JP2018197673A - 非破壊検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】移動する検査対象物を透過した電磁波をスキャンして検査対象物の二次元画像を生成するに際し、検査対象物のスキャン速度が変化しても二次元画像の歪みが生じにくい非破壊検査装置を提供する。【解決手段】外部機器から所定の搬送速度で搬送されてくる検査対象物Ｗに電磁波を照射する電磁波照射手段１２０と、検査対象物Ｗの搬送方向に略直交する方向に直線状に設けられ所定の搬送速度で搬送される検査対象物Ｗを透過した電磁波を所定の周期ごとに検出して電磁波の強度に応じた電気信号を出力する電磁波検出手段１３０と、所定の周期ごとに出力される電気信号に基づき直線状の電磁波透過画像を順次生成し配列していくことで、検査対象物Ｗの二次元画像を生成する画像生成手段１４０と、検査対象物Ｗの搬送速度の変化を検出した場合に二次元画像の歪みが小さくなるように制御する制御手段１５０と、を備える。【選択図】図４

Description

本発明は、検査対象物にＸ線などの電磁波を照射して非破壊で異物等の検査を行う非破壊検査装置に関する。

一般に、製品の製造から梱包、出荷に至るまでの各工程では、検査対象となる製品や混入しうる異物の種類（材料、大きさなど）に適した検査方法によって、製品や梱包内に異物が混入していないか検査が行われる。

このうち非破壊検査では、検査対象物にＸ線などの電磁波を照射し、透過した電磁波を検出する。このとき、検査対象物内の異物の有無や異物の材質により、場所により電磁波の透過の程度に相違が生じる。そのため、検出された電磁波の強度の面的分布を画像の濃淡で表現した二次元画像を生成することで、外観からは知りえない検査対象物内部の異物の有無等を検査することができる。

非破壊検査装置は、例えば、検査対象物を移動させながら電磁波を照射し、検査対象物を透過した電磁波を検査対象物の移動方向に対して略垂直な方向に直線状に複数の検出素子が配列されたラインセンサで連続的にスキャンしながら直線状の電磁波透過画像を次々に生成して、これらをスキャン方向に順次配列することで検査対象物の二次元画像を生成する。

非破壊検査装置による検査対象となる包装物が横ピロー包装機により包装されるものである場合、横ピロー包装機の最終段や縦シール手段と横シール手段との間に非破壊検査装置が設けられることがある。最終段に設けられる例が特許文献１に、縦シール手段と横シール手段との間に設けられる例が特許文献２に、それぞれ開示されている。

特許第４１７０３６６号公報 特開２０１６−１２０９３２号公報

非破壊検査装置を、外部機器、例えば横ピロー包装機と組み合わせて使用する際に、非破壊検査装置の前段にある横ピロー包装機の包装ラインの速度と、非破壊検査装置において検査対象物をラインセンサでスキャンするために検査対象物を移動させる速度とが同期制御されていると、横ピロー包装機の包装ラインで何らかのトラブルにより包装ラインの停止や速度の低下が生じた場合に、非破壊検査装置においても検査対象物の移動の停止や速度の低下が生じる。

電磁波が照射された検査対象物を移動させながら、検査対象物を透過した電磁波をラインセンサで連続的にスキャンすることにより線状の電磁波透過画像を次々に取得し、これらをスキャン方向に順次配列して検査対象物の二次元画像を生成する場合、正常に画像を生成するためには、検査対象物を移動させる速度がＶ（ｍｍ／秒）、移動方向のラインセンサの読み取り幅がＲ（ｍｍ／ライン）、スキャンレートがＳ（ライン／秒）のとき、概ね、Ｖ＝Ｒ×Ｓの関係にある必要がある。そして、一般に検査対象物を移動させる速度は一定であることが前提とされること、ラインセンサの読み取り幅は採用するラインセンサの仕様により決まることから、スキャンレートはＶ／Ｒで固定的に設定される。

すなわち、図１(a)に示すように、１秒分の移動幅であるＶの幅をもつ検査対象物Ｗが速度Ｖで移動するとき、検査対象物Ｗを透過した電磁波が、１秒分の移動幅であるＶがＳ等分された読み取り幅Ｒのラインセンサ（電磁波検出手段３０）により、１ライン目からＳライン目まで周期的に順次検出され、その検出強度に応じて蓄積された電荷量に応じた電気信号が順次出力される。そして、順次出力された電気信号に基づき順次生成された直線状の電磁波透過画像を、図１(b),(c)に示すように順次配列していくことで、検査対象物Ｗの二次元画像が図１(d)に示すように生成される。

しかし、非破壊検査装置に検査対象物Ｗを供給する横ピロー包装機などの外部機器でトラブルが生じて検査対象物の移動速度が低下した場合、検査対象物の二次元画像を正常に生成できなくなる。具体的には、スキャンレートが固定された状態で検査対象物Ｗの移動速度が遅くなると、連続的に行われるスキャンにより次々に生成される直線状の画像に重なりが生じ、その結果、検査対象物Ｗの全長をスキャンすると、より多くの画像が取得されることになる。そして、このように取得された画像をスキャン方向に順次配列して生成された二次元画像は、通常の移動速度のときに生成される二次元画像と比べて、スキャン方向に伸長した歪みのある画像となってしまう。

すなわち、検査対象物Ｗが一定の速度で移動することを前提に読み取り幅とスキャンレートを設定した場合、速度が低下すると各検出周期において検出の対象となる検査対象物Ｗの部分が本来の速度の場合より移動方向手前にずれることになる。

図２を参照しつつ、速度がＶからＶ／２に低下した場合を例にとって説明する。ここでは、ラインセンサによりｎ周期目でスキャンする検査対象物Ｗの直線状の領域を第ｎ領域と表現する。検査対象物Ｗが図２(a)に示すように電磁波検出手段３０に差し掛かる時点を起点に対比すると、速度がＶの場合に電磁波検出手段３０が第１領域を網羅する位置に到達する１周期目では、電磁波検出手段３０は図２(b)に示すように第１領域の中間部までしか到達していないが、透過電磁波の検出によりこの周期で蓄積した電荷量に応じた電気信号を出力し、これに基づき電磁波透過画像が生成される。

続いて電磁波検出手段３０は、速度がＶの場合に第２領域を網羅する位置に到達する２周期目で第１領域を網羅する位置に到達し、透過電磁波の検出によりこの周期で蓄積した電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第１領域に該当する電磁波透過画像が生成される（図２(c)）。続いて電磁波検出手段３０は、３周期目で図２(d)に示すように第２領域の中間部に到達して、透過電磁波の検出によりこの周期で蓄積した電荷量に応じた電気信号を出力し、これに基づき電磁波透過画像が生成される。そして電磁波検出手段３０は、４周期目で第２領域を網羅する位置に到達し、透過電磁波の検出によりこの周期で蓄積した電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第２領域に該当する電磁波透過画像が生成される（図２(e)）。

以後も同様であり、すなわち、速度がＶ／２の場合に検査対象物Ｗの全体をスキャンするには、速度がＶの場合の２倍の検出周期数を要することとなる。その結果、最終的に生成される二次元画像（図３(b)）は、網掛け部分の周期（１周期目及び３周期目）について電磁波透過画像が余分に生成される結果、図３(a)に示す速度がＶのときに生成される二次元画像に対して、幅がほぼ２倍に伸長された歪んだものとなる。

本発明の目的は、移動する検査対象物を透過した電磁波をスキャンして検査対象物の二次元画像を生成するに際し、検査対象物の移動速度が変化しても二次元画像の歪みが生じにくい非破壊検査装置を提供することにある。

本発明の非破壊検査装置は、外部機器から所定の搬送速度で搬送されてくる検査対象物に電磁波を照射する電磁波照射手段と、検査対象物が搬送される方向に略直交する方向に直線状に設けられ、所定の搬送速度で搬送される検査対象物を透過した電磁波を所定の周期ごとに検出して、電磁波の強度に応じた電気信号を出力する電磁波検出手段と、所定の周期ごとに出力される電気信号に基づき直線状の電磁波透過画像を順次生成し、配列していくことで、検査対象物の二次元画像を生成する画像生成手段と、検査対象物の搬送速度の変化を検出した場合に、二次元画像の歪みが小さくなるように制御する制御手段と、を備える。

制御手段は、例えば、所定の搬送速度と外部機器により出力される情報に基づき特定される実際の搬送速度との間で差異が生じた場合に、二次元画像の歪みが小さくなるように制御するようにしてもよい。

制御手段による二次元画像の歪みが小さくなるようにする制御は、例えば、画像生成手段に対する二次元画像の生成の仕方の制御や電磁波検出手段に対する電磁波の検出周期の制御である。

画像生成手段に対する制御としては、例えば、所定の周期ごとの直線状の電磁波透過画像を順次配列して生成した画像を所定の搬送速度に対する実際の搬送速度の大小の程度に応じて拡縮して二次元画像を生成するように制御することが挙げられる。

画像生成手段に対する制御の別の例として、実際の搬送速度が所定の搬送速度に対して低下した場合に低下の程度に応じ、所定の周期ごとの電気信号のうち一部の周期の電気信号を間引き、残りの周期の電気信号について電磁波透過画像を生成して配列するように制御することが挙げられる。

画像生成手段に対する制御の更に別の例として、実際の搬送速度が所定の搬送速度に対して低下した場合に低下の程度に応じ、互いに隣接する２以上の検出周期の電気信号の強度の平均をとるなど算術処理することにより１の直線状の電磁波透過画像を生成するように制御することが挙げられる。

電磁波検出手段に対する制御としては、例えば、検査対象物を透過した電磁波を検出する周期を実際の搬送速度の増減の程度に応じて短長させるように制御することが挙げられる。

実際の搬送速度の特定に用いる、外部機器により出力される情報は、例えば外部機器の搬送手段を駆動させる回転軸の単位時間あたりの回転量に応じた周期で出力されるパルスとし、制御手段が、パルスの出力周期の変化の程度から実際の搬送速度の増減の程度を把握するようにしてもよい。

搬送速度の変化によって検査対象物の二次元画像に明るさのムラが生じるのを防ぐために、検査対象物を透過した電磁波を検出する各周期における電磁波検出手段の露光時間を搬送速度にかかわらず一定としてもよい。

本発明の非破壊検査装置によれば、移動する検査対象物を透過した電磁波をスキャンして検査対象物の二次元画像を生成するに際し、検査対象物の移動速度が変化しても二次元画像に歪みを生じにくくすることができる。

従来の非破壊検査装置において、ラインセンサにより検査対象物Ｗを透過したＸ線を検出して検査対象物Ｗの二次元画像を生成していく様子を示す図である。 従来の非破壊検査装置において、ラインセンサにより検査対象物Ｗを透過したＸ線を検出して検査対象物Ｗの二次元画像を生成していく様子を示す別の図である。 従来の非破壊検査装置において、検査対象物Ｗの移動速度の相違により、生成される二次元画像に相違が生じることを示す図である。 本発明の非破壊検査装置１００の構成例を示す機能ブロック図である。 画像生成手段１４０に対する制御方法の第１の例を説明する図である。 搬送速度の時間変化の一例を示す図である。 画像生成手段１４０に対する制御方法の第１の例を説明する別の図である。 画像生成手段１４０に対する制御方法の第２の例を説明する図である。 画像生成手段１４０に対する制御方法の第３の例を説明する図である。 本発明の非破壊検査装置１０１の構成例を示す機能ブロック図である。 本発明の非破壊検査装置２００の構成例を示す機能ブロック図である。 Ｘ線検出手段１３０に対する制御方法の例を説明する図である。 本発明の非破壊検査装置２０１の構成例を示す機能ブロック図である。 検査対象物Ｗの搬送が停止した場合について説明する図である。

以下、本発明の実施形態について説明する。なお、ここでは検査対象物Ｗに照射する電磁波がＸ線である場合を例にとって説明するが、検査対象物Ｗに照射することで検査対象物Ｗを透過し、透過強度の分布から検査対象物Ｗ内の異物の存否を画像化できる電磁波（例えば可視光や赤外線など）であれば、同様に実施することができる。

＜＜第１実施形態＞＞
図４は、本発明の非破壊検査装置１００の構成例を示す機能ブロック図である。非破壊検査装置１００は、例えば、前工程を施す外部機器から搬送されてきた検査対象物ＷにＸ線を照射し、透過したＸ線を検出して、検出強度の面的分布を画像の濃淡で表現することで検査対象物Ｗの二次元画像を生成する。外部機器としては、例えば横ピロー包装機が挙げられる。この場合の検査対象物Ｗは、横ピロー包装機１０で包装され、横ピロー包装機１０の包装ライン１１から所定の速度Ｖで搬送されてきた包装物である。

非破壊検査装置１００は、搬送手段１１０、Ｘ線照射手段１２０、Ｘ線検出手段１３０、画像生成手段１４０、及び制御手段１５０を備える。

搬送手段１１０は、横ピロー包装機１０の包装ライン１１から所定の搬送速度で搬送されてきた検査対象物Ｗを、当該所定の搬送速度と同じ速度Ｖで所定の方向（図４ではＸ方向）に搬送する。非破壊検査装置１００は、当該所定の搬送速度で検査対象物Ｗが搬送されているときに検査対象物Ｗの二次元画像が歪み無く生成されるように設計される。

Ｘ線照射手段１２０は、搬送手段１１０により搬送される検査対象物ＷにＸ線を照射する。

Ｘ線検出手段１３０は、検査対象物Ｗが搬送手段１１０により搬送される方向に略直交する方向（図４ではｙ方向）に直線状に設けられる複数の検出素子からなるラインセンサである。Ｘ線検出手段１３０は、搬送手段１１０により搬送されて移動する検査対象物Ｗを透過したＸ線を所定の周期ごとに検出し、検出したＸ線の強度に応じて蓄積された電荷量に応じた電気信号を出力する。すなわち、固定されたラインセンサ上を検査対象物Ｗが移動する間、ラインセンサが検査対象物Ｗを所定の検出周期でスキャンすることで、検査対象物Ｗ全体について透過したＸ線が検出される。所定の検出周期、すなわちスキャンレート（ライン／秒）は、所定の搬送速度がＶ（ｍｍ／秒）、Ｘ線検出手段１３０の読み取り幅がＲ（ｍｍ／ライン）のとき、Ｖ／Ｒにより決定される（図１(a)参照）。例えば、検査対象物Ｗの移動方向の長さが１０００ｍｍのとき、Ｘ線が照射された検査対象物Ｗが移動するに従い、検査対象物Ｗを透過したＸ線が、読み取り幅１ｍｍのＸ線検出手段１３０により１ライン目から１０００ライン目まで１／１０００秒に１ラインずつ順次検出される。

画像生成手段１４０は、Ｘ線検出手段１３０から所定の周期ごとに出力される電気信号に基づき直線状のＸ線透過画像を順次生成し配列していくことで、検査対象物Ｗの二次元画像を生成し、必要に応じ表示手段１４１に表示する。

制御手段１５０は、検査対象物Ｗの搬送速度が変化した場合に画像生成手段１４０において生成される二次元画像に生じる歪みがなるべく小さくなるように、画像生成手段１４０における画像生成処理を任意の方法で制御する。以下、３つの制御方法を例示する。

画像生成手段１４０に対する第１の制御方法として、所定の周期ごとの直線状のＸ線透過画像を順次配列して生成した画像を、所定の搬送速度に対する実際の搬送速度の大小の程度に応じて拡縮して、歪みが抑制された二次元画像を生成するように制御することが挙げられる。

図５を参照しつつ、所定の搬送速度において２周期で検査対象物Ｗの全体がスキャンされる場合を例にとって、第１の制御方法を説明する。なお、３周期以上で検査対象物Ｗをスキャンする場合にも同様な方法で実施することができる。以下、Ｘ線検出手段１３０により１周期目でスキャンする検査対象物Ｗの直線状の領域を第１領域、２周期目でスキャンする検査対象物Ｗの直線状の領域を第２領域とする。

図５(a0)から(a2)は所定の搬送速度、すなわち搬送速度がＶの場合の処理を示したものであり、図５(a0)は検査対象物Ｗがスキャンされる直前の状態である。まず、Ｘ線検出手段１３０は１周期目（図５(a1)）で第１領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積された電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第１領域に該当するＸ線透過画像が生成される。続いてＸ線検出手段１３０は、２周期目（図５(a2)）で第２領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積された電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第２領域に該当するＸ線透過画像が生成される。そして、この２周期目のＸ線透過画像を１周期目のＸ線透過画像と並べて配列することで、検査対象物Ｗ全体の二次元画像が生成される。

一方、図５(b0)から(b4)は搬送速度がＶ／２になった場合の処理を示したものであり、図５(b0)は検査対象物Ｗがスキャンされる直前の状態である。まず、１周期目（図５(b1)）では、Ｘ線検出手段１３０は第１領域の中間部までしか到達していないが、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積した電荷量に応じた電気信号を出力し、これに基づきＸ線透過画像が生成される。続いてＸ線検出手段１３０は、速度がＶの場合に第２領域を網羅する位置に到達する２周期目（図５(b2)）で第１領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積した電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第１領域に該当するＸ線透過画像が生成される。そして、この２周期目のＸ線透過画像を１周期目のＸ線透過画像と並べて配列する。続いてＸ線検出手段１３０は、３周期目（図５(b3)）で第２領域の中間部に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積した電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づきＸ線透過画像が生成される。そして、この３周期目のＸ線透過画像を２周期目までのＸ線透過画像と並べて配列する。続いてＸ線検出手段１３０は、４周期目（図５(b4)）で第２領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積した電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第２領域に該当するＸ線透過画像が生成される。そして、この４周期目のＸ線透過画像を３周期目までのＸ線透過画像と並べて配列する。

搬送速度がＶ／２の場合には、検査対象物Ｗ全体がＸ線検出手段１３０にスキャンされるまでに４周期を要することになる。Ｘ線検出手段１３０の読み取り幅Ｒは固定値であるため、スキャンに要する周期数が多いほど、周期ごとのＸ線透過画像を並べて形成した画像の幅は広がる。この例では、所定の搬送速度、すなわち搬送速度がＶの場合には検査対象物Ｗ全体を２周期でスキャンできるのに対し、搬送速度がＶ／２になった場合には２倍の４周期を要するため、周期ごとのＸ線透過画像を並べて形成した画像の幅も２倍に広がる。これは、第１領域に該当するＸ線透過画像が第２周期で、また、第２領域に該当するＸ線透過画像が第４周期でそれぞれ生成されて、この２周期のみで検査対象物Ｗの二次元画像の生成できるにもかかわらず、更に、第１周期及び第３周期で生成されたＸ線透過画像が余分に配列されるためである。

そこで、制御手段１５０が実際の搬送速度を任意の方法により把握し、所定の搬送速度に対する速度低下の程度に応じた縮小率を特定して、その縮小率で画像生成手段１４０が画像の幅を縮小するように制御する。上記の事例では、制御手段１５０において搬送速度が１／２になったことで画像の幅が２倍になっているとして縮小率を１／２と特定し、画像生成手段１４０は画像の幅を１／２に縮小する。

これにより、搬送速度の低下による二次元画像の歪みの発生を抑制することができる。

制御手段１５０における所定の搬送速度に対する実際の搬送速度の大小の程度の把握は、例えば、横ピロー包装機１０が備える速度検出手段１２から搬送ライン１１の速度の値が直接出力される場合にはそれを取得して把握してもよい。また、搬送ライン１１がベルトコンベアであり、横ピロー包装機１０に速度検出手段１２として、ベルトコンベアを駆動する回転軸の単位時間あたりの回転量を検出し、回転量に応じた周期でパルスを出力するロータリーエンコーダが実装されていれば、ロータリーエンコーダから出力されるパルスを取得して、出力周期の変化から把握してもよい。

搬送速度が変化してもＸ線検出手段１３０の各検出周期における露光時間は一定とするのが望ましい。露光時間が相違することで、各周期のＸ線透過画像に検査対象物Ｗの実態に見合わない濃淡が生じ、それらを配列した二次元画像の精度が低下してしまうからである。

搬送速度が動的に変化する場合には、縮小率の制御も動的に行うとよい。

所定の搬送速度に対する速度低下の程度に応じた縮小率の特定方法は任意である。例えば、上記の例のように単に搬送速度が１／ｎになったときには、幅を１／ｎに縮小するとしてもよいし、速度の低下の程度を任意の計算式に代入することにより特定してもよい。また、予め速度の低下の程度と縮小率との対応関係を示すテーブルを用意しておき、これを参照して特定してもよい。また、図６(a)に示すように、所定の搬送速度から速度が低下し始めてから停止するまで、又は図６(b)に示すように停止状態から所定の搬送速度に至るまでの搬送速度の時間変化に規則性がある場合には、例えば、０〜ｔ１までの時間での縮小率、ｔ１〜ｔ２までの時間での縮小率というように、時間と縮小率との対応関係を示すテーブルを用意しておき、これを参照して特定してもよい。

非破壊検査装置１００は一般に所定の搬送速度の範囲内で使用され、この範囲内で速度が増減する限りでは、画像の幅が拡大するという問題が生じるということには変わりないため、縮小率を変化させることで二次元画像への歪みの発生を抑えることができる。これに対し、何らかの理由で搬送速度が所定の搬送速度を超え、生成される画像の幅が縮小されることもありうる。このような場合には、逆に所定の搬送速度を超えた程度に応じて、次のような処理により画像の幅を拡大すればよい。

図７を参照しつつ、所定の搬送速度において４周期で検査対象物Ｗの全体がスキャンされる場合を例にとって説明する。なお、４周期でない周期で検査対象物Ｗをスキャンする場合にも同様な方法で実施することができる。以下、１周期目から４周期目でスキャンする検査対象物Ｗの領域をそれぞれ第１領域、第２領域、第３領域、及び第４領域とする。

図７(a0)から(a4)は所定の搬送速度、すなわち搬送速度がＶの場合の処理を示したものであり、図７(a0)は検査対象物Ｗがスキャンされる直前の状態である。まず、Ｘ線検出手段１３０は１周期目（図７(a1)）で第１領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積された電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第１領域に該当するＸ線透過画像が生成される。続いてＸ線検出手段１３０は、２周期目（図７(a2)）で第２領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積された電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第２領域に該当するＸ線透過画像が生成される。そして、この２周期目のＸ線透過画像を１周期目のＸ線透過画像と並べて配列する。続いてＸ線検出手段１３０は、３周期目（図７(a3)）で第３領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積された電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第３領域に該当するＸ線透過画像が生成される。そして、この３周期目のＸ線透過画像を２周期目までのＸ線透過画像と並べて配列する。続いてＸ線検出手段１３０は、４周期目（図７(a4)）で第４領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積された電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第４領域に該当するＸ線透過画像が生成される。そして、この４周期目のＸ線透過画像を３周期目までのＸ線透過画像と並べて配列することで、検査対象物Ｗ全体の二次元画像が生成される。

一方、図７(b0)から(b2)は搬送速度が２Ｖになった場合の処理を示したものであり、図７(b0)は検査対象物Ｗがスキャンされる直前の状態である。まず、Ｘ線検出手段１３０は１周期目（図７(b1)）で第２領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積された電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第２領域に該当するＸ線透過画像が生成される。続いてＸ線検出手段１３０は、２周期目（図７(b2)）で第４領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積された電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第４領域に該当するＸ線透過画像が生成される。そして、この２周期目のＸ線透過画像を１周期目のＸ線透過画像と並べて配列する。

搬送速度が２Ｖの場合には、検査対象物Ｗが２周期でＸ線検出手段１３０を通り過ぎてしまう。Ｘ線検出手段１３０の読み取り幅Ｒは固定値であるため、スキャンに要する周期数が少ないほど、周期ごとのＸ線透過画像を並べて形成した画像の幅は狭まる。この例では、所定の搬送速度、すなわち搬送速度がＶの場合には検査対象物Ｗ全体をスキャンするのに４周期を要するのに対し、搬送速度が２Ｖになった場合には２周期で通過してしまうため、周期ごとのＸ線透過画像を並べて形成した画像の幅は半分に狭まる。

そこで、制御手段１５０が実際の搬送速度を任意の方法により把握し、所定の搬送速度に対する速度低下の程度に応じた拡大率を特定して、その拡大率で画像生成手段１４０が画像の幅を拡大するように制御する。上記の事例では、制御手段１５０において搬送速度が２倍になったことをもって拡大率を２倍と特定し、画像生成手段１４０は画像の幅を２倍に拡大する。

これにより、最終的に生成される二次元画像の幅を適正化することができる。ただし搬送速度が２Ｖの場合、図７(b2)からわかるように、生成された画像に第２領域と第４領域からの透過Ｘ線に基づくＸ線透過画像が含まれないため、速度Ｖのときより解像度が劣ることになる。

画像生成手段１４０に対する第２の制御方法として、実際の搬送速度が所定の搬送速度に対して低下した場合に低下の程度に応じ、所定の周期ごとの電気信号のうち一部の周期の電気信号を間引き、残りの周期の電気信号についてＸ線透過画像を生成して配列するように制御することが挙げられる。

図８を参照しつつ、所定の搬送速度において２周期で検査対象物Ｗの全体がスキャンされる場合を例にとって、第２の制御方法を説明する。なお、３周期以上で検査対象物Ｗをスキャンする場合にも同様な方法で実施することができる。以下、１周期目でスキャンする検査対象物Ｗの領域を第１領域、２周期目でスキャンする検査対象物Ｗの領域を第２領域とする。

図８(a0)から(a2)は所定の搬送速度、すなわち搬送速度がＶの場合の処理を示したものであり、図８(a0)は検査対象物Ｗがスキャンされる直前の状態である。まず、Ｘ線検出手段１３０は１周期目（図８(a1)）で第１領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積された電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第１領域に該当するＸ線透過画像が生成される。続いてＸ線検出手段１３０は、２周期目（図８(a2)）で第２領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積された電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第２領域に該当するＸ線透過画像が生成される。そして、この２周期目のＸ線透過画像を１周期目のＸ線透過画像と並べて配列することで、検査対象物Ｗ全体の二次元画像が生成される。

一方、図８(b0)から(b5)は搬送速度がＶ／２になった場合の処理を示したものであり、図８(b0)は検査対象物Ｗがスキャンされる直前の状態である。搬送速度がＶ／２の場合、検査対象物Ｗのスキャンを図８(b1)から(b5)に示す５周期で終えるが、このうち、２周期目で検査対象物Ｗの第１領域からの透過Ｘ線が検出され（図８(b2)）、４周期目で第２領域からの透過Ｘ線が検出される（図８(b4)）。つまり、この２周期のみで検査対象物Ｗの二次元画像を生成することができる。そこで制御手段１５０は、１周期目、３周期目及び５周期目で検出された電気信号を間引き、残りの２周期目及び４周期目で検出された電気信号についてそれぞれＸ線透過画像を生成して配列するように画像生成手段１４０を制御することで、歪みのない二次元画像を生成することができる。

以上説明した第２の制御方法は、搬送速度が所定の搬送速度のときの各検出周期で透過Ｘ線が検出される検査対象物Ｗを分割した各領域が、搬送速度が低下して増加した複数の検出周期のうちのいずれかの周期においてスキャンされている場合に好適である。上記の例でいえば、搬送速度が所定の搬送速度、すなわち搬送速度がＶのときに透過Ｘ線が検出される第１領域及び第２領域が、搬送速度がＶ／２になったときの２周期目及び４周期目でそれぞれスキャンされているため、好適な場合に該当する。

搬送速度が動的に変化する場合には、Ｘ線透過画像を生成する周期を間引く程度の制御も動的に行うとよい。

所定の搬送速度に対する速度低下の程度に応じてＸ線透過画像を生成する周期を間引く程度を特定する方法は任意である。例えば、上記の例のように搬送速度が１／ｎになったときには、ｎの倍数の周期で検出された電気信号についてのみ、それぞれＸ線透過画像を生成して配列するようにしてもよいし、速度の低下の程度を任意の計算式に代入することにより特定してもよい。また、予め速度の低下の程度と縮小率との対応関係を示すテーブルを用意しておき、これを参照して特定してもよい。また、図６(a)に示すように、所定の搬送速度から速度が低下し始めてから停止するまで、又は図６(b)に示すように停止状態から所定の搬送速度に至るまでの搬送速度の時間変化に規則性がある場合には、例えば、０〜ｔ１までの時間での間引く程度、ｔ１〜ｔ２までの時間での間引く程度というように、時間と間引く程度との対応関係を示すテーブルを用意しておき、これを参照して特定してもよい。

非破壊検査装置１００は一般に所定の搬送速度の範囲内で使用され、この範囲内で速度が増減する限りでは、画像の幅が拡大するという問題が生じるということには変わりないため、Ｘ線透過画像を生成する周期を間引く程度を変化させることで、二次元画像への歪みの発生を抑えることができる。

画像生成手段１４０に対する第３の制御方法として、実際の搬送速度が所定の搬送速度に対して低下した場合に低下の程度に応じ、互いに隣接する２以上の検出周期の電気信号の強度の平均をとるなど算術処理することにより１の直線状の電磁波透過画像を生成するように制御することが挙げられる。

図９を参照しつつ、所定の搬送速度において２周期で検査対象物Ｗの全体がスキャンされる場合を例にとって、第３の制御方法を説明する。なお、３周期以上で検査対象物Ｗをスキャンする場合にも同様な方法で実施することができる。以下、１周期目でスキャンする検査対象物Ｗの領域を第１領域、２周期目でスキャンする検査対象物Ｗの領域を第２領域とする。

図９(a0)から(a2)は所定の搬送速度、すなわち搬送速度がＶの場合の処理を示したものであり、図９(a0)は検査対象物Ｗがスキャンされる直前の状態である。まず、Ｘ線検出手段１３０は１周期目（図９(a1)）で第１領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積された電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第１領域に該当するＸ線透過画像が生成される。続いてＸ線検出手段１３０は、２周期目（図９(a2)）で第２領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積された電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第２領域に該当するＸ線透過画像が生成される。そして、この２周期目のＸ線透過画像を１周期目のＸ線透過画像と並べて配列することで、検査対象物Ｗ全体の二次元画像が生成される。

一方、図９(b0)から(b3)は搬送速度が２Ｖ／３になった場合の処理を示したものであり、図９(b0)は検査対象物Ｗがスキャンされる直前の状態である。まず、１周期目（図９(b1)）では、Ｘ線検出手段１３０は第１領域の先頭から２／３の部分までしか到達していないが、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積した電荷量に応じた電気信号を出力する。続いてＸ線検出手段１３０は、２周期目（図９(b2)）で第２領域の先頭から１／３の部分に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積した電荷量に応じた電気信号を出力する。このとき、１周期目と２周期目のそれぞれでは、第１領域の一部からの透過Ｘ線のみを検出しているに過ぎないが、１周期目と２周期目のトータルでは第１領域全体について透過Ｘ線を検出できている。そこで、１周期目と２周期目でそれぞれ出力される電気信号について、強度をデジタル化して平均をとるなどの算術処理を施して、算術処理結果に基づき生成した１つのＸ線透過画像を第１領域のＸ線透過画像として生成する。そして、３周期目（図９(b3)）で第２領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積した電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第２領域に該当するＸ線透過画像が生成される。そして、この第２領域に該当するＸ線透過画像を、先に生成した第１領域のＸ線透過画像と並べて配列することで、検査対象物Ｗ全体の二次元画像を生成することができる。

なお、ここでは２周期分の電気信号から１領域分のＸ線透過画像を生成する場合を例示したが、３周期以上の電気信号から１領域分のＸ線透過画像を生成してもよい。また、ここでは２つの領域のうち一方の領域は複数の周期の電気信号からＸ線透過画像を生成し、他方の領域は１周期の電気信号からＸ線透過画像を生成しているが、全ての領域のそれぞれについて複数の周期の電気信号からＸ線透過画像を生成してもよい。

搬送速度が動的に変化する場合には、どの複数の周期の電気信号を算術処理で１本化するか制御も動的に行うとよい。

所定の搬送速度に対する速度低下の程度に応じて、どの複数の周期の電気信号を算術処理で１本化するかを特定する方法は任意である。例えば、上記のような方法のほか、速度の低下の程度を任意の計算式に代入することにより特定してもよい。また、予め速度の低下の程度と、どの複数の周期の電気信号を算術処理で１本化するかを特定するルールと、の対応関係を示すテーブルを用意しておき、これを参照して特定してもよい。また、図６(a)に示すように、所定の搬送速度から速度が低下し始めてから停止するまで、又は図６(b)に示すように停止状態から所定の搬送速度に至るまでの搬送速度の時間変化に規則性がある場合には、例えば、０〜ｔ１までの時間での特定ルール、ｔ１〜ｔ２までの時間での特定ルールというように、時間と特定ルールとの対応関係を示すテーブルを用意しておき、これを参照して特定してもよい。

第２の制御方法においては、搬送速度が所定の搬送速度のときの各検出周期で透過Ｘ線が検出される検査対象物Ｗを分割した各領域が、搬送速度が低下して増加した複数の検出周期のうちのいずれかの周期においてスキャンされている必要があったが、以上説明した第３の制御方法では、２以上の検出周期で透過Ｘ線が領域を跨いで検出された場合にも適用可能である。

また、非破壊検査装置２００は一般に所定の搬送速度の範囲内で使用され、この範囲内で速度が増減する限りでは、画像の幅が拡大するという問題が生じるということには変わりないため、どの複数の周期の電気信号を算術処理で１本化するかを変化させることで、二次元画像への歪みの発生を抑えることができる。

＜変形例＞
本発明の非破壊検査装置は、必ずしも自ら搬送手段を備える必要はなく、例えば、横ピロー包装機などの外部機器が備える搬送機能を利用して、非破壊検査装置における検査対象物の搬送を実現してもよい。

図１０は、横ピロー包装機１０の包装ライン１１を搬送手段として利用することにより、図４に示す非破壊検査装置１００と同様の効果を奏する非破壊検査装置１０１の構成例を示すブロック図である。非破壊検査装置１０１は、Ｘ線照射手段１２０、Ｘ線検出手段１３０、画像生成手段１４０、及び制御手段１５０を備え、図４に示す非破壊検査装置１００における搬送手段１１０の役割は、横ピロー包装機１０の包装ライン１１が代わりに担う。なお、包装ライン１１の利用は例示であり、横ピロー包装機１０が備える図示しない他の搬送機能を利用して実現してもよい。

＜＜第２実施形態＞＞
図１１は、本発明の非破壊検査装置２００の構成例を示す図である。第１実施形態の非破壊検査装置１００は、Ｘ線検出手段１３０によるＸ線の検出周期は一定としつつ、制御手段１５０が画像生成手段１４０における画像生成処理を制御するものであるのに対し、非破壊検査装置２００は、検査対象物Ｗの二次元画像に歪みが生じないように、制御手段２５０がＸ線検出手段１３０におけるＸ線の検出周期を検査対象物Ｗの搬送速度に応じて変化させる制御を行うものである。

非破壊検査装置２００は、搬送手段１１０、Ｘ線照射手段１２０、Ｘ線検出手段２３０、画像生成手段１４０、及び制御手段２５０を備える。図４に示す非破壊検査装置１００の構成要素と同じ符号を付した構成要素の機能は非破壊検査装置１００と同じであるため、説明は省略する。

Ｘ線検出手段２３０は、制御手段２５０による制御により検出周期を変更可能とされている以外は、第１実施形態のＸ線検出手段１３０と同様の機能を備える。

制御手段２５０は、検査対象物Ｗの搬送速度が変化した場合に画像生成手段１４０において生成される二次元画像に生じる歪みがなるべく小さくなるように、Ｘ線検出手段１３０における検出周期を制御する。

図１２を参照しつつ、所定の搬送速度において２周期で検査対象物Ｗの全体がスキャンされる場合を例にとって制御方法を説明する。なお、３周期以上で検査対象物Ｗをスキャンする場合にも同様な方法で実施することができる。以下、１周期目でスキャンする検査対象物Ｗの領域を第１領域、２周期目でスキャンする検査対象物Ｗの領域を第２領域とする。

図１２(a0)から(a2)は所定の搬送速度、すなわち搬送速度がＶの場合の処理を示したものであり、図１２(a0)は検査対象物Ｗがスキャンされる直前の状態である。まず、Ｘ線検出手段２３０は１周期目（図１２(a1)）で第１領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積された電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第１領域に該当するＸ線透過画像が生成される。続いてＸ線検出手段２３０は、２周期目（図１２(a2)）で第２領域を網羅する位置に到達し、透過Ｘ線の検出によりこの周期で蓄積された電荷量に応じた電気信号を出力して、これに基づき第２領域に該当するＸ線透過画像が生成される。そして、この２周期目のＸ線透過画像を１周期目のＸ線透過画像と並べて配列することで、検査対象物Ｗ全体の二次元画像が生成される。

一方、図１２(b0)から(b4)は搬送速度がＶ／２になった場合の処理を示したものであり、図１２(b0)は検査対象物Ｗがスキャンされる直前の状態である。搬送速度がＶ／２の場合、本来の検出周期においては検査対象物Ｗのスキャンを図１２(b1)から(b4)に示す４周期で終えるが、このうち、２周期目で検査対象物Ｗの第１領域からの透過Ｘ線が検出され（図１２(b2)）、４周期目で第２領域からの透過Ｘ線が検出される（図１２(b4)）。つまり、この２周期のみで検査対象物Ｗの二次元画像を生成することができる。そこで制御手段２５０は、Ｘ線検出手段１３０による透過Ｘ線の検出周期を、二次元画像に生じる歪みがなるべく小さくなるように、具体的には例えば、搬送速度の変化倍率の逆数の倍率で変更するように、Ｘ線検出手段１３０を制御する。図１２の例では、搬送速度が１／２になっているので、検出周期を２倍にする。これにより、本来の２周期目と４周期目のタイミングでのみ透過Ｘ線の検出が行われるため、歪みのない二次元画像を生成することができる。

制御手段１５０における所定の搬送速度に対する実際の搬送速度の大小の程度の把握は、第１実施形態と同様に、例えば、横ピロー包装機１０が備える速度検出手段１２から搬送ライン１１の速度の値が直接出力される場合にはそれを取得して把握してもよい。また、搬送ライン１１がベルトコンベアであり、横ピロー包装機１０に速度検出手段１２として、ベルトコンベアを駆動する回転軸の単位時間あたりの回転量を検出し、回転量に応じた周期でパルスを出力するロータリーエンコーダが実装されていれば、ロータリーエンコーダから出力されるパルスを取得して、出力周期の変化から把握してもよい。

搬送速度が変化してもＸ線検出手段１３０の各検出周期における露光時間は、第１実施形態と同様、一定とするのが望ましい。露光時間が相違することで、各周期のＸ線透過画像に検査対象物Ｗの実態に見合わない濃淡が生じ、それらを配列した二次元画像の精度が低下してしまうからである。

搬送速度が動的に変化する場合には、検出周期の制御も動的に行うとよい。

所定の搬送速度に対する速度増減の程度に応じて検出周期を短長させる程度を特定する方法は任意であり、上記の例のように搬送速度の変化の倍率の逆数の倍率とする特定方法のほか、速度の増減の程度を任意の計算式に代入することにより特定してもよい。また、予め速度の増減の程度と周期を短長させる倍率との対応関係を示すテーブルを用意しておき、これを参照して特定してもよい。また、図６(a)に示すように、所定の搬送速度から速度が低下し始めてから停止するまで、又は図６(b)に示すように停止状態から所定の搬送速度に至るまでの搬送速度の時間変化に規則性がある場合には、例えば、０〜ｔ１までの時間での短長させる倍率、ｔ１〜ｔ２までの時間での短長させる倍率というように、時間と周期を短長させる倍率との対応関係を示すテーブルを用意しておき、これを参照して特定してもよい。

非破壊検査装置２００は一般に所定の搬送速度の範囲内で使用され、この範囲内で速度が増減する限りでは、画像の幅が拡大していることには変わりないため、検出周期を変化させることで二次元画像への歪みの発生を抑えることができる。また、何らかの理由で搬送速度が所定の搬送速度を超えると、生成される画像の幅が縮小されることもありうるが、そのような場合には、所定の搬送速度を超えた程度に応じて、検出周期を短くすればよい。

＜変形例＞
本発明の非破壊検査装置は、必ずしも自ら搬送手段を備える必要はなく、例えば、横ピロー包装機などの外部機器が備える搬送機能を利用して、非破壊検査装置における検査対象物の搬送を実現してもよい。

図１３は、横ピロー包装機１０の包装ライン１１を搬送手段として利用することにより、図１１に示す非破壊検査装置２００と同様の効果を奏する非破壊検査装置２０１の構成例を示すブロック図である。非破壊検査装置２０１は、Ｘ線照射手段１２０、Ｘ線検出手段２３０、画像生成手段１４０、及び制御手段２５０を備え、図１１に示す非破壊検査装置２００における搬送手段１１０の役割は、横ピロー包装機１０の包装ライン１１が代わりに担う。なお、包装ライン１１の利用は例示であり、横ピロー包装機１０が備える図示しない他の搬送機能を利用して実現してもよい。

＜＜第３実施形態＞＞
第１実施形態と第２実施形態は、搬送速度の変化はあるものの検査対象物Ｗの搬送は継続していることで、検査対象物Ｗの全体がスキャンされ、検査対象物Ｗの二次元画像を概ね適切に生成することができる場合に関するものである。

これに対し、何らかの事情が生じて検査対象物Ｗの搬送が停止した場合、検査対象物Ｗのスキャンが中断し、そのままＸ線検出手段１３０又は２３０による検出を継続すると、Ｘ線検出手段１３０又は２３０による検査対象物Ｗのスキャンが中断した位置に対応する検査対象物Ｗの特定の領域からの透過Ｘ線が検出され続けることになり、二次元画像の適切な生成に支障が生じる。

すなわち例えば、当初、検査対象物Ｗが所定の速度Ｖで搬送されている間は、図１４(a),(b)に示すように１周期目に第１領域からの透過Ｘ線が、２周期目に第２領域からの透過Ｘ線がそれぞれ検出され、各検出周期で検出された透過Ｘ線に基づくＸ線透過画像を順次配列していくことで正常に二次元画像が生成されていく。しかし、Ｘ線検出手段１３０又は２３０が第２領域からの透過Ｘ線を検出する位置で検査対象物Ｗの搬送が停止すると、３周期目以後も第２領域からの透過Ｘ線が検出され続ける。そのため、図１４(c),(d)に示すように第２領域からの透過Ｘ線に基づくＸ線透過画像が連続して配列されていくことになり、このような生成過程での二次元画像は検査対象物Ｗの実態にそぐわない。また、当該二次元画像が表示手段１４１に表示されることで装置利用者の混乱を招く。

そこで、例えば制御手段１５０又は２５０が検査対象物Ｗの搬送の停止を、速度検出手段１２を介して検出した場合、制御手段１５０又は２５０が、Ｘ線検出手段１３０又は２３０により各検出周期において検出された透過Ｘ線に基づくＸ線透過画像の配列を行わないよう画像生成手段１４０を制御して、二次元画像の生成を中断する（図１４(e),(f)）。また、配列すべきＸ線透過画像がそもそも生成されないよう、制御手段１５０又は２５０による制御により、Ｘ線検出手段１３０又は２３０による検出自体を停止してもよい。

このように制御を行うことで、実態にそぐわない二次元画像の生成が継続されることを防ぐことができ、かつ、実態にそぐわない生成過程の二次元画像が表示手段１４１に表示されてしまうのを防ぐことができる。また、生成過程の二次元画像が適切なものであることで、搬送再開後の加速時に第１実施形態又は第２実施形態に示した制御を行うことで、適切な二次元画像の生成を継続することができる。

以上説明した本発明は、上記各実施形態に限定されるものではない。上記各実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。すなわち、本発明において表現されている技術的思想の範囲内で適宜変更が可能であり、その様な変更や改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含む。

１０…横ピロー包装機
１１…包装ライン
１２…速度検出手段
３０…電磁波検出手段
１００、１０１、２００、２０１…非破壊検査装置
１１０…搬送手段
１２０…Ｘ線照射手段
１３０、２３０…Ｘ線検出手段
１４０…画像生成手段
１４１…表示手段
１５０、２５０…制御手段
Ｗ…検査対象物

Claims (10)

1. 外部機器から所定の搬送速度で搬送されてくる検査対象物に電磁波を照射する電磁波照射手段と、
   前記検査対象物が搬送される方向に略直交する方向に直線状に設けられ、前記所定の搬送速度で搬送される前記検査対象物を透過した電磁波を所定の周期ごとに検出して、電磁波の強度に応じた電気信号を出力する電磁波検出手段と、
   前記所定の周期ごとに出力される前記電気信号に基づき直線状の電磁波透過画像を順次生成し、配列していくことで、前記検査対象物の二次元画像を生成する画像生成手段と、
   前記検査対象物の搬送速度の変化を検出した場合に、前記二次元画像の歪みが小さくなるように制御する制御手段と、
   を備える非破壊検査装置。
2. 前記制御手段は、前記所定の搬送速度と前記外部機器により出力される情報に基づき特定される実際の搬送速度との間で差異が生じた場合に、前記二次元画像の歪みが小さくなるように制御することを特徴とする請求項１に記載の非破壊検査装置。
3. 前記制御手段は、前記画像生成手段における前記二次元画像の生成の仕方を制御することで、前記二次元画像の歪みを小さくすることを特徴とする請求項２に記載の非破壊検査装置。
4. 前記制御手段は、前記所定の周期ごとの直線状の電磁波透過画像を順次配列して生成した画像を前記所定の搬送速度に対する前記実際の搬送速度の大小の程度に応じて拡縮して前記二次元画像を生成するように、前記画像生成手段を制御することを特徴とする請求項３に記載の非破壊検査装置。
5. 前記制御手段は、前記実際の搬送速度が前記所定の搬送速度に対して低下した場合に低下の程度に応じ、前記所定の周期ごとの前記電気信号のうち一部の周期の前記電気信号を間引き、残りの周期の前記電気信号について前記電磁波透過画像を生成するように、前記画像生成手段を制御することを特徴とする請求項３に記載の非破壊検査装置。
6. 前記制御手段は、前記実際の搬送速度が前記所定の搬送速度に対して低下した場合に低下の程度に応じ、互いに隣接する２以上の検出周期の前記電気信号の強度を算術処理することにより１の直線状の電磁波透過画像を生成するように、前記画像生成手段を制御することを特徴とする請求項３に記載の非破壊検査装置。
7. 前記算術処理は平均であることを特徴とする請求項６に記載の非破壊検査装置。
8. 前記制御手段は、前記検査対象物を透過した電磁波を検出する周期を前記実際の搬送速度の増減の程度に応じて短長させるように、前記電磁波検出手段を制御することを特徴とする請求項２に記載の非破壊検査装置。
9. 前記外部機器により出力される情報は、前記外部機器の搬送手段を駆動させる回転軸の単位時間あたりの回転量に応じた周期で出力されるパルスであり、
   前記制御手段は、前記パルスの出力周期の変化の程度から、前記実際の搬送速度の増減の程度を把握する
   ことを特徴とする請求項２から８のいずれか１項に記載の非破壊検査装置。
10. 前記実際の搬送速度にかかわらず、前記検査対象物を透過した電磁波を検出する各周期における前記電磁波検出手段の露光時間が一定であることを特徴とする請求項２から９のいずれか１項に記載の非破壊検査装置。

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