JP2018503265A - 次世代先進プラズマ技術のためのチャンバ本体設計アーキテクチャ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 基板を処理するための装置であって、
貫通して形成された2つの開口部を有するツインチャンバハウジングと、
前記ツインチャンバハウジングに形成された前記2つの開口部のうちの一方と同軸に整列した第1のポンプインターフェース部材と、
前記ツインチャンバハウジングに形成された前記2つの開口部のうちの他方と同軸に整列した第2のポンプインターフェース部材と
を備え、前記ポンプインターフェース部材の各々が、前記2つの開口部の中心線と同心である3つのチャネルを含む、装置。 - 前記3つのチャネルの各々が、実質的に等しい容積を有する、請求項1に記載の装置。
- 前記第1のポンプインターフェース部材の前記3つのチャネルの各々が、真空ポンプと選択的に連通している、請求項1に記載の装置。
- 前記第2のポンプインターフェース部材の前記3つのチャネルの各々が、前記真空ポンプと選択的に連通している、請求項3に記載の装置。
- 前記第1のポンプインターフェース部材の前記3つのチャネルの各々が、第1の真空ポンプと選択的に連通しており、前記第2のポンプインターフェース部材の前記3つのチャネルの各々が、第2の真空ポンプと選択的に連通している、請求項3に記載の装置。
- 前記第1のポンプインターフェース部材及び前記第2のポンプインターフェース部材が、内部空間を有するアダプタハウジングに連結されている、請求項1に記載の装置。
- 前記内部空間が、前記第1のポンプインターフェース部材の前記3つのチャネルと前記第2のポンプインターフェース部材の前記3つのチャネルの間で共有されている、請求項6に記載の装置。
- 前記アダプタハウジングが、第1のハウジング及び第2のハウジングを備える、請求項6に記載の装置。
- 前記内部空間が、前記第2のハウジングの内部空間から分離されている前記第1のハウジング内の内部空間を含む、請求項8に記載の装置。
- 基板を処理するための装置であって、
ツインチャンバハウジングと、
少なくとも2つの分離された内部空間を備え、前記ツインチャンバハウジングに連結され、前記ツインチャンバハウジング内に2つの分離した処理空間を提供する、モジュール式ポンピングインターフェースと
を備える装置。 - 前記モジュール式ポンピングインターフェースが、
前記ツインチャンバハウジングに形成された2つの開口部のうちの一方と同軸に整列した第1のポンプインターフェース部材と、
前記ツインチャンバハウジングに形成された前記2つの開口部のうちの他方と同軸に整列した第2のポンプインターフェース部材と
を備える、請求項10に記載の装置。 - 前記ポンプインターフェース部材の各々が、前記2つの開口部の中心線と同心である3つのチャネルを含む、請求項11に記載の装置。
- 前記第1のポンプインターフェース部材の前記3つのチャネルの各々が、実質的に同じである容積を含む、請求項12に記載の装置。
- 前記第2のポンプインターフェース部材の前記3つのチャネルの各々が、実質的に同じである容積を含む、請求項12に記載の装置。
- 前記第1のポンプインターフェース部材の前記3つのチャネル及び前記第2のポンプインターフェース部材の前記3つのチャネルが、実質的に同じである容積を含む、請求項12に記載の装置。
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