JP2018136134A - 湿度センサおよびその調整方法 - Google Patents

Abstract

【課題】感湿素子の調整が、過不足がなく適切に実施できるようにする。
【解決手段】第１判定部１０３は、感湿素子１０１が第１温度に加熱されている湿度センサの計測結果が変化しない状態が第１の規定時間継続する第１状態となったか否かを判定し、第２判定部１０４は、第１判定部１０３で第１状態となったと判定された状態で、更に湿度センサの計測結果が湿度０に対応する値となる第２状態を判定する。第２制御部１０５は、第２判定部１０４で第２状態となったと判定された場合に、感湿素子１０１の加熱を停止する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、湿度センサおよびその調整方法に関し、特に、湿度に応じて素子計測値が変化する感湿素子を供える湿度センサおよびその調整方法に関する。

例えば、空調制御では、温度制御に加えて湿度制御が重要となる。湿度制御においては、湿度センサが用いられる。空調制御などには、例えば、容量変化式や抵抗変化式の湿度センサが用いられている。容量変化式の湿度センサでは、感湿素子における容量値から相対湿度を求めている（特許文献１，２参照）。また、抵抗変化式の湿度センサでは、感湿素子における抵抗値から湿度を求めている（特許文献３参照）。

このような湿度センサは、計測環境の雰囲気中に直接曝されて湿度を計測するため、感湿素子に対して雰囲気中の水分や薬品・溶液などのガスが収着する。例えば、感湿素子にガスが収着すると、感湿素子の素子計測値と初期の素子計測値との誤差が大きくなり、結果として、感湿素子の計測精度の低下を招く。更には、感湿素子に物質が収着し、また収着することにより、感湿素子の劣化を招く原因となる。特に、研究設備や工場などの様々な薬品が用いられる環境や、外気取り入れ口などで用いられる湿度センサは、感湿素子に水分以外の物質が収着しやすいため、上述した影響を大きく受けることになる。

上述した湿度センサの問題を解消するために、一般には、感湿素子を加熱することで収着している物質を除去（クリーニング）するようにしている。例えば、特許文献４に開示された技術では、一定の電圧を一定の時間印加したヒータの加熱により、上述した感湿素子のクリーニングを行うようにしている。

また、特許文献５に開示された技術では、現在使用している第１湿度センサをクリーニング（加熱）しているときの実測値と、現在使用していない第２湿度センサ（未加熱）の実測値との差により、次に使用する予定の第２湿度センサの次回のクリーニング条件を決定している。

特開平１０−２３９２６１号公報 特開２０１３−０５７６１６号公報 特開平７−２８０７６８号公報 特開２０１０−００８３１８号公報 特開２０１０−００８３２０号公報

しかしながら特許文献４の技術では、一定の熱量を与えることで調整（クリーニング）を行っているため、感湿素子に収着している物質の量が多い場合、調整が不足する。一方、上記技術では、感湿素子に収着している物質の量が少ない場合、必要以上に感湿素子を加熱するため、感湿素子の寿命を短くする恐れがある。

また、特許文献５の技術では、次回の調整を実施までに使用環境が変化した場合、決定されている調整条件は、最適な条件とはならない場合、調整の過不足が生じ、結果として、計測値に誤差要因を与えることになる。また、過度の調整によるセンサ寿命の低下につながる可能性がある。

本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、感湿素子の調整が、過不足がなく適切に実施できるようにすることを目的とする。

本発明に係る湿度センサは、湿度に応じて素子計測値が変化する感湿素子を有し、感湿素子から計測した素子計測値に基づいて測定環境雰囲気中の湿度を計測する湿度センサであって、感湿素子に収着している水が除去される状態となる第１温度に感湿素子を加熱するように構成された第１制御部と、感湿素子が第１温度に加熱されている湿度センサの計測結果が変化しない状態が第１の規定時間継続する第１状態となったか否かを判定するように構成された第１判定部と、第１判定部で第１状態となったと判定された状態で、更に湿度センサの計測結果が湿度０に対応する値となる第２状態となったか否かを判定するように構成された第２判定部と、第２判定部で第２状態となったと判定された場合に感湿素子の加熱を停止するように構成された第２制御部と、第２判定部で第２状態となったと所定の時間以内に判定されない場合に感湿素子の加熱温度を上昇させて第２温度とするように構成された第３制御部と、第３制御部の制御により感湿素子の加熱温度を第２温度にした状態で、湿度センサの計測結果が変化しない状態が第２の規定時間継続する第３状態となったか否かを判定するように構成された第３判定部と、第３判定部で第３状態となったと判定されたことにより感湿素子の加熱を停止するように構成された第４制御部とを備える。

上記湿度センサにおいて、感湿素子が加熱された時間を積算するように構成された積算部と、積算部が積算した加熱時間が、予め定められている規定値を超えたかどうかを判断するように構成された判断部と、判断部が、加熱時間が規定値を超えたと判断した場合に感湿素子の交換時期であることを判定するように構成された第４判定部と備えるようにしてもよい。

上記湿度センサにおいて、感湿素子は、感湿膜と、感湿膜を挾む２つの電極とを備え、湿度センサは、２つの電極の間の容量値から湿度を求める容量変化式であり、第１判定部は、容量値が変化しない状態が第１の規定時間継続する第１状態となったか否かを判定し、第２判定部は、容量値が湿度０に対応する値である第２状態となったとか否かを判定し、第３判定部は、容量値が変化しない状態が第２の規定時間継続する第３状態となったとか否かを判定する。

上記湿度センサにおいて、感湿膜は、有機高分子材料から構成されている。

上記湿度センサの調整方法において、第１温度は１００℃以上であればよい。

本発明に係る湿度センサの調整方法は、湿度に応じて素子計測値が変化する感湿素子を有し、感湿素子から計測した素子計測値に基づいて測定環境雰囲気中の湿度を計測する湿度センサの調整方法であって、感湿素子に収着している水が除去される状態となる第１温度に感湿素子を加熱する第１ステップと、感湿素子が第１温度に加熱されている湿度センサの計測結果が変化しない状態が第１の規定時間継続する第１状態となったとか否かを判定する第２ステップと、第２ステップで第１状態となったと判定された状態における湿度センサの計測結果が湿度０に対応する値となる第２状態となったとか否かを判定する第３ステップと、第３ステップで第２状態となったと判定された場合に感湿素子の加熱を停止する第４ステップと、第３ステップで第２状態となったと所定の時間内に判定されない場合に感湿素子の加熱温度を上昇させて第２温度とする第５ステップと、第５ステップで感湿素子の加熱温度を第２温度にした状態で、湿度センサの計測結果が変化しない状態が第２の規定時間継続する第３状態となったとか否かを判定する第６ステップと、第６ステップで第３状態となったと判定されたことにより感湿素子の加熱を停止する第７ステップとを備える。

上記湿度センサの調整方法において、感湿素子が加熱された時間を積算する第８ステップと、積算された加熱時間が、予め定められている規定値を超えたかどうかを判断する第９ステップと、第９ステップで、加熱時間が規定値を超えたと判断した場合に感湿素子の交換時期であることを判定する第１０ステップとを備えるようにしてもよい。

上記湿度センサの調整方法において、感湿素子は、感湿膜と、感湿膜を挾む２つの電極とを備え、湿度センサは、２つの電極の間の容量値から湿度を求める容量変化式であり、第２ステップでは、容量値が変化しない状態が第１の規定時間継続する第１状態となったか否かを判定し、第３ステップでは、容量値が湿度０に対応する値である第２状態となったか否かを判定し、第５ステップでは、容量値が変化しない状態が第２の規定時間継続する第３状態となったか否かを判定する。

以上説明したように、本発明によれば、感湿素子を加熱することにより変化する湿度センサの計測結果が変化しない状態が規定時間継続することを判定するようにしたので、感湿素子の調整が、過不足がなく適切に実施できるようになる。

図１は、本発明の実施の形態における湿度センサの構成を示す構成図である。 図２は、本発明の実施の形態における湿度センサの調整方法を説明するためのフローチャートである。 図３は、感湿素子１０１を加熱した場合の感湿素子１０１の容量値の変化を示す特性図である。 図４は、感湿素子１０１を加熱した場合の感湿素子１０１の容量値の変化を示す特性図である。 図５は、感湿素子１０１を加熱した場合の感湿素子１０１の容量値の変化を示す特性図である。 図６は、本発明の実施の形態における湿度センサの一部のハードウエア構成を示す構成図である。

以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。図１は、本発明の実施の形態における湿度センサの構成を示す構成図である。この湿度センサは、感湿素子１０１、第１制御部１０２、第１判定部１０３、第２判定部１０４、第２制御部１０５、第３制御部１０６、第３判定部１０７、第４制御部１０８、積算部１０９、判断部１１０、第４判定部１１１、加熱部１２１、容量計測部１２２、および湿度導出部１２３を備える。この湿度センサは、感湿素子１０１から計測した素子計測値に基づいて測定環境雰囲気中の湿度を計測する。

感湿素子１０１は、湿度に応じて素子計測値が変化する。例えば、感湿膜と、感湿膜を挾む２つの電極とを備え、湿度センサは、素子計測値として２つの電極の間の容量値から湿度を求める容量変化式である（特許文献１，２参照）。感湿膜は、特定の架橋構造を有する高分子材料から構成されている。高分子材料は、例えば、メタクリル酸メチル樹脂（ＰＭＭＡ）、架橋したメタクリル酸メチル樹脂、ポリイミド、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、フッ素含有ポリイミドである。感湿膜は、測定環境の湿度に応じて水分を収着し、含まれる水分が変化して誘電率が変化する。この結果、感湿素子１０１の静電容量が、測定環境の湿度に応じて変化する。

感湿素子１０１の静電容量は、容量計測部１２２で計測される。容量計測部１２２は、感湿膜を挾む２つの電極間の容量値を計測する。湿度導出部１２３は、容量計測部１２２によって計測された容量値と、相対湿度１００％に対応する容量値である基準値と、現在の周囲温度の値に基づいて相対湿度を求めて出力する。

第１制御部１０２は、感湿素子１０１に収着している水が除去される状態となる第１温度（例えば１００℃）に感湿素子１０１を加熱するように構成されている。第１制御部１０２は、加熱部１２１を制御して感湿素子１０１を加熱する。加熱部１２１は、感湿素子１０１に接触している構成、接触していない構成などがある。

第１判定部１０３は、感湿素子１０１が第１温度に加熱されている湿度センサの計測結果が変化しない状態が第１の規定時間継続する第１状態となったか否か判定するように構成されている。第１判定部１０３は、例えば、感湿素子１０１が第１温度に加熱されている湿度センサの計測結果が変化しない状態が１０分間継続している第１状態となったか否かを判定する。第１判定部１０３は、例えば、感湿素子１０１が第１温度に加熱されている状態で、容量計測部１２２が計測している容量値が変化しない状態が１０分継続している第１状態となったか否かを判定する。

第２判定部１０４は、第１判定部１０３で第１状態となったと判定された状態で、更に湿度センサの計測結果が湿度０（相対湿度０）に対応する値（相対湿度０または相対湿度０に近い規定値）となる第２状態となったか否かを判定するように構成されている。例えば、第２判定部１０４は、容量計測部１２２により計測されている容量値が相対湿度０に対応する値である第２状態となったか否かを判定する。なお、第２判定部１０４は、湿度導出部１２３が求めた相対湿度が０となる第２状態となったか否かを判定してもよい。ここで、加熱処理により厳密な相対湿度０の状態には達しない場合もあるが、第２状態の判定を相対湿度０に近い規定値としてもよく、第２状態に所定の幅を設けて判定してもよい。

第２制御部１０５は、第２判定部１０４で第２状態となったと判定された場合に、感湿素子１０１の加熱を停止するように構成されている。例えば、第２制御部１０５は、加熱部１２１の動作を停止することで、感湿素子１０１の加熱を停止する。一方、第３制御部１０６は、第２判定部１０４で第２状態となったと所定の時間内に判定されない場合に、感湿素子１０１の加熱温度を上昇させて第２温度（例えば１５０℃）とするように構成されている。例えば、第３制御部１０６は、加熱部１２１を制御して加熱温度を１５０℃に上昇させて感湿素子１０１を加熱する。

第３判定部１０７は、第３制御部１０６の制御により感湿素子１０１の加熱温度を第２温度にした状態で、湿度センサの計測結果が変化しない状態が第２の規定時間継続する第３状態となったか否かを判定するように構成されている。第２の規定時間と前述した第１の規定時間とは、同じでもよく、異なっていてもよい。第３判定部１０７は、例えば、感湿素子１０１が第２温度に加熱されている湿度センサの計測結果が変化しない状態が１０分間継続している第３状態となったか否かを判定する。第３判定部１０７は、例えば、感湿素子１０１が第２温度に加熱されている状態で、容量計測部１２２が計測している容量値が変化しない状態が１０分継続している第３状態となったか否かを判定する。

第４制御部１０８は、第３判定部１０７で第２状態となったと判定されたことにより感湿素子１０１の加熱を停止するように構成されている。

第１制御部１０２の制御により加熱部１２１に加熱される感湿素子１０１は、収着している水などの物質が気化（蒸発）して減少していく。このように、収着している水などの物質が減少すると、この減少に伴い、感湿素子１０１の容量が変化（低下）する。加熱を継続すると、いずれ、感湿素子１０１に収着していた物質はなくなる。このように、感湿素子１０１に収着していた物質がなくなると、感湿素子１０１の容量は、初期の状態となり、これ以上変化しなくなる。上述した感湿素子１０１の容量変化は、容量計測部１２２により計測される容量値に現れる。

積算部１０９は、感湿素子１０１が加熱された時間を積算するように構成されている。判断部１１０は、積算部１０９が積算した加熱時間が、予め定められている規定値を超えたかどうかを判断するように構成されている。第４判定部１１１は、判断部１１０が、加熱時間が規定値を超えたと判断した場合に感湿素子１０１の交換時期であることを判定するように構成されている。

次に、本発明の実施の形態における湿度センサの調整方法について、図２のフローチャートを用いて説明する。

まず、ステップＳ２０１で、感湿素子１０１に収着している水が除去される状態となる第１温度（例えば１００℃）に感湿素子１０１を加熱する（第１ステップ）。例えば、第１制御部１０２により加熱部１２１を制御して、感湿素子１０１を１００℃に加熱する。

次に、ステップＳ２０２で、湿度センサによる計測を開始する。計測の開始により、感湿素子１０１の静電容量が容量計測部１２２で計測され、湿度導出部１２３により湿度が求められて出力される。

次に、ステップＳ２０３で、感湿素子１０１が第１温度に加熱されている湿度センサの計測結果が変化しない状態が第１の規定時間継続する第１状態となったか否かを判定する（第２ステップ）。例えば、第１判定部１０３が、感湿素子１０１が第１温度に加熱されている状態で、容量計測部１２２が計測している容量値が変化しない状態が、１０分継続している第１状態となったか否かを判定する。

ステップＳ２０３で、第１判定部１０３が第１状態となったことを判定すると（ステップＳ２０３のｙｅｓ）、ステップＳ２０４で、第１状態となったと判定された状態で、さらに湿度センサの計測結果が湿度０に対応する値となる第２状態となったか否かを判定する（第３ステップ）。例えば、第２判定部１０４が、容量計測部１２２により計測されている容量値が、湿度０に対応する値である第２状態となったかどうかを判定する。

ステップＳ２０４で、第２判定部が第２状態となったことを判定すると（ステップＳ２０４のｙｅｓ）、ステップＳ２０５で、感湿素子１０１の加熱を停止する（第４ステップ）。例えば、第２制御部１０５が、加熱部１２１の動作を停止し、感湿素子１０１の加熱を停止する。

次に、ステップＳ２０４で、第２状態となったと所定の時間内に判定されない場合（ステップＳ２０４のｎｏ）、ステップＳ２０１で、感湿素子１０１の加熱温度を上昇させて第２温度とする（第５ステップ）。例えば、第２状態となったと所定の時間内に判定されない場合、第３制御部１０６が、加熱部１２１を制御して加熱温度を１５０℃に上昇させて感湿素子１０１を加熱する。

次に、ステップＳ２１１で、湿度センサの計測結果が変化しない状態が第２の規定時間継続する第３状態となったか否かを判定する（第６ステップ）。例えば、第３判定部１０７が、感湿素子１０１が第２温度に加熱されている状態で、容量計測部１２２が計測している容量値が変化しない状態が１０分継続している第３状態となったか否かを判定する。

ここで、感湿素子１０１における計測精度の低下の原因が、例えば水（Ｈ₂Ｏ）の収着のみの場合、感湿素子１０１からの水の脱離温度である第１温度（例えば１００℃以上）に感湿素子１０１を加熱すれば、感湿素子１０１に収着している水は、いずれ除去される。従って、感湿素子１０１に収着している物質が水のみの場合、第１温度に加熱されている感湿素子１０１の容量は、図３に示すように、Ｃ１の状態から最終的に湿度０に対応する値Ｃ０となる。この場合、第１判定部１０３が第１状態（ｔ_i＝１０分）を判定したときに、容量計測部１２２により計測されている容量値は、湿度０に対応する値となっている。この状態が、ステップＳ２０４で「ｙｅｓ」として判定される。なお、加熱を終了すれば、雰囲気の水分が感湿素子１０１に収着し始めるので、感湿素子１０１の容量は上昇する。

感湿素子１０１に対する水の収着量が異なっている場合、図４に示すように、加熱前の感湿素子１０１の容量はＣ１の場合とＣ２の場合とがある。しかしながら、感湿素子１０１に収着している物質が水のみであれば、第１温度に加熱されている感湿素子１０１の容量は、いずれＣ０となる。

一方、感湿素子１０１における計測精度の低下の原因が、例えば水の収着に加え、水より沸点の高い有機物の収着の場合、上述した状態とは異なる挙動となる。この場合、第１温度（１００℃）に感湿素子１０１を加熱すれば、感湿素子１０１に収着している水は、いずれ除去され、感湿素子１０１の容量が変化しない状態が１０分程度継続するものとなる。しかしながらこの第１状態では、感湿素子１０１には、まだ上記有機物が収着している。このため、第１状態であっても、図５に示すように、感湿素子１０１の容量は、最終的に湿度０に対応する値Ｃ０とはならず、より高いＣ２となる。この状態が、ステップＳ２０４で「ｎｏ」として判定される。

上述したように、感湿素子１０１に有機物が収着している場合、第１温度（１００℃）に感湿素子１０１を加熱して水を感湿素子１０１から除去した後、更に高い温度で感湿素子１０１を加熱して有機物を感湿素子１０１から除去すればよい。より高い温度で加熱を行うことで、感湿素子１０１の容量は、Ｃ２から低下し、いずれＣ０となる。この状態が、１０分継続すれば（第３状態）、ステップＳ２１１で「ｙｅｓ」として判定される。上述したように、感湿素子１０１に収着している物質の除去は、一般にクリーニングと称されている。

以上のように、ステップＳ２１１で、第３状態となったと判定されれば（ステップＳ２１１のｙｅｓ）、ステップＳ２０５で感湿素子１０１の加熱を停止する（第７ステップ）。

次に、ステップＳ２０６で、感湿素子１０１が加熱された時間を換算する。次に、ステップＳ２０７で、ステップＳ２０６で換算された時間を感湿素子１０１が加熱された時間として積算する（第８ステップ）。例えば、積算部１０９が、感湿素子１０１が加熱された時間を換算して積算する。次に、ステップＳ２０８で、積算された加熱時間が、予め定められている規定値を超えたかどうかを判断する（第９ステップ）。例えば、判断部１１０が、積算部１０９が積算した加熱時間が、予め定められている規定値を超えたかどうかを判断する。

ステップＳ２０８で、積算された加熱時間が規定値を超えたと判断された場合（ステップＳ２０８のｙｅｓ）、ステップＳ２０９で、感湿素子１０１の交換時期であることを判定し、交換を促す通知をユーザに視認可能に出力する（第１０ステップ）。例えば、第４判定部１１１が、加熱時間が規定値を超えたと判断された場合に、感湿素子１０１の交換時期であることを判定し、交換を促す通知を、図示しない表示部に表示する。

ここで、感湿素子１０１は、加熱を継続すると、いずれ故障する。この故障となるまでの寿命時間は、加熱の温度に対応している。例えば、予め実施した実験などにより、所定の基準温度で加熱を継続することで、感湿素子１０１が故障する寿命時間が求められる。

上述したステップＳ２０６の換算は、湿度センサの調整方法を実施したときに採用された実際の加熱温度と上記基準温度との関係より、調整を実施したときの加熱の時間を、基準温度で加熱した場合の時間に換算する。

例えば、基準温度Ｔ_xにおける寿命時間ｔ_xは、アレニウスモデルによる寿命予測式により「ｔ_x＝Ａ×ｅｘｐ［Ｅ／（ｋ×Ｔ_x）］」から求めることができる。なお、Ａは定数、Ｅは活性化エネルギー、ｋはボルツマン定数である。

また、実際の調整時（クリーニング時）の温度と時間から、基準温度における時間への変換に必要な変換係数のテーブル（変換テーブル）を予め求めておき、変換テーブルを用いて時間を変換してもよい。変換テーブルは、例えば、積算部１０９に記憶しておき、積算部で時間の変換を実施すればよい。

なお、第１制御部１０２、第１判定部１０３、第２判定部１０４、第２制御部１０５、第３制御部１０６、第３判定部１０７、第４制御部１０８、積算部１０９、判断部１１０、第４判定部１１１は、図６に示すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit；中央演算処理装置）３０１と主記憶装置３０２と外部記憶装置３０３とネットワーク接続装置３０４となどを備えたコンピュータ機器から構成されたものであり、主記憶装置に展開されたプログラムによりＣＰＵが動作することで、上述した各機能が実現される。ネットワーク接続装置３０４は、ネットワーク３０５に接続する。また、各機能は、複数のコンピュータ機器に分散させるようにしてもよい。

以上に説明したように、本発明によれば、感湿素子を加熱することにより変化する湿度センサの計測結果が変化しない状態が規定時間継続することを判定するようにしたので、感湿素子の調整が、過不足がなく適切に実施できるようになる。

なお、本発明は以上に説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で、当分野において通常の知識を有する者により、多くの変形および組み合わせが実施可能であることは明白である。例えば、感湿素子は、高分子材料から構成されているものに限るものではない。また、湿度センサは、容量変化式に限るものではなく、抵抗変化式であってもよい。

１０１…感湿素子、１０２…第１制御部、１０３…第１判定部、１０４…第２判定部、１０５…第２制御部、１０６…第３制御部、１０７…第３判定部、１０８…第４制御部、１０９…積算部、１１０…判断部、１１１…第４判定部、１２１…加熱部、１２２…容量計測部、１２３…湿度導出部。

Claims (8)

1. 湿度に応じて素子計測値が変化する感湿素子を有し、前記感湿素子から計測した素子計測値に基づいて測定環境雰囲気中の湿度を計測する湿度センサであって、
   前記感湿素子に収着している水が除去される状態となる第１温度に前記感湿素子を加熱するように構成された第１制御部と、
   前記感湿素子が前記第１温度に加熱されている前記湿度センサの計測結果が変化しない状態が第１の規定時間継続する第１状態となったか否かを判定するように構成された第１判定部と、
   前記第１判定部で前記第１状態となったと判定された状態で、更に前記湿度センサの計測結果が湿度０に対応する値となる第２状態となったか否かを判定するように構成された第２判定部と、
   前記第２判定部で前記第２状態となったと判定された場合に前記感湿素子の加熱を停止するように構成された第２制御部と、
   前記第２判定部で前記第２状態となったと所定の時間以内に判定されない場合に前記感湿素子の加熱温度を上昇させて第２温度とするように構成された第３制御部と、
   前記第３制御部の制御により前記感湿素子の加熱温度を前記第２温度にした状態で、前記湿度センサの計測結果が変化しない状態が第２の規定時間継続する第３状態となったか否かを判定するように構成された第３判定部と、
   前記第３判定部で前記第３状態となったと判定されたことにより前記感湿素子の加熱を停止するように構成された第４制御部と
   を備えることを特徴とする湿度センサ。
2. 請求項１記載の湿度センサにおいて、
   前記感湿素子が加熱された時間を積算するように構成された積算部と、
   前記積算部が積算した加熱時間が、予め定められている規定値を超えたかどうかを判断するように構成された判断部と、
   前記判断部が、前記加熱時間が前記規定値を超えたと判断した場合に前記感湿素子の交換時期であることを判定するように構成された第４判定部と
   を備えることを特徴とする湿度センサ。
3. 請求項１または２記載の湿度センサにおいて、
   前記感湿素子は、感湿膜と、前記感湿膜を挾む２つの電極とを備え、前記湿度センサは、前記２つの電極の間の容量値から湿度を求める容量変化式であり、
   前記第１判定部は、前記容量値が変化しない状態が前記第１の規定時間継続する前記第１状態となったか否かを判定し、
   前記第２判定部は、前記容量値が湿度０に対応する値である前記第２状態となったとか否かを判定し、
   前記第３判定部は、前記容量値が変化しない状態が前記第２の規定時間継続する前記第３状態となったとか否かを判定する
   ことを特徴とする湿度センサ。
4. 請求項３記載の湿度センサにおいて、
   前記感湿膜は、有機高分子材料から構成されていることを特徴とする湿度センサ。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の湿度センサの調整方法において、
   前記第１温度は１００℃以上であることを特徴とする湿度センサ。
6. 湿度に応じて素子計測値が変化する感湿素子を有し、前記感湿素子から計測した素子計測値に基づいて測定環境雰囲気中の湿度を計測する湿度センサの調整方法であって、
   前記感湿素子に収着している水が除去される状態となる第１温度に前記感湿素子を加熱する第１ステップと、
   前記感湿素子が前記第１温度に加熱されている前記湿度センサの計測結果が変化しない状態が第１の規定時間継続する第１状態となったとか否かを判定する第２ステップと、
   前記第２ステップで前記第１状態となったと判定された状態における前記湿度センサの計測結果が湿度０に対応する値となる第２状態となったとか否かを判定する第３ステップと、
   前記第３ステップで前記第２状態となったと判定された場合に前記感湿素子の加熱を停止する第４ステップと、
   前記第３ステップで前記第２状態と所定の時間内に判定されない場合に前記感湿素子の加熱温度を上昇させて第２温度とする第５ステップと、
   前記第５ステップで前記感湿素子の加熱温度を第２温度にした状態で、前記湿度センサの計測結果が変化しない状態が第２の規定時間継続する第３状態となったとか否かを判定する第６ステップと、
   前記第６ステップで前記第３状態となったと判定されたことにより前記感湿素子の加熱を停止する第７ステップと
   を備えることを特徴とする湿度センサの調整方法。
7. 請求項６記載の湿度センサの調整方法において、
   前記感湿素子が加熱された時間を積算する第８ステップと、
   積算された加熱時間が、予め定められている規定値を超えたかどうかを判断する第９ステップと、
   前記第９ステップで、前記加熱時間が前記規定値を超えたと判断した場合に前記感湿素子の交換時期であることを判定する第１０ステップと
   を備えることを特徴とする湿度センサの調整方法。
8. 請求項６または７記載の湿度センサの調整方法において、
   前記感湿素子は、感湿膜と、前記感湿膜を挾む２つの電極とを備え、前記湿度センサは、前記２つの電極の間の容量値から湿度を求める容量変化式であり、
   前記第２ステップでは、前記容量値が変化しない状態が前記第１の規定時間継続する前記第１状態となったか否かを判定し、
   前記第３ステップでは、前記容量値が湿度０に対応する値である前記第２状態となったか否かを判定し、
   前記第５ステップでは、前記容量値が変化しない状態が前記第２の規定時間継続する前記第３状態となったか否かを判定する
   ことを特徴とする湿度センサの調整方法。

Images