JP2018109723A - 液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】画面を垂直方向から視て白表示をしても、画面を斜め方向から視た場合に画面が赤みがかる現象を対策する。【解決手段】TFTを有する画素がマトリクス状に形成された液晶表示装置であって、前記TFTは半導体層103とゲート電極105との間にゲート絶縁膜104を有し、前記ゲート電極105を覆って層間絶縁膜106が形成され、前記層間絶縁膜106を覆って無機パッシベーション膜108が形成され、前記ゲート絶縁膜104はシリコン酸化膜で形成され、前記層間絶縁膜106はシリコン窒化膜で形成され、前記無機パッシベーション膜108はシリコン酸化膜で形成され、前記層間絶縁膜の厚さは190nm乃至270nmであることを特徴とする液晶表示装置。【選択図】図2
Description
本発明は表示装置に係り、特に画面を斜めから見た場合に、画面が赤みがかる現象を対策した液晶表示装置に関する。
液晶表示装置では画素電極および薄膜トランジスタ(TFT)等を有する画素がマトリクス状に形成されたTFT基板と、TFT基板に対向して対向基板が配置され、TFT基板と対向基板の間に液晶が挟持されている。そして液晶分子による光の透過率を画素毎に制御することによって画像を形成している。液晶表示装置はフラットで軽量であることから、色々な分野で用途が広がっている。携帯電話やDSC(Digital Still Camera)等には、小型の液晶表示装置が広く使用されている。
液晶は、自らは発光しないので、液晶表示装置はバックライトを用いる。バックライトからの光が液晶表示パネルを通過するときに、光の干渉によって着色する場合がある。また、外光が液晶表示パネル内に侵入し、液晶表示パネル内で反射する場合、干渉によって着色する場合がある。このような着色を生ずると画質を劣化させる原因となる。
液晶表示パネルでは、画素毎にTFTが配置されている。特許文献1では、TFTにおけるゲート絶縁膜の膜厚を制御することによって、干渉による画面の着色を防止することが記載されている。
液晶表示装置では視野角特性が問題である。視野角特性は、画面を正面から見た場合と、斜め方向から見た場合に、輝度が変化したり、色度が変化したりする現象である。画面を表面から視た場合の白色の色温度を調整する方法は種々存在する。しかし、画面を正面から視た場合と、斜めから視た場合に白の度合いが異なる場合がある。
視野角特性は、液晶分子を水平方向の電界によって動作させるIPS(In Plane Switching)方式が優れた特性を有している。しかし、画質に対する要求は厳しくなっており、IPS方式の液晶表示装置を使用しても、正面から視た場合の白と斜めからみた場合の白の色温度の差が問題視されてきている。
特に、画面を正面から視た場合に白色であっても、斜め方向から視た場合に、赤みがかった白色にシフトする現象が問題になっている。本発明の課題は、画面に白を表示した場合に、斜め方向から視たときに、画面が赤みがかった白にシフトする現象(これをReddishという)を対策することである。
本発明は上記課題を克服するものであり、代表的な手段は次のとおりである。すなわち、第1の基板と第2の基板間に液晶層を封止した液晶表示装置であって、前記第1の基板上にシリコン酸化膜(SiO)を含む第1の絶縁膜が形成され、前記第1の絶縁膜を覆ってシリコン窒化膜(SiN)を含む第2の絶縁膜が形成され、前記第2の絶縁膜を覆ってシリコン酸化膜(SiO)を含む第3の絶縁膜が形成され、前記第2の絶縁膜の厚さは190nm乃至270nmであることを特徴とする液晶表示装置である。
以下に実施例によって本発明を詳細に説明する。
図1は本発明が適用される液晶表示装置の平面図である。図1は携帯電話等に使用される液晶表示装置の例である。図1において、TFT基板100と対向基板200がシール材40を介して接着し、TFT基板100と対向基板200の間に液晶が挟持されている。TFT基板100と対向基板200とが重なった部分に表示領域20が形成されている。表示領域20の外側が額縁領域30となっている。
TFT基板100と対向基板200が重なっていない部分は端子部150となっており、この液晶表示装置を駆動するためのドライバICが載置され、また、液晶表示装置に電源や信号を供給するためのフレキシブル配線基板が接続する。図1の表示領域20内において、走査線11が横方向に延在し、縦方向に配列しており、映像信号線12が縦方向に延在して横方向に配列している。走査線11と映像信号線12で囲まれた領域が画素となっている。
図1の背面にはバックライトが配置されている。また、液晶表示装置を携帯電話等のセットに組み込む際には、図1の液晶表示装置の表面を覆って保護板ガラス(フロントウインドウ)が配置される。以後の液晶表示装置の平面図では、表面にフロントウインドウが配置している状態の図が記載される。
図2は、表示領域における液晶表示装置の断面図である。IPS方式は種々存在するが、平面状の透明電極の液晶層側に容量絶縁膜を介して複数のスリットを有する透明電極を配置するFFS(Fringe Field Switching)と呼ばれる構成が、透過率を大きくすることが出来る等の理由から現在主流となっている。以下ではこのFFS方式の構造について説明する。
図2におけるTFTは、いわゆるトップゲートタイプのTFTであり、半導体層としては、LTPS(Low Temperature Poly−Silicone)が使用されている。一方、a−Si半導体を使用した場合は、いわゆるボトムゲート方式のTFTが多く用いられる。以後の説明では、トップゲート方式のTFTを用いた場合を例にして説明するが、ボトムゲート方式のTFTを用いた場合についても、本発明を適用することが出来る。
図2において、ガラス基板100の上にシリコン窒化膜(SiN)からなる第1下地膜101およびシリコン酸化膜(SiO)からなる第2下地膜102がCVD(Chemical Vapor Deposition)によって形成される。第1下地膜101および第2下地膜102の役割はガラス基板100からの不純物が半導体層103を汚染することを防止することである。
第2下地膜102の上には半導体層103が形成される。この半導体層103は第2下地膜102に上にCVDによってa−Si膜を形成し、これをレーザアニールすることによってpoly−Si膜に変換したものである。このpoly−Si膜をフォトリソグラフィによってパターニングする。
半導体膜103の上にはゲート絶縁膜104が形成される。このゲート絶縁膜104はTEOS(テトラエトキシシラン)を原料としたSiO膜である。この膜もCVDによって形成される。その上にゲート電極105が形成される。ゲート電極105は図1に示す走査線11が兼ねている。ゲート電極105は例えば、MoW(モリブデン/タングステン)膜によって形成される。ゲート電極105あるいは走査線11の抵抗を小さくする必要があるときはAl(アルミニウム)合金が使用される。
ゲート電極105はフォトリソグラフィによってパターニングされるが、このパターニングの際に、イオンインプランテーションによって、リンあるいはボロン等の不純物をpoly−Si層にドープしてpoly−Si層にソースSあるいはドレインDを形成する。また、ゲート電極105のパターニングの際のフォトレジストを利用して、poly−Si層のチャネル層と、ソースSあるいはドレインDとの間にLDD(Lightly Doped Drain)層を形成する。
その後、ゲート電極105を覆って層間絶縁膜106をSiNによって形成する。層間絶縁膜106はゲート配線105とコンタクト電極107を絶縁するためである。層間絶縁膜106およびゲート絶縁膜104には、半導体層103のソース部Sをコンタクト電極107と接続するためのスルーホール120が形成される。層間絶縁膜106とゲート絶縁膜104にスルーホール120を形成するためのフォトリソグラフィは同時に行われる。
層間絶縁膜106の上にコンタクト電極107が形成される。コンタクト電極107は、スルーホール130を介して画素電極112と接続する。TFTのドレインDは、図示しない部分において映像信号線12とスルーホールを介して接続している。
コンタクト電極107および映像信号線は、同層で、同時に形成される。コンタクト電極107および映像信号線は、抵抗を小さくするために、例えば、AlSi(アルミニウム/シリコーン)合金が使用される。AlSi合金はヒロックを発生したり、Alが他の層に拡散したりするので、例えば、図示しないMoWによるバリア層、およびキャップ層によってAlSiをサンドイッチする構造がとられている。
コンタクト電極107を覆ってSiOで形成された無機パッシベーション膜(絶縁膜)108を形成し、TFT全体を保護する。無機パッシベーション膜108は第1下地膜102と同様にCVDによって形成される。無機パッシベーション膜108を覆って有機パッシベーション膜109が形成される。有機パッシベーション膜109は感光性のアクリル樹脂で形成される。有機パッシベーション膜109は、アクリル樹脂の他、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂等でも形成することが出来る。有機パッシベーション膜109は平坦化膜としての役割を持っているので、厚く形成される。有機パッシベーション膜109の膜厚は1〜4μmであるが、多くの場合は2μm程度である。
画素電極110とコンタクト電極107との導通を取るために、無機パッシベーション膜108および有機パッシベーション膜109にスルーホール130が形成される。有機パッシベーション膜109は感光性の樹脂を使用している。感光性の樹脂を塗付後、この樹脂を露光すると、光が当たった部分のみが特定の現像液に溶解する。すなわち、感光性樹脂を用いることによって、フォトレジストの形成を省略することが出来る。有機パッシベーション膜109にスルーホール130を形成したあと、230℃程度で有機パッシベーション膜を焼成することによって有機パッシベーション膜109が完成する。
その後、コモン電極110となるITO(Indium Tin Oxide)をスパッタリングによって形成し、スルーホール130およびその周辺からITOを除去するようにパターニングする。コモン電極110は各画素共通に平面状に形成することが出来る。その後、容量絶縁膜111となるSiNをCVDによって全面に形成する。その後、スルーホール130内において、コンタクト電極107と画素電極112の導通をとるためのスルーホールを第2層間絶縁膜111および無機パッシベーション膜108に形成する。
その後、ITOをスパッタリングによって形成し、パターニングして画素電極112を形成する。画素電極の平面形状は櫛歯状あるいはストライプ状となっている。画素電極112の上に配向膜材料をフレキソ印刷あるいはインクジェット等によって塗布し、焼成して配向膜113を形成する。配向膜113の配向処理にはラビング法のほか偏光紫外線による光配向が用いられる。
画素電極112とコモン電極110の間に電圧が印加されると図2に示すような電気力線が発生する。この電界によって液晶分子301を回転させ、液晶層300を通過する光の量を画素毎に制御することによって画像を形成する。
図2において、液晶層300を挟んで対向基板200が配置されている。対向基板200の内側には、カラーフィルタ201が形成されている。カラーフィルタ201は、赤カラーフィルタ201R、緑カラーフィルタ201G、青カラーフィルタ201Bのカラーフィルタで構成されている。これによってカラー画像が形成される。
カラーフィルタ201間にはブラックマトリクス202が形成され、混色を防止し、画像のコントラストを向上させている。なお、ブラックマトリクス202はTFTの遮光膜としての役割も有し、TFTに光電流が流れることを防止している。
カラーフィルタ201およびブラックマトリクス202を覆ってオーバーコート膜203が形成されている。オーバーコート膜203は、カラーフィルタ201が液晶層300を汚染することを防止する。オーバーコート膜203の上には、液晶の初期配向を決めるための配向膜113が形成される。配向膜113の配向処理はTFT基板100側の配向膜113と同様、ラビング法あるいは光配向法が用いられる。
図3は本明細書でいうReddish現象を示す模式図である。本明細書では、画面を斜めから見た場合の角度を極角と称する。極角は画面を垂直方向から視た場合を0°とし、画面を視る角度が傾くにしたがって大きくなる。図3においては、画面全体が白となる表示を行う場合であるが、極角がゼロ、すなわち、画面を垂直方向から視た場合は、正しく白として見えている。
しかし、画面を斜め方向から視た場合に、角度が大きくなるにしたがって、画面が赤みがかってくる。図3では、極角が70°において、画面が赤みがかって見える現象(Reddish)が生じている。以後、Reddishを極角が70°の場合で評価することにする。
図4は、図3の現象をxy色度図内の色座標に当てはめて示した図である。図4において、Bは黒体輻射の特性を示す曲線である。曲線Bにおける数字は黒体輻射における色温度を表している。0°の点は、白色に表示した画面を垂直方向から視た場合の色度である。この場合は、xy色度表においてもほぼ白となる位置である。70°の点は、極角が70°の場合における色度である。図4において、右下に向かうほど、赤色の領域となる。つまり、画面垂直方向から視た場合の白が、極角が70°になると、色度が変化していることを示している。この色度の変化量が大きくなり、極角70°の色座標が右下方向に行くほど、赤みが強くなり、Reddishが発生することになる。
発明者らが、色度が変化する要因を検討したところ、色度を問題ない範囲に調整できる主な項目として、「層間絶縁膜の膜厚」、「RGB各画素の駆動電圧」、「カラーフィルタの透過スペクトル」であることが分かった。このうち、層間絶縁膜と駆動電圧は、TFT基板100側の調整項目であり、カラーフィルタは対向基板200側の調整項目である。また、カラーフィルタについては、DCIやsRGBなど使用する色域の規格を基に採用することが多いため、TFT基板100側の調整項目である層間絶縁膜と駆動電圧について、以下に説明する。
(1)「層間絶縁膜の膜厚」
Reddishは画面を視る方向、すなわち、方位角によって異なる。図5は方位角の定義である。図5は、フロントウインドウで覆われた液晶表示装置であり、液晶表示装置10からはフレキシブル配線基板160が下方向に延在している。表示領域20の周辺にはフロントウインドウにおける額縁35が形成されている。図5において、時計でいう3時方向が方位角ゼロである。そして、方位角は、反時計回りに計測する。本発明者らの検討の結果、Reddishは、方位角が270°および315°の場合において顕著になることが分かった。
(1)「層間絶縁膜の膜厚」
Reddishは画面を視る方向、すなわち、方位角によって異なる。図5は方位角の定義である。図5は、フロントウインドウで覆われた液晶表示装置であり、液晶表示装置10からはフレキシブル配線基板160が下方向に延在している。表示領域20の周辺にはフロントウインドウにおける額縁35が形成されている。図5において、時計でいう3時方向が方位角ゼロである。そして、方位角は、反時計回りに計測する。本発明者らの検討の結果、Reddishは、方位角が270°および315°の場合において顕著になることが分かった。
図6に示す表は、図2に示すSiNで形成された層間絶縁膜106の膜厚が異なるサンプルA1〜A4において、白色(W)表示を行った場合の、正面と極角70°における方位角315°と270°のxy色度表における座標を測定した結果である。
図7は、図6の表における方位角が正面の場合と270°の場合の測定結果をxy色度表上に示したものである。すなわち、各サンプルにおいて、正面から視た場合の色座標と、方位角270°、極角70°から視た場合の色座標とで、どのように色座標が変化するかを評価したものである。
図7において、xy色度表では、右下方向に行くほど赤みが強くなることを示す。またBは黒体輻射の場合の色座標である。図7に示されるように、サンプルA2は方位角270°、極角70°の位置において黒体輻射から大きく離れており、赤みが強く表示され、Reddishが生ずる。その他のサンプルは、Reddishが生じているとは言えない結果となった。
図8は、図6の表における方位角が正面の場合と315°の場合の測定結果をxy色度表上に示したものである。すなわち、各サンプルにおいて、正面から見た場合の色座標と、方位角315°、極角70°から視た場合に色座標とで、どのように色座標が変化するかを評価したものである。
図8において、サンプルA1およびA2は方位角315°、極角70°では、赤みが強く表示され、Reddishが顕著になる。一方、その他のサンプルは、方位角315°、極角70°では、赤みが強いとは言えない表域にあり、Reddishは生じているとは言えない結果となった。
図7および図8に示すように、各サンプルの相対的特性は方位角によって異なっている。総合的に見るとサンプルA3、A4が、最もReddishが小さい結果となった。サンプルA1,A2とサンプルA3,A4の差は、層間絶縁膜である。
液晶表示装置では種々の透明絶縁膜が使用されている。透明絶縁膜は異なった屈折率を有しているので、積層されると、透過光に対して干渉効果を生ずる。また、透明絶縁膜の実効的な膜厚は極角によって変化する。つまり、画面を視る角度によって、透明絶縁膜の膜厚が変化するので、これにより干渉条件が変化し、特定の波長が強い状態となる個所が生じる。赤の波長が強くなる条件となった場合、これがReddishの原因となる。
透明絶縁膜の中でも、図2に示すSiNで形成された層間絶縁膜106がReddishに対して大きな影響を持つ。層間絶縁膜106は屈折率の異なるゲート絶縁膜104及び無機パッシベーション膜108でサンドイッチされているので、干渉の効果を生じやすいからである。層間絶縁膜106は主としてSiNで形成され、屈折率は例えば1.85であり、ゲート絶縁膜104は主としてSiOで形成され、屈折率は例えば1.44であり、無機パッシベーション膜108は主としてSiOで形成され、屈折率は例えば1.49である。層間絶縁膜106の屈折率とゲート絶縁膜104あるいは無機パッシベーション膜108の屈折率との差は0.3以上となっている。
図9は、同じサンプルに対して層間絶縁膜106の厚さを250nmの場合と300nmの場合とに変化させ、画面を正面から視た場合と、極角70°で視た場合の色座標のシフト量を評価したものである。いずれのサンプルも画面を正面から視た場合を原点とし、極角70°から視た場合に、色座標がどのように変化するかを評価したものである。
図9において、y座標がプラス側に変化する場合には、xy色度表上では、緑色若しくは黄色側への変化となるため、Reddishは生じないが、マイナス側に変化すると、xy色度表上では、赤色若しくは紫色への変化となるため、Reddishが生じ得る。図9に示すように、層間絶縁膜106の厚さが250nmの場合はy座標がプラス側に変化し、且つ変化量も小さいため、極角70°から視ても白色の領域のままとなり、Reddishは生じないが、層間絶縁膜106が300nmの場合はy座標がマイナス側に大きく変化しており、Reddishが生ずる結果となっている。
図10乃至12は層間絶縁膜の厚さのReddishに対する影響をより詳細に評価した結果である。図10は、TFT基板におけるReddishに影響を与える可能性のある各膜の膜厚及び屈折率を示す表である。図10における各膜の構成は、図2と対応しており、各膜構成には、図2における番号が付されている。なお、図15の1stITOは図2のコモン電極110に、2ndITOは図2の画素電極112に対応する。また、液晶のプレティルト角はゼロとしている。
図11は、図10の条件で層間絶縁膜106の膜厚を変化させたとき、画面を極角70°で視た場合に、画面を正面から視た場合(すなわち極角0°)に比較して色座標がどのように変化するかを評価したものである。具体的には、層間絶縁膜106の厚さを190nm〜350nmまで10nm置きに変化させ、変化量を測定した。図11に示すように、層間絶縁膜106の厚さが0.19μm〜0.27μmであればy座標のシフト量Δyはプラス側であり、先述のようにReddishは生じない。一方、層間絶縁膜106の厚さが0.28μm以上であるとy座標がマイナス方向に変化するのでReddishを生ずる。なお、層間絶縁膜106が0.34μm以上は、y座標のシフト量Δyはプラス側になるが、層間絶縁膜106の製造条件等から実用的でない。
図12は、図11に示す表を座標上にプロットしたものである。図12に示すように、層間絶縁膜106の厚さが0.19μm〜0.27μmの範囲において、y座標のシフト量はプラス側である。なお、極角による色座標の変化は層間絶縁膜のみによって決まるわけではないが、層間絶縁膜106を0.19μm〜0.27μmとすることによってy座標のシフト量をプラス側にシフトさせることが出来るので、Reddishが起こりえない状況にすることができる。
(2)「RGB各画素の駆動電圧」
次に、RGB各色の副画素に対する駆動電圧について説明する。
通常、白表示を行う場合、画素内の副画素が赤、緑、青の3色からなる場合、ノーマリーブラックであるIPS方式の液晶表示装置の場合は、各副画素に印加する映像信号の駆動電圧を最大値で入力する。つまり、液晶表示装置の駆動電圧の最大値が例えば5Vであるとすると、各副画素に5Vを印加する。
更に、所定の色温度の白色を得るための手段の一つとして、各色の印加電圧の特性を調整することが行われる。上述のように、液晶表示装置の駆動電圧の最大値が例えば5Vであるとすると、赤、緑、青等の何れかの副画素の駆動電圧の最大値を5Vよりも若干低くする場合がある。図13は、駆動電圧の例である。
(2)「RGB各画素の駆動電圧」
次に、RGB各色の副画素に対する駆動電圧について説明する。
通常、白表示を行う場合、画素内の副画素が赤、緑、青の3色からなる場合、ノーマリーブラックであるIPS方式の液晶表示装置の場合は、各副画素に印加する映像信号の駆動電圧を最大値で入力する。つまり、液晶表示装置の駆動電圧の最大値が例えば5Vであるとすると、各副画素に5Vを印加する。
更に、所定の色温度の白色を得るための手段の一つとして、各色の印加電圧の特性を調整することが行われる。上述のように、液晶表示装置の駆動電圧の最大値が例えば5Vであるとすると、赤、緑、青等の何れかの副画素の駆動電圧の最大値を5Vよりも若干低くする場合がある。図13は、駆動電圧の例である。
図13のサンプルB1は、印加電圧の調整を行った例である。一般的に、各色の開口率が同じであると緑色が最も輝度が高くなるため、これを考慮した調整値とした例である。具体的には、印加電圧の最大値が5Vの場合、赤画素の駆動電圧は5V×1=5V、緑画素の駆動電圧は5V×0.92=4.6V、青画素の駆動電圧は5V×0.95=4.75Vである。一方、図13のサンプルB2は、このような駆動電圧の調整を行わずに、各色の副画素に最大値5Vのままとした場合である。
図14は、図13のサンプルB1,B2において、方位角270°における正面(極角0°)と極角70°での色座標の変化を評価したものである。図14において、Bは黒体輻射の軌跡である。画面を正面から視た場合は、いずれのサンプルもx=0.300、y=0.310となり、白色が表示されている。これに対して、極角70°で画面を視た場合、駆動電圧の調整を行っていない場合(サンプルB2)の方が、駆動電圧の調整を行っている場合(サンプルB1)よりも、黒体放射の軌跡Bにより近い位置にあり、Reddishは小さい。
図15は、図14と同様な評価を方位角315°において行ったものである。方位角315°においても、方位角270°の場合と同様、サンプルB2、すなわち、駆動電圧の調整を行っていない場合の方が、サンプルB1、すなわち、駆動電圧の調整を行っている場合よりも、黒体放射の軌跡Bにより近い位置にあり、Reddishは小さい。
したがって、画面を斜め方向から視た場合のReddishを抑制するためには、色毎の駆動電圧の調整に頼らずに、液晶表示装置の画素構成によって所定の色温度の白を得ることが望ましいといえる。
図16に、図6の表で示したサンプルに対し、駆動電圧の調整値を追加して各色座標を評価した例を更に示す。
サンプルA1およびA2は、層間絶縁膜106の厚さが300nm、サンプルA3およびA4は層間絶縁膜106の厚さが250nmである。各サンプルの駆動電圧調整量の欄の数字は、左から赤、緑、青の各副画素の最大印加電圧の調整量(%)である。
サンプルA1およびA2は、層間絶縁膜106の厚さが300nm、サンプルA3およびA4は層間絶縁膜106の厚さが250nmである。各サンプルの駆動電圧調整量の欄の数字は、左から赤、緑、青の各副画素の最大印加電圧の調整量(%)である。
図17は、方位角270°において、画面を正面から視た場合(極角0°)と、斜め方向(極角70°)から視た場合で、色座標がどのように変化するかを示す図である。図17は、図16の表をグラフに表示したものである。方位角270°においては、Reddishに対し、サンプルA2以外は、許容レベルである。
図18は、方位角315°において、画面を正面から視た場合(極角0°)と、斜め方向(極角70°)から視た場合で、色座標がどのように変化するかを示す図である。図18も、図16の表をグラフに表示したものである。方位角315°においては、Reddishに対し、サンプルA1とA2以外は、許容レベルである。
図17,18から分かるように、両方の方位角で許容レベルを満たすサンプルは、A3,A4である。特に、サンプルA4が、極角70°において、いずれの方位角でも最も黒体放射の軌跡Bに近い結果となった。このことから、Reddishとしては、駆動電圧の調整は行わず、層間絶縁膜106の調整によって対応することが最も好ましいことが分かる。
以上説明したように、SiNで形成された層間絶縁膜の膜厚を適正な値にすることにより、画面を正面から視た場合と斜め方向から視た場合の色度の変化を軽減することが出来る。
10…液晶表示装置、 11…走査線、 12…映像信号線、 13…画素、 20…表示領域、 30…額縁領域、 35…フロントウインドウの額縁領域、 40…シール材、100…TFT基板、 101…第1下地膜、 102…第2下地膜、 103…半導体層、 104…ゲート絶縁膜、 105…ゲート電極、 106…層間絶縁膜、 107…コンタクト電極、 108…無機パッシベーション膜、 109…有機パッシベーション膜、 110…コモン電極、 111…容量絶縁膜、 112…画素電極、 113…配向膜、 120…第1スルーホール、 130…第2スルーホール、 140…第3スルーホール、 150…端子部、 160…フレキシブル配線基板、 200…対向基板、 201…カラーフィルタ、 202…ブラックマトリクス、 203…オーバーコート膜、 250…柱状スペーサ、 300…液晶層、 301…液晶分子、 1000…マザー基板 D…ドレイン部、S…ソース部
Claims (9)
- 第1の基板と第2の基板間に液晶層を封止した液晶表示装置であって、
前記第1の基板上にシリコン酸化膜(SiO)を含む第1の絶縁膜が形成され、
前記第1の絶縁膜を覆ってシリコン窒化膜(SiN)を含む第2の絶縁膜が形成され、
前記第2の絶縁膜を覆ってシリコン酸化膜(SiO)を含む第3の絶縁膜が形成され、
前記第2の絶縁膜の厚さは190nm乃至270nmであることを特徴とする液晶表示装置。 - 前記第2の絶縁膜の厚さは210nm乃至250nmであることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記第2の絶縁膜の屈折率は前記第1の絶縁膜および前記第3の絶縁膜よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記第2の絶縁膜の屈折率は前記第1の絶縁膜及び前記第3の絶縁膜の屈折率よりも0.3以上大きいことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 前記第1の絶縁膜と前記第1の基板間に、シリコン酸化膜(SiN)を含む第4の絶縁膜が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 赤画素、緑画素、青画素とも最大駆動電圧は同一であることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
- 第1の基板と第2の基板間に液晶層が封止され、前記第1の基板と前記第2の基板の重複した領域に表示領域が形成される液晶表示装置であって、
前記第2の基板の液晶層と接する第1面の反対側となる第2面において、前記表示領域を垂直方向から視た位置を0度とし、表示領域を視る位置が垂直方向から傾くに従って大きくなる角度を極角とし、
前記第2面の前記表示領域を垂直方向から視た場合、前記表示領域の右辺をゼロ度として、反時計回りに大きくなる角度を方位角とした時、
前記表示領域に白色表示をさせた際に、極角ゼロ度/方位角ゼロ度の位置から観測される前記表示領域のxy色度図で表される色域座標に対して、極角70度/方位角270度のxy色度図で表される色域座標では、y座標がプラス側に変化することを特徴とする液晶表示装置。 - 第1の基板と第2の基板間に液晶層が封止され、前記第1の基板と前記第2の基板の重複した領域に表示領域が形成される液晶表示装置であって、
前記第2の基板の液晶層と接する第1面の反対側となる第2面において、前記表示領域を垂直方向から視た位置を0度とし、表示領域を視る位置が垂直方向から傾くに従って大きくなる角度を極角とし、
前記第2面の前記表示領域を垂直方向から視た場合、前記表示領域の右辺をゼロ度として、反時計回りに大きくなる角度を方位角とした時、
前記表示領域に白色表示をさせた際に、極角ゼロ度/方位角ゼロ度の位置から観測される前記表示領域のxy色度図で表される色域座標に対して、極角70度/方位角315度のxy色度図で表される色域座標では、y座標がプラス側に変化することを特徴とする液晶表示装置。 - 前記第1の基板上にシリコン酸化膜(SiO)を含む第1の絶縁膜が形成され、
前記第1の絶縁膜を覆ってシリコン窒化膜(SiN)を含む第2の絶縁膜が形成され、
前記第2の絶縁膜を覆ってシリコン酸化膜(SiO)を含む第3の絶縁膜が形成され、
前記第2の絶縁膜の厚さは190nm乃至270nmであることを特徴とする請求項7又は8に記載の液晶表示装置。
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