JP2018202556A - Memsデバイス - Google Patents
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Abstract
Description
最後に、キャビティ11内の圧力調整のために、水素を含む絶縁膜13であるTEOS膜パターンと水素バリア膜14である窒化シリコン膜を形成する。キャップ層101上面にTEOS膜等の水素を含む絶縁膜13を形成し、水素発生量に応じたサイズのレジストマスク47を形成する(図9(a))。エッチングで水素を含む絶縁膜13をパターニングし(図9(b))、その上に、絶縁膜13を覆うように全面に窒化シリコン膜等の水素バリア膜14を形成する。次に、電極取り出し口の水素バリア膜14を除去して電極取り出し用のアルミパッド29を形成する。また、ベース層103の外側にも水素が抜けないように窒化シリコン膜等の水素バリア膜14を形成する(図9(c))。最後に加熱を行い、TEOS膜内の水素をキャビティ内に侵入させ、キャビティ内を所望の圧力にする。水素がシリコン内を拡散する距離を短くするために、シリコン基板111は薄い方が好ましい。例えば、キャビティ上部のシリコン基板111の厚みを100μm程度にする。シリコン基板111を薄くすることで、キャビティ内の圧力が所望の値になるまでの時間を短縮でき、さらに、絶縁膜13中の水素をキャビティ11内に侵入されるための加熱温度を低くすることができる。
第一のキャビティ1301の上部に、水素を含む第一の絶縁膜1311と、第二のキャビティ1302の上部に、水素を含む第二の絶縁膜1312と、第一の絶縁膜1311および第二の絶縁膜1312を覆う水素バリア膜14と、を有し、第一の絶縁膜1311と第二の絶縁膜1312は、それぞれ体積が異なっていることを特徴とする。
11 キャビティ
12 絶縁層
13 水素を含む絶縁膜
14 水素バリア膜
15 固定電極
16 フレーム
17、47 レジストマスク
18 孔
19 絶縁層
21 固定部
22 バネ
23 メタル材
24 ポリシリコン
25 接合面
26 貫通電極
29 アルミパッド
33 分離層
95 電極
96 電極
97 外部エリア
101 キャップ層
102 MEMS層
103 ベース層
104 SOI基板
111 シリコン基板
121 シリコン基板
201 加速度センサ
202 角速度センサ
1301 キャビティ
1302 キャビティ
1311、1312 水素を含む絶縁膜
Claims (15)
- キャビティを有するMEMSデバイスにおいて、
前記キャビティの近傍に水素を含む絶縁膜と、
前記絶縁膜を覆う水素バリア膜と、を有することを特徴とするMEMSデバイス。 - 前記絶縁膜は、第一のシリコン基板を介して、前記キャビティの上部に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載のMEMSデバイス。
- 前記絶縁膜は、前記絶縁膜の膜厚方向と垂直な平面において、前記MEMSデバイスの外周よりも内側に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載のMEMSデバイス。
- 前記絶縁膜は、TEOSまたはシランを原料とした酸化シリコン膜であることを特徴とする、請求項1に記載のMEMSデバイス。
- 前記水素バリア膜は、窒化シリコン膜であることを特徴とする、請求項1に記載のMEMSデバイス。
- 前記キャビティの下部にシリコン基板と、
前記シリコン基板の下面を覆う第二の水素バリア膜と、を有することを特徴とする請求項1に記載のMEMSデバイス。 - 前記キャビティ内に水素分子が含まれており、
前記水素分子の前記キャビティ内の体積比は、50パーセントを超えていることを特徴とする請求項1に記載のMEMSデバイス。 - 前記キャビティの上部に第一のシリコン基板を有し、
前記水素バリア膜は、前記第一のシリコン基板も覆っていることを特徴とする請求項1に記載のMEMSデバイス。 - 前記絶縁膜は、前記絶縁膜の膜厚方向と垂直な平面において、前記キャビティの外周よりも内側に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のMEMSデバイス。
- 前記キャビティの内部に可動部に接続された可動電極と、
前記キャビティの内部に固定電極と、
前記キャビティの上部に第一のシリコン基板と、
前記キャビティの下部に第二のシリコン基板と、を有し、
前記可動電極と前記固定電極との間の容量変化量を検出することで、前記MEMSデバイスに印加する加速度を計測することを特徴とする請求項1に記載のMEMSデバイス。 - 前記MEMSデバイスは、加速度センサまたは角速度センサであることを特徴とする請求項1に記載のMEMSデバイス。
- 前記絶縁膜と前記キャビティとの間に、単結晶シリコンよりも結晶性が低い材料からなる分離層が形成されており、
前記分離層は、前記第一のシリコン基板を貫通して形成されていることを特徴とする請求項8に記載のMEMSデバイス。 - 前記分離層は、酸化シリコンからなる絶縁膜のみからなる材料、または、前記酸化シリコンからなる絶縁膜とポリシリコンの埋め込み材料から構成されていることを特徴とする請求項12に記載のMEMSデバイス。
- 複数のキャビティを有する複合型のMEMSデバイスにおいて、
第一のキャビティの上部に、水素を含む第一の絶縁膜と、
第二のキャビティの上部に、水素を含む第二の絶縁膜と、
前記第一の絶縁膜および前記第二の絶縁膜を覆う水素バリア膜と、を有し、
前記第一の絶縁膜と前記第二の絶縁膜は、それぞれ体積が異なっていることを特徴とする複合型のMEMSデバイス。 - 前記第一のキャビティの内圧は、前記第二のキャビティの内圧よりも大きく、
前記第一の絶縁膜の体積は、キャビティ体積比に換算した場合に、前記第二の絶縁膜の体積よりも大きいことを特徴とする請求項14に記載のMEMSデバイス。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11454645B2 (en) | 2019-06-24 | 2022-09-27 | Seiko Epson Corporation | Inertial sensor, electronic instrument, and vehicle |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11220423B2 (en) * | 2018-11-01 | 2022-01-11 | Invensense, Inc. | Reduced MEMS cavity gap |
US11084715B2 (en) * | 2019-05-22 | 2021-08-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Segmented pedestal for mounting device on chip |
FR3108204B1 (fr) * | 2020-03-10 | 2023-10-27 | Commissariat Energie Atomique | Procédé de suspension d’une couche mince sur une cavité avec effet raidisseur obtenu par pressurisation de la cavité par des espèces implantées |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080290494A1 (en) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Markus Lutz | Backside release and/or encapsulation of microelectromechanical structures and method of manufacturing same |
JP2009196078A (ja) * | 2008-01-25 | 2009-09-03 | Toshiba Corp | 電気部品 |
WO2010119573A1 (ja) * | 2009-04-17 | 2010-10-21 | 株式会社日立製作所 | 慣性センサおよびその製造方法 |
US20130036827A1 (en) * | 2011-08-11 | 2013-02-14 | Nxp B.V. | Multilayered nonon membrane in a mems sensor |
JP2013056413A (ja) * | 2011-09-08 | 2013-03-28 | Commissariat A L'energie Atomique & Aux Energies Alternatives | 制御された雰囲気下で気密封止された空胴を有する構造を作製する方法 |
JP2014173961A (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-22 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 物理量センサの構造 |
DE102013209266A1 (de) * | 2013-05-17 | 2014-11-20 | Robert Bosch Gmbh | Bauelement mit einem Hohlraum |
JP2014238317A (ja) * | 2013-06-07 | 2014-12-18 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 角速度センサ |
US20150239733A1 (en) * | 2014-02-24 | 2015-08-27 | Matthieu Lagouge | Semiconductor die with high pressure cavity |
JP2016219551A (ja) * | 2015-05-18 | 2016-12-22 | キヤノン株式会社 | 撮像装置の製造方法および撮像装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5603193B2 (ja) * | 2010-09-29 | 2014-10-08 | 株式会社日立製作所 | ガスセンサ |
WO2012160963A1 (en) * | 2011-05-20 | 2012-11-29 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP2016001712A (ja) * | 2013-11-29 | 2016-01-07 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
KR102283814B1 (ko) * | 2013-12-25 | 2021-07-29 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
JP6633346B2 (ja) * | 2014-10-31 | 2020-01-22 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
TWI683365B (zh) * | 2015-02-06 | 2020-01-21 | 日商半導體能源研究所股份有限公司 | 裝置及其製造方法以及電子裝置 |
US9828234B2 (en) * | 2016-04-29 | 2017-11-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Semiconductor MEMS structure and manufacturing method thereof |
-
2017
- 2017-06-06 JP JP2017111277A patent/JP6990997B2/ja active Active
-
2018
- 2018-03-06 US US15/912,604 patent/US20180346321A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080290494A1 (en) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Markus Lutz | Backside release and/or encapsulation of microelectromechanical structures and method of manufacturing same |
JP2009196078A (ja) * | 2008-01-25 | 2009-09-03 | Toshiba Corp | 電気部品 |
WO2010119573A1 (ja) * | 2009-04-17 | 2010-10-21 | 株式会社日立製作所 | 慣性センサおよびその製造方法 |
US20130036827A1 (en) * | 2011-08-11 | 2013-02-14 | Nxp B.V. | Multilayered nonon membrane in a mems sensor |
JP2013056413A (ja) * | 2011-09-08 | 2013-03-28 | Commissariat A L'energie Atomique & Aux Energies Alternatives | 制御された雰囲気下で気密封止された空胴を有する構造を作製する方法 |
JP2014173961A (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-22 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 物理量センサの構造 |
DE102013209266A1 (de) * | 2013-05-17 | 2014-11-20 | Robert Bosch Gmbh | Bauelement mit einem Hohlraum |
JP2014238317A (ja) * | 2013-06-07 | 2014-12-18 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 角速度センサ |
US20150239733A1 (en) * | 2014-02-24 | 2015-08-27 | Matthieu Lagouge | Semiconductor die with high pressure cavity |
JP2016219551A (ja) * | 2015-05-18 | 2016-12-22 | キヤノン株式会社 | 撮像装置の製造方法および撮像装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11454645B2 (en) | 2019-06-24 | 2022-09-27 | Seiko Epson Corporation | Inertial sensor, electronic instrument, and vehicle |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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US20180346321A1 (en) | 2018-12-06 |
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