JP2018129320A - プローブ針先検査装置 - Google Patents

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Mitsuru Chichii
満 乳井
正 杉山
Tadashi Sugiyama
正 杉山
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Abstract

【課題】パッドレイアウトパターン毎に針先位置検査用プレートを用意する必要がなく、製作・保管コストを低減させる。【解決手段】プローブ針先検査装置は、プローブカードに設けられたプローブPの針先が上方を向くように固定する固定台23と、固定台23の上方に設けられ、プローブPの針先位置を検査するための基準となる針先位置のレイアウトのパターン画像を実寸で投影させるための透過可能な透過スクリーン部24aと、透過スクリーン部24aにパターン画像を投影する投影部25とを備え、固定台23、透過スクリーン部24a、および投影部25は、透過スクリーン部24aに実寸で投影されたパターン画像と、透過スクリーン部24aを透過して見える固定台23に固定されたプローブカードのプローブPとが重ね合わされた画像が観察可能に設けられている。【選択図】 図5

Description

本発明は、プローブカード等の電気的接続装置に設けられたプローブ先端の位置を検査する装置及に関する。
半導体ウェーハ(以下、単に「ウェーハ」ともいう)に作り込まれた多数の半導体集積回路は、各チップに分離されるに先立ち、一般的に、仕様書通りに製造されているか否かの電気的試験(例えば、ウェーハテスト)を受ける。(以下、各チップに分離される前のウェーハ上の個々の半導体集積回路を「ウェーハチップ」ともいう)。このウェーハテストには、テスタとウェーハとの間で電気的に介在させてテスタからの検査信号や電源、それに対するウェーハチップからの出力信号等を伝達する電気的接続装置であって、ウェーハ上の電極(以下、パッドともいう)にコンタクトする複数のプローブが設けられた電気的接続装置(以下、この様な電気的接続装置をプローブカードともいう)が用いられる。
このプローブカードを用いた電気的試験においては、ウェーハ上に形成された一つ又は複数のウェーハチップのパッドに、プローブカードに設けられた複数のプローブ
の先端(以下、針先ともいう)がそれぞれ適切に接触する必要がある。このため、試験対象となるウェーハチップのパッドの位置に適合するように、プローブカードにおける各プローブの先端の位置を検査したり、調整したりすることが、プローブカードの製造時やメンテナンス時等に行われている。例えば、特許文献1には、プローブカードの各プローブを正確な位置に調整するためのプローブカード校正設備に関する技術が開示されている。このプローブカード校正設備には、校正対象のプローブカードに設けられる複数のプローブの先端の正確な位置が記された透明シートが予め用意されている。そして、この透明シートは、プローブカードを保持する回転台の上方に水平位置から回動可能に支持されている。使用者は、前記回転台にプローブカードをプローブ先端が上方に向くように水平に保持した状態で、前記透明シートを水平な位置に回動させてプローブカードのプローブ先端に透明シートを接近させる。そして上方から顕微鏡を利用して目視によりプローブ先端の位置と透明シートに表示されている正確な位置とを対比する。プローブ先端が透明シートに記された正確な位置から外れている場合は、その透明シートを回動させて作業スペースを確保した上でピンセット等の工具を用いて手作業でプローブ先端位置の調整を行う。そして、全てのプローブ先端が正確な位置に調整されるまで上記作業を繰り返す。
この特許文献1に開示されている透明シートのように、プローブ先端の正確な位置が示されたプレートとして、特許文献2には、ガラス表面にクロム薄膜によるパターンを形成したガラスマスクが開示されている。
特開2009−133806号公報 特表2009−521674号公報
ここで、プローブカードに設けられた各プローブの針先の平面視の位置は、そのプローブカードを用いてウェーハテストされるウェーハ上のパッド位置に合わせて製造される。すなわちウェーハ上のパッドの配置に一致するようにプローブの針先の配置が定められている。
そのため、特許文献1や特許文献2に記載したようなプローブカードのプローブの針先位置を検査するための装置では、複数のプローブ先端の位置やその許容範囲が実寸で表示されたプレートであって、そのプローブ先端位置表示と、そのプレートの下方から接近させたプローブ先端とのズレを、プレートの上方から確認できるように透明な領域を有するプレートを用意する必要がある。このような針先位置検査用のプレートは、ウェーハテストの対象となるウェーハ上のパッドレイアウトパターン毎にそれぞれ予め製作しておく必要があり、その製作に手間がかかったり、製作コストが嵩んだりすることになる。
また、針先位置検査用のプレートは、使用や経時変化等により劣化や損傷が生じる可能性があり、修正や再製作の必要が生じたり、適切に保管しなければならなかったりするので、手間がかかっていた。
そこで、本発明の目的は、試験対象であるウェーハ上のパッドレイアウトパターン毎に針先位置検査用プレートを用意する必要がなく、製作・保管コストを低減させることができるプローブ針先検査装置を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明に係るプローブ針先検査装置の第1の特徴は、
プローブカードに設けられたプローブの針先位置を検査するプローブ針先検査装置であって、
前記プローブカードに設けられたプローブの針先が上方を向くように固定する固定台と、
前記固定台の上方に設けられ、前記プローブの針先位置を検査するための基準となる針先位置のレイアウトのパターン画像を実寸で投影させるための透過可能なスクリーン部と、
前記スクリーン部に前記パターン画像を投影する投影部と、
を備え、
前記固定台、前記スクリーン部、および前記投影部は、前記スクリーン部に実寸で投影されたパターン画像と、前記スクリーン部を透過して見える前記固定台に固定された前記プローブカードのプローブとが重ね合わされた画像が観察可能に設けられた
ことにある。
本発明に係るプローブ針先検査装置の第2の特徴は、
前記スクリーン部は、
入射する光の光透過率を変える調光手段を有する
ことにある。
本発明に係るプローブ針先検査装置の第3の特徴は、
前記調光手段は、
光透過率が高い状態と、光透過率が低い状態を切り替える
ことにある。
本発明に係るプローブ針先検査装置の第4の特徴は、
前記投影部は、
光を照射する投光部と、
前記投光部の下方に設けられ、前記スクリーン部に投影される画像の投影元の画像であるパターン元画像を表示する透過可能なディスプレイ部と、
を備え、
前記ディスプレイ部を透過した前記投光部からの光を前記スクリーン部に照射する
ことにある。
本発明に係るプローブ針先検査装置の第5の特徴は、
前記投影部は、
前記ディスプレイ部を透過した光を屈折させて縮小するための縮小レンズ部を
備え、
前記ディスプレイ部に表示されるパターン元画像は、実寸より大きく表示されており、
前記ディスプレイ部を透過した光は、前記縮小レンズ部により前記パターン元画像が縮小されるように前記スクリーン部に照射される
ことにある。
本発明に係るプローブ針先検査装置の第6の特徴は、
前記固定台と前記スクリーン部との間に透明なプレートが設けられている
ことにある。
本発明に係るプローブ針先検査装置の第7の特徴は、
前記固定台を上昇させる固定台駆動部をさらに備え、
前記透明なプレートは、
前記固定台駆動部によって上昇される固定台に固定されたプローブカードのプローブの針先が前記透明なプレートに接触して押し下げられる過程の針先位置の変化が観察可能に設けられた
ことにある。
本発明に係るプローブ針先検査装置の第8の特徴は、
プローブカードに設けられたプローブの針先位置を検査するプローブ針先検査装置であって、
前記プローブカードに設けられたプローブの針先が上方を向くように固定する固定台と、
前記固定台の上方に設けられ、前記プローブの針先位置を検査するための基準となる針先位置のレイアウトのパターン画像を実寸で表示するための透過可能なディスプレイ部と、
を備え、
前記固定台および前記ディスプレイ部は、前記ディスプレイ部に実寸で表示されたパターン画像と、前記ディスプレイ部を透過して見える前記固定台に固定された前記プローブカードのプローブとが重ね合わされた画像が観察可能に設けられた
ことにある。
本発明に係るプローブ針先検査装置によれば、プローブカードを用いた電気的試験の被検査体であるウェーハのパッドレイアウトパターン毎に、プローブ先端の位置が表示された針先検査用のプレートを用意する必要がなく、プローブの針先検査作業が容易になる。また、針先検査用のプレートの製作や保管に要した手間やコストを低減させることができる。
本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置の装置構成を示した構成図である。 本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置に固定されるプローブカードの一例を示した平面図である。 図2に記載されたプローブカードのA−A線における概略断面図である。 本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置が備える透過ディスプレイ部に表示されたパターン元画像の一例を示した図である。 本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置を用いたプローブの針先検査の原理について説明した説明図である。 (a),(b)は、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置を用いて、受光部から観察者が観察する画像の一例を示した図である。 (a),(b)は、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置を用いて、接触試験を実施したときに、受光部から観察者が観察する画像の一例を示した図である。
以下、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置について、図面を参照しながら詳細に説明する。また、以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置等を例示するものであって、この発明の技術的思想は、各構成部品の配置等を下記のものに特定するものでない。この発明の技術的思想は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。
図1は、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1の装置構成を示した構成図である。
図1に示すように、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1は、被検査体である、複数のプローブが取り付けられたプローブカードがセットされ、プローブの先端(針先)の位置を検査する検査本体装置2と、検査本体装置2を制御する制御装置3とを有している。なお、ここでは、紙面左右方向をX方向、上下方向をZ方向、紙面に向かって前後方向をY方向とする。
検査本体装置2は、プローブの針先位置を検査する際の基準となるプローブ先端の設計上の正しい位置が示された針先位置のレイアウトパターンを透光可能なパネル上に実寸で投影する検査本体部4と、検査対象であるプローブカードを保持するプローブカード保持部26とを有する。
プローブカード保持部26は、ベース21を有しており、このベース21上には位置調整マニピュレータ(固定台を駆動部)22を介して固定台23が設けられている。
位置調整マニピュレータ22は、制御装置3からの指示に基づいて、固定台23をX,Y,Z方向のいずれの方向にも移動させることができる。
固定台23は、検査対象であるプローブカードを固定するための台であり、固定台23の上面に被検査体であるプローブカード40が載置されている。
図2は本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1に固定されるプローブカードの一例としてカンチレバー型プローブカードを示す平面図であり、図3は、図2のA−A断面を示した図である。
なお、プローブカード40は、通常、ウェーハテスト等の電気的試験の際にプローバに取り付けられるとき、プローブPの針先が下方を向くようにプローバにセットされ、その下方に保持されたウェーハ上の電極にプローブPの針先を接触させて電気的試験を行うが、本プローブ針先検査装置1では、プローブカード40の使用姿勢とは逆向き、すなわちプローブPの針先が上方を向くようにプローブカード40が固定台23上にセットされる。
図2,図3に示すように、プローブカード40は、円板状のプローブ基板41と、プローブ基板41に取り付けられた針押え42と、針押え42に装着されたいわゆるカンチレバー型の複数のプローブPとを有している。なお、ここでプローブカード40の説明にあたっては、プローブ基板41表面と平行な方向を水平方向、プローブ基板41表面と垂直な方向を垂直方向とする。
プローブPは、プローブ基板41の中心軸線の周りに角度的間隔をおいた状態に、電気絶縁性接着剤43により針押え42の上部に接着固定されている。
プローブ基板41は、一度のコンタクトで検査する一つ又は複数のウェーハチップがウェーハ上に占める領域より大きい開口45を中央に有しており、個々のプローブPに対応した複数の接続ランド46が開口45の周りに角度的間隔をおいて配置されている。さらにテスタに電気的に接続される複数のテスタランド47をプローブ基板41の外周部の上面に有している。
針押え42は、開口45の周りに延設されており、電気絶縁材料で製作されている。
図2,図3に示した例では、プローブ基板41はプローブPを支持するための支持体として作用し、針押え42はプローブPをプローブ基板41に装着するための装着具として作用し、接続ランド46はプローブPを半田により電気的に接続する接続端子として作用する。
プローブPは、プローブPが取り付けられるプローブ基板41への接続端を有する取付け部31と、取付け部31からプローブ基板41と間隔をおいてプローブ基板41に沿って伸びるアーム部分32と、アーム部分32の端部で屈曲して上方へ伸長する針先部33とを有している。針先部33の先端である針先34は、ウェーハチップのパッドに接触する部分となる。
カンチレバー型のプロープPは片持ち梁構造を有しているので、ウェーハにプローブPが押し当てられて針先の高さ位置が垂直方向に変位すると、アーム部分32の撓みにより針先34に接触圧が生じるとともに、針先34が水平方向にも変位しスクラブ動作をする。
プローブカード40に設けられた複数のプローブPの針先位置は、そのプローブカード40を用いてウェーハテストを行う際に一度にコンタクトさせるウェーハ上の複数のパッドのレイアウトに基づいて設定され、例えば、各プローブPの針先34は、接触させる各パッドの平面視形状の重心の位置を基準として定められたそれぞれの水平方向における許容範囲内に設定される。この許容範囲を越える水平方向の位置ズレが生じていると、プロープPの針先34が適切にパッドに接触できない場合があるため、針先34がこの許容範囲内に位置しているかを検査したり、許容範囲内に位置するようにプローブPの針先位置を調整したりする必要がある。
そこで、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1では、プローブPの針先34の位置の検査、すなわち、観察者が針先34の水平方向の位置を確認できるように構成されている。
図1に戻り、固定台23の上方には、検査本体部4が設けられている。検査本体部4は、プローブの針先位置のレイアウトパターンを示すパターン画像を投影する投影部25と、投影部25により投影されるパターン画像が映される透光可能なスクリーン部を備える観察対象部24と、を有する。
観察対象部24は、透過スクリーン部24aと、この透過スクリーン部24aの下面を覆うように接触又は接近して設けられた透明プレート部24bとを有している。透過スクリーン部24aと透明プレート部24bは支持部材24dにより、互いに平行になるとともに固定台23の上面に対して平行になるように固定されている。支持部材24dは、位置調整マニピュレータ24cに接続されており、制御装置3からの指示に基づいた位置調整マニピュレータ24cの駆動により透過スクリーン部24a及び透明プレート部24bをX,Y,Z方向のいずれの方向にも移動させることができる。
透過スクリーン部24aは、投影部25から投影されるパターン画像が映されるスクリーンとして機能するとともに光を透過することが可能なパネルであり、透過スクリーン部24a表面に映し出されたパターン投影画像と、透過スクリーン部24a越しに見えるプローブPの針先部33とが重なった状態を上方の投影部25の後述する受光部25a4から観察可能になっている。具体的には、受光部25a4に設けた接眼レンズ等により拡大して目視で観察したり、受光部25a4に設けた受光素子を介して取り込まれた画像データ(撮像データ)をディスプレイ等の表示手段に拡大して表示して観察したりすることできる。
透過スクリーン部24aは光透過率を変更できる構造(調光手段ともいう)を備えていることが好ましく、例えば、光学シャッターや透過率可変フィルタ等を用いることができる。本実施の形態では、電気的に光透過率を制御可能な光学シャッターである液晶シャッターを用いており、制御装置3からの指示(印加電圧の制御)に基づき、光透過率が最大状態から最小の状態の間でアナログ階調を実現できる。透過スクリーン部24aの光透過率が高い状態では、下方からの光が透過し易いため、上方から透過スクリーン部24a越しにプローブPを観察し易いが、上方からの光も透過し易いため、投影部25からの投影画像も透過し易く、透過スクリーン部24aに映しだされるパターン投影画像が薄くなる。光透過率が低い状態では、下方からの光が透過し難いため、透過スクリーン部24a越しにプローブを観察し難くなるが、上方からの光は吸収、散乱、反射等し易くなるため、投影部25からのパターン投影画像は明瞭に映し出される。そこで、透過スクリーン部24a越しにプローブが観察し易く、かつ透過スクリーン部24aにパターン投影画像が明瞭に映し出されるように透過スクリーン部24aの光透過率を調整するとよい。これにより、観察者は、透過スクリーン部24aの下方のプローブPの針先部33と、透過スクリーン部24aに表示された針先位置のパターンを示す投影画像とが重なった状態を投影部25の受光部25a4により目視や撮像によって観察することが可能となる。
透明プレート部24bは、透過スクリーン部24a下面にプローブが接触して透過スクリーン部24aが損傷するのを保護するため、または、プローブPの針先34が押し込まれた状態での針先の位置や押し込まれる過程の針先の水平方向における針先位置の変化を検査する際にプローブPの針先34を押し付けるための透明なプレートである。透明プレート部24bは、硬度及び光透過率が高い透明板からなると好ましく、例えばガラス板を用いることができる。
透明プレート部24bは透過スクリーン部24aの下方に設けられており、透過スクリーン部24aの下面に近接または接触するように配置されていると、パターン投影画像とプローブPの針先34との距離を短くできるという点で好ましい。また、透過スクリーン部24a下面との間に間隔をあけて配置されていると、プローブPを透明プレート部24bに押し付ける場合に、透過スクリーン部24aに直接、力が加わらないという点で好ましい。なお、透明プレート部24bは、支持部材24dを介さずに透過スクリーン部24aの下面に直接取り付けても良く、例えば、透過スクリーン部24aの下面にカバーガラス等を張り付けても良い。
プローブPの針先34が押し込まれていない状態での針先位置を検査する時は、位置調整マニピュレータ22を駆動させてプローブカード40が固定された固定台23を上方に移動させ、透明プレート部24bの下面にプローブPの針先34が接触せずに近接した状態で止める。この状態を投影部25の受光部25a4から観察することにより、観察者はプローブの針先が押し下げられていない状態の水平方向の針先位置を確認することができる。
また、プローブPの針先34が押し下げられた状態の針先位置を検査する時は、位置調整マニピュレータ22を駆動させてプローブカード40が固定された固定台23を上方に移動させ、透明プレート部24bの下面にプローブPの針先34が押し当てられた状態で止める。この状態を投影部25の受光部25a4から観察することにより、観察者は針先が押し下げられた状態での水平方向の針先位置を確認することができる。
また、プロープPの針先34を押し込まれる過程での針先位置の変化を検査する時は、位置調整マニピュレータ22を駆動させてプローブカード40が固定された固定台23を上方に移動させ、透明プレート部24bの下面にプローブPの針先34が近接している状態から押し込まれている状態まで変化させる。この押し込まれる過程を投影部25の受光部25a4から観察することにより、観察者はプローブPの針先34が押し込まれる過程の水平方向の針先位置の変化を確認することができ、これにより、プローブPが適切にスクラブ動作を行えるかどうかを確認することができる。
なお、プローブPの針先34が押し下げられた状態を観察する必要が無い場合や、透過スクリーン部24a下面に透明な保護層が形成されている等で、プローブPの針先34が透過スクリーン部24a下面に接触しても損傷等の虞がない場合には、透明プレート部24bは省略することができる。このように透明プレート部24bを省略し場合では、プローブPの針先34が押し込まれていない状態での針先位置を検査する時は、位置調整マニピュレータ22を駆動させてプローブカード40が固定された固定台23を上方に移動させ、透過スクリーン部24aの下面にプローブPの針先34が接触せずに近接した状態で止めて観察するとよい。
観察対象部24の上方には、投影部25が設けられている。投影部25は、縮小露光部25aと、透過ディスプレイ部25bと、投光部25cとを有しており、これらは同一光軸上に設けられている。この光軸は固定台23の上面の垂直方向に一致しているので、透過ディスプレイ部25b、透過スクリーン部24a、及び透明プレート部24bはこの光軸に対して垂直に配置されている。
投光部25cは、光源と、そこから出射される光を縮小露光部25aへ照射する光学系とを備えている。投光部25cから出射された光は、投光部25cと縮小露光部25aとの間に設置されている透過ディスプレイ部25bを透過して縮小露光部25aに入射される。
透過ディスプレイ部25bは、透過型のディスプレイであり、例えば、透過型無機ELディスプレイや透過型液晶ディスプレイ等を用いることができるが、光透過率が高いという点で透過型無機ELディスプレイが好ましい。透過ディスプレイ部25bは、観察対象部24の透過スクリーン部24aに投影するための投影元となる画像を表示するための構成であり、制御装置3から送信される針先位置のレイアウトパターンを示すパターン画像データに基づいてパターン元画像を表示する。透過ディスプレイ部25b上に表示されているパターン元画像は、実際の針先位置レイアウトの寸法より大きい寸法で表示されている。
図4は、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1が備える透過ディスプレイ部25bに表示された針先位置のレイアウトパターンを示すパターン元画像の一例の一部を示した図である。ここでは、パターン元画像は、プローブの針先が押し込まれない状態の針先の位置を示している場合について説明する。
図4に示すように、パターン元画像50は、後述する観察対象部24の透過スクリーン部24aに投影されるパターン投影画像の投影元画像であり、設計上の針先の位置毎に針先位置基準元画像51,52,53,・・・が間隔をあけて設けられている。
針先位置基準元画像51の中心部には透明な領域である透過領域51aが設けられ、透過領域51aの周囲には透過領域51aの外縁を明示するための外周領域51bが設けられている。
透過領域51aは、パッドの基準位置(例えばパッド形状の重心位置)から所定の範囲を示す領域であり、この例では、パッド基準位置を中心とする円形となっており、このパッド基準位置(透過領域51aの中心位置)が、設計上のプローブPの針先位置となっている。この透過領域は、針先位置の許容範囲を示すようにしても良い。
外周領域51bは、透過領域51aの外縁を明示するために、黒色や明度の低い色で表示するなどして、光をほとんど通さない、あるいは光透過率が低くなっている。
針先位置基準元画像51,52,53,・・・は、この図4に示した例では、同一形状を有し、同一間隔で設けられているので、針先位置基準元画像51,52,53,・・・それぞれの画像の中心間の距離L1,L2,・・・は、全て同じ長さとなる。
透過ディスプレイ部25bの下方には、投光部25cから出射され、透過ディスプレイ部25bに表示されたパターン元画像50を透過した光が入射する縮小露光部25aが設けられている。縮小露光部25aは、レンズ部25a1と、半透過プリズム部25a2と、縮小レンズ部25a3と、受光部25a4とを有する。
レンズ部25a1は、透過ディスプレイ部25bを透過した光が、半透過プリズム部25a2を経て縮小レンズ部25a3に照射されるように光路を調整するレンズである。
半透過プリズム部25a2は、レンズ部25a1を透過した光が縮小レンズ部25a3に照射されるように透過させるとともに、観察対象部24及びその下方からの観察光を受光部25a4に入光させるように光路を変更させるプリズムである。
縮小レンズ部25a3は、パターン元画像50を縮小して観察対象部24の透過スクリーン部24aに投影するように屈折させるレンズである。
受光部25a4は、半透過プリズム25a2により光路が変更された透過スクリーン部24a及びその下方からの観察光を受光する。受光部25a4には、観察者が接眼して、拡大して観察するための接眼レンズが設けられており、観察者は、受光部25a4から接眼レンズを通して、透過スクリーン部24aに投影されたパターン投影画像とその下方に固定にされているプローブPの針先側とが重なりあった画像をパターン・針先重畳画像として観察することができる。また、受光部25a4には、受光素子が設けられており、受光した観察光を電気信号に変換し、制御装置3に送信する。これにより、パターン・針先重畳画像をデータ化して、パターン・針先重畳画像データとして制御装置3に取り込むことができる。
以上のように構成された本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1を用いたプローブPの検査の原理について説明する。図5は、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1を用いたプローブPの検査の原理について説明した図である。
図5に示すように、投光部25cから出射された光は透過ディスプレイ部25bに照射される。透過ディスプレイ部25bには、制御装置3から送信される針先位置を示すパターン画像データに基づいて実寸より拡大されたパターン元画像50が表示されているので、このパターン元画像50を透過した光は、レンズ部25a1と半透過プリズム部25a2を通り縮小レンズ部25a3に入射する。そして、縮小レンズ部25a3により縮小されて、観察対象部24の透過スクリーン部24a上に投影されて、実寸の針先位置を示すパターン投影画像60が投影される。このパターン投影画像60を実寸で表示するには、例えば、縮小レンズ部25a3の縮小率や、観察対象部24の透過スクリーン部24aの高さ位置を調節することにより行うことができる。
透過スクリーン部24aは、透過スクリーン部24aにパターン投影画像60が投影されるとともに、下方に光が透過するように光透過率が調節される。これにより、プローブPの針先34を透過スクリーン部24aに接近させた状態で、観察者は、受光部25a4から、透過スクリーン部24aに投影されたパターン投影画像60と、透過スクリーン部24aを透過して見えるプローブPの針先部33とが重なりあったパターン・針先重畳画像60Aとして観察することができる。また、この重畳画像は、受光部25a4において撮像され、制御装置3にパターン・針先重畳画像データとして取り込まれる。取り込まれたパターン・針先重畳データは、制御装置のディスプレイに表示可能である。
図6(a),(b)は、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1を用いて、受光部25a4から観察者が観察する画像の一例の一部を示した図である。
図6(a)に示すように、観察者は、受光部25a4から、透過スクリーン部24aに投影されたパターン投影画像60と、透過スクリーン部24aを透過して見えるプローブPの針先部33とが重なりあったパターン・針先重畳画像60Aを目視や撮像により観察することができる。
図6(a)に示した例では、パターン投影画像60は、透過スクリーン部24a上に投影された針先位置基準投影画像61,62,63,・・・を複数有している。そして、透過スクリーン部24a上に投影された針先位置基準投影画像61,62,63,・・・の中心部にはそれぞれ円形の透過領域61a,62a,63aが設けられ、透過領域61a,62a,63aの周囲にはそれぞれ外周領域61b,62b,63bが設けられている。
パターン投影画像60は、パターン元画像50が実際のサイズに投影されるように、パターン元画像50を縮小して透過スクリーン部24a上に投影した画像であるので、この透過領域61a,62a,63aの中心の位置や間隔は、プローブPの設計上の針先34の位置や間隔と同じになっている。
そのため、観察者は、プローブPの針先34を透明プレート部24b下面に接近させた状態で受光部25a4から、パターン投影画像60とプローブPの針先部33とが重なったパターン・針先重畳画像60Aとして観察することができ、プローブPの針先34が透過領域61a,62a,63aの中心に位置しているか否か、すなわち、プローブPの針先34の位置が水平方向で設計通りになっているか否かを確認することができる。プローブPの針先34が水平方向に許容範囲を越えて位置ズレしていると、そのプローブカード40を用いて電気的試験を行う際、プロープPの針先34が適切に電極に接触できない場合がある。このため、位置ずれが生じている場合は、針先34が正しい位置あるいは許容範囲内に来るようにプローブPを調整する必要がある。
図6(b)は、プローブPの針先34の位置がX−Y方向(水平方向)にずれた場合におけるパターン・針先重畳画像60Aの一例の一部を模式的に表している。
図6(b)に示すように、観察者はパターン・針先重畳画像60Aを観察することにより、プローブPの針先34bが透過領域62aの中心位置からX1方向にずれていることを確認することができる。観察者は、受光部25a4からパターン・針先重畳画像60Aを観察しながら、例えば、鋭利な先端形状を有するピンセットなどを用いて、プロープPの針先34bが透過領域62aの中心に来るようにプローブPのアーム部分32bをX2方向に矯正する。
これにより、プローブPの針先34bは、図6(a)に示すような位置に矯正されるので、その矯正されたプローブカード40を電気的試験に用いる際、プローブPの針先34a〜34cの全てについて適切に電極に接触させることができる。
なお、針先位置の確認や調整の際には、透過スクリーン部24aの透過率を、高くしてプローブPの針先部33を確認し易くしたり、低くしてパターン投影画像60を確認し易くしたりしても良く、例えば、透過スクリーン部の光透過率を最大にした状態と最少にした状態を交互に切り替えられるようにしても良い。
また、観察者がプローブPの針先位置を調整する際、透過スクリーン部24aと透明プレート部24bを、針先位置調整作業の邪魔にならない位置に退避できるように構成すると好ましく、例えば透過スクリーン部24aと透明プレート部24bを支持している支持部材24dに可動構造を設け、透過スクリーン部24aと透明プレート部24bが観察位置と退避位置の間で移動できるようにしても良い。その場合、観察者は、針先位置を確認するときは、透過スクリーン部24aと透明プレート部24bを観察位置(受光部25a4と透過スクリーン部24aの間に水平な向きで位置している状態)に移動させ、針先位置を調整するときは、透過スクリーン部24aと透明プレート部24bを退避位置(受光部25a4と透過スクリーン部24aの間の可視領域から外れた位置にある状態)に移動させて作業することができる。
以上のように、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1によれば、設計上の針先位置が示されているパターン画像データを基に、透過ディスプレイ部25bにパターン元画像50を表示し、そのパターン元画像50が表示された透過ディスプレイ部25bを透過した光を透過スクリーン部24aに投影して、設計上の針先位置が実寸で示されているパターン投影画像60を透過スクリーン部24a上に表示している。
そのため、検査対象であるプローブカード40に合わせて予め用意してあるパターン画像データを切り変えることにより、一つの透過スクリーン部24a上に異なるパターン投影画像を表示させることができる。これにより、従来のように、プローブカード40に合わせて複数の針先位置のパターンを表示したプレートを用意する必要がないので、その製作や保管に要した手間やコストが掛らない。また、検査するプローブカード40に合わせて、透過ディスプレイ部25bに表示させるパターン画像データを変えるだけでよいので、従来のように検査するプローブカードに合わせて針先位置のパターンを表示したプレートを付け替える必要が無く、検査の手間を低減できる。
また、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1によれば、透過ディスプレイ部25bに表示されるパターン元画像50は実寸よりも拡大して表示されており、パターン元画像50を縮小露光部25aにより縮小して透過スクリーン部24aに投影して、実寸のパターン投影画像60を表示している。
そのため、透過ディスプレイ部25bに表示された画像がより細かい画像となって透過スクリーン部24aに表示される。これにより、透過ディスプレイ部25bの解像度では実寸で表示できないような細かなパターン画像であっても、透過スクリーン部24aに表示させることができる。
また、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1によれば、透過スクリーン部24aは、光透過率を調節することができるように構成されている。透過スクリーン部24aの光透過率を高くすると、パターン投影画像60が薄くなるとともに透過スクリーン部24aより下方のプローブPの見え方が鮮明になり、透過スクリーン部24aの光透過率を低くすると、パターン投影画像60が濃くなるとともに透過スクリーン部24aより下方のプローブPが見え難くなる傾向にある。
そのため、透過スクリーン部24aの光透過率を調整することにより、透過スクリーン部24aに投影されるパターン投影画像60と、透過スクリーン部24aの上方から透過して見えるプローブPの形状とが重なったパターン・針先重畳画像60Aを、見え易いように調整して表示することができる。また、透過スクリーン部24aの光透過率を変えることにより、パターン投影画像60が見え易い状態と、透過スクリーン部24aより下方のプローブPが見え易い状態とを任意に変更できるので、針先位置の確認作業や調整作業が容易になる。
また、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1では、プローブPの針先34の位置の検査だけでなく、プローブPのスクラブ動作が適切に行われるかどうか、すなわち、プローブPの針先34を下方に押し下げる過程での針先34の位置の変化を確認する接触試験を実施することもできる。
上述したように、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1は、透過スクリーン部24aの下方に透明プレート部24bを有している。そこで、接触試験では、制御装置3からの指示で位置調整マニピュレータ22を駆動させて固定台23を上方向に移動させることにより、プローブPの針先34を透明プレート部24bに接触させ、そこからさらに固定台23を上方向に移動させて針先34を透明プレート部24bに押し付けることにより、プローブPにおける針先34の位置を下方に変位させる。
接触試験における固定台23の上方向への移動距離は、設計上のプローブPの針先34の押し下げ量に応じて設定することができる。
プローブPは片持ち梁構造をしているので、プローブPの針先34が透明プレート部24bによって押し下げられると、針先34の位置は、透明プレート部24bの下面上で、アーム部分32の延伸方向に沿って変位する。すなわち、プローブPの針先34が透明プレート部24b下面に接触してから押し下げられる過程での針先34の位置の水平方向における変化は、受光部25a4から目視や撮像により観察される。そして、撮像された画像は制御装置3に画像データとして保存される。なお、この画像データのプローブPの画像部分ついては、針先34の位置の変化の軌跡だけを抽出するように制御装置3で加工しても良い。
図7(a),(b)は、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1を用いて、接触試験を実施したときに、受光部25a4から観察者が観察する画像の一例の一部を示した図である。なお、この例では、針先位置を調整したプローブカード40に対して接触試験を行っている。
図7に示した画像は、透過スクリーン部24aに投影されたパターン投影画像60と、透過スクリーン部24aを透過して見えるプローブPの針先部33の画像から針先34の位置の変化の軌跡(以下、単に針先軌跡ともいう)を取りだした画像とが重なりあったパターン・針先軌跡重畳画像60Bとなっている。
図7(a)に示したパターン・針先軌跡重畳画像60Bでは、図6(a)と同様に、パターン投影画像60に対応する部分については、針先位置基準投影画像61,62,63,・・・が間隔をあけて設けられている。そして、針先位置基準投影画像61,62,63,・・・の中心部にはそれぞれ円形の透過領域61a,62a,63aが設けられ、透過領域61a,62a,63aの周囲にはそれぞれ外周領域61b,62b,63bが設けられている。
透過領域61a,62a,63aには、その円形状の中心付近からY1方向に延びる針先軌跡61c,62c,63cがそれぞれ表示されている。それぞれの針先軌跡61c,62c,63cの長さはほぼ同じになっている。このように針先軌跡の形や位置、他の針先軌跡との比較等により、各プローブPが適切にスクラブ動作をするかを確認することができる。
図7(b)は、プローブPのスクラブ動作に異常が見られる場合のパターン・針先軌跡重畳画像60Bの一例の一部を示している。図7(b)に示したパターン・針先軌跡重畳画像60Bにおいては、透過領域62a内に表示されている針先軌跡62dが、他の針先軌跡61c,63cよりY方向における長さが短いことを確認することができる。
このように、針先軌跡の長さが短い等、通常と異なっている場合は、プローブP自体やプローブPのプローブ基板41への取り付け方などに何らかの問題が生じている可能性が有る。そこで、観察者は、受光部25a4からパターン・針先重畳画像60Aを観察しながら、ピンセットなどを用いてプローブPを調整して針先軌跡62dが正常になるようにしたり、異常が生じているプロープPを適切なプローブPに交換したりすることができる。
なお、図7に示した針先軌跡は、連続的な線で表示した場合を示しているが、断続的に表示したものでもよく、例えば、固定台の高さ位置の変化に応じて針先位置をプロットしたようなものでもよい。
以上のように、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1によれば、パターン投影画像60が表示される透過スクリーン部24aの下方に透明プレート部24bを設け、その透明プレート部24bの下面にプローブPの針先34を接触させて押し込む過程を、透過スクリーン部24a上方に設けられた受光部25a4から目視や撮像により観察することができるので、透過スクリーン部24a上に投影されたパターン投影画像60と、透過スクリーン部24a及び透明プレート部24bを透過して見える針先34の位置の変化の軌跡とが重なったパターン・針先軌跡重畳画像60B上でプローブPが押し下げられる過程の針先34の位置の変化の軌跡を確認することができる。これによりプローブPがスクラブ動作を正常に行うことができるかを検査することができる。
なお、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1では、透過スクリーン部24aは光透過率を調節可能であるが、光透過率を連続的に変更するだけではなく、予め光透過率の異なる複数の設定を登録しておき、これら設定を切り替えるようにしても良い。
例えば、投影部25からの光を透過させないあるいは透過し難いように透過スクリーン部24aの光透過率を最も低い状態(閉状態)にする設定と、投影部25からの光を全量透過あるいは透過し易いように光透過率を最も高い状態(開状態)にする設定とを制御装置3に予め登録しておき、観察者の閉状態と開状態の切り替え操作に応じて、制御装置3から透過スクリーン部24aに閉状態と開状態と切り替える制御信号を送信して、透過スクリーン部24aの閉状態と開状態を切り替える。
これにより、観察者は、透過スクリーン部24aを閉状態に設定して受光部25a4から観察すると、プローブPの針先部33は観察し難いもののパターン投影画像60を鮮明に観察することができる。一方、観察者は、透過スクリーン部24aを開状態に設定して受光部25a4から観察すると、パターン投影画像60は観察し難いものの、プローブPの針先部33を鮮明に観察することができる。
そのため、透過スクリーン部24aの閉状態と開状態とを交互に切り替えることにより、観察者は、投影されたパターン投影画像60と、透過スクリーン部24aの下方に固定にされているプローブPの針先部33とが残像効果によって重なりあってあたかもパターン・針先重畳画像60Aのように見えるので、それにより観察することができる。
また、本発明の実施形態に係るプローブ針先検査装置1では、透過ディスプレイ部25bには実寸より拡大された画像を表示し、この画像を縮小露光部25aで縮小して透過スクリーン部上に実寸の画像を表示する場合を例に挙げて説明したが、これに限らない。
例えば、透過ディスプレイ部25bが、針先位置のレイアウトを示すパターン画像を実寸で表示できる解像度を有する場合、パターン元画像を拡大せずに実寸で透過ディスプレイ部25bに表示し、この表示した画像を縮小せずにそのままの寸法で透過スクリーン部24a上に投影するようにしても良い。これにより、投影部25において、画像を縮小させる構成を省略することができる。
また、例えば、透過ディスプレイ部25bが、針先位置のレイアウトを示すパターン画像を実寸で表示できる解像度を有する場合、固定台23の上方に設けられた針先位置レイアウトのパターン画像を実寸で表示する透過ディスプレイ部25bと、透過ディスプレイ部25bに表示されたパターン画像と透過ディスプレイ部25bを透過して見えるプローブPの針先部33とが重ね合わされた画像を観察可能なように透過ディスプレイ部25bの上方に設けられた受光部25a4とを有する検査本体部4を備えるようにしてもよい。すなわち、投影部25において透過ディスプレイ部25bを省略するとともに観察対象部24における透過スクリーン部24aを透過ディスプレイ部25bに置き換えるようにしてもよい。これにより、投影元画像となるパターン元画像を表示する透過ディスプレイ部や、透過ディスプレイ部を透過した光を投影するための構成等を省略することができる。このように構成されたプローブ針先検査装置を用いてプローブPの針先34が押し込まれていない状態での針先位置を検査する場合は、位置調整マニピュレータ22を駆動させてプローブカード40が固定された固定台23を上方に移動させ、透過ディスプレイ部25bの下方に位置する透明プレート部24bの下面にプローブPの針先34近接させる。そして、投影部25の受光部25a4から、透過ディスプレイ部25bに表示されている実寸のパターン画像と、透過ディスプレイ部25bを透過して見えるプローブPとの重畳画像を観察することにより、プローブPの水平方向の針先位置を確認することができる。
1 プローブ針先検査装置
2 検査本体装置
3 制御装置
4 検査本体部
26 プローブカード保持部
21 ベース
22 位置調整マニピュレータ
23 固定台
24 観察対象部
24a 透過スクリーン部(調光手段)
24b 透明プレート部
24c 位置調整マニピュレータ
25 投影部
25a 縮小露光部
25a1 レンズ部
25a2 半透過プリズム部
25a3 縮小レンズ部
25a4 受光部
25b 透過ディスプレイ部
25c 投光部

Claims (8)

  1. プローブカードに設けられたプローブの針先位置を検査するプローブ針先検査装置であって、
    前記プローブカードに設けられたプローブの針先が上方を向くように固定する固定台と、
    前記固定台の上方に設けられ、前記プローブの針先位置を検査するための基準となる針先位置のレイアウトのパターン画像を実寸で投影させるための透過可能なスクリーン部と、
    前記スクリーン部に前記パターン画像を投影する投影部と、
    を備え、
    前記固定台、前記スクリーン部、および前記投影部は、前記スクリーン部に実寸で投影されたパターン画像と、前記スクリーン部を透過して見える前記固定台に固定された前記プローブカードのプローブとが重ね合わされた画像が観察可能に設けられた
    ことを特徴とするプローブ針先検査装置。
  2. 前記スクリーン部は、
    入射する光の光透過率を変える調光手段を有する
    ことを特徴とする請求項1記載のプローブ針先検査装置。
  3. 前記調光手段は、
    光透過率が高い状態と、光透過率が低い状態を切り替える
    ことを特徴とする請求項2記載のプローブ針先検査装置。
  4. 前記投影部は、
    光を照射する投光部と、
    前記投光部の下方に設けられ、前記スクリーン部に投影される画像の投影元の画像であるパターン元画像を表示する透過可能なディスプレイ部と、
    を備え、
    前記ディスプレイ部を透過した前記投光部からの光を前記スクリーン部に照射する
    ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のプローブ針先検査装置。
  5. 前記投影部は、
    前記ディスプレイ部を透過した光を屈折させて縮小するための縮小レンズ部を
    備え、
    前記ディスプレイ部に表示されるパターン元画像は、実寸より大きく表示されており、
    前記ディスプレイ部を透過した光は、前記縮小レンズ部により前記パターン元画像が縮小されるように前記スクリーン部に照射される
    ことを特徴とする請求項4記載のプローブ針先検査装置。
  6. 前記固定台と前記スクリーン部との間に透明なプレートが設けられている
    ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のプローブ針先検査装置。
  7. 前記固定台を上昇させる固定台駆動部をさらに備え、
    前記透明なプレートは、
    前記固定台駆動部によって上昇される固定台に固定されたプローブカードのプローブの針先が前記透明なプレートに接触して押し下げられる過程の針先位置の変化が観察可能に設けられた
    ことを特徴とする請求項6記載のプローブ針先検査装置。
  8. プローブカードに設けられたプローブの針先位置を検査するプローブ針先検査装置であって、
    前記プローブカードに設けられたプローブの針先が上方を向くように固定する固定台と、
    前記固定台の上方に設けられ、前記プローブの針先位置を検査するための基準となる針先位置のレイアウトのパターン画像を実寸で表示するための透過可能なディスプレイ部と、
    を備え、
    前記固定台および前記ディスプレイ部は、前記ディスプレイ部に実寸で表示されたパターン画像と、前記ディスプレイ部を透過して見える前記固定台に固定された前記プローブカードのプローブとが重ね合わされた画像が観察可能に設けられた
    ことを特徴とするプローブ針先検査装置。


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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112649628A (zh) * 2020-12-14 2021-04-13 华虹半导体(无锡)有限公司 探针卡的维护校正方法

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