図1は、本発明の一の実施形態に係るダイシングダイボンドフィルムXの断面模式図である。ダイシングダイボンドフィルムXは、ダイシングテープ10と接着剤層20とを含む積層構造を有する。ダイシングテープ10は、基材11と粘着剤層12とを含む積層構造を有する。接着剤層20は、ダイシングテープ10の粘着剤層12に剥離可能に密着している。ダイシングダイボンドフィルムXは、半導体装置の製造において接着剤層付き半導体チップを得る過程での例えば後記のようなエキスパンド工程に使用することのできるものであり、半導体ウエハ等のワークに対応するサイズの円盤形状を有する。ダイシングダイボンドフィルムXの直径は、例えば、345〜380mmの範囲内(12インチウエハ対応型)、245〜280mmの範囲内(8インチウエハ対応型)、195〜230mmの範囲内(6インチウエハ対応型)、または、495〜530mmの範囲内(18インチウエハ対応型)にある。
ダイシングダイボンドフィルムXにおける下記の第1試験片について初期チャック間距離20mm、−15℃、および引張速度300mm/分の条件で行われる引張試験にて歪み値30%で生ずる第1引張応力は、好ましくは5N以上、より好ましくは8N以上、より好ましくは10N以上である。下記の第2試験片について前記と同一の条件(初期チャック間距離20mm,−15℃,引張速度300mm/分の条件)で行われる引張試験にて歪み値30%で生ずる第2引張応力は、好ましくは5N以上、より好ましくは8N以上、より好ましくは10N以上である。これら第1引張応力および第2引張応力は、それぞれ、好ましくは28N以下、より好ましくは25N以下、より好ましくは20N以下である。また、第1引張応力(−15℃)に対する第2引張応力(−15℃)の比の値は、0.9〜1.1であり、好ましくは0.95〜1.05である。ダイシングダイボンドフィルムXから切り出される第1試験片の長さ方向は、ダイシングダイボンドフィルムXについてのいわゆるMD方向でもよいし、これに直交するTD方向でもよいし、他の方向でもよい。ダイシングダイボンドフィルムXから切り出される第2試験片の長さ方向は、第1試験片の長さ方向と同じとされる。また、引張応力については、引張試験機(商品名「オートグラフAGS-J」,株式会社島津製作所製)を使用して測定することができる。
〔第1試験片〕
ダイシングダイボンドフィルムXにおける外周端から内方20mmまでの外側領域R1から切り出される、一の方向に延びる50mmの長さと10mmの幅を有する試験片
〔第2試験片〕
ダイシングダイボンドフィルムXにおける外側領域R1よりも内方の内側領域R2から切り出される、前記一の方向に延びる50mmの長さと10mmの幅を有する試験片
また、ダイシングダイボンドフィルムXにおける第1試験片について初期チャック間距離20mm、23℃、および引張速度300mm/分の条件で行われる引張試験にて歪み値30%で生ずる第3引張応力、および、第2試験片について同一条件(初期チャック間距離20mm,23℃,引張速度300mm/分の条件)で行われる引張試験にて歪み値30%で生ずる第4引張応力は、それぞれ、好ましくは1N以上、より好ましくは3N以上、より好ましくは5N以上である。これら第3引張応力および第4引張応力は、それぞれ、好ましくは20N以下、より好ましくは15N以下、より好ましくは10N以下である。また、第3引張応力(23℃)に対する第4引張応力(23℃)の比の値は、好ましくは0.95〜1.05である。
ダイシングテープ10の基材11は、ダイシングテープ10ないしダイシングダイボンドフィルムXにおいて支持体として機能する要素である。基材11は、例えばプラスチック基材(特にプラスチックフィルム)を好適に用いることができる。当該プラスチック基材の構成材料としては、例えば、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリアミド、全芳香族ポリアミド、ポリフェニルスルフィド、アラミド、フッ素樹脂、セルロース系樹脂、およびシリコーン樹脂が挙げられる。ポリオレフィンとしては、例えば、低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、ランダム共重合ポリプロピレン、ブロック共重合ポリプロピレン、ホモポリプロピレン、ポリブテン、ポリメチルペンテン、エチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)、アイオノマー樹脂、エチレン−(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸エステル共重合体、エチレン−ブテン共重合体、およびエチレン−ヘキセン共重合体が挙げられる。ポリエステルとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート、およびポリブチレンテレフタレート(PBT)が挙げられる。基材11は、一種類の材料からなってもよいし、二種類以上の材料からなってもよい。基材11は、単層構造を有してもよいし、多層構造を有してもよい。基材11において良好な熱収縮性を確保して、後記の離間用エキスパンド工程にて実現されるチップ離間距離をダイシングテープ10ないし基材11の部分的熱収縮を利用して維持するという観点からは、基材11は、主成分としてエチレン−酢酸ビニル共重合体を含むのが好ましい。基材11の主成分とは、構成成分中で最も大きな質量割合を占める成分とする。また、基材11は、プラスチックフィルムよりなる場合、無延伸フィルムであってもよいし、一軸延伸フィルムであってもよいし、二軸延伸フィルムであってもよい。基材11上の粘着剤層12が後述のように紫外線硬化型である場合、基材11は紫外線透過性を有するのが好ましい。
ダイシングダイボンドフィルムXの使用に際してダイシングテープ10ないし基材11を例えば部分的な加熱によって収縮させる場合、例えば、後記の離間用エキスパンド工程にて実現されるチップ離間距離をダイシングテープ10ないし基材11の部分的熱収縮を利用して維持する場合には、基材11は熱収縮性を有するのが好ましい。また、基材11がプラスチックフィルムよりなる場合、ダイシングテープ10ないし基材11について等方的な熱収縮性を実現するうえでは、基材11は二軸延伸フィルムであるのが好ましい。ダイシングテープ10ないし基材11は、加熱温度100℃および加熱処理時間60秒の条件で行われる加熱処理試験による熱収縮率が好ましくは2〜30%、より好ましくは2〜25%、より好ましくは3〜20%、より好ましくは5〜20%である。当該熱収縮率は、いわゆるMD方向の熱収縮率およびいわゆるTD方向の熱収縮率の少なくとも一方の熱収縮率をいうものとする。
基材11における粘着剤層12側の表面は、粘着剤層12との密着性を高めるための物理的処理、化学的処理、または下塗り処理が施されていてもよい。物理的処理としては、例えば、コロナ処理、プラズマ処理、サンドマット加工処理、オゾン暴露処理、火炎暴露処理、高圧電撃暴露処理、およびイオン化放射線処理が挙げられる。化学的処理としては例えばクロム酸処理が挙げられる。密着性を高めるための当該処理は、基材11における粘着剤層12側の表面全体に施されているのが好ましい。
基材11の厚さは、ダイシングテープ10ないしダイシングダイボンドフィルムXにおける支持体として基材11が機能するための強度を確保するという観点からは、好ましくは40μm以上、より好ましくは50μm以上、より好ましくは55μm以上、より好ましくは60μm以上である。また、ダイシングテープ10ないしダイシングダイボンドフィルムXにおいて適度な可撓性を実現するという観点からは、基材11の厚さは、好ましくは200μm以下、より好ましくは180μm以下、より好ましくは150μm以下である。
ダイシングテープ10の粘着剤層12は、粘着剤を含有する。粘着剤は、放射線照射や加熱など外部からの作用によって意図的に粘着力を低減させることが可能な粘着剤(粘着力低減型粘着剤)であってもよいし、外部からの作用によっては粘着力がほとんど又は全く低減しない粘着剤(粘着力非低減型粘着剤)であってもよく、ダイシングダイボンドフィルムXを使用して個片化される半導体チップの個片化の手法や条件などに応じて適宜に選択することができる。
粘着剤層12中の粘着剤として粘着力低減型粘着剤を用いる場合、ダイシングダイボンドフィルムXの製造過程や使用過程において、粘着剤層12が相対的に高い粘着力を示す状態と相対的に低い粘着力を示す状態とを、使い分けることが可能となる。例えば、ダイシングダイボンドフィルムXの製造過程でダイシングテープ10の粘着剤層12に接着剤層20を貼り合わせる時や、ダイシングダイボンドフィルムXが所定のウエハダイシング工程に使用される時には、粘着剤層12が相対的に高い粘着力を示す状態を利用して粘着剤層12からの接着剤層20など被着体の浮きや剥離を抑制・防止することが可能となる一方で、それより後、ダイシングダイボンドフィルムXのダイシングテープ10から接着剤層付き半導体チップをピックアップするためのピックアップ工程では、粘着剤層12の粘着力を低減させたうえで、粘着剤層12から接着剤層付き半導体チップを適切にピックアップすることが可能となる。
このような粘着力低減型粘着剤としては、例えば、放射線硬化型粘着剤(放射線硬化性を有する粘着剤)や加熱発泡型粘着剤などが挙げられる。本実施形態の粘着剤層12においては、一種類の粘着力低減型粘着剤が用いられてもよいし、二種類以上の粘着力低減型粘着剤が用いられてもよい。また、粘着剤層12の全体が粘着力低減型粘着剤から形成されてもよいし、粘着剤層12の一部が粘着力低減型粘着剤から形成されてもよい。例えば、粘着剤層12が単層構造を有する場合、粘着剤層12の全体が粘着力低減型粘着剤から形成されてもよいし、粘着剤層12における所定の部位が粘着力低減型粘着剤から形成され、他の部位が粘着力非低減型粘着剤から形成されてもよい。また、粘着剤層12が積層構造を有する場合、積層構造をなす全ての層が粘着力低減型粘着剤から形成されてもよいし、積層構造中の一部の層が粘着力低減型粘着剤から形成されてもよい。
粘着剤層12における放射線硬化型粘着剤としては、例えば、電子線、紫外線、α線、β線、γ線、またはX線の照射により硬化するタイプの粘着剤を用いることができ、紫外線照射によって硬化するタイプの粘着剤(紫外線硬化型粘着剤)を特に好適に用いることができる。
粘着剤層12における放射線硬化型粘着剤としては、例えば、アクリル系粘着剤たるアクリル系ポリマーなどのベースポリマーと、放射線重合性の炭素−炭素二重結合等の官能基を有する放射線重合性のモノマー成分やオリゴマー成分とを含有する、添加型の放射線硬化型粘着剤が挙げられる。
上記のアクリル系ポリマーは、好ましくは、アクリル酸エステルおよび/またはメタクリル酸エステルに由来するモノマーユニットを質量割合で最も多い主たるモノマーユニットとして含む。以下では、「(メタ)アクリル」をもって、「アクリル」および/または「メタクリル」を表す。
アクリル系ポリマーのモノマーユニットをなすための(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、(メタ)アクリル酸シクロアルキルエステル、(メタ)アクリル酸アリールエステルなどの炭化水素基含有(メタ)アクリル酸エステルが挙げられる。(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸のメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、s-ブチルエステル、t-ブチルエステル、ペンチルエステル、イソペンチルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエステル、2-エチルヘキシルエステル、イソオクチルエステル、ノニルエステル、デシルエステル、イソデシルエステル、ウンデシルエステル、ドデシルエステル(即ちラウリルエステル)、トリデシルエステル、テトラデシルエステル、ヘキサデシルエステル、オクタデシルエステル、およびエイコシルエステルが挙げられる。(メタ)アクリル酸シクロアルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸のシクロペンチルエステルおよびシクロヘキシルエステルが挙げられる。(メタ)アクリル酸アリールエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸フェニルおよび(メタ)アクリル酸ベンジルが挙げられる。アクリル系ポリマーのための主モノマーとしての(メタ)アクリル酸エステルとしては、一種類の(メタ)アクリル酸エステルを用いてもよいし、二種類以上の(メタ)アクリル酸エステルを用いてもよい。(メタ)アクリル酸エステルに依る粘着性等の基本特性を粘着剤層12にて適切に発現させるうえでは、アクリル系ポリマーを形成するための全モノマー成分における主モノマーとしての(メタ)アクリル酸エステルの割合は、好ましくは40質量%以上、より好ましくは60質量%以上である。
アクリル系ポリマーは、その凝集力や耐熱性などを改質するために、(メタ)アクリル酸エステルと共重合可能な他のモノマーに由来するモノマーユニットを含んでいてもよい。そのようなモノマー成分としては、例えば、カルボキシ基含有モノマー、酸無水物モノマー、ヒドロキシ基含有モノマー、グリシジル基含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー、アクリルアミド、およびアクリロニトリルなどの官能基含有モノマー等が挙げられる。カルボキシ基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチル(メタ)アクリレート、カルボキシペンチル(メタ)アクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、およびクロトン酸が挙げられる。酸無水物モノマーとしては、例えば、無水マレイン酸および無水イタコン酸が挙げられる。ヒドロキシ基含有モノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2-ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリル酸4-ヒドロキシブチル、(メタ)アクリル酸6-ヒドロキシヘキシル、(メタ)アクリル酸8-ヒドロキシオクチル、(メタ)アクリル酸10-ヒドロキシデシル、(メタ)アクリル酸12-ヒドロキシラウリル、および(4-ヒドロキシメチルシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレートが挙げられる。グリシジル基含有モノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸グリシジルおよび(メタ)アクリル酸メチルグリシジルが挙げられる。スルホン酸基含有モノマーとしては、例えば、スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、2-(メタ)アクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸、(メタ)アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル(メタ)アクリレート、および(メタ)アクリロイルオキシナフタレンスルホン酸が挙げられる。リン酸基含有モノマーとしては、例えば、2-ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートが挙げられる。アクリル系ポリマーのための当該他のモノマーとしては、一種類のモノマーを用いてもよいし、二種類以上のモノマーを用いてもよい。(メタ)アクリル酸エステルに依る粘着性等の基本特性を粘着剤層12にて適切に発現させるうえでは、アクリル系ポリマーを形成するための全モノマー成分における当該他のモノマー成分の割合は、好ましくは60質量%以下、より好ましくは40質量%以下である。
アクリル系ポリマーは、そのポリマー骨格中に架橋構造を形成するために、主モノマーとしての(メタ)アクリル酸エステルなどのモノマー成分と共重合可能な多官能性モノマーに由来するモノマーユニットを含んでいてもよい。そのような多官能性モノマーとして、例えば、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート(即ちポリグリシジル(メタ)アクリレート)、ポリエステル(メタ)アクリレート、およびウレタン(メタ)アクリレートが挙げられる。アクリル系ポリマーのための多官能性モノマーとしては、一種類の多官能性モノマーを用いてもよいし、二種類以上の多官能性モノマーを用いてもよい。アクリル系ポリマーを形成するための全モノマー成分における多官能性モノマーの割合は、(メタ)アクリル酸エステルに依る粘着性等の基本特性を粘着剤層12にて適切に発現させるうえでは、好ましくは40質量%以下、より好ましくは30質量%以下である。
アクリル系ポリマーは、それを形成するための原料モノマーを重合して得ることができる。重合手法としては、例えば、溶液重合、乳化重合、塊状重合、および懸濁重合が挙げられる。ダイシングテープ10ないしダイシングダイボンドフィルムXの使用される半導体装置製造方法における高度の清浄性の観点からは、ダイシングテープ10ないしダイシングダイボンドフィルムXにおける粘着剤層12中の低分子量物質は少ない方が好ましいところ、アクリル系ポリマーの数平均分子量は、好ましくは10万以上、より好ましくは20万〜300万である。
粘着剤層12ないしそれをなすための粘着剤は、アクリル系ポリマーなどベースポリマーの数平均分子量を高めるために例えば、外部架橋剤を含有してもよい。アクリル系ポリマーなどベースポリマーと反応して架橋構造を形成するための外部架橋剤としては、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合物、ポリオール化合物(ポリフェノール系化合物など)、アジリジン化合物、およびメラミン系架橋剤が挙げられる。粘着剤層12ないしそれをなすための粘着剤における外部架橋剤の含有量は、ベースポリマー100質量部に対して、好ましくは5質量部以下、より好ましくは0.1〜5質量部である。
放射線硬化型粘着剤をなすための上記の放射線重合性モノマー成分としては、例えば、ウレタン(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、および1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレートが挙げられる。放射線硬化型粘着剤をなすための上記の放射線重合性オリゴマー成分としては、例えば、ウレタン系、ポリエーテル系、ポリエステル系、ポリカーボネート系、ポリブタジエン系など種々のオリゴマーが挙げられ、分子量100〜30000程度のものが適当である。放射線硬化型粘着剤中の放射線重合性のモノマー成分やオリゴマー成分の総含有量は、形成される粘着剤層12の粘着力を適切に低下させ得る範囲で決定され、アクリル系ポリマーなどのベースポリマー100質量部に対して、例えば5〜500質量部であり、好ましくは40〜150質量部である。また、添加型の放射線硬化型粘着剤としては、例えば特開昭60−196956号公報に開示のものを用いてもよい。
粘着剤層12における放射線硬化型粘着剤としては、例えば、放射線重合性の炭素−炭素二重結合等の官能基をポリマー側鎖や、ポリマー主鎖中、ポリマー主鎖末端に有するベースポリマーを含有する内在型の放射線硬化型粘着剤も挙げられる。このような内在型の放射線硬化型粘着剤は、形成される粘着剤層12内での低分子量成分の移動に起因する粘着特性の意図しない経時的変化を抑制するうえで好適である。
内在型の放射線硬化型粘着剤に含有されるベースポリマーとしては、アクリル系ポリマーを基本骨格とするものが好ましい。そのような基本骨格をなすアクリル系ポリマーとしては、上述のアクリル系ポリマーを採用することができる。アクリル系ポリマーへの放射線重合性の炭素−炭素二重結合の導入手法としては、例えば、所定の官能基(第1の官能基)を有するモノマーを含む原料モノマーを共重合させてアクリル系ポリマーを得た後、第1の官能基との間で反応を生じて結合しうる所定の官能基(第2の官能基)と放射線重合性炭素−炭素二重結合とを有する化合物を、炭素−炭素二重結合の放射線重合性を維持したままアクリル系ポリマーに対して縮合反応または付加反応させる方法が、挙げられる。
第1の官能基と第2の官能基の組み合わせとしては、例えば、カルボキシ基とエポキシ基、エポキシ基とカルボキシ基、カルボキシ基とアジリジル基、アジリジル基とカルボキシ基、ヒドロキシ基とイソシアネート基、イソシアネート基とヒドロキシ基が挙げられる。これら組み合わせのうち、反応追跡の容易さの観点からは、ヒドロキシ基とイソシアネート基の組み合わせや、イソシアネート基とヒドロキシ基の組み合わせが、好適である。また、反応性の高いイソシアネート基を有するポリマーを作製するのは技術的難易度が高いところ、アクリル系ポリマーの作製または入手のしやすさの観点からは、アクリル系ポリマー側の上記第1の官能基がヒドロキシ基であり且つ上記第2の官能基がイソシアネート基である場合が、より好適である。この場合、放射線重合性炭素−炭素二重結合と第2の官能基たるイソシアネート基とを併有するイソシアネート化合物としては、例えば、メタクリロイルイソシアネート、2-メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、およびm-イソプロペニル-α,α-ジメチルベンジルイソシアネートが挙げられる。また、第1の官能基を伴うアクリル系ポリマーとしては、上記のヒドロキシ基含有モノマーに由来するモノマーユニットを含むものが好適であり、2-ヒドロキシエチルビニルエーテルや、4-ヒドロキシブチルビニルエーテル、ジエチレングルコールモノビニルエーテルなどのエーテル系化合物に由来するモノマーユニットを含むものも好適である。
粘着剤層12における放射線硬化型粘着剤は、好ましくは光重合開始剤を含有する。光重合開始剤としては、例えば、α-ケトール系化合物、アセトフェノン系化合物、ベンゾインエーテル系化合物、ケタール系化合物、芳香族スルホニルクロリド系化合物、光活性オキシム系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、カンファーキノン、ハロゲン化ケトン、アシルホスフィノキシド、およびアシルホスフォナートが挙げられる。α-ケトール系化合物としては、例えば、4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル(2-ヒドロキシ-2-プロピル)ケトン、α-ヒドロキシ-α,α'-ジメチルアセトフェノン、2-メチル-2-ヒドロキシプロピオフェノン、および1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンが挙げられる。アセトフェノン系化合物としては、例えば、メトキシアセトフェノン、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン、2,2-ジエトキシアセトフェノン、および2-メチル-1-[4-(メチルチオ)-フェニル]-2-モルホリノプロパン-1が挙げられる。ベンゾインエーテル系化合物としては、例えば、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、およびアニソインメチルエーテルが挙げられる。ケタール系化合物としては、例えばベンジルジメチルケタールが挙げられる。芳香族スルホニルクロリド系化合物としては、例えば2-ナフタレンスルホニルクロリドが挙げられる。光活性オキシム系化合物としては、例えば、1-フェニル-1,2-プロパンジオン-2-(O-エトキシカルボニル)オキシムが挙げられる。ベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、および3,3'-ジメチル-4-メトキシベンゾフェノンが挙げられる。チオキサントン系化合物としては、例えば、チオキサントン、2-クロロチオキサントン、2-メチルチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4-ジクロロチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、および2,4-ジイソプロピルチオキサントンが挙げられる。粘着剤層12における放射線硬化型粘着剤中の光重合開始剤の含有量は、アクリル系ポリマーなどのベースポリマー100質量部に対して例えば0.05〜20質量部である。
粘着剤層12における上記の加熱発泡型粘着剤は、加熱によって発泡や膨張をする成分(発泡剤、熱膨張性微小球など)を含有する粘着剤であるところ、発泡剤としては種々の無機系発泡剤および有機系発泡剤が挙げられ、熱膨張性微小球としては、例えば、加熱によって容易にガス化して膨張する物質が殻内に封入された構成の微小球が挙げられる。無機系発泡剤としては、例えば、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、亜硝酸アンモニウム、水素化ホウ素ナトリウム、およびアジド類が挙げられる。有機系発泡剤としては、例えば、トリクロロモノフルオロメタンやジクロロモノフルオロメタンなどの塩フッ化アルカン、アゾビスイソブチロニトリルやアゾジカルボンアミド、バリウムアゾジカルボキシレートなどのアゾ系化合物、パラトルエンスルホニルヒドラジドやジフェニルスルホン-3,3'-ジスルホニルヒドラジド、4,4'-オキシビス(ベンゼンスルホニルヒドラジド)、アリルビス(スルホニルヒドラジド)などのヒドラジン系化合物、p-トルイレンスルホニルセミカルバジドや4,4'-オキシビス(ベンゼンスルホニルセミカルバジド)などのセミカルバジド系化合物、5-モルホリル-1,2,3,4-チアトリアゾールなどのトリアゾール系化合物、並びに、N,N'-ジニトロソペンタメチレンテトラミンやN,N'-ジメチル-N,N'-ジニトロソテレフタルアミドなどのN-ニトロソ系化合物が、挙げられる。上記のような熱膨張性微小球をなすための、加熱によって容易にガス化して膨張する物質としては、例えば、イソブタン、プロパン、およびペンタンが挙げられる。加熱によって容易にガス化して膨張する物質をコアセルベーション法や界面重合法などによって殻形成物質内に封入することによって、熱膨張性微小球を作製することができる。殻形成物質としては、熱溶融性を示す物質や、封入物質の熱膨張の作用によって破裂し得る物質を用いることができる。そのような物質としては、例えば、塩化ビニリデン-アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、およびポリスルホンが挙げられる。
上述の粘着力非低減型粘着剤としては、例えば、粘着力低減型粘着剤に関して上述した放射線硬化型粘着剤を予め放射線照射によって硬化させた形態の粘着剤や、感圧型粘着剤などが、挙げられる。本実施形態の粘着剤層12においては、一種類の粘着力非低減型粘着剤が用いられてもよいし、二種類以上の粘着力非低減型粘着剤が用いられてもよい。また、粘着剤層12の全体が粘着力非低減型粘着剤から形成されてもよいし、粘着剤層12の一部が粘着力非低減型粘着剤から形成されてもよい。例えば、粘着剤層12が単層構造を有する場合、粘着剤層12の全体が粘着力非低減型粘着剤から形成されてもよいし、粘着剤層12における所定の部位が粘着力非低減型粘着剤から形成され、他の部位が粘着力低減型粘着剤から形成されてもよい。また、粘着剤層12が積層構造を有する場合、積層構造をなす全ての層が粘着力非低減型粘着剤から形成されてもよいし、積層構造中の一部の層が粘着力非低減型粘着剤から形成されてもよい。
放射線硬化型粘着剤を予め放射線照射によって硬化させた形態の粘着剤(放射線照射済放射線硬化型粘着剤)は、放射線照射によって粘着力が低減されているとしても、含有するポリマー成分に起因する粘着性を示し、ダイシング工程などにおいてダイシングテープ粘着剤層に最低限必要な粘着力を発揮することが可能である。本実施形態においては、放射線照射済放射線硬化型粘着剤を用いる場合、粘着剤層12の面広がり方向において、粘着剤層12の全体が放射線照射済放射線硬化型粘着剤から形成されてもよく、粘着剤層12の一部が放射線照射済放射線硬化型粘着剤から形成され且つ他の部分が放射線未照射の放射線硬化型粘着剤から形成されてもよい。
放射線照射済放射線硬化型粘着剤を粘着剤層12の少なくとも一部に含むダイシングダイボンドフィルムXは、例えば次のような過程を経て製造することができる。まず、ダイシングテープ10の基材11上に、放射線硬化型粘着剤による粘着剤層(放射線硬化型粘着剤層)を形成する。次に、この放射線硬化型粘着剤層の所定の一部または全体に放射線を照射して、放射線照射済放射線硬化型粘着剤を少なくとも一部に含む粘着剤層を形成する。次に、当該粘着剤層上に、後述の接着剤層20となる接着剤層を形成する。その後、これら粘着剤層と接着剤層に対する例えば後記のような一括的な加工形成手法により、粘着剤層12および接着剤層20を共に形成する。放射線照射済放射線硬化型粘着剤を粘着剤層12の少なくとも一部に含むダイシングダイボンドフィルムXは、或いは次のような過程を経て製造することもできる。まず、ダイシングテープ10の基材11上に、放射線硬化型粘着剤による粘着剤層(放射線硬化型粘着剤層)を形成する。次に、この放射線硬化型粘着剤層上に後述の接着剤層20となる接着剤層を形成する。次に、放射線硬化型粘着剤層の所定の一部または全体に放射線を照射して、放射線照射済放射線硬化型粘着剤を少なくとも一部に含む粘着剤層を形成する。その後、これら粘着剤層と接着剤層に対する例えば後記のような一括的な加工形成手法により、粘着剤層12および接着剤層20を共に形成する。
一方、粘着剤層12における感圧型粘着剤としては、公知乃至慣用の粘着剤を用いることができ、アクリル系ポリマーをベースポリマーとするアクリル系粘着剤やゴム系粘着剤を好適に用いることができる。粘着剤層12が感圧型粘着剤としてアクリル系粘着剤を含有する場合、当該アクリル系粘着剤のベースポリマーたるアクリル系ポリマーは、好ましくは、(メタ)アクリル酸エステルに由来するモノマーユニットを質量割合で最も多い主たるモノマーユニットとして含む。そのようなアクリル系ポリマーとしては、例えば、放射線硬化型粘着剤に関して上述したアクリル系ポリマーが挙げられる。
粘着剤層12ないしそれをなすための粘着剤には、上述の各成分に加えて、架橋促進剤、粘着付与剤、老化防止剤、顔料や染料などの着色剤などを、含有してもよい。着色剤は、放射線照射を受けて着色する化合物であってもよい。そのような化合物としては、例えばロイコ染料が挙げられる。
粘着剤層12の厚さは、好ましくは1〜50μm、より好ましくは2〜30μm、より好ましくは5〜25μmである。このような構成は、例えば、粘着剤層12が放射線硬化型粘着剤を含む場合に当該粘着剤層12の放射線硬化の前後における接着剤層20に対する接着力のバランスをとるうえで、好適である。
ダイシングダイボンドフィルムXの接着剤層20は、ダイボンディング用の熱硬化性を示す接着剤としての機能と、半導体ウエハ等のワークとリングフレーム等のフレーム部材とを保持するための粘着機能とを併有する。本実施形態において、接着剤層20をなすための粘接着剤は、熱硬化性樹脂と例えばバインダー成分としての熱可塑性樹脂とを含む組成を有してもよいし、硬化剤と反応して結合を生じ得る熱硬化性官能基を伴う熱可塑性樹脂を含む組成を有してもよい。接着剤層20をなすための粘接着剤が、熱硬化性官能基を伴う熱可塑性樹脂を含む組成を有する場合、当該粘接着剤は熱硬化性樹脂(エポキシ樹脂など)を含む必要はない。このような接着剤層20は、単層構造を有してもよいし、多層構造を有してもよい。
ダイボンディング用接着剤としての機能と粘着機能とを併有する接着剤層20は、幅4mmの接着剤層試料片について初期チャック間距離10mm、周波数10Hz、動的ひずみ±0.5μm、および昇温速度5℃/分の条件(引張貯蔵弾性率測定条件)で測定される−15℃での引張貯蔵弾性率(第1引張貯蔵弾性率)が1000〜4000MPaであり、好ましくは1200〜3900MPa、より好ましくは1500〜3800MPaである。これとともに接着剤層20は、幅4mmの接着剤層試料片について前記の引張貯蔵弾性率測定条件で測定される23℃での引張貯蔵弾性率(第2引張貯蔵弾性率)が10〜240MPaであり、好ましくは20〜200MPa、より好ましくは40〜150MPaである。引張貯蔵弾性率については、動的粘弾性測定装置(商品名「Rheogel-E4000」,UBM社製)を使用して行う動的粘弾性測定に基づき求めることができる。その測定においては、測定対象物たる試料片のサイズを幅4mm×長さ20mmとし、試料片保持用チャックの初期チャック間距離を10mmとし、測定モードを引張りモードとし、測定温度範囲を−30℃〜100℃とし、周波数を10Hzとし、動的ひずみを±0.5%とし、昇温速度を5℃/分とする。
ダイボンディング用接着剤としての機能と粘着機能とを併有する接着剤層20は、−15℃、剥離角度180°および引張速度300mm/分の条件(第1の条件)での剥離試験において、SUS平面に対し、好ましくは1N/10mm以上、より好ましくは1.5N/10mm以上、より好ましくは2N/10mm以上の180°剥離粘着力を示す。前記第1の条件での剥離試験において、この接着剤層20は、SUS平面に対し、例えば100N/10mm以下、好ましくは50N/10mm以下の180°剥離粘着力を示す。また、接着剤層20は、23℃、剥離角度180°および引張速度300mm/分の条件(第2の条件)での剥離試験において、SUS平面に対し、好ましくは0.1N/10mm以上、より好ましくは0.3N/10mm以上、より好ましくは0.5N/10mm以上の180°剥離粘着力を示す。前記第2の条件での剥離試験において、この接着剤層20は、SUS平面に対し、例えば20N/10mm以下、好ましくは10N/10mm以下の180°剥離粘着力を示す。このような180°剥離粘着力については、引張試験機(商品名「オートグラフAGS-J」,株式会社島津製作所製)を使用して測定することができる。その測定に供される試料片は、裏打ちテープ(商品名「BT-315」,日東電工株式会社製)によって裏打ちされ、且つ、幅20mm×長さ100mmのサイズを有する。当該試料片の被着体たるSUS板への張り合わせは、2kgのローラーを1往復させる圧着作業によって行われる。また、本測定においては、測定温度ないし剥離温度は−15℃(第1の条件)または23℃(第2の条件)とされ、剥離角度は180°とされ、引張速度は300mm/分とさる。
接着剤層20が、熱硬化性樹脂を熱可塑性樹脂とともに含む場合、当該熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコーン樹脂、および熱硬化性ポリイミド樹脂が挙げられる。接着剤層20をなすうえでは、一種類の熱硬化性樹脂を用いてもよいし、二種類以上の熱硬化性樹脂を用いてもよい。ダイボンディング対象の半導体チップの腐食原因となりうるイオン性不純物等の含有量の少ない傾向にあるという理由から、接着剤層20に含まれる熱硬化性樹脂としてはエポキシ樹脂が好ましい。また、エポキシ樹脂の硬化剤としてはフェノール樹脂が好ましい。
エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型、ビスフェノールF型、ビスフェノールS型、臭素化ビスフェノールA型、水添ビスフェノールA型、ビスフェノールAF型、ビフェニル型、ナフタレン型、フルオレン型、フェノールノボラック型、オルソクレゾールノボラック型、トリスヒドロキシフェニルメタン型、テトラフェニロールエタン型、ヒダントイン型、トリスグリシジルイソシアヌレート型、およびグリシジルアミン型のエポキシ樹脂が挙げられる。ノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂、およびテトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂は、硬化剤としてのフェノール樹脂との反応性に富み且つ耐熱性に優れることから、接着剤層20に含まれるエポキシ樹脂として好ましい。
エポキシ樹脂の硬化剤として作用しうるフェノール樹脂としては、例えば、ノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂、および、ポリパラオキシスチレン等のポリオキシスチレンが挙げられる。ノボラック型フェノール樹脂としては、例えば、フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、クレゾールノボラック樹脂、tert-ブチルフェノールノボラック樹脂、およびノニルフェノールノボラック樹脂が挙げられる。エポキシ樹脂の硬化剤として作用しうるフェノール樹脂としては、一種類のフェノール樹脂を用いてもよいし、二種類以上のフェノール樹脂を用いてもよい。フェノールノボラック樹脂やフェノールアラルキル樹脂は、ダイボンディング用接着剤としてのエポキシ樹脂の硬化剤として用いられる場合に当該接着剤の接続信頼性を向上させうる傾向にあるので、接着剤層20に含まれるエポキシ樹脂の硬化剤として好ましい。
接着剤層20において、エポキシ樹脂とフェノール樹脂との硬化反応を充分に進行させるという観点からは、フェノール樹脂は、エポキシ樹脂成分中のエポキシ基1当量当たり、当該フェノール樹脂中の水酸基が好ましくは0.5〜2.0当量、より好ましくは0.8〜1.2当量となる量で、含まれる。
接着剤層20に含まれる熱可塑性樹脂としては、例えば、天然ゴム、ブチルゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸エステル共重合体、ポリブタジエン樹脂、ポリカーボネート樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、6-ナイロンや6,6-ナイロン等のポリアミド樹脂、フェノキシ樹脂、アクリル樹脂、PETやPBT等の飽和ポリエステル樹脂、ポリアミドイミド樹脂、およびフッ素樹脂が挙げられる。接着剤層20をなすうえでは、一種類の熱可塑性樹脂を用いてもよいし、二種類以上の熱可塑性樹脂を用いてもよい。接着剤層20に含まれる熱可塑性樹脂としては、イオン性不純物が少なく且つ耐熱性が高いために接着剤層20による接合信頼性を確保しやすいという理由から、アクリル樹脂が好ましい。また、後記のリングフレームに対する接着剤層20の、室温およびその近傍の温度における貼着性と剥離時残渣の防止との両立の観点からは、接着剤層20は、熱可塑性樹脂の主成分として、ガラス転移温度が−10〜10℃のポリマーを含むのが好ましい。熱可塑性樹脂の主成分とは、熱可塑性樹脂成分中で最も大きな質量割合を占める樹脂成分とする。
ポリマーのガラス転移温度については、下記のFoxの式に基づき求められるガラス転移温度(理論値)を用いることができる。Foxの式は、ポリマーのガラス転移温度Tgと、当該ポリマーにおける構成モノマーごとの単独重合体のガラス転移温度Tgiとの関係式である。下記のFoxの式において、Tgはポリマーのガラス転移温度(℃)を表し、Wiは当該ポリマーを構成するモノマーiの重量分率を表し、Tgiはモノマーiの単独重合体のガラス転移温度(℃)を示す。単独重合体のガラス転移温度については文献値を用いることができ、例えば「新高分子文庫7 塗料用合成樹脂入門」(北岡協三 著,高分子刊行会,1995年)や「アクリルエステルカタログ(1997年度版)」(三菱レイヨン株式会社)には、各種の単独重合体のガラス転移温度が挙げられている。一方、モノマーの単独重合体のガラス転移温度については、特開2007−51271号公報に具体的に記載されている手法によって求めることも可能である。
Foxの式 1/(273+Tg)=Σ[Wi/(273+Tgi)]
接着剤層20に熱可塑性樹脂として含まれるアクリル樹脂は、好ましくは、(メタ)アクリル酸エステルに由来するモノマーユニットを質量割合で最も多い主たるモノマーユニットとして含む。そのような(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、粘着剤層12形成用の放射線硬化型粘着剤の一成分たるアクリル系ポリマーに関して上記したのと同様の(メタ)アクリル酸エステルを用いることができる。接着剤層20に熱可塑性樹脂として含まれるアクリル樹脂は、(メタ)アクリル酸エステルと共重合可能な他のモノマーに由来するモノマーユニットを含んでいてもよい。そのような他のモノマー成分としては、例えば、カルボキシ基含有モノマー、酸無水物モノマー、ヒドロキシ基含有モノマー、グリシジル基含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー、アクリルアミド、アクリロニトリルなどの官能基含有モノマーや、各種の多官能性モノマーが挙げられ、具体的には、粘着剤層12形成用の放射線硬化型粘着剤の一成分たるアクリル系ポリマーに関して(メタ)アクリル酸エステルと共重合可能な他のモノマーとして上記したのと同様のものを用いることができる。接着剤層20において高い凝集力を実現するという観点からは、接着剤層20に含まれる当該アクリル樹脂は、好ましくは、(メタ)アクリル酸エステル(特に、アルキル基の炭素数が4以下の(メタ)アクリル酸アルキルエステル)と、カルボキシ基含有モノマーと、窒素原子含有モノマーと、多官能性モノマー(特にポリグリシジル系多官能モノマー)との共重合体であり、より好ましくは、アクリル酸エチルと、アクリル酸ブチルと、アクリル酸と、アクリロニトリルと、ポリグリシジル(メタ)アクリレートとの共重合体である。
接着剤層20における熱硬化性樹脂の含有割合は、接着剤層20において熱硬化型接着剤としての機能を適切に発現させるという観点から、好ましくは5〜60質量%、より好ましくは10〜50質量%である。
接着剤層20が、熱硬化性官能基を伴う熱可塑性樹脂を含む場合、当該熱可塑性樹脂としては、例えば、熱硬化性官能基含有アクリル樹脂を用いることができる。この熱硬化性官能基含有アクリル樹脂をなすためのアクリル樹脂は、好ましくは、(メタ)アクリル酸エステルに由来するモノマーユニットを質量割合で最も多い主たるモノマーユニットとして含む。そのような(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、粘着剤層12形成用の放射線硬化型粘着剤の一成分たるアクリル系ポリマーに関して上記したのと同様の(メタ)アクリル酸エステルを用いることができる。一方、熱硬化性官能基含有アクリル樹脂をなすための熱硬化性官能基としては、例えば、グリシジル基、カルボキシ基、ヒドロキシ基、およびイソシアネート基が挙げられる。これらのうち、グリシジル基およびカルボキシ基を好適に用いることができる。すなわち、熱硬化性官能基含有アクリル樹脂としては、グリシジル基含有アクリル樹脂やカルボキシ基含有アクリル樹脂を好適に用いることができる。また、熱硬化性官能基含有アクリル樹脂の硬化剤としては、例えば、粘着剤層12形成用の放射線硬化型粘着剤の一成分とされる場合のある外部架橋剤として上記したものを用いることができる。熱硬化性官能基含有アクリル樹脂における熱硬化性官能基がグリシジル基である場合には、硬化剤としてポリフェノール系化合物を好適に用いることができ、例えば上記の各種フェノール樹脂を用いることができる。
ダイボンディングのために硬化される前の接着剤層20について、ある程度の架橋度を実現するためには、例えば、接着剤層20に含まれる上述の樹脂の分子鎖末端の官能基等と反応して結合しうる多官能性化合物を架橋剤として接着剤層形成用樹脂組成物に配合しておくのが好ましい。このような構成は、接着剤層20について、高温下での接着特性を向上させるうえで、また、耐熱性の改善を図るうえで好適である。そのような架橋剤としては、例えばポリイソシアネート化合物が挙げられる。ポリイソシアネート化合物としては、例えば、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、p-フェニレンジイソシアネート、1,5-ナフタレンジイソシアネート、および、多価アルコールとジイソシアネートの付加物が挙げられる。接着剤層形成用樹脂組成物における架橋剤の含有量は、当該架橋剤と反応して結合しうる上記官能基を有する樹脂100質量部に対し、形成される接着剤層20の凝集力向上の観点からは好ましくは0.05質量部以上であり、形成される接着剤層20の接着力向上の観点からは好ましくは7質量部以下である。また、接着剤層20における架橋剤としては、エポキシ樹脂等の他の多官能性化合物をポリイソシアネート化合物と併用してもよい。
接着剤層20における以上のような高分子量成分の含有割合は、好ましくは50〜100質量%、より好ましくは50〜80質量%である。高分子量成分とは、重量平均分子量10000以上の成分とする。このような構成は、後記のリングフレームに対する接着剤層20の、室温およびその近傍の温度における貼着性と剥離時残渣の防止との両立を図るうえで好ましい。また、接着剤層20は、23℃で液状である液状樹脂を含んでもよい。接着剤層20がそのような液状樹脂を含む場合、接着剤層20における当該液状樹脂の含有割合は、好ましくは1〜10質量%、より好ましくは1〜5質量%である。このような構成は、後記のリングフレームに対する接着剤層20の、室温およびその近傍の温度における貼着性と剥離時残渣の防止との両立を図るうえで好ましい。
接着剤層20は、フィラーを含有していてもよい。接着剤層20へのフィラーの配合により、接着剤層20の引張貯蔵弾性率などの弾性率や、導電性、熱伝導性などの物性を調整することができる。フィラーとしては、無機フィラーおよび有機フィラーが挙げられるところ、特に無機フィラーが好ましい。無機フィラーとしては、例えば、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、ホウ酸アルミニウムウィスカ、窒化ホウ素、結晶質シリカ、非晶質シリカの他、アルミニウム、金、銀、銅、ニッケル等の金属単体や、合金、アモルファスカーボンブラック、グラファイトが挙げられる。フィラーは、球状、針状、フレーク状等の各種形状を有していてもよい。接着剤層20におけるフィラーとしては、一種類のフィラーを用いてもよいし、二種類以上のフィラーを用いてもよい。後記の低温エキスパンド工程においてリングフレームに対する接着剤層20の貼着性を確保するうえでは、接着剤層20におけるフィラー含有割合は、好ましくは30質量%以下、より好ましくは25質量%以下である。
接着剤層20がフィラーを含有する場合における当該フィラーの平均粒径は、好ましくは0.005〜10μm、より好ましくは0.005〜1μmである。当該フィラーの平均粒径が0.005μm以上であるという構成は、接着剤層20において、半導体ウエハ等の被着体に対する高い濡れ性や接着性を実現するうえで好適である。当該フィラーの平均粒径が10μm以下であるという構成は、接着剤層20において充分なフィラー添加効果を享受するとともに耐熱性を確保するうえで好適である。フィラーの平均粒径は、例えば、光度式の粒度分布計(商品名「LA−910」,株式会社堀場製作所製)を使用して求めることができる。
接着剤層20は、必要に応じて他の成分を含んでいてもよい。当該他の成分としては、例えば、難燃剤、シランカップリング剤、およびイオントラップ剤が挙げられる。難燃剤としては、例えば、三酸化アンチモン、五酸化アンチモン、および臭素化エポキシ樹脂が挙げられる。シランカップリング剤としては、例えば、β-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、およびγ-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシランが挙げられる。イオントラップ剤としては、例えば、ハイドロタルサイト類、水酸化ビスマス、含水酸化アンチモン(例えば東亜合成株式会社製の「IXE-300」)、特定構造のリン酸ジルコニウム(例えば東亜合成株式会社製の「IXE-100」)、ケイ酸マグネシウム(例えば協和化学工業株式会社製の「キョーワード600」)、およびケイ酸アルミニウム(例えば協和化学工業株式会社製の「キョーワード700」)を挙げることができる。金属イオンとの間で錯体を形成し得る化合物もイオントラップ剤として使用することができる。そのような化合物としては、例えば、トリアゾール系化合物、テトラゾール系化合物、およびビピリジル系化合物が挙げられる。これらのうち、金属イオンとの間で形成される錯体の安定性の観点からはトリアゾール系化合物が好ましい。そのようなトリアゾール系化合物としては、例えば、1,2,3-ベンゾトリアゾール、1-{N,N-ビス(2-エチルヘキシル)アミノメチル}ベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-5-メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-3,5-ジ-t-ブチルフェニル)-5-クロロベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-3-t-ブチル-5-メチルフェニル)-5-クロロベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-3,5-ジ-t-アミルフェニル)ベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-5-t-オクチルフェニル)ベンゾトリアゾール、6-(2-ベンゾトリアゾリル)-4-t-オクチル-6'-t-ブチル-4'-メチル-2,2'-メチレンビスフェノール、1-(2,3-ジヒドロキシプロピル)ベンゾトリアゾール、1-(1,2-ジカルボキシジエチル)ベンゾトリアゾール、1-(2-エチルヘキシルアミノメチル)ベンゾトリアゾール、2,4-ジ-t-ペンチル-6-{(H-ベンゾトリアゾール-1-イル)メチル}フェノール、2-(2-ヒドロキシ-5-t-ブチルフェニル)-2H-ベンゾトリアゾール、オクチル-3-[3-t-ブチル-4-ヒドロキシ-5-(5-クロロ-2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)フェニル]プロピオネート、2-エチルヘキシル-3-[3-t-ブチル-4-ヒドロキシ-5-(5-クロロ-2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)フェニル]プロピオネート、2-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-6-(1-メチル-1-フェニルエチル)-4-(1,1,3,3-テトラメチルブチル)フェノール、2-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-4-t-ブチルフェノール、2-(2-ヒドロキシ-5-メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-5-t-オクチルフェニル)-ベンゾトリアゾール、2-(3-t-ブチル-2-ヒドロキシ-5-メチルフェニル)-5-クロロベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-3,5-ジ-t-アミルフェニル)ベンゾトリアゾール、2-(2-ヒドロキシ-3,5-ジ-t-ブチルフェニル)-5-クロロ-ベンゾトリアゾール、2-[2-ヒドロキシ-3,5-ジ(1,1-ジメチルベンジル)フェニル]-2H-ベンゾトリアゾール、2,2'-メチレンビス[6-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-4-(1,1,3,3-テトラメチルブチル)フェノール]、2-[2-ヒドロキシ-3,5-ビス(α,α-ジメチルベンジル)フェニル]-2H-ベンゾトリアゾール、および、メチル-3-[3-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-5-t-ブチル-4-ヒドロキシフェニル]プロピオネートが挙げられる。また、キノール化合物や、ヒドロキシアントラキノン化合物、ポリフェノール化合物などの所定の水酸基含有化合物も、イオントラップ剤として使用することができる。そのような水酸基含有化合物としては、具体的には、1,2-ベンゼンジオール、アリザリン、アントラルフィン、タンニン、没食子酸、没食子酸メチル、ピロガロールなどが挙げられる。以上のような他の成分としては、一種類の成分を用いてもよいし、二種類以上の成分を用いてもよい。
接着剤層20の厚さは、例えば1〜200μmの範囲にある。当該厚さの上限は、好ましくは100μm、より好ましくは80μmである。当該厚さの下限は、好ましくは3μm、より好ましくは5μmである。
本実施形態では、ダイシングダイボンドフィルムXは、基材11、粘着剤層12、および接着剤層20を含み且つ内側領域R2および外側領域R1にわたって連続している、積層構造を有する。このようなダイシングダイボンドフィルムXの厚さは、好ましくは、外側領域R1および内側領域R2にわたり一様である。また、本実施形態では、ダイシングダイボンドフィルムXの面内方向Dにおいて、ダイシングテープ10における基材11の外周端11eおよび粘着剤層12の外周端12eから、接着剤層20の外周端20eが、1000μm以内、好ましくは500μm以内の、距離にある。すなわち、接着剤層20の外周端20eは、全周にわたり、フィルム面内方向Dにおいて、基材11の外周端11eに対して内側1000μmから外側1000μmまでの間、好ましくは内側500μmから外側500μmまでの間にあり、且つ、粘着剤層12の外周端12eに対して内側1000μmから外側1000μmまでの間、好ましくは内側500μmから外側500μmまでの間にある。ダイシングテープ10ないしその粘着剤層12とその上の接着剤層20とが面内方向Dにおいて実質的に同一の寸法を有する当該構成では、接着剤層20は、ワーク貼着用の領域に加えてフレーム貼着用の領域を含むこととなる。
ダイシングダイボンドフィルムXは、図2に示すようにセパレータSを伴ってもよい。具体的には、ダイシングダイボンドフィルムXごとに、セパレータSを伴うシート状の形態をとってもよいし、セパレータSが長尺状であってその上に複数のダイシングダイボンドフィルムXが配され且つ当該セパレータSが巻き回されてロールの形態とされてもよい。セパレータSは、ダイシングダイボンドフィルムXの接着剤層20の表面を被覆して保護するための要素であり、ダイシングダイボンドフィルムXを使用する際には当該フィルムから剥がされる。セパレータSとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、フッ素系剥離剤や長鎖アルキルアクリレート系剥離剤等の剥離剤により表面コートされたプラスチックフィルムや紙類などが、挙げられる。セパレータSの厚さは、例えば5〜200μmである。
以上のような構成を有するダイシングダイボンドフィルムXは、例えば以下のようにして製造することができる。
ダイシングダイボンドフィルムXのダイシングテープ10へと加工形成されることとなるシート体については、図3(a)に示すように、基材11へと加工形成されることとなる基材11'上に、粘着剤層12へと加工形成されることとなる粘着剤層12'を設けることによって作製することができる。樹脂製の基材11'は、カレンダー製膜法、有機溶媒中でのキャスティング法、密閉系でのインフレーション押出法、Tダイ押出法、共押出法、ドライラミネート法などの製膜手法により作製することができる。製膜後のフィルムないし基材11'には、必要に応じて所定の表面処理が施される。粘着剤層12'の形成においては、例えば、粘着剤層形成用の粘着剤溶液を調製した後、まず、当該粘着剤溶液を基材11'上または所定のセパレータ上に塗布して粘着剤塗膜を形成する。粘着剤溶液の塗布手法としては、例えば、ロール塗工、スクリーン塗工、およびグラビア塗工が挙げられる。次に、この粘着剤塗膜において、加熱によって、必要に応じて架橋反応を生じさせ、また、必要に応じて脱溶媒する。加熱温度は例えば80〜150℃であり、加熱時間は例えば0.5〜5分間である。粘着剤層12'がセパレータ上に形成される場合には、当該セパレータを伴う粘着剤層12'を基材11'に貼り合わせ、その後、セパレータが剥離される。以上のようにして、ダイシングテープ10へと加工形成されることとなるシート体たるテープ10'を作製することができる。
一方、図3(b)に示すように、接着剤層20へと加工形成されることとなる接着剤フィルム20'を作製する。接着剤フィルム20'の作製においては、接着剤層形成用の接着剤組成物を調製した後、まず、当該接着剤組成物をセパレータS上に塗布して接着剤組成物層を形成する。接着剤組成物層の塗布手法としては、例えば、ロール塗工、スクリーン塗工、およびグラビア塗工が挙げられる。次に、この接着剤組成物層において、加熱によって、必要に応じて架橋反応を生じさせ、また、必要に応じて脱溶媒する。加熱温度は例えば70〜160℃であり、加熱時間は例えば1〜5分間である。以上のようにして、セパレータSを伴う接着剤フィルム20'を作製することができる。
ダイシングダイボンドフィルムXの製造においては、次に、図3(c)に示すように、上述のテープ10'の粘着剤層12'側と接着剤フィルム20'とを圧着して貼り合わせる。これにより、セパレータSと、接着剤フィルム20'と、粘着剤層12'と、基材11'とを含む積層構造を有する積層シート体が作製される。本工程において、貼り合わせ温度は、例えば30〜50℃であり、好ましくは35〜45℃である。貼り合わせ圧力(線圧)は、例えば0.1〜20kgf/cmであり、好ましくは1〜10kgf/cmである。粘着剤層12が上述のような放射線硬化型粘着剤層である場合に接着剤フィルム20'の貼り合わせより後に粘着剤層12'に紫外線等の放射線を照射する時には、テープ10'の例えば基材11'の側から粘着剤層12'に放射線照射を行い、その照射量は、例えば50〜500mJ/cm2であり、好ましくは100〜300mJ/cm2である。その照射領域は、例えば、接着剤層20と密着することとなる粘着剤層12の全体である。また、本発明においては、粘着剤層12'ないし粘着剤層12が紫外線硬化型などの放射線硬化型の粘着剤層として設計されている場合であっても、接着剤フィルム20'ないし接着剤層20は、紫外線など放射線の照射によっては硬化しない構成を有する。
次に、図3(d)に示すように、上記の積層シート体に対し、基材11'の側からセパレータSに至るまで加工刃を突入させる加工を施す(図3(d)では切断箇所を模式的に太線で表す)。例えば、積層シート体を一方向Fに一定速度で流しつつ、その方向Fに直交する軸心まわりに回転可能に配され且つ打抜き加工用の加工刃をロール表面に伴う加工刃付き回転ロール(図示略)の加工刃付き表面を、積層シート体の基材11'側に所定の押圧力を伴って当接させる。これにより、ダイシングテープ10(基材11,粘着剤層12)と接着剤層20とが一括的に加工形成され、ダイシングダイボンドフィルムXがセパレータS上に形成される。この後、図3(e)に示すように、ダイシングダイボンドフィルムXの周囲の材料積層部をセパレータS上から取り除く。
以上のようにして、ダイシングダイボンドフィルムXを製造することができる。
半導体装置の製造過程においては、上述のように、接着剤層付き半導体チップを得るうえで、ダイシングダイボンドフィルムを使用して行うエキスパンド工程、即ち、割断のためのエキスパンド工程が、実施される場合があるところ、エキスパンド工程では、ダイシングテープ上のダイボンドフィルムと半導体ウエハ等のワークとに適切に割断力が作用することが必要である。ダイシングダイボンドフィルムXにおいては、当該フィルムにおける外周端から内方20mmまでの外側領域R1に由来する上記第1試験片の−15℃での上記第1引張応力に対する、同フィルムにおける内側領域R2に由来する上記第2試験片の−15℃での上記第2引張応力の比の値が、0.9〜1.1であり、好ましくは0.95〜1.05である。このような構成は、室温より低温である−15℃およびその近傍の温度で実施される割断用の低温エキスパンド工程において、上記の外側領域R1と内側領域R2とを含むダイシングダイボンドフィルムXにてその伸びの程度の均一化を図るのに適する。したがって、当該構成を具備するダイシングダイボンドフィルムXは、低温エキスパンド工程にてダイシングテープ10上の接着剤層20やワークに作用する割断力の均一化を図るのに適し、これらを良好に割断するのに適する。
このようにエキスパンド時の伸びの程度について均一化の図られたダイシングダイボンドフィルムXは、その接着剤層20にワーク貼着用領域に加えてフレーム貼着用領域を含むように、ダイシングテープ10ないしその粘着剤層12とその上の接着剤層20とをフィルム面内方向において実質的に同一の寸法で設計することが可能である。本実施形態のように、ダイシングダイボンドフィルムXの面内方向において、接着剤層20の外周端がダイシングテープ10の粘着剤層12の各外周端から1000μm以内の距離にある設計を、採用することが可能である。このようなダイシングダイボンドフィルムXは、基材11と粘着剤層12との積層構造を有する一のダイシングテープ10を形成するための加工と、一の接着剤層20を形成するための加工とを、一の打抜き加工等の加工で一括的に実施するのに適する。このようなダイシングダイボンドフィルムXは、上述のようにエキスパンド工程にて接着剤層20を良好に割断するのに適するうえに、製造工程数の削減の観点や製造コスト抑制の観点などにおいて効率的に製造するのに適する。
ダイシングダイボンドフィルムXは、上述のように、基材11、粘着剤層12、および接着剤層20を含み且つ内側領域R2および外側領域R1にわたって連続している、積層構造を有する。また、ダイシングダイボンドフィルムXの厚さは、上述のように、内側領域R2および外側領域R1にわたり一様であるのが好ましい。これら構成は、エキスパンド工程における上述の良好な割断性を実現するうえで好ましい。
ダイシングダイボンドフィルムXにおける−15℃での上記の第1引張応力および第2引張応力は、上述のように、好ましくは5N以上、より好ましくは8N以上、より好ましくは10N以上である。このような構成は、−15℃およびその近傍の温度でのダイシングダイボンドフィルムXのエキスパンド時に接着剤層20に作用する割断力を確保するうえで好ましい。また、ダイシングダイボンドフィルムXにおける−15℃での上記の第1引張応力および第2引張応力は、上述のように、好ましくは28N以下、より好ましくは25N以下、より好ましくは20N以下である。このような構成は、−15℃およびその近傍の温度でのダイシングダイボンドフィルムXのエキスパンド時におけるダイシングテープ10の粘着剤層12と接着剤層20との間の剥離を抑制するうえで好ましい。
ダイシングダイボンドフィルムXの接着剤層20は、上述のように、−15℃、剥離角度180°および引張速度300mm/分の条件での剥離試験において、SUS平面に対し、好ましくは1N/10mm以上、より好ましくは1.5N/10mm以上、より好ましくは2N/10mm以上の180°剥離粘着力を示す。また、この接着剤層20は、同条件での剥離試験において、SUS平面に対し、例えば100N/10mm以下、好ましくは50N/10mm以下の180°剥離粘着力を示す。粘着力に関する当該構成は、室温より低温である−15℃およびその近傍の温度でのダイシングダイボンドフィルムXによるフレーム部材の保持を確保するうえで、好適である。
ダイシングダイボンドフィルムXにおける第1試験片について初期チャック間距離20mm、23℃、および引張速度300mm/分の条件で行われる引張試験にて歪み値30%で生ずる第3引張応力、および、第2試験片について同一条件(初期チャック間距離20mm,23℃,引張速度300mm/分の条件)で行われる引張試験にて歪み値30%で生ずる第4引張応力は、上述のように、好ましくは1N以上、より好ましくは3N以上、より好ましくは5N以上である。このような構成は、上記の外側領域R1と内側領域R2とを含むダイシングダイボンドフィルムXにおいて、23℃およびその近傍の温度でエキスパンドされる時の伸びの程度の均一化を図るのに適する。また、これら第3引張応力および第4引張応力は、上述のように、好ましくは20N以下、より好ましくは15N以下、より好ましくは10N以下である。このような構成は、23℃およびその近傍の温度でのダイシングダイボンドフィルムXのエキスパンド時におけるダイシングテープ10の粘着剤層12と接着剤層20との間の剥離を抑制するうえで、好適である。
ダイシングダイボンドフィルムXにおける上記の第3引張応力に対する第4引張応力の比の値は、上述のように、好ましくは0.95〜1.05である。このような構成は、上記の外側領域R1と内側領域R2とを含むダイシングダイボンドフィルムXにおいて、23℃およびその近傍の温度でエキスパンドされる時の伸びの程度の均一化を図るのに適する。
ダイシングダイボンドフィルムXの接着剤層20は、上述のように、23℃、剥離角度180°および引張速度300mm/分の条件での剥離試験において、SUS平面に対し、好ましくは0.1N/10mm以上、より好ましくは0.3N/10mm以上、より好ましくは0.5N/10mm以上の180°剥離粘着力を示す。このような構成は、23℃およびその近傍の温度でのダイシングダイボンドフィルムXによるフレーム部材の保持を確保するうえで、好適である。また、この接着剤層20は、上述のように、同条件での剥離試験において、SUS平面に対し、例えば20N/10mm以下、好ましくは10N/10mm以下の180°剥離粘着力を示す。このような構成は、ダイシングダイボンドフィルムXの接着剤層20からリングフレーム等のフレーム部材を剥がす際に当該フレーム部材に接着剤残渣が生ずるのを抑制するのに適する。
図4から図9は、本発明の一の実施形態に係る半導体装置製造方法を表す。
本半導体装置製造方法においては、まず、図4(a)および図4(b)に示すように、半導体ウエハWに分割溝30aが形成される(分割溝形成工程)。半導体ウエハWは、第1面Waおよび第2面Wbを有する。半導体ウエハWにおける第1面Waの側には各種の半導体素子(図示略)が既に作り込まれ、且つ、当該半導体素子に必要な配線構造等(図示略)が第1面Wa上に既に形成されている。本工程では、粘着面T1aを有するウエハ加工用テープT1が半導体ウエハWの第2面Wb側に貼り合わされた後、ウエハ加工用テープT1に半導体ウエハWが保持された状態で、半導体ウエハWの第1面Wa側に所定深さの分割溝30aがダイシング装置等の回転ブレードを使用して形成される。分割溝30aは、半導体ウエハWを半導体チップ単位に分離させるための空隙である(図4から図6では分割溝30aを模式的に太線で表す)。
次に、図4(c)に示すように、粘着面T2aを有するウエハ加工用テープT2の、半導体ウエハWの第1面Wa側への貼り合わせと、半導体ウエハWからのウエハ加工用テープT1の剥離とが、行われる。
次に、図4(d)に示すように、ウエハ加工用テープT2に半導体ウエハWが保持された状態で、半導体ウエハWが所定の厚さに至るまで第2面Wbからの研削加工によって薄化される(ウエハ薄化工程)。研削加工は、研削砥石を備える研削加工装置を使用して行うことができる。このウエハ薄化工程によって、本実施形態では、複数の半導体チップ31に個片化可能な半導体ウエハ30Aが形成される。半導体ウエハ30Aは、具体的には、当該ウエハにおいて複数の半導体チップ31へと個片化されることとなる部位を第2面Wb側で連結する部位(連結部)を有する。半導体ウエハ30Aにおける連結部の厚さ、即ち、半導体ウエハ30Aの第2面Wbと分割溝30aの第2面Wb側先端との間の距離は、例えば1〜30μmであり、好ましくは3〜20μmである。
次に、図5(a)に示すように、ウエハ加工用テープT2に保持された半導体ウエハ30AがダイシングダイボンドフィルムXの接着剤層20に対して貼り合わせられる。この後、図5(b)に示すように、半導体ウエハ30Aからウエハ加工用テープT2が剥がされる。ダイシングダイボンドフィルムXにおける粘着剤層12が放射線硬化型粘着剤層である場合には、ダイシングダイボンドフィルムXの製造過程での上述の放射線照射に代えて、半導体ウエハ30Aの接着剤層20への貼り合わせの後に、基材11の側から粘着剤層12に対して紫外線等の放射線を照射してもよい。照射量は、例えば50〜500mJ/cm2であり、好ましくは100〜300mJ/cm2である。ダイシングダイボンドフィルムXにおいて粘着剤層12の粘着力低減措置としての照射が行われる領域(図1に示す照射領域L)は、例えば、粘着剤層12における接着剤層20貼り合わせ領域内のその周縁部を除く領域である。
次に、ダイシングダイボンドフィルムXにおける接着剤層20上にリングフレーム41が貼り付けられた後、図6(a)に示すように、半導体ウエハ30Aを伴う当該ダイシングダイボンドフィルムXがエキスパンド装置の保持具42に固定される。
次に、相対的に低温の条件下での第1エキスパンド工程(クールエキスパンド工程)が、図6(b)に示すように行われ、半導体ウエハ30Aが複数の半導体チップ31へと個片化されるとともに、ダイシングダイボンドフィルムXの接着剤層20が小片の接着剤層21に割断されて、接着剤層付き半導体チップ31が得られる。本工程では、エキスパンド装置の備える中空円柱形状の突き上げ部材43が、ダイシングダイボンドフィルムXの図中下側においてダイシングテープ10に当接して上昇され、半導体ウエハ30Aの貼り合わされたダイシングダイボンドフィルムXのダイシングテープ10が、半導体ウエハ30Aの径方向および周方向を含む二次元方向に引き伸ばされるようにエキスパンドされる。このエキスパンドは、ダイシングテープ10において15〜32MPa、好ましくは20〜32MPaの範囲内の引張応力が生ずる条件で行われる。クールエキスパンド工程における温度条件は、例えば0℃以下であり、好ましくは−20〜−5℃、より好ましくは−15〜−5℃、より好ましくは−15℃である。クールエキスパンド工程におけるエキスパンド速度(突き上げ部材43が上昇する速度)は、好ましくは0.1〜100mm/秒である。また、クールエキスパンド工程におけるエキスパンド量は、好ましくは3〜16mmである。
本工程では、半導体ウエハ30Aにおいて薄肉で割れやすい部位に割断が生じて半導体チップ31への個片化が生じる。これとともに、本工程では、エキスパンドされるダイシングテープ10の粘着剤層12に密着している接着剤層20において各半導体チップ31が密着している各領域では変形が抑制される一方で、半導体チップ31間の分割溝に対向する箇所には、そのような変形抑制作用の生じない状態で、ダイシングテープ10に生ずる引張応力が作用する。その結果、接着剤層20において半導体チップ31間の分割溝に対向する箇所が割断されることとなる。本工程の後、図6(c)に示すように、突き上げ部材43が下降されて、ダイシングテープ10におけるエキスパンド状態が解除される。
次に、相対的に高温の条件下での第2エキスパンド工程が、図7(a)に示すように行われ、接着剤層付き半導体チップ31間の距離(離間距離)が広げられる。本工程では、エキスパンド装置の備える中空円柱形状の突き上げ部材43が再び上昇され、ダイシングダイボンドフィルムXのダイシングテープ10がエキスパンドされる。第2エキスパンド工程における温度条件は、例えば10℃以上であり、好ましくは15〜30℃である。第2エキスパンド工程におけるエキスパンド速度(突き上げ部材43が上昇する速度)は、例えば0.1〜10mm/秒であり、好ましくは0.3〜1mm/秒である。また、第2エキスパンド工程におけるエキスパンド量は、例えば3〜16mmである。後記のピックアップ工程にてダイシングテープ10から接着剤層付き半導体チップ31を適切にピックアップ可能な程度に、本工程では接着剤層付き半導体チップ31の離間距離が広げられる。本工程の後、図7(b)に示すように、突き上げ部材43が下降されて、ダイシングテープ10におけるエキスパンド状態が解除される。エキスパンド状態解除後にダイシングテープ10上の接着剤層付き半導体チップ31の離間距離が狭まることを抑制するうえでは、エキスパンド状態を解除するより前に、ダイシングテープ10における半導体チップ31保持領域より外側の部分を加熱して収縮させるのが好ましい。
次に、接着剤層付き半導体チップ31を伴うダイシングテープ10における半導体チップ31側を水などの洗浄液を使用して洗浄するクリーニング工程を必要に応じて経た後、図8に示すように、接着剤層付き半導体チップ31をダイシングテープ10からピックアップする(ピックアップ工程)。例えば、ピックアップ対象の接着剤層付き半導体チップ31について、ダイシングテープ10の図中下側においてピックアップ機構のピン部材44を上昇させてダイシングテープ10を介して突き上げた後、吸着治具45によって吸着保持する。ピックアップ工程において、ピン部材44の突き上げ速度は例えば1〜100mm/秒であり、ピン部材44の突き上げ量は例えば50〜3000μmである。
次に、図9(a)に示すように、ピックアップされた接着剤層付き半導体チップ31が、所定の被着体51に対して接着剤層21を介して仮固着される。被着体51としては、例えば、リードフレーム、TAB(Tape Automated Bonding)フィルム、配線基板、および、別途作製した半導体チップが挙げられる。接着剤層21の仮固着時における25℃での剪断接着力は、被着体51に対して好ましくは0.2MPa以上、より好ましくは0.2〜10MPaである。接着剤層21の当該剪断接着力が0.2MPa以上であるという構成は、後記のワイヤーボンディング工程において、超音波振動や加熱によって接着剤層21と半導体チップ31または被着体51との接着面でずり変形が生じるのを抑制して適切にワイヤーボンディングを行うのに好適である。また、接着剤層21の仮固着時における175℃での剪断接着力は、被着体51に対して好ましくは0.01MPa以上、より好ましくは0.01〜5MPaである。
次に、図9(b)に示すように、半導体チップ31の電極パッド(図示略)と被着体51の有する端子部(図示略)とをボンディングワイヤー52を介して電気的に接続する(ワイヤーボンディング工程)。半導体チップ31の電極パッドや被着体51の端子部とボンディングワイヤー52との結線は、加熱を伴う超音波溶接によって実現され、接着剤層21を熱硬化させないように行われる。ボンディングワイヤー52としては、例えば金線、アルミニウム線、または銅線を用いることができる。ワイヤーボンディングにおけるワイヤー加熱温度は、例えば80〜250℃であり、好ましくは80〜220℃である。また、その加熱時間は数秒〜数分間である。
次に、図9(c)に示すように、被着体51上の半導体チップ31やボンディングワイヤー52を保護するための封止樹脂53によって半導体チップ31を封止する(封止工程)。本工程では、接着剤層21の熱硬化が進む。本工程では、例えば、金型を使用して行うトランスファーモールド技術によって封止樹脂53が形成される。封止樹脂53の構成材料としては、例えばエポキシ系樹脂を用いることができる。本工程において、封止樹脂53を形成するための加熱温度は例えば165〜185℃であり、加熱時間は例えば60秒〜数分間である。本工程(封止工程)で封止樹脂53の硬化が充分には進行しない場合には、本工程の後に封止樹脂53を完全に硬化させるための後硬化工程が行われる。封止工程において接着剤層21が完全に熱硬化しない場合であっても、後硬化工程において封止樹脂53と共に接着剤層21の完全な熱硬化が可能となる。後硬化工程において、加熱温度は例えば165〜185℃であり、加熱時間は例えば0.5〜8時間である。
以上のようにして、半導体装置を製造することができる。
本実施形態では、上述のように、接着剤層付き半導体チップ31が被着体51に仮固着された後、接着剤層21が完全な熱硬化に至ることなくワイヤーボンディング工程が行われる。このような構成に代えて、本発明では、接着剤層付き半導体チップ31が被着体51に仮固着された後、接着剤層21が熱硬化されてからワイヤーボンディング工程が行われてもよい。
本発明に係る半導体装置製造方法おいては、図4(d)を参照して上述したウエハ薄化工程に代えて、図10に示すウエハ薄化工程を行ってもよい。図4(c)を参照して上述した過程を経た後、図10に示すウエハ薄化工程では、ウエハ加工用テープT2に半導体ウエハWが保持された状態で、当該ウエハが所定の厚さに至るまで第2面Wbからの研削加工によって薄化されて、複数の半導体チップ31を含んでウエハ加工用テープT2に保持された半導体ウエハ分割体30Bが形成される。本工程では、分割溝30aそれ自体が第2面Wb側に露出するまでウエハを研削する手法(第1の手法)を採用してもよいし、第2面Wb側から分割溝30aに至るより前までウエハを研削し、その後、回転砥石からウエハへの押圧力の作用により分割溝30aと第2面Wbとの間にクラックを生じさせて半導体ウエハ分割体30Bを形成する手法(第2の手法)を採用してもよい。採用される手法に応じて、図4(a)および図4(b)を参照して上述したように形成される分割溝30aの、第1面Waからの深さは、適宜に決定される。図10では、第1の手法を経た分割溝30a、または、第2の手法を経た分割溝30aおよびこれに連なるクラックについて、模式的に太線で表す。本発明では、このようにして作製される半導体ウエハ分割体30Bが半導体ウエハ30Aの代わりにダイシングダイボンドフィルムXに貼り合わされたうえで、図5から図9を参照して上述した各工程が行われてもよい。
図11(a)および図11(b)は、半導体ウエハ分割体30BがダイシングダイボンドフィルムXに貼り合わされた後に行われる第1エキスパンド工程(クールエキスパンド工程)を表す。本工程では、エキスパンド装置の備える中空円柱形状の突き上げ部材43が、ダイシングダイボンドフィルムXの図中下側においてダイシングテープ10に当接して上昇され、半導体ウエハ分割体30Bの貼り合わされたダイシングダイボンドフィルムXのダイシングテープ10が、半導体ウエハ分割体30Bの径方向および周方向を含む二次元方向に引き伸ばされるようにエキスパンドされる。このエキスパンドは、ダイシングテープ10において、例えば5〜28MPa、好ましくは8〜25MPaの範囲内の引張応力が生ずる条件で行われる。本工程における温度条件は、例えば0℃以下であり、好ましくは−20〜−5℃、より好ましくは−15〜−5℃、より好ましくは−15℃である。本工程におけるエキスパンド速度(突き上げ部材43が上昇する速度)は、例えば1〜400mm/秒である。また、本工程におけるエキスパンド量は、例えば50〜200mmである。このようなクールエキスパンド工程により、ダイシングダイボンドフィルムXの接着剤層20が小片の接着剤層21に割断されて接着剤層付き半導体チップ31が得られる。具体的に、本工程では、エキスパンドされるダイシングテープ10の粘着剤層12に密着している接着剤層20において、半導体ウエハ分割体30Bの各半導体チップ31が密着している各領域では変形が抑制される一方で、半導体チップ31間の分割溝30aに対向する箇所には、そのような変形抑制作用の生じない状態で、ダイシングテープ10に生ずる引張応力が作用する。その結果、接着剤層20において半導体チップ31間の分割溝30aに対向する箇所が割断されることとなる。
本発明に係る半導体装置製造方法おいては、半導体ウエハ30Aまたは半導体ウエハ分割体30BがダイシングダイボンドフィルムXに貼り合わされるという上述の構成に代えて、以下のようにして作製される半導体ウエハ30CがダイシングダイボンドフィルムXに貼り合わされてもよい。
図12(a)および図12(b)に示すように、まず、半導体ウエハWに改質領域30bが形成される。半導体ウエハWは、第1面Waおよび第2面Wbを有する。半導体ウエハWにおける第1面Waの側には各種の半導体素子(図示略)が既に作り込まれ、且つ、当該半導体素子に必要な配線構造等(図示略)が第1面Wa上に既に形成されている。本工程では、粘着面T3aを有するウエハ加工用テープT3が半導体ウエハWの第1面Wa側に貼り合わされた後、ウエハ加工用テープT3に半導体ウエハWが保持された状態で、ウエハ内部に集光点の合わせられたレーザー光がウエハ加工用テープT3とは反対の側から半導体ウエハWに対してその分割予定ラインに沿って照射され、多光子吸収によるアブレーションに因って半導体ウエハW内に改質領域30bが形成される。改質領域30bは、半導体ウエハWを半導体チップ単位に分離させるための脆弱化領域である。半導体ウエハにおいてレーザー光照射によって分割予定ライン上に改質領域30bを形成する方法については、例えば特開2002−192370号公報に詳述されているところ、本実施形態におけるレーザー光照射条件は、例えば以下の条件の範囲内で適宜に調整される。
<レーザー光照射条件>
(A)レーザー光
レーザー光源 半導体レーザー励起Nd:YAGレーザー
波長 1064nm
レーザー光スポット断面積 3.14×10-8cm2
発振形態 Qスイッチパルス
繰り返し周波数 100kHz以下
パルス幅 1μs以下
出力 1mJ以下
レーザー光品質 TEM00
偏光特性 直線偏光
(B)集光用レンズ
倍率 100倍以下
NA 0.55
レーザー光波長に対する透過率 100%以下
(C)半導体基板が載置される載置台の移動速度 280mm/秒以下
次に、図12(c)に示すように、ウエハ加工用テープT3に半導体ウエハWが保持された状態で、半導体ウエハWが所定の厚さに至るまで第2面Wbからの研削加工によって薄化され、これによって複数の半導体チップ31に個片化可能な半導体ウエハ30Cが形成される(ウエハ薄化工程)。本発明では、以上のようにして作製される半導体ウエハ30Cが半導体ウエハ30Aの代わりにダイシングダイボンドフィルムXに貼り合わされたうえで、図5から図9を参照して上述した各工程が行われてもよい。
図13(a)および図13(b)は、半導体ウエハ30CがダイシングダイボンドフィルムXに貼り合わされた後に行われる第1エキスパンド工程(クールエキスパンド工程)を表す。本工程では、エキスパンド装置の備える中空円柱形状の突き上げ部材43が、ダイシングダイボンドフィルムXの図中下側においてダイシングテープ10に当接して上昇され、半導体ウエハ30Cの貼り合わされたダイシングダイボンドフィルムXのダイシングテープ10が、半導体ウエハ30Cの径方向および周方向を含む二次元方向に引き伸ばされるようにエキスパンドされる。このエキスパンドは、ダイシングテープ10において、例えば5〜28MPa、好ましくは8〜25MPaの範囲内の引張応力が生ずる条件で行われる。本工程における温度条件は、例えば0℃以下であり、好ましくは−20〜−5℃、より好ましくは−15〜−5℃、より好ましくは−15℃である。本工程におけるエキスパンド速度(突き上げ部材43が上昇する速度)は、例えば1〜400mm/秒である。また、本工程におけるエキスパンド量は、例えば50〜200mmである。このようなクールエキスパンド工程により、ダイシングダイボンドフィルムXの接着剤層20が小片の接着剤層21に割断されて接着剤層付き半導体チップ31が得られる。具体的に、本工程では、半導体ウエハ30Cにおいて脆弱な改質領域30bにクラックが形成されて半導体チップ31への個片化が生じる。これとともに、本工程では、エキスパンドされるダイシングテープ10の粘着剤層12に密着している接着剤層20において、半導体ウエハ30Cの各半導体チップ31が密着している各領域では変形が抑制される一方で、ウエハのクラック形成箇所に対向する箇所には、そのような変形抑制作用の生じない状態で、ダイシングテープ10に生ずる引張応力が作用する。その結果、接着剤層20において半導体チップ31間のクラック形成箇所に対向する箇所が割断されることとなる。
また、本発明において、ダイシングダイボンドフィルムXは、上述のように接着剤層付き半導体チップを得るうえで使用することができるところ、複数の半導体チップを積層して3次元実装をする場合における接着剤層付き半導体チップを得るうえでも使用することができる。そのような3次元実装における半導体チップ31間には、接着剤層21と共にスペーサが介在していてもよいし、スペーサが介在していなくてもよい。
〔実施例1〕
〈ダイシングテープの作製〉
冷却管と、窒素導入管と、温度計と、撹拌装置とを備える反応容器内で、アクリル酸ドデシル100モル部と、アクリル酸2-ヒドロキシエチル(2HEA)20モル部と、これらモノマー成分100質量部に対して0.2質量部の重合開始剤としての過酸化ベンゾイルと、重合溶媒としてのトルエンとを含む混合物を、60℃で10時間、窒素雰囲気下で撹拌した(重合反応)。これにより、アクリル系ポリマーP1を含有するポリマー溶液を得た。当該ポリマー溶液中のアクリル系ポリマーP1の重量平均分子量(Mw)は45万であった。次に、このアクリル系ポリマーP1を含有するポリマー溶液と、2-メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(MOI)と、付加反応触媒としてのジブチル錫ジラウリレートとを含む混合物を、室温で48時間、空気雰囲気下で撹拌した(付加反応)。当該反応溶液において、MOIの配合量は、上記アクリル酸ドデシル100モル部に対して20モル部であり、アクリル系ポリマーP1における2HEA由来ユニットないしその水酸基の総量に対する当該MOI配合量のモル比率は1である。また、当該反応溶液において、ジブチル錫ジラウリレートの配合量は、アクリル系ポリマーP1100質量部に対して0.03質量部である。この付加反応により、側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系ポリマーP2を含有するポリマー溶液を得た。次に、当該ポリマー溶液に、アクリル系ポリマーP2100質量部に対して1質量部のポリイソシアネート化合物(商品名「コロネートL」,東ソー株式会社製)と、2質量部の光重合開始剤(商品名「イルガキュア127」,BASF社製)とを加えて混合し、且つ、当該混合物の室温での粘度が500mPa・sになるように当該混合物についてトルエンを加えて希釈し、粘着剤溶液を得た。次に、シリコーン離型処理の施された面を有するPETセパレータ(厚さ38μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケーターを使用して粘着剤溶液を塗布して塗膜を形成し、この塗膜について130℃で2分間の加熱乾燥を行い、PETセパレータ上に厚さ10μmの粘着剤層を形成した。粘着剤層の厚さについては、ダイアルゲージ(商品名「C-7HS」,株式会社尾崎製作所製)を使用して測定した。次に、ラミネーターを使用して、この粘着剤層の露出面にエチレン−酢酸ビニル共重合体(EVA)製の基材(商品名「RB-0104」,厚さ130μm,倉敷紡績株式会社製)を室温で貼り合わせた。以上のようにして、実施例1におけるダイシングテープを作製した。
〈接着剤層の作製〉
アクリル樹脂A1(アクリル酸エチルとアクリル酸ブチルとアクリロニトリルとグリシジルメタクリレートとの共重合体,重量平均分子量は120万,ガラス転移温度は0℃,エポキシ価は0.4eq/kg)100質量部と、フェノール樹脂(商品名「8210DL」,群栄化学工業株式会社製)25質量部と、エポキシ樹脂(商品名「KI-3000」,三菱化学株式会社製)25質量部とを、メチルエチルケトンに加えて混合し、室温での粘度が700mPa・sになるように濃度を調整し、接着剤組成物を得た。次に、シリコーン離型処理の施された面を有するPETセパレータ(厚さ38μm)のシリコーン離型処理面上にアプリケーターを使用して接着剤組成物を塗布して塗膜を形成し、この塗膜について130℃で2分間の加熱乾燥を行った。以上のようにして、実施例1における厚さ7μmの接着剤層をPETセパレータ上に作製した。接着剤層の厚さについては、ダイアルゲージ(商品名「C-7HS」,株式会社尾崎製作所製)を使用して測定した。
〈ダイシングダイボンドフィルムの作製〉
上述のダイシングテープからPETセパレータを剥離した後、ダイシングテープにおいて露出した粘着剤層と、セパレータを伴う上述の接着剤層とを、ラミネーターを使用して室温で貼り合わせ、積層シート体を得た。次に、この積層シート体に対し、ダイシングテープのEVA基材の側からセパレータに至るまで加工刃を突入させる打抜き加工を行った。これにより、直径370mmの円盤形状のダイシングダイボンドフィルムがセパレータ上に形成された。
〔実施例2〕
接着剤層の厚さを7μmに代えて10μmとした以外は実施例1の接着剤層と同様にして、実施例2における接着剤層をPETセパレータ上に作製した。そして、実施例1における接着剤層の代わりに実施例2における当該接着剤層を用いたこと以外は実施例1のダイシングダイボンドフィルムと同様にして、実施例2のダイシングダイボンドフィルムを作製した。
〔実施例3〕
接着剤層の厚さを7μmに代えて20μmとした以外は実施例1の接着剤層と同様にして、実施例3における接着剤層をPETセパレータ上に作製した。そして、実施例1における接着剤層の代わりに実施例3における当該接着剤層を用いたこと以外は実施例1のダイシングダイボンドフィルムと同様にして、実施例3のダイシングダイボンドフィルムを作製した。
〔比較例1,2〕
接着剤層の作製において接着剤層の厚さを10μmに代えて20μm(比較例1)または7μm(比較例2)としたこと、および、ダイシングテープと接着剤層(ダイボンドフィルム)とを異なるサイズで別個に打抜き加工した後に両者を貼り合わせたこと以外は、実施例1のダイシングダイボンドフィルムと同様にして、比較例1,2の各ダイシングダイボンドフィルムを作製した。比較例1,2のそれぞれにおいて、ダイシングテープは、セパレータを伴った状態で直径370mmに打抜き加工し、ダイボンドフィルムは、セパレータを伴った状態で直径330mmに打抜き加工した。貼り合わせにおいては、ダイシングテープの中心とダイボンドフィルムの中心とが一致するように位置合わせしつつ行った。
〔比較例3〕
接着剤層の作製において接着剤層の厚さを10μmに代えて5μm(比較例3)としたこと、ダイシングテープと接着剤層(ダイボンドフィルム)とを異なるサイズで別個に打抜き加工した後に両者を貼り合わせたこと、および、ダイシングテープにおける粘着剤層に対して基材の側から紫外線を照射したこと以外は、実施例1のダイシングダイボンドフィルムと同様にして、比較例3のダイシングダイボンドフィルムを作製した。ダイシングテープは、セパレータを伴った状態で直径370mmに打抜き加工し、ダイボンドフィルムは、セパレータを伴った状態で直径330mmに打抜き加工した。貼り合わせにおいては、ダイシングテープの中心とダイボンドフィルムの中心とが一致するように位置合わせしつつ行った。また、紫外線照射においては、高圧水銀ランプを使用し、照射積算光量を350mJ/cm2とした。以上のようにして、ダイシングテープと接着剤層とを含む積層構造を有する比較例3のダイシングダイボンドフィルムを作製した。
〔−15℃での引張応力〕
実施例1〜3および比較例1〜3の各ダイシングダイボンドフィルムにおける外周端から内方20mmまでの外側領域から切り出された第1試験片について、引張試験機(商品名「オートグラフAGS-J」,株式会社島津製作所製)を使用して引張試験を行い、歪み値30%で生ずる引張応力を測定した。各第1試験片は、ダイシングダイボンドフィルムの外側領域内でMD方向に延びる50mmの長さ、および、10mmの幅を有する。実施例1〜3および比較例1〜3のダイシングダイボンドフィルムごとに、5枚の第1試験片を用意した。本引張試験において、初期チャック間距離は20mmであり、温度条件は−15℃であり、引張速度は300mm/分である。同一のダイシングダイボンドフィルムに由来する5枚の第1試験片に係る測定値の平均値を、当該ダイシングダイボンドフィルムの第1試験片における−15℃での引張応力(第1引張応力)とした。得られた第1引張応力の値を表1に掲げる。
実施例1〜3および比較例1〜3の各ダイシングダイボンドフィルムの上記外側領域より内方の内側領域から切り出された第2試験片について、引張試験機(商品名「オートグラフAGS-J」,株式会社島津製作所製)を使用して引張試験を行い、歪み値30%で生ずる引張応力を測定した。各第2試験片は、ダイシングダイボンドフィルムの内側領域内でMD方向に延びる50mmの長さ、および、10mmの幅を有する。実施例1〜3および比較例1〜3のダイシングダイボンドフィルムごとに、5枚の第2試験片を用意した。本引張試験において、初期チャック間距離は20mmであり、温度条件は−15℃であり、引張速度は300mm/分である。同一のダイシングダイボンドフィルムに由来する5枚の第2試験片に係る測定値の平均値を、当該ダイシングダイボンドフィルムの第2試験片における−15℃での引張応力(第2引張応力)とした。得られた第2引張応力の値を表1に掲げる。第1引張応力に対する第2引張応力の比の値も表1に掲げる。
〔23℃での引張応力〕
実施例1〜3および比較例1〜3の各ダイシングダイボンドフィルムにおける外周端から内方20mmまでの外側領域から切り出された第1試験片について、引張試験機(商品名「オートグラフAGS-J」,株式会社島津製作所製)を使用して引張試験を行い、歪み値30%で生ずる引張応力を測定した。各第1試験片は、ダイシングダイボンドフィルムの外側領域内でMD方向に延びる50mmの長さ、および、10mmの幅を有する。実施例1〜3および比較例1〜3のダイシングダイボンドフィルムごとに、5枚の第1試験片を用意した。本引張試験において、初期チャック間距離は20mmであり、温度条件は23℃であり、引張速度は300mm/分である。同一のダイシングダイボンドフィルムに由来する5枚の第1試験片に係る測定値の平均値を、当該ダイシングダイボンドフィルムの第1試験片における23℃での引張応力(第3引張応力)とした。得られた第3引張応力の値を表1に掲げる。
実施例1〜3および比較例1〜3の各ダイシングダイボンドフィルムの上記外側領域より内方の内側領域から切り出された第2試験片について、引張試験機(商品名「オートグラフAGS-J」,株式会社島津製作所製)を使用して引張試験を行い、歪み値30%で生ずる引張応力を測定した。各第2試験片は、ダイシングダイボンドフィルムの内側領域内でMD方向に延びる50mmの長さ、および、10mmの幅を有する。実施例1〜3および比較例1〜3のダイシングダイボンドフィルムごとに、5枚の第2試験片を用意した。本引張試験において、初期チャック間距離は20mmであり、温度条件は23℃であり、引張速度は300mm/分である。同一のダイシングダイボンドフィルムに由来する5枚の第2試験片に係る測定値の平均値を、当該ダイシングダイボンドフィルムの第2試験片における23℃での引張応力(第4引張応力)とした。得られた第4引張応力の値を表1に掲げる。第3引張応力に対する第4引張応力の比の値も表1に掲げる。
〈接着剤層の粘着力〉
実施例1〜3および比較例1〜3の各ダイシングダイボンドフィルムにおける接着剤層について、次のようにして−15℃での180°剥離粘着力を調べた。まず、ダイシングテープから接着剤層を剥離し、その接着剤層においてダイシングテープに貼着されていた側の面に裏打ちテープ(商品名「BT-315」,日東電工株式会社製)を貼り合わせ、当該裏打ちフィルムから試料片(幅10mm×長さ100mm)を切り出した。次に、試料片を被着体たるSUS板に貼り合わせ、2kgのローラーを1往復させる圧着作業によって試料片と被着体とを圧着させた。そして、室温での30分間の放置の後、引張試験機(商品名「オートグラフAGS-J」,株式会社島津製作所製)を使用して、SUS板に対する接着剤層試料片の180°剥離粘着力を測定した。本測定において、測定温度ないし剥離温度は−15℃とし、引張角度は180°とし、引張速度は300mm/分とした。引張試験において最初の10mm/分の示す剥離力を除外したうえでの剥離力の平均値を180°剥離粘着力(N/10mm)とした。また、実施例1〜3および比較例1〜3の各ダイシングダイボンドフィルムにおける接着剤層について、測定温度を−15℃に代えて23℃としたこと以外は−15℃での180°剥離粘着力測定と同様にして、23℃での180°剥離粘着力を測定した。これらの測定結果を表1に掲げる。
〔割断性の評価〕
実施例1〜3および比較例1〜3の各ダイシングダイボンドフィルムを使用して、以下のような貼り合わせ工程、割断のための第1エキスパンド工程(クールエキスパンド工程)、および、離間のための第2エキスパンド工程(常温エキスパンド工程)を行った。
貼り合わせ工程では、ウエハ加工用テープ(商品名「UB-3083D」,日東電工株式会社製)に保持された半導体ウエハ分割体をダイシングダイボンドフィルムの接着剤層に対して貼り合わせ、その後、半導体ウエハ分割体からウエハ加工用テープを剥離した。貼合わせにおいては、ラミネーターを使用し、貼合わせ速度を10mm/秒とし、温度条件を60℃とし、圧力条件を0.15MPaとした。また、半導体ウエハ分割体は、次のようにして形成して用意したものである。まず、ウエハ加工用テープ(商品名「V12S-R2-P」,日東電工株式会社製)にリングフレームと共に保持された状態にあるベアウエハ(直径12インチ,厚さ780μm,東京化工株式会社製)について、その一方の面の側から、ダイシング装置(商品名「DFD6260」,株式会社ディスコ製)を使用してその回転ブレードによって個片化用の分割溝(幅25μm,深さ50μm,一区画6mm×12mmの格子状をなす)を形成した。次に、分割溝形成面にウエハ加工用テープ(商品名「UB-3083D」,日東電工株式会社製)を貼り合わせた後、上記のウエハ加工用テープ(商品名「V12S-R2-P」)をウエハから剥離した。この後、バックグラインド装置(商品名「DGP8760」,株式会社ディスコ製)を使用してウエハの他方の面(分割溝の形成されていない面)の側からの研削によって当該ウエハを厚さ20μmに至るまで薄化し、続いて、同装置を使用して行うドライポリッシュによって当該研削面に対して鏡面仕上げを施した。以上のようにして、半導体ウエハ分割体(ウエハ加工用テープに保持された状態にある)を形成した。この半導体ウエハ分割体には、複数の半導体チップ(6mm×12mm)が含まれている。
クールエキスパンド工程は、ダイセパレート装置(商品名「ダイセパレータ DDS2300」,株式会社ディスコ製)を使用して、そのクールエキスパンドユニットにて行った。具体的には、まず、半導体ウエハ分割体を伴う上述のダイシングダイボンドフィルムにおける接着剤層のフレーム貼着用領域(ワーク貼着用領域の周囲)に、直径12インチのSUS製リングフレーム(株式会社ディスコ製)を室温で貼り付けた。次に、当該ダイシングダイボンドフィルムを装置内にセットし、同装置のクールエキスパンドユニットにて、半導体ウエハ分割体を伴うダイシングダイボンドフィルムのダイシングテープをエキスパンドした。このクールエキスパンド工程において、温度は−15℃であり、エキスパンド速度は100mm/秒であり、エキスパンド量は7mmである。
常温エキスパンド工程は、ダイセパレート装置(商品名「ダイセパレータ DDS2300」,株式会社ディスコ製)を使用して、その常温エキスパンドユニットにて行った。具体的には、上述のクールエキスパンド工程を経た半導体ウエハ分割体を伴うダイシングダイボンドフィルムのダイシングテープを、同装置の常温エキスパンドユニットにてエキスパンドした。この常温エキスパンド工程において、温度は23℃であり、エキスパンド速度は1mm/秒であり、エキスパンド量は10mmである。この後、常温エキスパンドを経たダイシングダイボンドフィルムについて加熱収縮処理を施した。その処理温度は200℃であり、処理時間は20秒である。
実施例1〜3および比較例1〜3の各ダイシングダイボンドフィルムを使用して行った以上のような過程を経た段階において、半導体ウエハ分割体に含まれる半導体チップの総数に対する、割断された接着剤層を伴う半導体チップの総数の割合を調べた。そして、接着剤層の割断性について、当該割合が80%以上である場合を良(○)と評価し、当該割合が80%未満である場合を不良(×)と評価した。この評価結果を表1に掲げる。
[評価]
実施例1〜3のダイシングダイボンドフィルムでは、第1引張応力に対する第2引張応力の比の値が0.9〜1.1の範囲内にある。このような実施例1〜3のダイシングダイボンドフィルムによると、第1引張応力に対する第2引張応力の比の値が0.9〜1.1の範囲内にない比較例1〜3のダイシングダイボンドフィルムによるよりも、−15℃でのエキスパンド工程において接着剤層付き半導体チップへの個片化(割断)を良好に行うことができた。