JP2018113300A - Manufacturing method of multilayer electronic component - Google Patents

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吉宏 福田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of multilayer electronic component capable of preventing a laminate from cracking in a crimp step.SOLUTION: A manufacturing method of multilayer electronic component including a lamination step of making a laminate by laminating multiple green sheets on which an internal electrode layer is formed, and a crimp step of placing a first elastic body sheet on the upper surface of the laminate in the lamination direction, placing a second elastic body sheet on the lower surface of the laminate in the lamination direction, and then crimping the laminate in the lamination direction, satisfies following relational expressions (1) and (2). (Thickness of the internal electrode layer×number of laminations of the internal electrode layers)/2>thickness of the first elastic body sheet (1), (Thickness of the internal electrode layer×number of laminations of the internal electrode layers)/2>thickness of the second elastic body sheet (2).SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、積層電子部品の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a laminated electronic component.

積層セラミックコンデンサでは、小型大容量化の要求が大きく、グリーンシートの薄層化、内部電極の多層化が進んでいる。
積層セラミックコンデンサの製造工程においては、内部電極層を形成したグリーンシートを多数枚積層して積層体とし、積層体を圧着する圧着工程が有る。
積層体において、内部電極層が形成された部分と、内部電極層が形成されていない部分では、積層厚みに段差を生ずる。そして、内部電極層が形成されていない部分において密着が不充分になる。
また、積層体の多層化が進むと、段差の影響がより大きくなってくる。
そして、内部電極層が形成されていない部分における密着性を確保するために、圧着工程において、積層体の上下に弾性体シートを配置することがある。
In multilayer ceramic capacitors, there is a great demand for small size and large capacity, and green sheets are becoming thinner and internal electrodes are becoming more multilayered.
In the production process of a multilayer ceramic capacitor, there is a crimping process in which a large number of green sheets on which internal electrode layers are formed are laminated to form a laminate, and the laminate is crimped.
In the laminated body, a step is generated in the laminated thickness between a portion where the internal electrode layer is formed and a portion where the internal electrode layer is not formed. And in the part in which the internal electrode layer is not formed, adhesion becomes insufficient.
Moreover, as the number of layers increases, the effect of the step becomes larger.
And in order to ensure the adhesiveness in the part in which the internal electrode layer is not formed, an elastic body sheet | seat may be arrange | positioned at the upper and lower sides of a laminated body in a crimping | compression-bonding process.

特許文献1には、面方向に比較して厚み方向のほうがより大きい伸縮性を示す弾性体シートを使用して積層体のプレスを行う工程を備えた、積層セラミック電子部品の製造方法が記載されている。 Patent Document 1 describes a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, which includes a step of pressing a multilayer body using an elastic sheet that exhibits greater stretchability in the thickness direction than in the plane direction. ing.

特開平9−190948号公報JP-A-9-190948

特許文献1には、積層セラミックコンデンサ製造時のグリーンシートを圧着する工程において、内部電極層の段差量(=内部電極層厚み×グリーンシート積層枚数)が、150um(3um×50枚)であり、弾性体シートとしてのポリエチレンテレフタレートの厚みが200μmであることが記載されている。 In Patent Document 1, in the step of crimping the green sheet at the time of manufacturing the multilayer ceramic capacitor, the step amount of the internal electrode layer (= the thickness of the internal electrode layer × the number of green sheets laminated) is 150 μm (3 μm × 50 sheets), The document describes that the thickness of polyethylene terephthalate as an elastic sheet is 200 μm.

特許文献1に記載されているような条件での圧着工程を行うと、積層体の表面の一部、特に、積層体の表面の周辺部に亀裂が生じることがあった。
特に、積層体の側面に内部電極引出部を有する積層電子部品において亀裂が生じやすい傾向があった。
When the pressure-bonding process is performed under the conditions described in Patent Document 1, a crack may occur in a part of the surface of the laminate, particularly in the peripheral portion of the surface of the laminate.
In particular, there is a tendency that cracks are likely to occur in a laminated electronic component having internal electrode lead portions on the side surfaces of the laminated body.

本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、圧着工程において積層体に亀裂が生じることを防止することができる、積層電子部品の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a laminated electronic component that can prevent a laminate from being cracked in a crimping process.

本発明者らは、圧着工程における亀裂の発生を解消することのできる手段について検討したところ、積層体の上下に配置する弾性体シートの厚さと、内部電極層の段差量の関係を適切な範囲とすることによって、内部電極層が形成された部分と内部電極層が形成されていない部分の境界において加わる力を低減して、亀裂の発生を防止することができることを見出し、本発明に想到した。
すなわち、本発明の積層電子部品の製造方法は、内部電極層が形成されたグリーンシートを複数枚積層して積層体を作製する積層工程と、上記積層体の積層方向上面に第1の弾性体シートを配置し、上記積層体の積層方向下面に第2の弾性体シートを配置して、上記積層体を積層方向に圧着する圧着工程を含む積層電子部品の製造方法であって、下記関係式(1)及び(2)を満たすことを特徴とする。
(内部電極層の厚さ×内部電極層の積層枚数)/2>第1の弾性体シートの厚さ (1)
(内部電極層の厚さ×内部電極層の積層枚数)/2>第2の弾性体シートの厚さ (2)
The present inventors examined a means that can eliminate the occurrence of cracks in the crimping process, and found that the relationship between the thickness of the elastic sheet disposed above and below the laminate and the step amount of the internal electrode layer is within an appropriate range. Thus, the inventors have found that it is possible to reduce the force applied at the boundary between the portion where the internal electrode layer is formed and the portion where the internal electrode layer is not formed, and to prevent the occurrence of cracks, and have arrived at the present invention. .
That is, the method for manufacturing a laminated electronic component according to the present invention includes a lamination step of producing a laminate by laminating a plurality of green sheets on which internal electrode layers are formed, and a first elastic body on an upper surface in the lamination direction of the laminate. A method of manufacturing a laminated electronic component including a crimping step in which a sheet is disposed, a second elastic sheet is disposed on a lower surface in the stacking direction of the stacked body, and the stacked body is crimped in the stacking direction. (1) and (2) are satisfied.
(Thickness of internal electrode layer x number of laminated internal electrode layers) / 2> thickness of first elastic sheet (1)
(Thickness of internal electrode layer x number of laminated internal electrode layers) / 2> thickness of second elastic sheet (2)

圧着工程において使用する第1の弾性体シート及び第2の弾性体シートの厚さが上記関係式(1)及び(2)を満たすものであると、内部電極層が形成された部分と内部電極層が形成されていない部分の境界において加わる力を低減して、亀裂の発生を防止することができる。 When the thicknesses of the first elastic sheet and the second elastic sheet used in the pressure-bonding process satisfy the above relational expressions (1) and (2), the portion where the internal electrode layer is formed and the internal electrode Generation of cracks can be prevented by reducing the force applied at the boundary between the portions where the layer is not formed.

本発明の積層電子部品の製造方法においては、上記第1の弾性体シート及び上記第2の弾性体シートの厚さが、それぞれ(内部電極層の厚さ×内部電極層の積層枚数)で求められる段差量の20%の厚さ以上であることが好ましい。
弾性体シートの厚さを薄くすると、内部電極層が形成された部分に加わる圧力が相対的に高くなり、誘電体厚さが薄くなる傾向となる。これにより、絶縁抵抗不良率(ショート不良率)が増加するが、弾性体シートの厚さを上記範囲とすることにより、絶縁抵抗不良率を低くすることができる。
In the method for manufacturing a laminated electronic component according to the present invention, the thicknesses of the first elastic sheet and the second elastic sheet are respectively determined by (the thickness of the internal electrode layer × the number of laminated internal electrode layers). The thickness is preferably 20% or more of the level difference.
When the thickness of the elastic sheet is reduced, the pressure applied to the portion where the internal electrode layer is formed becomes relatively high, and the dielectric thickness tends to be reduced. Thereby, although the insulation resistance failure rate (short failure rate) increases, the insulation resistance failure rate can be lowered by setting the thickness of the elastic sheet in the above range.

本発明の積層電子部品の製造方法においては、上記第1の弾性体シート及び上記第2の弾性体シートのデュロメータA硬度がそれぞれ40以上、80以下であることが好ましい。
弾性体シートの硬度が40以上であると、圧着後の積層体における、内部電極層が形成された部分と内部電極層が形成されていない部分との段差が大きくなりすぎないため好ましい。また、弾性体シートの硬度が80以下であると、内部電極層が形成されていない部分での密着性を改善する効果を充分に発揮させることができるため好ましい。
In the method for manufacturing a laminated electronic component of the present invention, it is preferable that the durometer A hardness of the first elastic sheet and the second elastic sheet is 40 or more and 80 or less, respectively.
It is preferable that the hardness of the elastic sheet is 40 or more because the step between the portion where the internal electrode layer is formed and the portion where the internal electrode layer is not formed in the laminated body after pressure bonding does not become too large. Moreover, it is preferable that the hardness of the elastic sheet is 80 or less because the effect of improving the adhesion at the portion where the internal electrode layer is not formed can be sufficiently exhibited.

本発明の積層電子部品の製造方法においては、(内部電極層の厚さ×内部電極層の積層枚数)で求められる段差量が50μm以上、200μm以下であることが好ましい。
段差量が50μm以上である場合に、本発明の効果がより顕著に発揮されるため好ましい。また、段差量が200μmを超えると、グリーンシート間の密着性を確保することが難しくなる場合がある。
In the method for manufacturing a laminated electronic component of the present invention, it is preferable that the step amount determined by (thickness of internal electrode layer × number of laminated internal electrode layers) is 50 μm or more and 200 μm or less.
It is preferable that the step amount is 50 μm or more because the effects of the present invention are more remarkably exhibited. Moreover, when the amount of steps exceeds 200 μm, it may be difficult to ensure adhesion between the green sheets.

本発明の積層電子部品の製造方法においては、上記圧着工程の後に、さらに剛体プレス工程を行うことが好ましい。
圧着工程の後に剛体プレスをさらに行うことにより、内部電極層が形成された部分と内部電極層が形成されていない部分との段差を軽減することができる。段差が大きいと基板への積層電子部品の実装時に安定性に欠け、はんだ付け不良が発生する懸念があるので段差を軽減することが好ましい。
In the method for manufacturing a laminated electronic component according to the present invention, it is preferable that a rigid body pressing step is further performed after the crimping step.
By further performing the rigid body pressing after the crimping step, it is possible to reduce a step between the portion where the internal electrode layer is formed and the portion where the internal electrode layer is not formed. If the level difference is large, it is preferable to reduce the level difference because there is a concern that stability is insufficient when mounting the multilayer electronic component on the substrate and soldering failure occurs.

本発明の積層電子部品の製造方法においては、上記積層電子部品が積層セラミックコンデンサであることが好ましい。
積層セラミックコンデンサは積層枚数が多くなる傾向にあり、段差が生じやすいので本発明の積層電子部品の製造方法が特に有効である。
In the method for manufacturing a multilayer electronic component of the present invention, the multilayer electronic component is preferably a multilayer ceramic capacitor.
Since the multilayer ceramic capacitor tends to have a large number of laminated layers and a step is likely to occur, the method for manufacturing a multilayer electronic component of the present invention is particularly effective.

本発明の積層電子部品の製造方法においては、上記積層電子部品が、1つの側面に2つ以上の内部電極引出部を有する積層電子部品であることが好ましい。
積層電子部品が、1つの側面に2つ以上の内部電極引出部を有する積層電子部品であると、従来技術による圧着工程を行った際に亀裂が特に生じやすい。そして、本発明の積層電子部品の製造方法における圧着工程を適用すると、亀裂の発生を防止することができる。
すなわち、本発明の効果は、1つの側面に2つ以上の内部電極引出部を有する積層電子部品に対して特に顕著に発揮される。
In the method for manufacturing a multilayer electronic component according to the present invention, the multilayer electronic component is preferably a multilayer electronic component having two or more internal electrode lead portions on one side surface.
When the laminated electronic component is a laminated electronic component having two or more internal electrode lead portions on one side surface, cracks are particularly likely to occur when the conventional crimping process is performed. And if the crimping | compression-bonding process in the manufacturing method of the multilayer electronic component of this invention is applied, generation | occurrence | production of a crack can be prevented.
That is, the effect of the present invention is particularly remarkable for a multilayer electronic component having two or more internal electrode lead portions on one side surface.

本発明の積層電子部品の製造方法において、圧着工程における圧着温度は60℃以上、85℃以下であることが好ましい。
圧着温度を60℃以上とすると、内部電極層が形成されていない部分での密着性を改善する効果がより充分に発揮され、デラミネーション等の構造欠陥を発生する可能性が減少する。また、圧着温度が85℃以下であると、圧着工程を経た積層体の温度変形による歪み量が大きくなりくい。そのため、後で積層体をチップ個片に切断する工程において、切断位置精度の低下による内部電極露出不良率が低くなる。
In the method for manufacturing a laminated electronic component according to the present invention, the pressure bonding temperature in the pressure bonding step is preferably 60 ° C. or higher and 85 ° C. or lower.
When the pressure bonding temperature is 60 ° C. or higher, the effect of improving the adhesion at the portion where the internal electrode layer is not formed is more fully exhibited, and the possibility of generating structural defects such as delamination is reduced. Further, when the pressure bonding temperature is 85 ° C. or less, the amount of strain due to temperature deformation of the laminated body that has undergone the pressure bonding process is less likely to increase. For this reason, in the step of cutting the laminated body into chip pieces later, the internal electrode exposure defect rate due to a decrease in cutting position accuracy is lowered.

本発明の積層電子部品の製造方法によると、圧着工程において積層体に亀裂が生じることを防止して、積層電子部品を製造することができる。 According to the method for producing a laminated electronic component of the present invention, it is possible to produce a laminated electronic component while preventing the laminate from being cracked in the crimping step.

図1は、本発明の積層電子部品の製造方法により製造することのできる積層セラミックコンデンサの一例を模式的に示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view schematically showing an example of a multilayer ceramic capacitor that can be manufactured by the method for manufacturing a multilayer electronic component of the present invention. 図2(a)及び図2(b)は、1つの側面に3つの内部電極引出部を有する積層電子部品を製造するための内部電極パターンを有する、内部電極層が形成されたグリーンシートを模式的に示す上面図である。図2(c)は、図2(a)及び図2(b)に示す内部電極パターンを重ねて示す平面図である。2 (a) and 2 (b) schematically illustrate a green sheet having an internal electrode layer having an internal electrode pattern for manufacturing a laminated electronic component having three internal electrode lead portions on one side surface. FIG. FIG. 2C is a plan view showing the internal electrode patterns shown in FIG. 2A and FIG. 図3(a)及び図3(b)は、1つの側面に2つの内部電極引出部を有する積層電子部品を製造するための内部電極パターンを有する、内部電極層が形成されたグリーンシートを模式的に示す上面図である。図3(c)は、図3(a)及び図3(b)に示す内部電極パターンを重ねて示す平面図である。FIGS. 3A and 3B schematically show a green sheet having an internal electrode layer having an internal electrode pattern for manufacturing a laminated electronic component having two internal electrode lead portions on one side surface. FIG. FIG. 3C is a plan view showing the internal electrode patterns shown in FIG. 3A and FIG. 図4(a)及び図4(b)は、1つの側面に1つの内部電極引出部を有する積層電子部品を製造するための内部電極パターンを有する、内部電極層が形成されたグリーンシートを模式的に示す上面図である。図4(c)は、図4(a)及び図4(b)に示す内部電極パターンを重ねて示す平面図である。4 (a) and 4 (b) schematically illustrate a green sheet having an internal electrode layer having an internal electrode pattern for manufacturing a laminated electronic component having one internal electrode lead portion on one side surface. FIG. FIG. 4C is a plan view showing the internal electrode patterns shown in FIG. 4A and FIG. 図5は、図2(a)に示すグリーンシートと図2(b)に示すグリーンシートが積層された積層体の多面取りのパターンを示す模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram showing a multi-chamfer pattern of a laminate in which the green sheet shown in FIG. 2A and the green sheet shown in FIG. 2B are laminated. 図6は、圧着工程において積層体の上下に弾性体シートを配置した様子を模式的に示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing a state in which elastic sheets are arranged above and below the laminate in the crimping step.

以下、図面を参照して、本発明の積層電子部品の製造方法について説明する。しかしながら、本発明は、以下の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において適宜変更して適用することができる。なお、以下において記載する本発明の個々の望ましい構成を2つ以上組み合わせたものもまた本発明である。 Hereinafter, a method for manufacturing a multilayer electronic component according to the present invention will be described with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the following configurations, and can be applied with appropriate modifications without departing from the scope of the present invention. Note that the present invention also includes a combination of two or more desirable configurations of the present invention described below.

以下、積層セラミックコンデンサを製造する場合を例にして本発明の積層電子部品の製造方法を説明する。 Hereinafter, a method for manufacturing a multilayer electronic component according to the present invention will be described with reference to an example of manufacturing a multilayer ceramic capacitor.

図1は、本発明の積層電子部品の製造方法により製造することのできる積層セラミックコンデンサの一例を模式的に示す斜視図である。
図1に示す積層セラミックコンデンサ1は、積層体10の第1の側面11に外部電極21a、外部電極22a、外部電極23aが設けられ、積層体10の第2の側面12に外部電極21b、外部電極22b、外部電極23bが設けられてなる。各外部電極が設けられている部分は、積層体の側面から内部電極が引き出されている部分である。図1には、外部電極の奥にある内部電極を模式的に点線で示している。図1に示す積層セラミックコンデンサ1は、1つの側面に3つの内部電極引出部を有する積層電子部品であるといえる。
以下、このような積層セラミックコンデンサを製造することのできる積層電子部品の製造方法について説明する。
FIG. 1 is a perspective view schematically showing an example of a multilayer ceramic capacitor that can be manufactured by the method for manufacturing a multilayer electronic component of the present invention.
A multilayer ceramic capacitor 1 shown in FIG. 1 includes an external electrode 21a, an external electrode 22a, and an external electrode 23a on a first side surface 11 of a multilayer body 10, and an external electrode 21b and an external electrode on a second side surface 12 of the multilayer body 10. An electrode 22b and an external electrode 23b are provided. The portion where each external electrode is provided is a portion where the internal electrode is drawn from the side surface of the laminate. In FIG. 1, the internal electrode in the back of the external electrode is schematically shown by a dotted line. It can be said that the multilayer ceramic capacitor 1 shown in FIG. 1 is a multilayer electronic component having three internal electrode lead portions on one side surface.
Hereinafter, a method for manufacturing a multilayer electronic component capable of manufacturing such a multilayer ceramic capacitor will be described.

始めに、内部電極層が形成されたグリーンシートを準備する。
誘電体層となるセラミックと有機物および溶媒等が混合されたセラミックスラリーを、PETフィルム等のキャリアフィルム上に、スプレーコーティング、ダイコーティング、スクリーン印刷等の方法によってシート状に塗布することによって、セラミックグリーンシートを得る。
続いて、Ni粉等の金属材料、溶剤、分散剤及びバインダ等からなる、内部電極層形成用の導電性ペーストを調製する。内部電極層形成用の導電性ペーストをセラミックグリーンシート上にスクリーン印刷、グラビア印刷などの方法で印刷し、内部電極パターンを形成する。
このようにして、内部電極層が形成されたグリーンシートが準備される。
First, a green sheet on which an internal electrode layer is formed is prepared.
By applying ceramic slurry, which is a dielectric layer ceramic mixed with organic substances and solvent, onto a carrier film such as PET film in a sheet form by spray coating, die coating, screen printing, etc., ceramic green Get a sheet.
Subsequently, a conductive paste for forming an internal electrode layer made of a metal material such as Ni powder, a solvent, a dispersant, a binder, and the like is prepared. A conductive paste for forming an internal electrode layer is printed on the ceramic green sheet by a method such as screen printing or gravure printing to form an internal electrode pattern.
In this way, a green sheet on which the internal electrode layer is formed is prepared.

誘電体層となるセラミックとしては、例えばチタン酸バリウム(BaTiO)、チタン酸カルシウム(CaTiO)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)、またはジルコン酸カルシウム(CaZrO)等を主成分とするセラミック材料を含む。また、セラミック材料は、主成分よりも含有量の少ない副成分として、Mn、Mg、Si、Co、Ni、または希土類等を含んでいてもよい。
セラミックスラリーに含まれる有機物としては、バインダとしてのポリビニルブチラール系バインダ、フタル酸エステル系バインダ等が挙げられる。
セラミックグリーンシートの厚さは0.6μm以上、1.2μm以下が好ましい。
Examples of the ceramic used as the dielectric layer include ceramic materials mainly composed of barium titanate (BaTiO 3 ), calcium titanate (CaTiO 3 ), strontium titanate (SrTiO 3 ), or calcium zirconate (CaZrO 3 ). including. Further, the ceramic material may contain Mn, Mg, Si, Co, Ni, rare earth, or the like as an auxiliary component having a lower content than the main component.
Examples of organic substances contained in the ceramic slurry include polyvinyl butyral binders and phthalate ester binders as binders.
The thickness of the ceramic green sheet is preferably 0.6 μm or more and 1.2 μm or less.

内部電極層形成用の導電性ペーストは、Ni、Cu、Ag、Pd、Ag−Pd合金又はAu等の金属材料を含んでいることが好ましい。また、セラミックグリーンシートに含まれるセラミック材料と同一組成系の誘電体材料を含んでいることも好ましい。
グリーンシート上に形成された内部電極層の厚さは、0.2μm以上、1.5μm以下であることが好ましい。内部電極層の厚さを0.2μm以上とすると、内部電極の連続性が向上するので、取得容量が低下することがない。また、内部電極層の厚さを1.5μm以下とすると、グリーンシート間の密着性が低下することがなく、デラミネーション等の構造欠陥の発生を防止することができる。
The conductive paste for forming the internal electrode layer preferably contains a metal material such as Ni, Cu, Ag, Pd, an Ag—Pd alloy, or Au. Moreover, it is also preferable that the dielectric material of the same composition system as the ceramic material contained in a ceramic green sheet is included.
The thickness of the internal electrode layer formed on the green sheet is preferably 0.2 μm or more and 1.5 μm or less. When the thickness of the internal electrode layer is 0.2 μm or more, the continuity of the internal electrode is improved, so that the acquisition capacity does not decrease. Moreover, when the thickness of the internal electrode layer is 1.5 μm or less, the adhesion between the green sheets is not lowered, and the occurrence of structural defects such as delamination can be prevented.

セラミックグリーンシート上に描かれる内部電極パターンは、製造する積層電子部品の仕様により異なるが、その例をいくつか説明する。
本発明の積層電子部品の製造方法で製造する積層電子部品が、1つの側面に2つ以上の内部電極引出部を有する積層電子部品であることが好ましい。
このような積層電子部品を製造するための内部電極パターンを図2(a)、図2(b)及び図2(c)、並びに、図3(a)、図3(b)及び図3(c)に示す。
Although the internal electrode pattern drawn on the ceramic green sheet differs depending on the specifications of the laminated electronic component to be manufactured, some examples will be described.
The multilayer electronic component manufactured by the multilayer electronic component manufacturing method of the present invention is preferably a multilayer electronic component having two or more internal electrode lead portions on one side surface.
The internal electrode patterns for manufacturing such a laminated electronic component are shown in FIGS. 2A, 2B and 2C, and FIGS. 3A, 3B and 3C. c).

図2(a)及び図2(b)は、1つの側面に3つの内部電極引出部を有する積層電子部品を製造するための内部電極パターンを有する、内部電極層が形成されたグリーンシートを模式的に示す上面図である。図2(c)は、図2(a)及び図2(b)に示す内部電極パターンを重ねて示す平面図である。 2 (a) and 2 (b) schematically illustrate a green sheet having an internal electrode layer having an internal electrode pattern for manufacturing a laminated electronic component having three internal electrode lead portions on one side surface. FIG. FIG. 2C is a plan view showing the internal electrode patterns shown in FIG. 2A and FIG.

図2(a)に示すグリーンシート110aでは、積層体とした際に第1の側面となる第1の長辺111aに、内部電極引出部121a、内部電極引出部123aが達しており、積層体とした際に第2の側面となる第2の長辺112aに、内部電極引出部122bが達している。一方、図2(b)に示すグリーンシート110bでは、積層体とした際に第1の側面となる第1の長辺111bに、内部電極引出部122aが達しており、積層体とした際に第2の側面となる第2の長辺112bに、内部電極引出部121b、内部電極引出部123bが達している。 In the green sheet 110a shown in FIG. 2 (a), the internal electrode lead-out portion 121a and the internal electrode lead-out portion 123a reach the first long side 111a that is the first side surface when the laminate is formed. In this case, the internal electrode lead-out portion 122b reaches the second long side 112a serving as the second side surface. On the other hand, in the green sheet 110b shown in FIG. 2B, the internal electrode lead-out portion 122a reaches the first long side 111b which is the first side surface when the laminated body is formed. The internal electrode lead-out part 121b and the internal electrode lead-out part 123b reach the second long side 112b serving as the second side face.

図2(c)には、この2枚のグリーンシート110a及びグリーンシート110bを重ねた際の内部電極パターンを重ねて示している。2枚のグリーンシートを重ねて得られる形状から、積層体とした際に第1の長辺111により得られる積層体の第1の側面には内部電極引出部121a、内部電極引出部122a及び内部電極引出部123aが位置することが分かる。また、積層体とした際に第2の長辺112により得られる積層体の第2の側面には内部電極引出部121b、内部電極引出部122b及び内部電極引出部123bが位置することが分かる。
また、図2(c)には、この内部電極パターンを有する積層体を従来技術の方法で圧着した際に亀裂が生じやすい部位を模式的に波線130で示している。本発明の積層電子部品の製造方法によると、この部位に亀裂が生じることを防止することができる。
In FIG. 2C, the internal electrode pattern when the two green sheets 110a and 110b are overlapped is shown. From the shape obtained by stacking two green sheets, the first side surface of the laminate obtained by the first long side 111 when the laminate is formed is provided with an internal electrode lead portion 121a, an internal electrode lead portion 122a, and an internal portion. It can be seen that the electrode lead-out portion 123a is located. It can also be seen that the internal electrode lead-out portion 121b, the internal electrode lead-out portion 122b, and the internal electrode lead-out portion 123b are located on the second side surface of the laminate obtained by the second long side 112 when the laminate is formed.
FIG. 2C schematically shows a portion where a crack is likely to occur when the laminated body having the internal electrode pattern is pressure-bonded by a conventional method. According to the method for manufacturing a laminated electronic component of the present invention, it is possible to prevent a crack from occurring at this portion.

図3(a)及び図3(b)は、1つの側面に2つの内部電極引出部を有する積層電子部品を製造するための内部電極パターンを有する、内部電極層が形成されたグリーンシートを模式的に示す上面図である。図3(c)は、図3(a)及び図3(b)に示す内部電極パターンを重ねて示す平面図である。 FIGS. 3A and 3B schematically show a green sheet having an internal electrode layer having an internal electrode pattern for manufacturing a laminated electronic component having two internal electrode lead portions on one side surface. FIG. FIG. 3C is a plan view showing the internal electrode patterns shown in FIG. 3A and FIG.

図3(a)に示すグリーンシート210aでは、積層体とした際に第1の側面となる第1の長辺211aに、内部電極引出部221aが達しており、積層体とした際に第2の側面となる第2の長辺212aに、内部電極引出部222bが達している。一方、図3(b)に示すグリーンシート210bでは、積層体とした際に第1の側面となる第1の長辺211bに、内部電極引出部222aが達しており、積層体とした際に第2の側面となる第2の長辺212bに、内部電極引出部221bが達している。 In the green sheet 210a shown in FIG. 3A, the internal electrode lead-out portion 221a reaches the first long side 211a, which is the first side surface when the laminate is formed, and the second when the laminate is formed. The internal electrode lead-out portion 222b reaches the second long side 212a which is the side surface of the inner electrode. On the other hand, in the green sheet 210b shown in FIG. 3B, the internal electrode lead-out portion 222a reaches the first long side 211b which is the first side surface when the laminated body is formed. The internal electrode lead-out portion 221b reaches the second long side 212b serving as the second side surface.

図3(c)には、この2枚のグリーンシート210a及びグリーンシート210bを重ねた際の内部電極パターンを重ねて示している。2枚のグリーンシートを重ねて得られる形状から、積層体とした際に第1の長辺211により得られる積層体の第1の側面には内部電極引出部221a及び内部電極引出部222aが位置することが分かる。また、積層体とした際に第2の長辺212により得られる積層体の第2の側面には内部電極引出部221b及び内部電極引出部222bが位置することが分かる。
また、図3(c)には、この内部電極パターンを有する積層体を従来技術の方法で圧着した際に亀裂が生じやすい部位を模式的に波線230で示している。本発明の積層電子部品の製造方法によると、この部位に亀裂が生じることを防止することができる。
In FIG. 3C, the internal electrode pattern when the two green sheets 210a and 210b are overlapped is shown. The internal electrode lead-out part 221a and the internal electrode lead-out part 222a are located on the first side surface of the laminate obtained by the first long side 211 from the shape obtained by stacking the two green sheets. I understand that Further, it can be seen that the internal electrode lead-out portion 221b and the internal electrode lead-out portion 222b are located on the second side surface of the laminate obtained by the second long side 212 when the laminate is formed.
FIG. 3C schematically shows a portion where a crack is likely to occur when the laminated body having the internal electrode pattern is pressure-bonded by a conventional method. According to the method for manufacturing a laminated electronic component of the present invention, it is possible to prevent a crack from occurring at this portion.

また、本発明の積層電子部品の製造方法で製造する積層電子部品が、1つの側面に1つの内部電極引出部を有する積層電子部品であってもよい。
このような積層電子部品を製造するための内部電極パターンを図4(a)、図4(b)及び図4(c)に示す。
Moreover, the multilayer electronic component manufactured by the method for manufacturing the multilayer electronic component of the present invention may be a multilayer electronic component having one internal electrode lead portion on one side surface.
An internal electrode pattern for manufacturing such a laminated electronic component is shown in FIGS. 4 (a), 4 (b) and 4 (c).

図4(a)及び図4(b)は、1つの側面に1つの内部電極引出部を有する積層電子部品を製造するための内部電極パターンを有する、内部電極層が形成されたグリーンシートを模式的に示す上面図である。図4(c)は、図4(a)及び図4(b)に示す内部電極パターンを重ねて示す平面図である。 4 (a) and 4 (b) schematically illustrate a green sheet having an internal electrode layer having an internal electrode pattern for manufacturing a laminated electronic component having one internal electrode lead portion on one side surface. FIG. FIG. 4C is a plan view showing the internal electrode patterns shown in FIG. 4A and FIG.

図4(a)に示すグリーンシート310aでは、積層体とした際に第1の側面となる第1の長辺311aに、内部電極引出部321aが達しており、積層体とした際に第2の側面となる第2の長辺312aに、内部電極引出部322aが達している。一方、図4(b)に示すグリーンシート310bでは、積層体とした際に第1の側面となる第1の長辺311b及び第2の側面となる第2の長辺312bのいずれにも内部電極引出部は達していない。図4(b)に示すグリーンシート310bでは、積層体としたときに第1の端面となる第1の短辺313bに端面内部電極引出部323bが達しており、積層体としたときに第2の端面となる第2の短辺314bに端面内部電極引出部324bが達している。 In the green sheet 310a shown in FIG. 4A, the internal electrode lead-out portion 321a reaches the first long side 311a serving as the first side face when the laminated body is formed, and the second sheet when the laminated body is formed. The internal electrode lead-out portion 322a reaches the second long side 312a that is the side surface of the inner electrode. On the other hand, in the green sheet 310b shown in FIG. 4B, when it is formed into a laminated body, the first long side 311b serving as the first side surface and the second long side 312b serving as the second side surface are both inside. The electrode lead-out part has not reached. In the green sheet 310b shown in FIG. 4B, the end face internal electrode lead-out part 323b reaches the first short side 313b which becomes the first end face when the laminate is formed, and the second sheet when the laminate is formed. The end face internal electrode lead-out portion 324b reaches the second short side 314b serving as the end face of the first end face.

図4(c)には、この2枚のグリーンシート310a及びグリーンシート310bを重ねた際の内部電極パターンを重ねて示している。2枚のグリーンシートを重ねて得られる形状から、積層体とした際に第1の長辺311により得られる積層体の第1の側面には内部電極引出部321aが位置することが分かる。また、積層体とした際に第2の長辺312により得られる積層体の第2の側面には内部電極引出部322aが位置することが分かる。
また、積層体とした際に第1の短辺313により得られる積層体の第1の端面には端面内部電極引出部323bが位置することが分かる。また、積層体とした際に第2の短辺314により得られる積層体の第2の端面には端面内部電極引出部324bが位置することが分かる。
また、図4(c)には、この内部電極パターンを有する積層体を従来技術の方法で圧着した際に亀裂が生じやすい部位を模式的に波線330で示している。本発明の積層電子部品の製造方法によると、この部位に亀裂が生じることを防止することができる。
In FIG. 4C, the internal electrode pattern when the two green sheets 310a and 310b are overlapped is shown. From the shape obtained by stacking the two green sheets, it can be seen that the internal electrode lead-out portion 321a is located on the first side surface of the multilayer body obtained by the first long side 311 when the multilayer body is formed. Further, it can be seen that the internal electrode lead-out portion 322a is located on the second side surface of the multilayer body obtained by the second long side 312 when the multilayer body is formed.
It can also be seen that the end face internal electrode lead-out portion 323b is located on the first end face of the laminate obtained by the first short side 313 when the laminate is formed. It can also be seen that the end face internal electrode lead-out portion 324b is located on the second end face of the laminate obtained by the second short side 314 when the laminate is formed.
FIG. 4C schematically shows a portion where a crack is likely to occur when the laminated body having the internal electrode pattern is pressure-bonded by the method of the prior art. According to the method for manufacturing a laminated electronic component of the present invention, it is possible to prevent a crack from occurring at this portion.

積層体を構成するグリーンシートの長辺の長さは、0.7mm以上1.3mm以下であることが好ましい。また、短辺の長さは、0.4mm以上0.8mm以下であることが好ましい。 The length of the long side of the green sheet constituting the laminate is preferably 0.7 mm or more and 1.3 mm or less. Moreover, it is preferable that the length of a short side is 0.4 mm or more and 0.8 mm or less.

ここまで説明したような、内部電極層が形成されたグリーンシートを積層して積層体を作製する。積層枚数は100枚以上、300枚以下であることが好ましい。
そして、(内部電極層の厚さ×内部電極層の積層枚数)で求められる厚さを段差量と呼ぶ。この段差量は、内部電極層が形成された部分と内部電極層が形成されていない部分の厚みの差である。
本発明の積層電子部品の製造方法では、圧着工程においてこの段差量を考慮して弾性体シートの厚さを定める。
段差量は、50μm以上、200μm以下であることが好ましい。
A green body having an internal electrode layer as described above is laminated to produce a laminate. The number of stacked layers is preferably 100 or more and 300 or less.
The thickness obtained by (thickness of internal electrode layer × number of stacked internal electrode layers) is referred to as a step amount. This level difference is a difference in thickness between a portion where the internal electrode layer is formed and a portion where the internal electrode layer is not formed.
In the method for manufacturing a laminated electronic component according to the present invention, the thickness of the elastic sheet is determined in consideration of the level difference in the crimping process.
The step amount is preferably 50 μm or more and 200 μm or less.

積層体を作製するときは、2種類のグリーンシートが交互に重なるように積層し、積層体の内部電極パターンが図2(c)、図3(c)又は図4(c)に示すような内部電極パターンとなるようにする。
実際には、内部電極パターンが繰り返し描かれた多面取りのグリーンシートを作製し、それを内部電極パターンの位置をずらして積層する、この多面取りの模式図を図5に示す。
図5には、図2(a)に示すグリーンシート110aと図2(b)に示すグリーンシート110bが積層された積層体100の多面取りのパターンを模式的に示す。図5では積層セラミックコンデンサ4つ分のパターンを示しており、図5において1点鎖線で区切られたそれぞれの領域が積層セラミックコンデンサ1つ分のパターンに相当する。
When producing a laminated body, it laminates so that two types of green sheets may overlap, and the internal electrode pattern of the laminated body is as shown in FIG. 2 (c), FIG. 3 (c) or FIG. 4 (c). The internal electrode pattern is used.
FIG. 5 shows a schematic diagram of this multi-chamfering method in which a multi-chamfered green sheet on which internal electrode patterns are repeatedly drawn is produced and laminated by shifting the position of the internal electrode pattern.
FIG. 5 schematically shows a multi-chamfer pattern of a laminate 100 in which the green sheet 110a shown in FIG. 2A and the green sheet 110b shown in FIG. 2B are stacked. FIG. 5 shows a pattern for four multilayer ceramic capacitors, and each region divided by a one-dot chain line in FIG. 5 corresponds to a pattern for one multilayer ceramic capacitor.

また、積層体の作製にあたっては、内部電極層が形成されたグリーンシートのさらに外側に外層を形成するための外層グリーンシートを積層することが好ましい。
外層グリーンシートは電極層を有さないセラミックグリーンシートである。外層グリーンシートの厚さは1μm以上、10μm以下であることが好ましい。
Moreover, when producing a laminated body, it is preferable to laminate | stack the outer layer green sheet for forming an outer layer in the further outer side of the green sheet in which the internal electrode layer was formed.
The outer green sheet is a ceramic green sheet having no electrode layer. The thickness of the outer green sheet is preferably 1 μm or more and 10 μm or less.

続いて、積層体の積層方向上面に第1の弾性体シートを配置し、積層体の積層方向下面に第2の弾性体シートを配置して、積層体を積層方向に圧着する圧着工程を行う。 Subsequently, the first elastic sheet is disposed on the upper surface in the stacking direction of the stacked body, the second elastic sheet is disposed on the lower surface in the stacking direction of the stacked body, and a crimping process is performed to press the stacked body in the stacking direction. .

図6は、圧着工程において積層体の上下に弾性体シートを配置した様子を模式的に示す断面図である。図5に示す積層体の多面取りのパターンにおいてA−A´線にあたる位置で切断した断面の上下に弾性体シートを配置した様子を模式的に示している。 FIG. 6 is a cross-sectional view schematically showing a state in which elastic sheets are arranged above and below the laminate in the crimping step. FIG. 6 schematically shows a state in which elastic sheets are arranged above and below a cross section cut at a position corresponding to the line AA ′ in the multi-face pattern of the laminate shown in FIG. 5.

図6では、積層体100の上面に第1の弾性体シート101が配置され、積層体100の下面に第2の弾性体シート102が配置されている。
積層体100には、左右方向に向かって、内部電極層が形成された部分と内部電極層が形成されていない部分が交互に存在しており、内部電極層が形成されていない部分は(内部電極層の厚さ×内部電極層の積層枚数)で求められる段差量の分だけ厚さが薄くなる。弾性体シートは弾性(柔軟性)を有するので段差に追従し、内部電極層が形成されていない部分にも接触することができる。
In FIG. 6, the first elastic sheet 101 is disposed on the upper surface of the laminate 100, and the second elastic sheet 102 is disposed on the lower surface of the laminate 100.
In the laminated body 100, the portion where the internal electrode layer is formed and the portion where the internal electrode layer is not formed alternately exist in the left-right direction, and the portion where the internal electrode layer is not formed is (internal The thickness is reduced by an amount corresponding to the level difference obtained by (thickness of electrode layer × number of stacked internal electrode layers). Since the elastic sheet has elasticity (flexibility), it can follow a step and can contact a portion where the internal electrode layer is not formed.

第1の弾性体シート及び第2の弾性体シートの材質は、内部電極層が形成されていない部分に圧力を加えられるような弾性を有する材質であれば特に限定されるものではない。具体的には、スチレンブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム、クロロプレンゴム、アクリロニトリルブタジエンゴム、ブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、エチレンプロピレンジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム、アクリルゴム、エピクロルヒドリンゴム、多硫化ゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム等のゴム材料が挙げられる。
また、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリウレタン等の樹脂材料が挙げられる。
これらの材料の中では、シリコーンゴムが好ましい。
The material of the first elastic sheet and the second elastic sheet is not particularly limited as long as the material has elasticity that allows pressure to be applied to a portion where the internal electrode layer is not formed. Specifically, styrene butadiene rubber, isoprene rubber, butadiene rubber, chloroprene rubber, acrylonitrile butadiene rubber, butyl rubber, ethylene propylene rubber, ethylene propylene diene rubber, urethane rubber, silicone rubber, fluorine rubber, acrylic rubber, epichlorohydrin rubber, polysulfide Examples thereof include rubber materials such as rubber and chlorosulfonated polyethylene rubber.
Moreover, resin materials, such as polyethylene, a polystyrene, and a polyurethane, are mentioned.
Of these materials, silicone rubber is preferred.

第1の弾性体シート及び第2の弾性体シートのデュロメータA硬度はそれぞれ40以上、80以下であることが好ましい。デュロメータA硬度はタイプA圧子(円柱状)で測定される硬さである。 The durometer A hardness of the first elastic sheet and the second elastic sheet is preferably 40 or more and 80 or less, respectively. The durometer A hardness is a hardness measured with a type A indenter (cylindrical shape).

第1の弾性体シート及び第2の弾性体シートの厚さは、下記関係式(1)及び(2)を満たす。
(内部電極層の厚さ×内部電極層の積層枚数)/2>第1の弾性体シートの厚さ (1)
(内部電極層の厚さ×内部電極層の積層枚数)/2>第2の弾性体シートの厚さ (2)
(内部電極層の厚さ×内部電極層の積層枚数)は、上述した段差量であり、段差量の半分の厚さよりも第1の弾性体シート及び第2の弾性体シートの厚さが薄いことをこの式(1)及び(2)は意味している。
第1の弾性体シート及び第2の弾性体シートの厚さが上記関係式(1)及び(2)を満たすと、内部電極層が形成された部分と内部電極層が形成されていない部分の境界において加わる力を低減して、亀裂の発生を防止することができる。
また、第1の弾性体シート及び第2の弾性体シートの厚さは、それぞれ(内部電極層の厚さ×内部電極層の積層枚数)で求められる段差量の20%の厚さ以上であることが好ましい。
また、第1の弾性体シート及び第2の弾性体シートの厚さは、それぞれ20μm以上であることが好ましい。
The thicknesses of the first elastic sheet and the second elastic sheet satisfy the following relational expressions (1) and (2).
(Thickness of internal electrode layer x number of laminated internal electrode layers) / 2> thickness of first elastic sheet (1)
(Thickness of internal electrode layer x number of laminated internal electrode layers) / 2> thickness of second elastic sheet (2)
(Thickness of internal electrode layer × number of stacked internal electrode layers) is the above-described step amount, and the first elastic sheet and the second elastic sheet are thinner than half the step amount. This is meant by the equations (1) and (2).
When the thicknesses of the first elastic sheet and the second elastic sheet satisfy the above relational expressions (1) and (2), the portion where the internal electrode layer is formed and the portion where the internal electrode layer is not formed Generation of cracks can be prevented by reducing the force applied at the boundary.
Moreover, the thickness of the first elastic sheet and the second elastic sheet is 20% or more of the step amount obtained by (the thickness of the internal electrode layer × the number of stacked internal electrode layers). It is preferable.
Moreover, it is preferable that the thickness of the 1st elastic body sheet and the 2nd elastic body sheet is 20 micrometers or more, respectively.

第1の弾性体シート及び第2の弾性体シートは、それぞれ1枚使用してもよいし、複数枚を重ねて使用してもよい。弾性体シートを複数枚重ねて使用するときの弾性体シートの厚さは、その合計厚さとして定める。
また、第1の弾性体シートの材質と第2の弾性体シートの材質はそれぞれ同じであっても異なっていてもよい。また、第1の弾性体シートの厚さと第2の弾性体シートの厚さは、それぞれが関係式(1)及び(2)を満たす限り、異なっていてもよい。
Each of the first elastic sheet and the second elastic sheet may be used, or a plurality of sheets may be used in an overlapping manner. The thickness of the elastic sheet when a plurality of elastic sheets are used is determined as the total thickness.
The material of the first elastic sheet and the material of the second elastic sheet may be the same or different. Further, the thickness of the first elastic sheet and the thickness of the second elastic sheet may be different as long as each satisfies the relational expressions (1) and (2).

圧着工程における圧着条件は特に限定されるものではないが、圧着温度(金型温度)を60℃以上、85℃以下とすることが好ましい。また、プレス圧力を20MPa以上、60MPa以下とすることが好ましい。また、プレス時間を30秒以上、180秒以下とすることが好ましい。圧着は任意のプレス装置を使用して行うことができる。
弾性体シートを使用した圧着により、内部電極層が形成されていない部分における密着性を確保することができる。
The pressure bonding conditions in the pressure bonding step are not particularly limited, but the pressure bonding temperature (mold temperature) is preferably 60 ° C. or higher and 85 ° C. or lower. Moreover, it is preferable that a press pressure shall be 20 Mpa or more and 60 Mpa or less. The pressing time is preferably 30 seconds or more and 180 seconds or less. Crimping can be performed using any pressing device.
By pressure bonding using an elastic sheet, it is possible to ensure adhesion at a portion where the internal electrode layer is not formed.

圧着工程の後に、さらに剛体プレス工程を行うことが好ましい。
剛体プレス工程では、弾性体シートを使用せずにプレスを行い、内部電極層が形成された部分と内部電極層が形成されていない部分との段差を軽減する。
金型(剛体)と積層体の間には、PETフィルムを配置することが好ましい。また、金型の表面に離型剤を付与して、PETフィルムを配置せずに剛体プレス工程を行ってもよい。
剛体プレス工程におけるプレス条件は特に限定されるものではないが、圧着温度(金型温度)を60℃以上、85℃以下とすることが好ましい。また、プレス圧力を70MPa以上、150MPa以下とすることが好ましい。また、プレス時間を30秒以上、300秒以下とすることが好ましい。剛体プレス工程は任意のプレス装置を使用して行うことができる。
なお、圧着工程を経た積層体において内部電極層が形成された部分と内部電極層が形成されていない部分との段差が小さい場合は、剛体プレス工程を行わなくてもよい。
It is preferable to perform a rigid body pressing process after the crimping process.
In the rigid body pressing step, pressing is performed without using an elastic sheet, and a step between the portion where the internal electrode layer is formed and the portion where the internal electrode layer is not formed is reduced.
It is preferable to arrange a PET film between the mold (rigid body) and the laminate. Moreover, a rigid body press process may be performed without providing a mold release agent on the surface of the mold and disposing a PET film.
The pressing conditions in the rigid body pressing step are not particularly limited, but the pressure bonding temperature (mold temperature) is preferably 60 ° C. or higher and 85 ° C. or lower. Moreover, it is preferable that a press pressure shall be 70 Mpa or more and 150 Mpa or less. The pressing time is preferably 30 seconds or more and 300 seconds or less. The rigid body pressing step can be performed using any pressing device.
In addition, when the level | step difference of the part in which the internal electrode layer was formed in the laminated body which passed through the crimping process and the part in which the internal electrode layer is not formed is small, it is not necessary to perform a rigid body press process.

この後、積層体の焼成及び外部電極の形成を行うことにより積層セラミックコンデンサとすることができる。これらの工程については公知の手法により行うことができる。 Thereafter, a multilayer ceramic capacitor can be obtained by firing the multilayer body and forming external electrodes. These steps can be performed by a known method.

ここまで、積層セラミックコンデンサを製造する場合を例にして本発明の積層電子部品の製造方法について説明したが、本発明の積層電子部品の製造方法により製造される積層電子部品は積層セラミックコンデンサに限定されるものではない。
積層セラミックコンデンサ以外の電子部品の場合、誘電体層を構成するセラミックとして、PZT系セラミックなどの圧電体セラミック、スピネル系セラミックなどの半導体セラミック、フェライトなどの磁性体セラミックを用いることができる。
圧電体セラミックを用いた場合は圧電部品として機能し、半導体セラミックを用いた場合はサーミスタとして機能し、磁性体セラミックを用いた場合はインダクタとして機能する。
So far, the method of manufacturing the multilayer electronic component of the present invention has been described by taking the case of manufacturing a multilayer ceramic capacitor as an example, but the multilayer electronic component manufactured by the method of manufacturing the multilayer electronic component of the present invention is limited to the multilayer ceramic capacitor. Is not to be done.
In the case of an electronic component other than a multilayer ceramic capacitor, a piezoelectric ceramic such as a PZT ceramic, a semiconductor ceramic such as a spinel ceramic, or a magnetic ceramic such as ferrite can be used as the ceramic constituting the dielectric layer.
When a piezoelectric ceramic is used, it functions as a piezoelectric component, when a semiconductor ceramic is used, it functions as a thermistor, and when a magnetic ceramic is used, it functions as an inductor.

以下、本発明の電子部品をより具体的に開示した実施例を示す。なお、本発明は、これらの実施例のみに限定されるものではない。 Examples in which the electronic component of the present invention is disclosed more specifically are shown below. In addition, this invention is not limited only to these Examples.

(実施例1)
1)内部電極層が形成されたグリーンシートの作製
セラミック原料としてのBaTiOに、ポリビニルブチラール系バインダ、可塑剤及び有機溶剤としてのエタノールを加え、これらをボールミルにより湿式混合し、セラミックスラリーを作製した。次いで、このセラミックスラリーをリップ方式によりシート成形し、矩形のセラミックグリーンシートを得た。
セラミックグリーンシートの厚さは平均1.0μmであった。
次に、上記セラミックグリーンシート上に、Niを含有する導電性ペーストをスクリーン印刷し、Niを主成分とする内部電極パターンを形成した。
内部電極パターンは、図2(a)及び図2(b)に示したような、1つの側面に3つの内部電極引出部を有する積層電子部品を製造するための内部電極パターンである。
Example 1
1) Production of Green Sheet with Internal Electrode Layers To BaTiO 3 as a ceramic raw material, a polyvinyl butyral binder, a plasticizer and ethanol as an organic solvent were added, and these were wet mixed by a ball mill to produce a ceramic slurry. . Next, this ceramic slurry was formed into a sheet by a lip method to obtain a rectangular ceramic green sheet.
The average thickness of the ceramic green sheet was 1.0 μm.
Next, a conductive paste containing Ni was screen-printed on the ceramic green sheet to form an internal electrode pattern containing Ni as a main component.
The internal electrode pattern is an internal electrode pattern for manufacturing a laminated electronic component having three internal electrode lead portions on one side as shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b).

2)内部電極層厚さの測定
印刷した内部電極層厚さは、蛍光X線膜厚計により測定した。測定は、5枚のグリーンシートについて1枚あたり25点(内部電極パターン中央部の5列×5行)行った(5枚での合計125点)。
平均厚さは0.5μmであった。
2) Measurement of internal electrode layer thickness The printed internal electrode layer thickness was measured with a fluorescent X-ray film thickness meter. The measurement was performed for 25 green sheets per sheet (5 columns × 5 rows in the center of the internal electrode pattern) (total of 125 points for 5 sheets).
The average thickness was 0.5 μm.

3)積層工程
内部電極層が形成された2種類のグリーンシートを100枚ずつ交互に積層して積層体とした。積層枚数は200枚である。
さらに、積層体の上下にはセラミックグリーンシートと組成が同じであり厚さが平均50μmの外層グリーンシートを積層した。
積層体における段差量は、内部電極層厚さ0.5μm×積層枚数200枚=100μmである。
3) Lamination process Two types of green sheets on which the internal electrode layers were formed were alternately laminated to form a laminate. The number of stacked layers is 200.
Further, on the top and bottom of the laminate, outer green sheets having the same composition as the ceramic green sheets and an average thickness of 50 μm were laminated.
The level difference in the laminated body is the internal electrode layer thickness of 0.5 μm × the number of laminated layers of 200 = 100 μm.

4)圧着工程
第1の弾性体シート及び第2の弾性体シートとして、デュロメータA硬度60のシリコーンゴムを使用した。実施例1では厚さ40μmの弾性体シートを使用した。
積層体の上面に第1の弾性体シートを、下面に第2の弾性体シートを配置し、金型温度70℃、プレス圧力40MPa、プレス時間60秒で圧着を行った。
4) Pressure bonding process Silicone rubber having a durometer A hardness of 60 was used as the first elastic sheet and the second elastic sheet. In Example 1, an elastic sheet having a thickness of 40 μm was used.
The first elastic sheet was disposed on the upper surface of the laminate and the second elastic sheet was disposed on the lower surface, and pressure bonding was performed at a mold temperature of 70 ° C., a press pressure of 40 MPa, and a press time of 60 seconds.

5)剛体プレス工程
続いて、弾性体シートに代えて厚さ50μmのPETフィルムを積層体の上面及び下面に配置し、金型温度70℃、プレス圧力100MPa、プレス時間60秒で圧着(剛体プレス工程)を行った。
5) Rigid body pressing step Subsequently, a PET film having a thickness of 50 μm is disposed on the upper and lower surfaces of the laminate in place of the elastic sheet, and is pressed (rigid body pressing) at a mold temperature of 70 ° C., a pressing pressure of 100 MPa, and a pressing time of 60 seconds. Step).

6)切断及び焼成工程
圧着した積層体をダイシングにより分割してチップを得た。得られたチップをN雰囲気中にて加熱して、バインダを燃焼させた後、H、N及びHOガスを含む還元性雰囲気中において1250℃で焼成し、焼結した積層体を得た。
作製した積層体のサイズはL×W×T=1.0mm×0.5mm×0.4mmであった。
6) Cutting and firing step The pressed laminate was divided by dicing to obtain a chip. The obtained chip was heated in an N 2 atmosphere to burn the binder, and then fired and sintered at 1250 ° C. in a reducing atmosphere containing H 2 , N 2 and H 2 O gas. Got.
The size of the produced laminate was L × W × T = 1.0 mm × 0.5 mm × 0.4 mm.

(焼成後亀裂数の観察)
焼成工程を経た積層体の表面を観察して亀裂の有無を確認した。
亀裂の有無は、焼成後の積層体の積層方向と垂直な面(上面又は下面)を顕微鏡で観察することにより判定する。とくに、内部電極層が形成された部分と内部電極層が形成されていない部分の境界にあたる部位で亀裂が発生しやすい。
長さ10μm以上の亀裂を亀裂ありとカウントした。
(Observation of the number of cracks after firing)
The surface of the laminated body which passed through the baking process was observed and the presence or absence of the crack was confirmed.
The presence or absence of cracks is determined by observing a surface (upper surface or lower surface) perpendicular to the stacking direction of the stacked body after firing with a microscope. In particular, cracks are likely to occur at a portion corresponding to the boundary between the portion where the internal electrode layer is formed and the portion where the internal electrode layer is not formed.
Cracks having a length of 10 μm or more were counted as cracks.

(絶縁抵抗不良率の測定)
積層体に40V、30msの電圧を印加して、抵抗値が50MΩを下回るものを絶縁不良とした。測定数は3000個として、不良率を%で示した。
絶縁抵抗不良率の測定用のサンプルとしては、圧着工程後に剛体プレス工程を経ずに焼成工程を行ったもの(表1に「圧着工程後」と示すもの)と、圧着工程及び剛体プレス工程を経て焼成工程を行ったもの(表1に「剛体プレス後」と示すもの)の2種類を準備した。
(Measurement of insulation resistance failure rate)
A voltage of 40 V and 30 ms was applied to the laminate, and the insulation having a resistance value lower than 50 MΩ was defined as an insulation failure. The number of measurements was 3000, and the defect rate was expressed in%.
As a sample for measuring the insulation resistance defect rate, a sample subjected to a firing step after the crimping step without a rigid pressing step (shown as “after the crimping step” in Table 1), a crimping step and a rigid pressing step Two types were prepared, ones that had undergone a firing step (shown as “after rigid body pressing” in Table 1).

(段差量の測定)
圧着工程を経て焼成工程前でダイシングする前の積層体を樹脂埋めして端面研磨し、断面観察用サンプルを作製した。
そして、内部電極層が形成されていない部分で最も低い部分と、内部電極層が形成された部分で最も高い部分の高さの差を測定して段差量とした。
高さの測定は、一つのチップに対する4か所(図6にB、C、D、Eで示す位置)について行い、積層体の中から無作為に5か所のチップを抽出して行った。
段差量の測定用のサンプルとしては、圧着工程後に剛体プレス工程を経ずに焼成工程を行ったもの(表1に「圧着工程後」と示すもの)と、圧着工程及び剛体プレス工程を経て焼成工程を行ったもの(表1に「剛体プレス後」と示すもの)の2種類を準備した。
(Measurement of level difference)
The laminated body before dicing before the baking process through the pressure bonding process was resin-filled and end-face polished to prepare a sample for cross-sectional observation.
Then, the difference in height between the lowest portion where the internal electrode layer was not formed and the highest portion where the internal electrode layer was formed was measured to obtain the step amount.
The height was measured at four locations (positions indicated by B, C, D, and E in FIG. 6) for one chip, and five chips were randomly extracted from the laminate. .
As a sample for measuring the amount of the step, a sample subjected to a firing process without a rigid pressing step after the crimping step (shown as “after the crimping step” in Table 1), and a firing after the crimping step and the rigid pressing step Two types of those that had undergone the process (shown as “after rigid body pressing” in Table 1) were prepared.

(実施例2〜4)
弾性体シートの厚さをそれぞれ表1に示すように変更した他は実施例1と同様にして積層体の作製及び評価を行った。
(Examples 2 to 4)
A laminate was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the elastic sheet was changed as shown in Table 1.

(比較例1)
弾性体シートを使用せずに圧着工程を行った他は実施例1と同様にして積層体の作製及び評価を行った。
(Comparative Example 1)
A laminate was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the crimping process was performed without using an elastic sheet.

(比較例2、3)
弾性体シートの厚さをそれぞれ表1に示すように変更した他は実施例1と同様にして積層体の作製及び評価を行った。
(Comparative Examples 2 and 3)
A laminate was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the elastic sheet was changed as shown in Table 1.

表1には、各実施例及び各比較例の評価結果をまとめて示した。 Table 1 summarizes the evaluation results of each example and each comparative example.

Figure 2018113300
Figure 2018113300

表1に示す各実施例では、[(内部電極層の厚さ×内部電極層の積層枚数)/2]=50μmであるため、弾性体シートの厚さが50μm未満であれば関係式(1)及び(2)を満たしていることになる。
実施例1〜4はいずれも弾性体シートを使用しており、その厚さが関係式(1)及び(2)を満たしているため、亀裂の発生を防止することができていた。
また、絶縁抵抗不良率も低くなっており、弾性体シートの厚さが20μm以上である実施例3、4及び1では絶縁抵抗不良率が特に低くなっていた。
In each example shown in Table 1, since [(thickness of internal electrode layer × number of laminated internal electrode layers) / 2] = 50 μm, if the thickness of the elastic sheet is less than 50 μm, the relational expression (1 ) And (2) are satisfied.
In each of Examples 1 to 4, an elastic sheet was used, and the thickness satisfied the relational expressions (1) and (2), so that the occurrence of cracks could be prevented.
Moreover, the insulation resistance defect rate was also low, and the insulation resistance defect rate was particularly low in Examples 3, 4 and 1 in which the thickness of the elastic sheet was 20 μm or more.

比較例1では弾性体シートを使用していないため、絶縁抵抗不良率が高かった。
比較例2及び3では、弾性体シートを使用しているものの、その厚さが厚く関係式(1)及び(2)を満たしていないために亀裂が生じていた。
In Comparative Example 1, since the elastic sheet was not used, the insulation resistance defect rate was high.
In Comparative Examples 2 and 3, although an elastic sheet was used, cracks occurred because the thickness thereof was large and did not satisfy the relational expressions (1) and (2).

段差量についてはいずれも剛体プレス後において小さくなっており、剛体プレスによって段差量を小さくできることが分かった。 It was found that the level difference was small after the rigid press, and the level difference could be reduced by the rigid press.

(実施例5、比較例4)
内部電極パターンを、図3(a)及び図3(b)に示したような、1つの側面に2つの内部電極引出部を有する積層電子部品を製造するための内部電極パターンとして、内部電極層が形成されたグリーンシートを2種類作製した。
そして、弾性体シートの厚さを40μmとしたものを実施例5、100μmとしたものを比較例4として積層体の作製及び評価を行った。評価としては焼成後亀裂数の観察のみ行った。
(Example 5, Comparative Example 4)
The internal electrode layer is used as an internal electrode pattern for manufacturing a laminated electronic component having two internal electrode lead portions on one side as shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b). Two types of green sheets on which were formed were prepared.
A laminate was prepared and evaluated as Example 5 in which the thickness of the elastic sheet was 40 μm and Comparative Example 4 in which the thickness was 100 μm. As an evaluation, only the number of cracks after firing was observed.

(実施例6、比較例5)
内部電極パターンを、図4(a)及び図4(b)に示したような、1つの側面に1つの内部電極引出部を有する積層電子部品を製造するための内部電極パターンとして、内部電極層が形成されたグリーンシートを2種類作製した。
そして、弾性体シートの厚さを40μmとしたものを実施例6、100μmとしたものを比較例5として積層体の作製及び評価を行った。評価としては焼成後亀裂数の観察のみ行った。
(Example 6, Comparative Example 5)
The internal electrode layer is used as an internal electrode pattern for manufacturing a laminated electronic component having one internal electrode lead-out portion on one side as shown in FIGS. 4 (a) and 4 (b). Two types of green sheets on which were formed were prepared.
A laminate was prepared and evaluated as Example 6 in which the thickness of the elastic sheet was 40 μm and Comparative Example 5 in which the thickness was 100 μm. As an evaluation, only the number of cracks after firing was observed.

表2には、実施例1及び比較例3の結果を合わせて示し、側面内部引出電極部の数と亀裂数の関係を示した。
いずれも作製した積層体のサイズはL×W×T=1.0mm×0.5mm×0.4mmであった。

Figure 2018113300
Table 2 shows the results of Example 1 and Comparative Example 3 together, and shows the relationship between the number of side surface internal extraction electrode portions and the number of cracks.
The size of the produced laminate was L × W × T = 1.0 mm × 0.5 mm × 0.4 mm.
Figure 2018113300

表2に示されるように、弾性体シートの厚さが関係式(1)及び(2)を満たしている各実施例においてはいずれも亀裂が発生していなかったが、弾性体シートの厚さが関係式(1)及び(2)を満たしていない各比較例においては亀裂が発生している。亀裂の発生数は側面内部電極引出部の数が多いほど多いことから、側面内部電極引出部の数が多い場合において特に本願発明の方法が有効であることがわかる。 As shown in Table 2, no crack was generated in each of the examples in which the thickness of the elastic sheet satisfied the relational expressions (1) and (2), but the thickness of the elastic sheet In each comparative example that does not satisfy the relational expressions (1) and (2), cracks are generated. Since the number of cracks generated increases as the number of side surface internal electrode lead portions increases, it can be seen that the method of the present invention is particularly effective when the number of side surface internal electrode lead portions is large.

1 積層セラミックコンデンサ
10、100 積層体
11 第1の側面
12 第2の側面
21a、21b、22a、22b、23a、23b 外部電極
101 第1の弾性体シート
102 第2の弾性体シート
110a、110b、210a、210b、310a、310b グリーンシート
111、111a、111b、211、211a、211b、311、311a、311b 第1の長辺
112、112a、112b、212、212a、212b、312、312a、312b 第2の長辺
121a、121b、122a、122b、123a、123b、221a、221b、222a、222b、321a、322a 内部電極引出部
130、230、330 波線(亀裂が生じやすい部位)
313、313b 第1の短辺
314、314b 第2の短辺
323b、324b 端面内部電極引出部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Multilayer ceramic capacitor 10, 100 Multilayer body 11 1st side surface 12 2nd side surface 21a, 21b, 22a, 22b, 23a, 23b External electrode 101 1st elastic body sheet 102 2nd elastic body sheet 110a, 110b, 210a, 210b, 310a, 310b Green sheets 111, 111a, 111b, 211, 211a, 211b, 311, 311a, 311b First long sides 112, 112a, 112b, 212, 212a, 212b, 312, 312a, 312b Second Long sides 121a, 121b, 122a, 122b, 123a, 123b, 221a, 221b, 222a, 222b, 321a, 322a Internal electrode lead-out portions 130, 230, 330 Wavy lines (prone to cracks)
313, 313b 1st short side 314, 314b 2nd short side 323b, 324b End surface internal electrode extraction part

Claims (8)

内部電極層が形成されたグリーンシートを複数枚積層して積層体を作製する積層工程と、
前記積層体の積層方向上面に第1の弾性体シートを配置し、前記積層体の積層方向下面に第2の弾性体シートを配置して、前記積層体を積層方向に圧着する圧着工程を含む積層電子部品の製造方法であって、
下記関係式(1)及び(2)を満たすことを特徴とする、積層電子部品の製造方法。
(内部電極層の厚さ×内部電極層の積層枚数)/2>第1の弾性体シートの厚さ (1)
(内部電極層の厚さ×内部電極層の積層枚数)/2>第2の弾性体シートの厚さ (2)
A laminating step of laminating a plurality of green sheets each having an internal electrode layer to produce a laminate;
A pressure bonding step in which a first elastic sheet is disposed on a top surface in the stacking direction of the stacked body, a second elastic sheet is disposed on a bottom surface in the stacking direction of the stacked body, and the stacked body is pressure-bonded in the stacking direction. A method for manufacturing a laminated electronic component, comprising:
A method for manufacturing a laminated electronic component, characterized by satisfying the following relational expressions (1) and (2):
(Thickness of internal electrode layer x number of laminated internal electrode layers) / 2> thickness of first elastic sheet (1)
(Thickness of internal electrode layer x number of laminated internal electrode layers) / 2> thickness of second elastic sheet (2)
前記第1の弾性体シート及び前記第2の弾性体シートの厚さが、それぞれ(内部電極層の厚さ×内部電極層の積層枚数)で求められる段差量の20%の厚さ以上である請求項1に記載の積層電子部品の製造方法。 The thicknesses of the first elastic sheet and the second elastic sheet are equal to or greater than 20% of the step amount determined by (thickness of internal electrode layer × number of stacked internal electrode layers). The manufacturing method of the multilayer electronic component of Claim 1. 前記第1の弾性体シート及び前記第2の弾性体シートのデュロメータA硬度がそれぞれ40以上、80以下である請求項1又は2に記載の積層電子部品の製造方法。 3. The method for manufacturing a laminated electronic component according to claim 1, wherein the durometer A hardness of the first elastic sheet and the second elastic sheet is 40 or more and 80 or less, respectively. (内部電極層の厚さ×内部電極層の積層枚数)で求められる段差量が50μm以上、200μm以下である請求項1〜3のいずれかに記載の積層電子部品の製造方法。 The method for manufacturing a laminated electronic component according to any one of claims 1 to 3, wherein a step amount obtained by (thickness of internal electrode layer x number of laminated internal electrode layers) is 50 µm or more and 200 µm or less. 前記圧着工程の後に、さらに剛体プレス工程を行う請求項1〜4のいずれかに記載の積層電子部品の製造方法。 The manufacturing method of the multilayer electronic component according to any one of claims 1 to 4, wherein a rigid body pressing step is further performed after the crimping step. 前記積層電子部品が積層セラミックコンデンサである請求項1〜5のいずれかに記載の積層電子部品の製造方法。 The method for manufacturing a multilayer electronic component according to claim 1, wherein the multilayer electronic component is a multilayer ceramic capacitor. 前記積層電子部品が、1つの側面に2つ以上の内部電極引出部を有する積層電子部品である請求項1〜6のいずれかに記載の積層電子部品の製造方法。 The method for manufacturing a laminated electronic component according to claim 1, wherein the laminated electronic component is a laminated electronic component having two or more internal electrode lead portions on one side surface. 圧着工程における圧着温度は60℃以上、85℃以下である請求項1〜7のいずれかに記載の積層電子部品の製造方法。 The method for manufacturing a laminated electronic component according to any one of claims 1 to 7, wherein a pressure bonding temperature in the pressure bonding step is 60 ° C or higher and 85 ° C or lower.
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