JP2018103332A - クランプ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】爪がワークに当たることなくガイドピンが速やかに後退するクランプ装置を提供する。【解決手段】ガイドピン７と、外側ピストンロッド１４と、第１の気室６４と第２の気室６５とを仕切る外側ピストン１３と、外側シリンダ３と、外側ピストン１３内の内側シリンダ７１と、第３の気室８４と第４の気室８５とを仕切る内側ピストン７２と、外側ピストンロッド１４内に挿入された内側ピストンロッド７３とを備える。一端部に爪１２を有し他端部が内側ピストンロッド７３の先端部に揺動自在に連結されたクランプアーム１１を備える。クランプアーム１１を揺動させるカム機構（長穴９５、第２のピン９６）を備える。第１の気室６４用の第１の空気通路３３と、第２の気室６５用の第２の空気通路３８と、第３の気室８４用の連通路８６とを備える。第４の気室８５に空気を供給する第３の空気通路３９は、外側シリンダ３の第１の孔４０と、外側ピストン１３の外周部の第１の凹溝５３（空気室）と、内側シリンダ７１の第２の孔５５とによって形成されている。【選択図】 図５

Description

本発明は、板状部品を貫通するガイドピンを備えたピンクランプ装置に関する。

従来、例えば自動車の車体に用いられている板状部品は、車体の組立時に他の板状部品にスポット溶接によって溶接されることが多い。スポット溶接によって溶接される２枚の板状部品は、クランプ装置によって互いに重なる状態で保持される。
従来のこの種のクランプ装置としては、例えば特許文献１に記載されているものがある。

特許文献１に開示されたクランプ装置は、板状部品からなるワークの位置決め用の穴に嵌合する中空状のガイドピンと、ワークを固定するためのクランプアームと、これらの部材を駆動する外側シリンダ装置および内側シリンダ装置とを備えている。
外側シリンダ装置は、外側シリンダと、この外側シリンダ内に移動自在に嵌合した外側ピストンと、一端が外側ピストンに接続されて他端側が外側シリンダから突出する筒状の外側ピストンロッドとを備えている。外側ピストンは、外側シリンダの内部を外側ピストンロッド側の第１の気室と、反対側の第２の気室とに仕切っている。
ガイドピンは、外側ピストンロッドの先端部に設けられており、外側ピストンが外側シリンダに対して移動することによって、ワークに接近する前方あるいはワークから離れる後方に移動する。

内側シリンダ装置は、上述した外側ピストンの内部に設けられた内側シリンダと、この内側シリンダの内部に移動自在に嵌合した内側ピストンと、上述した外側ピストンロッドの中空部内に移動自在に挿入され、一端が内側ピストンに接続されて他端側が内側シリンダから突出する内側ピストンロッドとを備えている。内側ピストンは、内側シリンダの内部を内側ピストンロッド側の第３の気室と、反対側の第４の気室とに仕切っている。
第３の気室は、内側シリンダ（外側ピストン）を軸線方向に貫通する連通路によって第１の気室に連通されている。第４の気室には、内側ピストンを前方に（内側ピストンロッドに付勢する圧縮コイルばねが設けられている。

クランプアームは、一端部にクランプ用の爪が設けられており、他端部が内側ピストンロッドの先端部に揺動自在に取付けられた状態でガイドピンの内部に収容されている。また、クランプアームは、外側ピストンロッドにカム機構を介して連結されている。このカム機構は、外側ピストンロッドに対する内側ピストンロッドの軸線方向への往復運動を揺動動作に変換してクランプアームに伝達する。クランプアームは、内側ピストンロッドが外側ピストンロッドに対して前方に移動することによって、爪がガイドピン内に収容される方向に揺動し、内側ピストンロッドが外側ピストンロッドに対して後方に移動することにより、爪がガイドピンの横に突出する方向に揺動する。

このように構成された従来のクランプ装置においては、第１の気室が大気中に開放されている状態で第２の気室に空気が供給されることによって、外側ピストンロッドが前進し、これに伴ってガイドピンが前進してワークの位置決め用の穴に嵌合する。ガイドピンがワークの位置決め用の穴に嵌合した後、クランプアームでワークをクランプするためには、第２の気室に空気が供給されている状態で第１の気室に空気を供給する。第１の気室に供給された空気は、連通路を通って第３の気室に導入され、内側ピストンを圧縮コイルばねのバネ力に抗して押す。このように内側ピストンが後退することにより、内側ピストンロッドが外側ピストンロッドに対して後退し、クランプアームが初期位置から揺動しながら後退する。この揺動によりクランプアームの爪がガイドピンの横に突出し、ワークが爪とガイドピンの基部との間に挟まれて固定される。

ワークの固定の解除は、第２の気室を大気中に開放することによって行われる。すなわち、内側ピストンが圧縮コイルばねのばね力で押されて前進し、クランプアームが初期位置に戻る。
ワークの固定が解除された後にガイドピンをワークの穴から抜き出すためには、第２の気室が大気中に開放されている状態で第１の気室に空気を供給して行う。第１の気室に空気が供給されることにより、外側ピストンと外側ピストンロッドとが後退し、これに伴ってガイドピンが後退してワークの穴から引き抜かれる。

特許第３６５３６９５号公報

特許文献１に記載されたクランプ装置では、ガイドピンが後退してワークの穴から引き抜かれるときにクランプアームの爪がワークに当たるおそれがあった。爪がワークに当たる理由は、ガイドピンの後退を早めるために空気圧を高くすることが原因であると考えられる。

ガイドピンの後退は、空気を第１の気室に供給し、外側ピストンを後退させることにより実現される。このとき、第１の気室に供給された空気は、連通路を経由して第３の気室にも流入する。第３の気室に空気が供給されることにより内側ピストンに作用する後方への推力が圧縮コイルばねのばね力より大きいと、外側シリンダに対して内側ピストンが後退してしまい、内側ピストンロッドが外側ピストンロッドに対して後退する。この結果、クランプアームが揺動して爪が突出し、上述したようにこの爪がワークに当接してしまう。

本発明はこのような問題を解消するためになされたもので、爪がワークに当たることなくガイドピンが速やかに後退するクランプ装置を提供することを目的とする。

この目的を達成するために、本発明に係るクランプ装置は、ワークの位置決め用の穴に嵌合する中空状のガイドピンと、前記ガイドピンが先端部に設けられた円筒状の外側ピストンロッドと、前記外側ピストンロッドの基端部に設けられた外側ピストンと、前記外側ピストンが移動自在に嵌合する第１のシリンダ孔を有し、前記外側ピストンによって内部が前記外側ピストンロッド側の第１の気室と反対側の第２の気室とに仕切られた外側シリンダと、前記外側ピストンの内部に設けられ、一端部が前記外側ピストンロッドの中空部に連通されるとともに他端部が閉塞された第２のシリンダ孔を有する内側シリンダと、前記内側シリンダに移動自在に嵌合し、前記内側シリンダの内部を前記外側ピストンロッド側の第３の気室と反対側の第４の気室とに仕切る内側ピストンと、前記内側ピストンの一端部に接続され、前記外側ピストンから突出して前記外側ピストンロッドの中空部内に移動自在に挿入された内側ピストンロッドと、一端部に設けられた爪が前記ガイドピンの中空部に挿入される状態で他端部が前記内側ピストンロッドの先端部に揺動自在に連結され、揺動に伴って前記爪が前記ガイドピンの横穴を通ってガイドピンの中空部に対して出入りするクランプアームと、前記外側ピストンロッドに対する前記内側ピストンロッドの軸線方向への往復運動を揺動動作に変換して前記クランプアームを前記内側ピストンロッドに対して揺動させるカム機構と、一端が前記第１の気室に連通されるとともに他端が前記外側シリンダの外面に開口する第１の空気通路と、一端が前記第２の気室に連通されるとともに他端が前記外側シリンダの外面に開口する第２の空気通路と、前記第１の気室と前記第３の気室とを連通する連通路と、一端が前記第４の気室に連通されるとともに他端が前記外側シリンダの外面に開口する第３の空気通路とを備え、前記第３の空気通路は、前記第１のシリンダ孔に開口し、前記外側シリンダの内外を連通する第１の孔と、前記外側ピストンの外周面における前記第１の孔と対向する位置に設けられ、外側ピストンの往復ストロークに相当する長さだけ外側ピストンの軸線方向に延びる空気室と、前記内側シリンダに設けられ、前記空気室内と前記第４の気室とを連通する第２の孔とによって形成されているものである。

本発明は、前記クランプ装置において、前記外側ピストンにおける前記内側ピストンロッドが貫通する部分は、前記内側ピストンロッドが嵌合する円筒体を有し、前記連通路は、前記円筒体の外周部に沿って形成されていてもよい。

本発明は、前記クランプ装置において、さらに、前記外側ピストンロッドにおける前記外側シリンダから突出した部分に前記軸線方向に延びるように形成された長穴と、前記長穴を通して一端部が前記内側ピストンロッドに固定され、他端部が前記外側ピストンロッドと平行に延びる連動部材と、前記外側シリンダに支持され、前記連動部材に設けられた被検知部を検知するセンサとを備えていてもよい。

本発明は、前記クランプ装置において、さらに、前記外側ピストンの外周部にこの外側ピストンの軸線と平行に延びる状態に形成されたガイド溝と、前記外側シリンダに設けられ、前記ガイド溝に移動自在に嵌合する突子とを有する回転規制機構を備えていてもよい。

本発明は、前記クランプ装置において、前記外側シリンダにおける前記外側ピストンロッドが貫通する部分は、前記外側ピストンロッドが摺動自在に嵌合する軸受を構成していてもよい。

本発明は、前記クランプ装置において、前記外側ピストンロッドと前記内側ピストンロッドとの間に、これらの部材に対して摺動自在な円筒からなるシール部材が設けられていてもよい。

本発明においては、第１の気室と第４の気室とに空気を供給することにより、内側ピストンおよび内側ピストンロッドが外側ピストンおよび外側ピストンロッドに対して前進している状態でこれらの部材が一体に外側シリンダに対して後退する。このため、供給される空気の圧力が高くてもクランプアームが揺動することなくガイドピンが後退する。したがって、本発明によれば、爪がワークに当たることなくガイドピンが速やかに後退するクランプ装置を提供することができる。

本発明に係るクランプ装置の平面図である。 本発明に係るクランプ装置の側面図である。 本発明に係るクランプ装置の正面図である。 本発明に係るクランプ装置の背面図である。 クランプ装置の後半部を拡大して示す断面図である。 クランプ装置の前半部を拡大して示す断面図である。図６はアンクランプ状態を示す。 クランプ装置の先端部を拡大して示す断面図である。図７はクランプ状態を示す。 図６におけるシリンダ部分のVIII−VIII線断面図である。 図５におけるシリンダ部分のIX−IX線断面図である。 図５におけるX−X線断面図である。 図６におけるXI−XI線断面図である。 図６におけるXII−XII線断面図である。 図６におけるXIII−XIII線断面図である。 図６におけるXIV−XIV線断面図である。 外側シリンダの断面図である。 外側ピストン、外側ピストンロッドおよび内側シリンダの断面図である。 ロッドカバーの断面図である。 内側ピストンと内側ピストンロッドの断面図である。 連結部材の斜視図である。 動作を説明するための断面図である。図２０（Ａ）はシフトダウンアンクランプ状態を示し、図２０（Ｂ）はシフトアップアンクランプ状態を示し、図２０（Ｃ）はシフトアップクランプ状態を示す。 第２の実施の形態を示す断面図である。図２１（Ａ）はシフトダウンアンクランプ状態を示し、図２１（Ｂ）はシフトアップアンクランプ状態を示し、図２１（Ｃ）はシフトアップクランプ状態を示す。 第３の実施の形態を示す断面図である。図２２（Ａ）はシフトダウンアンクランプ状態を示し、図２２（Ｂ）はシフトアップアンクランプ状態を示し、図２２（Ｃ）はシフトアップクランプ状態を示す。

（第１の実施の形態）
以下、本発明に係るクランプ装置の一実施の形態を図１〜図２０によって詳細に説明する。
図１に示すクランプ装置１は、図１において左側に図示されているワークとしての複数の板状部品２を互いに重ね合わせて保持するためのものである。板状部品２には、位置決め用の貫通穴２ａが穿設されている。図１には２枚の板状部品２が描かれているが、板状部品２の枚数は適宜変更可能である。以下においては、図１に示すように、板状部品２に隣接する一端側（図１においては左側）をクランプ装置１の前側とし、これとは反対側をクランプ装置１の後側として説明する。

クランプ装置１は、いわゆる二重シリンダと呼ばれる構造が採られており、図１〜図４に示すように、四角柱状を呈する外側シリンダ３を含む外側シリンダ装置４と、この外側シリンダ装置４の内部に設けられた内側シリンダ装置５とによって構成されている。外側シリンダ装置４と内側シリンダ装置５は、同一軸線上に配置されている。これらの外側シリンダ装置４と内側シリンダ装置５の軸線を図１中に符号Ｃで示す。
外側シリンダ３の前部であって、３つの側部には、図８に示すように、それぞれ取付座６が設けられている。取付座６には、それぞれ複数のボルト孔６ａが形成されている。クランプ装置１は、これらの取付座６のうちいずれか一つの取付座６にロボットアーム（図示せず）が取付けられ、このロボットアームによって支持された状態で使用される。

クランプ装置１の前端部には、図１および図２に示すように、板状部品２の貫通穴２ａに嵌合するガイドピン７が前方に向けて突出する状態に設けられている。クランプ装置１は、ガイドピン７が板状部品２と隣接する位置にロボットアームによって配置される。
ガイドピン７は、板状部品２の貫通穴２ａ嵌合する中空の円柱状に形成されており、外側シリンダ装置４によって駆動されて前進あるいは後退する。

＜ガイドピンの構成＞
ガイドピン７の前端部は丸められ、中間部には軸線方向（図１においては左右方向）とは直交する方向に延びる横穴７ａ（図６参照）形成されている。ガイドピン７の後端部は、円筒体８と一体に形成されている。この円筒体８とガイドピン７との境界部分には、板状部品２に当接する受圧部９が設けられている。
ガイドピン７の内部には、クランプ時に板状部品２を上述した受圧部９に押し付けて保持するクランプアーム１１が収容されている。クランプアーム１１の前端部には爪１２が設けられている。このクランプアーム１１は、詳細は後述するが、クランプ時に爪１２がガイドピン７の横穴７ａからガイドピン７の外に突出するように揺動し、その状態で後方に平行移動する。クランプアーム１１の駆動は、後述する内側シリンダ装置５によって行われる。

＜外側シリンダ装置の構成＞
外側シリンダ装置４は、図５および図６に示すように、クランプ装置１のハウジングを構成する外側シリンダ３と、この外側シリンダ３の内部に設けられた外側ピストン１３と、この外側ピストン１３に接続された外側ピストンロッド１４などを備えている。
外側シリンダ３の外側部であって、取付座６が設けられていない一側部には、図１および図２に示すように、アンクランプ状態検出用センサ１５と、クランプ状態検出用センサ１６と、これらのセンサに検知される前側検知部１７および後側検知部１８を有する移動部材１９とが設けられている。

移動部材１９は、外側シリンダ３の軸線方向に延びる凹溝２０に収容されており、この凹溝２０によって外側シリンダ３の軸線方向へ移動自在に支持されている。移動部材１９は、詳細は後述するが、クランプアーム１１と連動して外側シリンダ３の軸線方向に移動する。なお、以下において記載する「軸線方向」は、全て外側シリンダ３の軸線方向である。

アンクランプ状態検出用センサ１５とクランプ状態検出用センサ１６は、近接スイッチによって構成され、前側検知部１７あるいは後側検知部１８が予め定めた検知範囲の内側に入ることによりこれらを検知する。この実施の形態においては、前側検知部１７と後側検知部１８とが請求項３記載の発明でいう「被検知部」に相当する。
外側シリンダ３の上述した一側部には、外側シリンダ装置４や内側シリンダ装置５に高圧空気を供給するための第１〜第３のポート２１〜２３が形成されている。

外側シリンダ３の後部であって上述した一側部と隣接する他の一側部には、シフトアップ検出用センサ２４とシフトダウン検出用センサ２５とが設けられている。これらのシフトアップ検出用センサ２４およびシフトダウン検出用センサ２５は、磁気センサで、後述する外側ピストン１３に設けられている磁石２６（図５参照）を検知する。

＜外側シリンダの構成＞
外側シリンダ３の内部には、図１５に示すように、第１のシリンダ孔２７が形成されている。第１のシリンダ孔２７の前端部（図１５においては左側の端部）は、外側シリンダ３の前端部に形成された軸孔２８に接続されている。この軸孔２８は、後述する外側ピストンロッド１４を通すために形成されており、第１のシリンダ孔２７より小径に形成されて第１のシリンダ孔２７と同一軸線上に位置付けられている。軸孔２８は、外側ピストンロッド１４が摺動自在に嵌合する形状に形成されている。この軸孔２８を有する外側シリンダ３の前端部は、外側ピストンロッド１４を支持する軸受２９として機能する。軸孔２８には、外側ピストンロッド１４との間をシールするためにシール部材３０，３１が設けられている。

軸孔２８と第１のシリンダ孔２７との境界部分には、後述する外側ピストン１３の前進を規制するストッパーとしての端面３２が形成されている。
第１のシリンダ孔２７の前端部には、第１の空気通路３３の一端が開口している。この第１の空気通路３３の他端は、外側シリンダ３の外面に開口している。この第１の空気通路３３における外側シリンダ３の外面に開口する部分が上述した第１のポート２１を構成している。

第１のシリンダ孔２７の後端部は、外側シリンダ３に固定された第１の蓋体３４によって閉塞されている。第１の蓋体３４は、図４および図１５に示すように、円板状に形成され、第１のシリンダ孔２７に嵌合した状態でサークリップ３５によって抜け止めされている。第１の蓋体３４の外周部には、第１のシリンダ孔２７との間をシールするためにシール部材３６が設けられている。また、第１の蓋体３４には、後述する外側ピストン１３の後退を規制するゴム部材３７が設けられている。

第１のシリンダ孔２７の後端部には、第２の空気通路３８の一端が開口している。この第２の空気通路３８の他端は、外側シリンダ３の外面に開口している。この第２の空気通路３８における外側シリンダ３の外面に開口する部分が上述した第２のポート２２を構成している。
第１のシリンダ孔２７の前後方向の中間部には、第３の空気通路３９の一部を構成する第１の孔４０が開口している。第１の孔４０は、外側シリンダ３の内外を連通している。第１の孔４０における外側シリンダ３の外面に開口する部分が上述した第３のポート２３を構成している。第３の空気通路３９の構成は後述する。
第１のシリンダ孔２７における第１の孔４０と対向する部分（径方向において反対側の部分）には、ねじ孔４１が形成されている。このねじ孔４１には、後述する回り止め用プラグ４２（図５および図１０参照）が螺着される。

＜外側ピストンロッドの構成＞
外側ピストンロッド１４は、図１６に示すように、中空部４３を有する円筒状に形成されている。この実施の形態による外側ピストンロッド１４の後端部には、外側ピストン１３の円筒部４４が一体に形成されている。
外側ピストンロッド１４は、前端から後端の外側ピストン１３に向かうにしたがって外径が段階的に大きくなる形状に形成されており、外径が異なる前端部１４ａと、中間部１４ｂと、軸部１４ｃとを有している。外側ピストンロッド１４の外径が最も小さい前端部１４ａは、ガイドピン７を支持する機能を有している。この前端部１４ａは、図６に示すように、ガイドピン７と一体の円筒体８の内周部に嵌合している。この円筒体８は、外側ピストンロッド１４の前端部１４ａに複数の固定用ボルト８ａ（図３参照）によって固定されている。

また、外側ピストンロッド１４の前端部１４ａには、図１６に示すように、第１のピン孔４５と、軸線方向に長い第１の長穴４６とが形成されている。さらに、この前端部１４ａと隣り合う中間部１４ｂには、軸線方向に長い第２の長穴４７が形成されている。これらの第１のピン孔４５と、第１および第２の長穴４６，４７は、図１１〜図１４に示すように、外側ピストンロッド１４を軸線方向とは直交する方向に貫通している。

外側ピストンロッド１４の中間部１４ｂと後側で隣り合う軸部１４ｃは、外側シリンダ３の軸孔２８に摺動自在に嵌合する形状に形成されている。この軸部１４ｃが軸孔２８に嵌合することにより、外側ピストンロッド１４が外側シリンダ３の第１のシリンダ孔２７と同一軸線上に位置付けられる。
この軸部１４ｃと外側ピストン１３の円筒部４４との境界部分には、図１６に示すように、外側ピストンロッド１４の内外を連通する連通孔４８が穿設されている。この連通孔４８は、軸部１４ｃの外周面側から外側ピストン１３の内部に向かうにしたがって次第に後側に位置するように傾斜している。

＜外側ピストンの構成＞
外側ピストン１３は、図１６に示すように、外側ピストンロッド１４の軸部１４ｃに接続された円筒部４４と、この円筒部４４の後端を閉塞する第２の蓋体５１とによって構成されている。
円筒部４４は、第１のシリンダ孔２７に移動自在に嵌合する形状に形成されている。円筒部４４の外周部分であって前端部には、第１のシリンダ孔２７との間をシールするためのシール部材５２が設けられている。
円筒部４４の外周部分であってシール部材５２より後側には、第１の凹溝５３と第２の凹溝５４とが形成されている。

これらの第１および第２の凹溝５３，５４は、外側ピストン１３の軸線方向に外側ピストン１３の前端部から後端部まで延びている。これらの第１および第２の凹溝５３，５４の長さは、外側ピストン１３の往復ストロークに相当する長さである。外側ピストン１３は、その前端が外側シリンダ３の上述した端面３２（図１５参照）に当接するまで前進可能である。また、外側ピストン１３は、その後端が外側シリンダ３のゴム部材３７に当接するまで後退可能である。外側ピストン１３の往復ストロークとは、前端が端面３２に当接する位置から、後端がゴム部材３７に当接するまでの外側ピストン１３の移動距離である。

第１の凹溝５３は、図５に示すように、外側シリンダ３の第１の孔４０と対向する位置に設けられている。この実施の形態においては、この第１の凹溝５３が本発明でいう「空気室」に相当する。この第１の凹溝５３の後部は、第２の孔５５によって円筒部４４の内部空間に連通されている。第２の孔５５は、第２の蓋体５１より前側に配設され、外側ピストン１３の内外を連通している。

第２の凹溝５４は、図９に示すように、第１の凹溝５３とは外側ピストン１３の径方向において反対側に形成されている。この第２の凹溝５４には、図５および図１０に示すように、上述した回り止め用プラグ４２の先端部が係合している。この回り止め用プラグ４２が第２の凹溝５４に係合することにより、外側ピストン１３の周方向への移動が規制される。すなわち、このクランプ装置１は、第２の凹溝５４と回り止め用プラグ４２とからなる回転規制機構５６を備えている。この実施の形態においては、この第２の凹溝５４が請求項４記載の発明でいう「ガイド溝」に相当し、回り止め用プラグ４２が「突子」に相当する。

第２の蓋体５１は、図１６に示すように、外側ピストン１３の円筒部４４内に後方から嵌合する小径部５１ａと、第１のシリンダ孔２７に移動自在に嵌合する大径部５１ｂとを有する円柱状に形成されている。小径部５１ａの外周部には環状溝５７が形成されているとともに、円筒部４４との間をシールするためのシール部材５８が設けられている。円筒部４４における第２の蓋体５１の環状溝５７と対向する部分には、図９に示すように、複数のねじ孔５９が形成されている。これらのねじ孔５９には、それぞれ６角穴付き止めねじ６０がねじ込まれている。第２の蓋体５１は、これらの止めねじ６０が環状溝５７に係合することによって、円筒部４４に固定されている。

第２の蓋体５１の大径部５１ｂには、図１６に示すように、第１のシリンダ孔２７との間をシールするためのシール部材６１が設けられている。
第２の蓋体５１の後端部には、リング状の磁石２６を有する円板６２が固定用ボルト６３によって固定されている。この磁石２６は、上述したシフトアップ検出用センサ２４およびシフトダウン検出用センサ２５によって検知されるものである。

このように構成された外側ピストン１３が第１のシリンダ孔２７に嵌合することによって、図５に示すように、外側シリンダ３の内部が外側ピストンロッド１４側の第１の気室６４と反対側の第２の気室６５とに仕切られる。第１の気室６４は、図６に示すように、第１の空気通路３３によって外側シリンダ３の外に連通される。第２の気室６５は、図５に示すように、第２の空気通路３８によって外側シリンダ３の外に連通される。

＜内側シリンダ装置の構成＞
この実施の形態による外側ピストン１３の後側半部は、内側シリンダ装置５の内側シリンダ７１を構成している。内側シリンダ装置５は、図５に示すように、外側ピストン１３の内部に設けられた内側シリンダ７１と、この内側シリンダ７１の中に配置された内側ピストン７２と、この内側ピストン７２から前方に延びる内側ピストンロッド７３とを備えている。
＜内側シリンダの構成＞
内側シリンダ７１は、第２の蓋体５１によって後端が閉塞された第２のシリンダ孔７４を有している。第２のシリンダ孔７４の前端部は、図１６に示すように、外側ピストンロッド１４の中空部４３に連通されている。外側ピストンロッド１４の中空部４３は、第２のシリンダ孔７４より小径に形成されている。この中空部４３と第２のシリンダ孔７４との境界部分には、図５に示すように円筒状のロッドカバー７５が設けられている。この境界部分には、前側に位置する小径穴７６と、後側に位置する大径穴７７とが形成されている。上述した連通孔４８の後端は大径穴７７に開口している。

ロッドカバー７５の前端部は、図５に示すように、小径穴７６に嵌合し、外側ピストンロッド１４に支持されている。ロッドカバー７５の後端部は、第２のシリンダ孔７４に嵌合するフランジ７８が設けられており、このフランジ７８を介して内側シリンダ７１に支持されている。フランジ７８の後方への移動は、サークリップ７９によって規制されている。

フランジ７８には複数の貫通孔７８ａが穿設されている。これらの貫通孔７８ａは、ロッドカバー７５と大径穴７７との間に形成された環状の空間８０と第２のシリンダ孔７４の前端部内とを連通している。
ロッドカバー７５の前端部には、小径穴７６との間をシールするためのシール部材８１と、後述する内側ピストンロッド７３との間をシールするためのシール部材８２とが設けられている。ロッドカバー７５の後端部には、後述する内側ピストンロッド７３との間をシールするためのシール部材８３が設けられている。

＜内側ピストンの構成＞
内側ピストン７２は、円板状に形成されて第２のシリンダ孔７４に移動自在に嵌合されており、内側シリンダ７１の内部を外側ピストンロッド１４側の第３の気室８４と反対側の第４の気室８５とに仕切っている。第３の気室８４は、フランジ７８の貫通孔７８ａと、環状の空間８０と、外側ピストンロッド１４の連通孔４８とからなる連通路８６を介して第１の気室６４に連通されている。
この連通路８６は、ロッドカバー７５の外周部に沿って形成されることになる。この実施の形態においては、ロッドカバー７５が請求項２記載の発明でいう「円筒体」に相当する。
第４の気室８５は、上述した第２の孔５５と、第１の凹溝５３と、第１の孔４０とからなる第３の空気通路３９を介して外側シリンダ３の外に連通されている。

内側ピストン７２の外周部には、図１８に示すように、第２のシリンダ孔７４との間をシールするシール部材８７が設けられている。内側ピストン７２の前端部であって軸心部には、内側ピストンロッド７３が固定用ボルト８８によって取付けられている。

＜内側ピストンロッドの構成＞
内側ピストンロッド７３は、円柱状に形成されており、ロッドカバー７５を貫通して外側ピストンロッド１４内を前方に延びている。この内側ピストンロッド７３が内側シリンダ７１を貫通する部分は、ロッドカバー７５に設けられている３つのシール部材８１〜８３によってシールされている。

内側ピストンロッド７３の前端部は、図１２および図１４に示すように、一対の支持片９１，９１を有する二股状に形成されている。これらの支持片９１，９１には、軸線方向とは直交する方向に延びる第２のピン孔９２が穿設されている。これらの支持片９１どうしの間には、クランプアーム１１の後端部１１ａが挿入されている。クランプアーム１１の後端部にも軸線方向とは直交する方向に延びる第３のピン孔９３が穿設されている。一対の支持片９１の第２のピン孔９２と、クランプアーム１１の第３のピン孔９３には、第１のピン９４が嵌合した状態で通されている。

クランプアーム１１の後端部１１ａは、この第１のピン９４を介して一対の支持片９１に揺動自在に支持されている。第１のピン９４の両端部は、支持片９１から突出し、外側ピストンロッド１４の第１の長穴４６に嵌合している。このため、内側ピストンロッド７３の前端部は、第１のピン９４を介して外側ピストンロッド１４に前後方向へ移動自在に支持されている。

＜カム機構の構成＞
クランプアーム１１は、図６および図７に示すように、内側ピストンロッド７３の前端からガイドピン７の前端部内まで前方に突出している。クランプアーム１１の前後方向の中間部には、カムとなる長穴９５が形成されている。この長穴９５には、軸線方向とは直交する方向に延びる第２のピン９６が貫通している。第２のピン９６の両端部は、図１１および図１４に示すように、外側ピストンロッド１４の第１のピン孔４５に嵌合し、外側ピストンロッド１４に固定されている。

カムとなる長穴９５は、第２のピン９６に対するクランプアーム１１の前後方向（内側ピストンロッド７３の軸線方向）への往復運動を揺動動作に変換する。この実施の形態による長穴９５は、クランプアーム１１が第２のピン９６に対して前方へ移動することによりクランプアーム１１の爪１２がガイドピン７の中に収容され、クランプアーム１１が第２のピン９６に対して後方へ移動することによって、爪１２がガイドピン７の横穴７ａから突出するように構成されている。この実施の形態においては、カムとなる長穴９５と第２のピン９６が本発明でいう「カム機構」に相当する。

内側ピストンロッド７３における外側ピストンロッド１４の第２の長穴４７と対応する部分には、図１３および図１４に示すように、軸線方向とは直交する方向に延びる第４のピン孔９７が穿設されているとともに、円筒からなるシール部材９８と、第４のピン孔９７に嵌合する第３のピン９９とが設けられている。
シール部材９８は、外側ピストンロッド１４と内側ピストンロッド７３との間に嵌合する形状であって、これらの部材に対して摺動自在な形状に、金属材料によって形成されている。このシール部材９８には、第３のピン９９を通すための第５のピン孔９８ａが穿設されている。

第３のピン９９は、第２の長穴４７に通されてシール部材９８の第５のピン孔９８ａと内側ピストンロッド７３の第４のピン孔９７とにそれぞれ嵌合する状態で通され、内側ピストンロッド７３に固定されている。第３のピン９９の両端部は、外側ピストンロッド１４の外に突出し、連結部材１０１を介して上述した移動部材１９に接続されている。
連結部材１０１は、図１９に示すように、一対の腕部１０１ａと、これらの腕部１０１ａの一端どうしを接続する連結部１０１ｂとによって門形状に形成されている。この連結部材１０１の一対の腕部１０１ａがそれぞれ第３のピン９９に接続され、連結部１０１ｂが移動部材１９に接続されている。このため、内側ピストンロッド７３が外側ピストンロッド１４に対して前進または後退すると、移動部材１９が内側ピストンロッド７３と連動して前進または後退する。この実施の形態においては、第３のピン９９と、連結部材１０１と、移動部材１９とからなる一つの組立体が請求項３記載の発明でいう「連動部材」に相当する。

＜空気供給装置の構成＞
この実施の形態によるクランプ装置１の動作は、図２０に示すように、第１〜第３のソレノイド弁１１１〜１１３を有する空気供給装置１１４を用いて制御される。
第１〜第３のソレノイド弁１１１〜１１３は、それぞれ２位置ダブルソレノイド５ポート弁で、プラグを用いて３ポート弁として使用されている。第１のソレノイド弁１１１は外側シリンダ３の第１のポート２１に接続されている。

第２のソレノイド弁１１２は、第２のポート２２にメータインスピードコントローラ１１５を介して接続されている。
第３のソレノイド弁１１３は、外側シリンダ３の第３のポート２３に接続されている。これらの第１〜第３のソレノイド弁１１１〜１１３は、共通の圧力源（図示せず）から同じ圧力の高圧空気がそれぞれ供給される。

クランプ装置１を使用して板状部品２をクランプするためには、先ず、図２０（Ａ）に示すように、クランプ装置１を初期状態とする。この初期状態は、第１のソレノイド弁１１１と第３のソレノイド弁１１３とを空気供給状態とし、第２のソレノイド弁１１２を開放状態とすることにより実現される。すなわち、第１のソレノイド弁１１１が空気供給状態になって第２のソレノイド弁１１２が開放状態になると、第１のポート２１から第１の気室６４に空気が供給されるとともに第２の気室６５内の空気が第２のポート２２から排出される。このため、外側ピストン１３が後端位置まで後退する。このとき、外側ピストン１３の磁石２６がシフトダウン検出用センサ２５に検知されるから、外側ピストン１３が後端位置に移動したことをシフトダウン検出用センサ２５を用いて検出することができる。

また、このときに第３のソレノイド弁１１３が空気供給状態になると、空気が第３のポート２３から第１の孔４０と、第１の凹溝５３と、第２の孔５５とからなる第３の空気通路３９を通って第４の気室８５に供給される。このとき、第３の気室８４にも第１の気室６４から連通路８６を介して空気圧力が伝達されているが、第３の気室８４と第４の気室８５とでは内側ピストン７２の受圧面積に差があり、内側ピストン７２には前進方向へ推力が作用するために、内側ピストン７２が内側シリンダ７１の前端位置まで移動する。

内側ピストン７２が内側シリンダ７１に対して前進することにより、クランプアーム１１の爪１２がガイドピン７内に収容される。このとき、内側ピストン７２と一体に移動する移動部材１９の前側検知部１７がアンクランプ状態検出用センサ１５に検知されるから、内側ピストン７２が前端位置に移動したこと（爪１２が収容されたこと）をアンクランプ状態検出用センサ１５を用いて検出することができる。
このように外側ピストン１３が後端位置に移動したシフトダウン状態であって、かつクランプアーム１１の爪１２が収容されたアンクランプ状態が上述した初期状態である。
このクランプ装置１を使用して板状部品２をクランプするためには、先ず、この初期状態でロボットアームを動作させ、ガイドピン７を板状部品２と対向させる。

次に、図２０（Ｂ）に示すように、第１のソレノイド弁１１１を解放状態とするとともに、第２および第３のソレノイド弁１１２，１１３を空気供給状態とする。第１〜第３のソレノイド弁１１１〜１１３がこのように動作することにより、内側ピストン７２が前端位置に保持された状態で外側ピストン１３が前端位置（シフトアップ位置）まで前進する。このとき、第２の気室６５にはメータインスピードコントローラ１１５を通って空気が供給されるために、外側ピストン１３が急速に前進して内側ピストン７２および内側シリンダロッド７３の前進が遅れることはない。

このため、クランプアーム１１の爪１２が突出することなくガイドピン７が前進し、板状部品２の貫通穴２ａに正しく嵌合する。このとき、外側ピストン１３の磁石２６がシフトアップ検出用センサ２４に検知され、外側ピストン１３が前端位置に位置していることをシフトアップ検出用センサ２４によって検出することができる。また、アンクランプ状態検出用センサ１５が移動部材１９の後側検知部１８を検知するために、内側ピストン７２が前端位置に位置していることをアンクランプ状態検出用センサ１５を用いて検出することができる。

このように外側ピストン１３が前端位置に移動したシフトアップ状態であって、かつクランプアーム１１の爪１２が収容されたアンクランプ状態で、クランプが行われる。
クランプは、図２０（Ｃ）に示すように、第１のソレノイド弁１１１と第２のソレノイド弁１１２とを空気供給状態とし、第３のソレノイド弁１１３を開放状態とすることにより実施される。第１のソレノイド弁１１１が空気供給状態になると、空気が第１の気室６４と第３の気室８４とに供給され、第２のソレノイド弁１１２が空気供給状態になると、第２の気室６５に空気が供給される。

このとき、外側ピストン１３は、前端位置に保持される。この理由は、第１の気室６４側の受圧面積が第２の気室６５側の受圧面積より小さく、外側ピストン１３に前進方向へ推力が作用するからである。このため、このときには、第３の気室８４の圧力上昇に伴って内側ピストン７２が外側ピストン１３に対して後退する。このように内側ピストン７２が後退することにより、クランプアーム１１が揺動して爪１２がガイドピン７から突出し、さらに、爪１２が後方に平行移動して板状部品２をガイドピン７の受圧部９に押し付けて保持する。この場合は、外側ピストン１３の磁石２６がシフトアップ検出用センサ２４によって検知されるから、外側ピストン１３が前端位置に位置していることをシフトアップ検出用センサ２４によって検出することができる。また、移動部材１９の後側検知部１８がクランプ状態検出用センサ１６に検知されるから、内側ピストン７２が後退して爪１２が突出していることをクランプ状態検出用センサ１６によって検出することができる。

このように外側ピストン１３が前端位置に移動したシフトアップ状態であって、かつクランプアーム１１の爪１２が突出したクランプ状態で、板状部品２に溶接やその他の加工が施される。この作業が終了した後は、クランプ状態を解除するために、第１のソレノイド弁１１１を開放状態とするとともに、第２のソレノイド弁１１２と第３のソレノイド弁１１３とを空気供給状態とする。第１〜第３のソレノイド弁１１１〜１１３がこのように切り換えられることにより、外側ピストン１３が前端位置に保持された状態で内側ピストン７２が前端位置まで前進し、クランプアーム１１が前進しながら揺動して爪１２がガイドピン７の中に収容される。

そして、図２０（Ａ）に示すように、第１のソレノイド弁１１１と第３のソレノイド弁１１３とを空気供給状態とするとともに、第２のソレノイド弁１１２を開放状態とする。第１〜第３のソレノイド弁１１１〜１１３がこのように動作することにより、アンクランプ状態が維持されたまま外側ピストン１３が後端位置まで後退し、ガイドピン７が板状部品７の貫通穴７ａから引き抜かれてクランプ装置１が上述した初期状態になる。

このように構成されたクランプ装置１においては、第１の気室６４と第４の気室８５とに空気が供給されることにより、内側ピストン７２および内側ピストンロッド７３が外側ピストン１３および外側ピストンロッド１４に対して前進している状態でこれらの部材が一体に外側シリンダ３に対して後退する。このため、供給される空気の圧力が高くてもクランプアーム１１が揺動することなくガイドピン７が後退する。したがって、この実施の形態によれば、爪１２が突出して板状部品２（ワーク）に当たることなくガイドピン７が速やかに後退するクランプ装置を提供することができる。

この実施の形態による外側ピストン１３の軸線方向の長さは、ガイドピン７の往復ストロークに対応した長さになる。この外側ピストン１３における内側ピストンロッド７３が貫通する部分は、内側ピストンロッド７３が嵌合するロッドカバー７５（円筒体）を有している。第１の気室６４と第３の気室８４とを連通する連通路８６は、ロッドカバー７５の外周部に沿って形成されている。
この実施の形態においては、連通路８６における外側ピストン１３の軸線方向に延びる部分を、外側ピストン１３に内側ピストンロッド７３を通すために形成された大径穴７７と、ロッドカバー７５との間に形成することができる。このため、連通路８６における外側ピストン１３内で軸線方向に延びる部分を機械加工によって形成する場合と較べて、この部分を簡単に長く形成することができ、外側ピストン１３を軸線方向に長く形成してガイドピン７の往復ストロークを長く形成することができる。

この実施の形態による外側ピストンロッド１４には、軸線方向に延びる第２の長穴４７が形成されている。この実施の形態によるクランプ装置１は、この第２の長穴４７を通して一端部が内側ピストンロッド７３に固定された連動部材（第３のピン９９と、連結部材１０１と、移動部材１９とからなる一つの組立体）と、この連動部材の前側検知部１７あるいは後側検知部１８（被検知部）を検知するアンクランプ状態検出用センサ１５およびクランプ状態検出用センサ１６とを備えている。
このため、内側ピストンロッド７３の位置を外部から正確に検出することができるから、動作の信頼性が高いクランプ装置を提供することができる。

この実施の形態によるクランプ装置１は、外側ピストン１３の外周部に形成された第２の凹溝５４（ガイド溝）と、外側シリンダ３に設けられて第２の凹溝５４に移動自在に嵌合する回り止め用プラグ４２（突子）とからなる回転規制機構５６を備えている。
このため、外側ピストン１３が軸線を中心として回転することがないから、ガイドピン７から爪１２が突出する方向が一定になり、高いクランプ性能を維持することができる。

この実施の形態のクランプ装置１において、外側シリンダ３における外側ピストンロッド１４が貫通する部分は、外側ピストンロッド１４が摺動自在に嵌合する軸受２９を構成している。このため、外側ピストンロッド１４が外側シリンダ３の軸線と平行に移動するようになり、ガイドピン７の位置の精度が高くなる。

この実施の形態においては、外側ピストンロッド１４と内側ピストンロッド７３との間に、これらの部材に対して摺動自在な円筒からなるシール部材９８が設けられている。
このため、板状部品２に溶接を施す際に生じるスパッタ粉等の微細な異物が外側ピストンロッド１４と内側ピストンロッド７３との間の隙間を通ってシリンダ内に入ることを防ぐことができるから、動作の信頼性が高いクランプ装置を提供することができる。

（第２の実施の形態）
クランプ装置に空気を供給する空気供給装置は、図２１に示すように構成することができる。図２１において、図１〜図２０によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。
図２１に示す空気供給装置１１４は、外側シリンダ３の第１のポート２１と第３のポート２３とに接続された第４のソレノイド弁１２１と、第２のポート２２にメータインスピードコントローラ１１５を介して接続された第５のソレノイド弁１２２とを備えている。第４のソレノイド弁１２１は、３位置ダブルソレノイド５ポート弁によって構成されている。第５のソレノイド弁１２２は、２位置シングルソレノイド５ポート弁で、プラグを用いて３ポート弁として使用されている。

この実施の形態において、クランプ装置１を初期状態とするためには、図２１（Ａ）に示すように、第４のソレノイド弁１２１によって第１のポート２１と第３のポート２３とを空気供給状態とし、第５のソレノイド弁１２２によって第２のポート２２を開放状態とする。
また、クランプ装置１をシフトアップ状態であってかつアンクランプ状態とするためには、図２１（Ｂ）に示すように、第４のソレノイド弁１２１によって第１のポート２１を開放状態とするとともに第３のポート２３を空気供給状態とし、第５のソレノイド弁１２２によって第２のポート２２を空気供給状態とする。

さらに、クランプ装置１をシフトアップ状態であってクランプ状態とするためには、図２１（Ｃ）に示すように、第４のソレノイド弁１２１によって第１のポート２１を空気供給状態とするとともに第３のポート２３を開放状態とし、第５のソレノイド弁１２２によって第２のポート２２を空気供給状態とする。
空気供給装置１１４をこの実施の形態で示すように構成したとしても、第１の実施の形態を採る場合と同等の効果が得られる。

（第３の実施の形態）
クランプ装置に空気を供給する空気供給装置は、図２２に示すように構成することができる。図２２において、図１〜図２０によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明を適宜省略する。
図２２に示す空気供給装置１１４は、外側シリンダ３の第１のポート２１に出口１３１が接続されたシャトル弁１３２と、このシャトル弁１３２の第１の入口１３３と外側シリンダ３の第３のポート２３とに接続された第６のソレノイド弁１３４と、シャトル弁１３２の第２の入口１３５に接続されるとともに外側シリンダ３の第２のポート２２にメータインスピードコントローラ１１５を介して接続された第７のソレノイド弁１３６とを備えている。
第６のソレノイド弁１３４と第７のソレノイド弁１３６は、２位置ダブルソレノイド５ポート弁である。

この実施の形態において、クランプ装置１を初期状態とするためには、図２２（Ａ）に示すように、第６のソレノイド弁１３４によって第３のポート２３を空気供給状態とし、第７のソレノイド弁１３６によってシャトル弁１３２の第２の入口１３５を空気供給状態とするとともに外側シリンダ３の第２のポート２２を開放状態とする。
また、クランプ装置１をシフトアップ状態であってかつアンクランプ状態とするためには、図２２（Ｂ）に示すように、第６のソレノイド弁１３４によって第３のポート２３を空気供給状態とし、第７のソレノイド弁１３６によってシャトル弁１３２の第２の入口１３５を開放状態とするとともに外側シリンダ３の第２のポート２２を空気供給状態とする。
さらに、クランプ装置１をシフトアップ状態であってクランプ状態とするためには、図２２（Ｃ）に示すように、第６のソレノイド弁１３４によってシャトル弁１３２の第１の入口１３３を空気供給状態とするとともに外側シリンダ３の第３のポート２３を開放状態とし、第７のソレノイド弁１３６によって外側シリンダ３の第２のポート２２を空気供給状態とする。
空気供給装置１１４をこの実施の形態で示すように構成したとしても、第１および第２の実施の形態を採る場合と同等の効果が得られる。

１…クランプ装置、２…板状部品（ワーク）、２ａ…貫通穴（位置決め用の穴）、３…外側シリンダ、７…ガイドピン、７ａ…横穴、１１…クランプアーム、１２…爪、１３…外側ピストン、１４…外側ピストンロッド、１５…アンクランプ状態検出用センサ、１６…クランプ状態検出用センサ、１７…前側検知部（被検知部）、１８…後側検知部（被検知部）、１９…移動部材、２７…第１のシリンダ孔、２９…軸受、３３…第１の空気通路、３８…第２の空気通路、３９…第３の空気通路、４０…第１の孔、４２…回り止め用プラグ（突子）、４７…第２の長穴、５３…第１の凹溝（空気室）、５４…第２の凹溝（ガイド溝）、５５…第２の孔、５６…回転規制機構、６４…第１の気室、６５…第２の気室、７１…内側シリンダ、７２…内側ピストン、７３…内側ピストンロッド、７４…第２のシリンダ孔、７５…ロッドカバー（円筒体）、８４…第３の気室、８５…第４の気室、８６…連通路、９５…長穴、９８…シール部材、９９…第３のピン、１０１…連結部材。

Claims (6)

1. ワークの位置決め用の穴に嵌合する中空状のガイドピンと、
   前記ガイドピンが先端部に設けられた円筒状の外側ピストンロッドと、
   前記外側ピストンロッドの基端部に設けられた外側ピストンと、
   前記外側ピストンが移動自在に嵌合する第１のシリンダ孔を有し、前記外側ピストンによって内部が前記外側ピストンロッド側の第１の気室と反対側の第２の気室とに仕切られた外側シリンダと、
   前記外側ピストンの内部に設けられ、一端部が前記外側ピストンロッドの中空部に連通されるとともに他端部が閉塞された第２のシリンダ孔を有する内側シリンダと、
   前記内側シリンダに移動自在に嵌合し、前記内側シリンダの内部を前記外側ピストンロッド側の第３の気室と反対側の第４の気室とに仕切る内側ピストンと、
   前記内側ピストンの一端部に接続され、前記外側ピストンから突出して前記外側ピストンロッドの中空部内に移動自在に挿入された内側ピストンロッドと、
   一端部に設けられた爪が前記ガイドピンの中空部に挿入される状態で他端部が前記内側ピストンロッドの先端部に揺動自在に連結され、揺動に伴って前記爪が前記ガイドピンの横穴を通ってガイドピンの中空部に対して出入りするクランプアームと、
   前記外側ピストンロッドに対する前記内側ピストンロッドの軸線方向への往復運動を揺動動作に変換して前記クランプアームを前記内側ピストンロッドに対して揺動させるカム機構と、
   一端が前記第１の気室に連通されるとともに他端が前記外側シリンダの外面に開口する第１の空気通路と、
   一端が前記第２の気室に連通されるとともに他端が前記外側シリンダの外面に開口する第２の空気通路と、
   前記第１の気室と前記第３の気室とを連通する連通路と、
   一端が前記第４の気室に連通されるとともに他端が前記外側シリンダの外面に開口する第３の空気通路とを備え、
   前記第３の空気通路は、
   前記第１のシリンダ孔に開口し、前記外側シリンダの内外を連通する第１の孔と、
   前記外側ピストンの外周面における前記第１の孔と対向する位置に設けられ、外側ピストンの往復ストロークに相当する長さだけ外側ピストンの軸線方向に延びる空気室と、
   前記内側シリンダに設けられ、前記空気室内と前記第４の気室とを連通する第２の孔とによって形成されているクランプ装置。
2. 請求項１記載のクランプ装置において、
   前記外側ピストンにおける前記内側ピストンロッドが貫通する部分は、前記内側ピストンロッドが嵌合する円筒体を有し、
   前記連通路は、前記円筒体の外周部に沿って形成されていることを特徴とするクランプ装置。
3. 請求項１または請求項２記載のクランプ装置において、
   さらに、前記外側ピストンロッドにおける前記外側シリンダから突出した部分に前記軸線方向に延びるように形成された長穴と、
   前記長穴を通して一端部が前記内側ピストンロッドに固定され、他端部が前記外側ピストンロッドと平行に延びる連動部材と、
   前記外側シリンダに支持され、前記連動部材に設けられた被検知部を検知するセンサとを備えていることを特徴とするクランプ装置。
4. 請求項１ないし請求項３のうちいずれか一つに記載のクランプ装置において、
   さらに、前記外側ピストンの外周部にこの外側ピストンの軸線と平行に延びる状態に形成されたガイド溝と、
   前記外側シリンダに設けられ、前記ガイド溝に移動自在に嵌合する突子とを有する回転規制機構を備えていることを特徴とするクランプ装置。
5. 請求項１ないし請求項４のうちいずれか一つに記載のクランプ装置において、
   前記外側シリンダにおける前記外側ピストンロッドが貫通する部分は、前記外側ピストンロッドが摺動自在に嵌合する軸受を構成していることを特徴とするクランプ装置。
6. 請求項１ないし請求項５のうちいずれか一つに記載のクランプ装置において、
   前記外側ピストンロッドと前記内側ピストンロッドとの間に、これらの部材に対して摺動自在な円筒からなるシール部材が設けられていることを特徴とするクランプ装置。

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