JP2018517898A - 非線形モーダルインタラクションを用いた振動ジャイロスコープ - Google Patents
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Abstract
少なくとも1つの軸周りの角運動を測定するように構成される装置であって、構造体と、振動源と、振動検出器とを備え、前記構造体は、非線形に結合された2つの異なる振動モードを備え、前記2つ異なる振動モードは、検出モード周波数f_senseを有する検出モードと、駆動モード周波数f_driveを有する駆動モードであり、前記振動源は、前記駆動モードで質量体が振動するように構成され、前記振動検出器は、前記検出モードの振動を検出するように構成される、装置が提供される。
Description
<関連出願の相互参照>
本出願は、2015年5月8日に出願された米国特許第62/159054号による利益を主張し、その開示を全て、参照として本明細書に組み入れる。
本出願は、2015年5月8日に出願された米国特許第62/159054号による利益を主張し、その開示を全て、参照として本明細書に組み入れる。
内部共振(IR)を介した、振動の直接励起モードと間接励起モードとの間のエネルギー伝達が、非線形モード相互作用の結果としてなされる。システムの線形固有周波数が比例又はほぼ比例し且つ、非線形項が構造的なモードに結合している場合、内部共振が存在する。例えば、2自由度(DOF)システムでは、線形固有周波数をω_1とω_2と定義すると、ω_1≒2ω_2又はω_2≒2ω_1のときに2次非線形性によって内部共振が生じる。内部共振は、システムに存在する非線形性の結果として生じ、モード間のエネルギー伝達に由来する。伝達されるエネルギー量は、非線形性のタイプ(すなわち、運動方程式を示す2次又は3次の非線形項)によって決まる。非線形の2次結合項は、より高い固有周波数モードによって、低い固有周波数モードの自動パラメトリック励起を引き起こす。内部共振は、幾何的構造と非線形項に依存し、任意の物理系で発生する可能性がある。
内部共振の固有特性を利用した1つの応用領域は、慣性測定である。現在、慣性センサの開発努力として、マイクロマシンジャイロスコープの精度及び精度の改善に向けられていて、これは最も重要で精密な要求の厳しい用途(例えば、軍事、戦術/慣性航法、及び宇宙応用)に使用されうる。
従来のジャイロスコープは、動作の信号振幅(品質係数Q)と帯域幅(BW)との間に常にトレードオフがある線形領域で動作する。典型的には、高感度を達成するために駆動検出の共振周波数を一致させるように設計及びチューニングされ、装置自体は、応答曲線のピーク又はその近くで動作するように制御される。このようなモードの整合要件を必要とするシステムは、製造上の不完全性及び動作条件によるパラメータ変動に敏感である。内部共振は、動作条件及び製造上の不完全性におけるパラメータ変動に対するジャイロスコープの性能を改善することや、その頑強性を強化するために利用されうる。
応答のゲインを更に向上させ、周波数帯域幅を広くするために、非線形結合項の特性の検討が有用である。例えば、2次及び3次の非線形項をシステムにフィードバックすることで、応答の平坦領域形状も改善されてより広い帯域幅を生成することができる。
制御ベースの解決策の一例として、Brand等は、振動の周波数が入力回転速度によって変化する周波数変調に基づくジャイロスコープを開示している。Sonmezogl等は、複雑な電子回路を利用して、従来の振幅変調モード整合ジャイロスコープの帯域幅及び感度を向上させている。
Acar等及びTrusov等は、モードを整合させるという機械的アプローチの例を提示している。当該開示では、帯域幅を広げ、それによってジャイロスコープの頑健性を高めるために、複数の検定質量が導入された。しかしながら、このアプローチは、過度に複雑な機械設計をもたらした。Vyas等は、より高い感度のために内部共振を利用する共振質量センサを開示している。
このように、近年の技術進歩があるものの、現在の応用例を最適化して新しい応用先に拡張するために、振動ジャイロスコープの更なる開発が望まれている。
この概要は、以下の「発明を実施するための形態」で更に説明する概念の選択を簡略化した形で紹介するために提供される。この概要は、特許請求の範囲に記載される特徴を特定することを意図するものではなく、特許請求の範囲を決定する助けとして使用されることも意図していない。
本発明によれば、少なくとも1つの軸周りの角運動を測定するように構成される装置であって、構造体と、振動源と、振動検出器とを備え、前記構造体は、非線形に結合された2つの異なる振動モードを備え、前記2つ異なる振動モードは、検出モード周波数f_senseを有する検出モードと、駆動モード周波数f_driveを有する駆動モードであり、前記振動源は、前記駆動モードで質量体が振動するように構成され、前記振動検出器は、前記検出モードの振動を検出するように構成される、装置が提供される。
本発明の前述の態様及び付随する多くの利点は、添付の図面と併せて以下の詳細な説明を参照することにより、より容易に理解されるであろう。
ある開示された実施形態は、コリオリ振動ジャイロスコープ(CVG)のような微細な慣性センサに関し、変調励起振幅及び非線形ダイナミクスに基づいて入力回転速度を測定する。また、更なる開示された実施形態では、帯域幅及び品質係数の向上のための非線形フィードバックに関する。
つまり、開示された実施形態では、慣性センサの設計における内部結合共振システムの非線形動的特性を利用する。代表的な実施形態として、内部共振に基づくサンプルマクロ素子及びマイクロ素子の設計が開示され、本明細書で説明される。一例として、駆動モードの周波数でコリオリの力によって誘導された変位を測定する場合に、大きな振動振幅を得るために、装置の内部共振が使用される。一実施形態では、システムは、1次ビームと、駆動機構と、2次ビームと、検出機構とを含む。内部共振状態を達成するために、駆動モードと検出モードが機械的に結合される。検出モードの周波数応答には2つのピークがあり、駆動モードの固有周波数付近に大きなピークが現れる。この現象によって、より高い帯域幅を提供する駆動モードの周波数において検出ビームの比較的平坦領域を有する応答が生じる。
内部共振現象を使用すれば、駆動モードと検出モードとは、他のほとんどの共振器やコリオリ振動ジャイロスコープで一般的な1:1の比(モード整合要件)である必要がない。その結果、駆動モードの周波数(駆動周波数)と検出モードの周波数(検出周波数)が分離される(例えば、駆動周波数が検出周波数の2倍、すなわち2:1内部共振)。検出された信号は、駆動モードの周波数に近い周波数までフィルタリングされ、検出モードの固有周波数付近のノイズの影響を低減することができる。読み出し回路上の電子ノイズの影響を低減しそれによってセンサの感度を改善することによって、センサの長期安定性という大幅な改善が達成される。感度を高くすると品質が上がって、ノイズの影響が小さくなるので、これは大きな利点といえる。
駆動モードは駆動機構を用いて励起され、検出モードは検出機構を用いて検出される。一実施形態であるマクロスケールの例においては、駆動機構は2つの圧電セラミックパッチ(駆動ビームに取り付けられている)を含み、検出機構は、検出ビームの根元付近に取り付けられた歪みゲージである。別の実施形態であるマイクロスケールの例においては、駆動機構及び検出機構は、静電駆動及び静電容量検出によってそれぞれ提供される。
駆動モードの発振器と検出モードの発振器は、閉ループで動作し、共振周波数間の比率を能動的に監視し維持することができる。駆動モードは閉ループで実行され、これにより発振器の望ましい感度と帯域幅を有するための、システムに非線形性をフィードバックする方法を提供する。
非線形結合マイクロ電子機械システム(MEMS)装置を実現する他の実施形態も開示される。あるサンプルの設計では、MEMS装置は静電力を用いて駆動され、検出には静電容量が用いられる。駆動モードの発振器は、信号源を用いて励起される。励起信号の所望の高調波(すなわち、2:1内部共振の第2高調波)が電子的に生成され、検出モードからの信号の復調の基準として使用される。静電的な駆動及び検出の場合、駆動力を線形化するため、又は検出モードの電極変位を直接測定可能にするために、DC電源がしばしば必要とされる。
駆動モードではあらかじめ設定された振幅で動作させることができ、駆動モードと検出モードの位相差を固定して、システムの適切なリアルタイムチューニングを行うことができる。検出方向の第1固有周波数は、y方向においてf_senseであり、駆動モードの発振器の第1固有周波数は、x方向において(図2に示すように)2f_sense=f_driveである。
コリオリの力が駆動力に対して180度の位相差を有すると仮定すると、制御機構は、位相差を所望値に固定した状態に維持し、共振周波数を調整することができる。フィードバックループは、検出方向における望ましくない影響を抑制し、信号対雑音比を更に増幅するように実施されうる。
更に、非線形フィードバックを利用する場合、応答の感度がより強くなるように、検出モードのゲイン及び帯域幅を操作することができる。非線形項をフィードバックすることによってシステム応答を制御することで、必要な駆動電圧を減少させ、その結果、電気信号の劣化を減少させ、センサ電力消費を改善することができる。
まず、非線形ジャイロスコープシステムの分析と共に、内部共振を有するコリオリ振動ジャイロスコープをモデル化するために使用されうる一般的な数学的モデルを提示する。
<動作原理>
最初に説明した装置の動作の詳細な原理について。
開示された実施形態で使用される設計手法は、設計の動きを詳述することによって説明され、その後、理論に基づくいくつかの実施形態が説明される。図1は、本明細書で開示される内部共振型コリオリ振動ジャイロスコープ装置の原理構造の概略図である。図1に示す基本的な装置は、ねじりバネ28を介して第2質量体12に結合された第1質量体10を含む。第1質量体10は、更に、ねじりバネ18によって固定端24に結合されている。図2は、図1の内部共振構造の動的モデルを示す代表的な実施形態の概略図である。例示のモデル14は、2:1(2対1)内部共振の原理で動作する。
最初に説明した装置の動作の詳細な原理について。
開示された実施形態で使用される設計手法は、設計の動きを詳述することによって説明され、その後、理論に基づくいくつかの実施形態が説明される。図1は、本明細書で開示される内部共振型コリオリ振動ジャイロスコープ装置の原理構造の概略図である。図1に示す基本的な装置は、ねじりバネ28を介して第2質量体12に結合された第1質量体10を含む。第1質量体10は、更に、ねじりバネ18によって固定端24に結合されている。図2は、図1の内部共振構造の動的モデルを示す代表的な実施形態の概略図である。例示のモデル14は、2:1(2対1)内部共振の原理で動作する。
全体を通して、2:1という内部共振の比が議論されているが、これは正確な値からのわずかな偏差を有する場合を含むということに留意されたい。本明細書中で使用される場合、2:1という言葉は、1.9:1〜2.1:1の比を示す。
2:1にどれだけ近いか(例えば2.000:1にどれくらい近いか)は、減衰比(すなわち、各質量の固有周波数における品質係数(QF))に依存する。例えば、より高いQF(すなわち、より低い減衰)では、比率は2:1に必然的に近くなる(例えば、2.01:1)。
実際には、1.9と2.1の間の周波数比を有するシステムは、構造的なモード間でエネルギーの移動を引き起こす可能性があり、その結果、励起振幅によって著しく影響を受ける可能性がある。言い換えれば、2:1からはるかに遠い比率の場合、より大きな強制振幅が必要とされる。現在開示されている装置の1つの独特な特徴として、1.9と2.1との間の比が依然として非線形モード相互作用及びエネルギー遷移をもたらしうるので、正確な2:1比へのチューニングは必要ない。
質量体10及び12の質量は、内部共振の2:1という比率を決定する際におけるいくつかの要因のうちの2つの要素である。その他の要素には、長さ、幅、厚さ、材質、バネ定数等がある。基本的には材料の固有振動数に影響するものを使用して比率を調整することができる。
このモデルは、2つの質量体10及び12を含む2自由度(DOF)マスバネダンパ系である。質量体10及び12は、固定慣性基準フレーム(X、Y、Z)16に対して駆動揺動方向(X軸)及び検出振動方向(Y軸)の2つの直交する方向に自由に振動する。質量M1の質量体10は、固定端24から距離22で対称的に配置され、ねじりバネ18によって支持される。質量M2の質量体12は、質量体10から距離26に位置し、1つ又は複数のねじりバネ28によって質量体10に結合されている。X軸に対する質量体12の角度回転は、角度34によって導入される。20及び30は、それぞれ質量体10及び12のねじり減衰を表す。
第1振動モード40が図3Aに示され、ここでは質量体10の変位がゼロであり、質量体12が駆動軸(すなわちX軸)から測定される角度34だけ回転する。第2振動モード42が図3Bに示されており、質量体10が駆動軸に沿って垂直に移動する。このモードでは、質量体12もZ軸中心の回転34をせずに移動する。
3次の非線形性により、他の高調波を生成しうる。特殊なケースとして、説明された装置は、2次非線形性を使用して2:1の比で設計されている。駆動モード(2f_sense)42と検出モード(f_sense)40との間の周波数比が2:1であり、且つ運動方程式における非線形結合項があるため、内部共振が生じる。より高い周波数(2f_sense)42で質量体10を共振させると、駆動が提供され、2次非線形項によって検出モードが結合され、2:1内部共振を介して相互作用する。
<構造の動き>
図2に示される2自由度力学系の運動方程式は、ラグランジュ方程式を用いて表される。システムの状態を記述する一般化された座標は、32及び34として指定される。速度ベクトル10及び12は、次のように定義される。
ここで、i^及びj^はそれぞれX及びY座標の軸16の単位ベクトルである。したがって、系の運動エネルギー及びポテンシャルエネルギーが計算され、形態における適切な散逸関数とともにラグランジュ方程式に代入される。
図2に示される2自由度力学系の運動方程式は、ラグランジュ方程式を用いて表される。システムの状態を記述する一般化された座標は、32及び34として指定される。速度ベクトル10及び12は、次のように定義される。
運動方程式は、以下のように導き出される。
ここで、Aは励起振幅、f_rは励起周波数、Ω_rotは構造体に印加される回転速度である。
図4に示す実施形態は、2つのビーム(両側がクランプされたビーム(両側クランプビーム)44と一端がクランプされ且つ他端が自由であるビーム(片側クランプビーム)46)と、ビーム44に加えられた質量体62とを含むT字型構造60である。追加の質量体62は、2:1の比に向かう更なる調整が装置に必要とされる場合に任意に使用される。主たる質量体と併せて、両方の周波数を制御するために使用しうる。T字型構造60は、図1に示された2自由度のマスバネダンパ系14に近似することができる。ジャイロスコープ構造60では、両側クランプビーム44(駆動ビーム)は、駆動方向(X軸)に沿って自由に振動する(すなわちモーメント及びせん断力はゼロである)。片側クランプビーム46(検出ビーム)は検出方向(Y軸)に沿って移動することができる。システムの2つのモードは非線形に結合されている。つまり、周波数比が2:1のとき、駆動モードのエネルギーが検出モードに遷移する。
本明細書で使用する「クランプ」という用語は固定端を指し、この場合、偏向及び偏向の分散はゼロであると留意されたい。
動作に係る最初のステップでは、2つの第1振動モードの間に2:1の周波数比を確立する。駆動ビーム44、検出ビーム46、及び追加質量体62の幾何学的仕様は、構造的なモード間の2:1の周波数比を有して決定される。第1及び第2振動モードは、それぞれ図3A及び図3Bに示されている。第1モードでは、検出ビーム46が偏向し、駆動ビーム44は固定される。第2振動モードは、Z軸を中心とした検出ビーム46の偏向を伴わずに、駆動方向及び検出ビーム(44及び46)の並進運動が駆動方向に現れる。
図3A及び図3Bに示すように、装置の駆動機構は、正弦波の外力を提供するものである。一実施形態では、圧電パッチが励起に使用される。再び図4を参照すると、装置の駆動機構は、固定支持部48に近い駆動ビーム44の上面及び下面に取り付けられた4つの圧電パッチ58である。圧電パッチ58を駆動するのに必要な電圧は、AC電圧源56によって供給される。駆動ビーム44の変位は、追加質量体62を指し示すレーザ変位センサ50によって測定される。同様に、検出ビーム46の偏向は、検出ビーム46の先端に向けられた別の変位センサ52を介して得られる。
圧電素子以外の使用可能な他の駆動機構には、電磁シェーカーが含まれる。必要な振動を生成するのであれば、一般的に、あらゆる静電、電磁気、又は熱に係る方法を使用することができる。
駆動ビームの変位を検出するには、任意の既知の又は将来開発される方法を使用して達成することができる。本明細書では、例示的な検出方法としてレーザ変位及び静電容量検出を説明する。追加の方法には、歪みゲージ、電磁センサ、抵抗センサ、及び光センサが含まれうる。
より高いモードの共振周波数(f_r≒2f_sense)42で内部共振ジャイロスコープ60を駆動させると、駆動ビーム44は強制的に共振し、振動エネルギーは2:1内部共振によって検出ビームに伝達される。2次非線形項は、このエネルギー伝達において主要な役割を果たす。検出ビーム46は、(2f_sense)40の周波数で振動し、定常状態に達するまで成長する。
開示された装置に示される頑健性向上特性は、検出モード応答の周波数掃引によって調査することができる。図5は、構造的な検出モードの応答を駆動周波数の関数として示している。図5で観察されるように、励起振幅を増加させると、検出モードの帯域幅が大きくなる。帯域幅が大きいほど、装置の製造上の不完全性及び動作パラメータの変動に対する感度が低下する。検出応答は、駆動モード及び検出モード周波数のデチューニングの影響を受けにくい。実験の結果とシミュレーションの結果との良好な一致は、運動方程式の妥当性を確認するのに有効であろう。
応答の挙動は、非線形フィードバックシステムを使用して強化されうる。非線形フィードバック項の影響を観測するために、非線形2次項と3次項を励起信号にフィードバックすることができる。運動方程式の既存の非線形項には、一定のゲイン(K_i)が割り当てられ、フィードバックの振幅は励起振幅の一部である。
非線形項のフィードバックは、非線形動力学の特性に起因する検出応答の帯域幅を向上させる。非線形ダイナミクスの特性によって、非線形項のフィードバックは、検出応答の帯域幅を向上させる。また、駆動モード及び検出モードの周波数が2:1の比率からデチューンしたときの応答の形状と内部共振も変更される。図6は、デチューニングされたT字型構造の応答の帯域幅及びゲインを高めるために、3次項の非線形フィードバックを使用した例を示す。検出ビームの応答の帯域幅は著しく増加するが、応答の形状はより平坦になるという意味で改善されたことが観察される。
開示された装置に使用される特定の周波数に関して、典型的な共振周波数は10kHz〜10MHzの範囲にある。この範囲は、典型的には、質量の大きさを制限し、周波数を制限する、ビームサイズ等の製造に関連する実用的な理由によるものである。
図7Aに示す別の実施形態では、T字型MEMS装置構造が、マイクロマシニングプロセスを使用して製造される。図7Aの構造は、68でクランプされた駆動モード構成要素64と、検出モード構成要素66とを含む。駆動モードは、電極70を用いて静電励起され、一対の検出電極72は、差動容量検出のために使用される。構造の内部共振挙動の指標として、図7AのMEMS構造の周波数応答のシミュレーション結果が図7Bに示されている。図7Aに示された構造も製造され、検出モードの周波数応答が図7Cに示されている。両方の図は、検出モードのシミュレーション及び実験的応答を示すので、駆動モードから検出モードへのエネルギー遷移が、周波数の2倍の駆動モード励起の帯域幅に対して起こる。
更に別の実施形態は、図8Aにおいて、別の内部共振設計として提示される。この実施形態では、76は主たる駆動モード成分であり、検定質量体78が追加されて、駆動モード及び検出モードの周波数比を2:1に調整する。励起信号は、84で電極を使用して印加される。検出モード構成要素74は、80において両側クランプされ、一対の隣接する電極は82に配置される。図8Bは、このMEMS装置のシミュレーション結果を示しており、励起周波数が2f_senseである場合、駆動ビームの発振器のエネルギーが検出ビームの発振器に伝達される。
装置の更なる別の実施形態を図9Aに示す。この実施形態では、駆動モード成分は、両端で検出モード構成要素86に接続された2つのビーム88と、周波数比を2:1にチューニングさせるための質量体90とを含む。検出モードの構成要素は96の中間で支持されている。駆動及び検出モードの構成要素は、それぞれ隣接する電極92及び94を有する。
装置の更なる別の実施形態を図10Aに示す。この実施形態では、T字型構造が設計され、つまり駆動モードのビーム100と検出モードのビーム102が接続されているポイント104が、検出モードのビーム102の残りの部分と比較してより小さい幅を有するように、検出ビームが変形される。駆動ビームに接続された検出ビームが狭くなると、構造上の非線形性を増加させ、結合モード間のエネルギー伝達がよくなる。駆動モード成分は、両端96でクランプされる。駆動電極108及び検出電極106は、それぞれ駆動及び検出モード成分に隣接して配置される。
本明細書で開示されるMEMS装置の製造に関して、これらのMEMS装置は、SOIMUMPS、PiezoMUMPS等の様々なシリコンベースのプロセスによって製造することができる。これらのプロセスでは、シリコンは、基本的に装置の本体及び駆動及び検出機構を構成する共通の材料である。関連する典型的な製造プロセスは、シリコン堆積、リソグラフィ、エッチング、及び構造解放である。一般的な製造技術は既知であるが、本明細書で開示される装置は知られていない。
例示的な実施形態を例示し説明してきたが、本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、様々な変更を行うことができることは理解されたい。
Claims (29)
- 少なくとも1つの軸周りの角運動を測定するように構成される装置であって、
構造体と、振動源と、振動検出器とを備え、
前記構造体は、非線形に結合された2つの異なる振動モードを備え、
前記2つ異なる振動モードは、検出モード周波数f_senseを有する検出モードと、駆動モード周波数f_driveを有する駆動モードであり、
前記振動源は、前記駆動モードで質量体が振動するように構成され、
前記振動検出器は、前記検出モードの振動を検出するように構成される、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記2つの異なる振動モードが、2次の非線形性を有する、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記2つの異なる振動モードが3次の非線形性を有する、
装置、 - 請求項1に記載の装置において、
前記f_senseは、前記f_driveの半分の値である、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記f_senseは、前記f_driveの2倍の値である、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記周波数のうちの少なくとも1つは、機械的に調整されるか、電子的な閉ループフィードバックによって調整されるか、又はその組み合わせによって調整される、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記駆動モードには、1つ又は複数の圧電アクチュエータを用いて励起される、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記検出モードの振動は、1つ又は複数の圧電センサを用いて検出される、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記検出モードの振動は、1つ又は複数の光学変位センサを用いて検出される、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記検出モードの振動は、1つ又は複数の光学速度センサを用いて検出される、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記駆動モードには、1つ又は複数の静電アクチュエータを用いて励起される、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記検出モードの振動は、1つ又は複数の静電容量式センサを用いて検出される、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記検出モードの振動は、1つ又は複数の圧電抵抗センサを用いて検出される、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記駆動モードの発振器は、開ループで動作するように構成される、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記駆動モードの発振器は、閉ループで動作するように構成される、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記検出モードの発振器は、開ループで動作するように構成されている、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記検出モードの発振器は、閉ループで動作するように構成されている、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記検出モードの信号は、回転速度を検出するために用いられる、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記2つのモード間の非線形性は、フィードバックによって衰退する、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記検出信号の相対振幅は、フィルタを用いて駆動周波数に比して増幅される、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
非線形フィードバックを用いて当該装置の帯域幅を増加させるように構成される、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
非線形フィードバックを用いて前記検出モードの平坦領域の形状を強調するように構成される、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
非線形フィードバックを用いて当該装置の品質係数を増加させるように構成される、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
第1及び第2ビーム媒体と、検定質量体とを備え、
前記第1ビーム媒体は、両側をクランプされ、
前記第2ビーム媒体は、
その一端が、前記第1ビーム媒体の中心と接続され、
その他端が、自由であり、
前記検定質量体は、
前記第2ビーム媒体の自由端でのチューニング、及び前記第1及び第2ビーム媒体の接続点でのチューニングのために使用される、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
質量体は、フレームを備え、
前記フレームは、その隅を固定され、
検定質量体は、前記フレームの何れかの側でのチューニングのために使用され、
1つ又は複数の接続が前記フレームの1つ又は複数の側面に含まれる、
装置。 - 請求項1に記載の装置において、
中心を固定されたフレームを備え、
検定質量体は、前記フレームの何れかの側にチューニングするために使用され、
1つ又は複数の接続が前記フレームの1つ又は複数の側面に含まれる、
装置。 - ジャイロスコープであって、
軸を中心とした回転速度を検出するように構成された請求項1〜請求項26の何れか1つに記載の装置を備える、
ジャイロスコープ。 - 請求項26に記載のジャイロスコープにおいて、
前記駆動モードの固有共振周波数の付近の前記検出モードの周波数応答に平坦領域が現れる、
ジャイロスコープ。 - 請求項26に記載のジャイロスコープにおいて、
前記駆動モードの固有共振周波数の付近の前記検出モードの周波数振幅プロットに平坦領域が現れる、
ジャイロスコープ。
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