JP2018522238A5

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Publication number: JP2018522238A5
Application number: JP2018501205A
Authority: JP
Filing date: 2016-07-06
Publication date: 2018-12-06
Anticipated expiration: 2036-07-06

Claims

多層構造体の層間のオーバレイを決定する方法であって、
前記多層構造体を表す所与画像を得ることと、
前記多層構造体の層の予想画像を得ることと、
前記層の前記予想画像の結合体として、前記多層構造体の結合予想画像を生成することと、
前記結合予想画像に対する前記所与画像の位置合わせを実行することと、
前記所与画像のセグメント化を提供して、前記多層構造体の前記層のセグメント化画像およびマップを生成することと、
コンピュータ処理によって、前記多層構造体の任意の２つの層間のオーバレイ測定を、前記選択された２つの層の対応する前記予想画像とともに前記選択された２つの層の前記マップを処理することによって決定すること、
を含む方法。
前記層の前記結合予想画像又は前記予想画像のうちの少なくとも１つが、シミュレーションによって処理された設計画像である、請求項１に記載の方法。
前記多層構造体が、半導体構造体３次元集積回路（３ＤＩＣ）であり、前記所与画像が、３ＤＩＣの走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）画像であり、前記予想画像が、前記層のシミュレートされた設計画像であり、前記結合予想画像が、前記層の順序および予想される閉塞に基づいて、前記層の前記シミュレートされた設計画像を結合することによって形成され、前記セグメント化が、前記層のＳＥＭマップを生成ためのＥＭ画像のセグメント化であり、前記３ＤＩＣの前記２つの選択された層間の前記オーバレイ測定が、前記選択された２つの層の前記想画像を使用して前記選択された２つの層の前記ＳＥＭマップを処理することによって決定される、請求項１に記載の方法。
前記セグメント化が前記層の前記予想画像に基づく、請求項１に記載の方法。
前記予想画像のうちの少なくとも１つを調整することによって前記セグメント化を強化することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
前記層の前記予想画像上および前記マップ上のセーフエリアを、確からしい閉塞および前記予想画像と前記所与画像との間の歪みに基づいて決定することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
前記多層構造体の前記選択された２つの層間の前記オーバレイ測定の前記決定が、決定された前記セーフエリアを利用することによって実行される、請求項６に記載の方法。
前記多層構造体の前記選択された２つの層間のオーバレイ測定の前記決定が、
前記選択された２つの層の各々について、前記選択された２つの層の特定の層の前記マップのそれぞれと、前記特定の層の前記予想画像のそれぞれとの間の層ごとの位置合わせを実行し、
前記選択された２つの層の各々について、前記特定の層のシフトを、前記特定の層の前記マップのそれぞれを前記特定の層の前記予想画像のそれぞれと比較することによって測定し、前記選択された２つの層の２つのシフトをそれぞれ決定し、
前記選択された２つの層間の前記オーバレイ測定を、前記２つのシフトの差として決定する、請求項１に記載の方法。
確からしい閉塞と前記予想画像と前記所与画像との間の歪みに基づいて前記層の前記予想画像上と前記マップ上のセーフエリアを決定し、
前記セーフエリアに基づいて前記層ごとの位置合わせを実行する、
ことをさらに含む、請求項８に記載の方法。
前記多層構造体の前記選択された２つの層間のオーバレイの前記決定が、
前記選択された２つの層のそれぞれの前記マップの中にそれぞれ現れるピクセルの２つのセーフエリア（ＭＳＡ）を選択し、
前記選択された２つの層の前記予想画像のそれぞれの中に現れ、前記ピクセルの２つのＭＳＡにそれぞれ対応する、２つの予想セーフエリア（ＥＳＡ）セグメントを割り当て、
前記選択された２つのＭＳＡのオーバレイベクトルＳ_imgを、前記選択された２つのＭＳＡの重心間の第１の差を計算することによって決定し、
前記２つのＥＳＡセグメントのオーバレイベクトルＳ_expを、前記選択された２つのＭＳＡの重心間の第２の差を計算することによって決定し、
前記選択された２つの層間のオーバレイ測定を、Ｓ_imgとＳ_expとの差を計算することによって決定する、
ことを含む、請求項６に記載の方法。
前記セグメント化を補正するために、前記決定されたオーバレイ測定に関するフィードバックを使用することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
前記補正されたセグメント化を使用して前記オーバレイ測定を再決定することをさらに含む、請求項１１に記載の方法。
前記多層構造体の残りの層に関して、前記多層構造体の各層のそれぞれのオーバレイ測定を決定することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
多層構造体の所与画像および前記多層構造体の層の予想画像を記憶するように構成された記憶装置と、処理装置とを含む画像処理システムであって、前記処理装置が、
前記層の前記予想画像の結合体として前記多層構造体の結合予想画像を生成し、
前記結合予想画像に対して前記所与画像を位置合わせし、
前記所与画像をセグメント化して、前記構造体の前記層のセグメント化された画像およびマップを生成し、
前記多層構造体の任意の選択された２つの層間のオーバレイ測定を、前記選択された２つの層の対応する予想画像とともに前記選択された２つの層の前記マップを処理することで決定する、
システム。
プログラム命令が記憶された非一時的コンピュータ可読媒体を含むコンピュータソフトウェア製品であって、前記プログラム命令が、コンピュータによって読み取られときに、前記コンピュータに、
前記多層構造体を表す所与画像を得ることと、
前記多層構造体の層の予想画像を得ることと、
前記層の前記予想画像の結合体として、前記多層構造体の結合予想画像を生成することと、
前記結合予想画像に対する前記所与画像の位置合わせを実行することと、
前記所与画像のセグメント化を提供して、前記多層構造体の前記層のセグメント化画像およびマップを生成することと、
コンピュータ処理によって、前記多層構造体の任意の２つの層間のオーバレイ測定を、前記選択された２つの層の対応する前記予想画像とともに前記選択された２つの層の前記マップを処理することによって決定すること、
を実行させる、コンピュータソフトウェア製品。