JP2018132390A - 膜厚測定方法および膜厚測定装置 - Google Patents
膜厚測定方法および膜厚測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018132390A JP2018132390A JP2017025529A JP2017025529A JP2018132390A JP 2018132390 A JP2018132390 A JP 2018132390A JP 2017025529 A JP2017025529 A JP 2017025529A JP 2017025529 A JP2017025529 A JP 2017025529A JP 2018132390 A JP2018132390 A JP 2018132390A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pixel
- film thickness
- color image
- interference
- interference color
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Abstract
【課題】 鏡面に近い状態で成膜された場合に限らず、成膜の下地や上面が粗面である(微小な凹凸が随所に存在する)場合や、微小な異物が付着しているような場合でも、短時間で精度良く膜厚測定を行うことができる手法を提供すること。【解決手段】 干渉色画像を構成する画素それぞれに対して、m個の複数波長の全輝度情報から明度情報を生成する処理と、当該画素を含む周辺画素の明度情報の中で、中央値ないし最大値となる画素を、これらの画素を代表する代表画素として選択する処理と、当該画素を構成するm個の複数波長の全輝度情報を前記代表画素を構成するm個の複数波長の全輝度情報に置き換える処理とを含む加工処理がされた干渉色画像を生成して膜厚を測定する。【選択図】 図1
Description
本発明は、撮像したカラー画像(いわゆる干渉色情報)に干渉縞モデルを適合させることにより、透明薄膜の膜厚を測定する方法および装置に関する。
従来の代表的な膜厚測定法に、分光法とエリプソメータ法がある。例えば、分光法として、白色光を照射し、反射光の分光スペクトルを解析して、膜厚を求める方法が、特許文献1等に開示されている。
また、従来の分光法やエリプソメータ法に比較して、多数点の膜厚値や膜厚分布を短時間に得ることができ、分光器や偏光光学系など複雑な光学系を必要とせず、小型、かつ、コストが廉価にできる手法が提案されている(例えば、特許文献2)。
北川、大槻,「干渉色画像解析による透明膜の広膜厚分布測定装置の開発」,精密工学会誌,2013年11月,第79巻,第11号,1078-1082頁
特許文献1等に開示されている様な従来の膜厚測定法では、透明膜に光線を照射し、その反射光を解析して、膜厚を求めていた。しかし、この方法には以下の問題点があった。まず、測定スポットサイズを小さくできないため、水平方向の分解能が低くなる。次に、基本的に点測定のため、多数点の膜厚値や膜厚分布を得るためには、試料または測定器を機械的に逐次走査する必要があり、時間がかかる。特に、例えば、半導体ウエーハのような広い面積を測定するには膨大な時間がかかっていた。分光器や偏光光学系など、複雑な光学系を必要とし、コスト高となっていた。さらに、他の方法の分光法では、試料の分光強度データを分光反射率に換算するために、試料の測定に先立って、分光反射率が既知の試料をリファレンスとして測定する必要があった。
一方、特許文献2および非特許文献1に開示されている手法は、ガラスやウエーハ表面に形成された成膜など、凹凸の少ないアプリケーションに適合すると、極めて良好な測定結果が得られる。
しかし、成膜の下地や上面が粗面である場合(つまり、微小な凹凸が随所に存在する場合)や、微小な異物が付着しているような場合、局所的に反射光量が極端に低下して干渉色の信号レベルが微弱となり(いわゆる、黒つぶれノイズが生じ)、期待される測定精度が発揮できないことがあった。
そして、測定精度を改善するため、一般的なノイズ除去手法であるメディアンフィルタなどの画像処理を試みたが、取得したカラー画像各々(例えば、B,G,R)についてメディアンフィルタ処理を行うと各画素における干渉色が元通り再現されず、正確な膜厚測定が出来ないという課題があった。
そこで本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、鏡面に近い状態で成膜された場合に限らず、成膜の下地や上面が粗面である(微小な凹凸が随所に存在する)場合や、微小な異物が付着しているような場合でも、短時間で精度良く膜厚測定を行うことができる手法を提供することを目的としている。
以上の課題を解決するために、本発明に係る一態様は、
m個からなる複数の波長の単色光を含む照明光を測定対象である透明膜に照射し、
前記透明膜の表面の反射光と裏面の反射光により生成される干渉色画像を取得し、
前記干渉色画像を構成する画素それぞれに対して、
m個の複数波長の全輝度情報から明度情報を生成する処理と、
当該画素を含む周辺画素の明度情報の中で、中央値ないし最大値となる画素を、これらの画素を代表する代表画素として選択する処理と、
当該画素を構成するm個の複数波長の全輝度情報を前記代表画素を構成するm個の複数波長の全輝度情報に置き換える処理と
を含む加工処理がされた干渉色画像を生成し、
前記加工処理がされた干渉色画像から1点以上の選択点をn点選択し、前記n点の選択点の内のi点に対応する波長番号jの干渉輝度信号に、前記波長番号jの波長λ(j)を既知とし、前記波長番号jの平均輝度a(j)、干渉変調度b(j)、および前記点iの膜厚t(i)のすべて、あるいは、1部を未知パラメータとし、残りを既知パラメータとして、前記点iに対応する波長番号jの輝度g(i,j)が
g(i,j)=a(j)[1+b(j)×cos{4πt(i)/λ(j)}]
で表される干渉縞モデルを適合し、前記未知パラメータを求めることにより膜厚を測定することを特徴としている。
m個からなる複数の波長の単色光を含む照明光を測定対象である透明膜に照射し、
前記透明膜の表面の反射光と裏面の反射光により生成される干渉色画像を取得し、
前記干渉色画像を構成する画素それぞれに対して、
m個の複数波長の全輝度情報から明度情報を生成する処理と、
当該画素を含む周辺画素の明度情報の中で、中央値ないし最大値となる画素を、これらの画素を代表する代表画素として選択する処理と、
当該画素を構成するm個の複数波長の全輝度情報を前記代表画素を構成するm個の複数波長の全輝度情報に置き換える処理と
を含む加工処理がされた干渉色画像を生成し、
前記加工処理がされた干渉色画像から1点以上の選択点をn点選択し、前記n点の選択点の内のi点に対応する波長番号jの干渉輝度信号に、前記波長番号jの波長λ(j)を既知とし、前記波長番号jの平均輝度a(j)、干渉変調度b(j)、および前記点iの膜厚t(i)のすべて、あるいは、1部を未知パラメータとし、残りを既知パラメータとして、前記点iに対応する波長番号jの輝度g(i,j)が
g(i,j)=a(j)[1+b(j)×cos{4πt(i)/λ(j)}]
で表される干渉縞モデルを適合し、前記未知パラメータを求めることにより膜厚を測定することを特徴としている。
上記の膜厚測定方法および膜厚測定装置によれば、鏡面に近い状態で成膜された場合に限らず、成膜の下地や上面が粗面である(微小な凹凸が随所に存在する)場合や、微小な異物が付着しているような場合でも、短時間で精度良く膜厚測定を行うことができる。
以下に、本発明を実施するための形態について、図を用いながら説明する。
図1は、本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す概略図である。図1には、本発明に係る膜厚測定装置1の概略図が示されている。
膜厚測定装置1は、透明膜Fの膜厚tを測定するものであり、照明部2と、画像取得部3と、画像処理部4と、膜厚測定部5、鏡筒10等を備えて構成されている。
照明部2は、m個からなる複数の波長の単色光を含む照明光L1を測定対象である透明膜Fに照射するものである。ここでは、m個からなる複数の波長の単色光として、B:青色、G:緑色、R:赤色の3つの波長の単色光を例示する。
具体的には、照明部2は、これらの3つの波長の単色光を含む照明光(いわゆる、白色光)L1を照射する光源20、波長フィルタ21、ライトガイド22、ハーフミラー23等を備えている。
より具体的には、光源20として、ハロゲン照明や白色LED照明を例示する。ハロゲン照明や白色LED照明は、青色、緑色、赤色を含む可視光領域の光を放出するものである。
波長フィルタ21は、光源20から発せられた光のうち、B:青色、G:緑色、R:赤色の3つの波長成分を通過させ、それ以外の波長成分を反射又は吸収するものである。
ライトガイド22は、波長フィルタ21を通過した光を導光し、ハーフミラー23に向けて照射するものである。具体的には、光ファイバーと呼ばれる細いガラスやプラスチックの束で構成されている。
ハーフミラー23は、ライトガイド22で導光された照明光L1を測定対象である透明膜Fに向けて照射するものである。具体的には、ハーフミラー23は、鏡筒10に組み込まれており、照明光L1を反射させつつ、透明膜Fの表面の反射光L2と裏面の反射光L3を透過させるものである。
なお、照明部2にて測定対象である透明膜Fに照明光L1を照射すると、透明膜Fの表面の反射光L2と裏面の反射光L3による干渉(いわゆる、薄膜による光干渉)が生じ、干渉色を有する画像(つまり、干渉色画像IM)として観察される。
画像取得部3は、透明膜Fの表面の反射光L2と裏面の反射光L3により生成される干渉色画像IMを取得するものである。具体的には、画像取得部3は、透明膜Fの表面との作動距離を一定に保った状態で撮像を行う(つまり、画像を取得する)。より具体的には、画像取得部3は、カラーカメラ30、レンズ31、画像入力部34等で構成されている。
カラーカメラ30は、干渉色画像IMをカラー画像として取得するものである。具体的には、カラーカメラ30は、エリアセンサと呼ばれる撮像素子33やカラーフィルタ32を備えている。また、カラーカメラ30は、撮像した画像データを画像入力部34に出力するものである。
レンズ31は、透明膜Fの表面の像を、カラーカメラ30のエリアセンサ33に投影するものである。具体的には、レンズ31は、鏡筒10に取り付けられている。
レンズ31は、透明膜Fの表面の像を、カラーカメラ30のエリアセンサ33に投影するものである。具体的には、レンズ31は、鏡筒10に取り付けられている。
画像入力部34は、カラーカメラ30で撮像された干渉色画像IMを取得するものである。具体的には、画像入力部34は、コンピュータ部CNに搭載された画像処理ユニットや画像処理ボードGBの一部で構成されている。
画像処理部4は、画像取得部3で取得した干渉色画像IMを構成する画素Pそれぞれに対して、以下の処理(1)〜(3)を行い、加工処理がされた干渉色画像IM2を生成するものである。具体的には、画像処理部4は、コンピュータ部CNの一部で構成されている。
図2は、本発明を具現化する形態の一例におけるフロー図である。
処理(1):明度情報生成処理
ここでは、干渉色画像IMの全画素に対して、m個の複数波長の全輝度情報から明度情報を生成する処理を行う。具体的には、干渉色画像IMの画素P(xy)におけるB:青色、G:緑色、R:赤色の3波長カラー情報(m個の複数波長の全輝度情報の一類型。以下同じ)B(xy),G(xy),R(xy)から明度情報V(xy)を生成する。より具体的には、例えば、V(xy)=MAX{B(xy),G(xy),R(xy)} で定義される処理を行う。つまり、画素Pの3波長カラー情報を構成する各色(R,G,B)の輝度値のうち最大値を、画素Pの明度情報として生成する。
ここでは、干渉色画像IMの全画素に対して、m個の複数波長の全輝度情報から明度情報を生成する処理を行う。具体的には、干渉色画像IMの画素P(xy)におけるB:青色、G:緑色、R:赤色の3波長カラー情報(m個の複数波長の全輝度情報の一類型。以下同じ)B(xy),G(xy),R(xy)から明度情報V(xy)を生成する。より具体的には、例えば、V(xy)=MAX{B(xy),G(xy),R(xy)} で定義される処理を行う。つまり、画素Pの3波長カラー情報を構成する各色(R,G,B)の輝度値のうち最大値を、画素Pの明度情報として生成する。
なお、x,yは、処理対象とする画素P(以下、注目画素Pと呼ぶ)の画像内位置(いわゆる、アドレス)を示すものである。
続いて、以下の処理(2)(3)を干渉色画像IMの全画素に亘って行い、加工処理された干渉色画像IM2として生成する。
図3は、本発明を具現化する形態の一例における干渉色画像IMにおける注目画素Pと周辺画素の位置関係を示す図である。図3には、本発明に係る加工処理の対象となる注目画素Pと、その周辺の周辺画素Pa1〜Pa8の位置関係が例示されている。
図4は、本発明を具現化する形態の一例における干渉色画像IMを加工処理する様子を示す概念図である。図4には、干渉色画像IMから干渉色画像IM2を生成する手順と概念が、注目画像Pとその周辺の周辺画像Pa1〜Pa8に着目して示されている。
処理(2):代表画素選択処理
ここでは、注目画素Pを含む複数の周辺画素Paの明度情報の中で、中央値ないし最大値となる画素を、これらの画素を代表する代表画素として選択する処理を行う。具体的には、周辺画素Paとして、注目画素Pを中心とする3×3画素のマトリクス内にある8つの周辺画素Pa1〜Pa8を例示する。そして、注目画素Pと周辺画素Pa1〜Pa8(合計9個)の明度情報を明度順にならべたときの中央値ないし最大値を示す画素を、注目画素Pを中心とする3×3画素のマトリクス内の代表画素Prとして選択する。より具体的には、代表画素Prとして選択する処理は、中央値フィルタ(いわゆる、メディアンフィルタ)や最大値フィルタなどを用い、中央値ないし最大値のいずれを基準にするかは予め規定しておく。
ここでは、注目画素Pを含む複数の周辺画素Paの明度情報の中で、中央値ないし最大値となる画素を、これらの画素を代表する代表画素として選択する処理を行う。具体的には、周辺画素Paとして、注目画素Pを中心とする3×3画素のマトリクス内にある8つの周辺画素Pa1〜Pa8を例示する。そして、注目画素Pと周辺画素Pa1〜Pa8(合計9個)の明度情報を明度順にならべたときの中央値ないし最大値を示す画素を、注目画素Pを中心とする3×3画素のマトリクス内の代表画素Prとして選択する。より具体的には、代表画素Prとして選択する処理は、中央値フィルタ(いわゆる、メディアンフィルタ)や最大値フィルタなどを用い、中央値ないし最大値のいずれを基準にするかは予め規定しておく。
処理(3):全輝度情報置換処理
ここでは、注目画素Pを構成するm個の複数波長の全輝度情報を、代表画素Prを構成するm個の複数波長の全輝度情報に置き換える処理を行う。具体的には、処理対象の注目画素Pを構成する3色カラー情報を、上記処理(2)で代表画素Prとして選択された画素を構成する3色カラー情報に置き換える。
ここでは、注目画素Pを構成するm個の複数波長の全輝度情報を、代表画素Prを構成するm個の複数波長の全輝度情報に置き換える処理を行う。具体的には、処理対象の注目画素Pを構成する3色カラー情報を、上記処理(2)で代表画素Prとして選択された画素を構成する3色カラー情報に置き換える。
画像処理部4は、上述の様にして加工処理された干渉色画像IM2を生成する。
膜厚測定部5は、加工処理がされた干渉色画像IM2から1点以上の選択点をn点選択し、特許文献1および非特許文献1に開示されている干渉縞モデルを適合し、未知パラメータを求めることにより膜厚を測定するものである。具体的には、膜厚測定部5は、コンピュータ部CNの一部で構成されており、以下に示す干渉縞モデルを適合する処理を実行するようプログラミングされている。その処理とは、加工処理された干渉色画像IM2から1点以上の選択点をn点選択し、n点の選択点の内のi点に対応する波長番号jの干渉輝度信号に、波長番号jの波長λ(j)を既知とし、波長番号jの平均輝度a(j)、干渉変調度b(j)、および点iの膜厚t(i)のすべて、あるいは、一部を未知パラメータとし、残りを既知パラメータとして、点iに対応する波長番号jの輝度g(i,j)が、次式
g(i,j)=a(j)[1+b(j)×cos{4πt(i)/λ(j)}]
で表される干渉縞モデルを適合し、各色の膜厚候補から合致法により未知パラメータを求める処理(つまり、膜厚推定演算処理)を行う。
g(i,j)=a(j)[1+b(j)×cos{4πt(i)/λ(j)}]
で表される干渉縞モデルを適合し、各色の膜厚候補から合致法により未知パラメータを求める処理(つまり、膜厚推定演算処理)を行う。
なお、干渉色画像IM2内の任意の点kに関し、上述の干渉縞モデルを適合して得られた、既知の波長番号jの平均輝度a(j)および干渉変調度b(j)と、点kの各波長の輝度g(k,j)とから、点kにおける波長番号jの位相φ(k,j)を、次式
φ(k,j)=cos−1[{g(k,j)/a(j)−1}/b(j)]
により求め、得られた複数の位相から点kの膜厚t(k)を求める処理(いわゆる、ACOS法)を行う。
φ(k,j)=cos−1[{g(k,j)/a(j)−1}/b(j)]
により求め、得られた複数の位相から点kの膜厚t(k)を求める処理(いわゆる、ACOS法)を行う。
本発明に係る膜厚測定装置1は、この様な構成をしているため、鏡面に近い状態で成膜された場合に限らず、成膜の下地や上面が粗面である場合(つまり、微小な凹凸が随所に存在する場合)や、微小な異物が付着しているような場合でも、干渉色を変化させずに干渉色画像IMに含まれる黒点ノイズを周辺画素の干渉色で埋めて、当該黒点ノイズを良好に除去した干渉色画像IM2を生成し、干渉色画像IM2に基づいて短時間で精度良く膜厚測定を行うことができる。
[画像処理部の変形例]
なお上述の、画像処理部4における代表画素Prを選択する処理において、注目画素Pと周辺画素Pa1〜Pa8(合計9個)の明度情報を明度順にならべたときの中央値を選択するか、最大値を選択するか、或いは、中央値ないし最大値のうち何番目に大きな値を選択するかは、予め規定しておく。
なお上述の、画像処理部4における代表画素Prを選択する処理において、注目画素Pと周辺画素Pa1〜Pa8(合計9個)の明度情報を明度順にならべたときの中央値を選択するか、最大値を選択するか、或いは、中央値ないし最大値のうち何番目に大きな値を選択するかは、予め規定しておく。
また上述では、画像処理部4における代表画素Prを選択する処理として、注目画素Pと、注目画素Pを中心とする3×3画素のマトリクス内にある8つの周辺画素Pa1〜Pa8の合計9個の画素から中央値ないし最大値を示す画素を代表画素Prとして選択する例を示した。しかし、このマトリクス数に限らず、3×3画素以外のマトリクス(例えば、5×5画素、7×7画素、3×4画素、6×4画素など)であっても良い。
また上述では、照射する単色光の複数の波長数mが3個の場合を例示したが、4個以上でも良い。
1 膜厚測定装置
2 照明部
3 画像取得部
4 画像処理部
5 膜厚測定部
CN コンピュータ部
GB 画像処理ボード
S 基材
F 透明膜
L1 照明光
L2 透明膜の表面の反射光
L3 透明膜の裏面の反射光
IM 干渉色画像
IM2 加工処理がされた干渉色画像
P 画素
Pa 周辺画素
Pr 代表画素
m 波長の数
n 選択点の数
t 膜厚
λ 波長
a 平均輝度
b 干渉変調度
g 輝度
i 選択点内の数
j 波長番号
2 照明部
3 画像取得部
4 画像処理部
5 膜厚測定部
CN コンピュータ部
GB 画像処理ボード
S 基材
F 透明膜
L1 照明光
L2 透明膜の表面の反射光
L3 透明膜の裏面の反射光
IM 干渉色画像
IM2 加工処理がされた干渉色画像
P 画素
Pa 周辺画素
Pr 代表画素
m 波長の数
n 選択点の数
t 膜厚
λ 波長
a 平均輝度
b 干渉変調度
g 輝度
i 選択点内の数
j 波長番号
Claims (2)
- m個からなる複数の波長の単色光を含む照明光を測定対象である透明膜に照射し、
前記透明膜の表面の反射光と裏面の反射光により生成される干渉色画像を取得し、
前記干渉色画像を構成する画素それぞれに対して、
m個の複数波長の全輝度情報から明度情報を生成する処理と、
当該画素を含む周辺画素の明度情報の中で、中央値ないし最大値となる画素を、これらの画素を代表する代表画素として選択する処理と、
当該画素を構成するm個の複数波長の全輝度情報を前記代表画素を構成するm個の複数波長の全輝度情報に置き換える処理と
を含む加工処理がされた干渉色画像を生成し、
前記加工処理がされた干渉色画像から1点以上の選択点をn点選択し、前記n点の選択点の内のi点に対応する波長番号jの干渉輝度信号に、前記波長番号jの波長λ(j)を既知とし、前記波長番号jの平均輝度a(j)、干渉変調度b(j)、および前記点iの膜厚t(i)のすべて、あるいは、1部を未知パラメータとし、残りを既知パラメータとして、前記点iに対応する波長番号jの輝度g(i,j)が
g(i,j)=a(j)[1+b(j)×cos{4πt(i)/λ(j)}]
で表される干渉縞モデルを適合し、前記未知パラメータを求めることにより膜厚を測定する、膜厚測定方法。
- m個からなる複数の波長の単色光を含む照明光を測定対象である透明膜に照射する照明部と、
前記透明膜の表面の反射光と裏面の反射光により生成される干渉色画像を取得する画像取得部と、
前記画像取得部で取得した前記干渉色画像を構成する画素それぞれに対して、
m個の複数波長の全輝度情報から明度情報を生成する処理と、
当該画素を含む周辺画素の明度情報の中で、中央値ないし最大値となる画素を、これらの画素を代表する代表画素として選択する処理と、
当該画素を構成するm個の複数波長の全輝度情報を前記代表画素を構成するm個の複数波長の全輝度情報に置き換える処理と
を含む加工処理がされた干渉色画像を生成する画像処理部と、
前記画像処理部で前記加工処理がされた干渉色画像から1点以上の選択点をn点選択し、前記n点の選択点の内のi点に対応する波長番号jの干渉輝度信号に、前記波長番号jの波長λ(j)を既知とし、前記波長番号jの平均輝度a(j)、干渉変調度b(j)、および前記点iの膜厚t(i)のすべて、あるいは、1部を未知パラメータとし、残りを既知パラメータとして、前記点iに対応する波長番号jの輝度g(i,j)が
g(i,j)=a(j)[1+b(j)×cos{4πt(i)/λ(j)}]
で表される干渉縞モデルを適合し、前記未知パラメータを求めることにより膜厚を測定する膜厚測定部を備えた、膜厚測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017025529A JP2018132390A (ja) | 2017-02-15 | 2017-02-15 | 膜厚測定方法および膜厚測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017025529A JP2018132390A (ja) | 2017-02-15 | 2017-02-15 | 膜厚測定方法および膜厚測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018132390A true JP2018132390A (ja) | 2018-08-23 |
Family
ID=63248884
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017025529A Pending JP2018132390A (ja) | 2017-02-15 | 2017-02-15 | 膜厚測定方法および膜厚測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018132390A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116625275A (zh) * | 2023-03-31 | 2023-08-22 | 东莞理工学院 | 一种基于光场信息融合的超薄多层图形微纳结构三维重构方法 |
-
2017
- 2017-02-15 JP JP2017025529A patent/JP2018132390A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116625275A (zh) * | 2023-03-31 | 2023-08-22 | 东莞理工学院 | 一种基于光场信息融合的超薄多层图形微纳结构三维重构方法 |
CN116625275B (zh) * | 2023-03-31 | 2024-02-13 | 东莞理工学院 | 一种基于光场信息融合的超薄多层图形微纳结构三维重构方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102048793B1 (ko) | 표면 컬러를 이용한 표면 토포그래피 간섭측정계 | |
JP6816572B2 (ja) | 色測定装置、色測定方法及びプログラム | |
JP6364777B2 (ja) | 画像データ取得システム及び画像データ取得方法 | |
JP6670327B2 (ja) | 宝石用原石の色測定 | |
JP2006208380A (ja) | 焦点ずれ検出のためのマルチスペクトル技術 | |
TW201800720A (zh) | 光學系統及使用該系統之物體表面或內部光反射介面三維形貌偵測方法 | |
JP6284705B2 (ja) | 干渉色のモデル適合による膜厚測定方法およびその装置 | |
CN113920113B (zh) | 一种对高光谱图像进行点对点白参比校正的方法与系统 | |
CN111344103B (zh) | 基于高光谱光学传感器的涂层区域定位方法和装置、及除胶系统 | |
JP2018530823A (ja) | 病理学的明視野画像における自動染色検出 | |
JP2021113744A (ja) | 撮像システム | |
US11300454B2 (en) | Multi-mode thermal imaging device and operation method thereof | |
JP2018132390A (ja) | 膜厚測定方法および膜厚測定装置 | |
JPH1183457A (ja) | スペクトル干渉顕微鏡及び該顕微鏡を用いた表面形状測定方法 | |
WO2021130757A1 (en) | Combined ocd and photoreflectance method and system | |
JP2015230264A (ja) | 膜厚測定方法および膜厚測定装置 | |
JP5701159B2 (ja) | 干渉縞モデル適合による表面形状測定方法およびその装置 | |
JP6587959B2 (ja) | 肌画像生成装置、肌画像生成装置の作動方法、および肌画像生成処理プログラム | |
JP3657345B2 (ja) | 膜厚検査装置 | |
KR102171773B1 (ko) | 검사 영역 결정 방법 및 이를 이용하는 외관 검사 장치 | |
JP7284457B2 (ja) | 量子効率分布の取得方法、量子効率分布の表示方法、量子効率分布の取得プログラム、量子効率分布の表示プログラム、分光蛍光光度計及び表示装置 | |
JP2003156314A (ja) | 膜厚測定方法及びその装置 | |
JP2008026147A (ja) | カラーフィルタの検査装置及びカラーフィルタの検査方法 | |
JP2007147507A (ja) | 分光測定方法及び分光測定装置 | |
JP2007071817A (ja) | 二光束干渉計及び同干渉計を用いた被測定物の形状測定方法 |