JP2018514135A - デュアルダイアフラムマイクロホン - Google Patents

Abstract

デュアルダイアフラムマイクロホンは、マイクロホンの加速による出力信号の成分を低減または除去するために使用されることが可能である。デュアルダイアフラムマイクロホンは、第１の電極から離間された第１のダイアフラムを含み、第１の信号を生成するように構成された第１の音検出構成要素と、第２の電極から離間された第２のダイアフラムを含み、第２の信号を生成するように構成された第２の音検出構成要素とを含むことができる。第１の音検出構成要素および第２の音検出構成要素は、反対方向に向けられ、デュアルダイアフラムマイクロホンは、マイクロホンの加速によって実質的に影響を受けない結合出力信号を生成するために第１および第２の出力信号を合計するように構成された電子回路を含む。

Description

本開示は、マイクロホンに関する。詳細には、本開示は、マイクロホンの機械的振動または物理的加速によって引き起こされる成分を実質的に含まない出力信号を生成するように構成されたマイクロホンデバイス、システム、および方法に向けられている。

いくつかのマイクロホンは、音を電気信号に変換するために変形可能なダイアフラムを使用する。圧力波の形態における音は、ダイアフラムを変形させ、ダイアフラムに作用する圧力の変化に比例する場合がある出力信号を生成する。マイクロホン自体の機械的振動または物理的加速も、ダイアフラムを変形させる可能性がある。振動または加速によって誘発された変形も、マイクロホンの出力信号を生成するか、またはマイクロホンの出力信号に影響を及ぼす可能性がある。したがって、マイクロホンは、マイクロホンに入射する音波を示す第１の成分と、マイクロホンの振動または加速から生じる第２の成分とを生成する場合がある。これらの２つの成分は、区別するのが困難である場合があり、音波によって引き起こされないマイクロホンの出力信号のどのような変更も、望ましくない場合がある。

多くの消費者デバイスは、オーディオ信号を測定、記録、または伝送するためにマイクロホンを含む。しばしば、そのような消費者デバイスはまた、携帯用である場合もあり、多くは、ハンドヘルドである。たとえば、携帯電話は、しばしば、ユーザの声を録音し、送信するために、マイクロホンを含む。これらのデバイスにおけるマイクロホンは、しばしば、使用中に、マイクロホンの出力信号に影響を及ぼす可能性がある振動または加速を経験する。

本開示は、マイクロホン自体の物理的加速または振動によって引き起こされる場合がある出力信号の任意の成分を除去または低減する出力信号を提供するように構成されたマイクロホンデバイス、システム、および方法に関する。本開示のデバイス、システム、および方法は、各々、いくつかの革新的な態様を有し、そのうちのどの単一のものも、本明細書で開示する所望の属性の単独の要因ではない。

いくつかの態様では、マイクロホンは、第１の方向に面する外側を有する第１の圧力変形可能ダイアフラムを用いて第１の信号を生成するように構成された第１のマイクロホン構成要素であって、第１の信号が第１の圧力変形可能ダイアフラムの変形とともに変化する、第１のマイクロホン構成要素と、第２の方向に面する外側を有する第２の圧力変形可能ダイアフラムを用いて第２の信号を生成するように構成された第２のマイクロホン構成要素であって、第２の信号が第２の圧力変形可能ダイアフラムの変形とともに変化し、第２の方向が第１の方向と実質的に反対である、第２のマイクロホン構成要素と、出力信号を生成するために第１および第２の信号を合計するように構成された電子回路とを含んでもよい。いくつかの態様では、第１のマイクロホン構成要素は、第２のマイクロホンに強固に取り付けられる。第１の圧力変形可能ダイアフラムは、第２の圧力変形可能ダイアフラムと平行な位置に向けられてもよい。マイクロホンの出力信号は、マイクロホンの加速による成分を実質的に含まない場合がある。

いくつかの態様では、マイクロホンは、第１の電極から離間され、第１の信号を生成するように構成された第１のダイアフラムを含む第１の音検出構成要素と、第２の電極から離間され、第２の信号を生成するように構成された第２のダイアフラムを含む第２の音検出構成要素であって、第１の音検出構成要素および第２の音検出構成要素が反対方向に向けられた、第２の音検出構成要素と、出力信号を生成するために第１および第２の出力信号を合計するように構成された電子回路とを含む。いくつかの態様では、第１の音検出構成要素は、第２の音検出構成要素に強固に取り付けられる。結合出力信号は、実質的には、マイクロホンの加速によって影響を受けない場合がある。第１および第２の音検出構成要素の各々は、周囲に曝されてもよい。いくつかの態様では、第１のダイアフラムは、第２のダイアフラムと平行な位置に向けられる。

いくつかの態様では、デュアルダイアフラムマイクロホンは、第１の容積を少なくとも部分的に取り囲む第１の圧力変形可能ダイアフラムと、第１の容積内に配置され、第１の圧力変形可能ダイアフラムから離間された第１の感知電極と、第２の容積を少なくとも部分的に取り囲む第２の圧力変形可能ダイアフラムであって、第１の圧力変形可能ダイアフラムと実質的に平行に向けられた、第２の圧力変形可能ダイアフラムと、第２の容積内に配置され、第２の圧力変形可能ダイアフラムから離間された第２の感知電極であって、第１および第２の感知電極が第１および第２の圧力変形可能ダイアフラムの反対側にそれぞれ配置された、第２の感知電極とを含む。マイクロホンはまた、本体を含んでもよく、第１および第２の容積は、本体によって少なくとも部分的に画定される。いくつかの態様では、第１および第２の容積は、第１の圧力変形可能ダイアフラムに対して垂直に延びる軸に沿って実質的に整列される。いくつかの態様では、第１および第２の圧力変形可能ダイアフラムならびに第１および第２の感知電極はまた、第１の圧力変形可能ダイアフラムに対して垂直に延びる軸に沿って実質的に整列される。いくつかの態様では、第１および第２の容積は、第１の圧力変形可能ダイアフラムに対して垂直に延びる軸に沿って実質的に整列される。

いくつかの態様では、方法は、第１の方向に向けられた第１の音検出構成要素から第１の信号を受信するステップと、第１の音検出構成要素に強固に取り付けられ、第１の方向と実質的に反対の第２の方向に向けられた第２の音検出構成要素から第２の信号を受信するステップと、第１および第２の音検出構成要素の加速によって生成された信号成分を実質的に含まない結合出力を生成するために第１および第２の信号を合計するステップとを含む。第１の音検出構成要素は、第１の方向で周囲に向けられた外側表面を含む第１の圧力変形可能ダイアフラムを含んでもよく、第２の音検出構成要素は、第１の方向と実質的に反対の第２の方向で周囲に向けられた外側表面を含む第２の圧力変形可能ダイアフラムを含んでもよい。いくつかの態様では、第１および第２の圧力変形可能ダイアフラムは、空気圧の変化によって引き起こされる第１および第２の信号の成分が大きさおよび極性において実質的に等しいように構成される。いくつかの態様では、第１および第２の圧力変形可能ダイアフラムは、マイクロホンの加速によって引き起こされる第１および第２の信号の成分が大きさにおいて実質的に等しく、極性において反対であるように構成される。

いくつかの態様では、マイクロホンは、第１の信号を生成するように構成された第１のマイクロホン構成要素であって、第１の方向に面する外側を有する第１の圧力変形可能ダイアフラムであって、第１の信号が第１の圧力変形可能ダイアフラムの変形とともに変化する、第１の圧力変形可能ダイアフラムと、第１の圧力変形可能ダイアフラムの内側から離間され、第１の圧力変形可能ダイアフラムによって少なくとも部分的に取り囲まれた第１の容積内に配置された第１の電極とを含む第１のマイクロホン構成要素と、第２の信号を生成するように構成された第２のマイクロホン構成要素であって、第２の方向に面する外側を有する第２の圧力変形可能ダイアフラムであって、第２の信号が第２の圧力変形可能ダイアフラムの変形とともに変化し、第２の方向が第１の方向と実質的に反対である、第２の圧力変形可能ダイアフラムと、第２の圧力変形可能ダイアフラムから離間され、第２の圧力変形可能ダイアフラムによって少なくとも部分的に取り囲まれた第２の容積内に配置された第２の電極とを含む、第２のマイクロホン構成要素と、第１のマイクロホン構成要素および第２のマイクロホン構成要素を少なくとも部分的に取り囲むように構成されたハウジングであって、第１の圧力変形可能ダイアフラムを周囲に露出させるように構成された少なくとも１つの開口部を含み、第２の圧力変形可能ダイアフラムを音響的に隔離する、ハウジングと、出力信号を生成するために第１および第２の信号を合計するように構成された電子回路とを含む。

本開示で説明する主題の１つまたは複数の実装形態の詳細は、添付図面および以下の説明に示される。他の特徴、態様、および利点は、説明、図面、および特許請求の範囲から明らかになるであろう。

必ずしもすべての目的および利点が本明細書で説明する任意の特定の実装形態に従って達成されるとは限らないことが理解されるべきである。たとえば、特定の実装形態の態様は、他の実装形態によって教示または示唆され得るような他の目的または利点を必ずしも達成することなく、本明細書で教示されるような１つの利点または利点のグループを達成または最適化する方法で具体化または実行されてもよい。さらに、異なる実装形態からの様々な態様および特徴は、交換可能であってもよい。

以下は、図面の各々の簡単な説明である。図から図まで、本明細書で議論する実装形態の同様の構成要素またはステップを示すために同様の参照番号が使用される。以下の図の相対的な寸法は、縮尺通りに描かれていない場合があることに留意すべきである。

マイクロホンの実装形態を示す図である。 音波によって引き起こされるダイアフラムの変形によるマイクロホンにおける出力信号生成を示す図である。 音波によって引き起こされるダイアフラムの変形によるマイクロホンにおける出力信号生成を示す図である。 物理的加速によって引き起こされるダイアフラムの変形によるマイクロホンにおける出力信号生成を示す図である。 物理的加速によって引き起こされるダイアフラムの変形によるマイクロホンにおける出力信号生成を示す図である。 マイクロホンの物理的加速によって引き起こされる信号成分を低減するように構成されたデュアルダイアフラムマイクロホンの実装形態を示す図である。 図４に示すマイクロホンの物理的加速によって引き起こされる信号成分を低減するように構成された例示的な回路の実装形態を概略的に示す図である。 図４に示すマイクロホンの物理的加速によって引き起こされる信号成分を低減するように構成された例示的な回路の実装形態を概略的に示す図である。 音によって引き起こされるダイアフラムの変形による図４および図５に示すデュアルダイアフラムマイクロホンにおける出力信号生成を示す図である。 物理的加速によって引き起こされるダイアフラムの変形による図４および図５に示すデュアルダイアフラムマイクロホンにおける出力信号生成を示す図である。 マイクロホンの物理的加速によって実質的に影響を受けない出力信号を生成するように構成されたデュアルダイアフラムマイクロホンの代替実装形態を示す図である。 ハンドヘルドデバイスに組み込まれたデュアルダイアフラムマイクロホンの実装形態を示す図である。 ２つの開口部を含むハウジング内に配置されたデュアルダイアフラムマイクロホンの実装形態を示す図である。 単一の開口部を含むハウジング内に配置されたデュアルダイアフラムマイクロホンの実装形態を示す図である。 単一の開口部を含むハウジング内に配置されたデュアルダイアフラムマイクロホンの追加の実装形態を示す図である。 物理的加速によるいかなる成分も実質的に含まない出力信号を生成するための方法を示すフローチャートである。 デュアルダイアフラムマイクロホンを含むヘッドセットの実装形態を示す図である。

本開示は、マイクロホン自体の物理的加速または振動によって引き起こされる場合がある出力信号の成分を低減または除去するように構成されたマイクロホンデバイス、システム、および方法を議論する。一般に、マイクロホンのいくつかの実装形態は、音圧波によって引き起こされる空気圧の変化を検出するために膜を使用し、膜の変位を、音波を示す電気信号に変換する。しかしながら、マイクロホン膜の変位はまた、マイクロホンの動きまたは振動によって誘発される場合もあり、マイクロホン膜のこの変位はまた、マイクロホンの出力信号を生成または変更することになる。そのような加速によって誘発された信号成分は、入射音波によって生成された信号と区別することが困難である可能性がある。いくつかの実装形態では、マイクロホンの加速または他の動きによって実質的に影響を受けない結合出力信号を生成するデュアルダイアフラムマイクロホンが構成されてもよい。

図１は、マイクロホン１００の実装形態を示す。いくつかの実装形態では、マイクロホン１００は、音を電気信号に変換する任意の音響−電気トランスデューサまたはセンサである。いくつかの実装形態では、マイクロホンは、ダイナミックマイクロホン、コンデンサマイクロホン、エレクトリックコンデンサマイクロホン、アナログ／デジタルＭＥＭＳマイクロホン、または他の音検出デバイスであってもよい。

マイクロホン１００は、本体１０１と、ダイアフラム１０２と、感知電極１０４とを含む。ダイアフラム１０２は、少なくとも部分的に取り囲まれた容積１０６を画定するように本体１０１に接続されてもよい。いくつかの実装形態では、容積１０６は、圧縮可能な空気で満たされる。感知電極１０４は、容積１０６内に据え付けられ、ダイアフラム１０２から離間される。いくつかの実装形態では、感知電極１０４は、本体１０１と感知電極１０４との間の固定された空間的関係を作成するために、容積１０６内に強固に据え付けられ、または他の方法で固定される。

ダイアフラム１０２は、圧力変形可能な膜であってもよい。いくつかの実装形態では、ダイアフラム１０２の外側１０２ａは、図示のように直接、または、本体もしくはマイクロホン１００を取り囲むハウジングにおける開口部を介して周囲に露出される。マイクロホン１００の外側からの音波は、ダイアフラム１０２の外側１０２ａに到達し、これに衝突することになる。ダイアフラム１０２の内側１０２ｂは、容積１０６の方に向けられ、感知電極１０４から離間される。いくつかの実装形態では、感知電極１０４は、出力端子１０５に接続されてもよく、マイクロホン１００の出力信号は、出力端子１０５において測定されることが可能である。出力端子１０５は、いくつかの実装形態では、出力信号のさらなる処理のために、増幅器またはフィルタなどの他の回路と電気的に通信してもよい。いくつかの実装形態では、ダイアフラム１０２は、マイクロホン回路を接地するために使用される接地端子１０３に接続されてもよい。いくつかの実装形態では、接地端子１０３および出力端子１０５との接続は、逆にされてもよい。たとえば、感知電極１０４は、接地端子１０３に接続されることが可能であり、ダイアフラム１０２は、出力端子１０５に接続されることが可能である。以下でより完全に議論するように、マイクロホン１００は、感知電極１０４に対するダイアフラム１０２の変形、変位、または動きに応答して出力信号を生成する。

いくつかの実装形態では、マイクロホン１００の出力信号は、電圧であることができる。たとえば、いくつかの実装形態では、マイクロホン１００は、キャパシタのプレートとして機能する膜またはダイアフラム１０２と感知電極１０４とを有するコンデンサマイクロホンとして構成されることが可能である。ダイアフラム１０２が入射音波に応答して変形するにつれて、ダイアフラム１０２と感知電極１０４との間の距離が変化する。ダイアフラム１０２と感知電極１０４との間の距離の変化は、キャパシタンスの変化と、結果として生じる、ダイアフラム１０２および感知電極１０４によって形成されるキャパシタにわたる電圧の変化とを引き起こす。この時間とともに変化する電圧は、マイクロホン１００の出力信号であってもよい。

他の実装形態では、マイクロホンは、ダイアフラムに取り付けられ、永久磁石の磁場内に配置された誘導コイルを有するダイナミックマイクロホンとして構成されることが可能である。ダイアフラムが変形するにつれて、磁場を通る誘導コイルの動きは、電磁誘導によって変化する電流を生成する。変化する電流は、たとえば、取り付けられた抵抗器にわたって電圧変化を発生させることができる。いくつかの実装形態では、この変化する電圧または変化する電流は、マイクロホンの出力信号であることができる。出力信号という用語は、ダイアフラムの変形に応答してマイクロホンによって生成される任意の電気信号（電圧、電流、キャパシタンス、または他のもの）を示すために本出願を通じて使用される。

いくつかの実装形態では、マイクロホン１００は、図１に具体的に示されていない追加の構成要素または特徴を含むことができる。たとえば、マイクロホン１００は、マイクロホン１００の出力信号を処理および／または送信するための追加の電子回路を含むことができる。いくつかの実装形態では、マイクロホン１００は、音がダイアフラム１０２に到達するのを妨げることなくダイアフラム１０２の外側１０２ａを保護するように構成されたガードなどの追加の構造的構成要素を含むことができる。いくつかの実装形態では、マイクロホン１００は、セルラー電話、タブレット、または他の電子デバイスなどの別の電子デバイス内に組み込まれてもよく、またはそれらに接続されてもよい。

図１において、マイクロホン１００は、ダイアフラム１０２が未変形または静止位置で示されている。この位置は、ダイアフラム１０２の外側表面１０２ａに作用する周囲空気圧が、ダイアフラムの内側表面１０２ｂに作用する容積１０６内の空気圧と実質的に等しい状態を表すことができる。この位置は、ダイアフラム１０２のベースライン位置を表し、ベースライン位置では、マイクロホン１００によって生成される出力信号は、いくつかの実装形態では実質的にゼロであってもよいベースライン状態であってもよい。

図２Ａおよび図２Ｂは、音波１５０に関連する空気圧の変化によって引き起こされるダイアフラム１０２の変形によるマイクロホン１００による出力信号の生成を示す。具体的には、図２Ａは、ダイアフラム１０２の内側への変形を示し、図２Ｂは、ダイアフラム１０２の外側への変形を示す。

図２Ａおよび図２Ｂに示すように、ダイアフラム１０２の外側表面１０２ａに作用する音波１５０は、電極１０４とダイアフラム１０２との間の距離を減少または増加させるように、マイクロホン１００のダイアフラム１０２を変形させる場合がある。たとえば、図２Ａに示すように、（感知電極１０４に向かって）内側への変形は、音波１５０によって誘起される圧力差のために音波１５０がダイアフラム１０２に衝突するときに起こる場合がある。同様に、図２Ｂに示すように、（感知電極１０４に向かって）外側への変形は、図２Ａに示す位置から跳ね返るときに、または容積１０６内のより高い圧力とダイアフラム１０２の外側１０２ａに作用するより低い圧力との間の圧力差のために起こる場合がある。

出力端子１０５においてマイクロホン１００によって生成される出力信号は、図１に示し、上記で説明した（静止位置における）ダイアフラム１０２のベースライン位置からの信号の変化を表す。本出願を通じて使用される約束事を確立する目的のため、ダイアフラム１０２の外側への変形は、正の出力信号を生じさせてもよく、ダイアフラム１０２の内側への変形は、負の出力信号を生じさせてもよい。しかしながら、当業者は、この約束事が本開示の範囲から逸脱することなく逆にされてもよいことを理解するであろう。

いくつかの実装形態では、ダイアフラム１０２は、ダイアフラム１０２の変形が、マイクロホン１００が曝されることが予測される圧力の範囲全体にわたる圧力差に実質的に比例するように構成される。したがって、マイクロホン１００の出力信号の大きさは、測定される音波１５０の圧力にも比例する場合がある。

当業者は、マイクロホン１００が指向性である必要はないことを理解するであろう。たとえば、いくつかの実装形態では、マイクロホン１００は、実質的に無指向性であってもよく、任意の方向から発する音波１５０が、ダイアフラム１０２の変形を引き起こす可能性がある。したがって、図２Ａおよび図２Ｂに示す音波１５０は、単に例として提供され、音波１５０のいずれの図示の指向性も必要とされない。

図３Ａおよび図３Ｂは、マイクロホン１００の物理的加速によって引き起こされるダイアフラム１０２の変形を示し、この変形もまた、マイクロホン１００の出力信号を生成する、またはこれに影響を及ぼす可能性がある。具体的には、図３Ａは、マイクロホン１００のダイアフラム１０２の外側への変形を示し、図３Ｂは、マイクロホン１００のダイアフラム１０２の内側への変形を示す。これらの図において、上方向および下方向は、未変形ダイアフラム１０２（図１参照）の表面に対して垂直に延びる軸に対して定義され、下向きは、未変形ダイアフラム１０２の平面に対して垂直に延び、感知電極１０４に向かう方向を示す。同様に、上向きは、未変形ダイアフラム１０２の平面に対して垂直に延び、感知電極１０４から離れる反対方向を示す。したがって、図３Ａおよび図３Ｂにおいて、上向きという用語は、図の上部に向かう方向を指し、下向きという用語は、図の下部に向かう方向を指す。

マイクロホン１００の本体１０１は、一般に、加速の下で実質的に変形しないように、剛性材料から作製されてもよい。上記で議論したように、感知電極１０４は、容積１０６内に配置され、本体１０１に強固に取り付けられてもよい。感知電極１０４はまた、マイクロホンが振動するか、落下するか、動かされるか、または他の方法で加速を受けたときに実質的に変形しないように、十分に剛性であってもよい。したがって、マイクロホン１００が加速を受けたとき、本体１０１と感知電極１０４との間の空間的関係は、一定のままである。ダイアフラム１０２は、剛性ではないので、ダイアフラム１０２と感知電極１０４との間の空間的関係は、マイクロホンが加速の影響を受けているときに変化する。

図３Ａに示すように、マイクロホン１００が下向きに加速する場合、ダイアフラム１０２は、マイクロホン１００の残りの部分と同じ速度で下向きに移動せず、結果としてダイアフラム１０２の初期の外側への変形を生じる。外側への変形は、ダイアフラム１０２と感知電極１０４との間の距離を増加させ、正の出力信号を生成する。図３Ｂに示すように、マイクロホン１００が上方向に加速する場合、ダイアフラム１０２は、マイクロホン１００の残りの部分と同じ速度で上向きに移動せず、ダイアフラム１０２の初期の内側への変形を引き起こす。内側への変形は、ダイアフラム１０２と感知電極１０４との間の距離を減少させ、負の出力信号を生成する。

したがって、マイクロホン１００の実装形態は、音によって誘起された変形からもたらされる成分と、加速によって誘起された変形からもたらされる成分とを有する出力信号を生成する可能性がある。時には、マイクロホン１００は、ダイアフラム１０２と感知電極１０４との間の相対的な間隔が、各々が出力信号に寄与する入射音と加速の両方によって誘起されるダイアフラム１０２の動きによって影響を受けることになるように、加速中、またはダイアフラム１０２が最近の加速によって依然として振動している間、音波に曝される場合がある。いくつかの実装形態では、加速からもたらされる出力信号の成分と、マイクロホン１００の入射音波への曝露からもたらされる出力信号の成分との間を区別することは、困難である可能性がある。

マイクロホン１００の純粋に横方向の加速、すなわち、未変形状態のダイアフラム１０２の平面内の加速は、ダイアフラム１０２の実質的な変形を生じさせない場合がある。したがって、マイクロホン１００の純粋に横方向の加速は、出力信号に影響を及ぼさない場合がある。しかしながら、任意の上向きまたは下向きの成分を有するマイクロホン１００の任意の加速は、出力信号に対する入射音波の影響から区別できない場合がある出力信号に対する影響を生成することになる。

当業者は、マイクロホン１００の出力信号が、（図２Ａおよび図２Ｂに関連して説明したように）音によって引き起こされる信号成分と、（図３Ａおよび図３Ｂに関連して説明したように）マイクロホン１００の加速によって引き起こされる信号成分とを含む場合があることを理解するであろう。しかしながら、大部分のアプリケーションでは、入力音波から結果として生じる出力信号の成分を分離することが有利である可能性がある。たとえば、出力信号の加速によって誘起された成分は、たとえば、音声取り込み、能動ノイズ相殺、または送信アップリンク処理を含む様々なマイクロホンアプリケーションにおいて問題となる場合がある。したがって、加速による出力信号の成分を低減または除去することができるマイクロホン設計が望ましい。

図４は、マイクロホン２００の物理的加速によって引き起こされる出力信号成分を低減するように構成されたデュアルダイアフラムマイクロホン２００の実装形態を示す。マイクロホン２００は、反対方向に向けられた２つの音検出構成要素２００ａ、２００ｂを含む。いくつかの実装形態では、各音検出構成要素２００ａ、２００ｂは、図１〜図３Ｂを参照して上記で説明したマイクロホン１００の構成要素を含んでもよい。いくつかの実装形態では、音検出構成要素２００ａ、２００ｂは、変形可能な膜などのサブ構成要素の動きに基づいて音を電気信号に変換する任意の音響−電気トランスデューサまたはセンサであることが可能である。たとえば、いくつかの実装形態では、各音検出構成要素は、ダイナミックマイクロホン、コンデンサマイクロホン、エレクトリックコンデンサマイクロホン、アナログ／デジタルＭＥＭＳマイクロホン、または他の適切な音検出デバイスであってもよい。

一般に、マイクロホン２００の実装形態は、第１の方向に向けられた第１の音検出構成要素２００ａを含む。いくつかの実装形態では、第１の音検出構成要素２００ａは、第１の本体２０１と、第１のダイアフラム２０２と、第１の感知電極２０４とを含む。第１のダイアフラム２０２は、少なくとも部分的に取り囲まれた第１の容積２０６を画定するように第１の本体２０１によって支持される。いくつかの実装形態では、第１の容積２０６は、圧縮可能な空気の容積で満たされる。第１の感知電極２０４は、第１の容積２０６内に据え付けられ、第１のダイアフラム２０２から離間される。いくつかの実装形態では、第１の感知電極２０４は、第１の本体２０１と第１の感知電極２０４との間の固定された空間的関係を作成するために、第１の容積２０６内に強固に据え付けられる。

第１のダイアフラム２０２は、圧縮変形可能な膜であってもよい。いくつかの実装形態では、第１のダイアフラム２０２の外側２０２ａは、周囲に曝され、音波が第１のダイアフラム２０２に衝突し、これを変形させることを可能にする。第１のダイアフラム２０２の内側２０２ｂは、容積２０６の方に向けられ、第１の感知電極２０４から離間される。いくつかの実装形態では、第１のダイアフラム２０２は、第１のダイアフラム２０２を接地するための第１の接地端子２０３に接続される。第１の感知電極２０２は、第１の出力端子２０５に接続されてもよく、第１の音検出構成要素２００ａの出力信号は、第１の出力端子２０５において測定されることが可能である。第１の出力端子２０５は、結合出力端子２２５を形成するために電子回路２２０に電気的に接続されることが可能である。

マイクロホン２００の実装態様はまた、第１の方向と実質的に反対の第２の方向に向けられた第２の音検出構成要素２００ｂを含む。第２の音検出構成要素２００ｂは、第１の音検出構成要素２００ａに強固に取り付けられてもよい。いくつかの実装形態では、第２の音検出構成要素２００ｂは、第２の本体２１１と、第２のダイアフラム２１２と、第２の感知電極２１４とを含む。いくつかの実装形態では、第２の本体２１１は、第１の本体２０１と一体である。たとえば、いくつかの実装形態では、第１および第２の本体２０１、２１１は、単一の構造またはアセンブリとして形成される。いくつかの実装形態では、第１および第２の本体２０１、２１１は、直接または間接的に互いに取り付けられるか、または固定される別個の部品であってもよい。第２のダイアフラム２１２は、少なくとも部分的に取り込まれた第２の容積２１６を画定するように第２の本体２１１に接続される。いくつかの実装形態では、第２の容積２１６は、圧縮可能な空気の容積で満たされる。第２の感知電極２１４は、第２の容積２１６内に据え付けられ、第２のダイアフラム２１２から離間される。いくつかの実装形態では、第２の感知電極２１４は、第２の本体２１１と第２の感知電極２１４との間の固定された空間的関係を作成するために、第２の容積２１６内に強固に据え付けられる。

第２のダイアフラム２１２は、圧縮変形可能な膜であってもよい。いくつかの実装形態では、第２のダイアフラム２１２の外側２１２ａは、周囲に曝され、音波が第２のダイアフラム２１２に衝突し、これを変形させることを可能にする。第２のダイアフラム２１２の内側２１２ｂは、第２の容積２１６の方に向けられ、第２の感知電極２１４から離間される。いくつかの実装形態では、第２のダイアフラム２１２は、第２のダイアフラム２１２を接地するための第２の接地端子２１３に接続される。いくつかの実装形態では、第２の感知電極２１４は、第２の出力端子２１５に接続され、第２の音検出構成要素２００ｂの出力信号は、第２の出力端子２１５において測定されることが可能である。第２の出力端子２１５はまた、結合出力端子２２５を形成するために電子回路２２０に電気的に接続されることが可能である。したがって、結合出力端子２２５は、マイクロホン２００の結合出力信号、すなわち、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂの加算された出力信号を測定するために使用されることが可能である。

上述したように、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂは、互いに対するそれらのそれぞれの向きを維持するために、互いに対して強固に取り付けられるか、または固定されることが可能である。いくつかの実装形態では、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂは、第１および第２の容積２０６、２１６を画定する単一の一体ハウジング内に形成される。いくつかの実装形態では、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂは、互いに強固に取り付けられた別個の本体（たとえば、上記で説明した本体２０１、２１１）として形成される。したがって、マイクロホン２００が加速を受けたとき、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂは、一緒に加速する。

さらに、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂは、反対方向に向けられる。したがって、いくつかの実装形態では、第１および第２のダイアフラム２０２、２１２の内側表面２０２ｂ、２１２ｂは、それぞれ、実質的に互いに向き合うような向きに配置されてもよい。いくつかの実装形態では、第１および第２の第２の２０２、２１２の外側表面２０２ａ、２１２ａは、それぞれ、実質的に互いから離れる方向を向くような向きに配置されてもよい。いくつかの実装形態では、第１および第２の感知電極２０４、２１４は、各々、第１のダイアフラム２０２を含む平面によって一方の側において境界付けられ、第２のダイアフラム２１２を含む平面によって他方の側において境界付けられた空間内に含まれる。いくつかの実装形態では、たとえば、第１の感知電極２０４が第１のダイアフラム２０２の下方に配置され、第２の感知電極２１４が第２のダイアフラム２１２の上方に配置されるか、またはその逆に配置されるように、第１の感知電極２０４は、第１のダイアフラム２０２に対して垂直な軸に沿って第１のダイアフラム２０２の第１の側において配置され、第２の感知電極２１４は、第２のダイアフラムに対して垂直な軸に沿って第２のダイアフラム２１２の第２の側において配置される。いくつかの実装形態では、第１および第２のダイアフラム２０２、２１２は、平行な向きに配置される。

図４に示すように、マイクロホン２００のいくつかの実装形態では、第１のダイアフラム２０２、第１の感知電極２０４、第１の容積２０６、第２のダイアフラム２１２、第２の感知電極２１４、および第２の容積２１６は、単一の軸に沿って整列されてもよく、軸は、第１および第２のダイアフラム２０２、２１２の静止位置に対して実質的に直交する。いくつかの実装形態では、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂは、いずれかのダイアフラム２０２、２１２に対して垂直に延びる軸を横切って反射される鏡面配置において配置されてもよい。いくつかの実装形態では、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂは、積み重ねられる。しかしながら、いくつかの実装形態では、これらの要素のうちのいくつかのみが整列され、いくつかの実装形態では、これらの要素のいずれも整列される必要はない。

一般に、マイクロホン２００の出力信号は、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂの各々の結合出力信号である。いくつかの実装形態では、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂの出力信号は、電子回路２２０を使用して結合される。いくつかの実装形態では、電子回路２２０は、受動加算回路である。たとえば、いくつかの実装形態では、第１の音検出構成要素２００ａの第１の出力端子２０５は、第２の音検出構成要素２００ｂの第２の出力端子２１５に直接接続されることが可能である。結合された第１および第２の出力端子２０５、２１５は、それによって、結合出力端子２２５を形成するように一緒に加算され、結合出力端子２２５において、マイクロホン２００の結合出力信号は、測定されるか、またはさらなる処理のために他のデバイスもしくは回路に電気的に接続されることが可能である。いくつかの実装形態では、電子回路２２０は、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂの出力信号を合計するように構成された能動構成要素を含んでもよい。たとえば、いくつかの実装形態では、電子回路２２０は、演算増幅器を含む加算増幅器回路を含んでもよい。

図５Ａおよび図５Ｂは、図４に示すマイクロホン２００の物理的加速によって引き起こされる信号成分を低減するように構成された例示的な回路実装態様を概略的に示す。図５Ａに示す回路実装形態は、マイクロホン２００とともに使用されることが可能な受動回路の一例を示す。図示のように、回路は、図４に示すようにダイアフラムが反対方向に向けられた第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂを含む。図示のように、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂの第１および第２の出力端子２０５、２１５はそれぞれ、マイクロホン２００の結合出力端子２０５を作成するために互いに直接接続される。電圧源２８０がまた、抵抗Ｒ１を介して結合出力端子２２５に接続され、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂの各々のための駆動電圧を提供するように構成される。

第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂはまた、それぞれ、第１および第２の接地端子２０３、２１３を含む。図５Ａの実装態様に示すように、第１および第２の接地端子２０３、２１３は、各々、抵抗器Ｒ２を介してグランドに接続される。いくつかの実装形態では、抵抗器Ｒ１およびＲ２の抵抗は、結合出力端子２０５においてマイクロホン２００のクリーンな出力信号を提供するために、当該技術分野において公知の原理に従って調整されてもよい。いくつかの実装形態では、抵抗器Ｒ２は、各々、第１の音検出構成要素２００ａと第２の音検出構成要素２００ｂとの間の製造上のばらつきを補償するように選択されてもよい。したがって、各抵抗器Ｒ２の抵抗は、異なってもよい。いくつかの実装形態では、抵抗器Ｒ１およびＲ２の一方または両方は、可変抵抗器を含んでもよい。いくつかの実装形態では、抵抗器Ｒ１およびＲ２は、省略されてもよい。

図５Ｂは、マイクロホン２００とともに使用されてもよい能動回路の一例を示す。図示のように、第１および第２の出力端子２０５、２１５は、結合出力端子２２５と結合出力信号とを作成するために、当該技術分野において公知のように、各々、能動加算回路２２０に独立して接続されてもよい。図示のように、第１および第２の出力端子２０５、２１５はまた、各々、抵抗器Ｒ１を介して電圧源２８０ａ、２８０ｂに独立して接続されてもよい。第１および第２の接地端子２０３、２１３は、各々、グランドに接続されてもよい。いくつかの実装形態では、図５Ａに示し、上記で説明したように、抵抗器Ｒ２（図５Ｂに示さず）が、各音検出構成要素２００ａ、２００ｂとグランドとの間に含まれてもよい。図５Ａおよび図５Ｂの概略図において提示した原理は、当該技術分野において公知の原理に従って変更されてもよい。いくつかの実装形態では、出力端子２０５からの信号と出力端子２１５からの信号との間の差は、これらの信号の音によって誘起された成分を低減または除去しながら、これらの信号の加速によって誘起された成分を示す信号を取得するために、出力端子２０５および２１５からの信号の一方を他方から減算することによって取得されてもよい。

図６Ａおよび図６Ｂは、それぞれ、音波２５０および物理的加速によって引き起こされるダイアフラム２０２、２１２の変位による図４および図５に示すデュアルダイアフラムマイクロホン２００の実装形態における出力信号生成を示す。図示し、以下で説明するように、マイクロホン２００は、マイクロホン２００の加速によって引き起こされる出力信号の任意の成分を除去または低減しながら、測定された音波を示す結合出力信号を生成するように構成される。

図６Ａは、音波２５０によって引き起こされた第１および第２のダイアフラム２０２、２１２の変形によるデュアルダイアフラムマイクロホン２００における出力信号生成を示す。いくつかの実装形態では、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂは、指向性である必要はない。すなわち、いくつかの実装形態では、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂは、任意の方向から来る音波２５０を測定するように構成される。したがって、図６Ａに示す音波２５０の任意の方向は、単なる例の目的のために提供され、限定することを意図するものではない。

いくつかの実装形態では、デュアルダイアフラムマイクロホン２００は、第１のダイアフラム２０２と第２の第２のダイアフラム２１２との間で測定される全高ｈを有し、それは、各ダイアフラム２０２、２１２に作用する音波の影響が実質的に同じになるように十分に小さい。すなわち、いくつかの実装形態では、マイクロホン２００は、圧力の変化が、時間および大きさにおいて、第１および第２のダイアフラム２０２、２１２に実質的に等しく作用するように、全高ｈを有して構成される。たとえば、いくつかの実装形態では、マイクロホン２００は、５ｍｍ未満、４ｍｍ未満、３ｍｍ未満、２ｍｍ未満、または１ｍｍ未満の全高ｈを有する。当業者は、小さい高さｈに関して、音波２５０が第１および第２のダイアフラム２０２、２１２の実質的に等しい変形を引き起こすことを理解するであろう。これは、低周波音、たとえば、２ｍｍよりもはるかに小さい波長を有する音に関して特に当てはまる。いくつかの実装形態では、マイクロホン２００は、高周波音に関するビーム成形効果のために小さい方向利得差を示す場合があるが、パターンは、２０ｋＨｚ未満の周波数を有する音に関して実質的に単一指向性であることに留意されたい。たとえば、約２ｍｍの高さｈを有するマイクロホン２００について、２つの音検出構成要素２００ａと２００ｂとの間の位相差は、４ｋＨｚ音波に関して８．５度と同じ大きさであることが可能である。８．５度の位相差を有するマイクロホン２００の利得低下は、約０．０２４ｄＢであると計算され、これは、非常に小さい。２０ｋＨｚの音に関して、位相差は、４２．４度と同じ大きさである可能性があり、約０．６１ｄＢの利得低下を引き起こし、これもまた非常に小さい。

図６Ａに示すように、音波２５０は、各ダイアフラム２０２、２１２の外側表面２０２ａ、２１２ａに作用する音波２５０と容積２０６、２１６の内部圧力との間の圧力差のために、ダイアフラム２０２、２１２の各々をそれらのそれぞれの感知電極２０４、２１４に向かって内側に変形させる場合がある。内側への変形は、各ダイアフラム２０２、２１２とそのそれぞれの感知電極２０４、２１４との間の距離を減少させ、各音検出構成要素２００ａ、２００ｂに負の出力信号を生成させる。第１の音検出構成要素２００ａの出力信号は、第２の音検出構成要素２００ｂの出力信号に加算されるように、第１の出力端子２０５を介して電子回路２２０に送信される。したがって、音波２５０によって引き起こされるマイクロホン２００の結合出力信号は、（加速によって誘起される成分がないと仮定して）いずれかの音検出構成要素によって生成される出力信号の２倍に実質的に等しい。図６Ａには特に示されていないが、各ダイアフラム２０２、２１２の同期した外側への変形は、反対の極性を有するが同様の結合出力信号を結果として生じる。

図６Ｂは、加速を受けている図４〜図６Ａに示すデュアルダイアフラムマイクロホン２００の実装形態を示し、マイクロホン２００の実装形態が、どのように、マイクロホン２００の加速によって引き起こされる出力信号の成分を低減または除去するように構成されることが可能であるのかを示す。図６Ｂにおいて、マイクロホン２００は、下向きの加速を受けて示されている。しかしながら、ここで説明する原理は、任意の上向きまたは下向きの成分を有するマイクロホン２００の任意の加速に適用可能であることが理解されよう。

マイクロホン２００の本体は、加速されたときに実質的に変形しないように、概して剛性の材料を含む。上記で議論したように、第１および第２の感知電極２０４および２１４は、それぞれ、第１および第２の容積２０６および２１６内に配置され、マイクロホン２００の本体に強固に取り付けられてもよい。感知電極２０４および２１４はまた、加速されたときに変形しようように概して十分に剛性である。したがって、マイクロホン２００が加速するとき、本体２０１および２１１と感知電極２０４および２１４との間の空間的関係は、一定のままである。しかしながら、第１および第２のダイアフラム２０２、２１２は、加速されたときに変形する場合がある変形可能な膜である。

たとえば、図６Ｂに示すように、マイクロホン２００の第１の音検出構成要素２００ａが下方向に加速するとき、第１のダイアフラム２０２は、マイクロホン２００の残りの部分と同じ速度で下向きに移動せず、ダイアフラム２０２の初期の外側への変形を結果として生じる。外側への変形は、第１のダイアフラム２０２と第１の感知電極２０４との間の距離を増加させ、第１の音検出構成要素２００ａからの正の第１の出力信号を生成する。

第２の音検出構成要素２００ｂは、第１の音検出構成要素２００ａに強固に取り付けられ、したがって、等しい加速を受ける。しかしながら、第２の音検出構成要素２００ｂは、第１の音検出構成要素２００ａと反対の方向に向けられているので、加速は、反対の出力信号を生成する。たとえば、マイクロホン２００の第２の音検出構成要素２００ｂが下向きに加速するとき、第２のダイアフラム２１２は、マイクロホン２００の残りの部分と同じ速度で下向きに移動せず、ダイアフラム２１２の初期の内側への変形を結果として生じる。内側への変形は、第２のダイアフラム２１２と第２の感知電極２１４との間の距離を減少させ、第２の音検出構成要素２００ｂからの負の第２の出力信号を生成する。

いくつかの実装形態では、第１および第２のダイアフラム２０２、２１２は、加速の影響下にあるとき、それらが、それぞれの感知電極２０４、２１４に対して反対の方向であるが、実質的に同じ変形を経験するように、同じ変形可能材料から形成されることが可能であり、実質的に同様の寸法を有することができる。したがって、入射音波が存在しない場合、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂの加速から生じる出力信号は、大きさが実質的に等しく、極性が反対である。電子回路２２０を用いてこれらの信号を合計することは、結合信号がいくつかの実装形態では実質的にゼロに等しくなるように、加速によって引き起こされた成分が実質的にない結合出力信号を結合出力端子２２５において生成する。

前述のように、マイクロホン２００の実装形態は、純粋に横方向の加速に敏感ではない場合がある。それにもかかわらず、これらの原理は、上方向または下方向の成分を有する任意の加速に適用可能である。

図６Ａおよび図６Ｂを参照して上記で議論した原理は、物理的加速と音波２５０による圧力の変化の両方を経験するマイクロホン２００の実装形態に同時に適用されることが可能であることが理解するであろう。図６Ａを参照して議論したように、音波は、各音検出構成要素２００ａ、２００ｂに、大きさおよび極性が実質的に等しい出力信号を生成させる。音によって引き起こされた出力信号の成分は、本明細書ではＳとして表記される。図６Ｂを参照して議論したように、マイクロホン２００の加速は、各音検出構成要素２００ａ、２００ｂに、大きさが実質的に等しいが、極性が反対の信号を生成させる。第１の音検出構成要素２００ａによって生成された加速によって誘起された信号成分は、本明細書ではＡとして表記され、第２の音検出構成要素２００ｂによって生成された加速によって誘起された信号は、本明細書ではＢとして表記される。

したがって、マイクロホン２００が音波２５０と加速の両方に曝されたとき、第１の音検出構成要素２００ａによって生成される出力信号Ｏｕｔｐｕｔ_２００ａは、
Ｏｕｔｐｕｔ_２００ａ＝Ｓ＋Ａ
（１）
のように、音によって誘起された成分Ｓと加速によって誘起された成分Ａの組合せである。

同様に、第２の音検出構成要素２００ｂの出力信号Ｏｕｐｕｔ_２００ｂは、
Ｏｕｔｐｕｔ_２００ｂ＝Ｓ＋Ｂ
（２）
のように、音によって誘起された成分Ｓと加速によって誘起された成分Ｂの組合せである。
上述したように、第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂは、強固に取り付けられ、反対方向に向けられているので、各々の加速によって誘起された出力信号は、
Ｂ＝−Ａ
（３）
のように、大きさが等しく、極性が反対である。
第１および第２の音検出構成要素２００ａ、２００ｂの出力信号が電子回路２２０によって合計されたとき、マイクロホン２００の結合出力Ｏｕｔｐｕｔ_２００は、
Ｏｕｔｐｕｔ_２００＝Ｏｕｔｐｕｔ_２００ａ＋Ｏｕｔｐｕｔ_２００ｂ＝Ｓ＋Ａ＋Ｓ＋Ｂ＝Ｓ＋Ａ＋Ｓ＋（−Ａ）＝２Ｓ
（４）
によって与えられる。
２つの音検出構成要素２００ａ、２００ｂの反対の向きのため、マイクロホン２００の出力信号Ｏｕｔｐｕｔ_２００は、出力信号Ｏｕｔｐｕｔ_２００ａおよびＯｕｔｐｕｔ_２００ｂの音によって誘起された成分Ｓのみを含み、加速によって誘起された成分ＡまたはＢのどちらも実質的に含まず、代わりに、音による成分の２倍に等しい。

図７は、マイクロホン７００の物理的加速によって引き起こされるいかなる成分も実質的に含まない出力信号を生成するように構成されたデュアルダイアフラムマイクロホン７００の実装形態を示す。図７に示すマイクロホン７００は、図４〜図６Ｂを参照して説明したマイクロホン２００と同様である。たとえば、マイクロホン７００は、反対方向に向けられた２つの音検出構成要素７００ａ、７００ｂを含む。概して、第１の音検出構成要素７００ａの実装形態は、第１の本体７０１に取り付けられた第１のダイアフラム７０２であって、第１のダイアフラム７０２および第１の本体７０１が、少なくとも部分的に取り囲まれた第１の容積７０６を画定する、第１のダイアフラム７０２と、第１の容積７０６内に配置され、第１のダイアフラム７０２から離間された第１の感知電極７０４とを含む。同様に、第２の音検出構成要素７００ｂの実装形態は、第２の本体７１１に取り付けられた第２のダイアフラム７１２であって、第２のダイアフラム７１２および第２の本体７１１が、少なくとも部分的に取り囲まれた第２の容積７１６を画定する、第２のダイアフラム７１２と、第２の容積７１６内に配置され、第２のダイアフラム７１２から離間された第２の感知電極７１４とを含む。これらの個々の構成要素の各々は、上記で説明した対応する構成要素と実質的に同様であってもよい。

図７に示す実装形態では、反対方向を向いた第１および第２の音検出構成要素７００ａ、７００ｂは、横方向に整列される。すなわち、第１および第２の容積７０６、７１６は、いずれかのダイアフラム７０２、７１２に対して直交して延びる軸に対して垂直な軸に沿って実質的に整列されてもよい。いくつかの実装形態では、第１の音検出構成要素７００ａは、各ダイアフラム７０２、７１２の中心に垂直に延びる軸の間で測定された横方向距離ｄだけ、第２の音検出構成要素７００ｂから横方向にオフセットされる。いくつかの実装形態では、横方向距離ｄは、各ダイアフラム７０２、７１２に作用する空気圧およびハウジングによって誘起された振動または加速の変化がほぼ同じであるように、十分に小さい。すなわち、いくつかの実装形態では、マイクロホン７００は、圧力の変化が第１および第２のダイアフラム７０２、７１２に対して時間および大きさにおいて実質的に等しく作用するように、第１の音検出構成要素７００ａと第２の音検出構成要素７００ｂとの間にオフセットされた横方向距離ｄを有して構成される。たとえば、いくつかの実装形態では、マイクロホン７００は、５ｍｍ未満、４ｍｍ未満、３ｍｍ未満、２ｍｍ未満、または１ｍｍ未満の横方向オフセット距離ｄを有する。いくつかの実装形態では、距離ｄは、音検出構成要素７００ａ、７００ｂのダイアフラム７０２、７１２の直径にほぼ等しい。電子デバイスにおいて使用される多くのアナログまたはデジタル音検出構成要素は、約３ｍｍと１０ｍｍとの間の範囲の直径を有し、４ｍｍの直径が特に一般的である。当業者は、小さい距離ｄに関して、音波が第１および第２のダイアフラム７０２、７１２の実質的に等しい変形を引き起こすことを理解するであろう。これは、２ｍｍ未満の波長を有する低周波音、たとえば音に関して特に当てはまる。いくつかの実装形態では、マイクロホン７００は、高周波音に関するビーム成形効果のために小さい方向利得差を示す場合があるが、上記で説明したように、パターンは、２０ｋＨｚ未満の周波数を有する音に関して実質的に単一指向性である。

横方向オフセット距離ｄを含むマイクロホン７００のいくつかの実装形態では、第１および第２のダイアフラム７０２、７１２は、いずれかのダイアフラム７０２、７１２に対して垂直に延びる軸に沿って実質的に整列されてもよい。いくつかの実装形態では、第１および第２の感知電極７０４、７１４は、いずれかのダイアフラム７０２、７１２に対して垂直に延びる軸に対して垂直な軸に沿って実質的に整列されてもよい。

上記のように、第１および第２の音検出構成要素７００ａ、７００ｂの第１および第２の出力端子７０５、７１５は、電子回路７２０に電気的に接続され、電子回路７２０を用いて合計される。したがって、図７に示すマイクロホン７００の実装形態は、図６Ａおよび図６Ｂを参照して上記で議論した原理に従って、加速によるどのような成分も実質的に含まない結合出力信号を出力端子７０５において生成するように構成される。

図８は、ハンドヘルドデバイス８７０に組み込まれたデュアルダイアフラムマイクロホン８００の実装形態を示す。デュアルダイアフラムマイクロホン８００は、上記で説明したマイクロホン２００またはマイクロホン７００と同様に構成されてもよい。本明細書で開示する原理に従って構成されたデュアルダイアフラムマイクロホン８００の実装形態は、音を測定し、使用中に移動する可能性が高い任意のデバイスに有利に組み込まれてもよい。いくつかの実装形態では、マイクロホン８００は、図示のようにハンドヘルドデバイス８７０に組み込まれることが可能である。いくつかの実装形態では、ハンドヘルドデバイス８７０は、ワイヤレス通信デバイス、たとえば、ラップトップコンピュータ、セルラーフォン、スマートフォン、電子リーダ、タブレットデバイス、ゲームシステムなどであることが可能である。そのようなデバイスは、一般に、使用中に手持ち式であり、したがって、加速を経験する場合がある。

いくつかの実装形態では、マイクロホン８００は、ハンドヘルドデバイス８７０のハウジング８７１内に配置される。ハウジング８７１は、マイクロホン８００のダイアフラムに到達する音波の能力を制限する場合があるので、ハウジング８７１は、音波がマイクロホン８００のダイアフラムに到達し、これを変形させることを可能にするように構成された、ハウジング８７１を通って延在する穴として形成された１つまたは複数の開口部８７３を含んでもよい。開口部８７３の位置、数、およびサイズは、特定の用途に応じて変化してもよい。いくつかの実施形態では、本出願で説明した各開口部８７３は、単一の穴、複数の穴、または音響メッシュである。図９〜図１１は、開口部を有して構成されたハウジング内のデュアルダイアフラムマイクロホンの様々な配置を示す。

図９は、２つの開口部９７３ａおよび９７３ｂを有するハウジング９７１内に配置されたデュアルダイアフラムマイクロホン９００の実装形態を示す。図示のように、マイクロホン９００は、反対方向に向けられた第１の音検出構成要素９００ａと第２の音検出構成要素９００ｂとを含む。マイクロホン９００は、２つの開口部９７３ａおよび９７３ｂを有するハウジング９７１内に配置される。開口部９７３ａおよび９７３ｂの各々は、ハウジング９７１を通って延在し、音波がハウジング９７１に入ることを可能にするように構成された穴、複数の穴、または音響メッシュを含んでもよい。図９の実装形態では、第１の開口部９７３ａは、ハウジング９７１の第１の側において配置され、音波がマイクロホン９００の第１のダイアフラム９０２に到達することを可能にするように構成される。第２の開口部９７３ｂは、第１の開口部９７３ａと実質的に反対側のハウジング９７１の第２の側において配置される。第２の開口部９７３ｂは、音波がマイクロホン９００の第２のダイアフラム９１２に到達することを可能にするように構成される。

図１０は、単一開口部ハウジング１０７１内に配置されたデュアルダイアフラムマイクロホン１０００の実装形態を示す。開口部１０７３は、ハウジング１０７１の側面を通って延在する穴、複数の穴、または音響メッシュとして構成されてもよい。いくつかの実装形態では、開口部１０７３は、マイクロホン１０００の第１および第２の膜１００２、１０１２の各々の平面に対して垂直な平面内にある。いくつかの実装形態では、開口部１０７３は、開口部１０７３と第１および第２の膜１００２、１０１２の各々との間の距離が実質的に等しいように、ハウジング１０７１上に配置される。いくつかの実装形態では、図１０に示す実装形態などの単一開口部ハウジング１０７１は、デバイスの所要空間または他の内部構成要素が、複数開口部ハウジング、または２つ以上の側において開口部を有するハウジングの使用を妨げる場合、使用される場合がある。他の実装形態では、単一開口部ハウジング１０７１は、入射音の指向性が重要である場合、使用される場合がある。たとえば、マイクロホン１０００が携帯電話などのハンドヘルドデバイスに組み込まれる実装形態では、ユーザの口に向かって配置された単一の開口部１０７３が望ましい場合がある。

図１１は、単一開口部ハウジング１１７１内に配置されたデュアルダイアフラムマイクロホン１１００の別の実装形態を示す。いくつかの実装形態では、マイクロホン１１００は、単一の開口部１１７３を含むハウジング１１７１内に配置されてもよい。単一の開口部１１７３は、ハウジング１１７１を通って延在する穴、複数の穴、または音響メッシュとして構成され、音波がマイクロホン１１００の１つのダイアフラム、たとえば、第１のダイアフラム１１０２に到達すること可能にするように配置されてもよい。ハウジング１１７１は、反対側のダイアフラム、たとえば、第２のダイアフラム１１１２を実質的に音響的に隔離してもよい。この実装形態では、第１の音検出構成要素１１００ａは、音および加速による信号を生成するように構成され、第２の音検出構成要素１１００ｂは、実質的に加速のみによる信号を生成する。第１および第２の音検出構成要素１１００ａ、１１００ｂに関する信号が加算されたとき、マイクロホン１１００の結合出力は、次のように、加速によるどのような成分も実質的に含まない。

上記のように、音によって引き起こされた出力信号の成分は、本明細書ではＳとして表記される。第１の音検出構成要素１１００ａによって生成された、加速によって誘起された信号成分は、本明細書ではＡとして表記され、第２の音検出構成要素１１００ｂによって生成された、加速によって誘起された信号成分は、本明細書ではＢとして表記される。

したがって、図１１に示すようなハウジング１１７１の実装形態内に配置されたマイクロホン１１００が、音波と加速の両方に曝されたとき、第１の音検出構成要素１１００ａによって生成される出力信号Ｏｕｔｐｕｔ_２００ａは、
Ｏｕｔｐｕｔ_２００ａ＝Ｓ＋Ａ
（５）
のように、音によって誘起された成分Ｓと加速によって誘起された成分Ａの組合せである。

第２の音検出構成要素１１００ｂの出力信号Ｏｕｔｐｕｔ_２００ｂは、ハウジング１１７１がダイアフラム１１１２を音響的に隔離するので、
Ｏｕｔｐｕｔ_２００ｂ＝Ｂ
（６）
のように、加速によって誘起された成分Ｂのみを含む。
上述したように、第１および第２の音検出構成要素１１００ａ、１１００ｂは、強固に取り付けられ、反対方向に向けられているので、各々の加速によって誘起された出力信号は、
Ｂ＝−Ａ
（７）
のように、大きさが等しく、極性が反対である。
第１および第２の音検出構成要素１１００ａ、１１００ｂの出力信号が電子回路１１２０によって合計されたとき、マイクロホン１１００の結合出力Ｏｕｔｐｕｔ_２００は、
Ｏｕｔｐｕｔ_２００＝Ｏｕｔｐｕｔ_２００ａ＋Ｏｕｔｐｕｔ_２００ｂ＝Ｓ＋Ａ＋Ｂ＝Ｓ＋Ａ＋（−Ａ）＝Ｓ
（８）
によって与えられる。
２つの音検出構成要素１１００ａ、１１００ｂの反対の向きにより、マイクロホン１１００の出力信号Ｏｕｔｐｕｔ_２００は、音によって誘起された成分Ｓのみを含み、加速によって誘起された成分ＡまたはＢのどちらも実質的に含まず、代わりに、第１の音検出構成要素１１００ａによって測定された音による成分に等しい。

当業者は、開口部の他の配置が本開示の範囲内であることを理解するであろう。

図１２は、記録デバイスの物理的加速または他の動きに実質的に影響されない出力信号を生成するための方法１２００を示すフローチャートである。方法１２００は、ブロック１２０５において開始し、ブロック１２０５では、第１の信号が第１の方向に向けられた第１の音検出デバイスから受信される。第１の信号は、第１の音検出デバイスの測定された音と物理的加速の両方によって引き起こされた成分を含む場合がある。

ブロック１２１０において、第２の信号が第１の方向と実質的に反対の第２の方向に向けられた第２の音検出デバイスから受信される。第２の信号は、第２の音検出デバイスの測定された音と物理的加速の両方によって引き起こされた成分を含む場合がある。第２の受信信号は、一般に、同じ測定された音および同じ物理的加速によって引き起こされる。

ブロック１２１５において、第１および第２の信号が合計される。いくつかの実装形態では、合計は、第１および第２の信号が受信される信号線を単に結合することによって達成される。いくつかの実装形態では、合計は、能動加算回路を使用して達成される。いくつかの実装形態では、第１および第２の音検出デバイスの反対の向きが、加速による実質的に等しく、反対の信号成分を結果として生じるので、第１および第２の信号の合計は、記録デバイスの加速または他の動きによって実質的に影響を受けない結合信号を結果として生じる。第１および第２の信号が加算されたとき、加速による成分は、互いに相殺される。

図１３は、デュアルダイアフラムマイクロホンを含むヘッドセットの実装形態を示す。ヘッドセット１３７０は、ユーザの耳を取り囲むように構成された１つまたは複数の音響エンクロージャ１３７１を含んでもよい。１つまたは複数のスピーカ１３７３が、各音響エンクロージャ１３７１内に含まれ、ユーザの耳に音を伝達するように構成されてもよい。図１３は、位置１３００ａ、１３００ｂ、および１３００ｃのヘッドセット１３７０内のマイクロホンの３つの可能な位置を示す。可能なマイクロホン位置１３００ａ、１３００ｂ、および１３００ｃのいずれかに配置されたマイクロホンは、上記で説明したように、加速によって誘起された任意の出力信号成分を低減または除去するように構成されてもよい。３つの可能なマイクロホン位置１３００ａ、１３００ｂ、および１３００ｃが図１３に示されているが、いくつかの実施形態では、ヘッドセット１３７０は、３つの位置１３００ａ、１３００ｂ、および１３００ｃの各々においてマイクロホンを含まなくてもよい。たとえば、ヘッドセット１３７０は、位置１３００ａにおける単一のマイクロホンのみを含んでもよく、または、ヘッドセット１３７０は、位置１３００ａおよび１３００ｃにおける２つのマイクロホンを含んでもよい。いくつかの実施形態では、ヘッドセット１３７０は、３つ以上のマイクロホンを含んでもよく、ヘッドセット１３７０内またはヘッドセット１３７０上の任意の他の位置においてマイクロホンを含んでもよい。

いくつかの実施形態では、位置１３００ａにおいて配置されたマイクロホンが、一般に、ヘッドセットが使用されているときにユーザの口の前面に、または、ユーザの顔の側面に沿った別の位置に配置され得るように、ヘッドセット１３７０は、音響エンクロージャ１３７１またはヘッドセット１３７０の別の構成要素から延び得るブームまたは他の構造１３７５を含んでもよい。いくつかの実施形態では、ヘッドセット１３７０は、音響エンクロージャ１３７１の外側の位置１３００ｂにおいて配置された１つまたは複数のマイクロホンを含んでもよい。いくつかの実施形態では、ヘッドセット１３７０は、音響エンクロージャ１３７１内の位置１３００ｃにおいて配置された１つまたは複数のマイクロホンを含んでもよい。

上記で説明したようなデュアルダイアフラムマイクロホンは、ウェアラブルデバイスによって取り込まれたまたは生成されたオーディオ信号に対するユーザの動きの影響を低減するために、様々なウェアラブルデバイス、たとえば、イヤホン、ヘッドセット、ヘッドフォン、補聴器、または他のウェアラブルデバイスに有利に組み込まれてもよい。

本明細書で開示する方法は、説明した方法を達成するための１つまたは複数のステップまたはアクションを備える。方法ステップおよび／または方法アクションは、特許請求の範囲から逸脱することなく互いに入れ替えられてもよい。言い換えれば、説明されている方法の適切な動作のためにステップまたはアクションの特定の順序が必要とされない限り、特定のステップおよび／またはアクションの順序および／または使用は、特許請求の範囲から逸脱することなく変更されてもよい。

「取り付ける」、「取り付けられる」という用語、もしくは「取り付ける」という単語の他の変形、または同様の単語は、本明細書で使用される場合、間接的接続または直接的接続のいずれかを示す場合があることに留意すべきである。たとえば、第１の構成要素が第２の構成要素に取り付けられているか、または強固に据え付けられている場合、第１の構成要素は、第２の構成要素に間接的に接続されてもよく、または、第２の構成要素に直接接続されてもよい。本明細書で使用される場合、「複数」という用語は、２つ以上を示す。たとえば、複数の構成要素は２つ以上の構成要素を示す。

本開示において説明する実装形態に対する様々な変更は、当業者には容易に明らかである場合があり、本明細書で定義した一般的な原理は、本開示の要旨または範囲から逸脱することなく、他の実装形態に適用されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本明細書で示されている実装形態に限定されることを意図するものではなく、本開示、本明細書で開示する原理および新規な特徴と一致する最も広い範囲を与えられるべきである。加えて、当業者は、「上方」および「下方」などの相対的な用語が、時には、図面を説明することの容易さのために使用され、適切に向けられたページ上の図の向きに対応する相対的な位置を示し、実装されるとき、または使用中の特定の構成要素の適切な向きを反映しないことがあることを容易に理解するであろう。

別個の実装形態の文脈において本明細書で説明される特定の特徴は、単一の実装形態において組み合わせて実装されることも可能である。逆に、単一の実装形態の文脈において説明される様々な特徴は、複数の実装形態において別々に、または任意の適切なサブ組合せにおいて実装されることも可能である。さらに、特徴は、特定の組合せにおいて作用するものとして上記で説明されている場合があり、当初はそのように特許請求されている場合さえあるが、特許請求された組合せからの１つまたは複数の特徴は、いくつかのハウジングにおいて、組合せから切り取られることが可能であり、特許請求された組合せは、サブ組合せまたはサブ組合せの変形が対象とされてもよい。

同様に、動作は、特定の順序において図面に示されているが、当業者は、そのような動作が示された特定の順序で、もしくは順次に実行される必要はないこと、または、所望の結果を達成するために、図示されたすべての動作が実行されることを容易に認識するであろう。さらに、図面は、フロー図の形式で１つまたは複数の例示的なプロセスを概略的に示している場合がある。しかしながら、概略的に示されているプロセス例には、図に示されていない他の動作を組み込むことも可能である。たとえば図に示されている任意の動作の前、後、同時、またはこれらの動作と動作との間に、１つまたは複数の追加動作を実施することができる。特定の状況では、マルチタスク処理および並列処理が有利である場合がある。さらに、上で説明した実装形態における様々なシステム構成要素の分類は、そのような分類がすべての実装形態に必要であるものとして理解してはならず、説明されているプログラムコンポーネントおよびシステムは、通常、単一のソフトウェア製品の中にまとめて統合することができ、あるいは複数のソフトウェア製品の中にパッケージ化することができることを理解すべきである。さらに、他の実装形態も以下の特許請求の範囲内である。いくつかのハウジングにおいて、特許請求の範囲に列挙されたアクションは、異なる順序で実行されることが可能であり、依然として望ましい結果を達成することができる。

１００ マイクロホン
１０１ 本体
１０２ ダイアフラム
１０２ａ 外側
１０２ｂ 内側
１０３ 接地端子
１０４ 感知電極
１０５ 出力端子
１０６ 容量
１５０ 音波
２００ マイクロホン
２００ａ 第１の音検出構成要素
２００ｂ 第２の音検出構成要素
２０１ 第１の本体
２０２ 第１のダイアフラム
２０２ａ 外側
２０２ｂ 内側
２０３ 第１の接地端子
２０４ 第１の感知電極
２０５ 第１の出力端子
２０６ 第１の容量
２１１ 第２の本体
２１２ 第２のダイアフラム
２１２ａ 外側
２１２ｂ 内側
２１３ 第２の接地端子
２１４ 第２の感知電極
２１５ 第２の出力端子
２１６ 第２の容積
２２０ 電子回路
２２５ 結合出力端子
２８０ 電圧源
２８０ａ 電圧源
２８０ｂ 電圧源
７００ デュアルダイアフラムマイクロホン
７００ａ 第１の音検出構成要素
７００ｂ 第２の音検出構成要素
７０１ 第１の本体
７０２ 第１のダイアフラム
７０４ 第１の感知電極
７０５ 第１の出力端子
７０６ 第１の容量
７１１ 第２の本体
７１２ 第２のダイアフラム
７１４ 第２の感知電極
７１５ 第２の出力端子
７１６ 第２の容量
７２０ 電子回路
８００ デュアルダイアフラムマイクロホン
８７０ ハンドヘルドデバイス
８７１ ハウジング
８７３ 開口部
９００ デュアルダイアフラムマイクロホン
９００ａ 第１の音検出構成要素
９００ｂ 第２の音検出構成要素
９０２ 第１のダイアフラム
９１２ 第２のダイアフラム
９７１ ハウジング
９７３ａ 開口部
９７３ｂ 開口部
１０００ デュアルダイアフラムマイクロホン
１００２ 第１の膜
１０１２ 第２の膜
１０７１ 単一開口部ハウジング
１０７３ 開口部
１１００ デュアルダイアフラムマイクロホン
１１００ａ 第１の音検出構成要素
１１００ｂ 第２の音検出構成要素
１１０２ 第１のダイアフラム
１１１２ 第２のダイアフラム
１１２０ 電子回路
１１７１ 単一開口部ハウジング
１１７３ 開口部
１３００ａ マイクロホン位置
１３００ｂ マイクロホン位置
１３００ｃ マイクロホン位置
１３７０ ヘッドセット
１３７１ 音響エンクロージャ
１３７３ スピーカ
１３７５ ブームまたは他の構造

Claims (30)

1. 第１の信号を生成するように構成された第１のマイクロホン構成要素であって、
   第１の方向に面する外側を有する第１の圧力変形可能ダイアフラムであって、前記第１の信号が前記第１の圧力変形可能ダイアフラムの変形とともに変化する、第１の圧力変形可能ダイアフラムと、
   前記第１の圧力変形可能ダイアフラムの内側から離間され、前記第１の圧力変形可能ダイアフラムによって少なくとも部分的に取り囲まれた第１の容積内に配置された第１の電極と
   を備える第１のマイクロホン構成要素と、
   第２の信号を生成するように構成された第２のマイクロホン構成要素であって、
   第２の方向に面する外側を有する第２の圧力変形可能ダイアフラムであって、前記第２の信号が前記第２の圧力変形可能ダイアフラムの変形とともに変化し、前記第２の方向が前記第１の方向と実質的に反対である、第２の圧力変形可能ダイアフラムと、
   前記第２の圧力変形可能ダイアフラムの内側から離間され、前記第２の圧力変形可能ダイアフラムによって少なくとも部分的に取り囲まれた第２の容積内に配置された第２の電極と
   を備える第２のマイクロホン構成要素と、
   出力信号を生成するために前記第１および第２の信号を合計するように構成された電子回路と
   を備えるマイクロホン。
2. 前記第１のマイクロホン構成要素が、前記第２のマイクロホン構成要素に強固に取り付けられた、請求項１に記載のマイクロホン。
3. 前記第１の圧力変形可能ダイアフラムが、前記第２の圧力変形可能ダイアフラムと平行な位置に向けられた、請求項１に記載のマイクロホン。
4. 前記出力信号が、前記マイクロホンの加速によって実質的に影響を受けない、請求項１に記載のマイクロホン。
5. 前記電子回路が、受動加算回路を備える、請求項１に記載のマイクロホン。
6. 前記電子回路が、能動加算回路を備える、請求項１に記載のマイクロホン。
7. 前記第１のマイクロホン構成要素および前記第２のマイクロホン構成要素が、前記第１の圧力変形可能ダイアフラムに対して垂直な軸に沿って整列された、請求項１に記載のマイクロホン。
8. 前記第１のマイクロホン構成要素が、前記第２のマイクロホン構成要素から横方向にオフセットされた、請求項１に記載のマイクロホン。
9. 前記第１および第２の圧力変形可能ダイアフラムの各々が、周囲に露出された、請求項１に記載のマイクロホン。
10. 前記第１の圧力変形可能ダイアフラムが、前記第２の圧力変形可能ダイアフラムと平行な位置に向けられた、請求項１に記載のマイクロホン。
11. 第１の容積を少なくとも部分的に取り囲む第１の圧力変形可能ダイアフラムと、
    前記第１の容積内に配置され、前記第１の圧力変形可能ダイアフラムから離間された第１の感知電極と、
    第２の容積を少なくとも部分的に取り囲む第２の圧力変形可能ダイアフラムであって、前記第１の圧力変形可能ダイアフラムと実質的に平行に向けられた、第２の圧力変形可能ダイアフラムと、
    前記第２の容積内に配置され、前記第２の圧力変形可能ダイアフラムから離間された第２の感知電極であって、前記第１および第２の感知電極が前記第１および第２の圧力変形可能ダイアフラムの反対側にそれぞれ配置された、第２の感知電極と
    を備えるデュアルダイアフラムマイクロホン。
12. 本体をさらに備え、前記第１および第２の容積が、前記本体によって少なくとも部分的に画定された、請求項１１に記載のマイクロホン。
13. 前記第１および第２の容積が、前記第１の圧力変形可能ダイアフラムに対して垂直に延びる軸に沿って実質的に整列された、請求項１１に記載のマイクロホン。
14. 前記第１および第２の圧力変形可能ダイアフラムならびに前記第１および第２の感知電極がまた、前記第１の圧力変形可能ダイアフラムに対して垂直に延びる前記軸に沿って実質的に整列された、請求項１３に記載のマイクロホン。
15. 前記第１および第２の容積が、前記第１の圧力変形可能ダイアフラムに対して垂直に延びる軸に対して垂直な軸に沿って実質的に整列された、請求項１１に記載のマイクロホン。
16. 第１の方向に向けられた第１の音検出構成要素から第１の信号を受信するステップと、
    前記第１の音検出構成要素に強固に取り付けられ、前記第１の方向と実質的に反対の第２の方向に向けられた第２の音検出構成要素から第２の信号を受信するステップと、
    前記第１および第２の音検出構成要素の加速によって生成された信号成分を実質的に含まない結合出力を生成するために前記第１および第２の信号を合計するステップと
    を備える方法。
17. 前記第１の音検出構成要素が、前記第１の方向で周囲に面するように向けられた外側表面を含む第１の圧力変形可能ダイアフラムを備え、前記第２の音検出構成要素が、前記第１の方向と実質的に反対の第２の方向で周囲に向けられた外側表面を含む第２の圧力変形可能ダイアフラムを備える、請求項１６に記載の方法。
18. 前記第１および第２の圧力変形可能ダイアフラムが、空気圧の変化によって引き起こされる前記第１および第２の信号の成分が大きさおよび極性において実質的に等しいように構成された、請求項１７に記載の方法。
19. 前記第１および第２の圧力変形可能ダイアフラムが、前記マイクロホンの加速によって引き起こされる前記第１および第２の信号の成分が大きさにおいて実質的に等しく、極性において反対であるように構成された、請求項１６に記載の方法。
20. 前記第１および第２の信号を合計するステップが、前記第１および第２の信号を合計するために受動加算回路を使用するステップを備える、請求項１６に記載の方法。
21. 前記第１および第２の信号を合計するステップが、前記第１および第２の信号を合計するために能動加算回路を使用するステップを備える、請求項１６に記載の方法。
22. 第１の信号を生成するように構成された第１のマイクロホン構成要素であって、
    第１の方向に面する外側を有する第１の圧力変形可能ダイアフラムであって、前記第１の信号が前記第１の変形可能ダイアフラムの変形とともに変化する、第１の圧力変形可能ダイアフラムと、
    前記第１の圧力変形可能ダイアフラムの内側から離間され、前記第１の圧力変形可能ダイアフラムによって少なくとも部分的に取り囲まれた第１の容積内に配置された第１の電極と
    を含む第１のマイクロホン構成要素と、
    第２の信号を生成するように構成された第２のマイクロホン構成要素であって、
    第２の方向に面する外側を有する第２の圧力変形可能ダイアフラムであって、前記第２の信号が前記第２の圧力変形可能ダイアフラムの変形とともに変化し、前記第２の方向が前記第１の方向と実質的に反対である、第２の圧力変形可能ダイアフラムと、
    前記第２の圧力変形可能ダイアフラムから離間され、前記第２の圧力変形可能ダイアフラムによって少なくとも部分的に取り囲まれた第２の容積内に配置された第２の電極と
    を含む、第２のマイクロホン構成要素と、
    前記第１のマイクロホン構成要素および前記第２のマイクロホン構成要素を少なくとも部分的に取り囲むように構成されたハウジングであって、前記第１の圧力変形可能ダイアフラムを周囲に露出させるように構成された少なくとも１つの開口部を含み、前記第２の圧力変形可能ダイアフラムを音響的に隔離する、ハウジングと、
    出力信号を生成するために前記第１および第２の信号を合計するように構成された電子回路と
    を備えるマイクロホン。
23. 前記第１のマイクロホン構成要素が、前記第２のマイクロホン構成要素に強固に取り付けられた、請求項２２に記載のマイクロホン。
24. 前記第１の圧力変形可能ダイアフラムが、前記第２の圧力変形可能ダイアフラムと平行な位置に向けられた、請求項２３に記載のマイクロホン。
25. 前記出力信号が、前記マイクロホンの加速によって実質的に影響を受けない、請求項２４に記載のマイクロホン。
26. 前記第１のマイクロホン構成要素および前記第２のマイクロホン構成要素が、前記第１の圧力変形可能ダイアフラムに対して垂直な軸に沿って整列された、請求項２２に記載のマイクロホン。
27. 前記第１のマイクロホン構成要素が、前記第２のマイクロホン構成要素から横方向にオフセットされた、請求項２２に記載のマイクロホン。
28. 前記電子回路が、受動加算回路を備える、請求項２２に記載のマイクロホン。
29. 前記電子回路が、能動加算回路を備える、請求項２２に記載のマイクロホン。
30. 前記少なくとも１つの開口部が、音響メッシュを備える、請求項２２に記載のマイクロホン。

Images