JP2018193265A - オゾンガス発生装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1はこの発明の実施の形態1であるオゾンガス発生装置の構成を示すブロック図である。
一般にオゾン生成量OZ[g/h]はオゾン(ガス)濃度をOC[g/m3]、原料ガス995の原料ガス流量をGF[L/min]とすると、以下の式(1)で表される。
式(1)からオゾン濃度が一定の場合、原料ガス流量GFを高めることにより、オゾン生成量OZを高めることができる。
本実施の形態では、原料ガス995を高純度酸素ガス、生成ガスをオゾンガス996(オゾン化酸素ガス)としているが、オゾン発生器1の発生器内圧力と原料ガス流量GFと生成される特定ガス生成濃度の関係は、原料ガスをその他の酸素ガス、水素ガス、窒素ガス、フッ素ガスとし、発生器で生成する特定ガスをオゾンガス996以外の酸素ラジカル化ガス、水素ラジカル化ガス、窒素ラジカル化ガス、フッ素ラジカル化ガスとしたシステムに対しても、上述した関係性(検証結果(a) 〜(c) ,第1及び第2の圧力傾向に類似した傾向)を検知することができれば、図8で示したフローチャートに沿って、濃度等の特性を所望の範囲で満足する、オゾンガス以外の生成ガス発生装置に適用可能である。
2 オゾン電源
3 MFC
4 APC
5 圧力制御部
11,12 電極構成部
11a,12a 電極
11b,12b 誘電体層
Claims (6)
- 互いに対向して設けられる第1及び第2の電極構成部を有し、酸素ガスを含む原料ガスを入力し、オゾンガスを出力するオゾン発生器を備え、前記第1の電極構成部は第1の電極を有し、前記第2の電極構成部は第2の電極を有し、前記第1及び第2の電極のうち少なくとも一つの電極上に誘電体層が設けられ、
前記第1及び第2の電極構成部に交流電圧を印加する交流電源部をさらに備え、前記交流電源部による前記交流電圧の印加により、前記第1及び第2の電極構成部間に放電空間が形成され、前記放電空間に供給された前記原料ガスが活性化することにより前記オゾンガスが得られ、
前記原料ガスの流量を検出ガス流量として検出する流量検出手段と、
圧力制御信号に基づき、前記オゾン発生器内の圧力である発生器内圧力を制御する圧力調整手段と、
前記検出ガス流量に基づき決定圧力値を決定し、前記発生器内圧力を前記決定圧力値とすることを指示する前記圧力制御信号を前記圧力調整手段に出力する圧力制御部とをさらに備える、
オゾンガス発生装置。 - 請求項1記載のオゾンガス発生装置であって、
前記圧力制御部は、
前記検出ガス流量に基づき、下限圧力値及び上限圧力値を規定した許容圧力範囲内において、前記決定圧力値を決定する、
オゾンガス発生装置。 - 請求項2記載のオゾンガス発生装置であって、
前記下限圧力値は0.20MPaであり、前記上限圧力値は0.30MPaである、
オゾンガス発生装置。 - 請求項2または請求項3記載のオゾンガス発生装置であって、
前記圧力制御部は、
前記検出ガス流量と比較基準ガス流量とを比較し、
前記検出ガス流量が前記比較基準ガス流量を下回る場合、前記許容圧力範囲内において、前記下限圧力値側の比較的低い圧力値を前記決定圧力値として決定し、
前記検出ガス流量が前記比較基準ガス流量を上回る場合、前記許容圧力範囲内において、前記上限圧力値側の比較的高い圧力値を前記決定圧力値として決定する、
オゾンガス発生装置。 - 請求項4記載のオゾンガス発生装置であって、
前記第1及び第2の電極構成部間の放電ギャップ長は、50μm〜150μmである、
オゾンガス発生装置。 - 請求項1から請求項5のうち、いずれか1項に記載のオゾンガス発生装置であって、
前記流量検出手段は、前記オゾン発生器の入力側に設けられるMFCであり、
前記圧力調整手段は、前記オゾン発生器の出力側に設けられるAPCである、
オゾンガス発生装置。
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