JP2018188616A - ポリマー - Google Patents
ポリマー Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018188616A JP2018188616A JP2018073687A JP2018073687A JP2018188616A JP 2018188616 A JP2018188616 A JP 2018188616A JP 2018073687 A JP2018073687 A JP 2018073687A JP 2018073687 A JP2018073687 A JP 2018073687A JP 2018188616 A JP2018188616 A JP 2018188616A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- polymer
- structural unit
- crosslinkable
- solvent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F232/00—Copolymers of cyclic compounds containing no unsaturated aliphatic radicals in a side chain, and having one or more carbon-to-carbon double bonds in a carbocyclic ring system
- C08F232/08—Copolymers of cyclic compounds containing no unsaturated aliphatic radicals in a side chain, and having one or more carbon-to-carbon double bonds in a carbocyclic ring system having condensed rings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F222/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a carboxyl radical and containing at least one other carboxyl radical in the molecule; Salts, anhydrides, esters, amides, imides, or nitriles thereof
- C08F222/36—Amides or imides
- C08F222/40—Imides, e.g. cyclic imides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2500/00—Characteristics or properties of obtained polyolefins; Use thereof
- C08F2500/25—Cycloolefine
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Abstract
Description
これに対して、ノルボルネン骨格およびN−置換マレイミド構造の耐熱性に優れた構造を採用し、ノルボルネン骨格およびN−置換マレイミド構造からなる非架橋性構造単位をポリマーに用いることにより、誘電率を低減できることを見出し、本発明を完成するに至った。
架橋性基を有しないノルボルネン由来の構造単位と、架橋性基を有しないN−置換マレイミド由来の構造単位とからなる非架橋性構造単位を含む、ポリマーが提供される。
本実施形態のポリマーの概要を説明する。
本実施形態のポリマーは、架橋性基を有しないノルボルネン由来の構造単位と、架橋性基を有しないN−置換マレイミド由来の構造単位とからなる非架橋性構造単位を含むことができる。
本実施形態のポリマーは、ノルボルネン由来の構造単位とN−置換マレイミド由来の構造単位とを含む共重合体で構成することができる。また、上記ポリマーは、架橋性基を有しないノルボルネン由来の構造単位と架橋性基を有しないN−置換マレイミド由来の構造単位とからなる非架橋性構造単位の繰り返し構造を含有できる。
上記炭化水素基またはアルキル基の炭素数を上記下限値以上とすることにより、誘電率を低減することができる。また、炭化水素系溶剤などの非極性溶剤に対する溶剤溶解性を高めることができる。一方で、この炭素数を上記上限値以下とすることにより、耐熱性を高めることができる。
上記炭素数が1〜15のアルキル基は、炭素数が1〜13でもよく、炭素数が1〜10でもよい。例えば、炭素数1〜10のアルキル基としては、たとえば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、およびデシル基等が挙げられる。
上記炭素数6〜14のアリール基は、炭素数が6〜12でもよく、炭素数が6〜10でもよい。例えば、炭素数6〜10のアリール基としては、たとえばフェニル基、およびナフチル基等が挙げられる。
上記炭素数3〜12のシクロアルキル基は、炭素数が3〜11でもよく、炭素数3〜10がでもよい。例えば、炭素数3〜10のシクロアルキル基としては、アダマンチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、およびシクロオクチル基等が挙げられる。
このように、GPCにより得られる分子量分布曲線の分子量1000以下におけるピーク面積の比率を上記範囲とすることにより、ポリマーを含む樹脂組成物からなる膜のパターン形状を良好なものとすることができる。そのため、当該膜を永久膜として備える液晶表示装置、固体撮像素子については、その動作信頼性を向上させることが可能となる。
なお、ポリマーにおける低分子量成分の量の下限は、特に限定されない。しかし、本実施形態におけるポリマーは、GPCにより得られる分子量分布曲線において分子量1000以下におけるピーク面積が全体の0.01%以上である場合を許容するものである。
東ソー社製ゲルパーミエーションクロマトグラフィー装置HLC−8320GPC
カラム:東ソー社製TSK−GEL Supermultipore HZ−M
検出器:液体クロマトグラム用RI検出器
測定温度:40℃
溶剤:THF
試料濃度:2.0mg/ミリリットル
また、ポリマー中における低分子量成分量は、たとえばGPC測定により得られた分子量に関するデータに基づき、分子量分布全体の面積に占める、分子量1000以下に該当する成分の面積総和の割合から算出される。
(上記式中、E’minは貯蔵弾性率E’の最小値、Φはフロント係数(Φ≒1)、Rは気体定数8.31451(J/mol・K)、TはE’minの絶対温度を表す。)
溶剤溶解量変化率(%)=(([浸漬前の測定用サンプルの重量(g)]−[浸漬後の測定用サンプルの重量(g)])/[浸漬前の測定用サンプルの重量(g)])×100
まず、モノマーとして、例えば、所定のノルボルネン系モノマーとマレイミド系モノマーとを用意する。
また、必要に応じて分子量調整剤や連鎖移動剤を使用する事ができる。連鎖移動剤としては、例えば、ドデシルメルカプタン、メルカプトエタノール、4,4−ビス(トリフルオロメチル)−4−ヒドロキシ−1−メルカプトブタン等のチオール化合物を挙げることができる。これらの連鎖移動剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
このようにして得られた共重合体を含む反応液を、例えば、ヘキサンやメタノール等のアルコール中に添加してポリマーを析出させる。次いで、ポリマーを濾取し、例えば、ヘキサンやメタノール等のアルコール等により洗浄した後、これを乾燥させる。本実施形態においては、たとえばこのようにしてポリマーを合成することができる。
本実施形態の樹脂組成物は、上記ポリマーおよび溶剤を含むことができる。
また、上記炭化水素は、飽和炭化水素または不飽和炭化水素のいずれでもよい。上記環状炭化水素は、単環または複環を有していてもよく、2以上の環が縮合した縮合多環構造を有していてもよい。この環状炭化水素中の環は、脂環でも芳香族環でもよく、例えば、3員環以上であり、5〜8員環としてもよく、好ましくは5員環または6員環でもよい。この縮合多環式炭化水素の縮合数は、例えば、2〜10でもよい。これらを単独で用いても2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(実施例1:ポリマー1(BuNB/cyMIポリマー)の合成)
撹拌機、冷却管を備えた適切なサイズの反応容器に、5−ブチル−2−ノルボルネン(1126.1g、7.5mol)、N−シクロヘキシルマレイミド(1342.5g、7.5mol)、および2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオニトリル)(123.2g、0.75mol)を計量し、メチルエチルケトンに溶解させた。この溶解液に対して、窒素バブリングにより系内の溶存酸素を除去した後、撹拌しつつ70℃到達後、16時間温度を維持して反応を進行させた。これにより、5−ブチル−2−ノルボルネン/N−シクロヘキシルマレイミド共重合体を得た。
得られた5−ブチル−2−ノルボルネン/N−シクロヘキシルマレイミド共重合体を、ヘキサンを貧溶剤として再沈殿を行い、ブフナーろ過で5−ブチル−2−ノルボルネン/N−シクロヘキシルマレイミド共重合体と貧溶剤を分離した後、真空加熱乾燥を行い精製した5−ブチル−2−ノルボルネン/N−シクロヘキシルマレイミド共重合体を1600g得ることができた。
なお得られたポリマー1の重量平均分子量(Mw)は8700であり、分散度(重量平均分子量Mw/数平均分子量Mn)は2.5であった。
5−ブチル−2−ノルボルネンに代えて、5−デシル−2−ノルボルネンを用いた以外は、実施例1と同様にして、5−デシル−2−ノルボルネン/N−シクロヘキシルマレイミド共重合体(ポリマー2)を得た。
なお得られたポリマー2の重量平均分子量(Mw)は10,000であり、分散度(重量平均分子量Mw/数平均分子量Mn)は2.7であった。
5−ブチル−2−ノルボルネンに代えて、5−ヘキシル−2−ノルボルネンを用いた以外は、実施例1と同様にして、5−ヘキシル−2−ノルボルネン/N−シクロヘキシルマレイミド共重合体(ポリマー3)を得た。
なお得られたポリマー3の重量平均分子量(Mw)は9,300であり、分散度(重量平均分子量Mw/数平均分子量Mn)は2.6であった。
撹拌装置、還流冷却器及び温度計を備えた反応装置中に、29.5g(3−エチルオキセタン−3−イル)メチルビシクロ[2.2.1]ヘプタ−5−エン−2−カルボキシレート(0.125mol)と、12.13gの2,5−ピロールジオン(0.125mol)、開始剤として、4.32gのジメチル2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)とを計量し、52gのメチルエチルケトンに溶解させた。次に、得られた溶解液に対して窒素バブリングを実施することにより、系内の溶存酸素を除去してから、70℃、15時間の条件で熱処理を施した。反応後の容器を大過剰のヘキサンに再沈、さらに乾燥させることで、下記式で示した構造を有する共重合体を得た。
なお得られたポリマー4の重量平均分子量(Mw)は6,000であり、分散度(重量平均分子量Mw/数平均分子量Mn)は2.3であった。
東ソー(株)社製ゲルパーミエーションクロマトグラフィー装置HLC−8320GPC
カラム:東ソー(株)社製TSK−GEL Supermultipore HZ−M
検出器:液体クロマトグラム用RI検出器
測定温度:40℃
溶剤:THF
試料濃度:2.0mg/ミリリットル
得られたポリマー1〜3を溶剤(メチルアミルケトン、沸点:151℃)に溶解し、得られた樹脂ワニスを用いて、アルミ板に1.5〜2μmの厚みで塗膜を作り、当該塗膜に対して、161℃の加熱温度で6時間加熱処理することにより、測定用サンプル1〜3を得た。
また、得られたポリマー4のメチルアミルケトン溶液(ポリマー4の固形分30%)100部に対して、熱酸発生剤としてSI−110を2部添加し、得られた組成物を基材上に塗工し、得られた塗膜に対して、160℃、6時間で硬化させることにより、測定サンプル4を得た。
得られた測定用サンプル1〜4の約3mgを標準的アルミニウム製TA−Instrumentサンプルパンに移した。サンプルパンを蓋で閉鎖し、そして、RCS冷却装置を装備したTA−Instruments DSC 2920 Modulated DSCを用いて、下記の条件にて、窒素下で測定を行い、DSC曲線を記録した。得られたDSC曲線からガラス転移温度(Tg)を算出した。単位は℃である。結果を表1に示す。なお、表1中の「−」は、硬化によって、Tgが測定できなかったことを示す。
変調:熱のみ60秒
周期:±2℃
傾斜:5℃/分
最終温度:300℃
得られた測定用サンプル1〜4を、Seiko Instruments(株)、TG/DTA6200型を用いて、窒素雰囲気下、昇温速度が10℃/分、室温〜500℃の測定温度の条件で、熱重量測定を行い、熱重量減少率を示す熱重量減少率曲線を得た。得られた熱重量減少率曲線から、重量減少率が5%のときの5%重量減少温度(Td5)を算出した。単位は℃である。結果を表1に示す。
得られた測定用サンプル1〜4の1g(1cm角の立方体)を、液温25℃の100ccの、表1に示す溶剤に浸漬させ、10分後に取り出して、当該溶剤を真空乾燥で除去し、測定用サンプルの重量を測定した。得られた測定結果から、上記溶剤に対する溶剤溶解量変化率(%)は、下記式から算出した。
溶剤溶解量変化率(%)=(([浸漬前の測定用サンプルの重量(g)]−[浸漬後の測定用サンプルの重量(g)])/[浸漬前の測定用サンプルの重量(g)])×100
表1中、溶剤に対する溶解量変化率(%)が、80%以上100%以下のときを○とし、30%以上80%未満のときを△とし、30%未満のときを×とした。評価結果を表1に示す。
得られた測定用サンプル1〜4について、HEWLETT PACKARD社製LCRメーター 4284Aを用いて、室温25℃における、周波数1MHzにおける誘電率を測定した。評価結果を表1に示す。
得られた測定用サンプル1〜4を用いて、室温25℃における、下記式nで表される架橋密度を算出した。
式n:架橋密度(mol/m3)=E’min/3ΦRT
(上記式中、E’minは貯蔵弾性率E’の最小値、Φはフロント係数(Φ≒1)、Rは気体定数8.31451(J/mol・K)、TはE’minの絶対温度を表す。)
表1中、架橋密度が1以下のときを○とし、1超えのときを×とした。評価結果を表1に示す。
Claims (6)
- 架橋性基を有しないノルボルネン由来の構造単位と、架橋性基を有しないN−置換マレイミド由来の構造単位とからなる非架橋性構造単位を含む、ポリマー。
- 請求項2に記載のポリマーであって、
前記非架橋性構造単位は、上記一般式(1)中、R1、R2、R3およびR4の少なくとも一つが、炭素数1〜10のアルキル基を有する前記ノルボルネン由来の構造単位を備える、ポリマー。 - 請求項4に記載のポリマーであって、
前記非架橋性構造単位は、上記一般式(2)中のR6が炭素数3〜8のシクロアルキル基を有する前記N−置換マレイミド由来の構造単位を備える、ポリマー。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載のポリマーであって、
当該ポリマーのガラス転移温度(Tg)が140℃以上である、ポリマー。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017090353 | 2017-04-28 | ||
JP2017090353 | 2017-04-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018188616A true JP2018188616A (ja) | 2018-11-29 |
JP7206616B2 JP7206616B2 (ja) | 2023-01-18 |
Family
ID=64363388
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018073687A Active JP7206616B2 (ja) | 2017-04-28 | 2018-04-06 | ポリマー |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7206616B2 (ja) |
KR (1) | KR20180121380A (ja) |
TW (1) | TWI830699B (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002327022A (ja) * | 2001-05-01 | 2002-11-15 | Nippon Shokubai Co Ltd | フッ素含有マレイミド系共重合体 |
JP2003327630A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-19 | Jsr Corp | 環状オレフィン系共重合体 |
JP2008518276A (ja) * | 2004-10-26 | 2008-05-29 | イーストマン コダック カンパニー | 耐溶剤性画像形成性要素 |
JP2013049739A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Kuraray Co Ltd | 炭化水素系共重合体およびその製造方法、並びに成形体 |
-
2018
- 2018-04-06 JP JP2018073687A patent/JP7206616B2/ja active Active
- 2018-04-24 TW TW107113767A patent/TWI830699B/zh active
- 2018-04-25 KR KR1020180047653A patent/KR20180121380A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002327022A (ja) * | 2001-05-01 | 2002-11-15 | Nippon Shokubai Co Ltd | フッ素含有マレイミド系共重合体 |
JP2003327630A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-19 | Jsr Corp | 環状オレフィン系共重合体 |
JP2008518276A (ja) * | 2004-10-26 | 2008-05-29 | イーストマン コダック カンパニー | 耐溶剤性画像形成性要素 |
JP2013049739A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Kuraray Co Ltd | 炭化水素系共重合体およびその製造方法、並びに成形体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI830699B (zh) | 2024-02-01 |
KR20180121380A (ko) | 2018-11-07 |
JP7206616B2 (ja) | 2023-01-18 |
TW201843200A (zh) | 2018-12-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2731994B1 (en) | Polymer and compositions thereof for forming patterned layers after image-wise exposure to actinic radiation | |
WO2018212116A1 (ja) | リソグラフィー用膜形成材料、リソグラフィー用膜形成用組成物、リソグラフィー用下層膜及びパターン形成方法 | |
CN102449005A (zh) | 含氟高支化聚合物和包含该聚合物的树脂组合物 | |
TW201922820A (zh) | 來自含乙烯基芳基環丁烯單體之低溫可固化加成聚合物及其製備方法 | |
JP6726281B2 (ja) | ノルボルナジエン及び無水マレイン酸由来の重合体並びにその利用 | |
WO2017154439A1 (ja) | ポリマーの製造方法、ネガ型感光性樹脂組成物の製造方法、樹脂膜の製造方法、電子装置の製造方法およびポリマー | |
KR20180003564A (ko) | 영구적인 유전체로서 말레이미드 및 시클로올레핀 단량체의 중합체 | |
JP7206616B2 (ja) | ポリマー | |
JP6661929B2 (ja) | ネガ型感光性樹脂組成物、樹脂膜および電子装置 | |
Chattopadhyay et al. | Thermal stability and dynamic mechanical behavior of acrylic resin and acrylic melamine coatings | |
JP7265483B2 (ja) | 変性ポリオレフィン樹脂組成物及びその製造方法 | |
JP6770071B2 (ja) | 光酸発生剤及び塩基を含有する永久誘電体組成物 | |
JP2019200244A (ja) | リソグラフィー用膜形成材料、リソグラフィー用膜形成用組成物、リソグラフィー用下層膜及びパターン形成方法 | |
US9260554B2 (en) | Copolymer, monomer composition, resin solution, and resin film | |
JP7322372B2 (ja) | ポリマー、樹脂組成物、及び、樹脂膜 | |
JP2018016713A (ja) | ヒドロキシスチレン系重合体およびその製造方法 | |
JP2020070340A (ja) | ポリマー、樹脂組成物、及び、樹脂膜 | |
JP2018115249A (ja) | 樹脂組成物、感光性樹脂組成物、樹脂膜および電子装置 | |
JP7383921B2 (ja) | ポリマー含有組成物、ポリマーおよびポリマーの製造方法 | |
TWI834839B (zh) | 形成阻劑下層膜之組成物 | |
JP2020139067A (ja) | 樹脂ワニス | |
JP2020139068A (ja) | 樹脂ワニス | |
Subramanian et al. | Synthesis and characterization of photosensitive copolymers of 4‐(4′‐nitrocinnamoyl) phenyl acrylate and glycidyl methacrylate | |
JP4417751B2 (ja) | 重合体 | |
CN113544586A (zh) | 抗蚀剂下层膜形成用组合物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210304 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220214 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20220614 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220914 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20220914 |
|
C11 | Written invitation by the commissioner to file amendments |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C11 Effective date: 20220927 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20221005 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20221011 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221219 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7206616 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |