JP2018141657A - 高感度昇温脱離ガス分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】高感度昇温脱離ガス分析装置は、真空チャンバ10と、サンプル台20と、加熱手段30と、検出部40と、タンデム型ポンプ50と、オリフィス60とからなる。真空チャンバ10及びサンプル台20は、ガス含有量の低い超低ガス放出処理済材料からなる。加熱手段30は、サンプル1を非接触で加熱する。検出部40は、超低ガス放出処理済材料からなり、サンプル1から脱離するガスを測定する。タンデム型ポンプ50は、複数のポンプを直列接続することでガス圧縮率を高めるように構成される。オリフィス60は、排気速度を小さくすると共に検出部40側へのガスの戻りを抑制する。
【選択図】図1
Description
10 真空チャンバ
11 加熱用窓
20 サンプル台
30 加熱手段
40 検出部
41 測定室
42 質量分析計
50 タンデム型ポンプ
51,52 ターボ分子ポンプ
60 オリフィス
70 成膜装置
Claims (4)
- サンプルから放出される超微小量のガスを検出可能な高感度昇温脱離ガス分析装置であって、該高感度昇温脱離ガス分析装置は、
ガス含有量の低い超低ガス放出処理済材料からなる真空チャンバと、
前記真空チャンバ内に配置され、超低ガス放出処理済材料からなり、サンプルの置かれるサンプル台と、
前記真空チャンバの外部からサンプル台に置かれるサンプルを非接触で加熱するための加熱手段と、
前記真空チャンバに接続され、超低ガス放出処理済材料からなり、サンプルから脱離するガスを測定するための検出部と、
前記真空チャンバ内を真空状態とするために真空チャンバに接続され、複数のポンプを直列接続することでガス圧縮率を高めるように構成されるタンデム型ポンプと、
前記タンデム型ポンプと検出部との間に配置され、排気速度を小さくすると共に検出部側へのガスの戻りを抑制するためのオリフィスと、
を具備することを特徴とする高感度昇温脱離ガス分析装置。 - 請求項1に記載の高感度昇温脱離ガス分析装置において、前記超低ガス放出処理済材料は、ベリリウム銅からなることを特徴とする高感度昇温脱離ガス分析装置。
- 請求項1又は請求項2に記載の高感度昇温脱離ガス分析装置であって、さらに、前記真空チャンバに接続される成膜装置を具備することを特徴とする高感度昇温脱離ガス分析装置。
- 請求項1乃至請求項3の何れかに記載の高感度昇温脱離ガス分析装置において、前記ガスは、水素であることを特徴とする高感度昇温脱離ガス分析装置。
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