JP2018146404A - 温度センサ素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】直方体形状の絶縁基板上に抵抗パターンを形成した平板型のセンサ素子でありながら、設置方向に起因する検出誤差を小さくすることが可能な温度センサ素子を提供する。【解決手段】本発明の温度センサ素子1は、直方体形状の絶縁基板2の主面2a上に白金を主成分とする抵抗パターン3が形成された平板型のセンサ素子であって、抵抗パターン3を覆う保護膜6上に接着層7が形成されていると共に、この接着層7を介して絶縁カバー8が主面2aと対向するように固定されている。絶縁カバー8は絶縁基板2と略同一の平面形状を有するものであり、絶縁基板2と絶縁カバー8は熱伝導率を同じくする材料で形成されている。【選択図】図1
Description
本発明は、例えば吸気管を通過する吸入空気量を計測するエアフローセンサに用いる温度センサ素子に係り、特に、直方体形状の絶縁基板上に白金を主成分とする抵抗パターンが形成された平板型の温度センサ素子に関する。
ガソリンエンジン等の内燃機関では、吸気管内に設けられたエアフローセンサによって吸入空気量(吸気量)を測定し、これをエンジンコントロールユニット(ECU)に電気信号として送ることにより、エンジンに吸入される空気量に応じて燃料を噴射する制御を行うようにしている。
エアフローセンサの検出方式には数種類あるが、その中でも吸気管内に白金素子(白金熱線)を配置した構造を持つホットワイヤー式(熱線式)と呼ばれるものが広く用いられている。かかるホットワイヤー式のエアフローセンサは、白金熱線に電流を流して自己発熱で温度を上昇させ、その発熱部に空気が当たって熱が奪われると、白金熱線の抵抗が変化することを利用したものであり、白金熱線を通る電流量を検出して通過する空気の量を測定するようになっている。
また、エアフローセンサの構造に着目して大別すると、巻線型素子と平板型素子の2つのタイプがある。巻線型素子としては、特許文献1に記載されているように、円柱状のセラミックパイプの両端部にリード線を固定すると共に、セラミックパイプの外周面に抵抗体としての白金ワイヤを巻き、この白金ワイヤの端部をリード線に接続するようにしたものが提案されている。
一方、平板型素子としては、特許文献2に記載されているように、直方体形状のアルミナ基板上に白金膜からなる抵抗パターンを形成すると共に、抵抗パターンの両端に接続する一対の端子取付電極を形成し、これら端子取付電極にそれぞれリード線を接合して外部に導出させ、抵抗パターンを保護膜で覆うようにしたものが提案されている。
上述した巻線型のセンサ素子は、円柱状の絶縁基体(セラミックパイプ)の外周面に白金ワイヤ(抵抗体)を巻き付けた構造であるため、空気流に晒されたときの設置角度にかかわらず、白金ワイヤが空気流を受ける状態は変化せず、設置方向に起因する検出結果のばらつきを抑制することができる。ただし、巻線型のセンサ素子は、白金ワイヤの巻線ピッチが安定しにくく、巻線の乱れが抵抗値のばらつきに直結するため、品質を安定させることが難しいという製造上の大きな問題がある。
一方、上述した平板型のセンサ素子は、抵抗パターンをフォトリソグラフィにより高精度に形成することができるため、抵抗値にばらつきのない製品を容易に製造することができる。しかしながら、平板型のセンサ素子は、アルミナ等からなる絶縁基板上に形成された抵抗パターンを樹脂やガラス等からなる保護膜で覆う必要があり、熱伝導率が大きく相違する材料によって抵抗パターンを挟み込むという構造であるため、空気流に晒されたときの設置角度によって抵抗パターンから空気流に奪われる熱量が変化してしまい、空気流量の検知結果に誤差が発生してしまうという問題がある。
本発明は、このような従来技術の実情に鑑みてなされたもので、その目的は、直方体形状の絶縁基板上に抵抗パターンを形成した平板型のセンサ素子でありながら、設置方向に起因する検出誤差を小さくすることが可能な温度センサ素子を提供することにある。
上記の目的を達成するために、本発明の温度センサ素子は、直方体形状の絶縁基板と、前記絶縁基板の主面上に形成された白金を主成分とする抵抗パターンと、前記抵抗パターンの両端部に接続する一対の内部電極と、一対の前記内部電極にそれぞれ接合されて前記絶縁基板の長手方向端部から外部へ突出するリード線と、前記抵抗パターンを覆う保護膜と、前記保護膜上に形成された接着層と、前記接着層によって前記主面と対向するように固定された絶縁カバーとを備え、前記絶縁カバーは前記絶縁基板と略同一の平面形状を有しており、前記絶縁基板と前記絶縁カバーは同一材料で形成されていることを特徴としている。
このように構成された温度センサ素子では、抵抗パターンが略同一の平面形状からなる絶縁基板と絶縁カバーとでサンドウィッチされており、これら絶縁基板と絶縁カバーが熱伝導率を同じくする材料で形成されているため、空気流に晒されたときの設置角度が変化したとしても、設置方向の違いに起因する検出誤差を小さくすることができる。
上記構成の温度センサ素子において、絶縁カバーと接着層を総和した厚さ寸法が絶縁基板の厚さ寸法と略同じに設定されていると、抵抗パターンから絶縁基板の外表面(下面)に至る距離と抵抗パターンから絶縁カバーの外表面(上面)に至る距離がほぼ同じになるため、設置方向の違いに起因する検出誤差をさらに小さくすることができる。
この場合において、絶縁基板の短手方向に沿う幅寸法が絶縁基板の厚さ寸法の略2倍に設定されていると、温度センサ素子の短手方向に沿う断面形状(横断面形状)がほぼ正方形になるため、設置角度の変化に起因する検出結果のばらつきが抑制され、検出誤差をさらに小さくすることができる。
また、上記構成の温度センサ素子において、接着層が絶縁基板と同一材料を含有していると、例えば、絶縁基板としてアルミナ基板を用いた場合に接着層がアルミナを含有していると、絶縁カバーと接着層の熱伝導率が両方共に絶縁基板と同じようになるため、検出誤差をさらに小さくすることができる。
また、上記構成の温度センサ素子において、絶縁カバーの内面に、白金を主成分とする第2抵抗パターンと、第2抵抗パターンの両端部に接続する一対の第2内部電極とが形成されており、リード線が内部電極と第2内部電極との間に挟持されていると、絶縁基板と絶縁カバーが両方共に内面に抵抗パターンや第2抵抗パターンを有する構造となるため、設置方向の違いに起因する検出誤差をさらに小さくすることができると共に、抵抗値変化が少なくなって長期安定した温度センサ素子を実現できる。
この場合において、絶縁基板と絶縁カバーの厚さ寸法が略同じに設定されていると共に、抵抗パターンと第2抵抗パターンが同じ抵抗値に設定されていると、抵抗パターン等を有する絶縁基板と第2抵抗パターン等を有する絶縁カバーとが同一構成となるため、部品の共通化を図ることが可能となり、しかも、絶縁基板の外表面(下面)から抵抗パターンに至る距離と絶縁カバーの外表面(上面)から第2抵抗パターンに至る距離が同じになるため、設置方向の違いに起因する検出誤差をさらに小さくすることができる。
本発明の温度センサ素子によれば、直方体形状の絶縁基板上に抵抗パターンを形成した平板型のセンサ素子でありながら、設置方向に起因する検出誤差を小さくすることができる。
発明の実施の形態について図面を参照して説明すると、図1〜図3に示すように、本発明の第1実施形態例に係る温度センサ素子1は、直方体形状の絶縁基板2と、絶縁基板2の主面(表面)2aにおける長手方向中央部に形成された抵抗パターン3と、この抵抗パターン3の両端部に接続するように絶縁基板2の主面2aの長手方向両端部に形成された一対の内部電極4と、これら内部電極4上に接合されて絶縁基板2の外部へ突出する一対のリード線5と、抵抗パターン3を覆う保護膜6と、保護膜6上に形成された接着層7と、接着層7を介して絶縁基板2の主面2aと対向するように固定された絶縁カバー8とによって構成されている。
絶縁基板2はアルミナ(Al2O3)やムライト(Al6O13Si2)等からなるセラミックス基板であり、本実施形態例の場合は純度99.6%のアルミナ基板が用いられている。絶縁基板2の長手方向に沿う長さ寸法をL、短手方向に沿う幅寸法をW、厚さ寸法をTとすると、幅寸法Wは厚さ寸法Tの略2倍(W≒2×T)に設定されており、絶縁基板2の短手方向に沿った断面形状は長方形となっている。
抵抗パターン3は白金を主成分(純度99.99%)とする薄膜抵抗膜であり、図2に示すように、この抵抗パターン3は絶縁基板2の主面2aの中央部にミアンダ形状に形成されている。
一対の内部電極4は白金を含有(含有率は約80%)する電極ペーストをスクリーン印刷して乾燥・焼成させたものであり、これら内部電極4は主面2aの長手方向両端部に矩形状に形成されている。
一対のリード線5はニッケル芯線の白金被覆線であり、これらリード線5は対応する内部電極4上に溶接により接合されている。
保護膜6は結晶化ガラス等のガラスペーストをスクリーン印刷して乾燥・焼成させたものであり、図2において保護膜6は図示省略されているが、この保護膜6は抵抗パターン3の全体を覆うように絶縁基板2の主面2a上に形成されている。
接着層7は結晶化ガラス等のガラスペーストをスクリーン印刷して乾燥・焼成させたものや、結晶化ガラス等からなる接着シートを焼成させたものであり、この接着層7は、保護膜6だけでなく一対の内部電極4やリード線5を含めて絶縁基板2の主面2a全体を覆っている。
絶縁カバー8は絶縁基板2と同じ材料からなるセラミックス基板であり、本実施形態例の場合は純度99.6%のアルミナ基板が用いられている。この絶縁カバー8は絶縁基板2と絶縁基板2と同じ平面形状を有しているが、その厚みは絶縁基板2よりも薄いものとなっている。具体的には、絶縁カバー8の厚さ寸法をTa、接着層7の厚さ寸法をTbとすると、絶縁カバー8の厚さ寸法Taと接着層7の厚さ寸法Tbを総和した寸法が絶縁基板2の厚さ寸法Tと略同じ(Ta+Tb≒T)になるように設定されている。すなわち、絶縁基板2の主面2a上に形成された抵抗パターン3と保護膜6を基準位置とした場合、その下側に位置する絶縁基板2の厚さ寸法Tと、上側に位置する接着層7および絶縁カバー8を総和した寸法(Ta+Tb)とがほぼ同じになるように設定されている。
このように構成された温度センサ素子1の製造方法について簡単に説明すると、まず、絶縁基板2が多数個取りされるアルミナからなる大判基板を準備する。この大判基板には予め1次分割溝と2次分割溝が格子状に設けられており、両分割溝によって区切られたマス目の1つ1つが1個分の主面2aとなる。
そして、この大判基板の表面に白金(Pt)を電子ビーム蒸着し、これをフォトリソグラフィによりミアンダ形状にパターニングして抵抗パターン3を形成した後、大判基板の表面に白金を含有する電極ペーストをスクリーン印刷して乾燥・焼成することにより、抵抗パターン3の両端部に接続する内部電極4を形成する。次に、結晶化ガラス等のガラスペーストをスクリーン印刷して乾燥・焼成することにより、抵抗パターン3を覆う保護膜6を形成した後、大判基板を1次分割溝に沿ってカット(1次ダイシング)して短冊状基板を得る。
次に、この短冊状基板の表面両端部に露出する複数の内部電極4にそれぞれリード線5を溶接により接合した後、これら保護膜6やリード線5を覆うように結晶化ガラス等からなるガラスペーストや接着シートの接着層7を形成する。そして、この接着層7に絶縁カバーを貼り付けた後、接着層7を焼成して短冊状基板の上面に絶縁カバーを一体化する。この絶縁カバーは大判基板と同じ材料(アルミナ)からなり、短冊状基板と同一形状に形成されている。最後に、一体化された短冊状基板と絶縁カバーを2次分割溝に沿ってカット(2次ダイシング)して個片化することにより、図1〜図3に示すような温度センサ素子1が得られる。
以上説明したように、第1実施形態例に係る温度センサ素子1は、直方体形状の絶縁基板2の主面2a上に白金を主成分とする抵抗パターン3が形成された平板型のセンサ素子であり、この抵抗パターン3が接着層7を介して略同一の平面形状からなる絶縁基板2と絶縁カバー8間にサンドウィッチされていると共に、これら絶縁基板2と絶縁カバー8が熱伝導率を同じくする材料で形成されているため、空気流に晒されたときの設置角度が変化したとしても、設置方向の違いに起因する検出誤差を小さくすることができる。
また、第1実施形態例に係る温度センサ素子1では、絶縁カバー8の厚さ寸法Taと接着層7の厚さ寸法Tbを総和した寸法が絶縁基板2の厚さ寸法Tと略同じ(Ta+Tb≒T)になるように設定され、抵抗パターン3から絶縁基板2の下面に至る距離と抵抗パターン3から絶縁カバー8の上面に至る距離がほぼ同じになるため、設置方向の違いに起因する検出誤差をさらに小さくすることができる。しかも、絶縁基板2の短手方向に沿う幅寸法Wが厚さ寸法Tの略2倍(W≒2×T)に設定されており、温度センサ素子1の短手方向に沿う断面形状(横断面形状)がほぼ正方形になるため、設置角度の変化に起因する検出結果のばらつきも抑制され、検出誤差をさらに小さくすることができる。
また、第1実施形態例に係る温度センサ素子1では、接着層7が絶縁基板(アルミナ基板)2と同一材料のアルミナを含有しており、絶縁カバー8だけでなく接着層7の熱伝導率も絶縁基板2と同じようになるため、検出誤差をさらに小さくすることができる。なお、アルミナ以外の絶縁基板2を用いた場合、例えば、ムライトやジルコニア等からなる絶縁基板2を用いた場合は、これらの材料を接着層7に含有すれば同様の効果が得られる。
次に、本発明の第2実施形態例に係る温度センサ素子10について、図4と図5を参照して説明する。なお、図4と図5において、図1〜図3と対応する部分には同一符号を付すことで重複説明を適宜省略する。
第2実施形態例に係る温度センサ素子10が第1実施形態例に係る温度センサ素子1と相違する点は、絶縁基板2の主面(表面)2a上に形成された抵抗パターン3や内部電極4と同様の構成が絶縁カバー8の内面(下面)にも形成されていることにあり、それ以外の構成は基本的に同じである。すなわち、絶縁カバー8の内面には、白金を主成分とする第2抵抗パターン3aと、第2抵抗パターン3aを覆う第2保護膜6aと、第2抵抗パターン3aの両端部に接続する一対の第2内部電極4aが形成されており、このような絶縁カバー8を接着層7によって絶縁基板2に固定することにより、一対のリード線5が絶縁基板2側の内部電極4と絶縁カバー8側の第2内部電極4aとの間に挟持されるようになっている。ここで、絶縁基板2と絶縁カバー8の厚さ寸法は同じに設定されており、抵抗パターン3と第2抵抗パターン3aの抵抗値は同じ設定されている。
このように構成された第2実施形態例に係る温度センサ素子10では、絶縁カバー8の内面に第2抵抗パターン3aと一対の第2内部電極4aおよび第2保護膜6aが形成され、一対のリード線5が内部電極4と第2内部電極4aとの間に挟持されているため、絶縁基板2と絶縁カバー8が両方共に内面に抵抗パターン3や第2抵抗パターン3aを有する構造となり、設置方向の違いに起因する検出誤差をさらに小さくすることができると共に、抵抗値変化が少なくなって長期安定した温度センサ素子を実現できる。
また、第2実施形態例に係る温度センサ素子10では、絶縁基板2と絶縁カバー8の厚さ寸法が同じに設定されていると共に、抵抗パターン3と第2抵抗パターン3aの抵抗値も同じ設定されているため、抵抗パターン3等を有する下側の絶縁基板2と第2抵抗パターン3a等を有する上側の絶縁カバー8とが同一構成となり、部品の共通化を図ることができる。しかも、絶縁基板2の外表面(下面)から抵抗パターン3に至る距離と絶縁カバー8の外表面(上面)から第2抵抗パターン3aに至る距離が同じになるため、設置方向の違いに起因する検出誤差をさらに小さくすることができる。
1,10 温度センサ素子
2 絶縁基板
2a 主面
3 抵抗パターン
3a 第2抵抗パターン
4 内部電極
4a 第2内部電極
5 リード線
6 保護膜
6a 第2保護膜
7 接着層
8 絶縁カバー
2 絶縁基板
2a 主面
3 抵抗パターン
3a 第2抵抗パターン
4 内部電極
4a 第2内部電極
5 リード線
6 保護膜
6a 第2保護膜
7 接着層
8 絶縁カバー
Claims (6)
- 直方体形状の絶縁基板と、前記絶縁基板の主面上に形成された白金を主成分とする抵抗パターンと、前記抵抗パターンの両端部に接続する一対の内部電極と、一対の前記内部電極にそれぞれ接合されて前記絶縁基板の長手方向端部から外部へ突出するリード線と、前記抵抗パターンを覆う保護膜と、前記保護膜上に形成された接着層と、前記接着層によって前記主面と対向するように固定された絶縁カバーとを備え、
前記絶縁カバーは前記絶縁基板と略同一の平面形状を有しており、前記絶縁基板と前記絶縁カバーは同一材料で形成されていることを特徴とする温度センサ素子。 - 請求項1の記載において、前記絶縁カバーと前記接着層を総和した厚さ寸法が前記絶縁基板の厚さ寸法と略同じに設定されていることを特徴とする温度センサ素子。
- 請求項2の記載において、前記絶縁基板の短手方向に沿う幅寸法が前記絶縁基板の厚さ寸法の略2倍に設定されていることを特徴とする温度センサ素子。
- 請求項1の記載において、前記接着層は前記絶縁基板と同一材料を含有していることを特徴とする温度センサ素子。
- 請求項1の記載において、前記絶縁カバーの内面に、白金を主成分とする第2抵抗パターンと、前記第2抵抗パターンの両端部に接続する一対の第2内部電極とが形成されており、前記リード線は前記内部電極と前記第2内部電極との間に挟持されていることを特徴とする温度センサ素子。
- 請求項5の記載において、前記絶縁基板と前記絶縁カバーの厚さ寸法が略同じに設定されていると共に、前記抵抗パターンと前記第2抵抗パターンが同じ抵抗値に設定されていることを特徴とする温度センサ素子。
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