JP2018138927A - 位置検出装置、位置検出方法、インプリント装置及び物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の一側面としてのインプリント装置100の構成を示す概略図である。インプリント装置100は、基板上のインプリント材をモールドで成形して基板上にパターンを形成するインプリント処理を行う。本実施形態では、インプリント材として、樹脂を使用し、樹脂硬化法として、紫外線の照射によって樹脂を硬化させる光硬化法を採用する。
図7(a)に示す回折格子において、回折格子の端のパターンGP1とパターンGP1に最も近い(即ち、1つ内側の)パターンGP2との間隔を変化させることによって、回折格子のパターンの両端からの信号を変化させることができる。図7(a)に示す回折格子のパターンGP1とパターンGP2との間隔を変化させた際の回折格子の端部(パターンGP1)からの信号の変化を光学シミュレーションによって求めた結果を図10に示す。図10では、回折格子のパターンGP2及びGP3を含む他のパターン同士の間隔を1μmとし、パターンGP1とパターンGP2との間隔の1μmからの差分(間隔差)を横軸に採用している。横軸において、マイナス方向がパターンGP1とパターンGP2との間隔を狭める方向、プラス方向がパターンGP1とパターンGP2との間隔を広げる方向を示す。また、回折格子のパターンGP1とパターンGP2との間隔が1μmである場合の回折格子の端部からの信号の強度を1としたときの相対比(信号強度比)を縦軸に採用している。
回折格子の端部からの信号の強度を低減するためには、回折格子の両端のパターン及び他のパターンのそれぞれから異なる位相の光が発生させればよい。従って、モールド2及び基板1のそれぞれに設けられる回折格子のうち少なくとも一方の回折格子が、同一の位相の光が入射したときに両端のパターンからの光の位相と他のパターンからの光の位相とを異ならせる構造を含んでいればよい。
第1の実施形態及び第2の実施形態では、上述したように、回折格子(マーク4やマーク5)を大きくせずに、回折格子のパターンの両端の線幅を細くすることで、回折格子のパターンの両端で発生する信号(不要光)を低減させている。
d4=3/4×d0
d3=2/4×d0
d2=1/4×d0
このように、第2パターンの線幅d4、d3及びd2を設定することで、回折格子の端部からの不要光を低減する効果が高くなることが分かっている。
第4の実施形態のように、回折格子の端のパターンを含む複数のパターンの線幅を、回折格子の他のパターンの線幅よりも小さくすることによって、回折格子の端部からの不要光を低減する場合、端のパターンの線幅が最も小さくなくてもよい。
第2の実施形態では、回折格子の端のパターンと、かかるパターンに最も近いパターンとの間隔を、他のパターン同士(計測に使用するパターン)の間隔よりも広くすることで、回折格子の端部からの不要光を低減させている。このような場合、回折格子の端のパターンと、かかるパターンに最も近いパターンとの間隔だけに限らず、複数のパターン同士の間隔を広げてもよい。
物品としてのデバイス(半導体デバイス、磁気記憶媒体、液晶表示素子等)の製造方法について説明する。かかる製造方法は、インプリント装置100を用いてパターンを基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板等)に形成する工程を含む。かかる製造方法は、パターンを形成された基板を処理する工程を更に含む。当該処理ステップは、当該パターンの残膜を除去するステップを含みうる。また、当該パターンをマスクとして基板をエッチングするステップなどの周知の他のステップを含みうる。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性及び生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (20)
- 第1方向に配列されたパターンを含む第1回折格子と、前記第1方向に配列されたパターンを含む第2回折格子とが重なることで生じるモアレを検出する検出部と、
前記モアレに基づいて、前記第1回折格子と前記第2回折格子との相対位置を求める処理部と、を有し、
前記第1回折格子及び前記第2回折格子のうち少なくとも一方の回折格子に含まれるパターンの端のパターンの前記第1方向における幅は、前記少なくとも一方の回折格子の他のパターンの前記第1方向における幅よりも小さいことを特徴とする位置検出装置。 - 前記他のパターンの前記第1方向における幅は、同一であることを特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。
- 前記端のパターンの前記第1方向における幅は、前記他のパターンの前記第1方向における幅の半分であることを特徴とする請求項1又は2に記載の位置検出装置。
- 前記端のパターンと、前記端のパターンに最も近い他のパターンとの前記第1方向における間隔は、前記他のパターン同士の前記第1方向における間隔よりも広いことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の位置検出装置。
- 前記他のパターン同士の前記第1方向における間隔は、同一であることを特徴とする請求項4に記載の位置検出装置。
- 第1方向に配列されたパターンを含む第1回折格子と、前記第1方向に配列されたパターンを含む第2回折格子とが重なることで生じるモアレを検出する検出部と、
前記モアレに基づいて、前記第1回折格子と前記第2回折格子との相対位置を求める処理部と、を有し、
前記第1回折格子及び前記第2回折格子のうち少なくとも一方の回折格子に含まれるパターンの端のパターンと、前記端のパターンに最も近いパターンとの前記第1方向における間隔は、前記少なくとも一方の回折格子のパターンの線幅の範囲内で前記少なくとも一方の回折格子の他のパターン同士の前記第1方向における間隔よりも広いことを特徴とする位置検出装置。 - 前記端のパターンと、前記端のパターンに最も近いパターンとの前記第1方向における間隔は、前記他のパターン同士の前記第1方向における間隔の1.3倍以下であることを特徴とする請求項6に記載の位置検出装置。
- 前記端のパターンと、前記端のパターンに最も近いパターンとの前記第1方向における間隔は、前記他のパターン同士の前記第1方向における間隔の1.15倍以下であることを特徴とする請求項6に記載の位置検出装置。
- 前記第1回折格子及び前記第2回折格子のうち少なくとも一方の回折格子は、前記第1方向に直交する第2方向に配列されたパターンを含むことを特徴とする請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の位置検出装置。
- 第1方向に配列されたパターンを含む第1回折格子と、前記第1方向に配列されたパターンを含む第2回折格子とが重なることで生じるモアレを検出する検出部と、
前記モアレに基づいて、前記第1回折格子と前記第2回折格子との相対位置を求める処理部と、を有し、
前記第1回折格子及び前記第2回折格子のうち少なくとも一方の回折格子は、同一の位相の光が入射したときに前記少なくとも一方の回折格子に含まれるパターンの端のパターンからの光の位相と前記少なくとも一方の回折格子の他のパターンからの光の位相とを異ならせる構造を含むことを特徴とする位置検出装置。 - 前記構造は、前記端のパターンを構成する物質の屈折率と前記他のパターンを構成する物質の屈折率とを異ならせることで構成されていることを特徴とする請求項10に記載の位置検出装置。
- 前記構造は、前記端のパターンを構成する物質の厚さと前記他のパターンを構成する物質の厚さとを異ならせることで構成されていることを特徴とする請求項10に記載の位置検出装置。
- 前記構造は、前記端のパターンを構成する段差の深さと前記他のパターンを構成する段差の深さとを異ならせることで構成されていることを特徴とする請求項10に記載の位置検出装置。
- 前記パターンは、複数のセグメントで構成されていることを特徴とする請求項1乃至13のうちいずれか1項に記載の位置検出装置。
- 前記第1方向に垂直に入射する光と前記第1方向に平行に入射する光によって前記第1回折格子及び前記第2回折格子を照明する照明光学系を更に有することを特徴とする請求項1乃至14のうちいずれか1項に記載の位置検出装置。
- 第1方向に配列されたパターンを含む第1回折格子と、前記第1方向に配列されたパターンを含む第2回折格子とが重なることで生じるモアレを検出する検出部と、
前記モアレに基づいて、前記第1回折格子と前記第2回折格子との相対位置を求める処理部と、を有し、
前記第1回折格子及び前記第2回折格子のうち少なくとも一方の回折格子に含まれるパターンのうち、前記モアレを検出する際に不要光が生じるパターンの前記第1方向における幅は、前記少なくとも一方の回折格子に含まれるパターンのうち、前記相対位置を求める際に用いられる回折格子のパターンの前記第1方向における幅よりも小さいことを特徴とする位置検出装置。 - 第1方向に配列されたパターンを含む第1回折格子と、前記第1方向に配列されたパターンを含む第2回折格子とが重なることで生じるモアレを検出する検出部と、
前記モアレに基づいて、前記第1回折格子と前記第2回折格子との相対位置を求める処理部と、を有し、
前記第1回折格子及び前記第2回折格子のうち少なくとも一方の回折格子に含まれるパターンのうち、前記モアレを検出する際に不要光が生じるパターンに最も近いパターンとの前記第1方向における間隔は、前記少なくとも一方の回折格子に含まれるパターンのうち、前記相対位置を求める際に用いられるパターン同士の前記第1方向における間隔よりも広いことを特徴とする位置検出装置。 - 第1方向に配列されたパターンを含む第1回折格子と、前記第1方向に配列されたパターンを含む第2回折格子とが重なることで生じるモアレを検出する工程と、
前記モアレに基づいて、前記第1回折格子と前記第2回折格子との相対位置を求める工程と、を有し、
前記第1回折格子及び前記第2回折格子のうち少なくとも一方の回折格子に含まれるパターンの端のパターンの前記第1方向における幅は、前記少なくとも一方の回折格子の他のパターンの前記第1方向における幅よりも小さいことを特徴とする位置検出方法。 - 基板上のインプリント材をモールドで成形して前記基板上にパターンを形成するインプリント装置であって、
前記モールドに設けられた第1方向に配列されたパターンを含む第1回折格子と、前記基板に設けられた前記第1方向に配列されたパターンを含む第2回折格子とが重なることで生じるモアレを検出する検出部と、
前記モアレに基づいて、前記第1回折格子と前記第2回折格子との相対位置を求める処理部と、
前記相対位置に基づいて、前記モールドと前記基板との位置合わせを行う制御部と、を有し、
前記第1回折格子及び前記第2回折格子のうち少なくとも一方の回折格子に含まれるパターンの端のパターンの前記第1方向における幅は、前記少なくとも一方の回折格子の他のパターンの前記第1方向における幅よりも小さいことを特徴とするインプリント装置。 - 請求項19に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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