JP2018098526A - 静電容量型トランスデューサシステム、静電容量型トランスデューサ及び、音響センサ - Google Patents
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Abstract
Description
呼ばれる音響センサを利用したものが使用される場合があった。しかし、ECMは熱に弱く、また、デジタル化への対応や小型化といった点で、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いて製造される静電容量型トランスデューサを利用したマイクロフォン(以下、MEMSマイクロフォンともいう。)の方が優れていることから、近年では、MEMSマイクロフォンが採用されつつある(例えば、特許文献1を参照)。
前記第1固定電極と前記振動電極とによって第1キャパシタが構成されるとともに、前記第2固定電極と前記振動電極とによって第2キャパシタが構成され、
前記振動電極の変形を前記第1キャパシタと前記第2キャパシタにおける静電容量の変化に変換する、静電容量型トランスデューサと、
前記第1キャパシタ及び、前記第2キャパシタへの供給電圧および/または、前記第1キャパシタと前記第2キャパシタの静電容量の変化に基づく信号を処理する制御部と、
を備えた、静電容量型トランスデューサシステムであって、
前記第1キャパシタと前記第2キャパシタの各々の静電容量の変化に基づく信号が、互いに打ち消す方向に加減されることを特徴とする静電容量型トランスデューサシステムである。
利得の少なくとも一つの値を決定することとした。
前記第2固定電極は前記半導体基板の開口に対向するように配設されるとともに空気の通過が可能な音孔を有するバックプレートに形成された固定電極膜であり、
前記振動電極は前記バックプレートと前記半導体基板との間に、前記バックプレートと前記半導体基板の各々と空隙を介して対向するように配設された振動電極膜であるようにしてもよい。
開口を有する半導体基板と、
前記半導体基板の開口に対向するように配設されるとともに空気の通過が可能な音孔を
有するバックプレートと、
前記バックプレートとの間に空隙を介して該バックプレートに対向するように配設された振動電極膜と、を有し、
前記第1固定電極及び前記第2固定電極は、前記バックプレートに形成された固定電極膜を分割することで形成され、
前記振動電極は前記振動電極膜であり、
前記第1キャパシタの静電容量の変化に基づく信号と、前記第2キャパシタの静電容量の変化に基づく信号が、前記制御部において互いに打ち消す方向に加減演算されるようにしてもよい。
く信号の極性が同じになるので、これらの信号を互いに減算させることで、ノイズをキャンセルし、静電容量型トランスデューサシステムの信号のSN比を向上させることが可能となる。また、この場合には、バックプレートに設けられた固定電極膜を分割することで第1固定電極と第2固定電極を形成するので、これらの固定電極の面積、形などをより高い自由度で決定することが可能となる。
前記半導体基板の開口に対向するように配設されるとともに空気の通過が可能な音孔を有するバックプレートと、
前記バックプレートと前記半導体基板との間に、前記バックプレートと前記半導体基板の各々と空隙を介して対向するように配設された振動電極膜と、
を備え、
前記振動電極膜の変形を該振動電極膜と前記バックプレート及び前記半導体基板の間の静電容量の変化に変換する静電容量型トランスデューサにおいて、
前記半導体基板に設けられた第1固定電極と前記振動電極膜とによって第1キャパシタが構成されるとともに前記振動電極膜の変形を該第1キャパシタの静電容量の変化に変換し、
前記バックプレートに形成された第2固定電極と前記振動電極膜によって第2キャパシタが構成されるとともに前記振動電極膜の変形を該第2キャパシタの静電容量の変化に変換することを特徴とする静電容量型トランスデューサであってもよい。
シタのノイズレベルと前記第2キャパシタのノイズレベルが同等になるように、前記第1固定電極、前記第2固定電極及び前記振動電極の、電極面積、電極位置、電極間ギャップの少なくとも一つの値が決定されるようにしてもよい。
以下、本願発明の実施形態について図を参照しながら説明する。以下に示す実施形態は、本願発明の一態様であり、本願発明の技術的範囲を限定するものではない。なお、以下においては、静電容量型トランスデューサを音響センサとして用いる場合について説明する。しかしながら、本発明に係る静電容量型トランスデューサは、振動電極膜の変位を検
出するものであれば、音響センサ以外のセンサとしても利用できる。例えば、圧力センサの他、加速度センサや慣性センサ等として使用しても構わない。また、センサ以外の素子、例えば、電気信号を変位に変換するスピーカ等として使用しても構わない。また、以下の説明におけるバックプレート、振動電極膜、バックチャンバー、半導体基板等の配置は一例であり、同等の機能を有せばこれらに限られない。例えば、バックプレートと振動電極膜の配置が逆転していても構わない。
空気のブラウン運動に基づくノイズなど、ノイズの原因がいくつか考えられ、このノイズがSN比の向上の妨げになる場合があった。これに対し、本実施例においては、振動電極膜5とバックプレート7の固定電極膜8との間の静電容量の変化と併せて、振動電極膜5と基板3との間の静電容量の変化を電気的な信号として取り出し、それらの信号を加減することでノイズをキャンセルし、得られる信号のSN比を向上させることとした。
5付近の断面図と、当該構成で得られる等価的な回路図とを示す。本実施例では図3(a)に示すように、振動電極膜5が圧力によって変形した際に、振動電極膜5とバックプレート7の固定電極膜8との間の静電容量の変化と併せて、振動電極膜5と基板3との間の静電容量の変化を電気的な信号として検出し、両方の信号を加算して静電容量型トランスデューサ1の出力信号とする。すなわち、本実施例では、図3(b)に示すように、振動電極膜5とバックプレート7の固定電極膜8とで第1キャパシタC1を構成させるとともに振動電極膜5と基板3とで第2キャパシタC2を構成させ、第1キャパシタC1及び第2キャパシタC2の静電容量の変化に基づく信号を加算する。
SNR1=S1/N1、 SNR2=S2/N2・・・・・(1)
また、上述のようにS1とS2の比率と、N1とN2の比率は異なるので、式(2)が成立する。
S2=αS1、 N2=βN1・・・・・(2)
表すことができる。
SNRtotal=(S1−S2)/(N1−N2)
=(S1−αS1)/(N1−βN1)
=(1−α)/(1−β)×SNR1・・・・・(3)
SNRtotal=(1−α)/(1−β)×SNR1
≫SNR1
>α/β×SNR1=SNR2・・・・・(4)
すなわち、音響センサシステム全体のSN比を、第1キャパシタC1のみの変化に基づく信号のSN比であるSNR1、第2キャパシタC2のみの変化に基づく信号のSN比であるSNR2よりも大幅に高くすることが可能となる。
感度∝c×s×V/g・・・・・(5)
ここで、cは振動電極膜5の硬さを表す定数、sは各キャパシタを構成する振動電極膜5の面積、Vは電極間電圧、gは電極間のギャップである。そして、第1キャパシタC1または第2キャパシタC2からの信号に係るノイズについても、式(5)が概略成立すると考えられる。
olt2を供給することとした例である。
次に、図9及び図10を用いて、振動電極膜5を共通の電極とし、バックプレート7の固定電極膜8を分割して別々の電極とすることで、第1キャパシタC1と第2キャパシタC2を構成する例について説明する。
の断面図と、当該構成で得られる等価的な回路図とを示す。図9(a)に示すように、本実施例においては、バックプレート7の固定電極膜8は、第1固定電極膜8aと第2固定電極膜8bに分割されている。そして、振動電極膜5と第1固定電極膜8aとによって第1キャパシタC1が構成されている。また、振動電極膜5と第2固定電極膜8bとによって第2キャパシタC2が構成されている。すなわち、本実施例においては、第1キャパシタC1と第2キャパシタC2の両方が、振動電極膜5とバックプレート7の固定電極膜8によって構成されている。
2・・・バックチャンバー
3・・・基板
5・・・振動電極膜
7・・・バックプレート
8・・・固定電極膜
11・・・振動部
12・・・固定部
C1・・・第1キャパシタ
C2・・・第2キャパシタ
Claims (17)
- 第1固定電極と第2固定電極の二つの固定電極と、前記第1固定電極及び前記第2固定電極との間に空隙を介して両者に対向するように配設された振動電極とを有し、
前記第1固定電極と前記振動電極とによって第1キャパシタが構成されるとともに、前記第2固定電極と前記振動電極とによって第2キャパシタが構成され、
前記振動電極の変形を前記第1キャパシタと前記第2キャパシタにおける静電容量の変化に変換する、静電容量型トランスデューサと、
前記第1キャパシタ及び、前記第2キャパシタへの供給電圧および/または、前記第1キャパシタと前記第2キャパシタの静電容量の変化に基づく信号を処理する制御部と、
を備えた、静電容量型トランスデューサシステムであって、
前記第1キャパシタと前記第2キャパシタの静電容量の変化に基づく信号が、互いに打ち消す方向に加減されることを特徴とする静電容量型トランスデューサシステム。 - 前記第1キャパシタの静電容量の変化に基づく信号のレベルと前記第2キャパシタの静電容量の変化に基づく信号のレベルが互いに異なり、前記第1キャパシタのノイズレベルと前記第2キャパシタのノイズレベルが同等になるように、前記第1固定電極、前記第2固定電極及び前記振動電極の、電極面積、電極位置、電極間ギャップ、供給電圧、利得の少なくとも一つの値が決定されたことを特徴とする請求項1に記載の静電容量型トランスデューサシステム。
- 前記第1固定電極は開口を有する半導体基板であり、
前記第2固定電極は前記半導体基板の開口に対向するように配設されるとともに空気の通過が可能な音孔を有するバックプレートに形成された固定電極膜であり、
前記振動電極は前記バックプレートと前記半導体基板との間に、前記バックプレートと前記半導体基板の各々と空隙を介して対向するように配設された振動電極膜であることを特徴とする、請求項1または2に記載の静電容量型トランスデューサシステム。 - 前記半導体基板は表面が導電性とされまたは、導電性材料により形成されたことを特徴とする請求項3に記載の静電容量型トランスデューサシステム。
- 前記半導体基板における前記振動電極膜に対向する部分の表面に固定電極膜が形成されたことを特徴とする請求項3に記載の静電容量型トランスデューサシステム。
- 前記振動電極膜には、該振動電極膜が前記半導体基板側に変形した際に該半導体基板と接触するストッパが設けられ、
該ストッパの前記半導体基板側の先端には絶縁体からなる絶縁部が設けられたことを特徴とする請求項3から5のいずれか一項に記載の静電容量型トランスデューサシステム。 - 前記第1キャパシタの静電容量の変化に基づく信号の信号線と、前記第2キャパシタの静電容量の変化に基づく信号の信号線が電気的に接続されることにより、
前記第1キャパシタと前記第2キャパシタの各々の静電容量の変化に基づく信号が、互いに打ち消す方向に加減されることを特徴とする、請求項1から6のいずれか一項に記載の静電容量型トランスデューサシステム。 - 前記第1キャパシタの静電容量の変化に基づく信号と、前記第2キャパシタの静電容量の変化に基づく信号が、前記制御部において互いに打ち消す方向に加減演算されることを特徴とする、請求項1から6のいずれか一項に記載の静電容量型トランスデューサシステム。
- 前記静電容量型トランスデューサは、
開口を有する半導体基板と、
前記半導体基板の開口に対向するように配設されるとともに空気の通過が可能な音孔を有するバックプレートと、
前記バックプレートとの間に空隙を介して該バックプレートに対向するように配設された振動電極膜と、を有し、
前記第1固定電極及び前記第2固定電極は、前記バックプレートに形成された固定電極膜を分割することで形成され、
前記振動電極は前記振動電極膜であり、
前記第1キャパシタの静電容量の変化に基づく信号と、前記第2キャパシタの静電容量の変化に基づく信号が、前記制御部において互いに打ち消す方向に加減演算されることを特徴とする、請求項1または2に記載の静電容量型トランスデューサシステム。 - 請求項1から9のいずれか一項に記載の静電容量型トランスデューサシステムを有し、音圧を検出する音響センサ。
- 開口を有する半導体基板と、
前記半導体基板の開口に対向するように配設されるとともに空気の通過が可能な音孔を有するバックプレートと、
前記バックプレートと前記半導体基板との間に、前記バックプレートと前記半導体基板の各々と空隙を介して対向するように配設された振動電極膜と、
を備え、
前記振動電極膜の変形を該振動電極膜と前記バックプレート及び前記半導体基板の間の静電容量の変化に変換する静電容量型トランスデューサにおいて、
前記半導体基板に設けられた第1固定電極と前記振動電極膜とによって第1キャパシタが構成されるとともに前記振動電極膜の変形を該第1キャパシタの静電容量の変化に変換し、
前記バックプレートに形成された第2固定電極と前記振動電極膜によって第2キャパシタが構成されるとともに前記振動電極膜の変形を該第2キャパシタの静電容量の変化に変換することを特徴とする静電容量型トランスデューサ。 - 前記第1キャパシタの静電容量の変化に基づく信号の信号線と、前記第2キャパシタの静電容量の変化に基づく信号の信号線が電気的に接続されることで、前記第1キャパシタと前記第2キャパシタの各々の静電容量の変化に基づく信号が、加算されて出力されることを特徴とする、請求項11に記載の静電容量型トランスデューサ。
- 前記第1キャパシタの静電容量の変化に基づく信号のレベルと前記第2キャパシタの静電容量の変化に基づく信号のレベルが互いに異なり、前記第1キャパシタのノイズレベルと前記第2キャパシタのノイズレベルが同等になるように、前記第1固定電極、前記第2固定電極及び前記振動電極の、電極面積、電極位置、電極間ギャップの少なくとも一つの値が決定されたことを特徴とする請求項11または12に記載の静電容量型トランスデューサ。
- 前記半導体基板は表面が導電性とされまたは、導電性材料により形成されたことを特徴とする請求項11から13のいずれか一項に記載の静電容量型トランスデューサ。
- 前記半導体基板における前記振動電極膜に対向する部分の表面に固定電極膜が形成されたことを特徴とする請求項11から13のいずれか一項に記載の静電容量型トランスデューサ。
- 前記振動電極膜には、該振動電極膜が前記半導体基板側に変形した際に該半導体基板と接触するストッパが設けられ、
該ストッパの前記半導体基板側の先端には絶縁体からなる絶縁部が設けられたことを特徴とする請求項11から15のいずれか一項に記載の静電容量型トランスデューサ。 - 請求項11から16のいずれか一項に記載の静電容量型トランスデューサを有し、音圧を検出する音響センサ。
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