JP2018148067A - 配線基板および固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】光を通過させる領域を有しつつ、光耐性を有する配線基板を提供する。
【解決手段】配線基板100は、第1面110−1および第1面に対向する第2面110−2を有し、第1波長の光を透過する第1領域111および第1領域に隣り合って配置された第2領域113を含む基板110と、基板110の第1面110−1と第2面110−2との間を貫通し、第2領域113に配置された貫通電極120と、基板110の第2領域113に配置され、貫通電極120と電気的に接続された第1配線層140と、第1有機絶縁層130(150)と、を含む第1配線構造体160と、第1配線構造体160の上面の少なくとも一部および第1配線構造体160の第1領域側に位置する端部の少なくとも一部を覆うように配置され、第1波長の光を遮光する第1遮光層170と、を含む。
【選択図】図3
【解決手段】配線基板100は、第1面110−1および第1面に対向する第2面110−2を有し、第1波長の光を透過する第1領域111および第1領域に隣り合って配置された第2領域113を含む基板110と、基板110の第1面110−1と第2面110−2との間を貫通し、第2領域113に配置された貫通電極120と、基板110の第2領域113に配置され、貫通電極120と電気的に接続された第1配線層140と、第1有機絶縁層130(150)と、を含む第1配線構造体160と、第1配線構造体160の上面の少なくとも一部および第1配線構造体160の第1領域側に位置する端部の少なくとも一部を覆うように配置され、第1波長の光を遮光する第1遮光層170と、を含む。
【選択図】図3
Description
本開示は、配線基板および固体撮像素子に関する。
固体撮像素子の小型化、高品質化及び高精度化に向けて、光学素子および受光素子などの半導体素子とともに配線基板の開発が進められている。貫通電極を有する配線基板は、中継基板(インターポーザ)としての機能を有する。配線基板の基材として、従来はシリコンウェハやプリント基板が用いられてきたが、透明基板を用いた開発が進められている。例えば特許文献1には、半導体チップと線膨張係数が同等であって強度、耐加圧性、耐水性の良好なガラス基材を用いたインターポーザと、このインターポーザ上に固定された半導体チップとからなる半導体装置が開示されている。
従来の配線基板では、透光性を有しない基板が用いられていたため、光を透過させるためには、光が透過するように開孔した領域を設ける必要があった。一方で、配線基板に透明基板を用いることで、光を透過する領域を開孔しなくてもよいため、製造工程の短縮や特性の向上が期待される。しかしながら、透明基板を用いた場合、意図しない経路で配線基板内に光が侵入してしまうことが考えられる。この場合、配線基板に用いられた配線および有機絶縁層の耐光性が不十分の場合、配線基板の特性が低下する恐れがある。具体的には、配線基板に配置された有機絶縁層が光により脆化し、絶縁耐性が劣化する恐れがある。
このような課題に鑑み、本開示の実施形態における目的の一つは、光を透過させる領域を有しつつ、光耐性を有する配線基板を提供することにある。
本開示の一実施形態によると、第1面および当該第1面に対向する第2面を含み、第1波長の光を透過する第1領域および第1領域に隣り合って配置された第2領域を含む基板と、基板の第1面と第2面との間を貫通し、第2領域に配置された貫通電極と、基板の第2領域に配置され、貫通電極と電気的に接続された第1配線層と、第1有機絶縁層と、を含む第1配線構造体と、第1配線構造体の上面の少なくとも一部および第1配線構造体の第1領域側に位置する端部の少なくとも一部を覆うように配置され、第1波長の光を遮光する第1遮光層と、を含む、配線基板が、提供される。
上記配線基板において、第1領域は、第2領域に囲まれた領域であってもよい。
上記配線基板において、第1有機絶縁層の側面は、順テーパー形状又は逆テーパー形状を有してもよい。
上記配線基板において、第1遮光層は開口部を有し、開口部には、第1配線層と接続されるバンプ電極が配置されてもよい。
上記配線基板において、第1遮光層は、導電体を含み、バンプ電極と離間してもよい。
上記配線基板において、第1遮光層は、光を吸収する材料を含んでもよい。
上記配線基板において、第1遮光層は、光を反射する材料で含んでもよい。
上記配線基板において、第1遮光層は、酸化クロム、窒化クロム、窒化チタンおよびカーボンブラックのうち少なくともいずれか一を有してもよい。
上記配線基板において、第1遮光層の上面および第1領域側の端部の少なくとも一部を覆うように配置された第2遮光層を含んでもよい。
上記配線基板において、基板の第2面に第1配線構造体に対向して配置され、貫通電極と電気的に接続された第2配線層と、第2有機絶縁層と、を含む第2配線構造体と、第2配線構造体の上面の少なくとも一部および第2配線構造体の第1領域側の端部の少なくとも一部を覆うように配置され、第1波長の光を遮光する第2遮光層と、を含んでもよい。
上記配線基板において、第1領域は、複数設けられてもよい。
上記配線基板において、基板に貫通して配置され、第1遮光層の第1領域側の端部と、貫通電極との間に設けられた遮光部をさらに含んでもよい。
本開示の一実施形態によると、配線基板と、基板の第1面側に配置され、第1領域と対向する位置に配置された光学素子と、配線基板と電気的に接続され、配線基板に対して、光学素子とは反対側に配置され、光学素子および第1領域を通過した光が照射される受光部を有する半導体素子と、を含む、固体撮像素子が提供される。
本開示の一実施形態によると、光を透過させる領域を有しつつ、光耐性を有する配線基板を提供することができる。
以下、本開示の各実施形態に係る配線基板等について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、以下に示す各実施形態は本開示の実施形態の一例であって、本開示はこれらの実施形態に限定して解釈されるものではない。なお、本実施形態で参照する図面において、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号または類似の符号(数字の後にA、B等を付しただけの符号)を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。また、図面の寸法比率は説明の都合上実際の比率とは異なったり、構成の一部が図面から省略されたりする場合がある。
<第1実施形態>
(1−1.固体撮像素子の構成)
はじめに固体撮像素子700について説明する。図1は、固体撮像素子700の断面図である。図1に示すように、固体撮像素子700は、筐体710、アパーチャ720、レンズ730(レンズ730−1、レンズ730−2)などの光学素子、カラーフィルタ735、制御回路745、配線基板100、トランジスタを含むチップ化された半導体素子750およびパッケージ基板770を有する。固体撮像素子700は、イメージセンサと呼ぶことができる。
(1−1.固体撮像素子の構成)
はじめに固体撮像素子700について説明する。図1は、固体撮像素子700の断面図である。図1に示すように、固体撮像素子700は、筐体710、アパーチャ720、レンズ730(レンズ730−1、レンズ730−2)などの光学素子、カラーフィルタ735、制御回路745、配線基板100、トランジスタを含むチップ化された半導体素子750およびパッケージ基板770を有する。固体撮像素子700は、イメージセンサと呼ぶことができる。
筐体710は、光を遮光する部材で形成され、アパーチャ720、レンズ730(レンズ730−1、レンズ730−2)、配線基板100、トランジスタを含むチップ化された半導体素子750およびパッケージ基板770を収納する。なお、パッケージ基板770は、筐体710の外側に設けられてもよい。
アパーチャ720およびレンズ730は、配線基板100の第1面110−1側に配置され、第1領域111に対向する。アパーチャ720は、画面の大きさを制限する機能を有する。アパーチャ720は、画像の明るさを制御する機能を有していてもよい。なお、アパーチャ720が可変的に画面の大きさや画面の明るさを制御するために動作する場合には、制御回路745によりアパーチャ720の動作が制御される。
レンズ730は、光を屈折させて発散または集束させる機能を有する。レンズ730は単数であってもよいし、複数設けられてもよい。たとえば、固体撮像素子700には、レンズ730−1およびレンズ730−2が設けられる。
カラーフィルタ735は、可視光のうち特定の波長を有する光を透過させる機能を有する。
配線基板100は、制御回路745と、半導体素子750とを接続する中継基板(インターポーザ)としての機能を有する。配線基板100と、制御回路745とは、バンプ電極741で接続される。
半導体素子750は、中央演算処理装置(CPU:Central Processing Unit)としての機能、または記憶装置としての機能、さらに光を受光する機能を有する。配線基板100と、半導体素子750とは、バンプ電極743などを用いて電気的に接続される。半導体素子750は、配線基板1000に対して、アパーチャ720、レンズ730などの光学素子とは反対側に配置される。また、半導体素子750と、パッケージ基板770とは、錫、銀などを含むバンプ電極760などを用いて電気的に接続される。また、半導体素子750と、パッケージ基板770との間には、さらに配線基板が設けられてもよい。
固体撮像素子700において、被写体が発した光190は、最初にアパーチャ720およびレンズ730を通る。続いて、光190は配線基板100のうち図3に記載の基板110の第1領域111を透過し、半導体素子750の受光部750Aにより受光される。なお、配線基板100のうち基板110の第2領域113に配置された配線や有機絶縁層は、後述する遮光層170および遮光層270により遮光されている。受光部750Aにおいて受光された光は、その明暗に応じた電荷量に変換され、電気信号に変換される。この電気信号を取得することによって出力画像を得ることができる。固体撮像素子700には、CCDイメージセンサ(Charge−Coupled Device)またはCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサがあり、製造工程、消費電力および機能に合わせて適宜選択することができる。なお、カラーフィルタ735は、適宜省略されてもよい。
(1−2.配線基板100の構成)
次に、固体撮像素子700で用いられる配線基板100の詳細について説明する。図2に配線基板100の上面図を示す。図3に配線基板100のA1−A2間の断面図を示す。図2および図3に示すように、基板110は、第1面110−1および第1面110−1に対向する第2面110−2を有する。配線基板100は、第1面110−1側に基板110、貫通電極120、有機絶縁層130、配線層140、有機絶縁層150、遮光層170およびバンプ電極180を含む。なお、バンプ電極180は、図1に示すバンプ電極741と同じであってもよい。また、配線基板100は、第2面110−2側に有機絶縁層230、配線層240、有機絶縁層250、遮光層270、バンプ電極180およびバンプ電極280を含む。なお、バンプ電極280は、図1に示すバンプ電極743と同じであってもよい。
次に、固体撮像素子700で用いられる配線基板100の詳細について説明する。図2に配線基板100の上面図を示す。図3に配線基板100のA1−A2間の断面図を示す。図2および図3に示すように、基板110は、第1面110−1および第1面110−1に対向する第2面110−2を有する。配線基板100は、第1面110−1側に基板110、貫通電極120、有機絶縁層130、配線層140、有機絶縁層150、遮光層170およびバンプ電極180を含む。なお、バンプ電極180は、図1に示すバンプ電極741と同じであってもよい。また、配線基板100は、第2面110−2側に有機絶縁層230、配線層240、有機絶縁層250、遮光層270、バンプ電極180およびバンプ電極280を含む。なお、バンプ電極280は、図1に示すバンプ電極743と同じであってもよい。
基板110は、第1面110−1および第1面110−1に対向する第2面110−2を有する。基板110は、光を透過する材料が用いられる。例えば、基板110には、ソーダガラス基板、無アルカリガラス基板、石英ガラス基板などの無機材料を含む基板、またはアクリル、ポリエチレンテレフタレート(PET)などの有機樹脂材料を含む基板が用いられる。例えば、石英ガラス基板の透過率は、可視光に対して90%を有するように構成される。また、基板110には、第1面110−1から第2面110−2まで貫通する貫通孔115が設けられる。上面から見たときの貫通孔115は円形状を有してもよい。また、貫通孔115の幅は、10μm以上100μm未満の範囲で適宜設定すればよい。
貫通電極120は、貫通孔115、第1面110−1の一部および第2面110−2の一部に配置される。貫通電極120には、低抵抗の材料が用いられる。例えば、貫通電極120には、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、ニッケル(Ni)または錫(Sn)を含む材料が用いられてもよい。
有機絶縁層130は、基板110の第1面110−1および貫通電極120上に設けられる。有機絶縁層130には、有機絶縁材料が用いられる。また、有機絶縁層130には、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリベンゾオキサゾール(PBO)などの有機絶縁材料が用いられてもよい。有機絶縁層230は、基板110の第2面110−1および貫通電極120上に設けられる。有機絶縁層230には、有機絶縁層130と同様の材料が用いられてもよい。
配線層140は、有機絶縁層130の上面および貫通電極120上に設けられる。また、配線層140は、貫通電極120と電気的に接続される。配線層140には、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、白金(Pt)、タングステン(W)またはニッケル(Ni)が用いられてもよい。配線層240は、有機絶縁層230の上面および貫通電極120上に設けられる。また、配線層240は、貫通電極120と電気的に接続される。配線層240は、配線層140と同様の材料が用いられてもよい。
有機絶縁層150は、有機絶縁層130および配線層140上に配置される。有機絶縁層150には有機絶縁層130と同様の材料が用いられる。ここで、有機絶縁層130および有機絶縁層150のうち少なくともいずれか含む有機絶縁層を第1有機絶縁層とし、配線層140を含む配線層を第1配線層とする。配線構造体160(第1配線構造体)は、第1有機絶縁層および第1配線層を含む。
有機絶縁層250は、有機絶縁層230および配線層240上に配置される。なお、有機絶縁層230および有機絶縁層250の少なくともいずれかを含む有機絶縁層を第2有機絶縁層とし、配線層240を含む配線層を第2配線層とする。配線構造体260(第2配線構造体)は、第2有機絶縁層および第2配線層を含む。
遮光層170(第1遮光層)は、配線構造体160を覆うように配置される。このとき、遮光層170は、配線構造体160の上面160Aの少なくとも一部および、配線構造体160の第1領域111側の端部160Bの少なくとも一部を覆う。図2および3においては、バンプ電極180の開口部175を除いて、配線構造体160の上面160A、第1領域111側の端部160Bおよび外縁側の端部160Cがすべて遮光層170に覆われている。遮光層170の端部170Bは、配線構造体160の第1領域111側の端部160Bよりも内側(第1領域111側)に設けられる。
遮光層270(第2遮光層)は、配線構造体260を覆うように配置される。このとき、遮光層270は、配線構造体260の上面260Aの少なくとも一部および配線構造体260の第1領域111側の端部260Bの少なくとも一部を覆う。図2および3においては、バンプ電極280の開口部275を除いて、配線構造体160の上面260A、第1領域111側の端部260Bおよび外縁側の端部260Cがすべて遮光層270に覆われている。遮光層270には、遮光層170と同様の材料が用いられる。遮光層270の端部270Bは、配線構造体260の端部260Bよりも第1領域111側に設けられる。
なお、遮光層170および遮光層270は、光を反射する材料を含んでもよい。光を反射する材料は、光を吸収する材料に比べて配線構造体160に光吸収による熱の発生が少ない。例えば、遮光層170および遮光層270には、銅、クロム(Cr)、酸化クロム(CrO)、窒化クロム(CrN)、シリコンおよび窒化チタン(TiN)の少なくともいずれかが用いられる。または、遮光層170および遮光層270は、光を吸収する材料を含んでもよい。光を吸収する材料は、散乱光の発生を防止する。遮光層170および遮光層270には、カーボンブラックまたはカーボンナノチューブが用いられる。例えば、遮光層170および遮光層270の透過率および光学濃度(OD)は、1%以下(OD値=2)、より好ましくは0.1%以下(OD値=3)である。遮光層170および遮光層270として酸化クロム膜が用いられた場合、可視光及び紫外領域の光に対して遮光性を有する。また、屈折率の異なる膜を複数形成し膜内部にて反射/減衰させてもよい。その場合は、ITO/ZnO/SiO/SiN/アクリル等の無機/有機透明膜を使用してもよい。
バンプ電極180は、配線層140および遮光層170上に設けられる。このとき、遮光層170および有機絶縁層150は、開口部175を有する。バンプ電極180は、開口部175に、配線層140と電気的に接続されるように配置される。バンプ電極180には、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)またはニッケル(Ni)が用いられてもよい。バンプ電極280は、配線層240および遮光層270上に設けられる。このとき、遮光層270および有機絶縁層250は、開口部275を有する。バンプ電極280には、バンプ電極180と同様の材料が用いられてもよい。
ここで、配線基板100における光の通過する経路について図4を用いて説明する。光190は、基板110を透過する波長(第1波長とする)の光を含む。例えば、光190には、紫外領域、可視光領域または赤外領域の波長を有する光が含まれる。光190が基板110の第1面110−1側から入射された場合、基板110の第1領域111を透過して、第2面110−2側に出射される。なお、第1領域111は、第2領域113に囲まれた領域であってもよい。一方、第1領域111に隣り合って配置された第2領域113は、遮光層170および遮光層270により覆われている。このとき、例えば光191のように、光190のうち、回折光、散乱光などの所定の照射方向からずれた光から有機絶縁層130、配線層140、有機絶縁層150、有機絶縁層230、配線層240および有機絶縁層250は保護される。したがって、有機絶縁層130、配線層140、有機絶縁層150、有機絶縁層230、配線層240および有機絶縁層250は光による劣化が低減され、配線基板100の性能を安定させることができる。なお、この場合の配線基板100の性能としては、有機絶縁層の絶縁耐性や配線の導電性があげられる。
(1−3.配線基板100の製造方法)
次に、図2および図3に示した配線基板100の製造方法を図5乃至図13を用いて説明する。
次に、図2および図3に示した配線基板100の製造方法を図5乃至図13を用いて説明する。
図5に示すように、第1面110−1および第1面110−1に対向する第2面110−2を有する基板110を用いる。例えば、基板110には、石英ガラスが用いられる。なお、以下の説明では、基板110に石英ガラスが用いられた場合として説明する。
次に、図6に示すように、基板110に貫通孔115を形成する。貫通孔115は、例えば、基板110に対してレーザー照射法(レーザーアブレーション法と呼ぶことができる)を用いることにより形成される。レーザーには、エキシマレーザー、ネオジウム:ヤグレーザー(Nd:YAG)レーザー、フェムト秒レーザー等が用いられる。エキシマレーザーを用いる場合、紫外領域の光が照射される。例えば、エキシマレーザーにおいて塩化キセノンを用いる場合、波長が308nmの光が照射される。なお、レーザーによる照射径は、10μm以上100μm未満としてもよい。貫通孔115の孔径は、10μm以上100μm未満の範囲で適宜設定してもよい。
なお、貫通孔115の形成は、レーザー照射法に限定されず、反応性イオンエッチング法、深堀り反応性イオンエッチング法などのドライエッチング法や、ウェットエッチング法を用いてもよいし、レーザー照射法とウェットエッチング法を組み合わせて用いてもよい。例えば、ガラス基板をウェットエッチングする場合、フッ酸水溶液が用いられる。
次に、図7に示すように、貫通孔115に対して、貫通電極120を形成する。貫通電極120には、銅(Cu)の他、ニッケル(Ni)、金(Au)、銀(Ag)、錫(Sn)などが含まれる。貫通電極120は、電解めっき法または無電解めっき法により形成されてもよい。例えば、電解めっき法により貫通電極120を形成する場合、スパッタリング法により銅(Cu)の薄膜を形成する。次に、銅(Cu)薄膜をシード層として、電解めっき法により銅(Cu)膜を形成する。なお、貫通電極120は、充填されずに貫通孔115の側壁部にのみ形成されてもよい。図7に示すように、第1面110−1および第2面110−2に形成された銅(Cu)薄膜をパターニングし、ランドと一体となった貫通電極120が形成される。また、貫通電極120は、化学機械研磨(CMP:Chemical Mechanical Polishing)法により、適宜平坦化処理されてもよい。
次に、図8に示すように、基板110の第1面110−1および貫通電極120上に有機絶縁層130を形成する。有機絶縁層130は、印刷法、塗布法、またはディッピング法を用いて形成される。有機絶縁層130には、ポリイミド、アクリル、エポキシ、ベンゾシクロブテン(BCB)、ポリベンゾオキサゾール(PBO)などの有機樹脂を用いてもよい。有機絶縁層130は、フォトリソグラフィなどにより、適宜加工されてもよい。
次に、図9に示すように、有機絶縁層130に対して貫通電極120上に貫通孔を形成し、上記貫通孔および有機絶縁層130上に配線層140を形成する。貫通孔は、レーザー照射による孔開け、またはフォトリソグラフィにより形成される。配線層140は、貫通電極120と接するように形成される。配線層140は、電解めっき法、無電解めっき法、スパッタリング法または化学気相成長(CVD)法により形成される。配線層140は、形成後適宜フォトリソグラフィなどにより、加工されてもよい。
次に、図10に示すように、有機絶縁層130および配線層140上に有機絶縁層150を形成する。有機絶縁層150は、有機絶縁層130と同様に形成される。なお、有機絶縁層150が形成されることにより、有機絶縁層130および有機絶縁層150の少なくともいずれかを含む第1有機絶縁層と、配線層140を含む第1配線層と、を含む配線構造体160が形成される。
次に、図11に示すように、配線構造体160および基板110の第1面110−1上に遮光層170を形成する。遮光層170は、スパッタリング法、化学気相堆積(CVD)法または蒸着法により形成される。遮光層170には、例えばスパッタリング法により形成された酸化クロムが用いられる。なお、遮光層170を形成する前に有機絶縁層150の表面に表面処理を行ってもよい。例えば、有機絶縁層130および有機絶縁層150のうち遮光層170が形成される部分にプラズマ処理を行ってもよい。この処理により、遮光層170の配線構造体160に対する密着性を向上させることができる。
次に、図12に示すように、基板110の第1領域111に光が透過できるように、フォトリソグラフィ法およびエッチング法を用いて遮光層170のうち第1領域に相当する部分が除去される。このとき、遮光層170の端部が、配線構造体160の第1領域111側の端部160Bよりも内側(第1領域111側)に端部170Bを有するように形成される。同様に、バンプ電極180を形成するために、遮光層170および有機絶縁層150には開口部175が形成される。
次に、図13に示すように、開口部175にバンプ電極180を形成する。バンプ電極180は、めっき法または、はんだ法により形成される。例えば、バンプ電極180には、無電解めっき法を用いてニッケル、パラジウムおよび金を含むバンプ電極が形成される。
上述した工程を第2面110−2側にも適用することにより、有機絶縁層230、配線層240および有機絶縁層250を含む配線構造体260、遮光層270、およびバンプ電極280が形成される。以上により、配線基板100が製造される。
なお、上記構造において、遮光層170がクロムまたは窒化チタン等の導電体を含む場合がある。図14に配線基板100aの上面図を示す。図15に配線基板100aのA1−A2間の断面図を示す。この場合、図14および図15に示すように、遮光層170はバンプ電極180とショートなどの不良を防止するため、離間することが望ましい。
<第2実施形態>
次に、構造の異なる配線基板について説明する。なお、第1実施形態において示した構造、材料および方法については、その説明を援用する。
次に、構造の異なる配線基板について説明する。なお、第1実施形態において示した構造、材料および方法については、その説明を援用する。
図16に配線基板100bの断面図を示す。図17に配線基板100bのB1−B2間の断面図を示す。図16および図17に示すように、配線基板100bは、配線基板100と異なり、有機絶縁層130および有機絶縁層150の側面は、矩形状ではなく、順テーパー形状を有してもよい。なお、順テーパー形状とは、例えば有機絶縁層130の下面および有機絶縁層130の側面がなす角(130tとする、有機絶縁層150の場合は、150tとする)が90度よりも小さいことをいう。同様にして、有機絶縁層230および有機絶縁層250の側面も、順テーパー形状を有してもよい。
配線基板100bは、上記構造を有することにより、配線基板100に比べて遮光層170の膜厚を均一にすることができる。つまり、配線構造体160における側面および端部に設けられる遮光層170の膜厚と上面に設けられる遮光層170の膜厚を同程度にすることができる。これにより、配線基板100bは、配線構造体160および配線構造体260の上面、側面、端部において、均一に遮光性を有し、有機絶縁層130、配線層140、有機絶縁層150、有機絶縁層230、配線層240および有機絶縁層150の劣化を抑制することができる。
<第3実施形態>
次に、構造の異なる配線基板について説明する。なお、第1および第2実施形態において示した構造、材料および方法については、その説明を援用する。
次に、構造の異なる配線基板について説明する。なお、第1および第2実施形態において示した構造、材料および方法については、その説明を援用する。
図18に配線基板100cの上面図および図19に配線基板100cのC1−C2間の断面図を示す。図18および図19に示すように、配線基板100cは、基板110、貫通電極120、有機絶縁層130、配線層140、有機絶縁層150および遮光層170および遮光層270に加えて、遮光層172および遮光層272を含む。この例では、遮光層170を形成後に、遮光層172が設けられているが、遮光層170および遮光層172が連続して形成されてもよい。また、さらに多くの遮光層が設けられてもよい。
遮光層172は、遮光層170の上面の少なくとも一部および遮光層170の第1領域111側の端部の少なくとも一部を覆ってもよい。遮光層172には、遮光層170と同様の材料が用いられてもよいし、異なる材料を用いてもよい。例えば、図18および図19に示す配線基板100cでは、遮光層172は、遮光層170の上面170Aおよび第1領域111側の端部170Bの全域を覆っている。遮光層172の第1領域111側の端部172Bは、遮光層170の第1領域側の端部170Bよりも内側(第1領域111側)に設けられる。同様に、遮光層272は、遮光層270の上面の少なくとも一部および遮光層270の第1領域111側の端部の少なくとも一部を覆ってもよい。遮光層272には、遮光層170と同様の材料が用いられてもよいし、異なる材料を用いてもよい。
図20に配線基板100dの上面図および図21に配線基板100dのD1−D2間の断面図を示す。配線基板100dの場合、遮光層172は、遮光層170の上面170Aの一部および第1領域111側の端部170Bを覆っている。同様にして、遮光層272は、遮光層270の上面270Aの一部および第1領域111側の端部170Bを覆っている。
配線基板100cおよび配線基板100dは、上記構造を有することにより、配線基板100に比べて特に配線構造体160の第1領域111側の端部160Bおよび配線構造体260の第1領域111側の端部260Bにおける遮光層の膜厚を高めることができ、さらに遮光性が高まる。これにより、有機絶縁層130、配線層140および有機絶縁層150の劣化を抑制することができる。また、配線基板100dのように、遮光層172および遮光層272が部分的に設けられることにより、例えば遮光層170および遮光層270が光を反射する導電体を含み、遮光層172および遮光層272が光を吸収または低反射する材料である場合、遮光層172および遮光層272が光を吸収した時の熱を遮光層170および遮光層270が拡散させることができる。
<第4実施形態>
次に、配線基板100において、基板110内にも遮光部が追加された配線基板について説明する。なお、第1乃至第3実施形態において示した構造、材料および方法については、その説明を援用する。
次に、配線基板100において、基板110内にも遮光部が追加された配線基板について説明する。なお、第1乃至第3実施形態において示した構造、材料および方法については、その説明を援用する。
図22に配線基板100eの上面図および図23に配線基板100eのE1−E2間の断面図を示す。図22および図23に示すように、配線基板100eは、基板110、貫通電極120、有機絶縁層130、配線層140、有機絶縁層150および遮光層170に加えて、遮光部200を含む。
有機絶縁層130は、基板110の第1面110−1および貫通電極120上に設けられる。配線層140は、有機絶縁層130の上面および貫通電極120上に設けられる。有機絶縁層150は、有機絶縁層130および配線層140上に配置される。遮光層170は、配線構造体160を覆うように配置される。
遮光部200は、基板110に貫通して配置される。遮光部200は、遮光層の第1領域111側の端部170Bと、貫通電極120との間に配置される。また、遮光部200は、遮光層の第2領域111側の端部270Bと、貫通電極120との間に配置される。なお、遮光部200は、遮光層170と同様の材料が用いられてもよいし、貫通電極120と同様の材料が用いられてもよい。遮光部200は、図22に示すように、上面から見た場合、第1領域111に対して、円柱状の遮光部200がいわゆる千鳥配置されてもよいし、図24に示すように平面方向(縦方向または横方向)に沿って配置されてもよい。
配線基板100eおよび配線基板100fは、上記構造を有することにより、光190が基板110を透過するときに回折光又は反射光が発生した場合、回折光又は反射光は遮光層170および遮光部200により遮光される。これにより、配線基板100eおよび配線基板100fは、有機絶縁層130、配線層140、有機絶縁層150、有機絶縁層230、配線層240および有機絶縁層250の光による劣化をさらに抑制することができる。
<第5実施形態>
次に、構造の異なる配線基板について説明する。なお、第1乃至第4実施形態において示した構造、材料および方法については、その説明を援用する。
次に、構造の異なる配線基板について説明する。なお、第1乃至第4実施形態において示した構造、材料および方法については、その説明を援用する。
図25に配線基板1100の上面図を示す。図25に示すように、配線基板1100には、第2領域1113に囲まれた複数の第1領域1111(第1領域1111−1、第1領域1111−2)が設けられる。上記構造において、第1領域1111−1と第1領域1111−2に同じ波長の光を透過させてもよいし、異なる波長の光を透過させてもよい。
<第6実施形態>
本実施形態では、第1実施形態において説明した配線基板100および半導体素子750を含んだ固体撮像素子700を電気機器に適用した例について説明する。
本実施形態では、第1実施形態において説明した配線基板100および半導体素子750を含んだ固体撮像素子700を電気機器に適用した例について説明する。
図26は、電気機器を説明する図である。配線基板100を含んだ固体撮像素子700は、例えば、携帯端末(携帯電話、スマートフォンおよびノート型パーソナルコンピュータ、ゲーム機器等)、情報処理装置(デスクトップ型パーソナルコンピュータ、サーバ、カーナビゲーション等)、家庭用電気機器(電子レンジ、エアコン、洗濯機、冷蔵庫)、自動車等、様々な電気機器に搭載される。図26(A)はスマートフォン4000である。図26(B)は携帯用ゲーム機5000である。図26(C)は、ノート型パーソナルコンピュータ6000である。
これらの電気機器において、配線基板100および半導体素子750を含んだ固体撮像素子700は、光信号を電気信号に変換することにより、画像を撮影することができる。
(変形例)
遮光層および、遮光層が上に形成される有機絶縁層は、凹凸形状を有していてもよい。図27、図28および図29に有機絶縁層150および遮光層170の断面図を示す。図27に示すように、有機絶縁層150の表面に複数の凹凸を設けてもよい。例えば、有機絶縁層150のうち遮光層170が形成される部分にエッチング処理を行い粗面化することにより凹凸を形成してもよい。この処理により、遮光層170と有機絶縁層150との密着性を向上させることができる。また、有機絶縁層の凹凸に追従するように遮光層が凹凸をもつため、遮光層170および遮光層270の表面での光の反射を低減することができる。なお、有機絶縁層130、有機絶縁層230および有機絶縁層250にも同様に複数の凹凸が設けられてもよい。
遮光層および、遮光層が上に形成される有機絶縁層は、凹凸形状を有していてもよい。図27、図28および図29に有機絶縁層150および遮光層170の断面図を示す。図27に示すように、有機絶縁層150の表面に複数の凹凸を設けてもよい。例えば、有機絶縁層150のうち遮光層170が形成される部分にエッチング処理を行い粗面化することにより凹凸を形成してもよい。この処理により、遮光層170と有機絶縁層150との密着性を向上させることができる。また、有機絶縁層の凹凸に追従するように遮光層が凹凸をもつため、遮光層170および遮光層270の表面での光の反射を低減することができる。なお、有機絶縁層130、有機絶縁層230および有機絶縁層250にも同様に複数の凹凸が設けられてもよい。
また、遮光層170の上面170Aには図28に示すように上面に向かうにつれて先細りとなる、例えば、針状の形状を有する凸部が設けられてもよい。例えば、遮光層170および遮光層270の表面に針状の形状を有する凸部が設けられることで、遮光層170および遮光層270の表面での光の反射を低減することができる。遮光層270も同様の凸部を有してもよい。
本開示の実施形態に係る配線構造体160、170の層構成、積層順序について、上記はあくまで例示であり、例えば、配線層の数は2以上であってもよい。また、基板110上に配線層、有機絶縁層の順に配置されていてもよい。このように、有機絶縁層数および配線層数、これらの積層順序は適宜設定される。
100・・・配線基板、110・・・基板、110−1・・・第1面、110−2・・・第2面、115・・・貫通孔、120・・・貫通電極、130・・・有機絶縁層、140・・・配線層、150・・・有機絶縁層、160・・・配線構造体、170・・・遮光層、172・・・遮光層、180・・・バンプ電極、190・・・光、200・・・遮光部、230・・・有機絶縁層、240・・・配線層、250・・・有機絶縁層、260・・・配線構造体、270・・・遮光層、280・・・バンプ電極、700・・・固体撮像素子、710・・・筐体、720・・・アパーチャ、730・・・レンズ、735・・・カラーフィルタ、741・・・バンプ電極、743・・・バンプ電極、745・・・制御回路、750・・・半導体素子、750A・・・受光部、760・・・バンプ電極、770・・・パッケージ基板、4000・・・スマートフォン、5000・・・携帯用ゲーム機、6000・・・ノート型パーソナルコンピュータ
Claims (13)
- 第1面および当該第1面に対向する第2面を含み、第1波長の光を透過する第1領域および前記第1領域に隣り合って配置された第2領域を含む基板と、
前記基板の前記第1面と前記第2面との間を貫通し、前記第2領域に配置された貫通電極と、
前記基板の前記第2領域に配置され、前記貫通電極と電気的に接続された第1配線層と、第1有機絶縁層と、を含む第1配線構造体と、
前記第1配線構造体の上面の少なくとも一部および前記第1配線構造体の前記第1領域側に位置する端部の少なくとも一部を覆うように配置され、前記第1波長の光を遮光する第1遮光層と、
を含む、配線基板。 - 前記第1領域は、前記第2領域に囲まれた領域である、
請求項1に記載の配線基板。 - 前記第1有機絶縁層の前記第1領域側の側面は、順テーパー形状又は逆テーパー形状を有する、
請求項1に記載の配線基板。 - 前記第1遮光層は開口部を有し、
前記開口部には、前記第1配線層と電気的に接続されるバンプ電極が配置される、
請求項1に記載の配線基板。 - 前記第1遮光層は、導電体を含み、前記バンプ電極と離間する、
請求項4に記載の配線基板。 - 前記第1遮光層は、光を吸収する材料を含む、
請求項1乃至請求項5のいずれか一に記載の配線基板。 - 前記第1遮光層は、光を反射する材料を含む、
請求項1乃至請求項5のいずれか一に記載の配線基板。 - 前記第1遮光層は、酸化クロム、窒化クロム、窒化チタンおよびカーボンブラックのうち少なくともいずれか一を有する、
請求項1乃至請求項5のいずれか一に記載の配線基板。 - 前記第1遮光層の上面の少なくとも一部および前記第1遮光層の前記第1領域側の端部の少なくとも一部を覆うように配置された第2遮光層を含む、
請求項1に記載の配線基板。 - 前記基板のうち前記第2面の前記第2領域に、前記貫通電極と電気的に接続された第2配線層と、第2有機絶縁層と、を含む第2配線構造体と、
前記第2配線構造体の上面の少なくとも一部および前記第2配線構造体の前記第1領域側の端部の少なくとも一部を覆うように配置され、前記第1波長の光を遮光する第2遮光層と、を含む、
請求項1に記載の配線基板。 - 前記基板は、複数の前記第1領域を有する、
請求項2に記載の配線基板。 - 前記基板に厚さ方向に沿って配置され、前記第1遮光層の第1領域側の端部と、前記貫通電極との間に設けられた遮光部をさらに含む、
請求項1に記載の配線基板。 - 請求項1乃至請求項12のいずれか一に記載の配線基板と、
前記基板の前記第1面側に配置され、前記第1領域と対向する位置に配置された光学素子と、
前記配線基板と電気的に接続され、前記配線基板に対して、前記光学素子とは反対側に配置され、前記光学素子および前記第1領域を通過した光が照射される受光部を有する半導体素子と、
を含む、固体撮像素子。
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