JP2018157235A - 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明では、基板(8)を処理するための処理液を貯留する処理液貯留部(38)と、前記処理液貯留部(38)に前記処理液を供給する処理液供給部(39)と、前記処理液貯留部(38)の内部の前記処理液を循環させる処理液循環部(40)と、前記処理液を排出させる処理液排出部(41)と、前記処理液中の濃度を計測する濃度センサ(61)と、前記処理液供給部(39)を制御する制御部(7)とを有し、前記制御部(7)は、前記基板(8)の処理中に、前記処理液循環部(40)で前記処理液を断続的に循環させ、循環させた前記処理液を前記処理液排出部(41)から所定のタイミングで断続的に排出させるとともに、前記処理液供給部(39)から新たな前記処理液を前記所定のタイミングで断続的に供給させ、排出させた前記処理液について前記処理液中の濃度を前記濃度センサ(61)で所定のタイミングで断続的に計測させることにした。
【選択図】図4
Description
7 制御部
8 基板
38 処理液貯留部
39 処理液供給部
40 処理液循環部
41 処理液排出部
61 濃度センサ
Claims (8)
- 基板を処理するための処理液を貯留する処理液貯留部と、
前記処理液貯留部に前記処理液を供給する処理液供給部と、
前記処理液貯留部の内部の前記処理液を循環させる処理液循環部と、
前記処理液を排出させる処理液排出部と、
前記処理液中の濃度を計測する濃度センサと、
前記処理液供給部を制御する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記基板の処理中に、前記処理液循環部で前記処理液を断続的に循環させ、循環させた前記処理液を前記処理液排出部から所定のタイミングで断続的に排出させるとともに、前記処理液供給部から新たな前記処理液を前記所定のタイミングで断続的に供給させ、排出させた前記処理液について前記処理液中の濃度を前記濃度センサで所定のタイミングで断続的に計測させることを特徴とする基板液処理装置。 - 前記濃度センサで前記処理液中の濃度を計測する前記所定のタイミングは、前記処理液排出部から前記処理液を排出させる前記所定のタイミングよりも頻度を少なくしたことを特徴とする請求項1に記載の基板液処理装置。
- 基板を処理するための処理液を貯留する処理液貯留部と、
前記処理液貯留部に前記処理液を供給する処理液供給部と、
前記処理液貯留部の内部の前記処理液を循環させる処理液循環部と、
前記処理液を排出させる処理液排出部と、
前記処理液中の濃度を計測する濃度センサと、
前記処理液供給部を制御する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記基板の処理中に、前記処理液循環部で前記処理液を連続して循環させ、循環させた前記処理液を前記処理液排出部から連続して排出させるとともに、前記処理液供給部から新たな前記処理液を連続して供給させ、排出させた前記処理液について前記処理液中の濃度を前記濃度センサで所定のタイミングで断続的に計測させることを特徴とする基板液処理装置。 - 処理液貯留部に貯留した基板を処理するための処理液を処理液循環部で断続的に循環し、循環する前記処理液を処理液排出部から所定のタイミングで断続的に排出するとともに、処理液供給部から新たな前記処理液を前記所定のタイミングで供給し、排出する前記処理液について前記処理液中の濃度を濃度センサで所定のタイミングで断続的に計測することを特徴とする基板液処理方法。
- 前記濃度センサで前記処理液中の濃度を計測する前記所定のタイミングは、前記処理液排出部から前記処理液を排出する前記所定のタイミングよりも頻度を少なくしたことを特徴とする請求項4に記載の基板液処理方法。
- 処理液貯留部に貯留した基板を処理するための処理液を処理液循環部で連続して循環し、循環する前記処理液を処理液排出部から連続して排出するとともに、処理液供給部から新たな前記処理液を連続して供給し、排出する前記処理液について前記処理液中の濃度を濃度センサで所定のタイミングで断続的に計測することを特徴とする基板液処理方法。
- 基板を処理するための処理液を貯留する処理液貯留部と、
前記処理液貯留部に前記処理液を供給する処理液供給部と、
前記処理液貯留部の内部の前記処理液を循環させる処理液循環部と、
前記処理液を排出させる処理液排出部と、
前記処理液中の濃度を計測する濃度センサと、を有する基板液処理装置を用いて、前記基板の液処理を実行させる基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体において、
前記処理液循環部で前記処理液を断続的に循環させ、循環させた前記処理液を前記処理液排出部から所定のタイミングで断続的に排出させるとともに、前記処理液供給部から新たな前記処理液を前記所定のタイミングで断続的に供給させ、排出させた前記処理液について前記処理液中の濃度を前記濃度センサで所定のタイミングで断続的に計測させることを特徴とする基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。 - 基板を処理するための処理液を貯留する処理液貯留部と、
前記処理液貯留部に前記処理液を供給する処理液供給部と、
前記処理液貯留部の内部の前記処理液を循環させる処理液循環部と、
前記処理液を排出させる処理液排出部と、
前記処理液中の濃度を計測する濃度センサと、を有する基板液処理装置を用いて、前記基板の液処理を実行させる基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体において、
前記処理液循環部で前記処理液を連続して循環させ、循環させた前記処理液を前記処理液排出部から連続して排出させるとともに、前記処理液供給部から新たな前記処理液を連続して供給させ、排出させた前記処理液について前記処理液中の濃度を前記濃度センサで所定のタイミングで断続的に計測させることを特徴とする基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
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---|---|---|---|---|
KR20200138022A (ko) | 2019-05-31 | 2020-12-09 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치, 기판 처리 시스템 및 기판 처리 방법 |
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2018
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