JP2018201967A - 微細突起ユニットの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ベース部品の形状が制限され難く、微細突起具とベース部品とを備えた微細突起ユニットを効率的に精度良く製造することができる微細突起ユニットの製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の微細突起ユニット１０の製造方法は、熱可塑性樹脂を含む基材シート２Ａの一面２Ｄ側から、凸型部１１を当接させて他面２Ｕ側から突出する突起部３を形成した後、突起部３の内部から凸型部１１を抜いて微細突起具１を形成する微細突起具形成工程を備える。微細突起具１が形成された基材シート２Ａの一面２Ｄ側とベース部品４の先端とを接合する接合工程を備える。ベース部品４が接合された基材シート２Ａを、微細突起具１側から平面視して、ベース部品４の輪郭４Ｌよりも内側で該輪郭４Ｌに沿って基材シート２Ａをカットして微細突起ユニット１０を製造するカット工程を備える。【選択図】図６

Description

本発明は、微細突起ユニットの製造方法に関する。

近年、注射器による剤の供給と同等の性能が得られるにも拘わらず、皮膚を傷めず痛みが少ない理由から、マイクロニードルを備えた微細突起による剤の供給が注目されている。

例えば、特許文献１には台座部上に微小針群を備えた微小針アレイが記載されている。また、特許文献２には樹脂製カップの底部に外方に突出した突起部を備えた微細ノズルが記載されている。また、特許文献３には流体チャンバの底部平面にミクロ針を有するミクロ針構造体が記載されている。

特開２０１４−１７６５６８号公報 特開２０１３−１７２８３３号公報 特表２００３−５０１１６１号公報

しかし、特許文献１に記載の微小針アレイは、シリコン基板にエッチング等を施して微小凸部を有するシリコン製のマスター型を作製し、その後、マスター型の形状を転写した成形型を作製し、この成形型に樹脂を流し込むことによって製造されるものである。このように、マスター型を作製するステップと、マスター型に基づいて成形型を作製するステップとを有しているため、時間がかかり製造コストのアップにつながってしまう。

また、特許文献２に記載の樹脂製カップの底部に突起部を備えた微細ノズルの製造方法は、弾性体の裏面側からホットプレート等を用いて加熱し、弾性体上に配置された樹脂製カップの底部全体を温めているので、樹脂製カップの底部全体を温めるのに時間がかかり生産性を向上することが難しい。また、弾性体上に配置された樹脂製カップの底部全体を温める必要があるので、微細ノズルを連続して製造することが難しい。

また、特許文献３に記載のミクロ針構造体の製造方法では、直接、流体チャンバの底部平面に、加熱した微小支柱からなる複数の支柱を押し当ててミクロ針を形成しており、外部のシリンダーに取り付ける部分となる流体チャンバの形状が制限されてしまう。

したがって本発明は、微細突起具とベース部品とを備えた微細突起ユニットを効率的に精度良く製造する微細突起ユニットの製造方法を提供することにある。

本発明は、内部が中空の突起部を基底上に備える微細突起具と該突起部の内部に該基底を介して連通する液体保持空間を有するベース部品とを備え、該ベース部品の先端に該微細突起具を接合した微細突起ユニットの製造方法であって、熱可塑性樹脂を含んで形成された基材シートの一面側から、凸型部を当接させて、該基材シートの他面側から突出する突起部を形成した後、該突起部の内部から該凸型部を抜いて微細突起具を形成する微細突起具形成工程と、前記微細突起具が形成された前記基材シートの一面側と前記ベース部品の先端とを接合する接合工程と、前記ベース部品が接合された前記基材シートを、前記微細突起具側から平面視して、前記ベース部品の輪郭よりも内側で該輪郭に沿って前記基材シートをカットして前記微細突起ユニットを製造するカット工程とを備える、微細突起ユニットの製造方法を提供するものである。

また、本発明は、内部が中空の突起部を基底上に備える微細突起具と該突起部の内部に該基底を介して連通する液体保持空間を有するベース部品とを備え、該ベース部品の先端に該微細突起具を接合した微細突起ユニットの製造方法であって、熱可塑性樹脂を含んで形成された基材シートの一面側から、凸型部を当接させて、該基材シートの他面側から突出する突起部を形成した後、該突起部の内部から該凸型部を抜いて微細突起具を形成する微細突起具形成工程と、前記微細突起具が形成された前記基材シートを前記微細突起具側から平面視して、前記ベース部品の輪郭よりも内側で該輪郭に沿って、該基材シートの一面側と該ベース部品の先端とを接合すると同時に、該基材シートをカットして前記微細突起ユニットを製造する接合・カット工程とを備える、微細突起ユニットの製造方法を提供するものである。

本発明によれば、微細突起具とベース部品の形状が制限され難く、微細突起具とベース部品とを備えた微細突起ユニットを効率的に精度良く製造することができる。

図１は、本発明の微細突起ユニットの製造方法で製造される微細突起ユニットの一例の模式斜視図である。 図２は、図１に示す微細突起ユニットを微細突起具側から平面視した平面図である。 図３は、図２に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。 図４（ａ）は、図１に示す微細突起ユニットの備える１個の突起部の斜視図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）に示すＩＶ−ＩＶ線断面図である。 図５（ａ）は、図４（ｂ）に示す突起部の先端径の測定方法を示す説明図であり、図５（ｂ）は突起部が先端開口部を有する場合における、突起部の先端径の測定方法を示す説明図である。 図６は、図１に示す微細突起ユニットを製造する好ましい一製造装置の全体構成を示す図である。 図７（ａ）〜（ｅ）は、図６に示す製造装置を用いて微細突起具を製造する工程を説明する図である。 図８は、凸型部の先端角度の測定方法を示す説明図である。 図９（ａ）〜（ｇ）は、図６に示す製造装置を用いて接合部を形成する接合工程を説明する図である。 図１０（ａ）〜（ｆ）は、図６に示す製造装置を用いてカットして微細突起ユニットを形成するカット工程を説明する図である。

以下、本発明を、その好ましい一実施形態に基づき図面を参照しながら説明する。
本発明の製造方法は、ベース部品４の先端に微細突起具１を接合した微細突起ユニットの製造方法である。図１には、本実施形態の微細突起ユニットの製造方法で製造される一実施形態の微細突起ユニット１０（以下、単に「微細突起ユニット１０」とも言う）の斜視図が示されている。微細突起ユニット１０は、内部が中空の突起部３を基底２上に備える微細突起具１と該突起部３の内部に該基底２を介して連通する液体保持空間４ｋ（図３参照）を有するベース部品４とを備え、ベース部品４の先端に微細突起具１を接合したものである。

微細突起具１の突起部３に関し、突起部３の数、突起部３の配置及び突起部３の形状に、特に制限はないが、微細突起ユニット１０では、図１及び図２に示すように、シート状の基底２の上面に、９個の円錐台状の突起部３が配列されている。配列された９個の突起部３は、後述する基材シート２Ａを搬送する方向（基材シート２Ａの長手方向に対応）である第２方向（図中のＹ方向に相当）に３行、搬送する方向である第２方向と直交する方向及び搬送される基材シート２Ａの幅方向である第１方向（図中のＸ方向に相当）に３列に配されている。
尚、図４（ａ）は、微細突起具１の有する突起部３の内の１個の突起部３に着目した微細突起具１の斜視図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）に示すＩＶ−ＩＶ線断面図である。図２に示す微細突起具１は、シート状の基底２と、基底２の上面（基底２におけるベース部品４との対向面とは反対側の面）上に立設する１個の円錐状の突起部３とを有する。微細突起具１は、先端側に開孔部を有していてもよいが、微細突起ユニット１０では、図４（ｂ）に示すように、開孔部を有しておらず、基底２を貫通して突起部３の内部にまで亘る中空の空間３ｋが形成された形態となっている。微細突起ユニット１０では、突起部３の内部の空間３ｋが、突起部３の外形形状に対応した円錐状に形成されている。尚、突起部３は、微細突起ユニット１０では、円錐状であるが、円錐状の形状以外に、円錐台状、円柱状、角柱状、角錐状、角錐台状等であってもよい。

突起部３は、その突出高さＨ１（図４（ｂ）参照）が、マイクロニードルとして使用する場合には、その先端を最も浅いところでは角層まで、深くは真皮まで刺入するため、好ましくは０．０１ｍｍ以上、更に好ましくは０．０２ｍｍ以上であり、そして、好ましくは１０ｍｍ以下であり、更に好ましくは５ｍｍ以下であり、より更に好ましくは３ｍｍ以下である。具体的には、好ましくは０．０１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．０１ｍｍ以上５ｍｍ以下であり、より更に好ましくは０．０２ｍｍ以上３ｍｍ以下である。突起部３は、その平均厚みＴ１が、好ましくは０．００５ｍｍ以上、更に好ましくは０．０１ｍｍ以上であり、そして、好ましくは１．０ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．５ｍｍ以下であり、具体的には、好ましくは０．００５ｍｍ以上１．０ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．０１ｍｍ 以上０．５ｍｍ以下である。

突起部３の先端径は、その直径が、好ましくは０．００１ｍｍ以上、更に好ましくは０．００５ｍｍ以上であり、そして、好ましくは０．５ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．３ｍｍ以下であり、具体的には、好ましくは０．００１ｍｍ以上０．５ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．００５ｍｍ以上０．３ｍｍ以下である。微細突起具１の突起部３の先端径は、以下のようにして測定する。

〔突起部３先端径の測定〕
突起部３の先端が開口していない場合には、微細突起具１の突起部３の先端部を、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）もしくはマイクロスコープを用いて所定倍率拡大した状態で、例えば、図５（ａ）に示すＳＥＭ画像のように観察する。
次に、図５（ａ）に示すように、両側辺１ａ，１ｂの内の一側辺１ａにおける直線部分に沿って仮想直線ＩＬａを延ばし、他側辺１ｂにおける直線部分に沿って仮想直線ＩＬｂを延ばす。そして、先端側にて、一側辺１ａが仮想直線ＩＬａから離れる箇所を第１先端点１ａ１として求め、他側辺１ｂが仮想直線ＩＬｂから離れる箇所を第２先端 点１ｂ１として求める。このようにして求めた第１先端点１ａ１と第２先端点１ｂ１とを結ぶ直線の長さＬを、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）又はマイクロスコープを用いて測定し、測定した該直線の長さを、微細突起具１の先端径とする。なお、突起部３の先端が開口している場合には、図５（ｂ）に示すように、突起部３の開孔部側に先端があると仮定して仮想直線ＩＬａ，ＩＬｂを引き、その交点を突起部３の頂点とし、上述した図５（ａ）に示す方法にて先端径を測定する。

シート状の基底２の上面に配列された９個の突起部３は、図１及び図２に示すように、第２方向の中心間距離が均一で、第１方向の中心間距離が均一であることが好ましく、第２方向の中心間距離と第１方向の中心間距離とが同じ距離であることが好ましい。好適には、突起部３の第２方向の中心間距離が、好ましくは０．０１ｍｍ以上、更に好ましくは０．０５ｍｍ以上であり、そして、好ましくは１０ｍｍ以下であり、更に好ましくは５ｍｍ以下であり、具体的には、好ましくは０．０１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．０５ｍｍ以上５ｍｍ以下である。また、突起部３の第１方向の中心間距離が、好ましくは０．０１ｍｍ以上、更に好ましくは０．０５ｍｍ以上であり、そして、好ましくは１０ｍｍ以下であり、更に好ましくは５ｍｍ以下であり、具体的には、好ましくは０．０１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．０５ｍｍ以上５ｍｍ以下である。

基底２は、均一な厚みのシート状に形成されており、その厚みＴ２（図４（ｂ）参照）が、好ましくは０．０１ｍｍ以上、更に好ましくは０．０２ｍｍ以上であり、そして、好ましくは１．０ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．７ｍｍ以下であり、具体的には、好ましくは０．０１ｍｍ以上１．０ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．０２ｍｍ以上０．７ｍｍ以下である。

微細突起ユニット１０は、図２に示すように、基底２の上面に、９個の突起部３が形成された領域である突起領域３Ｒを有している。ここで、突起領域３Ｒとは、微細突起ユニット１０を微細突起具１側から平面視した際に、第１方向及び第２方向を有する面方向の最も外方に位置する突起部３どうしで囲まれている領域を意味する。突起領域３Ｒは、後述するベース部品４との接合部５よりも内方に形成されている。

ベース部品４は、図３に示すように、突起部３の内部の空間３ｋに基底２を介して連通する液体保持空間４ｋを有している。ベース部品４は、微細突起具１との接合部５を形成する上面とは反対側の下面を形成する底部４１と、底部４１を貫通して液体保持空間４ｋ内に液体を供給する液体供給路４２と、底部４１の外周全周に亘って配され底部４１の上面（微細突起具１側の面）上に立設する周壁部４３とを有している。そして、微細突起具１の基底２、底部４１及び周壁部４３で囲まれた空間が、液体保持空間４ｋとなる。このように、周壁部４３は、液体保持空間４ｋの外周に配されている。微細突起ユニット１０は、ベース部品４の液体供給路４２の供給口にて、液体を供給するシリンジ等と接続可能に形成されている。

ベース部品４に関し、微細突起ユニット１０を微細突起具１側から平面視した際のベース部品４の輪郭４Ｌ形状、即ち、底部４１の外周形状に、特に制限はないが、微細突起ユニット１０では、図２に示すように、円形状を有している。そして、ベース部品４の全体の外形形状は、図１に示す微細突起ユニット１０では、底部４１が円形状となっている円筒状に形成されている。尚、ベース部品４の輪郭４Ｌ形状は、微細突起ユニット１０では、円形状であるが、円形の形状以外に、長円形状、ひし形状、三角形状、四角形状、五角形状等の等であってもよい。ベース部品４の全体の形状は、円筒状以外に、円錐状、角筒状、角錐状等であってもよい。

ベース部品４は、液体保持空間４ｋ内に液体が注入されて内圧がかかった際に基底２を外方に向かって凸に湾曲させ易い観点から、ベース部品４の底部４１での厚みＴ３（図３参照）が、基底２の厚みＴ２よりも厚いことが好ましく、好ましくは１．０ｍｍ以上、更に好ましくは１．５ｍｍ以上であり、そして、好ましくは１０ｍｍ以下であり、更に好ましくは５ｍｍ以下であり、具体的には、好ましくは１．０ｍｍ以上１０ｍｍ以下であり、更に好ましくは１．５ｍｍ以上５ｍｍ以下である。
また、ベース部品４は、同じ観点から、ベース部品４の周壁部４３での厚みＴ４（図３参照）が、基底２の厚みＴ２よりも厚いことが好ましく、好ましくは１．０ｍｍ以上、更に好ましくは１．５ｍｍ以上であり、そして、好ましくは１０ｍｍ以下であり、更に好ましくは５ｍｍ以下であり、具体的には、好ましくは１．０ｍｍ以上１０ｍｍ以下であり、更に好ましくは１．５ｍｍ以上５ｍｍ以下である。

微細突起ユニット１０は、図２及び図３に示すように、微細突起具１側から平面視して、ベース部品４の輪郭４Ｌよりも内側に、微細突起具１の輪郭、即ち、微細突起具１の基底２の輪郭２Ｌが配されている。見栄え及び使用感向上の観点から、微細突起具１の基底２の輪郭２Ｌは、ベース部品４の輪郭４Ｌから内側に、好ましくは０．０５ｍｍ以上、更に好ましくは０．１ｍｍ以上、そして、好ましくは５ｍｍ以下、更に好ましくは３ｍｍ以下、具体的には、好ましくは０．０５ｍｍ以上５ｍｍ以下、更に好ましくは０．１ｍｍ以上３ｍｍ以下、間隔Ｗ１を空けて配されていることが好ましい。

微細突起ユニット１０は、図２に示すように、微細突起具１側から平面視して、微細突起具の輪郭、即ち、微細突起具１の基底２の輪郭２Ｌ以内の位置に、ベース部品４と微細突起具１とを接合した接合部５が配されている。接合部５は、ベース部品４の液体保持空間４ｋの外周に亘って配された周壁部４３の先端壁部４３ｓ上に帯状に形成されており、液体保持空間４ｋの外周全域に亘って円環状に配されている。ここで、「輪郭２Ｌ以内の位置」とは、微細突起具１の基底２の輪郭２Ｌと、帯状の接合部５の外方側の周縁とが一致しているか、或いは、微細突起具１の基底２の輪郭２Ｌよりも帯状の接合部５の外方側の周縁が内側に配されている状態を意味する。

微細突起ユニット１０では、図２に示すように、微細突起具１側から平面視して、接着強度と見栄え及び使用感向上の観点から、帯状の接合部５の幅Ｗ２が、好ましくは０．５ｍｍ以上、更に好ましくは１ｍｍ以上、そして、好ましくは５ｍｍ以下、更に好ましくは３ｍｍ以下、具体的には、好ましくは０．５ｍｍ以上５ｍｍ以下、更に好ましくは１ｍｍ以上３ｍｍ以下である。

微細突起ユニット１０は、図２に示すように、微細突起具１側から平面視して、カット安定性と見栄え及び使用感向上の観点から、基底２の輪郭２Ｌと接合部５の外方側の周縁との間隔Ｗ３が、好ましくは０．０５ｍｍ以上、更に好ましくは０．１ｍｍ以上、そして、好ましくは５ｍｍ以下、更に好ましくは３ｍｍ以下、具体的には、好ましくは０．０５ｍｍ以上５ｍｍ以下、更に好ましくは０．１ｍｍ以上３ｍｍ以下、間隔Ｗ３を空けて配されていることが好ましい。

微細突起ユニット１０は、図２に示すように、微細突起具１側から平面視して、突起領域３Ｒを接合部５よりも内方に形成する観点から、接合部５の内方側の周縁と周壁部４３の先端壁部４３ｓの内壁との間隔Ｗ４が、好ましくは０．０５ｍｍ以上、更に好ましくは０．１ｍｍ以上、そして、好ましくは５ｍｍ以下、更に好ましくは３ｍｍ以下、具体的には、好ましくは０．０５ｍｍ以上５ｍｍ以下、更に好ましくは０．１ｍｍ以上３ｍｍ以下、間隔Ｗ４を空けて配されていることが好ましい。

次に、本発明の微細突起ユニットの製造方法を、前述した微細突起ユニット１０の製造方法を例にとり図６〜図１０を参照して説明する。図６には、微細突起ユニット１０の製造方法の実施に用いる好ましい実施形態の製造装置１００の全体構成が示されている。尚、上述したように、微細突起ユニット１０の突起部３は非常に小さなものであるが、説明の便宜上、各図においては突起部３が非常に大きく描かれている。
以下の説明では、基材シート２Ａを搬送する方向（基材シート２Ａの長手方向）をＹ方向、搬送する方向と直交する方向及び搬送される基材シート２Ａの幅方向をＸ方向、搬送される基材シート２Ａの厚み方向をＺ方向として説明する。

微細突起ユニット１０の製造方法は、熱可塑性樹脂を含んで形成された基材シート２Ａの一面２Ｄ側から、凸型部１１を当接させて、基材シート２Ａの他面２Ｕ側から突出する突起部３を形成した後、突起部３の内部から凸型部１１を抜いて微細突起具１を形成する微細突起具形成工程と、微細突起具１が形成された基材シート２Ａの一面２Ｄ側とベース部品４の先端とを接合する接合工程と、ベース部品４が接合された基材シート２Ａを、微細突起具１側から平面視して、ベース部品４の輪郭４Ｌよりも内側で基材シート２Ａをカットして微細突起ユニット１０を製造するカット工程とを備える。

図６に示すように、製造装置１００は、搬送方向（Ｙ方向に相当）の上流側から下流側に向かって、微細突起具１を形成する微細突起具形成部２００、微細突起具１が形成された基材シート２Ａとベース部品４とを接合する部材接合部３００、及び基材シート２Ａをカットして微細突起ユニット１０を製造する部材カット部４００を備えている。製造装置１００では、微細突起具形成部２００は、図７に示すように、基材シート２Ａに突起部３を形成する突起部形成部２１０、冷却部２２０、凸型部１１を抜き出すリリース部２３０を備えている。
なお、本明細書において凸型部１１とは基材シート２Ａに刺さる部分である凸型１１０を備えた部材のことであり、凸型部１１は、本実施形態では、円盤状の土台部分の上に配された構造となっている。ただし、これに限られず凸型１１０のみからなる凸型部であっても良いし、複数の凸型１１０を台状支持体の上に配した凸型部１１であっても良い。

突起部形成部２１０を、図６及び図７を用いて説明する。突起部形成部２１０は、図６に示すように、加熱手段（不図示）を有した凸型部１１を備えている。製造装置１００では、凸型部１１は、加熱手段を設けていても良い。また製造装置１００では、凸型部１１の加熱手段以外に他の加熱手段を設けていなくとも良い。なお、本明細書で「凸型部１１の加熱手段以外に他の加熱手段を設けていない」とは、他の加熱手段を一切排除する場合を指すだけではなく、基材シート２Ａの軟化温度未満、又はガラス転移温度未満に加熱する手段を備える場合も含む。但し、他の加熱手段を一切含まないことが好ましい。凸型部１１の加熱手段は、製造装置１００においては、超音波振動装置である。

製造装置１００を用いる微細突起ユニット１０の製造方法では、先ず、図６に示すように、熱可塑性樹脂を含んで形成された基材シート２Ａの原料ロールから帯状の基材シート２Ａを繰り出し、搬送方向に搬送する。そして、基材シート２Ａが所定位置まで送られたところで、基材シート２Ａの搬送を止める。このように、微細突起ユニット１０の製造方法では、帯状の基材シート２Ａの搬送を間欠的に行うようになっている。

基材シート２Ａは、製造する微細突起具１の有する基底２となるシートであり、熱可塑性樹脂を含んで形成されている。熱可塑性樹脂としては、ポリ脂肪酸エステル、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート類、ポリ塩化ビニル、ナイロン樹脂、アクリル樹脂等又はこれらの組み合わせが挙げられ、生分解性の観点から、ポリ脂肪酸エステルが好ましく用いられる。ポリ脂肪酸エステルとしては、具体的に、ポリ乳酸、ポリグリコール酸又はこれらの組み合わせ等が挙げられる。尚、基材シート２Ａは、熱可塑性樹脂以外に、ヒアルロン酸、コラーゲン、でんぷん、セルロース等を含んだ混合物で形成されていても良い。基材シート２Ａの厚みは、製造する微細突起具１の有する基底２の厚みＴ２と同等である。

次いで、微細突起ユニット１０の製造方法の微細突起具形成工程では、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、搬送方向に搬送された帯状の基材シート２Ａの一面２Ｄ側から凸型部１１を当接させて、基材シート２Ａにおける当接部分ＴＰを熱により軟化させながら、凸型部１１を基材シート２Ａに刺してゆき基材シート２Ａの他面２Ｕ側から突出する突起部３を形成する（突起部形成工程）。突起部形成部２１０では、基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側）に撓み抑制手段としての開口プレート１２Ｕを配置し、基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）に撓み抑制手段としての第２開口プレート１３Ｄを配置している。

凸型部１１は、製造する微細突起具１の有する円錐状の突起部３の外形形状に対応して、尖鋭な先端の円錐状の部分を有する形状となっている。即ち、製造装置１００では、凸型部１１は、図６に示すように、製造する微細突起具１の突起部３の個数、配置、各突起部３の略外形形状に対応した凸型１１０を有し、９個の円錐台状の突起部３に対応して、９個の円錐状の凸型１１０を有している。このように複数個の凸型１１０を有する凸型部１１を用いて、シート状の基底２の上面に配列された複数個の突起部３を形成するようになっている。凸型部１１は、製造装置１００では、各凸型１１０の先端を上方に向けて配置されており、少なくとも厚み方向の上下に移動可能となっている。好適に、製造装置１００では、凸型部１１は、電動アクチュエータ（不図示）によって、厚み方向の上下に移動可能となっている。なお、凸型部１１の加熱手段の作動は、基材シート２Ａに凸型部１１が当接する直前から、次工程の冷却工程に至る直前まで行われることが好ましい。
凸型部１１の動作、凸型部１１の加熱手段の作動等の凸型部１１の備える加熱手段の加熱条件の制御は、製造装置１００に備えられた制御手段（不図示）により制御されている。

上述したように、凸型部１１の加熱手段は、製造装置１００においては、超音波振動装置である。凸型部１１の超音波振動装置による超音波振動に関し、その周波数は、突起部３の形成の観点から、好ましくは１０ｋＨｚ以上、更に好ましくは１５ｋＨｚ以上であり、そして、好ましくは５０ｋＨｚ以下であり、更に好ましくは４０ｋＨｚ以下であり、具体的には、好ましくは１０ｋＨｚ以上５０ｋＨｚ以下であり、更に好ましくは１５ｋＨｚ以上４０ｋＨｚ以下である。また、凸型部１１の超音波振動装置による超音波振動に関し、その振幅は、突起部３の形成の観点から、好ましくは１μｍ以上、更に好ましくは５μｍ以上であり、そして、好ましくは６０μｍ以下であり、更に好ましくは５０μｍ以下であり、具体的には、好ましくは１μｍ以上６０μｍ以下であり、更に好ましくは５μｍ以上５０μｍ以下である。

凸型部１１の先端側の形状は、製造する微細突起具１の有する突起部３の外形形状に対応した形状となっていればよい。凸型部１１の凸型１１０は、その高さＨ２（図６参照）が、製造される微細突起具１の有する突起部３の突出高さＨ１（図４（ｂ）参照）と同じか或いは若干高く形成されており、好ましくは０．０１ｍｍ以上、更に好ましくは０．０２ｍｍ以上であり、そして、好ましくは３０ｍｍ以下であり、更に好ましくは２０ｍｍ以下であり、具体的には、好ましくは０．０１ｍｍ以上３０ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．０２ｍｍ以上２０ｍｍ以下である。凸型部１１の凸型１１０は、その先端径Ｄ１（図８参照）が、好ましくは０．００１ｍｍ以上、更に好ましくは０．００５ｍｍ以上であり、そして、好ましくは１ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．５ｍｍ以下であり、具体的には、好ましくは０．００１ｍｍ以上１ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．００５ｍｍ以上０．５ｍｍ以下である。凸型部１１の凸型１１０の先端径Ｄ１は、以下のようにして測定する。
凸型部１１の凸型１１０は、その根本径Ｄ２が、好ましくは０．１ｍｍ以上、更に好ましくは０．２ｍｍ以上であり、そして、好ましくは５ｍｍ以下であり、更に好ましくは３ｍｍ以下であり、具体的には、好ましくは０．１ｍｍ以上５ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．２ｍｍ以上３ｍｍ以下である。凸型部１１の凸型１１０は、十分な強度が得られ易くなる観点から、その先端角度αが、好ましくは１度以上、更に好ましくは５度以上である。そして、先端角度αは、適度な角度を有する突起部３を得る観点から、好ましくは６０度以下であり、更に好ましくは４５度以下であり、具体的には、好ましくは１度以上６０度以下であり、更に好ましくは５度以上４５度以下である。凸型部１１の先端角度αは、以下のようにして測定する。

〔凸型部１１の凸型１１０の先端径の測定〕
凸型部１１の凸型１１０の先端部を、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）もしくはマイクロスコープを用いて所定倍率に拡大した状態で観察する。次に、図８に示すように、両側辺１１ａ，１１ｂの内の一側辺１１ａにおける直線部分に沿って仮想直線ＩＬｃを延ばし、他側辺１１ｂにおける直線部分に沿って仮想直線ＩＬｄを延ばす。そして、先端側にて、一側辺１１ａが仮想直線ＩＬｃから離れる箇所を第１先端点１１ａ１として求め、他側辺１１ｂが仮想直線ＩＬｄから離れる箇所を第２先端点１１ｂ１として求める。このようにして求めた第１先端点１１ａ１と第２先端点１１ｂ１とを結ぶ直線の長さＤ１を、走査型電子顕微鏡又はマイクロスコープを用いて測定し、測定した該直線の長さを、凸型１１０の先端径とする。

〔凸型部１１の凸型１１０の先端角度αの測定〕
凸型部１１の凸型１１０の先端部を、走査型電子顕微鏡もしくはマイクロスコープを用いて所定倍率拡大した状態で、例えば、図８に示すＳＥＭ画像のように観察する。次に、図８に示すように、両側辺１１ａ，１１ｂの内の一側辺１１ａにおける直線部分に沿って仮想直線ＩＬｃを延ばし、他側辺１１ｂにおける直線部分に沿って仮想直線ＩＬｄを延ばす。そして、仮想直線ＩＬｃと仮想直線ＩＬｄとのなす角を、走査型電子顕微鏡又はマイクロスコープを用いて測定し、測定した該なす角を、凸型部１１の凸型１１０の先端角度αとする。

凸型部１１は、折れ難い高強度の材質で形成されている。凸型部１１の材質としては、鋼鉄、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、ニッケル、ニッケル合金、コバルト、コバルト合金、銅、銅合金、ベリリウム銅、ベリリウム銅合金等の金属、又はセラミック等が挙げられる。

上述したように、突起部形成工程で用いる開口プレート１２Ｕは、図６及び図７に示すように、基材シート２Ａの他面２Ｕ側に配されており、凸型部１１を一面２Ｄ側から刺し込んだ際に基材シート２Ａが撓みにくくする役目をしている。その為、開口プレート１２Ｕは、基材シート２Ａにおける凸型部１１が刺し込まれる領域以外の領域、言い換えれば、基材シート２Ａにおける突起部３の形成される領域である突起領域３Ｒ以外の領域を支持するように配置されている。このように配置される開口プレート１２Ｕは、製造装置１００では、突起領域３Ｒを囲むように開口した開口部１２ａを有する板状の開口プレートである。開口プレート１２Ｕでは、開口部１２ａ以外の領域で基材シート２Ａを支持している。

開口プレート１２Ｕは、製造装置１００では、図６に示すように、開口部１２ａが１個形成されており、１個の開口部１２ａの開口面積は、凸型部１１における凸型１１０が複数個挿通できるように、凸型１１０の総断面積よりも大きく形成されている。尚、開口プレート１２Ｕの開口部１２ａは、複数の凸型１１０がそれぞれ挿通されるように各凸型１１０に対応して、複数形成されていてもよい。

開口プレート１２Ｕは、基材シート２Ａに当接する方向と離間する方向に移動可能となっている。製造装置１００では、開口プレート１２Ｕは、電動アクチュエータによって、厚み方向の上下に移動可能となっている。
開口プレート１２Ｕの動作の制御は、製造装置１００に備えられた制御手段により制御されている。

開口プレート１２Ｕを構成する材質としては、凸型部１１の材質と同じ材質でもよく、合成樹脂等から形成されていてもよい。

製造装置１００は、凸型部１１の加熱手段として超音波振動装置を有している。微細突起ユニット１０の製造方法では、開口プレート１２Ｕと第２開口プレート１３Ｄとで、基材シート２Ａを挟んだ状態で突起部形成工程を行うようになっている。製造装置１００を用いる突起部形成工程では、基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）から、後述する第２開口プレート１３Ｄの開口部１３ａに凸型部１１を通過させ、図７（ａ）に示すように、超音波振動装置により各凸型部１１に超音波振動を予め発現させながら、次いで凸型部１１を基材シート２Ａの一面２Ｄに当接させる。これにより当接部分ＴＰを軟化させる。そして、図７（ｂ）に示すように、当接部分ＴＰを軟化させながら、基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）から他面２Ｕ側（上面側）に向かって凸型部１１を上昇させて、基材シート２Ａの他面２Ｕ（上面側）側に配された開口プレート１２Ｕで基材シート２Ａの撓みを抑制しつつ、凸型部１１を基材シート２Ａに刺してゆく。そして、基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側）から突出する突起部３を形成する。

凸型部１１の加熱による基材シート２Ａの加熱温度は、突起部３の形成の観点から、使用される基材シート２Ａのガラス転移温度以上溶融温度未満であることが好ましく、特に軟化温度以上溶融温度未満であることが好ましい。詳述すると前記加熱温度は、好ましくは３０℃以上、更に好ましくは４０℃以上であり、そして、好ましくは３００℃以下であり、更に好ましくは２５０℃以下であり、具体的には、好ましくは３０℃以上３００℃以下であり、更に好ましくは４０℃以上２５０℃以下である。なお、超音波振動装置を用いて基材シート２Ａを加熱する場合においては、凸型１１０と接触した基材シート２Ａの部分の温度範囲として適用される。一方、超音波振動装置の代わりに加熱ヒーター装置を用いて基材シート２Ａを加熱する場合には、凸型部１１の加熱温度を上述した範囲で調整すればよい。なお、ガラス転移温度（Ｔｇ）の測定方法は、以下の方法によって測定され、軟化温度の測定方法は、ＪＩＳ Ｋ-７１９６「熱可塑性プラスチックフィルム及びシートの熱機械分析による軟化温度試験方法」に従って行う。

〔ガラス転移温度（Ｔｇ）の測定方法〕
ＤＳＣ測定器を使用して熱量の測定を行い、ガラス転移温度を求める。具体的に、測定器はＰｅｒｋｉｎ Ｅｌｍｅｒ社製の示差走査熱量測定装置（Ｄｉａｍｏｎｄ ＤＳＣ）を使用する。基材シートから試験片１０ｍｇを採取する。測定条件は２０℃で５分間維持した後に、２０℃から３２０℃まで、５℃／分で昇温させ、横軸温度、縦軸熱量のＤＳＣ曲線を得る。そして、このＤＳＣ曲線からガラス転移温度Ｔｇを求める。

尚、前記「基材シートのガラス転移温度（Ｔｇ）」は、基材シートの構成樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）を意味し、該構成樹脂が複数種存在する場合においてそれら複数種のガラス転移温度（Ｔｇ）が互いに異なる場合、前記加熱手段による基材シートの加熱温度は、少なくともそれら複数のガラス転移温度（Ｔｇ）のうち最も低いガラス転移温度（Ｔｇ）以上であることが好ましく、それら複数のガラス転移温度（Ｔｇ）のうち最も高いガラス転移温度（Ｔｇ）以上であることがさらに好ましい。
また、前記「基材シートの軟化温度」についてもガラス転移温度（Ｔｇ）と同様であり、即ち、基材シートの構成樹脂が複数種存在する場合においてそれら複数種の軟化温度が互いに異なる場合、前記加熱手段による基材シートの加熱温度は、少なくともそれら複数の軟化温度のうち最も低い軟化温度以上であることが好ましく、それら複数の軟化温度のうち最も高い軟化温度以上であることがさらに好ましい。
また、基材シートが融点の異なる２種以上の樹脂を含んで構成されている場合、前記加熱手段による基材シートの加熱温度は、それら複数の融点のうち最も低い融点未満であることが好ましい。

凸型部１１を基材シート２Ａに刺してゆく刺入速度は、遅過ぎると樹脂を過剰に加熱軟化させ、速過ぎると加熱軟化不足となるので、突起部３を効率的に形成する観点から、好ましくは０．１ｍｍ／秒以上、更に好ましくは１ｍｍ／秒以上であり、そして、好ましくは１０００ｍｍ／秒以下であり、更に好ましくは８００ｍｍ／秒以下であり、具体的には、好ましくは０．１ｍｍ／秒以上１０００ｍｍ／秒以下であり、更に好ましくは１ｍｍ／秒以上８００ｍｍ／秒以下である。加熱状態の凸型部１１の上昇を停止させ、突起部３の内部に凸型部１１を刺した状態のまま次工程の冷却工程を行うまでの時間である軟化時間は、長過ぎると過剰加熱となるが、加熱不足を補う観点から、好ましくは０秒以上、更に好ましくは０．１秒以上であり、そして、好ましくは１０秒以下であり、更に好ましくは５秒以下であり、具体的には、好ましくは０秒以上１０秒以下であり、更に好ましくは０．１秒以上５秒以下である。

基材シート２Ａに刺す凸型部１１の刺入高さは、突起部３を効率的に形成する観点から、好ましくは０．０１ｍｍ以上、更に好ましくは０．０２ｍｍ以上であり、そして、好ましくは１０ｍｍ以下であり、更に好ましくは５ｍｍ以下であり、具体的には、好ましくは０．０１ｍｍ以上１０ｍｍ以下であり、更に好ましくは０．０２ｍｍ以上５ｍｍ以下である。ここで、「刺入高さ」とは、基材シート２Ａに最も凸型部１１を刺し込んだ状態において、凸型部１１の頂点と、基材シート２Ａの他面２Ｕ（上面）との間の距離を意味する。したがって、突起部形成工程における刺入高さとは、突起部形成工程で凸型部１１が最も深く刺し込まれて基材シート２Ａの他面２Ｕから凸型部１１が出てきた状態における、該他面２Ｕから垂直方向に測定した凸型部１１の頂点までの距離のことである。

尚、突起部３の先端近傍に開孔部を有し且つ突起部３の内部の空間３ｋが基底２から該開孔部に亘って形成されている微細突起具１を製造する場合には、突起部形成工程にて、凸型部１１の動作、及び／又は凸型部１１の備える加熱手段の加熱条件等を制御して、基材シート２Ａに凸型部１１を貫通するまで刺入して開孔部を形成すればよい。

突起部３の先端部の中心からずれた位置に開孔部を有する微細突起具１を製造する場合には、熱可塑性樹脂を含む基材シート２Ａの一面２Ｄ側から、凸型部１１を当接させて、該基材シート２Ａにおける該凸型部１１との当接部分を熱により軟化させながら、該基材シート２Ａの他面２Ｕ側に向かって該凸型部１１を該基材シート２Ａに刺してゆき、該基材シート２Ａの他面２Ｕ側から突出する非貫通の突起部３を形成する。そして、前記突起部３の内部に前記凸型部１１を刺した状態で該突起部３を冷却する。その後、前記突起部３の内部から前記凸型部１１を抜いて内部が中空の前記突起部３を形成し、形成された前記突起部３の先端部の中心からずれた位置に、該突起部３の内部に貫通する開孔部を形成してもよい。

次に、製造装置１００では、図７（ｃ）に示すように、突起部形成部２１０の次に冷却部２２０が設置されている。冷却部２２０は、例えば冷風送風装置を備えている（不図示）。微細突起ユニット１０の製造方法の微細突起具形成工程では、製造装置１００を用いて、突起部形成工程の後、冷風送風装置を使用して、突起部３の内部に凸型部１１を刺した状態で突起部３を冷却する（冷却工程）。具体的に、製造装置１００では、基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側）に開口プレート１２Ｕを配置し、基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）に後述する第２開口プレート１３Ｄを配置している。その為、微細突起ユニット１０の製造方法では、開口プレート１２Ｕと第２開口プレート１３Ｄとで、基材シート２Ａを挟んだ状態で冷却工程を行うようになっている。冷風送風装置は、製造装置１００では、図４に示すように、冷風送風する送風口２１が基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側）に設けられており、送風口２１から冷風を吹き付けて、突起部３の内部に凸型部１１を刺した状態のまま冷却する。尚、冷却する際には、凸型部１１の加熱装置による加熱は、継続状態でも止められた状態でも良いが、止められた状態の方が好ましい。

吹き付ける冷風の温度は、突起部３の形成の観点から、好ましくは−５０℃以上、更に好ましくは−４０℃以上であり、そして、好ましくは２６℃以下であり、更に好ましくは１０℃以下であり、具体的には、好ましくは−５０℃以上２６℃以下であり、更に好ましくは−４０℃以上１０℃以下である。冷風を吹き付けて冷却する冷却時間は、成形性と加工時間の両立性の観点から、好ましくは０．０１秒以上、更に好ましくは０．５秒以上であり、そして、好ましくは６０秒以下であり、更に好ましくは３０秒以下であり、具体的には、好ましくは０．０１秒以上６０秒以下であり、更に好ましくは０．５秒以上３０秒以下である。

なお、製造装置１００のように、凸型部１１の加熱手段が超音波振動である場合には、冷風送風装置を必ず備える必要はなく、超音波振動装置の振動を切ることにより、冷却することもできる。この点で、超音波振動を加熱手段として用いると、装置の簡便化とともに、高速での微細突起具１の製造が容易となるので好ましい。また、基材シート２Ａの凸型部１１と当接していない部分では、より熱が伝わりにくく、また、超音波振動付与のオフによって冷却が効率的に行われるので、成形部分以外の変形が生じにくいという長所がある。

次に、製造装置１００では、図７（ｄ）に示すように、冷却部２２０の次にリリース部２３０が設置されている。微細突起ユニット１０の製造方法の微細突起具形成工程では、冷却工程の後に、突起部３の内部から凸型部１１を抜いて微細突起具１を形成する（リリース工程）。リリース工程では、突起部３の内部から凸型部１１を抜く際に基材シート２Ａの撓みを抑制する撓み抑制手段として第２開口プレート１３Ｄを用いて微細突起具１を形成する。製造装置１００では、リリース工程に用いる第２開口プレート１３Ｄは、基材シート２Ａの一面２Ｄ側に配されており、基材シート２Ａが送られる所定位置に対応した位置に配置されている。

リリース工程で用いる第２開口プレート１３Ｄは、図６及び図７に示すように、基材シート２Ａの一面２Ｄ側に配されており、凸型部１１を一面２Ｄ側から引き抜く際に基材シート２Ａが撓みにくくする役目をしている。したがって、第２開口プレート１３Ｄは、基材シート２Ａにおける凸型部１１が引き抜かれる領域以外の領域、言い換えれば、基材シート２Ａにおける突起部３の形成される領域である突起領域３Ｒ以外の領域を支持するように配置されている。このように配置される第２開口プレート１３Ｄは、製造装置１００では、突起領域３Ｒを囲むように開口した開口部１３ａを有する板状の第２開口プレートである。第２開口プレート１３Ｄでは、開口部１３ａ以外の領域で基材シート２Ａを支持している。

第２開口プレート１３Ｄは、製造装置１００では、図７に示すように、開口部１３ａが１個形成されており、１個の開口部１３ａの開口面積は、凸型部１１における凸型１１０が複数個挿通できるように、凸型１１０の総断面積よりも大きく形成されている。尚、第２開口プレート１３Ｄの開口部１３ａは、複数の凸型１１０がそれぞれ挿通されるように各凸型１１０に対応して、複数形成されていてもよい。第２開口プレート１３Ｄの開口部１３ａは、製造装置１００では、開口プレート１２Ｕの開口部１２ａと同心円上に配置されている。従って、基材シート２Ａを挟持する一対の開口プレート１２Ｕの開口部１２ａ及び第２開口プレート１３Ｄの開口部１３ａが厚み方向に重なっている。

製造装置１００では、開口プレート１２Ｕの開口部１２ａと第２開口プレート１３Ｄの開口部１３ａとは、その開口形状が同じである。尚、開口部１２ａ，１３ａは、開口プレート１２Ｕ，１３Ｄを上面側から視て、その形状に、特に制限はないが、製造装置１００では、双方とも円形状に形成されており、開口部１２ａ，１３ａの開口径が同じとなっている。

第２開口プレート１３Ｄは、固定されていてもよいが、製造装置１００では、基材シート２Ａに当接する方向と離間する方向に移動可能となっている。第２開口プレート１３Ｄでは、電動アクチュエータ（不図示）によって、厚み方向の上下に移動可能となっている。
第２開口プレート１３Ｄの動作の制御は、製造装置１００に備えられた制御手段（不図示）により制御されている。

第２開口プレート１３Ｄを構成する材質としては、開口プレート１２Ｕを構成する材質又は凸型部１１の材質と同じ材質でもよく、合成樹脂等から形成されていてもよい。

製造装置１００では、基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側）に開口プレート１２Ｕを配置し、基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）に第２開口プレート１３Ｄを配置している。その為、開口プレート１２Ｕと第２開口プレート１３Ｄとで、基材シート２Ａを挟んだ状態でリリース工程を行うようになっている。微細突起ユニット１０の製造方法では、図７（ｅ）に示すように、開口プレート１２Ｕと第２開口プレート１３Ｄとで、基材シート２Ａを挟んだ状態でリリース工程を行った後、第２開口プレート１３Ｄを下方に移動させ且つ開口プレート１２Ｕを上方に移動させて、内部が中空の突起部３を有する微細突起具１を基材シート２Ａに形成する（微細突起具形成工程）。

次いで、図６に示すように、突起部３を有する微細突起具１の形成された基材シート２Ａを搬送方向に移動する。微細突起具形成工程の後工程では、図６及び図９に示すように、微細突起具形成工程にて製造された、微細突起具１が形成された基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）とベース部品４の先端とを接合する（接合工程）。ここで、ベース部品４の先端とは、ベース部品４における最も基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）に位置する部位であり、微細突起ユニット１０では、ベース部品４の液体保持空間４ｋの外周に亘って配された周壁部４３の先端である先端壁部４３ｓのことである。接合工程は、微細突起具１が形成された基材シート２Ａとベース部品４とを接合する製造装置１００の部材接合部３００を用いて行う。

ベース部品４は、接合部５を融着によって形成する場合には、接合部５の形成のし易さの観点から、基材シート２Ａと同じ種類の熱可塑性樹脂を含んで形成されていることが好ましい。熱可塑性樹脂としては、ポリ脂肪酸エステル、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート類、ポリ塩化ビニル、ナイロン樹脂、アクリル樹脂等又はこれらの組み合わせが挙げられ、生分解性の観点から、ポリ脂肪酸エステルが好ましく用いられる。ポリ脂肪酸エステルとしては、具体的に、ポリ乳酸、ポリグリコール酸又はこれらの組み合わせ等が挙げられる。尚、ベース部品４は、接合部５を接着剤を用いて形成する場合には、基材シート２Ａと異なる素材で形成されていてもよく、例えば、金属製であってもよい。

製造装置１００では、部材接合部３００は、図６及び図９に示すように、ベース部品４を固定するベース部品固定部３０１と、微細突起具１が形成された基材シート２Ａ及びベース部品４を接合する接合部３０２と、突起部３を有する微細突起具１が形成された基材シート２Ａを挟む第１上側開口プレート３１２Ｕ及び第１下側開口プレート３１３Ｄとを有する。ベース部品固定部３０１は、ベース部品４の全体の外形形状に対応する形状の凹部３０３を有している。凹部３０３は、微細突起ユニット１０では、底部４１が円形の円筒状に嵌合する形状に形成されている。

ベース部品固定部３０１は、図６に示すように、凹部３０３を有しており、基材シート２Ａの一面２Ｄ（下面）側に配されており、凹部３０３内にベース部品４の底部４１側の外形を嵌合させてベース部品４の周壁部４３の先端壁部４３ｓが露出するようにベース部品４の底部４１側を保持するようになっている。ベース部品固定部３０１は、固定されていてもよいが、製造装置１００では、基材シート２Ａに当接する方向と離間する方向に移動可能となっている。具体的には、ベース部品固定部３０１は、電動アクチュエータ（不図示）によって、厚み方向の上下に移動可能となっている。
ベース部品固定部３０１の動作の制御は、製造装置１００に備えられた制御手段（不図示）により制御されている。

ベース部品固定部３０１は、凸型部１１の材質と同じ材質でもよく、合成樹脂等から形成されていてもよい。

接合部３０２は、微細突起具１が形成された基材シート２Ａとベース部品４とを接合する部位である。接合部３０２は、図６及び図９に示すように、基材シート２Ａにおける突起部３の形成される領域である突起領域３Ｒを環囲し、更にベース部品４の周壁部４３に対応する円環状の先端部３０２ｓを有している。先端部３０２ｓを有する接合部３０２は、先端部３０２ｓ側が開口した筒状に形成されている。接合部３０２の先端部３０２ｓの幅は、ベース部品４の周壁部４３の先端壁部４３ｓの幅よりも狭いことが好ましく、帯状の接合部５の幅Ｗ２と略一致している。

接合部３０２は、図６及び図９に示すように、基材シート２Ａの他面２Ｕ（上面）側に配されている。接合部３０２は、製造装置１００では、基材シート２Ａに当接する方向と離間する方向に移動可能となっている。具体的には、接合部３０２は、電動アクチュエータ（不図示）によって、厚み方向の上下に移動可能となっている。
接合部３０２の動作の制御は、製造装置１００に備えられた制御手段（不図示）により制御されている。

接合工程において接合する手段としては、熱シール、超音波、レーザー、又は接着剤等の手段が挙げられるが、製造装置１００では、接合部３０２の接合する手段が、熱シールによる接合手段である。尚、熱シール、超音波、レーザーは、基材シート２Ａ及びベース部品４等の材料を熱によって溶融し結合する現象、すなわち融着を利用して接合する接合手段である。また、接着剤としては、従来からこの種の物品に利用されているホットメルト接着剤等が利用できる。

第１下側開口プレート３１３Ｄは、図９に示すように、基材シート２Ａの一面２Ｄ（下面）側に配されており、１個の開口部３１３ａを有する板状のプレートで形成されている。開口部３１３ａの開口面積は、ベース部品固定部３０１を一面２Ｄ側から厚み方向の上方に移動させた際にベース部品固定部３０１が挿通できるように、ベース部品固定部３０１の平面積よりも大きく形成されている。

第１上側開口プレート３１２Ｕは、図９に示すように、基材シート２Ａの他面２Ｕ（上面）側に配されており、１個の開口部３１２ａを有する板状のプレートで形成されている。開口部３１２ａの開口面積は、接合部３０２を他面２Ｕ側から厚み方向の下方に移動させた際に接合部３０２が挿通できるように、接合部３０２の平面積よりも大きく形成されている。

第１下側開口プレート３１３Ｄ及び第１上側開口プレート３１２Ｕは、基材シート２Ａに当接する方向と離間する方向に移動可能となっている。製造装置１００では、第１下側開口プレート３１３Ｄ及び第１上側開口プレート３１２Ｕは、電動アクチュエータ（不図示）によって、厚み方向の上下に移動可能となっている。
第１下側開口プレート３１３Ｄ及び第１上側開口プレート３１２Ｕの動作の制御は、製造装置１００に備えられた制御手段（不図示）により制御されている。

微細突起ユニット１０の製造方法では、図９（ａ）に示すように、ベース部品固定部３０１の凹部３０３内にベース部品４の底部４１側の外形を嵌合させて、ベース部品４の周壁部４３の先端壁部４３ｓが露出するようにベース部品４を保持する。

次いで、微細突起ユニット１０の製造方法では、図９（ｂ）に示すように、第１下側開口プレート３１３Ｄを上方に移動させ且つ第１上側開口プレート３１２Ｕを下方に移動させて、第１下側開口プレート３１３Ｄと第１上側開口プレート３１２Ｕとで、基材シート２Ａにおける突起部３の突起領域３Ｒよりも外方の位置で、微細突起具１が形成された基材シート２Ａを挟む。このように、第１下側開口プレート３１３Ｄと第１上側開口プレート３１２Ｕとで、微細突起具１が形成された基材シート２Ａを挟み込む。そして、図９（ｃ）に示すように、基材シート２Ａを挟んだ状態で、基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）から、第１下側開口プレート３１３Ｄの開口部３１３ａにベース部品４を保持したベース部品固定部３０１を通過させ、ベース部品４の周壁部４３の先端壁部４３ｓを基材シート２Ａの一面２Ｄに当接させる。

また、図９（ｄ）に示すように、第１下側開口プレート３１３Ｄと第１上側開口プレート３１２Ｕとで、微細突起具１が形成された基材シート２Ａを挟んだ状態で、基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側）から、第１上側開口プレート３１２Ｕの開口部３１２ａに接合部３０２を通過させ、接合部３０２の円環状の先端部３０２ｓを基材シート２Ａの他面２Ｕに当接させる。尚、接合部３０２の円環状の先端部３０２ｓを基材シート２Ａの他面２Ｕに当接させた後、第１下側開口プレート３１３Ｄと第１上側開口プレート３１２Ｕとで、微細突起具１が形成された基材シート２Ａを挟んだ状態としてもよい。

そして、基材シート２Ａの一面２Ｄ（下面）側に配された第１下側開口プレート３１３Ｄ及び基材シート２Ａの他面２Ｕ（上面）側に配された第１上側開口プレート３１２Ｕを用い、第１下側開口プレート３１３Ｄと第１上側開口プレート３１２Ｕとで、微細突起具１が形成された基材シート２Ａを挟んだ状態で接合する。微細突起ユニット１０の製造方法では、図９（ｅ）に示すように、第１下側開口プレート３１３Ｄと第１上側開口プレート３１２Ｕとで、微細突起具１が形成された基材シート２Ａを挟んだ状態で、接合部３０２の円環状の先端部３０２ｓにて加熱させ、基材シート２Ａにおける、ベース部品４の周壁部４３の先端壁部４３ｓ上に位置する部分とベース部品４の先端壁部４３ｓとを溶融させながら微細突起ユニット１０の接合部５を形成して、微細突起具１が形成された基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）とベース部品４の先端とを接合する。微細突起ユニット１０の接合部５の形成後、接合部３０２の加熱を停止する。

接合部３０２を基材シート２Ａと当接させる時の加熱温度は、好ましくは１００℃以上であり、更に好ましくは１２０℃以上であり、そして、好ましくは３００℃以下であり、更に好ましくは２５０℃以下であり、具体的には、好ましくは１００℃以上３００℃以下であり、更に好ましくは１２０℃以上２５０℃以下である。
接合部３０２を基材シート２Ａと当接させる時の加熱時間は、好ましくは０．１秒以上であり、そして、好ましくは５．０秒以下であり、具体的には、好ましくは０．１秒以上５．０秒以下である。
接合部３０２を基材シート２Ａと当接させる時の押し当て力（加圧力）は、好ましくは１０Ｎ以上であり、そして、好ましくは１００Ｎ以下であり、具体的には、好ましくは１０Ｎ以上１００Ｎ以下である。

接合工程の後、図９（ｆ）に示すように、接合部３０２を、基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側）から厚み方向の上方に移動させる。そして、図９（ｇ）に示すように、第１下側開口プレート３１３Ｄを下方に移動させ且つ第１上側開口プレート３１２Ｕを上方に移動させる。このようにして、ベース部品４が接合され且つ微細突起具１が配された基材シート２Ａを、ベース部品固定部３０１上に形成する。

次いで、図６に示すように、突起部３を有する微細突起具１が形成され且つベース部品４が接合された基材シート２Ａを搬送方向に移動する。接合工程の後工程では、接合工程にて製造された、ベース部品４が接合された基材シート２Ａを、微細突起具１側から平面視して、ベース部品４の輪郭４Ｌよりも内側でベース部品４の輪郭４Ｌに沿って基材シート２Ａをカットして微細突起ユニット１０を製造する（カット工程）。ここで、ベース部品４の輪郭よりも内側とは、言い換えれば、ベース部品４の底部４１の外周よりも内側のことである。カット工程では、基材シート２Ａをカットして微細突起ユニット１０を製造する部材カット部４００を用いて行う。

製造装置１００では、部材カット部４００は、図６及び図１０に示すように、ベース部品４を固定するベース部品固定部４０１と、ベース部品４が接合された基材シート２Ａを切断するカット部４０２と、ベース部品４が接合された基材シート２Ａを挟む第２上側開口プレート４１２Ｕ及び第２下側開口プレート４１３Ｄとを有する。ベース部品固定部４０１は、ベース部品４の全体の外形形状に対応する形状の凹部４０３を有している。凹部４０３は、部材接合部３００の有するベース部品固定部３０１の凹部３０３と同様に、微細突起ユニット１０では、底部４１が円形の円筒状に嵌合する形状に形成されている。

ベース部品固定部４０１は、図６及び図１０に示すように、凹部４０３を有しており、基材シート２Ａの一面２Ｄ（下面）側に配されており、凹部４０３内にベース部品４の底部４１側の外形を嵌合させて、ベース部品４が接合された基材シート２Ａを保持するようになっている。ベース部品固定部４０１は、部材接合部３００の有するベース部品固定部３０１と同様に、固定されていてもよいが、製造装置１００では、基材シート２Ａに当接する方向と離間する方向に移動可能となっている。具体的には、ベース部品固定部４０１は、電動アクチュエータ（不図示）によって、厚み方向の上下に移動可能となっている。
ベース部品固定部４０１の動作の制御は、製造装置１００に備えられた制御手段（不図示）により制御されている。

ベース部品固定部４０１は、部材接合部３００の有するベース部品固定部３０１と同様に、凸型部１１の材質と同じ材質でもよく、合成樹脂等から形成されていてもよい。

カット部４０２は、ベース部品４が接合された基材シート２Ａを切断して微細突起ユニット１０を製造する部位である。カット部４０２は、図６及び図１０に示すように、基材シート２Ａにおける突起部３の形成される領域である突起領域３Ｒを環囲し、更にベース部品４の周壁部４３に対応する円環状の先端部４０２ｓを有している。先端部４０２ｓを有するカット部４０２は、先端部４０２ｓ側が開口した筒状に形成されている。

カット部４０２は、図６及び図１０に示すように、基材シート２Ａの他面２Ｕ（上面）側に配されている。カット部４０２は、製造装置１００では、基材シート２Ａに当接する方向と離間する方向に移動可能となっている。具体的には、カット部４０２は、電動アクチュエータ（不図示）によって、厚み方向の上下に移動可能となっている。
カット部４０２の動作の制御は、製造装置１００に備えられた制御手段（不図示）により制御されている。

カット工程においてカットする手段としては、打ち抜き刃、又はレーザー等の手段が挙げられるが、製造装置１００では、カット部４０２のカットする手段が、打ち抜き刃によるカット手段である。カット部４０２の先端部４０２ｓの刃は、ベース部品４の周壁部４３の先端壁部４３ｓの厚みＴ４の範囲内に配されていることが好ましい。製造装置１００では、カット部４０２の先端部４０２ｓの刃は、ベース部品４の輪郭４Ｌ、言い換えれば、底部４１の外周よりも内方で、且つ帯状の接合部５の外方側の周縁よりも外方に位置している。尚、レーザーは、レーザー光を照射して、上述のように基材シート２Ａ及びベース部品４等の材料を熱によって溶融し結合すると同時に、基材シート２Ａを溶融させて切断するカット手段である。

第２下側開口プレート４１３Ｄは、部材接合部３００の有する第１下側開口プレート３１３Ｄと同様に、図１０に示すように、基材シート２Ａの一面２Ｄ（下面）側に配されており、１個の開口部４１３ａを有する板状のプレートで形成されている。開口部４１３ａの開口面積は、ベース部品固定部４０１を一面２Ｄ側から厚み方向の上方に移動させた際にベース部品固定部４０１が挿通できるように、ベース部品固定部４０１の平面積よりも大きく形成されている。

第２上側開口プレート４１２Ｕは、部材接合部３００の有する第１上側開口プレート３１２Ｕと同様に、図１０に示すように、基材シート２Ａの他面２Ｕ（上面）側に配されており、１個の開口部４１２ａを有する板状のプレートで形成されている。開口部４１２ａの開口面積は、カット部４０２を他面２Ｕ側から厚み方向の下方に移動させた際にカット部４０２が挿通できるように、カット部４０２の平面積よりも大きく形成されている。

第２下側開口プレート４１３Ｄ及び第２上側開口プレート４１２Ｕは、基材シート２Ａに当接する方向と離間する方向に移動可能となっている。製造装置１００では、第２下側開口プレート４１３Ｄ及び第２上側開口プレート４１２Ｕは、電動アクチュエータ（不図示）によって、厚み方向の上下に移動可能となっている。
第２下側開口プレート４１３Ｄ及び第２上側開口プレート４１２Ｕの動作の制御は、製造装置１００に備えられた制御手段（不図示）により制御されている。

微細突起ユニット１０の製造方法では、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示すように、第２下側開口プレート４１３Ｄを上方に移動させ且つ第２上側開口プレート４１２Ｕを下方に移動させて、第２下側開口プレート４１３Ｄと第２上側開口プレート４１２Ｕとで、基材シート２Ａにおけるベース部品４の輪郭４Ｌよりも外方の位置で、ベース部品４が接合され且つ微細突起具１が配された基材シート２Ａを挟む。このように、第２下側開口プレート４１３Ｄと第２上側開口プレート４１２Ｕとで、ベース部品４が接合された基材シート２Ａを挟み込む。

そして、微細突起ユニット１０の製造方法では、図１０（ｃ）に示すように、第２下側開口プレート４１３Ｄと第２上側開口プレート４１２Ｕとで基材シート２Ａを挟んだ状態で、基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）から、ベース部品固定部４０１を通過させる。そして、ベース部品固定部４０１の凹部４０３内にベース部品４の底部４１側の外形を嵌合させて、ベース部品４が接合され且つ微細突起具１が配された基材シート２Ａを保持する。

そして、基材シート２Ａの一面２Ｄ（下面）側に配された第２下側開口プレート４１３Ｄ及び基材シート２Ａの他面２Ｕ（上面）側に配された第２上側開口プレート４１２Ｕを用い、第２下側開口プレート４１３Ｄと第２上側開口プレート４１２Ｕとで、ベース部品４が接合された基材シート２Ａを挟んだ状態で基材シート２Ａをカットして微細突起ユニット１０を製造する。微細突起ユニット１０の製造方法では、図１０（ｄ）に示すように、第２下側開口プレート４１３Ｄと第２上側開口プレート４１２Ｕとで、ベース部品４が接合された基材シート２Ａを挟んだ状態で、基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側）から、第２上側開口プレート４１２Ｕの開口部４１２ａにカット部４０２を通過させ、カット部４０２の先端部４０２ｓの刃を、微細突起具１側から平面視して、ベース部品４の輪郭４Ｌよりも内側で輪郭４Ｌに沿って、基材シート２Ａの他面２Ｕに当接させてカットして微細突起ユニット１０を製造する。微細突起ユニット１０の製造方法のカット工程においては、ベース部品４の液体保持空間４ｋの外周に配される周壁部４３の先端壁部４３ｓ上で基材シート２Ａをカットして微細突起ユニット１０を製造する。

カット工程の後、図１０（ｅ）に示すように、カット部４０２を、基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側）から厚み方向の上方に移動させる。そして、図１０（ｆ）に示すように、第２下側開口プレート４１３Ｄを下方に移動させ且つ第２上側開口プレート４１２Ｕを上方に移動させる。その後、第２下側開口プレート４１３Ｄと第２上側開口プレート４１２Ｕとで挟んだ基材シート２Ａのトリム部分２Ａｔを、第２下側開口プレート４１３Ｄを下方に移動させ且つ第２上側開口プレート４１２Ｕを上方に移動させた後に、取り除く。このようにして、微細突起ユニット１０を、ベース部品固定部４０１上に形成する。

以上のように形成された微細突起ユニット１０は、その後、ベース部品固定部４０１から取り出され、搬送方向下流側に搬送される。以上の工程を繰り返すことによって、微細突起ユニット１０を連続的に効率良く製造できる。

なお、上述したように製造された微細突起ユニット１０は、その後の工程において更に所定の形状に形成されてもよい。

以上説明したように、製造装置１００を用いて微細突起ユニット１０を製造する製造方法によれば、図６に示すように、微細突起具１が形成された基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）とベース部品４の先端とを接合する接合工程の後工程に、接合工程にて製造された、ベース部品４が接合された基材シート２Ａを、微細突起具１側から平面視して、ベース部品４の輪郭４Ｌよりも内側でベース部品４の輪郭４Ｌに沿って基材シート２Ａをカットして微細突起ユニット１０を製造するカット工程を備えている。このように、外部のシリンダーに取り付ける部分となるベース部品４が微細突起具１とは別の部材であるため、ベース部品４の形状が制限され難い。また、このような微細突起具１とベース部品４とを備えた微細突起ユニット１０を効率的に精度良く製造することができる。

また、製造装置１００を用いて微細突起ユニット１０を製造する製造方法によれば、図９に示すように、カット部４０２の先端部４０２ｓの刃が、ベース部品４の周壁部４３の先端壁部４３ｓの厚みＴ４の範囲内に配されており、カット工程においては、ベース部品４の液体保持空間４ｋの外周に配される周壁部４３の先端壁部４３ｓ上で基材シート２Ａをカットして微細突起ユニット１０を製造している。その為、ベース部品４の周壁部４３の先端壁部４３ｓがカット部４０２の先端部４０２ｓの刃を押し当てる受け部材の役割を担うことができ、別の受け部材を設ける必要がない。このように、コストアップすることを抑えながら微細突起ユニット１０を効率的に精度良く製造することができる。

また、製造装置１００を用いて微細突起ユニット１０を製造する製造方法によれば、図７に示すように、撓み抑制手段の開口プレート１２Ｕ及び第２開口プレート１３Ｄにて基材シート２Ａを挟んだ状態で、微細突起具形成工程の突起部形成工程、冷却工程、及びリリース工程を行うようになっているので、内部が中空の微細突起具１を精度良く製造することができる。

また、製造装置１００を用いて微細突起ユニット１０を製造する製造方法によれば、図７に示すように、凸型部１１を当接させた基材シート２Ａの当接部分ＴＰにおいてのみ、凸型部１１の加熱手段（不図示）である超音波振動を発現させた際の摩擦熱によって当接部分ＴＰを軟化させるので、省エネルギーで、効率的に連続して微細突起具１を製造することができる。

また、製造装置１００を用いて微細突起ユニット１０を製造する製造方法によれば、凸型部１１の備える加熱手段（不図示）の条件、突起部形成工程における凸型部１１の基材シート２Ａへの刺入高さ、基材シート２Ａの当接部分ＴＰの軟化時間、凸型部１１の基材シート２Ａへの刺入速度、凸型部１１の形状及び冷却工程における冷却条件の少なくとも何れか１つを制御して、微細突起具１の形状を自由にコントロールすることができる。

また、製造装置１００を用いて微細突起ユニット１０を製造する製造方法によれば、図９に示すように、第１下側開口プレート３１３Ｄと第１上側開口プレート３１２Ｕとで、微細突起具１が形成された基材シート２Ａを挟んだ状態で、接合部３０２を用いて微細突起ユニット１０の接合部５を形成している。その為、微細突起具１が形成された基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）とベース部品４の先端とを精度良く接合することができる。

また、製造装置１００を用いて微細突起ユニット１０を製造する製造方法によれば、図１０に示すように、第２下側開口プレート４１３Ｄと第２上側開口プレート４１２Ｕとで、ベース部品４が接合された基材シート２Ａを挟んだ状態で、カット部４０２を用いてカットして微細突起ユニット１０を製造している。その為、微細突起ユニット１０を精度良く製造することができる。

以上、本発明を、その好ましい実施形態に基づき説明したが、本発明は前記実施形態に制限されるものではなく、適宜変更可能である。

例えば、上記説明した製造装置１００を用いて微細突起ユニット１０を製造する製造方法は、図６に示すように、微細突起具１が形成された基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）とベース部品４の先端とを接合する接合工程の後工程に、接合工程にて製造された、ベース部品４が接合された基材シート２Ａをカットして微細突起ユニット１０を製造するカット工程を備えているが、接合工程とカット工程とが同じ工程であってもよい。即ち、微細突起ユニット１０を製造する製造方法は、微細突起具１を形成する微細突起具形成工程と、微細突起具１が形成された基材シート２Ａを微細突起具１側から平面視して、ベース部品４の輪郭４Ｌよりも内側で該輪郭４Ｌに沿って、基材シート２Ａの一面２Ｄ（下面）側とベース部品４の先端とを接合すると同時に、基材シート２Ａをカットして微細突起ユニット１０を製造する接合・カット工程とを備えていてもよい。このような微細突起ユニット１０を製造する接合・カット工程において接合すると同時にカットする手段としては、レーザー等の手段が挙げられる。

また、微細突起ユニット１０の製造方法では、接合・カット工程において、基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）に配された第３下側開口プレート及び基材シートの他面側（上面側）に配された第３上側開口プレートを用い、第３下側開口プレートを基材シート２Ａの上方に移動させ且つ第３上側開口プレートを基材シート２Ａの下方に移動させて、第３下側開口プレートと第３上側開口プレートとで、突起部３が形成された基材シート２Ａを挟んだ状態で、基材シート２Ａの一面２Ｄ（下面）側とベース部品４の先端とを接合すると同時に、基材シート２Ａをカットして微細突起ユニット１０を製造しても良い。そして、接合・カット工程の後、第３下側開口プレートを下方に移動させ且つ第３上側開口プレートを上方に移動させても良い。

また、微細突起ユニット１０の製造方法では、微細突起具形成工程において、基材シート２Ａの一面２Ｄ側（下面側）に配された第２開口プレート１３Ｄ及び基材シート２Ａの他面２Ｕ側（上面側）に配された開口プレート１３Ｕを用い、開口プレート１３Ｕを基材シート２Ａの上方に移動させ且つ第２開口プレート１３Ｄを基材シート２Ａの下方に移動させて、開口プレート１３Ｕと第２開口プレート１３Ｄとで、基材シート２Ａを挟んだ状態で突起部３を形成しても良い。そして、微細突起具形成工程の後、第２開口プレート１３Ｄを下方に移動させ且つ開口プレート１３Ｕを上方に移動させ、突起部３が形成された基材シート２Ａを次の工程へ搬送しても良い。

また、上記説明した製造装置１００を用いて微細突起ユニット１０を製造する製造方法では、凸型部１１の備える加熱手段として、超音波振動装置を使用したが、これに代えて加熱ヒーターを使用しても良い。

また、上記説明した製造装置１００を用いて微細突起ユニット１０を製造する製造方法では、図６に示すように、帯状の基材シート２Ａの搬送を間欠的に行うようにして、突起部３、微細突起具１及び微細突起ユニット１０を成形しているが、帯状の基材シート２Ａの搬送を連続して行うようにし、無限軌道を描くボックスモーション式の微細突起具形成部２００、部材接合部３００、及び部材カット部４００を用いて突起部３、微細突起具１及び微細突起ユニット１０を成形してもよい。また、微細突起ユニット１０を製造する製造方法では、無限軌道を描くボックスモーション式の微細突起具形成部、接合・カット部を用いて突起部３、微細突起具１及び微細突起ユニット１０を成形しても良い。

また、上記説明した製造装置１００を用いて微細突起ユニット１０を製造する製造方法では、図６に示すように、基材シート２Ａを厚み方向の下方から上方に向かって刺入する凸型部１１を用いているが、基材シート２Ａを厚み方向の上方から下方に向かって刺入する凸型部１１を用いて突起部３を成形しても良い。

また、上記説明した製造装置１００を用いて微細突起ユニット１０を製造する製造方法では、図６に示すように、微細突起具形成工程では開口プレート１２Ｕ及び第２開口プレート１３Ｄを用い、接合・カット工程では第３下側開口プレート及び第３上側開口プレートを用い、基材シート２Ａを挟んだ状態で加工しているが、各開口プレートを用いずに加工しても良い。

上述した実施形態に関し、本発明は更に以下の微細突起ユニットの製造方法を開示する。
＜１＞
内部が中空の突起部を基底上に備える微細突起具と該突起部の内部に該基底を介して連通する液体保持空間を有するベース部品とを備え、該ベース部品の先端に該微細突起具を接合した微細突起ユニットの製造方法であって、
熱可塑性樹脂を含んで形成された基材シートの一面側から、凸型部を当接させて、該基材シートの他面側から突出する突起部を形成した後、該突起部の内部から該凸型部を抜いて微細突起具を形成する微細突起具形成工程と、
前記微細突起具が形成された前記基材シートの一面側と前記ベース部品の先端とを接合する接合工程と、
前記ベース部品が接合された前記基材シートを、前記微細突起具側から平面視して、前記ベース部品の輪郭よりも内側で該輪郭に沿って前記基材シートをカットして前記微細突起ユニットを製造するカット工程とを備える、微細突起ユニットの製造方法。
＜２＞
前記ベース部品は、前記液体保持空間の外周に周壁部を有し、
前記カット工程においては、前記ベース部品の前記周壁部の先端壁部上で前記基材シートをカットする、前記＜１＞に記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜３＞
前記接合工程において接合する手段が、熱シール、超音波、レーザー、又は接着剤である、前記＜１＞又は＜２＞に記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜４＞
前記カット工程においてカットする手段が、打ち抜き刃、又はレーザーである、前記＜１＞〜＜３＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜５＞
前記接合工程では、前記基材シートの一面側に配された第１下側開口プレート及び該基材シートの他面側に配された第１上側開口プレートを用い、該第１下側開口プレートと該第１上側開口プレートとで、微細突起具が形成された基材シートを挟んだ状態で接合し、
前記接合工程の後、前記第１下側開口プレートを下方に移動させ且つ前記第１上側開口プレートを上方に移動させる、前記＜１＞〜＜４＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜６＞
前記カット工程では、前記基材シートの一面側に配された第２下側開口プレート及び該基材シートの他面側に配された第２上側開口プレートを用い、該第２下側開口プレートと該第２上側開口プレートとで、前記ベース部品が接合された前記基材シートを挟んだ状態で前記微細突起ユニットを製造し、
前記カット工程の後、前記第２下側開口プレートを下方に移動させ且つ前記第２上側開口プレートを上方に移動させる、前記＜１＞〜＜５＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜７＞
内部が中空の突起部を基底上に備える微細突起具と該突起部の内部に該基底を介して連通する液体保持空間を有するベース部品とを備え、該ベース部品の先端に該微細突起具を接合した微細突起ユニットの製造方法であって、
熱可塑性樹脂を含んで形成された基材シートの一面側から、凸型部を当接させて、該基材シートの他面側から突出する突起部を形成した後、該突起部の内部から該凸型部を抜いて微細突起具を形成する微細突起具形成工程と、
前記微細突起具が形成された前記基材シートを前記微細突起具側から平面視して、前記ベース部品の輪郭よりも内側で該輪郭に沿って、該基材シートの一面側と該ベース部品の先端とを接合すると同時に、該基材シートをカットして前記微細突起ユニットを製造する接合・カット工程とを備える、微細突起ユニットの製造方法。
＜８＞
前記接合・カット工程では、前記基材シートの一面側に配された第３下側開口プレート及び該基材シートの他面側に配された第３上側開口プレートを用い、該第３下側開口プレートと該第３上側開口プレートとで、前記突起部が形成された前記基材シートを挟んだ状態で前記微細突起ユニットを製造し、
前記接合・カット工程の後、前記第３下側開口プレートを下方に移動させ且つ前記第３上側開口プレートを上方に移動させる、前記＜７＞に記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜９＞
前記基材シートの原料ロールから帯状の基材シートを繰り出し、搬送方向に搬送して、基材シートが所定位置まで送られたところで、基材シートの搬送を止め、帯状の基材シートの搬送を間欠的に行う前記＜１＞〜＜８＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜１０＞
前記微細突起具形成工程では、搬送方向に搬送された帯状の基材シートの一面側から凸型部を当接させて、基材シートにおける当接部分を熱により軟化させながら、凸型部を基材シートに刺してゆき基材シートの他面側から突出する突起部を形成する前記＜１＞〜＜９＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜１１＞
前記凸型部の加熱による基材シートの加熱温度は、使用される基材シートのガラス転移温度以上溶融温度未満であることが好ましく、特に軟化温度以上溶融温度未満である前記＜１０＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜１２＞
前記加熱温度は、好ましくは３０℃以上、更に好ましくは４０℃以上であり、そして、好ましくは３００℃以下であり、更に好ましくは２５０℃以下であり、具体的には、好ましくは３０℃以上３００℃以下であり、更に好ましくは４０℃以上２５０℃以下である前記＜１０＞又は＜１１＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜１３＞
前記凸型部を基材シートに刺してゆく刺入速度は、好ましくは０．１ｍｍ／秒以上、更に好ましくは１ｍｍ／秒以上であり、そして、好ましくは１０００ｍｍ／秒以下であり、更に好ましくは８００ｍｍ／秒以下であり、具体的には、好ましくは０．１ｍｍ／秒以上１０００ｍｍ／秒以下であり、更に好ましくは１ｍｍ／秒以上８００ｍｍ／秒以下である前記＜１＞〜＜１２＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜１４＞
前記微細突起具形成工程では、製造装置を用いて、突起部形成工程の後、冷風送風装置を使用して、突起部の内部に凸型部を刺した状態で突起部を冷却する前記＜１＞〜＜１３＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜１５＞
開口プレートと第２開口プレートとで、前記基材シートを挟んだ状態で冷却工程を行うようになっている前記＜１４＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜１６＞
吹き付ける冷風の温度は、好ましくは−５０℃以上、更に好ましくは−４０℃以上であり、そして、好ましくは２６℃以下であり、更に好ましくは１０℃以下であり、具体的には、好ましくは−５０℃以上２６℃以下であり、更に好ましくは−４０℃以上１０℃以下である前記＜１４＞又は＜１５＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜１７＞
冷風を吹き付けて冷却する冷却時間は、好ましくは０．０１秒以上、更に好ましくは０．５秒以上であり、そして、好ましくは６０秒以下であり、更に好ましくは３０秒以下であり、具体的には、好ましくは０．０１秒以上６０秒以下であり、更に好ましくは０．５秒以上３０秒以下である前記＜１４＞〜＜１６＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜１８＞
ベース部品固定部の凹部内にベース部品の底部側の外形を嵌合させて、ベース部品の周壁部の先端壁部が露出するようにベース部品を保持する前記＜１＞〜＜１７＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜１９＞
微細突起ユニットの製造方法では、第１下側開口プレートと第１上側開口プレートとで、微細突起具が形成された基材シートを挟んだ状態で、接合部の円環状の先端部にて加熱させ、基材シートにおける、ベース部品の周壁部の先端壁部上に位置する部分とベース部品の先端壁部とを溶融させながら微細突起ユニットの接合部を形成して、微細突起具が形成された基材シートの一面側（下面側）とベース部品の先端とを接合する前記＜１＞〜＜１８＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜２０＞
接合部を基材シートと当接させる時の加熱温度は、好ましくは１００℃以上であり、更に好ましくは１２０℃以上であり、そして、好ましくは３００℃以下であり、更に好ましくは２５０℃以下であり、具体的には、好ましくは１００℃以上３００℃以下であり、更に好ましくは１２０℃以上２５０℃以下である前記＜１９＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜２１＞
接合部を基材シートと当接させる時の加熱時間は、好ましくは０．１秒以上であり、そして、好ましくは５．０秒以下であり、具体的には、好ましくは０．１秒以上５．０秒以下である前記＜１９＞又は＜２０＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜２２＞
接合部を基材シートと当接させる時の押し当て力（加圧力）は、好ましくは１０Ｎ以上であり、そして、好ましくは１００Ｎ以下であり、具体的には、好ましくは１０Ｎ以上１００Ｎ以下である前記＜１９＞〜＜２１＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜２３＞
前記接合工程の後、接合部を、基材シートの他面（上面側）から厚み方向の上方に移動させ、第１下側開口プレートを下方に移動させ且つ第１上側開口プレートを上方に移動させる前記＜１９＞〜＜２２＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜２４＞
第２下側開口プレートと第２上側開口プレートとで、ベース部品が接合された基材シートを挟んだ状態で、基材シートの他面（上面側）から、第２上側開口プレートの開口部にカット部を通過させ、カット部の先端部の刃を、微細突起具から平面視して、ベース部品の輪郭よりも内側で輪郭に沿って、基材シートの他面に当接させてカットして微細突起ユニットを製造する前記＜１＞〜＜２３＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。
＜２５＞
前記カット工程の後、カット部を、基材シートの他面（上面側）から厚み方向の上方に移動させ、第２下側開口プレートを下方に移動させ且つ第２上側開口プレートを上方に移動させ、その後、第２下側開口プレートと第２上側開口プレートとで挟んだ基材シートのトリム部分を、第２下側開口プレートを下方に移動させ且つ第２上側開口プレートを上方に移動させた後に、取り除く前記＜２４＞の何れか１つに記載の微細突起ユニットの製造方法。

１０ 微細突起ユニット
１ 微細突起具
２ 基底
２Ａ 基材シート
２Ａｔ トリム部分
３ 突起部
３Ｒ 突起領域
４ ベース部品
４ｋ 液体保持空間
４Ｌ ベース部品の輪郭
４１ 底部
４２ 液体供給路
４３ 周壁部
４３ｓ 先端壁部
１００ 製造装置
２００ 微細突起具形成部
２１０ 突起部形成部
１１ 凸型部
１１０ 凸型
１２Ｕ 開口プレート
１３Ｄ 第２開口プレート
２２０ 冷却部
２３０ リリース部
３００ 部材接合部
３０１ ベース部品固定部
３０２ 接合部
３１２Ｕ 第１上側開口プレート
３１３Ｄ 第１下側開口プレート
３０３ 凹部
４００ 部材カット部
４０１ ベース部品固定部
４０２ カット部
４１２Ｕ 第２上側開口プレート
４１３Ｄ 第２下側開口プレート
４０３ 凹部

Claims (8)

1. 内部が中空の突起部を基底上に備える微細突起具と該突起部の内部に該基底を介して連通する液体保持空間を有するベース部品とを備え、該ベース部品の先端に該微細突起具を接合した微細突起ユニットの製造方法であって、
   熱可塑性樹脂を含んで形成された基材シートの一面側から、凸型部を当接させて、該基材シートの他面側から突出する突起部を形成した後、該突起部の内部から該凸型部を抜いて微細突起具を形成する微細突起具形成工程と、
   前記微細突起具が形成された前記基材シートの一面側と前記ベース部品の先端とを接合する接合工程と、
   前記ベース部品が接合された前記基材シートを、前記微細突起具側から平面視して、前記ベース部品の輪郭よりも内側で該輪郭に沿って前記基材シートをカットして前記微細突起ユニットを製造するカット工程とを備える、微細突起ユニットの製造方法。
2. 前記ベース部品は、前記液体保持空間の外周に周壁部を有し、
   前記カット工程においては、前記ベース部品の前記周壁部の先端壁部上で前記基材シートをカットする、請求項１に記載の微細突起ユニットの製造方法。
3. 前記接合工程において接合する手段が、熱シール、超音波、レーザー、又は接着剤である、請求項１又は２に記載の微細突起ユニットの製造方法。
4. 前記カット工程においてカットする手段が、打ち抜き刃、又はレーザーである、請求項１〜３の何れか１項に記載の微細突起ユニットの製造方法。
5. 前記接合工程では、前記基材シートの一面側に配された第１下側開口プレート及び該基材シートの他面側に配された第１上側開口プレートを用い、該第１下側開口プレートと該第１上側開口プレートとで、微細突起具が形成された基材シートを挟んだ状態で接合し、
   前記接合工程の後、前記第１下側開口プレートを下方に移動させ且つ前記第１上側開口プレートを上方に移動させる、請求項１〜４の何れか１項に記載の微細突起ユニットの製造方法。
6. 前記カット工程では、前記基材シートの一面側に配された第２下側開口プレート及び該基材シートの他面側に配された第２上側開口プレートを用い、該第２下側開口プレートと該第２上側開口プレートとで、前記ベース部品が接合された前記基材シートを挟んだ状態で前記微細突起ユニットを製造し、
   前記カット工程の後、前記第２下側開口プレートを下方に移動させ且つ前記第２上側開口プレートを上方に移動させる、請求項１〜５の何れか１項に記載の微細突起ユニットの製造方法。
7. 内部が中空の突起部を基底上に備える微細突起具と該突起部の内部に該基底を介して連通する液体保持空間を有するベース部品とを備え、該ベース部品の先端に該微細突起具を接合した微細突起ユニットの製造方法であって、
   熱可塑性樹脂を含んで形成された基材シートの一面側から、凸型部を当接させて、該基材シートの他面側から突出する突起部を形成した後、該突起部の内部から該凸型部を抜いて微細突起具を形成する微細突起具形成工程と、
   前記微細突起具が形成された前記基材シートを前記微細突起具側から平面視して、前記ベース部品の輪郭よりも内側で該輪郭に沿って、該基材シートの一面側と該ベース部品の先端とを接合すると同時に、該基材シートをカットして前記微細突起ユニットを製造する接合・カット工程とを備える、微細突起ユニットの製造方法。
8. 前記接合・カット工程では、前記基材シートの一面側に配された第３下側開口プレート及び該基材シートの他面側に配された第３上側開口プレートを用い、該第３下側開口プレートと該第３上側開口プレートとで、前記突起部が形成された前記基材シートを挟んだ状態で前記微細突起ユニットを製造し、
   前記接合・カット工程の後、前記第３下側開口プレートを下方に移動させ且つ前記第３上側開口プレートを上方に移動させる、請求項７に記載の微細突起ユニットの製造方法。