JP2018190905A - レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1には、レーザ装置100の全体構成が示されている。レーザ装置100は、レーザ媒質を励起してレーザ光LB1−1〜LB1−nを出力する複数のレーザ共振器1−1〜1−nと、複数のレーザ共振器1−1〜1−nに給電する電源部2と、複数のレーザ共振器1−1〜1−nからのレーザ光LB1−1〜LB1−nを合成する光コンバイナ3と、光コンバイナで合成されたレーザ光LB2を、光学レンズ9を介して集光して光ファイバ10に導光するファイバ結合器である光ファイバモジュール8と、光ファイバモジュール8の内部で光ファイバ10の導光端面からの散乱光を検出する光検出器11と、光コンバイナ3と光ファイバモジュール8との間に配した恒温恒湿チャンバ4と、恒温恒湿チャンバ4の内部環境を所定の水蒸気量に調整するとともに、光検出器11の出力が所定の閾値を超えるか否かに基づいて光ファイバモジュール8の異常の有無を検知する異常検出処理を実行する制御部12と、を備えている。
2:電源部
3:光コンバイナ
4:恒温恒湿チャンバ
5:保護ウィンドウ
6:温湿度検出器
7:温度湿度調整器
8:光ファイバモジュール
9:光学レンズ
10:光ファイバ
11:光検出器
12:制御部
100:レーザ装置
LB1−1〜1−n:レーザ光
LB2、LB3、LB4、LB5、LB6:レーザ光
Claims (10)
- レーザ媒質を励起してレーザ光を出力するレーザ共振器と、
前記レーザ共振器に給電する電源部と、
前記レーザ共振器から出射されたレーザ光を、光学レンズを介して集光して光ファイバに導光する光ファイバモジュールと、
前記光ファイバの導光端面からの散乱光を検出する光検出器と、
前記レーザ共振器と前記光ファイバモジュールとの間に配された恒温恒湿チャンバと、
前記恒温恒湿チャンバ内部を所定の水蒸気量に調整するとともに、前記光検出器の出力が所定の閾値を超えるか否かに基づいて前記光ファイバモジュールの異常の有無を検知する異常検出処理を実行する制御部と、
を備えている、レーザ装置。 - レーザ媒質を励起してレーザ光を出力する複数のレーザ共振器と、
前記複数のレーザ共振器に給電する電源部と、
前記複数のレーザ共振器から出射されたレーザ光を合成する光コンバイナと、
前記光コンバイナで合成されたレーザ光を、光学レンズを介して集光して光ファイバに導光する光ファイバモジュールと、
前記光ファイバの導光端面からの散乱光を検出する光検出器と、
前記光コンバイナと前記光ファイバモジュールとの間に配された恒温恒湿チャンバと、
前記恒温恒湿チャンバ内部を所定の水蒸気量に調整するとともに、前記光検出器の出力が所定の閾値を超えるか否かに基づいて前記光ファイバモジュールの異常の有無を検知する異常検出処理を実行する制御部と、
を備えている、レーザ装置。 - 前記所定の水蒸気量は、前記恒温恒湿チャンバ内部の水蒸気量と前記光検出器の出力との相関関係に基づいて定められる値である、請求項1または2に記載のレーザ装置。
- 前記所定の水蒸気量は、前記光検出器の出力が最小値を示す水蒸気量である、請求項3に記載のレーザ装置。
- 前記所定の水蒸気量は、前記恒温恒湿チャンバ内の飽和水蒸気量より低い値に設定されている、請求項1〜4のいずれか一項に記載のレーザ装置。
- 前記恒温恒湿チャンバに接続される温度湿度調整器と、
前記恒温恒湿チャンバ内部の温度と相対湿度を検出する温湿度検出器と、をさらに備え、
前記制御部は、前記電源部を介して前記レーザ共振器から出射されるレーザ光の強度を所定値に制御した状態で、前記温度湿度調整器を介して前記恒温恒湿チャンバ内部の水蒸気量を可変制御したときの、前記温湿度検出器の出力および前記光検出器の出力のサンプリング値に基づいて前記恒温恒湿チャンバ内部の水蒸気量と前記光検出器の出力との相関関係を求め、当該相間関係から前記光検出器の検出値が最小値となる水蒸気量を前記所定の水蒸気量として定める水蒸気量設定処理を実行する、請求項1〜5のいずれか一項に記載のレーザ装置。 - 前記制御部は、所定条件を満たす場合にのみ、前記水蒸気量設定処理を実行する、請求項6に記載のレーザ装置。
- 前記所定の閾値は、前記水蒸気量設定処理で求められる前記光検出器の検出値の最小値の2〜4倍の値に設定される、請求項6または7に記載のレーザ装置。
- 前記光検出器で検出される散乱光の光強度が前記所定の閾値を超えると、前記制御部は前記電源部の出力を停止する動作停止処理を実行する、請求項1〜8のいずれか一項に記載のレーザ装置。
- 前記光検出器で検出される散乱光の光強度が前記所定の閾値を超えると、前記制御部はレーザ装置の外部に警報を発する発報処理を実行する、請求項1〜8のいずれか一項に記載のレーザ装置。
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JP2017094274A JP6868796B2 (ja) | 2017-05-10 | 2017-05-10 | レーザ装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021140969A1 (ja) * | 2020-01-09 | 2021-07-15 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ出力制御方法及びレーザ加工装置 |
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- 2017-05-10 JP JP2017094274A patent/JP6868796B2/ja active Active
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JP6868796B2 (ja) | 2021-05-12 |
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