１００８ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂとは逆に面している状態で配置された第２のバッフル１００５ｂの第２の内部表面１００８ａ上に通過させるステップと、その後、第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部上流側部分１８８ｄを、第２のバッフル１００５ｂの第２の下流側縁部１００９ｂ上に通過させるステップとを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、ガスの冷却流１００３を、ガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂと、第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部上流側部分１８８ｄとの間に画定された第２の空間内に通過させるステップであって、冷却流１００３は、第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の下流側方向とは反対側の第２の上流側方向に移動し得る、ステップを含み得る。
いくつかの実施形態では、この方法は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部上流側部分１８８ａと、第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部上流側部分１８８ｂとの間にガラスリボン１０３を延伸するステップと、その後、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａと、第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂとの間にガラスリボン１０３を延伸するステップとを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、第１のバッフル１００５ａの第１の内部表面１００７ａと、第２のバッフル１００５ｂの第２の内部表面１００８ａとの間にガラスリボン１０３を延伸するステップを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部上流側部分１８８ｃと、第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部上流側部分１８８ｄとの間にガラスリボン１０３を延伸するステップと、その後、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃと、第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄとの間にガラスリボン１０３を延伸するステップとを含み得る。
いくつかの実施形態では、この方法は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の下流側のガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離するステップを含み得る。いくつかの実施形態では、この方法は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の上流側のガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離するステップを含み得る。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３を加工する方法は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の下流側、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の下流側のガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離するステップを含み得る。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３を加工する方法は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の上流側、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の上流側のガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離するステップを含み得る。
いくつかの実施形態では、この方法は、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所と、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所との間の延伸平面１８１に沿ったある高さにおいてガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離するステップを含み得る。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３を加工する方法は、第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所と、第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所との間の延伸平面１８１に沿ったある高さにおいてガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離するステップを含み得る。
いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３を加工する方法は、ガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離するときに生成されたデブリ（例えば、分離デブリ１００１）を、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの少なくとも１つに取り込むステップを含み得る。いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３を加工する方法は、第１の外部ガスカーテン１８７ａ、第１の内部ガスカーテン１８７ｃ、第２の外部ガスカーテン１８７ｂ、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの少なくとも１つに取り込まれたデブリを、真空ポート１０１１（真空ポート１０１１に印加される圧力下で）及び真空部１４８（例えば、第１の真空部１４８ａ、第２の真空部１４８ｂ）（対応する第１の真空源１４７ａ及び第２の真空源１４７ｂにより）の少なくとも１つに引くことを含み得る。
いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３を加工する方法は、ガラスリボン１０３に関連する領域１２１２からデブリを除去するステップ（例えば、ガスディスペンサ１２００によって分離デブリ１００１及び環境デブリ１００２を除去するステップ）を含み得る。いくつかの実施形態では、領域１２１２は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部上流側部分１８８ａと、第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部上流側部分１８８ｂとの間で側方に画定され得る。いくつかの実施形態では、領域１２１２は、第１のバッフル１００５ａと第２のバッフル１００５ｂとの間で側方に画定され得る。いくつかの実施形態では、領域１２１２は、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部上流側部分１８８ｃと、第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部上流側部分１８８ｄとの間で側方に画定され得る。いくつかの実施形態では、領域１２１２は、第１の外部ガスカーテン１８７ａの第１の外部下流側部分１８９ａがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の上流側、及び第２の外部ガスカーテン１８７ｂの第２の外部下流側部分１８９ｂがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の上流側であり得る。いくつかの実施形態では、領域１２１２は、第１の内部ガスカーテン１８７ｃの第１の内部下流側部分１８９ｃがガラスリボン１０３の第１の主面２１３ａに当たる場所の上流側、及び第２の内部ガスカーテン１８７ｄの第２の内部下流側部分１８９ｄがガラスリボン１０３の第２の主面２１３ｂに当たる場所の上流側であり得る。いくつかの実施形態では、除去するステップは、ガス流１２０５を延伸平面１８１に沿って延伸方向１７７に供給するステップを含み得る。いくつかの実施形態では、除去するステップは、ガス流１２０５をガラスリボン１０３の幅「Ｗ」全体に沿って供給するステップと、ガス流１２０５を、ガラスリボン１０３を取り囲むように供給するステップとを含み得る。
いくつかの実施形態では、この方法は、ガラスリボン１０３からガラス板１０４を分離するステップと、その後、ガラス板１０４の主面（例えば、第１の主面２１４ａ、第２の主面２１４ｂ）からデブリ（例えば、分離デブリ１００１、環境デブリ１００２）を除去するためにガラス板１０４（例えば、洗浄部１３０３において）を洗浄するステップとを含み得る。いくつかの実施形態では、洗浄するステップは、デブリを除去すること及び液体中にデブリを取り込むことの少なくとも１つのためにガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂに液体を供給する第１の段階（例えば、第１の液体ノズル１３０９を含む第１の液体ディスペンサ１３０７による）と、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂから液体を除去するためにガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂにガスを供給する第２の段階（例えば、ガスノズル１３１９を含むガスナイフ１３１７による）とを含み得る。
いくつかの実施形態では、ガラス板１０４は、垂直に方向付けられ得、且つ洗浄中に移動方向１３２１に沿って移動し得る。いくつかの実施形態では、ガスは、第２の段階中、重力の方向に下方に液体を導くためにガラス板１０４の移動方向１３２１に対して第２の角度「Ａ２」に供給され得る。いくつかの実施形態では、洗浄するステップは、第２の段階中、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂにガスを供給する前にガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂをリンス液（例えば、第２の液体ノズル１３２７を含む第２の液体ディスペンサ１３２３からの）ですすぐステップと、ガラス板１０４の移動方向１３２１に対して角度をなして方向付けられたデフレクタ１３２５によってガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂからリンス液を除去して、リンス液を重力の方向に下方に導くステップとを含み得る。
いくつかの実施形態では、ガラスリボン１０３を加工する方法は、ガラス板１０４を洗浄した後、ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂに保護層（例えば、第１のコーティング層１５０３ａ、第２のコーティング層１５０３ｂ）をコーティングするステップを含み得る。いくつかの実施形態では、保護層は、ポリマーを含み得る。いくつかの実施形態では、保護層は、プラズマ蒸着によって（例えば、コーティングチャンバ１４０３内で）ガラス板１０４の主面２１４ａ、２１４ｂにコーティングされ得る。
種々の開示される実施形態は、特定の実施形態と共に記載されている特定の特徴、要素、又はステップを含んでもよいことは理解されるであろう。特定の特徴、要素、又はステップは、１つの特定の実施形態に関して記載されていても、種々の図示されない組合せ又は順列において別実施形態と入れ替えても組み合わせてもよいことも理解されるであろう。
また、本明細書で使用する場合、名詞は「少なくとも１つ」の対象を指し、これとは反対の明確な指示のない限り、「１つのみ」の対象に限定すべきではないと理解すべきである。したがって、例えば、「光源」に言及する場合、文脈でこれとは反対の明確な指示のない限り、２つ以上のこうした光源を有する実施形態を含む。同様に、「複数」又は「アレイ」は「２つ以上」を意味するものである。したがって、「複数」又は「アレイ」のキャビティは、３つ以上のこうしたキャビティ等など、２つ以上のこうした要素を含む。
本明細書中では範囲は、「約」１つの特定の値から及び／又は「約」別の特定の値までと表現され得る。このような範囲が表現される場合、実施形態は、１つの特定の値から及び／又はもう１つの特定の値までを含む。同様に、値が先行詞「約」の使用により概算値として表現される場合、特定の値は別の側面をなすことは理解されるであろう。更に、各範囲の終点は、もう一方の終点に対して及びもう一方の終点から独立しての両方において有意であることは理解されるであろう。
本明細書で使用する場合、用語「実質的」、「実質的に」及びこれらの変化形は、記載される特徴が値又は記載に等しいか又はほぼ等しいことを示すものである。例えば、「実質的に平坦な」表面は、平坦又はほぼ平坦な表面を意味するものである。更に、上で定義したように、「実質的に類似している」は、２つの値が等しいか又はほぼ等しいことを意味するものである。
特に明確な指示のない限り、本明細書中に説明する任意の方法は、そのステップを特定の順序で実施することが必須であると解釈されるものでは一切ない。したがって、方法クレームがそのステップが取るべき順序を実際に記載していない場合、又はそうでなければステップが特定の順序に限定されることが特許請求の範囲又は本明細書に具体的に記載されていない限り、任意の特定の順序が推論されるものでは一切ない。
特定の実施形態の種々の特徴、要素、又はステップは移行句「含む」を使用して開示され得るが、移行句「からなる」又は「から実質的になる」を使用して記載され得るものを含む別の実施形態が示唆されることを理解すべきである。したがって、例えば、Ａ＋Ｂ＋Ｃを含むデバイスの示唆される別の実施形態は、デバイスがＡ＋Ｂ＋Ｃからなる実施形態及びデバイスがＡ＋Ｂ＋Ｃから本質的になる実施形態を含む。
本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなく、本開示に対する種々の改良形態及び変形形態がなされ得ることは当業者に明らかであろう。本開示の趣旨及び実体を組み込む開示される実施形態の改良形態、組合せ、下位組合せ、及び変形形態は当業者に想起され得るため、本開示は、添付の特許請求の範囲の範囲内の全て及びそれらの均等物を含むものと解釈されるべきである。
以下、本時発明の好ましい実施形態を項分け記載する。
実施形態１
ガラス板を加工するための装置において、コーティングチャンバであって、前記ガラス板の少なくとも１つの主面にコーティングを供給するように方向付けられた供給ポートを含むコーティングチャンバを含むことを特徴とする装置。
実施形態２
前記供給ポートは、前記ガラス板の前記少なくとも１つの主面をコーティングするためのプラズマを供給するように方向付けられたプラズマ蒸着ポートを含むことを特徴とする、実施形態１に記載の装置。
実施形態３
ガラス板を加工するための装置において、
第１の複数の供給ポート及び第２の複数の供給ポートを含むコーティングチャンバを含み、
前記第１の複数の供給ポートのそれぞれは、前記ガラス板の第１の主面にコーティングを供給するように方向付けられており、
前記第２の複数の供給ポートのそれぞれは、前記ガラス板の第２の主面にコーティングを供給するように方向付けられていることを特徴とする装置。
実施形態４
前記第１の複数の供給ポートのそれぞれは、前記ガラス板の前記第１の主面をコーティングするためのプラズマを供給するように方向付けられたプラズマ蒸着ポートを含み、前記第２の複数の供給ポートのそれぞれは、前記ガラス板の前記第２の主面をコーティングするためのプラズマを供給するように方向付けられたプラズマ蒸着ポートを含むことを特徴とする、実施形態３に記載の装置。
実施形態５
ガラス板を加工する方法において、
ガラス板をコーティングチャンバに提供するステップと、
前記ガラス板の少なくとも１つの主面にコーティングを供給するステップと
を含むことを特徴とする方法。
実施形態６
前記コーティングチャンバは、供給ポートであって、前記供給ポートから前記コーティングが供給される、供給ポートを含むことを特徴とする、実施形態５に記載の方法。
実施形態７
前記コーティングは、前記ガラス板の前記少なくとも１つの主面に保護層を提供することを特徴とする、実施形態５に記載の方法。
実施形態８
前記コーティングは、プラズマ蒸着によって前記少なくとも１つの主面にコーティングされることを特徴とする、実施形態５に記載の方法。
実施形態９
前記コーティングは、ポリマーを含むことを特徴とする、実施形態５に記載の方法。
実施形態１０
前記ガラス板は、垂直方向であることを特徴とする、実施形態５〜９のいずれか一項に記載の方法。
実施形態１１
ガラス板を加工する方法において、
ガラス板をコーティングチャンバに提供するステップと、
前記ガラス板の第１の主面にコーティングを供給するステップと、
前記ガラス板の第２の主面にコーティングを供給するステップと
を含むことを特徴とする方法。
実施形態１２
前記コーティングチャンバは、第１の複数の供給ポートであって、前記第１の複数の供給ポートから前記ガラス板の前記第１の主面に前記コーティングが供給される、第１の複数の供給ポートと、第２の複数の供給ポートであって、前記第２の複数の供給ポートから前記ガラス板の前記第２の主面に前記コーティングが供給される、第２の複数の供給ポートとを含むことを特徴とする、実施形態１１に記載の方法。
実施形態１３
前記コーティングは、前記ガラス板の前記第１の主面及び前記第２の主面に保護層を提供することを特徴とする、実施形態１１に記載の方法。
実施形態１４
前記コーティングは、プラズマ蒸着によって前記第１の主面及び前記第２の主面にコーティングされることを特徴とする、実施形態１１に記載の方法。
実施形態１５
前記コーティングは、ポリマーを含むことを特徴とする、実施形態１１に記載の方法。
実施形態１６
前記ガラス板は、垂直方向であることを特徴とする、実施形態１１〜１５のいずれか一項に記載の方法。
実施形態１７
ガラス板を加工するための装置において、
筐体を含む煙霧チャンバと、
前記筐体に煙霧を提供するための煙霧発生器と、
前記筐体内の通路であって、前記通路から煙霧が前記筐体を出て、前記ガラス板の少なくとも１つの主面に接触し得る、通路と
を含むことを特徴とする装置。
実施形態１８
前記通路に沿って延びている移動経路を画定するコンベヤを更に含み、前記コンベヤは、前記移動経路に沿って前記ガラス板を移動するように方向付けられていることを特徴とする、実施形態１７に記載の装置。
実施形態１９
前記通路は、スロットノズルを含み、煙霧は、前記スロットノズルを通って前記筐体を出て、前記ガラス板の前記少なくとも１つの主面に接触し得ることを特徴とする、実施形態１７に記載の装置。
実施形態２０
前記スロットノズルは、前記通路に沿って離間された複数の長尺状の孔を含むことを特徴とする、実施形態１９に記載の装置。
実施形態２１
前記通路は、拡散ノズルを含み、煙霧は、前記拡散ノズルを通って前記筐体を出て、前記ガラス板の前記少なくとも１つの主面に接触し得ることを特徴とする、実施形態１７に記載の装置。
実施形態２２
前記拡散ノズルは、複数の孔であって、前記複数の孔を煙霧が通過し得る、複数の孔を含むことを特徴とする、実施形態２１に記載の装置。
実施形態２３
前記煙霧チャンバは、前記煙霧チャンバの外部から前記煙霧チャンバの内部に延びる入口経路を画定する入口を含み、前記入口は、前記ガラス板を受け入れて、前記入口経路に沿って前記煙霧チャンバの前記外部から前記煙霧チャンバの前記内部に送るように方向付けられていることを特徴とする、実施形態１７に記載の装置。
実施形態２４
前記入口を選択的に遮断するための扉を更に含むことを特徴とする、実施形態２３に記載の装置。
実施形態２５
ガラス板を加工するための装置において、
第１の筐体及び第２の筐体を含む煙霧チャンバと、
前記第１の筐体及び前記第２の筐体に煙霧を提供するための煙霧発生器と、
前記第１の筐体内の第１の通路であって、前記第１の通路から煙霧が前記第１の筐体を出て、前記ガラス板の第１の主面に接触し得る、第１の通路、及び前記第２の筐体内の第２の通路であって、前記第２の通路から煙霧が前記第２の筐体を出て、前記ガラス板の第２の主面に接触し得る、第２の通路と
を含むことを特徴とする装置。
実施形態２６
前記第１の通路は、前記第２の通路に面していることを特徴とする、実施形態２５に記載の装置。
実施形態２７
前記第１の通路は、前記第２の通路から所定の距離だけ離間されており、前記所定の距離は、前記ガラス板の移動経路を画定することを特徴とする、実施形態２６に記載の装置。
実施形態２８
前記移動経路に沿って前記ガラス板を移動するように方向付けられたコンベヤを更に含むことを特徴とする、実施形態２７に記載の装置。
実施形態２９
前記第１の通路は、第１のスロットノズルを含み、煙霧は、前記第１のスロットノズルを通って前記第１の筐体を出て、前記ガラス板の前記第１の主面に接触し得、及び前記第２の通路は、第２のスロットノズルを含み、煙霧は、前記第２のスロットノズルを通って前記第２の筐体を出て、前記ガラス板の前記第２の主面に接触し得ることを特徴とする、実施形態２５に記載の装置。
実施形態３０
前記第１のスロットノズル及び前記第２のスロットノズルのそれぞれは、前記第１の通路及び前記第２の通路に沿って離間された複数の長尺状の孔を含むことを特徴とする、実施形態２９に記載の装置。
実施形態３１
前記第１の通路は、第１の拡散ノズルを含み、煙霧は、前記第１の拡散ノズルを通って前記第１の筐体を出て、前記ガラス板の前記第１の主面に接触し得、及び前記第２の通路は、第２の拡散ノズルを含み、煙霧は、前記第２の拡散ノズルを通って前記第２の筐体を出て、前記ガラス板の前記第２の主面に接触し得ることを特徴とする、実施形態２５に記載の装置。
実施形態３２
前記第１の拡散ノズル及び前記第２の拡散ノズルのそれぞれは、複数の孔であって、前記複数の孔を煙霧が通過することができる、複数の孔を含むことを特徴とする、実施形態３１に記載の装置。
実施形態３３
前記煙霧チャンバは、前記煙霧チャンバの外部から前記煙霧チャンバの内部に延びる入口経路を画定する入口を含み、前記入口は、前記ガラス板を受け入れて、前記入口経路に沿って前記煙霧チャンバの前記外部から前記煙霧チャンバの前記内部に送るように方向付けられていることを特徴とする、実施形態２５に記載の装置。
実施形態３４
前記入口を選択的に遮断するための入口扉を更に含むことを特徴とする、実施形態３３に記載の装置。
実施形態３５
前記第１の通路は、前記第２の通路に面しており、前記第１の通路は、前記第２の通路から所定の距離だけ離間されており、前記所定の距離は、前記ガラス板の移動経路を画定することを特徴とする、実施形態３３に記載の装置。
実施形態３６
前記煙霧チャンバは、前記煙霧チャンバの前記内部から前記煙霧チャンバの前記外部に延びる出口経路を画定する出口を含み、前記出口は、前記ガラス板を受け入れて、前記出口経路に沿って前記煙霧チャンバの前記内部から前記煙霧チャンバの前記外部に移動するように方向付けられていることを特徴とする、実施形態３３に記載の装置。
実施形態３７
前記出口を選択的に遮断するための出口扉を更に含むことを特徴とする、実施形態３６に記載の装置。
実施形態３８
前記第１の通路は、前記第２の通路に面しており、前記第１の通路は、前記第２の通路から所定の距離だけ離間されており、前記所定の距離は、前記入口から前記出口に延びる前記ガラス板の移動経路を画定することを特徴とする、実施形態３６に記載の装置。
実施形態３９
前記入口を選択的に遮断するための入口扉及び前記出口を選択的に遮断するための出口扉を更に含むことを特徴とする、実施形態３８に記載の装置。
実施形態４０
ガラス板を加工する方法において、
ガラス板を煙霧チャンバに提供するステップと、
前記煙霧チャンバの筐体に煙霧を提供するステップと、
前記筐体内の通路を通じて前記筐体から前記煙霧を送ることにより、前記ガラス板の少なくとも１つの主面を前記煙霧に接触させるステップと
を含むことを特徴とする方法。
実施形態４１
前記通路に沿って延びている移動経路に沿って前記ガラス板を搬送するステップを更に含むことを特徴とする、実施形態４０に記載の方法。
実施形態４２
前記通路は、長尺状の孔を含むスロットノズルを含み、前記ガラス板の前記少なくとも１つの主面を接触させるステップは、前記スロットノズルの前記長尺状の孔を通じて前記筐体から前記煙霧を送るステップを含むことを特徴とする、実施形態４０に記載の方法。
実施形態４３
前記通路は、複数の孔を含む拡散ノズルを含み、前記ガラス板の前記少なくとも１つの主面を接触させるステップは、前記拡散ノズルの前記複数の孔を通じて前記筐体から前記煙霧を送るステップを含むことを特徴とする、実施形態４０に記載の方法。
実施形態４４
入口経路に沿って前記煙霧チャンバの外部から前記煙霧チャンバの内部に前記ガラス板を移動させるステップを更に含むことを特徴とする、実施形態４０に記載の方法。
実施形態４５
前記入口を選択的に遮断する扉を開くステップと、入口経路に沿って前記煙霧チャンバの外部から前記煙霧チャンバの内部に前記ガラス板を移動させるステップと、その後、前記入口を遮断するために前記扉を閉じるステップとを更に含むことを特徴とする、実施形態４４に記載の方法。
実施形態４６
前記ガラス板は、垂直方向であることを特徴とする、実施形態４０〜４５のいずれか一項に記載の方法。
実施形態４７
ガラス板を加工する方法において、
ガラス板を煙霧チャンバに提供するステップと、
前記煙霧チャンバの第１の筐体及び前記煙霧チャンバの第２の筐体に煙霧を提供するステップと、
前記第１の筐体内の第１の通路を通じて前記第１の筐体から前記煙霧を送ることにより、前記ガラス板の第１の主面を前記煙霧に接触させるステップと、
前記第２の筐体内の第２の通路を通じて前記第２の筐体から前記煙霧を送ることにより、前記ガラス板の第２の主面を前記煙霧に接触させるステップと
を含むことを特徴とする方法。
実施形態４８
前記第１の通路と前記第２の通路との間で側方に、前記第１の通路及び前記第２の通路に沿って延びている移動経路に沿って前記ガラス板を搬送するステップを更に含むことを特徴とする、実施形態４７に記載の方法。
実施形態４９
前記第１の通路は、前記第２の通路に面しており、前記第１の通路は、前記第２の通路から所定の距離だけ離間されていることを特徴とする、実施形態４８に記載の方法。
実施形態５０
前記第１の通路は、第１の長尺状の孔を含む第１のスロットノズルを含み、及び前記第２の通路は、第２の長尺状の孔を含む第２のスロットノズルを含み、前記ガラス板の前記第１の主面を接触させるステップは、前記第１のスロットノズルの前記第１の長尺状の孔を通じて前記第１の筐体から前記煙霧を送るステップを含み、前記ガラス板の前記第２の主面を接触させるステップは、前記第２のスロットノズルの前記第２の長尺状の孔を通じて前記第２の筐体から前記煙霧を送るステップを含むことを特徴とする、実施形態４７に記載の方法。
実施形態５１
前記第１の通路は、第１の複数の孔を含む第１の拡散ノズルを更に含み、及び前記第２の通路は、第２の複数の孔を含む第２の拡散ノズルを更に含み、前記ガラス板の前記第１の主面を接触させるステップは、前記第１の拡散ノズルの前記第１の複数の孔を通じて前記第１の筐体から前記煙霧を送るステップを含み、及び前記ガラス板の前記第２の主面を接触させるステップは、前記第２の拡散ノズルの前記第２の複数の孔を通じて前記第２の筐体から前記煙霧を送るステップを含むことを特徴とする、実施形態５０に記載の方法。
実施形態５２
入口経路に沿って前記煙霧チャンバの外部から前記煙霧チャンバの内部に前記ガラス板を移動させるステップを更に含むことを特徴とする、実施形態４７に記載の方法。
実施形態５３
出口経路に沿って前記煙霧チャンバの前記内部から前記煙霧チャンバの前記外部に前記ガラス板を移動させるステップを更に含むことを特徴とする、実施形態５２に記載の方法。
実施形態５４
前記煙霧チャンバの前記入口を選択的に遮断する入口扉を開くステップと、前記入口経路に沿って前記煙霧チャンバの前記外部から前記煙霧チャンバの前記内部に前記ガラス板を移動させるステップと、その後、前記入口を遮断するために前記入口扉を閉じるステップと、前記煙霧チャンバの前記出口を選択的に遮断する出口扉を開くステップと、前記出口経路に沿って前記煙霧チャンバの前記内部から前記煙霧チャンバの前記外部に前記ガラス板を移動させるステップと、その後、前記出口を遮断するために前記出口扉を閉じるステップとを更に含むことを特徴とする、実施形態５３に記載の方法。
実施形態５５
前記ガラス板は、垂直方向であることを特徴とする、実施形態４７〜５４のいずれか一項に記載の方法。

Claims (13)

  1. ガラス板を加工するための装置において、
    第１の複数の供給ポート及び第２の複数の供給ポートを含むコーティングチャンバを含み、
    前記第１の複数の供給ポートのそれぞれは、前記ガラス板の第１の主面にコーティングを供給するように方向付けられており、
    前記第２の複数の供給ポートのそれぞれは、前記ガラス板の第２の主面にコーティングを供給するように方向付けられていることを特徴とする装置。
  2. 前記第１の複数の供給ポートのそれぞれは、前記ガラス板の前記第１の主面をコーティングするためのプラズマを供給するように方向付けられたプラズマ蒸着ポートを含み、前記第２の複数の供給ポートのそれぞれは、前記ガラス板の前記第２の主面をコーティングするためのプラズマを供給するように方向付けられたプラズマ蒸着ポートを含むことを特徴とする、請求項１に記載の装置。
  3. ガラス板を加工する方法において、
    ガラス板をコーティングチャンバに提供するステップと、
    前記ガラス板の少なくとも１つの主面にコーティングを供給するステップと
    を含むことを特徴とする方法。
  4. 前記コーティングは、プラズマ蒸着によって前記少なくとも１つの主面にコーティングされることを特徴とする、請求項３に記載の方法。
  5. 前記ガラス板は、垂直方向であることを特徴とする、請求項３又は４に記載の方法。
  6. ガラス板を加工するための装置において、
    筐体を含む煙霧チャンバと、
    前記筐体に煙霧を提供するための煙霧発生器と、
    前記筐体内の通路であって、前記通路から煙霧が前記筐体を出て、前記ガラス板の少なくとも１つの主面に接触し得る、通路と
    を含むことを特徴とする装置。
  7. 前記通路に沿って延びている移動経路を画定するコンベヤを更に含み、前記コンベヤは、前記移動経路に沿って前記ガラス板を移動するように方向付けられていることを特徴とする、請求項６に記載の装置。
  8. 前記通路は、スロットノズルを含み、煙霧は、前記スロットノズルを通って前記筐体を出て、前記ガラス板の前記少なくとも１つの主面に接触し得るか、又は
    前記通路は、拡散ノズルを含み、煙霧は、前記拡散ノズルを通って前記筐体を出て、前記ガラス板の前記少なくとも１つの主面に接触し得ることを特徴とする、請求項６に記載の装置。
  9. 前記煙霧チャンバは、前記煙霧チャンバの外部から前記煙霧チャンバの内部に延びる入口経路を画定する入口を含み、前記入口は、前記ガラス板を受け入れて、前記入口経路に沿って前記煙霧チャンバの前記外部から前記煙霧チャンバの前記内部に送るように方向付けられていることを特徴とする、請求項６〜８のいずれか一項に記載の装置。
  10. ガラス板を加工する方法において、
    ガラス板を煙霧チャンバに提供するステップと、
    前記煙霧チャンバの筐体に煙霧を提供するステップと、
    前記筐体内の通路を通じて前記筐体から前記煙霧を送ることにより、前記ガラス板の少なくとも１つの主面を前記煙霧に接触させるステップと
    を含むことを特徴とする方法。
  11. 前記通路に沿って延びている移動経路に沿って前記ガラス板を搬送するステップを更に含むことを特徴とする、請求項１０に記載の方法。
  12. 前記通路は、長尺状の孔を含むスロットノズルを含み、前記ガラス板の前記少なくとも１つの主面を接触させるステップは、前記スロットノズルの前記長尺状の孔を通じて前記筐体から前記煙霧を送るステップを含むか、又は
    前記通路は、複数の孔を含む拡散ノズルを含み、前記ガラス板の前記少なくとも１つの主面を接触させるステップは、前記拡散ノズルの前記複数の孔を通じて前記筐体から前記煙霧を送るステップを含むことを特徴とする、請求項１０又は１１に記載の方法。
  13. 前記ガラス板は、垂直方向であることを特徴とする、請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の方法。
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