JP2018503586A - セラミック体の処理方法 - Google Patents

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Abstract

セラミック相と粒間ガラス相とを含むセラミック体をガラス製造プロセスにおいて処理する方法が、加熱されているセラミック体へと溶融ガラスを送出するステップであって、この溶融ガラスがセラミック体の表面に接触した状態であるステップを含む。この方法はさらに、セラミック体に第1の電極を接触させるステップと、溶融ガラスに第2の電極を接触させるステップとを含む。この方法はさらに、第1の電極と第2の電極との間に電界を印加して、セラミック体を横切って第1および第2の電極間に、セラミック相および粒間ガラス相の電解閾値に満たない電位差を生成するステップを含む。粒間ガラス相は、印加された電界中で強制拡散を受けて脱混合し、粒間ガラス相中の可動陽イオンは、第1および第2の電極の一方に近接して富化される。

Description

関連出願の説明
本出願は、その内容が引用されその全体が参照することにより本書に組み込まれる、2014年12月11日に出願された米国仮特許出願第62/090,407号の優先権の利益を米国特許法第119条の下で主張するものである。
以下の説明は、一般にセラミック体の処理方法に関し、より具体的には、セラミック体に電位勾配を印加することによってセラミック体を処理する方法に関する。
セラミック体を備えた成形機器に溶融ガラスを流すことによって、ガラスシートまたはリボンを製造することは周知である。相当な濃度の不純物を含有しているセラミック材料は、ガラスシートまたはリボンの製造に用いられる成形本体に使用するには望ましくないことも周知である。
詳細な説明において説明されるいくつかの態様例の基本的な理解を提供するために、以下に本開示の簡単な概要を示す。
第1の態様によれば、セラミック体をガラス製造プロセスにおいて処理する方法が、セラミック相と粒間ガラス相とを含むセラミック体が加熱されている間に、このセラミック体へと溶融ガラスを送出するステップであって、溶融ガラスがセラミック体の表面に接触している、ステップを含む。この方法はさらに、セラミック体に第1の電極を接触させるステップと、溶融ガラスに第2の電極を接触させるステップとを含む。この方法はさらに、第1の電極と第2の電極との間に電界を印加して、セラミック体を横切って第1および第2の電極間に、セラミック相および粒間ガラス相の電解閾値に満たない電位差を生成するステップを含む。粒間ガラス相は、印加された電界中で強制拡散を受けて脱混合し、粒間ガラス相中の可動陽イオンは、第1および第2の電極の一方に近接して富化される。
第1の態様の一例において可動陽イオンは、セラミック体の表面から溶融ガラス中へと拡散される。第1の態様の別の例において、可動陽イオンの富化はセラミック体のバルク内で起こる。第1の態様のさらに別の例において、セラミック体はジルコンを含む。
第1の態様のさらに別の例において、セラミック体を横切る電位差は約1.8V以下である。別の例において、セラミック体を横切る電位差は、約0.2Vから約1.8Vまでの範囲である。
第1の態様のさらなる例において、電界を印加している間のセラミック体の温度は少なくとも約1000℃である。第1の態様の別の例において、第1の電極は白金を含む。さらに別の例において、第1の電極はイットリウム安定化ジルコニアをさらに含む。第1の態様のさらに別の例において、第1の電極は金属酸化物を含む。
第1の態様のさらに別の例において、第1の電極と第2の電極とのうちの少なくとも一方は、導電性セラミックと導電性炭素とのうちの少なくとも一方を含む。第1の態様のさらなる例において、電界の印加は、極性を1回以上反転させるステップを含む。第1の態様のさらなる例において、セラミック体は1以上の開口または孔を含む。第1の態様のさらに別の例において、1以上の開口または孔は、第1および第2の電極のうちの一方を備えている。
この第1の態様は、単独で、あるいは上で論じた第1の態様の例の1つまたは任意の組合せと組み合わせて提供され得る。
第2の態様によれば、セラミック体を処理する方法が、セラミック体の外側表面に多孔質セラミック層を適用するステップを含む。セラミック体は、セラミック相および粒間ガラス相を含む。この方法はさらに、セラミック体の外側表面に第1の電極ペースト層を適用するステップを含む。この方法はさらに、セラミック体の外側表面に、第1の電極ペースト層から間隔を空けて、第2の電極ペースト層を適用するステップを含む。この方法は、この第1および第2のペースト層を焼結して、第1および第2の電極を形成するステップをさらに含む。さらに、この方法はセラミック体を加熱するステップを含む。この方法はさらに、第1の電極と第2の電極との間に電界を印加して、セラミック体を横切って第1および第2の電極間に、セラミック相および粒間ガラス相の電解閾値に満たない電位差を生成するステップを含む。粒間ガラス相は、確立された電界中で強制拡散を受けて脱混合し、粒間ガラス相内の可動陽イオンは、多孔質セラミック層中で富化される。
第2の態様の一例において、この方法は、多孔質セラミック層の少なくとも一部を除去するステップをさらに含む。
第2の態様の別の例において、セラミック体は約1000℃以上の温度に加熱される。
第2の態様のさらに別の例において、セラミック体はジルコンを含む。
第2の態様のさらに別の例において、第1および第2の電極間の電位差は約1.8V以下である。別の例において、第1および第2の電極間の電位差は、約0.2Vから約1.8Vまでの範囲である。
この第2の態様は、単独で、あるいは上で論じた第2の態様の例の1つまたは任意の組合せと組み合わせて提供され得る。
本開示のこれらおよび他の特徴、態様、および利点は、以下の詳細な説明を添付の図面を参照して読むと、よりよく理解される。
成形機器を含むガラス製造装置の例を示した概略図 成形機器の例を示している、図1の線2−2に沿った断面拡大斜視図 図2のエリア3での成形機器における、限定するものではないが濃度勾配、温度勾配、電位差、応力勾配、またはこれらの組合せを含む、電位勾配下での、セラミック体内における可動イオンの動きの例を示した拡大概略図 陰極および陽極がセラミック体の両側に取り付けられている、電位差下での図3に示されているセラミック体の例を示した概略図 陰極および陽極がセラミック体の同じ側に取り付けられている、図4のセラミック体の例を示した概略図 セラミック体の陰極に近接する表面上に形成された蓄積電極を含む、図4のセラミック体の例を示した概略図 約2VDCで様々な温度で測定された、図3のセラミック体に対する一例の電流を示したグラフ 約2VDC、約1100℃で、約100時間の間、図3に示されているセラミック体に対して測定された電流の例を示したグラフ 電圧電源から供給された約2VDC、約1100℃での約100時間の処理の前後に、図3のセラミック体に対して測定されたインピーダンスの例を示したグラフ (a)セラミック相および粒間ガラス相の走査電子顕微鏡写真(SEM)画像、(b)セラミック相に対するエネルギー分散分光法(EDS)スペクトル、および(c)電界で処理されたことのない、ジルコンを含む加工されたままの成形機器のセラミック体の粒間ガラス相に対するEDSスペクトル、の例を示した図 (a)セラミック相および粒間ガラス相のSEM画像、(b)セラミック相に対するEDSスペクトル、および(c)電圧電源から供給された約2VDC、約1100℃で約100時間処理された、セラミック体の「陽極」側における粒間ガラス相に対するEDSスペクトル、の例を示した図 (a)セラミック相および粒間ガラス相のSEM画像、(b)セラミック相に対するEDSスペクトル、および(c)電圧電源から供給された約2VDC、約1100℃で約100時間処理された、セラミック体の「陰極」側における粒間ガラス相に対するEDSスペクトル、の例を示した図 (a)Pt/3YSZ陰極のSEM画像、(b)Pt粒子に対するEDSスペクトル、および(c)約20VDC、約1100℃で約100時間後の、Pt/3YSZ陰極の3YSZ粒子に対するEDSスペクトル、の例を示した図 (a)Pt/3YSZ陽極のSEM画像、(b)Pt粒子に対するEDSスペクトル、および(c)約20VDC、約1100℃で約100時間後の、Pt/3YSZ陽極の3YSZ粒子に対するEDSスペクトル、の例を示した図 電圧電源から供給された約2VDC、約1200℃で、最大約33時間までの範囲の様々な期間で測定された、ジルコンから作製された図2の成形機器のセラミック体に対するインピーダンスの例を示したグラフ 電圧電源から供給された約8VDC、約1200℃で、0時間から約75時間までの範囲の様々な期間で測定された、図15のジルコンよりも低いクリープ速度のジルコンから作製された図2の成形機器のセラミック体に対するインピーダンスの例を示したグラフ 異なる温度および異なる電界で処理した後の、図2の成形機器のセラミック体に対する相対抵抗率の一例を示したグラフ 電圧電源から供給された2VDC下で適用された処理の前後に、異なる温度で測定された図2の成形機器のセラミック体に対する抵抗率の一例を示したグラフ 図2の成形機器のセラミック体の、その場(in-situ)処理の配置の一例を示した概略図 図2の成形機器のセラミック体に対する、図19のその場処理の配置の別の例を示した概略図 図2の成形機器のセラミック体に対する、その場処理の配置のさらに別の例を示した概略図 処理中に電圧電源から供給された約3VDC、約1240℃で、図21に示した配置で処理された、図2の成形機器のセラミック体に対して測定されたインピーダンスの例を示したグラフ 約1200℃で図21に示した配置で処理された、図2の成形機器のセラミック体に対して測定された電流の変化の例を示したグラフ 成形機器の内壁中に形成された1以上の陰極または陽極を備えている、図2の成形機器の例を示した概略図 図24の成形機器の一例を示した概略図
ここで、本開示の実施形態例を示した添付の図面を参照し、装置および方法を以下でより十分に説明する。可能な限り、図面を通じて、同じまたは同様の部分の参照に同じ参照番号を使用する。ただし、本開示は多くの異なる形で具現化され得、本書に明記される実施形態に限定されると解釈されるべきではない。
この議論のために、「移行する」または「移行」という用語は、何らかの電位勾配を伴う、あるいは伴わない、成形機器内でのイオンおよび空所の動きを称する。
この議論のために、「格子」という用語は、陽イオンおよび陰イオンが3D空間中に周期的に配置された結晶構造を称し、また全体的なグローバル帯電の中和が尊重されるよう、帯電イオンが、限定するものではないが隣り合わせの構造、また隣の隣になる構造などの、構造で配置されるガラスをさらに称する。
この議論のために、「電解」という用語は、化合物が、その成分、構成成分、および元素への電気エネルギーの投入を受けて、非自発的反応において分離されるプロセスを称する。例えば「電解」という用語は、化合物の一部の同時酸化および別の減少を受けた、相分離または相分解を称し得る。固体またはガラス相の電解の一例において、電気エネルギーは、位相の形成エネルギーに勝るだけでなく、さらに電解生成物の核生成のために過度のエネルギーを提供するのに十分なものでなければならない。この過度のエネルギーは、限定するものではないが、反応に関連した容積変化の場合に、境界面を形成するために、また歪みエネルギーに勝るために必要になり得る。
他に示されていなければ、電位差に対する単位はボルト(Vまたは直流式ではVDC)で与えられ、電流または電流密度の単位は、アンペア(A)、ミリアンペア(mA)、平方センチメートル当たりのアンペア(A/cm2)、または平方センチメートル当たりのミリアンペア(mA/cm2)で与えられる。
この議論のために、「可動イオン」という用語は、セラミック体の材料の格子を占める、限定するものではないがリチウム(Li+)、ナトリウム(Na+)、カリウム(K+)、カルシウム(Ca2+)、マグネシウム(Mg2+)、チタン(Ti4+)、ジルコニウム(Zr4+)、および鉄(Fe3+)イオンなどの、金属陽イオンを称する。最先端技術に詳しい者には、電荷移動は部分的でしかなく原子の荷電状態は異なることが周知であるとしても、簡単のために、簡単なイオン酸化状態を使用する。さらに「可動イオン」という用語は、電界など電位勾配下で可動の陽イオンまたは陰イオンを称する。従って、「可動イオン」、「可動陽イオン」、または「可動陰イオン」は、本開示全体を通じて交換可能に使用され得る。
この議論のために、「処理」という用語は、セラミック体内の制御された方向における可動イオンの移行に関連する、高温での熱的処理とセラミック体を横切る電位勾配の印加との組合せを称する。この議論のために、「加工されたまま」という用語は、処理が行われていない状態を称する。例えば「加工されたままの成形機器」とは、1以上の既定の製造ステップを用いて製造され、かつ製造後にいかなる「処理」も受けていない成形機器を称する。
この議論のために、成形機器およびセラミック体はジルコンを含むと述べられることもあるが、本書で説明される実施形態はこれに限定されない。例えば成形機器は、モナザイト、ムライト、ジルコン、ジルコニア、アルミナ、または低クリープジルコンを、含む、またはこれらから成るものでもよい。
図1は、成形機器143を含むガラス製造装置101の例を示した概略図である。ガラス製造装置101は、後のガラスシートへの加工のためにガラスリボン103をフュージョンドローするように構成されている。ガラス製造装置101はフュージョンドロー装置を備えているが、さらなる例では他のフュージョン成形装置を提供してもよい。ガラス製造装置101は、貯蔵容器109からバッチ材料107を受け入れるように構成された、溶解槽105(例えば溶解炉)を含み得る。バッチ材料107は、モータ113で動くバッチ送出装置111によって取り込むことができる。随意的なコントローラ115が、所望量のバッチ材料107を矢印117で示されているように溶解槽105内へと取り込むよう、モータ113を作動させるように構成され得る。ガラスレベルプローブ119を用いて直立管123内のガラス溶融物(例えば溶融ガラス)121の高さを測定し、この測定された情報を、通信回線125を用いてコントローラ115へと伝えることができる。
ガラス製造装置101は、溶解槽105の下流に位置しかつ第1の接続管129を用いて溶解槽105に流体連結された、清澄管などの清澄槽127をさらに含み得る。攪拌チャンバなどの混合槽131を清澄槽127の下流にさらに設置してもよく、送出槽133が混合槽131の下流に設置され得る。図示のように、第2の接続管135が清澄槽127を混合槽131に結合させることができ、また第3の接続管137が混合槽131を送出槽133に結合させることができる。さらに図示されているように、送出槽133から成形機器143の注入口141へと溶融ガラス121を送出するために、下降管139が位置付けられ得る。図示のように、溶解槽105、清澄槽127、混合槽131、送出槽133、および成形機器143は、ガラス製造装置101に沿って連続して設置され得る、ガラス溶融ステーションの例である。
溶解槽105は典型的には、セラミックレンガなどの耐火材料から作製される。ガラス製造装置101はさらに、典型的には、白金、または白金ロジウム、白金イリジウム、およびこれらの組合せなどの、白金含有金属を含む、耐火金属から作製された構成要素を含み得るが、この構成要素は、モリブデン、パラジウム、レニウム、タンタル、チタン、タングステン、ルテニウム、オスミウム、ジルコニウム、およびこれらの合金などの、耐火金属、および/または二酸化ジルコニウムを含むものでもよい。耐火金属の構成要素としては、第1の接続管129、清澄槽127(例えば、清澄管)、第2の接続管135、直立管123、混合槽131(例えば、攪拌チャンバ)、第3の接続管137、送出槽133、下降管139、および注入口141、のうちの1以上を挙げることができる。
図2は、成形機器143の例を示している、図1の線2−2に沿った断面拡大斜視図である。成形機器143は、耐火セラミック材料から作製されかつガラスリボン103を成形するように設計された、セラミック体229を備えている。図2に示されているように、成形機器143の本体全体がセラミック体229を含んでいてもよい。別の例においてセラミック体229は、溶融ガラスがセラミック体229のみに接触するように、成形機器143の外側の外層として形成される。例えばセラミック体229は、成形機器143の外側表面上に形成された、既定の厚さを有するものでもよい。
成形機器143は、一対の堰によって少なくとも部分的に画成されるトラフ201を含むものでもよく、この一対の堰は、トラフ201の両面を画成する第1の堰203と第2の堰205とを含む。さらに図示されているように、トラフ201は下部壁207によってさらに少なくとも部分的に画成され得る。図示のように、堰203、205の内側表面206および下部壁207は実質的にU字状を画成し、このU字状は丸みを帯びた角部を有したものでもよい。さらなる例において、このU字状は互いに対して実質的に90°の表面を有するものでもよい。さらなる例においてトラフは、堰203、205の内側表面206の交差によって画成される、底面を有するものでもよい。例えばトラフはV字状の外形を有し得る。図示されていないが、トラフは、さらなる例においてさらなる構成を含み得る。
図示のようにトラフ201は、堰の上部とトラフ201の下部との間に、軸209に沿って変化する深さ「D」を有し得るが、この深さは軸209に沿って実質的に同一でもよい。トラフ201の深さ「D」を変化させると、ガラスリボン103の幅に亘るガラスリボンの厚さの一貫性を助けることができる。図2に示されているように、単なる一例において成形機器143の注入口付近での深さ「D1」は、トラフ201の注入口よりも下流の位置でのトラフ201の深さ「D2」よりも大きくてもよい。点線210によって明示されているように、下部壁207は、注入口端部から反対側の端部まで成形機器143の長さに沿って深さを実質的に連続的に減少させることができるよう、軸209に対して鋭角で延在するものでもよい。
成形機器143は成形ウェッジ211をさらに備えていてもよく、成形ウェッジ211は、成形ウェッジ211の対向する両端部間に堰203、205の外側表面208から底部219まで延在する、一対の下向き傾斜成形面部分213、215を有し得る。一対の下向き傾斜成形面部分213、215は、下流方向217に沿って合流して底部219を形成する。底部219は延伸平面221内に存在し、ガラスリボン103は延伸平面221に沿って下流方向217へと延伸され得る。図示のように延伸平面221は鉛直な平面でもよいが、延伸平面221は、底部219に対して他の向きに延在するものでもよい。
成形機器143は、随意的に1以上のエッジ誘導部材223を備え得る。エッジ誘導部材223は、成形表面上の溶融ガラスの流れの弱化(横方向の収縮)の効果を軽減する働きをすることができる。いくつかの例においてエッジ誘導部材は、この上を通過するガラスリボンのエッジを、間接的にまたは直接的に加熱することができる。例えば図2に示されているように、エッジ誘導部材223は第1の対向端部225に位置付けられ得る。第2の同一のエッジ誘導部材(図2では図示なし)を、図1に示されている第2の対向端部227に位置付けてもよい。エッジ誘導部材223は、一対の下向き傾斜成形面部分213、215のうちの少なくとも1つと交わるように構成され得る。さらなる例においてエッジ誘導部材223は、下向き傾斜成形面部分213、215の両方と交わる。さらなる例においてエッジ誘導部材223は、成形ウェッジ211の対向する両端部の夫々に位置付けられる。
各エッジ誘導部材223は上記説明に実質的に対応するものでもよいが、種々の成形ウェッジおよびエッジ誘導部材の構成をこれに適用することができるため、本書で開示される実施形態はこれに限定されるものではない。例えば本書で説明される実施形態は、その夫々が参照することにより本書に組み込まれる、米国特許第3,451,798号明細書、同第3,537,834号明細書、および/または同第7,409,839号明細書において開示された、成形ウェッジおよびエッジ誘導部材の構成で使用することができる。
図3は、図2のエリア3での成形機器143における、電位勾配下でのセラミック体229内における可動イオンの動きの例を示した拡大概略図である。成形機器143のセラミック体229は図3に示されているように、複数の粒子を有するセラミック相251と、粒間ガラス相253とを含んでいる。セラミック相251は、1以上の結晶相および/または結晶粒子を含み得る。セラミック相251は、イオンおよび電子が周期的ではない構造で配置され得る粒間ガラス相253とは対照的に、周期的な配置の1以上のイオンおよび電子によって占められた、結晶格子をさらに含み得る。図3に示されているセラミック体229はジルコン(ZrSiO4)を含むものであるが、セラミック体229は、モナザイト((Ca,La)PO4)、ムライト(3Al23・2SiO2)、アルミナ(Al23)、低クリープジルコン、または、高温で熱的に安定している他のセラミック酸化物をさらに含み得る。
粒間ガラス相253は、セラミック相251の隣接する粒子間の粒子境界領域を表し得る。粒間ガラス相253および隣接するセラミック相251の粒子は、互いに結びついてセラミック体229内に連続的な経路を形成する。粒間ガラス相253は、セラミック相251の1以上の粒子を包囲し得る。
粒間ガラス相253の化学組成はセラミック相251の結晶粒子の1以上の構成成分を含み得るが、本書で説明される実施形態はこれに限定されない。例えば粒間ガラス相253は、成形機器143を製造した際に比較的小さい全体量で取り込まれる、不純物イオンおよび/またはドーパントをさらに含み得る。不純物イオンとしては、アルカリイオン[例えば、リチウム(Li+)、ナトリウム(Na+)、カリウム(K+)]、アルカリ土類イオン[例えば、カルシウム(Ca2+)、マグネシウム(Mg2+)]、遷移金属イオン[例えば、チタン(Ti4+)、鉄(Fe3+)、クロム(Cr3+)、マンガン(Mn3+、Mn4+)、スズ(Sn2+、Sn4+)]、アルミニウムイオン(Al3+)、および、タンタル、タングステン、モリブデン、およびバナジウムイオンなどの重金属イオン、のうちの少なくとも1つを挙げることができる。一例において不純物イオンは、成形機器143の形状の成形に使用される、鋳型から取り込まれる。別の例では、製造プロセスを通じて成形機器143の状態を制御するために、制御された量の不純物イオンが成形機器143の製造に使用されるバッチに付加される。
不純物イオンを含む粒間ガラス相253は、セラミック相251の粒子の結晶相の溶解温度よりも低い、溶解温度を有し得る。一例では、不純物イオンの種類次第で、不純物イオンの量が増加すると粒間ガラス相253の溶解温度が対応して減少し得る。不純物イオンを含む粒間ガラス相253の溶解温度は、セラミック相251の粒子の溶解温度よりも、数十℃、またはさらには数百℃も低くなり得る。従って粒間ガラス相253は、成形機器143の高温焼結の間に、緻密化のために物質移動を促進させることができる。結果的に、不純物イオンを含む成形機器143のセラミック体229は、いかなる不純物イオンも含んでいない化学的に純粋な成形機器の焼結温度よりも低い温度の範囲内で緻密化することができる。
個々のイオン種は、様々な可動性を有し、かつその得られる有効可動性を変化させる電位勾配下での移行中には様々な個々の結合条件を有しているため、電位勾配下でのイオン種の移行は様々な移行速度で起こり得る。電位勾配は、成形機器143のセラミック体229内の、濃度勾配、化学勾配、温度勾配、電位差または勾配、応力勾配、および歪み勾配、のうちの少なくとも1つによって実現され得る。電位勾配下では、イオン種の分布に対し新たな定常状態に到達するまで、可動性の高いイオンは可動性の低いイオンよりも、相対的に遠くに、かつ速く移行する。
図3に示されている例では、電位勾配下でのセラミック体229内の可動イオンの分布を、一般的な電位勾配を印加した際の比較的可動性が高い可動イオン259と比較的可動性が低い可動イオン260との濃度プロファイル285によって表している。一般化された電位勾配で、化合物をその構成成分へと分解するためのエネルギーが提供された場合、相組成の構成成分への変化が起こる。この議論のために、電解は、電位勾配に関連する電気エネルギーによる化合物の分解である。
印加された電位勾配が、化合物の形成エネルギーよりも低いエネルギーを提供する、従って電解閾値に満たない場合、セラミック体229内のイオンの移行はセラミック体229の相分解を誘起するものではなく、本書では「脱混合(demixing)」と称する、可動イオンの空間的再分配のみにつながり得る。電位勾配が電解閾値を上回ると、電位勾配に結合されたエネルギーは、セラミック体229を含む化合物の形成エネルギー以上になり得る。これは理論上、電解に関連付けられる化合物の分解につながる。この電解は、結晶相および結晶格子の破壊を受けて起こる。上記の基準は熱力学的なバルクの平衡を説明できるものであるが、材料の電解の発現は、核生成、境界面形成のための、また歪みエネルギーに勝るための、さらなるエネルギーの必要性に起因して遅れることがある。
化合物において、可動イオンは電位勾配下で負電位に向かって移行し得る。例えば限定するものではないが、順序付けられた結晶固体内の空所または隙間などの点欠陥との交換、またはガラス質の構造内でより緩く接合された原子の移行を可能にする、密度/変動摂動など、様々な移行機構を活性化することができる。電位勾配を生み出す電界の場合、電荷の考察に基づいて、陽イオンは負電位のエリアに向かって移行することができ、一方陰イオンは正電位のエリアに向かって移行し得る。例えば可動陽イオンは、セラミック体229内を図3に矢印255で示されている方向に、正電位のエリア261から負電位のエリア263へと電位勾配に沿って移行することができる。より可動性が高い陽イオンは、より可動性が低い陽イオンよりも速く移行することができる。結果的にセラミック体229の正電位エリア261および内部265では、可動性の高い陽イオンが相対的に枯渇し得る。これに応じて、負電位エリア263における可動性の高いイオンの濃度は、急激に増加することになる。
図3に示されている、成形機器143のセラミック体229の例を示した概略図に対し、セラミック体229の両側に陰極271および陽極273を取り付けたものを図4に示す。図4に示されているように、セラミック体229には例えば陰極271および陽極273などの、2つの電極が接触している。2つの電極の動作配置は、セラミック体229を横切って既定の大きさの電界を印加するように位置付けられ得る。2つの電極271、273は、リード線279によって電圧電源277に動作可能に結合され得る。電圧電源277の極性は、処理中に反転させてもよい。
さらに電界は、可動イオンが陰極271に近接するセラミック体229の表面へと移行するまで、処理温度次第で約1時間から約100時間超までの範囲の可変期間の間、セラミック体229に印加され得る。可動イオンが陰極271に近接するセラミック体229の表面に到達すると、限定するものではないが特にPtなどの金属導体が可動イオンの移行を遮る陰極271として使用されている場合、これ以上イオンは動くことはできない。代わりに可動イオンは、陰極271に近接する表面で富化され得る。結果的に、陰極271に近接する表面で富化された可動イオンの濃度は持続時間に従ってさらに増加し得、この継続時間の間、電界は、定常状態の濃度プロファイルに到達するまで印加される。予め設定された期間の後、セラミック体229の厚さを横切る可動イオンの濃度は、図3に示されているような、陰極側から陽極側に向かって減少している、比較的可動性の高い可動イオン259および比較的可動性の低い可動イオン260の濃度プロファイル285によって表すことができる。セラミック体229を処理した後、可動イオンで富化された表面を研削または研磨によって機械的に除去し、成形機器143の全体ではなくても少なくとも一部で、極めて低い可動イオンレベルを得ることができる。
この例では、可動イオンの移行に関し、セラミック体229に印加される電界が電解閾値未満でありセラミック体229を分解させることなく動力学的脱混合が起こるとき、電位差の大きさはセラミック体229の1以上の相の形成エネルギーよりも小さい。一方、セラミック体229に印加される電界の大きさが電解閾値を上回ると、脱混合および電解の両方が起こり得る。例えば、陽イオンがその格子位置または酸素イオン(O2-)から変位することによって生成された、陽イオンの空所は、セラミック体229の完全性が維持されなくなる非可逆反応でセラミック体229が分離されるように、陽極273に向かって移行し得る。
電解反応は、熱力学的な観点および関係でも表すことができる。電位差が、例えば多成分酸化物などの化合物形成のギブスエネルギーΔGfに十分に勝るほどの大きさである場合、電解は起こり得る。表1は、以下の数学的方程式を用いた熱力学的データに基づく、ジルコン(ZrSiO4)での形成のギブスエネルギーΔGf(kJ/モル)および電解閾値Udecompositionを示している。
G=−n・F・Udecomposition (1)
ここで、nは電子のモル、Fはファラデー定数(96500C/モル)である。
Figure 2018503586
表1に示されているように、ジルコンに対する計算による電解閾値Udecompositionは、約1000K(726.85℃)から約1800K(1526.85℃)の間の夫々の温度で、1.75Vから2.13Vの範囲になり得る。一例として約1400K(1126.85℃)では、ジルコンは1.94Vが印加されるまでその化合物の形で安定したままとすることができる。1.94Vを超える電位差が印加された場合、ジルコンは以下の化学反応に従って分解し得る。
ZrSiO4 → ZrxSiy(O)+O2 (2)
ここでZrxSiy(O)は、固溶体内で酸素を含有し得る、ジルコニウムおよびケイ素の1以上の金属間化合物、金属合金、または純粋金属である。
表1における電解閾値Udecompositionは、本書で説明される実施形態において電圧電源277から供給される、公称電位と同一のものに限定されない。例えば、電解閾値と電圧電源277からの電位との間の差は、例えば限定するものではないが、電極271とセラミック体229との間または陽極273とセラミック体229との間の、境界面を横切る電圧降下、あるいはリード線279に沿った抵抗に起因する電圧降下など、外因性パラメータの寄与によるものであることもある。従って表1に示されている電解閾値Udecompositionは、電圧電源277から供給される電位未満になり得る。
陰極271および陽極273は、限定するものではないが白金(Pt)またはタングステン(W)などの、1以上の金属導体を含み得る。陰極271および陽極273は、炭素(C)を含んでいてもよい。別の例においては、例えばLa1-xSrxCoO3またはLa1-xSrxMnO3など、限定するものではないがペロブスカイト構造のABO3材料などの導電性セラミックが、単独で、または金属導体と組み合わせて、陰極271または陽極273として使用される。さらに別の例では、例えば黒鉛、カーボンナノチューブ、またはグラフェンなどの導電性炭素が、単独で、または導電性セラミックまたは金属導体と組み合わせて、陰極271または陽極273として使用される。陰極271および陽極273はセラミック体229の表面上に、限定するものではないが、スパッタリング、蒸着、原子層堆積、化学蒸着、スクリーン印刷、およびスプレーコーティングなどの、幾つもの様々な形成技術を用いて形成することができる。
図5は、陰極271および陽極273がセラミック体229の同じ側に取り付けられている、図4のセラミック体229の例を示した概略図である。図4に示されているように陰極271および陽極273を向かい合った表面上に形成してもよいが、図5に示されている例は、陰極271および陽極273を、例えばセラミック体229の内側表面206または外側表面208など、同じ表面上に設置してもよいことを示している。陰極271および陽極273がセラミック体229の同じ表面上に形成される場合、セラミック体229内の電界ラインは、可動イオンの極性次第で可動イオンを一方の電極から他方の電極に向かって強制的に移行させ続けることができる。
図6は、セラミック体229の陰極271に近接する表面上に形成された蓄積電極291を含む、図4のセラミック体229の例を示した概略図である。蓄積電極291は、セラミック体229の表面で富化された可動イオンを物理的または化学的に吸収するように設計された、金属導体293および多孔質セラミック295を含み得る。一例において多孔質セラミック295は、3モル%のイットリウム安定化ジルコニア(3YSZ)などのイットリウム安定化ジルコニア(YSZ)を含むが、他の多孔質セラミック材料、例えば多孔質セリアまたはゼオライトを使用してもよい。多孔質セラミック295は金属導体293と共に、複数の構成で配置してもよい。一例では、図6の蓄積電極291の下方部分に示されているように、既定の厚さを有する多孔質セラミック295をセラミック体229の表面上に直接形成する。例えば、粒径分布が制御されている3YSZセラミック粉末を、有機バインダおよび溶剤と混合してインクを形成し、このインクをセラミック体229の表面上にスクリーン印刷してもよい。多孔質セラミック295がセラミック体229の表面に十分に付着するように、この表面を次いで乾燥および既定温度で焼結して多孔質セラミック295を形成する。
プロセスパラメータは、3YSZの微細構造を変化させるように制御され得る。例えば、細孔形成剤などのインクの組成、焼結温度、および/または3YSZの粒径分布は、多孔質セラミック295の気孔率および/または特定の表面積を制御するように決定され得る。続いて、Ptを含み得る金属導体293を、スパッタリング、蒸着、吹付け、および印刷のうちの少なくとも1つによって、多孔質セラミック295の上に形成してもよい。
蓄積電極291および陽極273を横切って電界が印加されると、可動イオンは蓄積電極291に近接する表面に向かって移行し得る。可動イオンは、蓄積電極291内へと移行し続けることができる。一例において可動イオンは、蓄積電極291が純粋である場合、組成の差によって駆動される。別の例において可動イオンは、蓄積電極291が細かい孔を含む場合、毛細管力によって駆動される。可動イオンは、セラミック体229の表面ではなくセラミック体229の表面の外側の多孔質セラミック295内で富化されるため、セラミック体229の厚さに影響を与えずに、蓄積電極291のみを機械的に除去することができる。
別の例では、蓄積電極291が存在している状態で、例えば蓄積電極291の表面積が限定されていることに起因してセラミック体229の表面に可動イオンの一部が集められた場合であっても、可動イオンのこの部分は、蓄積電極291で集められた可動イオンの部分に比べて小さくなり得る。従って、可動イオンで富化されるセラミック体229の表面の厚さは、全体としてのセラミック体229の厚さよりも著しく薄くなり得る。
別の例では、図6の蓄積電極291の上方部分に示されているように、多孔質セラミック295を金属導体293と均一に混合して、多孔質セラミック295を陰極としての蓄積電極291内に分散させる。例えば、多孔質セラミック295の3YSZセラミック粉末および金属導体293のPt金属フレーク(または粉末)を、有機バインダおよび溶剤と混合してインクを形成し、このインクを次いで乾燥および既定温度で焼結して、金属導体293および多孔質セラミック295間に相互接続された構造を有する、Pt/3YSZ含有の蓄積電極291を形成することができる。蓄積電極291および陽極273を横切って電界が印加されると、いくつかの可動イオンは、セラミック体229の表面に近接する多孔質セラミック295に受け入れられ得る。他の可動イオンは、この他の可動イオンが多孔質セラミック295に吸着されるまで、相互接続された構造を通過して移行することができる。
図7は、約2VDCで様々な温度で測定された、図3のセラミック体に対する一例の電流を示したグラフである。電界は、陰極271および陽極273間で、高温で印加され得る。一例において電界は、可動イオンの移行を加速させるために、成形機器143のセラミック体229の温度が約500℃を超えて約1200℃までの範囲内であるときに、最大2VDCまで印加される。図7に示されているように、電圧電源から供給された約2VDCでセラミック体229に対して測定された電流−電圧データは、温度が約1000℃以上のときに、セラミック体229に対して測定される電流が顕著になり得ることを意味している。表面積が2cm2および厚さが1cmの直方体を含むセラミック体229が、測定のために使用され得る。この例において、図7の水平軸は2つの電極を横切って印加される電界をVで表し、また鉛直軸は単位電極面積当たりの電流をA/cm2で表す。図示のように、電圧電源から供給された約2VDCで、約1000℃で測定された電流274(約0.3mA/cm2)は、約700℃から約900℃の範囲の他の温度で測定された電流275、276、277(約0.1mA/cm2)よりも、約3倍大きい。各ループのヒステリシスは、可動イオンが印加電圧の追従において後れを取っていることを示唆している。約1000℃未満の例において、可動イオンの電流への寄与は最小である。
図8は、電圧電源277から供給された約2VDC、約1100℃で、約100時間の間、図3のセラミック体229に対して測定された電流の例を示したグラフである。この図において水平軸は、セラミック体229を横切る電流を測定した時間(秒)を表す。表面積が2cm2および厚さが1cmの直方体を含むセラミック体229を、この測定に使用した。鉛直軸は、処理中に測定された単位面積当たりの電流(A/cm2)を表す。図示のように電流301は、約100時間で電流301が約5×10-5A/cm2未満になるまで時間と共に減少する。測定された電流は、セラミック体229内の移行イオンの寄与を含み得る。従って、時間に対応する電流レベルの減少は、セラミック体229内のイオンまたは電子の枯渇が進行しているためと解釈することができる。
図9は、電圧電源から供給された約2VDC、約1100℃での約100時間の処理の前後に、図3のセラミック体229に対して測定されたインピーダンス303の例を示したグラフである。この図において、図9の水平軸はインピーダンスの実部をオームで表し、また鉛直軸はインピーダンスの虚部をオームで表す。図9における各測定データ点は、ある周波数で測定されたインピーダンスデータを表している。1cm(幅)×2cm(深さ)×1cm(高さ)の寸法を有する直方体を含むセラミック体229が、測定のために使用され得る。インピーダンススペクトルは等価回路モデルと一致させた。イオンの移行に関連するインピーダンスの大きさが導き出される。従って図9は、約2VDC、約1100℃で約100時間処理した後にセラミック体229で測定されたインピーダンス303が、処理されていないセラミック体で測定されたインピーダンス305よりも大きいことを示している。処理されたセラミック体229のインピーダンス303から派生して、イオン移行に関連する抵抗率は、約2VDC、約1100℃での約100時間の処理の結果、処理されていないセラミック体で測定されたインピーダンス305に比べると2倍増加した。これは図8に示されている電流の減少傾向と矛盾しない。
図10は、(a)セラミック相385の結晶粒子および粒間ガラス相387の、走査電子顕微鏡写真(SEM)画像、(b)セラミック相385の結晶粒子に対するエネルギー分散分光法(EDS)スペクトル、および(c)電界で処理されたことのないジルコンを含む加工されたままの成形機器の、セラミック体229の粒間ガラス相387に対するEDSスペクトル、の例を示している。この例においてセラミック体は、ジルコン粒子を含むセラミック相385と、粒間ガラス相387とを含む。粒間ガラス相387は、アルミノケイ酸ガラス、ジルコニア、酸化ナトリウム、酸化カリウム、酸化カルシウム、酸化チタン、酸化鉄、および他の微量の寄与物、のうちの少なくとも1つを含み得る。セラミック体229の破断面は、粒間ガラス相387がセラミック体229全体を通じて実質的に相互接続され得ることをさらに示している。図10(b)のセラミック相385の結晶相に対して取られたEDSスペクトルによれば、ジルコン粒子内の極わずかな固溶体の形成と共に、Zr、Si、およびOの存在が検出され、これはセラミック相385の結晶粒子がジルコンを含み得ることを示している。図10(c)に示されている粒間ガラス相387に対するEDSスペクトルは、セラミック相385に比較して相対的に高濃度の可動イオンの存在を示している。可動イオンは、限定するものではないが、Na、K、Ca、Ti、およびFeイオンを含む。図10〜14のEDSスペクトルにおいて検出される炭素(C)のピークは、EDS分析のためのサンプル調製で用いられる導電材料によるものとされ得る。
図11は、(a)セラミック相391の結晶粒子および粒間ガラス相393のSEM画像、(b)セラミック相391の結晶粒子に対するEDSスペクトル、および(c)電圧電源から供給された約2VDC、約1100℃で、約100時間処理された、セラミック体229の「陽極」側での粒間ガラス相393に対するEDSスペクトル、の例を示している。材料の微細構造および位相分布は、図10(a)のセラミック体229に比べて大きく変化していない。しかしながら処理後の粒間ガラス相393の化学組成は、変化したものとすることができ、ナトリウム、カリウム、カルシウム、および鉄の欠如と、より低いレベルのチタンとによって特徴付けられ得る。図11(b)によるEDSスペクトルは、限定するものではないがケイ酸ジルコニウムなどのジルコン粒子391の化学組成が、図10(b)のセラミック体229に対して何らかの顕著な差を呈するものではないことを示している。一例において、図11(c)の粒間ガラス相393に対するEDSスペクトルは、Tiのみを可動イオンとして検出する。Al、Si、Zrは、比較的イオンの可動性が低い、粒間ガラス相393の網状組織形成体である。図11のEDSスペクトルでは、任意の他の可動イオンの濃度は、その濃度が極わずかであるため示していない。図11(c)のEDSスペクトルで検出された銀(Ag)は、サンプル調製によるアーチファクトである。
図12は、(a)セラミック相395の結晶粒子および粒間ガラス相397のSEM画像、(b)セラミック相395の結晶粒子に対するEDSスペクトル、および(c)電圧電源から供給された約2VDC、約1100℃で、約100時間処理された、セラミック体229の「陰極」側での粒間ガラス相397に対するEDSスペクトル、の例を示している。図12(a)に示されている微細構造は、相分布および粒径に関して、図10(a)および11(a)に示されているものと大きく異なってはいないであろう。しかしながら図12(c)の粒間ガラス相397に対するEDSスペクトルは、陰極に近接して相当な量の可動イオンが存在していることを示している。例えば、粒間ガラス相397に対して測定されたNa、K、Ca、Fe、およびTiの可動イオンの濃度は、図10(c)に示されているセラミック体229の粒間ガラス相387における可動イオンの濃度よりも著しく大きい。
図13は、(a)Pt/3YSZ陰極のSEM画像、(b)Pt粒子401に対するEDSスペクトル、および(c)約20VDC、約1100℃で、約100時間後の、Pt/3YSZ陰極の3YSZ粒子403に対するEDSスペクトル、の例を示している。Pt/3YSZ陰極では、Pt粒子401、および多孔質ジルコニア粒子を含む3YSZ粒子403は、図13(a)に示されているように互いに均一に相互接続されている。図13(b)に示されているEDSスペクトルにおける有効ピークは、Ptのみの存在を示している。Pt/3YSZ陰極内のPt粒子401は、物理的あるいは化学的に不活性であり、例えば限定するものではないがジルコニウム、ケイ素、およびアルミニウムなどの他の材料と反応しないであろう。一方図13(c)のEDSスペクトルは、3YSZ粒子403内で高濃度レベルの可動イオンが検出されたことを示し、それにより細かい孔または3YSZ粒子403の粒子境界のいずれかが、可動イオンで富化されたことを示唆している。比較的緩い3YSZ粒子403の微細構造のために、高気孔率と、これに対応する高比表面積と、小粒径とを有する多孔質ジルコニア粒子によって、可動イオンを捕捉および/または接合することができる。
図14は、(a)Pt/3YSZ陽極のSEM画像、(b)Pt粒子405に対するEDSスペクトル、および(c)約20VDC、約1100℃で、約100時間後の、Pt/3YSZ陽極の3YSZ粒子407に対するEDSスペクトル、の例を示している。この例では、図13(c)のPt/3YSZ陰極とは異なり、ジルコニア粒子407に対して測定されたEDSスペクトルにおいて、Pt、Y、およびZrのみが検出される。他の可動イオンは、検出されないか、あるいはEDS分析の検出能力の範囲内ではない量である。この結果は図11(c)と矛盾しないものであり、実質的に全ての可動イオンが陰極に向かって移行し得、陽極に近接するセラミック体229から枯渇し得ることを明示した、前述の所見を裏付ける。
図15は、電圧電源277から供給された約2VDC、約1200℃で、最大約33時間までの範囲の様々な処理期間で測定された場合の、図2の成形機器143のセラミック体229に対するインピーダンスの例を示したグラフである。Pt/3YSZ電極を、セラミック体229の対向する表面上に適用してもよい。Ptワイヤを、Pt/3YSZ電極と電圧電源277とを接続するリード線として使用してもよい。従って、図15の水平軸はインピーダンスの実部をオームで表し、また鉛直軸はインピーダンスの虚部をオームで表す。インピーダンスの主な円弧は、装置内でのイオンの移行に対応し、測定期間中に矢印313の方向に増加する。処理期間の持続時間の増加に対応するインピーダンスの円弧の増加は、セラミック体229内のイオン移行に関連付けることができ、これはさらに、処理期間の持続時間の増加に対応するセラミック体229の抵抗の増加と解釈することができる。表2は、図15にインピーダンスを示したセラミック体229の、向かい合った表面を横切って印加された電圧を示しており、これは約1200℃での抵抗および電流の測定に基づいて計算されたものである。
Figure 2018503586
表2によれば、セラミック体229の抵抗は、最大約33時間までの範囲の持続時間の期間の間、約2桁近く増加する。測定対象の特定の構成のセラミック体229では、抵抗率は測定の開始時点での約1,720オーム・cmから、33時間で約54,776オーム・cmまで増加する。一方電流は、同じ各持続時間の期間中に、約1桁減少する。各期間で抵抗と電流とを掛け合わせることによって計算される、セラミック体229を横切る電圧は、最初の電圧0.17Vから約33時間での0.78Vまで増加する。表2に示されているように、セラミック体229を横切って印加される電圧は、前に上記表1において明記したようにジルコンの電解閾値(例えば、約1500K(1226.85℃)で約1.89V)未満である。電位降下の一部は、Ptワイヤによって、および/またはジルコンセラミック体229とPt/3YSZ電極との間の境界面で起こり得る。
図16は、電圧電源から供給された約8VDC、約1200℃で、0時間から約75時間までの範囲の様々な期間で測定された、低クリープジルコン(LCZ)を含む、図2に対応する成形機器143のセラミック体229に対するインピーダンスの例を示したグラフである。Pt/3YSZ電極が、電気データを取得するために、セラミック体229の両側上に形成され得る。図16の水平軸はインピーダンスの実部をオームで表し、一方鉛直軸はインピーダンスの虚部をオームで表す。インピーダンスは、処理の持続時間が増加するにつれて矢印方向315に約75時間まで増加し得、これは図15のジルコンを含むセラミック体229に対する以前のインピーダンスの測定結果と矛盾しない。
電圧電源277から供給された約8VDCでの、LCZを含むセラミック体229に対する抵抗データをさらに測定することができる。抵抗は、約13,660オーム・cmの抵抗率に相当する、処理の開始時点での約6800オームから、約181,000オーム・cmの抵抗率に相当する、約75時間での約90,500オームまで、処理の間に増加し得、これは図16に示されているインピーダンスの増加と矛盾しない。
脱混合のために電解閾値未満の電位差をセラミック体229の2つの表面を横切って印加してもよいが、電解閾値を上回る電位差を、可動イオンを移行させるためにセラミック体229の2つの表面を横切って印加してもよい。表3は、電圧電源277から供給された約12VDCで最大約50時間までの範囲の期間の間、約1200℃でセラミック体229に対して測定された、抵抗および対応する電流を示している。Pt/3YSZ電極は、セラミック体229の2つの表面上に形成され、既定の温度で加熱処理される。
Figure 2018503586
これに示されているように、12VDCがセラミック体229に印加されている間、処理の持続時間が増加するとセラミック体229の抵抗は増加し、セラミック体229の電流は減少する。表2と同様に、セラミック体229を横切る電圧は、ジルコンの測定された抵抗を測定された電流と掛け合わせることによって計算する。処理の持続時間に拘らず、セラミック体229を横切る測定による電圧は約5.94Vから約7.36Vの間の範囲であり、これは表1に示されているジルコンを含むセラミック体229に対する電解閾値(例えば、約1500K(1226.85℃)で約−1.89V)を上回る。
上述したように、電位差が電解閾値を上回ると、脱混合に加えて電解が起こり得る。酸化物系を含む例において、電解は、陽極273での酸素ガスの解除を受けて、セラミック体229の相分解を引き起こす。陽極273で酸素ガスが形成されると、陽極273に近接する表面での複数の微小孔の形成を促進し得、これが最終的に、陽極273と陽極273に近接する表面との間の境界面で不完全な接触をもたらすことになる。その結果、電圧電源277により生成される電界を、陰極271および陽極273を横切って十分に印加することができなくなり、これにより脱混合と、陰極271へと向かう可動イオンの対応する移行とが抑制され得る。従って、電解を抑制するために、セラミック体229に印加される電界は、電位差がセラミック体229を構成する材料の電解閾値未満になるよう制御され得る。
図17は、異なる温度および異なる電界で処理した後の、図2の成形機器143のセラミック体229に対する相対抵抗率の一例を示したグラフである。図17の水平軸は期間を時間で表し、一方鉛直軸は相対抵抗率をR/R0で表し、このときRは、様々な電界および温度下で様々な持続時間の期間で測定された抵抗率であり、R0は加工されたままの成形機器の抵抗率である。期間に対するR/R0の傾斜の変化によって、セラミック体229の抵抗率が期間の持続時間で、どのように変化し得るかを示すことができる。一例において、特定の持続時間の期間でR/R0の傾斜が比較的急である場合には、セラミック体229の抵抗率がその特定の持続時間の期間で、より速い速度で変化することを示すことができる。別の例において、特定の持続時間の期間でR/R0の傾斜が比較的小さい場合には、セラミック体229の抵抗率がその特定の持続時間の期間で、より遅い速度で変化することを示すことができる。
−2VDC下で夫々1100℃および1200℃で処理されたセラミック体に対して測定された、相対低効率411および413は、30時間の持続時間の期間を越えても比較的急な傾斜を示し得るものであり、これは、電位差が電解閾値未満になるように制御されている、セラミック体229への電界の印加の下での高温でのセラミック体229の処理は、セラミック体229の抵抗の増加に有利になり得ることを示すことができる。相対抵抗率413の傾斜は相対抵抗率411の傾斜よりも大きくなり得るが、これは、使用される温度範囲内で、より高い処理温度が可動イオンのさらなる移行に有効であり、セラミック体229の抵抗率を増加させることができることを示し得る。一方、1200℃および12VDCで最大約75時間の持続時間で処理されたセラミック体229に対して測定された相対抵抗率415は、相対低効率411および413に関して図示したものに比べて、相対的に低い傾斜を明示した。電圧電源277から供給される12VDCは、上述したように、電位差が電解閾値を十分に超えるほど高い電界を依然として生成し得る。従って、12VDC下での処理により測定された比較的低い傾斜は、電解閾値を上回る電位差を生成する電界が、電解閾値未満の電位差を生成する電界下での処理と比較すると、セラミック体229の抵抗の増加において効率的であるとは言い難いことを意味することができる。
図18は、電圧電源277から供給された2VDC下で適用した処理の前後に、異なる温度で測定された図2の成形機器143のセラミック体229に対する抵抗率の一例を示したグラフである。成形機器143はジルコンから作製され得る。図18の水平軸は温度の逆数をK-1で表し、一方鉛直軸は成形機器の抵抗率をlogRで表す。抵抗率421は加工されたままの成形機器の抵抗率の変化を表し、一方抵抗率423は2VDC下での処理を受けた、陽極に近接するセラミック体229に対して測定された抵抗率の変化を表す。図示のように抵抗率423は、持続時間の期間の範囲に亘って、抵抗率421よりも1桁近く大きい。従ってこの処理は、可動イオンをセラミック体229から駆動させることによって、抵抗が向上したセラミック体229を提供すると期待され得る。
図19は、図2の成形機器143のセラミック体229の、その場処理の配置の一例を示した概略図である。図19によれば、1以上の陰極271をガラス溶融物317内に浸漬させ、かつリード線279で電圧電源277に結合してもよい。陽極273を、セラミック体229の外側表面208に結合し、かつリード線279で電圧電源277に結合してもよい。一例において陰極271は、セラミック体229の内側表面206に接触せずに、ガラス溶融物317に接触または浸漬している。別の例において陰極271は、セラミック体229の内側表面206に接触するように挿入される。
ガラス溶融物317とセラミック体229の内側表面206との間の境界面エリアは、図19に示されているような陰極271の構成例を用いることによって拡散断面になり得る。一例において陰極271は、複数の導線またはプローブを含む。ガラス溶融物317が高温で導電性の媒体とされ得る場合、ガラス溶融物317内に浸漬された陰極271は、陰極271から生じた電界がガラス溶融物317と内側表面206との間の境界面エリア全体に亘って印加されるように、ガラス溶融物317に電界を印加することができる。これは、可動イオンがガラス溶融物317と内側表面206との間の最大の境界面エリアに亘って移行することになるため有利になり得る。図19に示されている例を使用すると、ガラスの製造中または製造前に、可動イオンをセラミック体229から外へ、さらにガラス溶融物317内へと強制的に移行させることができる。一例では、セラミック体229の内側表面206に存在している不純物イオン、またはセラミック体229の内側表面206上で固化したこれまでに製造されたガラス溶融物からの残留物は、陰極271と陽極273との間に電界が印加されている間に純粋ガラス溶融物317を複数回提供して、セラミック体229から、またガラス溶融物317内へと、不純物イオンを強制的に移行させることによって除去することができる。これまでに製造されたガラス溶融物および/またはセラミック体229の内側表面206から不純物イオンを速やかに強制的に移行させると、強制移行の期間を延ばす必要性を低減することができる。
例えば、陰極271と陽極273との間に電界を印加すると、セラミック体229の内部265で富化された可動イオンは、陰極271に近接する内側表面206へ、セラミック体229の内側表面206を横切ってガラス溶融物317内へと、移行するのに十分な駆動力を得ることができる。従ってセラミック体229の内部265の(および内側表面206に近接する)可動イオンの濃度は、ガラス溶融物317内の可動イオンの濃度が増加し得る間、減少し得る。続いて高濃度の可動イオンを含むガラス溶融物317を、セラミック体229外へとフラッシングさせて、既定期間の後に、不純物を含まないガラス溶融物317で置き換えることができる。可動イオンを強制的に移行させることを繰り返すことで、可動イオンをセラミック体229の内部265から枯渇させて内側表面206に向かわせることができる。結果的にセラミック体229の内側表面206の最も近くで可動イオンの濃度を閾値未満に減少させることができ、この時点で可動イオンの強制移行を停止させてガラスの延伸を開始することができ、それによりセラミック体229の内側表面206に接触しているガラス溶融物317と、成形機器143からの可動イオンとの接触を抑制することができる。
図20は、成形機器143のセラミック体229に対する、その場処理の配置の別の例を示した概略図である。この配置では、陰極271をセラミック体229の外側表面208に結合し、かつ陽極273をガラス溶融物317内に浸漬させる。あるいは陽極273は、ガラス溶融物317に接触している内側表面206と接触していてもよい。陰極271と陽極273との間に電界を印加すると、可動イオンをセラミック体229の内部265に向かって引っ張ることができ、内側表面206は可動イオンが枯渇した状態になる。その結果、内側表面206に位置する可動イオンが枯渇することで、内側表面206に連続的に接触しているガラス溶融物317に、可動イオンが接触するのを抑制することができる。
上に明記したように、図19および20に示されている陰極271および陽極273の配置の例を用いることによって、成形機器143を、ガラス製造装置101から移動させることなく処理することができる。フラッシングに加え、図19および20に示されている配置の例が動作可能である間に、ガラスシート/リボンを延伸してもよい。一例では、成形機器143からのガラスシート/リボンの不純物の濃度を、この不純物の濃度が閾値レベルを超えた場合に図19および20に示されている配置で成形機器143を処理しながらガラスシート/リボンを延伸することができるよう、監視する。
図21は、図2の成形機器143のセラミック体229に対する、その場処理の配置のさらに別の例を示した概略図である。図21に示されている配置351は、白金(Pt)を陰極として含む白金容器355から供給されたガラス溶融物317を受けるための、鉛直軸に対して約45°に位置付けられた、ジルコニアを含むセラミック体229を備え得る。白金容器355は、ガラス溶融物317をセラミック体229に向かう方向に提供するように構成された、注入口357を含み得る。ガラス溶融物317が導電性であり、またガラス溶融物317は白金容器355とセラミック体229の表面との間に連続した溶融物のリボンを形成するため、白金容器355に負の電位を印加することによって負の電位がガラス溶融物317に印加され得る。
セラミック体229の外側表面208の1以上の部分は、Pt/3YSZ含有の蓄積電極291を陽極として含み得る。2つのリード線279が、夫々白金容器355および蓄積電極291に電気的に結合され得る。リード線279は白金(Pt)ワイヤを含み得る。リード線279は電圧電源277にさらに接続されて、白金容器355および蓄積電極291を横切って、制御されたVDCを提供することができる。
白金容器355内のガラス溶融物317は、ガラス溶融物317を保持する白金容器355に連続的に流れ込むことによって、セラミック体229の内側表面206に提供され得る。図21の処理は、セラミック体229に亘る様々な極性の様々な電界の印加を含み得る。電極の極性は、可動イオンをセラミック体229から溶融物内へと駆動するために、またセラミック体229の内側表面206近傍における可動イオンの富化を抑制するために、正から負へ、あるいはその逆に切り替えることができる。
一例では、+3VDCが、白金容器355と蓄積電極291との間に約1時間の間印加される。続いて約5分間、生成された電界を+6VDCまで増加させる。次いで約45分間、生成された電界を+10VDCまでさらに増加させて、白金容器355によって提供される陰極へと向かう可動イオンの移行をさらに促進させる。内側表面206付近の任意の可動イオンをセラミック体229の内部265に向かって強制的に移行させるべく、白金容器355と蓄積電極291との間に−1VDCを印加するよう次いで電極の極性を反転させ、それにより電極の極性は、内側表面206で富化された内側表面206の可動イオンを実質的に枯渇させる働きをする。内側表面206および外側表面208を横切って印加される実際の電界は、リード線279の延在長、並びにセラミック体229と蓄積電極291との間、および蓄積電極291とリード線279との間の、境界面における電位降下のために、電圧電源277により生成される電界よりも低くなり得る。
別の例では、1以上の既定の大きさを有する電界を生成して白金容器355および蓄積電極291に既定の持続時間の間印加し、可動イオンをガラス溶融物内へと駆動する。次いで白金容器355および蓄積電極291の極性を反転させて、セラミック体229の電解が発生しない限りにおいて、可動イオンを内側表面206から枯渇させる。電極の極性の反転を、特定の動作の必要性に従って繰り返してもよい。
図22は、処理中に電圧電源から供給された約3VDC、約1200℃で、図21に示されている配置で処理された、成形機器143のセラミック体229に対して測定されたインピーダンスの例を示したグラフである。この例において、図21の水平軸はインピーダンスの実部をオームで表し、また鉛直軸はインピーダンスの虚部をオームで表す。3VDCが、白金容器355および蓄積電極291を横切って、約1時間まで印加され得る。図22の測定されたインピーダンスは、処理の持続時間の増加に伴って、可動陽イオンに関連する円弧が矢印方向361に増加し、インピーダンスの測定において最大のインピーダンス325に到達することを示している。インピーダンスデータの分析は、可動イオン関連の抵抗を、処理前の約70オームから約1時間の処理後の約360オームまで増加させたことを示唆しており、これは約5倍の増加である。増大するインピーダンスの円弧は、可動イオンを含む粒間ガラス相253の抵抗率を表しているため、この抵抗率の増加は、粒間ガラス相253が変化した可能性があることを示している。
抵抗率は実質的に処理中に増加し、処理中の粒間ガラス相253の構成成分の量および可動性によって粒間ガラス相253の抵抗率は制御され得る。従って、粒間ガラス相253中の可動イオンの量および/または可動性が劇的に減少した可能性があると推測することができる。図11のSEM−EDXによって観測されるように、限定するものではないがアルカリ、アルカリ土類、および遷移金属イオンなどの可動陽イオンを、粒間ガラス相393から効果的に枯渇させることができる。結果として得られる粒間ガラス相393は、比較的遅い速度でガラス溶融物内へと拡散し得る可動性の低いイオンのみを含有し得るものであり、それによりガラスリボンの延伸中に生じるガラス溶融物の汚染を著しく減少させることができる。セラミック体229の腐食およびクリープ速度は、セラミック体229の粒間ガラス相393中の可動イオンの量および可動性に対応するため、この得られたより低可動性の粒間ガラス相はさらに、セラミック体229の腐食を遅らせ、かつセラミック体229のクリープ速度を減少させる。
図23は、約1200℃で図21に示されている配置で処理された、成形機器143のセラミック体229に対して測定された電流の変化の例を示したグラフである。図23の水平軸は電流を測定した期間を秒で表し、鉛直軸は単位電極面積当たりの電流(A/cm2)を表す。この例において、電圧電源277から供給された10VDCでの最初の5分間の開始電流は、おおよそ5〜7.5mA/cm2とすることができる。電極の極性を反転させ、白金容器355と蓄積電極291との間に−1VDCを印加した後に、電流の極性をさらに反転させる。図23に示されているように、約400秒までの測定の持続時間中、1mA/cm2未満の電流しか測定されないであろう。これは、成形機器143からガラス溶融物内へと可動陽イオンを移行させることによって、セラミック体229の表面で既に可動イオンの大部分が効果的に枯渇された可能性があることを示唆し、その結果、反転した電位下で著しいイオンの移動は観察されず、それによりセラミック体229内の表面に近接して存在している可動イオンを、より速い速度でガラス溶融物中へと取り出すことができることを明示している。
図24および25は、成形機器143の内壁中に形成された1以上の陰極または陽極を備えている、図2の成形機器143の例を示した概略図である。図24は、ガラス溶融物の流れの方向に対して垂直な方向に、成形機器143を貫通して形成された開口371を備えている、成形機器143を示したものである。あるいは成形機器143のセラミック体は、ガラス溶融物の流れの方向に対して垂直な方向に、1以上の孔を備えたものでもよい。開口371は、開口371の内壁373と外側表面208との間、または開口371の内壁373と下向き傾斜成形面部分213、215との間で、全ての方向において既定範囲内の厚さを保つように形成され得る。内壁373は、金属電極または蓄積電極を含む、陰極を備えたものでもよい。1以上の陽極は、図19および20に概略的に示されているように、成形機器143内のガラス溶融物に接触するように構成され得る。陽極は、トラフ201、下向き傾斜成形面部分213、215、または外側表面208上を流れている、ガラス溶融物に接触し得る。
動作時に、電位が陰極と陽極との間に印加されると、可動イオンを、可動イオンが開口371の内壁373で富化されるまで、成形機器143の開口371に向かって強制的に移行させることができる。蓄積電極が内壁373で陰極として形成される場合、可動イオンは蓄積電極の表面で物理的または化学的に吸着され得る。蓄積電極中で富化された可動イオンを、蓄積電極を物理的に研削または研磨することによって除去してもよい。
図25は、図24の成形機器143の一例を示した概略図である。成形機器143は、ガラス溶融物の流れの方向に対して垂直な方向に、柱377、379、および381の状態で夫々配向された、複数の開口を備えている。柱377、379、および381の開口は、隣接する開口との間に既定の間隙を有して間隔を空けたものでもよい。陰極271は、金属導体または蓄積電極を陰極として用いることによって、開口の柱377、379、および381の夫々の内壁373中に形成され得る。1以上の陽極は、図19および20に概略的に示されているように、成形機器143内のガラス溶融物に接触するように構成され得る。陽極は、トラフ201、下向き傾斜成形面部分213、215、または外側表面208上を流れている、ガラス溶融物に接触し得る。負の電位が柱377および381の開口の陰極に印加されると、可動イオンが柱377および381の開口の内壁373で富化されるまで、可動イオンはガラス溶融物から成形機器143の柱377および381の開口に向かって移行し得る。ガラス溶融物からの可動イオンが開口377および381に向かって連続的に移行することができるよう、可動イオンを柱379の開口に向かって強制的に移行させ、開口377および381を回復させることができる。一例では、負の電位が柱377および381の開口の内壁373の陰極に印加されていない間に、負の電位を柱379の開口の内壁373の陰極に印加する。
図19および20と同様に、図24および25の成形機器143を、フラッシング中に、またガラス製造中にその場で、使用してもよい。一例において、ガラス溶融物中の不純物イオンの濃度が既定レベルを超えることが分かった場合、図17の内壁373上に形成された陰極271に負電位を印加することによって、ガラスの製造を止めることなく可動イオンはガラス溶融物から除去される。別の例では、図21に対して上で明記したのと同様に図24および25の電極の極性を反転させて、フラッシング時に、またガラス製造中にその場で、必要に応じて可動イオンをガラス溶融物中へと移行させることができる。
本発明の精神および範囲から逸脱することなく、本開示の種々の改変および変形が作製可能であることは当業者には明らかであろう。従って、本開示の改変および変形が添付の請求項およびその同等物の範囲内であるならば、本発明はこのような改変および変形を含むと意図されている。
以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。
実施形態1
セラミック体をガラス製造プロセスにおいて処理する方法において、
セラミック相と粒間ガラス相とを含むセラミック体が加熱されている間に、該セラミック体へと溶融ガラスを送出するステップであって、前記溶融ガラスが前記セラミック体の表面に接触している、ステップ、
前記セラミック体に第1の電極を接触させるステップ、
前記溶融ガラスに第2の電極を接触させるステップ、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に電界を印加して、前記セラミック体を横切って前記第1の電極と前記第2の電極との間に、前記セラミック相および前記粒間ガラス相の電解閾値に満たない電位差を生成するステップ、
を含み、前記粒間ガラス相が、印加された前記電界中で強制拡散を受けて脱混合し、前記粒間ガラス相中の可動陽イオンが、前記第1の電極および第2の電極の一方に近接して富化されることを特徴とする方法。
実施形態2
前記可動陽イオンが、前記セラミック体の表面から前記溶融ガラス中へと拡散されることを特徴とする実施形態1記載の方法。
実施形態3
前記可動陽イオンの富化が、前記セラミック体のバルク内で起こることを特徴とする実施形態1記載の方法。
実施形態4
前記セラミック体がジルコンを含むことを特徴とする実施形態1記載の方法。
実施形態5
前記セラミック体を横切る前記電位差が、約1.8V以下であることを特徴とする実施形態1記載の方法。
実施形態6
前記セラミック体を横切る前記電位差が、約0.2Vから約1.8Vまでの範囲であることを特徴とする実施形態5記載の方法。
実施形態7
前記電界を印加している間の前記セラミック体の温度が、少なくとも約1000℃であることを特徴とする実施形態1記載の方法。
実施形態8
前記第1の電極が白金を含むことを特徴とする実施形態1記載の方法。
実施形態9
前記第1の電極がイットリウム安定化ジルコニアをさらに含むことを特徴とする実施形態8記載の方法。
実施形態10
前記第1の電極が金属酸化物を含むことを特徴とする実施形態1記載の方法。
実施形態11
前記第1の電極と前記第2の電極とのうちの少なくとも一方が、導電性セラミックと導電性炭素とのうちの少なくとも一方を含むことを特徴とする実施形態1記載の方法。
実施形態12
前記電界の印加が、極性を1回以上反転させるステップを含むことを特徴とする実施形態1記載の方法。
実施形態13
前記セラミック体が、1以上の開口または孔を含むことを特徴とする実施形態1記載の方法。
実施形態14
前記1以上の開口または孔が、前記第1の電極と前記第2の電極とのうちの一方を備えていることを特徴とする実施形態13記載の方法。
実施形態15
セラミック体を処理する方法であって、
セラミック相と粒間ガラス相とを含むセラミック体の外側表面に、多孔質セラミック層を適用するステップ、
前記セラミック体の前記外側表面に、第1の電極ペースト層を適用するステップ、
前記セラミック体の前記外側表面に、前記第1の電極ペースト層から間隔を空けて第2の電極ペースト層を適用するステップ、
前記第1の電極ペースト層および前記第2の電極ペースト層を焼結して、第1の電極および第2の電極を形成するステップ、
前記セラミック体を加熱するステップ、
前記第1の電極と前記第2の電極との間に電界を印加して、前記セラミック体を横切って前記第1の電極と前記第2の電極との間に、前記セラミック相および前記粒間ガラス相の電解閾値に満たない電位差を生成するステップ、
を含み、前記粒間ガラス相が、確立された前記電界中で強制拡散を受けて脱混合し、前記粒間ガラス相中の可動陽イオンが、前記多孔質セラミック層中で富化されることを特徴とする方法。
実施形態16
前記多孔質セラミック層の少なくとも一部を除去するステップをさらに含むことを特徴とする実施形態15記載の方法。
実施形態17
前記セラミック体が、約1000℃以上の温度に加熱されることを特徴とする実施形態15記載の方法。
実施形態18
前記セラミック体がジルコンを含むことを特徴とする実施形態15記載の方法。
実施形態19
前記第1の電極と前記第2の電極との間の前記電位差が、約1.8V以下であることを特徴とする実施形態15記載の方法。
実施形態20
前記第1の電極と前記第2の電極との間の前記電位差が、約0.2Vから約1.8Vまでの範囲であることを特徴とする実施形態19記載の方法。
143 成形機器
229 セラミック体
251 セラミック相
253 粒間ガラス相
271 陰極
273 陽極
277 電圧電源
291 蓄積電極
293 金属導体
295 多孔質セラミック
317 ガラス溶融物
図14は、(a)Pt/3YSZ陽極のSEM画像、(b)Pt粒子405に対するEDSスペクトル、および(c)約20VDC、約1100℃で、約100時間後の、Pt/3YSZ陽極の3YSZ粒子407に対するEDSスペクトル、の例を示している。この例では、図13(c)のPt/3YSZ陰極とは異なり、ジルコニア粒子407に対して測定されたEDSスペクトルにおいて、YおよびZrのみが検出される。他の可動イオンは、検出されないか、あるいはEDS分析の検出能力の範囲内ではない量である。この結果は図11(c)と矛盾しないものであり、実質的に全ての可動イオンが陰極に向かって移行し得、陽極に近接するセラミック体229から枯渇し得ることを明示した、前述の所見を裏付ける。
図19および20と同様に、図24および25の成形機器143を、フラッシング中に、またガラス製造中にその場で、使用してもよい。一例において、ガラス溶融物中の不純物イオンの濃度が既定レベルを超えることが分かった場合、図24の内壁373上に形成された陰極271に負電位を印加することによって、ガラスの製造を止めることなく可動イオンはガラス溶融物から除去される。別の例では、図21に対して上で明記したのと同様に図24および25の電極の極性を反転させて、フラッシング時に、またガラス製造中にその場で、必要に応じて可動イオンをガラス溶融物中へと移行させることができる

Claims (13)

  1. セラミック体をガラス製造プロセスにおいて処理する方法において、
    セラミック相と粒間ガラス相とを含むセラミック体が加熱されている間に、該セラミック体へと溶融ガラスを送出するステップであって、前記溶融ガラスが前記セラミック体の表面に接触している、ステップ、
    前記セラミック体に第1の電極を接触させるステップ、
    前記溶融ガラスに第2の電極を接触させるステップ、
    前記第1の電極と前記第2の電極との間に電界を印加して、前記セラミック体を横切って前記第1の電極と前記第2の電極との間に、前記セラミック相および前記粒間ガラス相の電解閾値に満たない電位差を生成するステップ、
    を含み、前記粒間ガラス相が、印加された前記電界中で強制拡散を受けて脱混合し、前記粒間ガラス相中の可動陽イオンが、前記第1の電極および第2の電極の一方に近接して富化されることを特徴とする方法。
  2. 前記可動陽イオンが、前記セラミック体の表面から前記溶融ガラス中へと拡散されることを特徴とする請求項1記載の方法。
  3. 前記可動陽イオンの富化が、前記セラミック体のバルク内で起こることを特徴とする請求項1記載の方法。
  4. 前記セラミック体を横切る前記電位差が、約1.8V以下であることを特徴とする請求項1から3いずれか1項記載の方法。
  5. 前記電界を印加している間の前記セラミック体の温度が、少なくとも約1000℃であることを特徴とする請求項1から4いずれか1項記載の方法。
  6. 前記第1の電極と前記第2の電極とのうちの少なくとも一方が、導電性セラミックと導電性炭素とのうちの少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項1から4いずれか1項記載の方法。
  7. 前記電界の印加が、極性を1回以上反転させるステップを含むことを特徴とする請求項1から6いずれか1項記載の方法。
  8. 前記セラミック体が、1以上の開口または孔を含むことを特徴とする請求項1から7いずれか1項記載の方法。
  9. セラミック体を処理する方法であって、
    セラミック相と粒間ガラス相とを含むセラミック体の外側表面に、多孔質セラミック層を適用するステップ、
    前記セラミック体の前記外側表面に、第1の電極ペースト層を適用するステップ、
    前記セラミック体の前記外側表面に、前記第1の電極ペースト層から間隔を空けて第2の電極ペースト層を適用するステップ、
    前記第1の電極ペースト層および前記第2の電極ペースト層を焼結して、第1の電極および第2の電極を形成するステップ、
    前記セラミック体を加熱するステップ、
    前記第1の電極と前記第2の電極との間に電界を印加して、前記セラミック体を横切って前記第1の電極と前記第2の電極との間に、前記セラミック相および前記粒間ガラス相の電解閾値に満たない電位差を生成するステップ、
    を含み、前記粒間ガラス相が、確立された前記電界中で強制拡散を受けて脱混合し、前記粒間ガラス相中の可動陽イオンが、前記多孔質セラミック層中で富化されることを特徴とする方法。
  10. 前記多孔質セラミック層の少なくとも一部を除去するステップをさらに含むことを特徴とする請求項9記載の方法。
  11. 前記セラミック体が、約1000℃以上の温度に加熱されることを特徴とする請求項9または10記載の方法。
  12. 前記セラミック体がジルコンを含むことを特徴とする請求項9から11いずれか1項記載の方法。
  13. 前記第1の電極と前記第2の電極との間の前記電位差が、約1.8V以下であることを特徴とする請求項9から12いずれか1項記載の方法。
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