JP2018503244A - 検出増強型検査システム及び技術 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は2014年12月2日付米国仮出願第62/086596号に基づく優先権主張を伴うものであり、この参照によりその出願の全容をあらゆる企図で本願に繰り入れることにする。
Claims (20)
- 半導体サンプルを検査する方法であって、
検査ツール上で、1個又は複数個の半導体サンプルに備わる様々な注目層向けの複数個の様々な波長域を、それら様々な注目層が当該様々な注目層の内部又は付近に存するアブソーバ型素材を含んでいるか否かに基づき選択するステップと、
検査ツール上で、上記様々な波長域に存する少なくとも1本の入射ビームを上記様々な注目層へと差し向け、それに応じ上記様々な注目層それぞれに係る複数の出力信号又は画像を取得するステップと、
上記様々な注目層それぞれからの上記出力信号又は画像を解析することでそれら様々な注目層における欠陥を検出するステップと、
を有する方法。 - 請求項1記載の方法であって、上記アブソーバ型素材がSiNである方法。
- 請求項2記載の方法であって、上記様々な波長域を選択するステップが、
SiNの吸収エッジ波長より下側にある短波長域を、上記様々な注目層のうち第1のもの、即ちその内部又は付近に存するSiNを有していないかそれより下方に存するSiNを有している第1注目層に関し、選択するステップと、
上記吸収エッジ波長より上側にある長波長域を上記様々な注目層のうち第2のもの、即ちそれより上方に存するSiNを有している第2注目層に関し、選択するステップと、
を有する方法。 - 請求項3記載の方法であって、上記様々な波長域を選択するステップが、更に、
上記様々な注目層のうち第3のもの、即ちその内部に存するSiNを有している第3注目層につき狭隘短波長域を選択するステップを、有する方法。 - 請求項4記載の方法であって、
上記短波長域が220nm以下にあり、
上記長波長域が230nm以上にあり、
上記狭隘短波長域が約230nm・250nm間にある方法。 - 請求項4記載の方法であって、上記様々な波長域を選択するステップが、それを以て上記サンプルが製造されたデザインデータベースにて指定されたところに従い、上記様々な注目層それぞれの内部又は付近に存するSiNがあるか否かを判別するステップを、有する方法。
- 請求項4記載の方法であって、上記様々な波長域を選択するステップが、それを以て上記サンプルが製造されたデザインデータベースを利用せず、層のリスト及び素材タイプを以て指定されたところに従い、上記様々な注目層それぞれの内部又は付近に存するSiNがあるか否かを判別するステップを、有する方法。
- 請求項4記載の方法であって、更に、上記少なくとも1本の入射ビームに水平又は垂直偏光を適用するステップを有する方法。
- 請求項4記載の方法であって、更に、上記少なくとも1本の入射ビーム向けに様々なアパーチャセッティングを選択することで上記様々な注目層のうち少なくとも幾つかについて特定の入射角を実現するステップを、有する方法。
- 請求項1記載の方法であって、上記様々な波長域のうち、垂直スタック構造を有する特定の注目層向けのそれの少なくとも幾つかが、上記垂直スタック構造の表面上にある欠陥及び内奥にある欠陥の双方を検出するための長波長域と、上記垂直スタック構造の表面上にある欠陥を検出するための短波長域と、を含む方法。
- 半導体サンプルを検査する検査システムであって、
それら様々な注目層が、当該様々な注目層にてある注目層の内部又は付近に存するアブソーバ型素材を含んでいるか否かに基づき、様々な注目層向けの複数個の様々な波長域にて、入射ビームを生成し1個又は複数個の半導体サンプルへと差し向ける照明光学系モジュールと、
上記入射ビームに応じ上記様々な注目層から反射又は散乱されてくる出射ビームを集める集光光学系モジュールと、
コントローラと、
を備え、上記コントローラが、
1個又は複数個の半導体サンプルに備わる様々な注目層向けの複数個の様々な波長域を、それら様々な注目層が当該様々な注目層の内部又は付近に存するアブソーバ型素材を含んでいるか否かに基づき選択する動作と、
上記様々な波長域に存する少なくとも1本の入射ビームを上記様々な注目層へと差し向け、それに応じ上記様々な注目層それぞれに係る複数の出力信号又は画像を取得する動作と、
上記様々な注目層それぞれからの上記出力信号又は画像を解析することでそれら様々な注目層における欠陥を検出する動作と、
を実行するよう構成されているシステム。 - 請求項11記載のシステムであって、上記アブソーバ型素材がSiNであるシステム。
- 請求項12記載のシステムであって、上記様々な波長域を選択する動作が、
SiNの吸収エッジ波長より下側にある短波長域を、上記様々な注目層のうち第1のもの、即ちその内部又は付近に存するSiNを有していないかそれより下方に存するSiNを有している第1注目層に関し、選択する動作と、
上記吸収エッジ波長より上側にある長波長域を上記様々な注目層のうち第2のもの、即ちそれより上方に存するSiNを有している第2注目層に関し、選択する動作と、
を含むシステム。 - 請求項13記載のシステムであって、上記様々な波長域を選択する動作が、更に、
上記様々な注目層のうち第3の集合を構成する個々の層、即ちその内部に存するSiNを有している第3注目層それぞれにつき狭隘短波長域を選択する動作を、含むシステム。 - 請求項14記載のシステムであって、
上記短波長域が220nm以下にあり、
上記長波長域が230nm以上にあり、
上記狭隘短波長域が約230nm・250nm間にあるシステム。 - 請求項14記載のシステムであって、上記様々な波長域を選択する動作が、それを以て上記サンプルが製造されたデザインデータベースにて指定されたところに従い、上記様々な注目層それぞれの内部又は付近に存するSiNがあるか否かを判別する動作を、含むシステム。
- 請求項14記載のシステムであって、上記様々な波長域を選択する動作が、それを以て上記サンプルが製造されたデザインデータベースを利用せず、層のリスト及び素材タイプを以て指定されたところに従い、上記様々な注目層それぞれの内部又は付近に存するSiNがあるか否かを判別する動作を、含むシステム。
- 請求項14記載のシステムであって、上記コントローラが、更に、上記少なくとも1本の入射ビームに水平又は垂直偏光を適用するよう構成されているシステム。
- 請求項14記載のシステムであって、上記コントローラが、更に、上記少なくとも1本の入射ビーム向けに様々なアパーチャセッティングを選択することで上記様々な注目層のうち少なくとも幾つかについて特定の入射角を実現するよう構成されているシステム。
- 請求項11記載のシステムであって、上記様々な波長域のうち、垂直スタック構造を有する特定の注目層向けのそれの少なくとも幾つかが、上記垂直スタック構造の表面上にある欠陥及び内奥にある欠陥の双方を検出するための長波長域と、上記垂直スタック構造の表面上にある欠陥を検出するための短波長域と、を含むシステム。
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Cited By (1)
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WO2020194491A1 (ja) * | 2019-03-26 | 2020-10-01 | 株式会社日立ハイテク | 欠陥検査装置 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9599573B2 (en) | 2014-12-02 | 2017-03-21 | Kla-Tencor Corporation | Inspection systems and techniques with enhanced detection |
WO2018050972A1 (fr) * | 2016-09-16 | 2018-03-22 | Centre National De La Recherche Scientifique | Dispositif optique de caractérisation d'un échantillon |
US10082470B2 (en) * | 2016-09-27 | 2018-09-25 | Kla-Tencor Corporation | Defect marking for semiconductor wafer inspection |
US11047806B2 (en) * | 2016-11-30 | 2021-06-29 | Kla-Tencor Corporation | Defect discovery and recipe optimization for inspection of three-dimensional semiconductor structures |
US11662646B2 (en) * | 2017-02-05 | 2023-05-30 | Kla Corporation | Inspection and metrology using broadband infrared radiation |
DE102017205212A1 (de) * | 2017-03-28 | 2018-10-04 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum Detektieren von Partikeln an der Oberfläche eines Objekts, Wafer und Maskenblank |
US10444161B2 (en) | 2017-04-05 | 2019-10-15 | Kla-Tencor Corporation | Systems and methods for metrology with layer-specific illumination spectra |
RU2741956C1 (ru) * | 2017-12-29 | 2021-02-01 | Голдвэй Текнолоджи Лимитед | Система и способ измерения чистоты бриллианта |
US10937705B2 (en) * | 2018-03-30 | 2021-03-02 | Onto Innovation Inc. | Sample inspection using topography |
US11151711B2 (en) * | 2018-06-06 | 2021-10-19 | Kla-Tencor Corporation | Cross layer common-unique analysis for nuisance filtering |
KR102556637B1 (ko) * | 2018-07-18 | 2023-07-17 | 노바 엘티디. | 반도체 장치의 시간-영역 광학 측정 및 검사 시스템 |
KR102120551B1 (ko) * | 2018-09-14 | 2020-06-09 | (주)오로스 테크놀로지 | 오버레이 측정장치 |
US10545099B1 (en) | 2018-11-07 | 2020-01-28 | Kla-Tencor Corporation | Ultra-high sensitivity hybrid inspection with full wafer coverage capability |
JP2021001770A (ja) * | 2019-06-20 | 2021-01-07 | 日本電産サンキョー株式会社 | 外観検査装置および外観検査方法 |
US11512948B2 (en) * | 2020-05-26 | 2022-11-29 | Kla Corporation | Imaging system for buried metrology targets |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5162867A (en) * | 1990-01-26 | 1992-11-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Surface condition inspection method and apparatus using image transfer |
US7136159B2 (en) | 2000-09-12 | 2006-11-14 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Excimer laser inspection system |
US6608321B1 (en) | 2001-02-01 | 2003-08-19 | Advanced Micro Devices, Inc. | Differential wavelength inspection system |
US20040207836A1 (en) | 2002-09-27 | 2004-10-21 | Rajeshwar Chhibber | High dynamic range optical inspection system and method |
JP4316853B2 (ja) | 2002-10-09 | 2009-08-19 | 株式会社トプコン | 表面検査方法および装置 |
JP4901090B2 (ja) * | 2004-10-06 | 2012-03-21 | 株式会社ニコン | 欠陥検査方法及び欠陥検出装置 |
US7351980B2 (en) | 2005-03-31 | 2008-04-01 | Kla-Tencor Technologies Corp. | All-reflective optical systems for broadband wafer inspection |
US7435528B2 (en) | 2005-06-09 | 2008-10-14 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Processes and devices using polycyclic fluoroalkanes in vacuum and deep ultraviolet applications |
JP4778755B2 (ja) * | 2005-09-09 | 2011-09-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査方法及びこれを用いた装置 |
US7405417B2 (en) * | 2005-12-20 | 2008-07-29 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus having a monitoring device for detecting contamination |
JP2008218799A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Topcon Corp | 表面検査方法及び装置 |
JP2008294249A (ja) | 2007-05-25 | 2008-12-04 | Renesas Technology Corp | 半導体装置の製造方法 |
WO2009154238A1 (ja) | 2008-06-19 | 2009-12-23 | 旭硝子株式会社 | Euvリソグラフィ用反射型マスクブランク |
US8223327B2 (en) * | 2009-01-26 | 2012-07-17 | Kla-Tencor Corp. | Systems and methods for detecting defects on a wafer |
JP2010203776A (ja) | 2009-02-27 | 2010-09-16 | Hitachi High-Technologies Corp | 表面検査装置及びその校正方法 |
JP2010245165A (ja) | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Mitsubishi Electric Corp | 電力用半導体装置の製造方法および電力用半導体装置の製造装置 |
JP5534715B2 (ja) | 2009-05-27 | 2014-07-02 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 電子回路パターンの欠陥修正方法およびその装置 |
US8705027B2 (en) | 2009-07-16 | 2014-04-22 | Kla-Tencor Corporation | Optical defect amplification for improved sensitivity on patterned layers |
CN102782482A (zh) | 2009-11-16 | 2012-11-14 | 鲁道夫科技公司 | 结合基板的红外线探测 |
JP5525336B2 (ja) * | 2010-06-08 | 2014-06-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥検査方法および欠陥検査装置 |
CN102288550B (zh) | 2010-06-21 | 2013-03-27 | 张国胜 | 适用于光电检测的差分测量方法及装置 |
WO2012076216A1 (en) * | 2010-12-06 | 2012-06-14 | Asml Netherlands B.V. | Methods and apparatus for inspection of articles, euv lithography reticles, lithography apparatus and method of manufacturing devices |
US9279774B2 (en) * | 2011-07-12 | 2016-03-08 | Kla-Tencor Corp. | Wafer inspection |
US9496425B2 (en) * | 2012-04-10 | 2016-11-15 | Kla-Tencor Corporation | Back-illuminated sensor with boron layer |
US20130313440A1 (en) * | 2012-05-22 | 2013-11-28 | Kla-Tencor Corporation | Solid-State Laser And Inspection System Using 193nm Laser |
US8896827B2 (en) | 2012-06-26 | 2014-11-25 | Kla-Tencor Corporation | Diode laser based broad band light sources for wafer inspection tools |
US9075027B2 (en) | 2012-11-21 | 2015-07-07 | Kla-Tencor Corporation | Apparatus and methods for detecting defects in vertical memory |
US20140268105A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Zygo Corporation | Optical defect inspection system |
US9696264B2 (en) * | 2013-04-03 | 2017-07-04 | Kla-Tencor Corporation | Apparatus and methods for determining defect depths in vertical stack memory |
US9599573B2 (en) | 2014-12-02 | 2017-03-21 | Kla-Tencor Corporation | Inspection systems and techniques with enhanced detection |
-
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-
2017
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- 2017-04-27 IL IL251973A patent/IL251973A0/en active IP Right Grant
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020194491A1 (ja) * | 2019-03-26 | 2020-10-01 | 株式会社日立ハイテク | 欠陥検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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