JP2018170439A - 貫通電極基板及び貫通電極基板を備える実装基板並びに貫通電極基板の製造方法 - Google Patents
貫通電極基板及び貫通電極基板を備える実装基板並びに貫通電極基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018170439A JP2018170439A JP2017067755A JP2017067755A JP2018170439A JP 2018170439 A JP2018170439 A JP 2018170439A JP 2017067755 A JP2017067755 A JP 2017067755A JP 2017067755 A JP2017067755 A JP 2017067755A JP 2018170439 A JP2018170439 A JP 2018170439A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- substrate
- electrode substrate
- layer
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 235
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 30
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 16
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims description 14
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 7
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 7
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 6
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 5
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 121
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 26
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 8
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 5
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 5
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 4
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 4
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 2
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 229920002577 polybenzoxazole Polymers 0.000 description 2
- BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N pyrene Chemical compound C1=CC=C2C=CC3=CC=CC4=CC=C1C2=C43 BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 229910000287 alkaline earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N fluoranthrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=C22)=C3C2=CC=CC3=C1 GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- KXXXUIKPSVVSAW-UHFFFAOYSA-K pyranine Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].C1=C2C(O)=CC(S([O-])(=O)=O)=C(C=C3)C2=C2C3=C(S([O-])(=O)=O)C=C(S([O-])(=O)=O)C2=C1 KXXXUIKPSVVSAW-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
Description
図1は、本実施の形態に係る実装基板60を示す平面図である。また、図2は、図1の実装基板60を矢印IIの方向から見た断面図である。実装基板60は、貫通電極基板10と、貫通電極基板10の第1面13側に搭載された素子50とを備える。素子50は、アプリケーションプロセッサ(AP)、CPU、GPU、DRAMなどである。素子50は、素子50の端子に設けられたバンプ51などを介して貫通電極基板10に電気的に接続されている。なお、本願の平面図においては、図が煩雑になるのを防ぐため、後述する第1絶縁層などの一部の層を省略している。
貫通電極基板10は、基板12、貫通電極17、配線21、第1配線構造部30及び第2配線構造部40を備える。以下、貫通電極基板10の各構成要素について説明する。
基板12は、第1面13、及び、第1面13の反対側に位置する第2面14を含む。また、基板12には、第1面13から第2面14に至る複数の貫通孔16が設けられている。また、基板12には、第2面14には至らないように第1面13に設けられた複数の非貫通孔18が設けられている。
貫通電極17は、貫通孔16の内部に少なくとも部分的に位置し、且つ導電性を有する部材である。本実施の形態において、貫通電極17は、第1面13の面内方向において少なくとも部分的に貫通孔16の中心点にまで広がっている。言い換えると、貫通電極17の厚みは、貫通孔16の幅S1にほぼ等しい。すなわち、貫通電極17は、貫通孔16に充填されたフィルドビアである。
配線21は、非貫通孔18に位置する導電層によって構成された部材である。配線21は、非貫通孔18の内部において、基板12の第1面13の面内方向に沿って延びる。図1に示す例において、配線21は、貫通電極基板10に搭載される2つの素子50の端子を電子的に接続する接続部22を構成している。
これに対して、本実施の形態によれば、非貫通孔18に導電層を埋め込むので、絶縁層を用いることなく配線21を構成することができる。このため、良好な高周波伝送特性を有する配線21を形成することができる。従って、2つの素子50の間で大量のデータを高速で伝送することができる。
第1配線構造部30は、基板12の第1面13側に位置し、電気的な回路を構成する構造部である。第1配線構造部30は、第1導電層31及び第1絶縁層32を少なくとも含む。
第2配線構造部40は、基板12の第2面14側に位置し、電気的な回路を構成する構造部である。第2配線構造部40は、第2導電層41を少なくとも含む。第2配線構造部40は、第2導電層41を覆う第2絶縁層などのその他の層を更に含んでいてもよい。
以下、実装基板60の製造方法について説明する。まず、基板12に貫通孔16及び非貫通孔18を形成する方法について、図3乃至図5を参照して説明する。ここでは、レーザ誘起背面湿式加工法を用いる例について説明する。
まず、透明性を有する基板12を準備する。続いて、図3に示すように、基板12の第1面13に色素溶液70を接触させる。続いて、基板12の第2面14側から色素溶液70に向けて部分的にレーザ光L1,L2を照射する。「部分的」とは、基板12の全域にレーザ光L1,L2を照射するのではなく、基板12のうち貫通孔16や非貫通孔18などの孔が形成されるべき部分にレーザ光L1,L2を照射することを意味する。
続いて、貫通孔16及び非貫通孔18が設けられた基板12を用いて貫通電極基板10を製造する方法について、図6乃至図8を参照して説明する。
上述の実施の形態においては、基板12の非貫通孔18に埋め込まれた配線21が、2つの素子50の端子を電気的に接続する接続部22を構成する例を示した。本変形例においては、配線21がインダクタ23を構成する例について説明する。
上述の実施の形態においては、基板12の非貫通孔18に位置する導電層が、配線21を構成する例を示した。本変形例においては、非貫通孔18に位置する導電層が、コンデンサ26を構成する積層体25の一部を構成する例について説明する。
上述の実施の形態においては、非貫通孔18が、素子50が搭載される側である第1面13に形成されている例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図16に示すように、非貫通孔18が、素子50が搭載される側の反対側である第2面14に形成されていてもよい。これにより、第2面14側において大気などの気体に接する面積を増加させることができる。このため、素子50などで発生した熱を第2面14側から外部へ効率的に逃がすことができる。
図16に示す第2面14側の非貫通孔18の底面及び壁面に、図17に示すように、更に伝熱層27を設けてもよい。伝熱層27は、導電性及び伝熱性を有する層であり、例えば金属を含む層である。伝熱層27を設けることにより、非貫通孔18の内部において熱を分散させることができるので、熱を外部へより効率的に逃がすことができる。
第3の変形例及び第4の変形例においては、放熱機能を果たす非貫通孔18が、素子50が搭載される側である第1面13とは反対側の第2面14に形成されている例を示した。しかしながら、これに限られることはなく、図17に示すように、放熱機能を果たす非貫通孔18が、素子50が搭載される側である第1面13に形成されていてもよい。
本変形例においては、基板12の非貫通孔18に埋め込まれた複数の配線21が、X線などの放射線を選択的に透過させる放射線グリッドとして機能する例について説明する。
上述の実施の形態及び各変形例においては、基板12の非貫通孔18に導電層を埋め込む例を示した。しかしながら、非貫通孔18に埋め込まれる部材が導電層に限られることはない。例えば、基板12の非貫通孔18に、光を導くことができる導光層を埋め込んでもよい。導光層は、酸化珪素などの、透明且つ基板12とは異なる屈折率を有する材料を含む。このような導光層を非貫通孔18に埋め込むことにより、基板12の面内方向に沿って光を導く路を、すなわち導光路を構成することができる。
12 基板
13 第1面
14 第2面
16 貫通孔
17 貫通電極
18 非貫通孔
20 埋め込み導電層
21 配線
22 接続部
23 インダクタ
24 グリッド部
25 積層体
251 第1層
252 第2層
253 第3層
26 コンデンサ
27 伝熱層
28 放熱部
30 第1配線構造部
31 第1導電層
32 第1絶縁層
33 第1接続部
40 第2配線構造部
41 第2導電層
50 素子
51 バンプ
60 実装基板
70 色素溶液
71 孔
72 導電層
Claims (21)
- 第1面及び前記第1面の反対側に位置する第2面を含むとともに、前記第1面から前記第2面に貫通する貫通孔、及び前記第1面又は前記第2面に位置する非貫通孔が設けられた基板と、
前記基板の前記貫通孔に位置する貫通電極と、
前記基板の前記非貫通孔に位置する導電層と、を備える、貫通電極基板。 - 前記非貫通孔に位置する導電層は、前記基板の面内方向に沿って延びる配線を含む、請求項1に記載の貫通電極基板。
- 前記配線は、前記貫通電極基板に搭載される2つの素子の端子を電気的に接続する接続部を構成する、請求項2に記載の貫通電極基板。
- 前記配線は、少なくとも部分的にらせん状に延びている、請求項2に記載の貫通電極基板。
- 前記配線の上面の少なくとも縁部は、前記基板の前記第1面又は前記第2面と同一平面上に位置する、請求項2乃至4のいずれか一項に記載の貫通電極基板。
- 前記配線の上面の平均粗さが、50nm以上且つ5μm以下である、請求項2乃至5のいずれか一項に記載の貫通電極基板。
- 前記非貫通孔に位置する前記導電層は、前記非貫通孔の内部及び前記非貫通孔の周囲の前記第1面又は前記第2面に位置する積層体の一部を含み、
前記積層体は、非貫通孔の底面上及び壁面上に位置し、導電性を有する第1層と、前記第1層に積層され、絶縁性を有する第2層と、前記第2層に積層され、導電性を有する第3層と、を含む、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の貫通電極基板。 - 前記積層体の前記第1層は、銅、アルミニウム、白金、金、ニッケル又はタングステンを含み、
前記第2層は、窒化珪素(SiN)、酸化珪素(SiO2)酸化アルミニウム(Al2O3)、チタン酸バリウム(BaTiO3)又はチタン酸ジルコン酸鉛(Pb(Zrx、Ti1−x))O3)を含む、請求項7に記載の貫通電極基板。 - 前記積層体の前記第1層は、50nm以上且つ25μm以下の厚みを有し、
前記積層体の前記第2層は、10nm以上且つ1μm以下の厚みを有する、請求項7又は8に記載の貫通電極基板。 - 前記非貫通孔の少なくとも一部は、前記貫通電極基板に搭載される素子とは反対側において前記基板に設けられている、請求項1乃至9のいずれか一項に記載の貫通電極基板。
- 前記非貫通孔に位置する前記導電層は、前記貫通電極基板に搭載される素子とは反対側に位置する前記非貫通孔の底面及び壁面に設けられた伝熱層を含む、請求項1乃至10のいずれか一項に記載の貫通電極基板。
- 前記基板が、透明性を有する、請求項1乃至11のいずれか一項に記載の貫通電極基板。
- 前記基板が、ガラスを含む、請求項12に記載の貫通電極基板。
- 前記貫通孔の幅に対する前記基板の厚みの比率が2以上である、請求項1乃至13のいずれか一項に記載の貫通電極基板。
- 前記貫通孔の壁面の平均粗さが、10nm以上且つ500nm以下である、請求項1乃至14のいずれか一項に記載の貫通電極基板。
- 第1面及び前記第1面の反対側に位置する第2面を含むとともに、前記第1面から前記第2面に貫通する貫通孔、及び前記第1面又は前記第2面に位置する非貫通孔が設けられた基板と、
前記基板の前記貫通孔に位置する貫通電極と、
前記基板の前記非貫通孔に位置する導光層と、を備える、貫通電極基板。 - 請求項1乃至16のいずれか一項に記載の貫通電極基板と、
前記貫通電極基板に搭載された素子と、を備える、実装基板。 - 第1面及び前記第1面の反対側に位置する第2面を含み、透明性を有する基板を準備する工程と、
前記基板の前記第1面に色素溶液を接触させる工程と、
前記基板の前記第2面側から前記色素溶液に向けて部分的に光を照射し、前記基板に、前記第1面から前記第2面に貫通する貫通孔、及び前記第1面に位置する非貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔に貫通電極を形成し、前記非貫通孔に導電層を形成する工程と、を備える、貫通電極基板の製造方法。 - 前記基板が、ガラスを含む、請求項18に記載の貫通電極基板の製造方法。
- 前記貫通孔の幅に対する前記基板の厚みの比率が2以上である、請求項18又は19に記載の貫通電極基板の製造方法。
- 前記貫通孔の壁面の平均粗さが、10nm以上且つ500nm以下である、請求項18乃至20のいずれか一項に記載の貫通電極基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017067755A JP2018170439A (ja) | 2017-03-30 | 2017-03-30 | 貫通電極基板及び貫通電極基板を備える実装基板並びに貫通電極基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017067755A JP2018170439A (ja) | 2017-03-30 | 2017-03-30 | 貫通電極基板及び貫通電極基板を備える実装基板並びに貫通電極基板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018170439A true JP2018170439A (ja) | 2018-11-01 |
Family
ID=64020401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017067755A Pending JP2018170439A (ja) | 2017-03-30 | 2017-03-30 | 貫通電極基板及び貫通電極基板を備える実装基板並びに貫通電極基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018170439A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008140954A (ja) * | 2006-12-01 | 2008-06-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 放熱配線基板とその製造方法並びにこれを用いた発光モジュール |
JP2008203336A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Fujikura Ltd | 光電気複合基板およびその製造方法、並びに電子機器 |
JP2011192853A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Sintokogio Ltd | 半導体装置 |
JP2015153830A (ja) * | 2014-02-12 | 2015-08-24 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 紫外線発光装置及びそれに用いるインタポーザ |
JP2016530698A (ja) * | 2013-08-29 | 2016-09-29 | クアルコム,インコーポレイテッド | 基板用の超微小ピッチおよび間隔相互配線 |
-
2017
- 2017-03-30 JP JP2017067755A patent/JP2018170439A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008140954A (ja) * | 2006-12-01 | 2008-06-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 放熱配線基板とその製造方法並びにこれを用いた発光モジュール |
JP2008203336A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Fujikura Ltd | 光電気複合基板およびその製造方法、並びに電子機器 |
JP2011192853A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Sintokogio Ltd | 半導体装置 |
JP2016530698A (ja) * | 2013-08-29 | 2016-09-29 | クアルコム,インコーポレイテッド | 基板用の超微小ピッチおよび間隔相互配線 |
JP2015153830A (ja) * | 2014-02-12 | 2015-08-24 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 紫外線発光装置及びそれに用いるインタポーザ |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
新納弘之,外4名: "レーザー誘起背面湿式加工法による透明材料の加工", レーザー研究, vol. 36巻,Supplement号, JPN6020041670, 2008, pages 108 - 109, ISSN: 0004659980 * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6539992B2 (ja) | 配線回路基板、半導体装置、配線回路基板の製造方法、半導体装置の製造方法 | |
US10790209B2 (en) | Wiring circuit substrate, semiconductor device, method of producing the wiring circuit substrate, and method of producing the semiconductor device | |
JP7363972B2 (ja) | 貫通電極基板及びその製造方法、並びに実装基板 | |
WO2018105618A1 (ja) | コア基板、多層配線基板、半導体パッケージ、半導体モジュール、銅張基板、及びコア基板の製造方法 | |
WO2015151512A1 (ja) | インターポーザ、半導体装置、インターポーザの製造方法、半導体装置の製造方法 | |
JP7207461B2 (ja) | 貫通電極基板、貫通電極基板を備える実装基板並びに貫通電極基板の製造方法 | |
JP7068638B2 (ja) | 配線基板及び実装基板 | |
TW201427527A (zh) | 多層基板 | |
JP7276403B2 (ja) | 貫通電極基板及び実装基板 | |
JP2023145618A (ja) | 貫通電極基板、半導体装置及び貫通電極基板の製造方法 | |
JP2018160607A (ja) | 貫通電極基板、貫通電極基板を備える実装基板並びに貫通電極基板の製造方法 | |
JP6378616B2 (ja) | 電子部品内蔵プリント配線板 | |
JP5660462B2 (ja) | プリント配線板 | |
JP2018170439A (ja) | 貫通電極基板及び貫通電極基板を備える実装基板並びに貫通電極基板の製造方法 | |
JP2018170440A (ja) | 貫通電極基板、貫通電極基板を備える実装基板並びに貫通電極基板の製造方法 | |
CN116636003A (zh) | 包括多个通孔的通孔连接结构以及包括其的基板 | |
JP2019016653A (ja) | 導電基板、電子部品搭載基板および導電基板の製造方法 | |
JP2019091767A (ja) | 配線基板及び配線基板を備える実装基板並びに配線基板の製造方法 | |
JP2019054053A (ja) | 貫通配線を有する配線基板とその作製方法 | |
JP2018160525A (ja) | 貫通電極基板及び貫通電極基板を備える実装基板並びに貫通電極基板の製造方法 | |
JP2019029377A (ja) | 貫通電極基板およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201023 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201223 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210521 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210715 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20211210 |