JP2018098422A - 部品特性測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】測定対象の電子部品のサイズによらずその電子部品をプローブ側に対して安定して保持することが可能な部品特性測定装置を提供する。【解決手段】部品特性測定装置１０は、一対の端子部２８ｂを有する電子部品２８の一対の端子部２８ｂが接触する一対の測定用端子７２と、多通気孔部材により形成され、表面側に電子部品２８を保持可能な保持部材７４と、保持部材７４の裏面側に負圧を導くことにより、一対の端子部２８ｂを一対の測定用端子７２に接触させた状態で電子部品２８を保持部材７４の表面側に保持させる負圧装置７６と、を備える。【選択図】図３

Description

本発明は、部品特性測定装置に関する。

従来、部品装着機を用いて基板に装着する電子部品（以下、単に部品と称す。）の特性を測定する部品特性測定装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。この部品特性測定装置は、例えば抵抗の抵抗値やコンデンサの容量，コイルのインダクタンスを測定するものである。部品特性測定装置は、部品の有する端子部が電気的に接続する一対のプローブを有している。一対のプローブはそれぞれ、面状に形成されている。一対のプローブは、端子間隔が狭い微小サイズの部品の特性測定を可能としつつ絶縁確保を可能とする隙間が生じるように配置されていると共に、端子間隔が広い大型サイズの部品の特性測定を可能としつつ他部品との干渉を回避できる大きさに形成されている。

上記した部品特性測定装置においては、測定対象の部品が絶縁体からなる吸着ノズルに吸着された後、その吸着ノズルが下降されることで、その部品の端子部が一対のプローブに圧接される。部品の端子部が吸着ノズルにより一対のプローブに圧接された状態で、そのプローブを介して端子部に所定電圧が印加されることなどにより、その部品の特性が測定される。この部品特性測定装置によれば、微小サイズの部品から大型サイズの部品まで同じ位置でその特性測定を行うことができる。

特開２０１１−１５９９６４号公報

上記の部品特性測定装置では、微小サイズの部品から大型サイズの部品まで同じように、部品が吸着ノズルにより吸着されつつプローブに圧接された状態でその部品の特性が測定される。このため、部品サイズの違いに起因して部品のプローブへの圧接が適切に行われないことが起こり得、特性測定時に測定対象の部品を安定して保持することができないおそれがある。

本発明は、測定対象の電子部品のサイズによらずその電子部品をプローブ側に対して安定して保持することが可能な部品特性測定装置を提供することを目的とする。

本明細書は、一対の端子部を有する電子部品の前記一対の端子部が接触する一対の測定用端子と、多通気孔部材により形成され、表面側に前記電子部品を保持可能な保持部材と、前記保持部材の裏面側に負圧を導くことにより、前記一対の端子部を前記一対の測定用端子に接触させた状態で前記電子部品を前記保持部材の表面側に保持させる負圧装置と、を備える部品特性測定装置を開示する。

本開示によれば、負圧装置により保持部材の裏面側に導かれた負圧により、その保持部材の表面側に電子部品をその一対の端子部が一対の測定用端子に接触した状態で保持させることができる。このため、負圧による電子部品の保持部材側への保持を、測定対象となるすべてのサイズの電子部品に対応して適切に行うことができる。従って、測定対象の電子部品のサイズによらずその電子部品を保持部材側に対して安定して保持することができる。

本発明の一実施形態に係る部品特性測定装置を含む部品装着機の上面図である。 特性測定対象の電子部品の斜視図である。 本実施形態の部品特性測定装置の構成図である。 本実施形態の部品特性測定装置の要部の断面図である。 図４に示す部品特性測定装置の要部の上面図である。 本実施形態において実行される制御ルーチンの一例のフローチャートである。 第一変形形態に係る部品特性測定装置の要部の上面図である。 第一変形形態に係る別の部品特性測定装置の要部の上面図である。 図８に示す部品特性測定装置における電子部品サイズごとのその電子部品を保持する測定用端子と基準マークとの相対位置関係を表した図である。 第二変形形態に係る部品特性測定装置の要部の断面図である。 図１０に示す部品特性測定装置の要部の上面図である。 第二変形形態に係る別の部品特性測定装置の要部の上面図である。 第二変形形態に係る更に別の部品特性測定装置の要部の上面図である。 第三変形形態に係る部品特性測定装置の要部の断面図である。 図１４に示す部品特性測定装置の要部の上面図である。

（１．部品装着機の構成）
本発明の一実施形態に係る部品特性測定装置１０を含む部品装着機１２の構成について、図を参照して説明する。部品装着機１２は、電子部品を保持具を用いて基板に移載する装置であって、基板を生産する基板生産ライン上に設けられる装置である。部品装着機１２は、図１に示す如く、基板搬送部１４と、部品供給部１６と、部品移載部１８と、を備えている。

基板搬送部１４は、生産対象の回路基板などの基板２０を搬送する装置である。基板搬送部１４は、一対のガイドレール２２と、コンベアベルト２４と、クランプ装置２６と、を有している。一対のガイドレール２２は、間隔を空けて互いに平行に配置されている。ガイドレール２２は、搬送方向Ｘに向けて基板２０を案内する。コンベアベルト２４は、基板２０を載置可能なベルト部材であって、輪転可能に設けられている。基板２０は、一対のガイドレール２２により案内されつつコンベアベルト２４により搬送方向Ｘに向けて搬送される。クランプ装置２６は、搬送方向Ｘにおける所定の部品装着位置に配設されている。クランプ装置２６は、基板２０をクランプすることが可能である。基板２０は、コンベアベルト２４により所定の部品装着位置まで搬送されると、クランプ装置２６によって位置決めされる。

部品供給部１６は、基板２０に装着する電子部品（以下、単に部品と称す。）２８を所定の部品移載位置Ｌまで供給する装置である。部品供給部１６は、リール３０及びテープフィーダ３２を有している。リール３０及びテープフィーダ３２は、載置台３４に載置されている。載置台３４は、それぞれリール３０を保持する複数のリール保持部３６と、それぞれテープフィーダ３２を保持する複数のフィーダ保持部３８と、を有している。尚、載置台３４は、部品装着機１２に対して着脱可能であってよい。

リール３０は、部品２８を複数個収容したキャリアテープが巻回されている回転体である。リール３０は、リール保持部３６に回転可能に軸支されていると共に交換可能に保持されている。部品２８は、キャリアテープに所定間隔ごとに設けられた凹部に一つずつ収容されている。部品２８は、例えば、抵抗素子やコンデンサ，コイル，ダイオードなどである。リール３０は、部品２８の種類ごとに対応して設けられている。各リール３０は、部品種類に応じた数の部品２８を収容可能である。

フィーダ保持部３８は、載置台３４が部品装着機１２に装着されているときに搬送方向Ｘに並んで配置されたスロットである。テープフィーダ３２は、リール保持部３６に保持されているリール３０に巻回されているキャリアテープを送り出す装置である。テープフィーダ３２は、テープ挿入口から基板搬送部１４側に向けて延びるガイドレールと、キャリアテープのスプロケット孔に嵌入して係合する歯を有する回転可能なスプロケットと、スプロケットを、キャリアテープを所定の供給方向（具体的には、テープ挿入口側から所定の部品移載位置Ｌ側への方向）へ送る回転方向に回転駆動させる電動モータと、を有している。スプロケットが電動モータにより回転駆動されると、テープ挿入口に挿入されているキャリアテープが、リール３０から引き出されガイドレールに案内されつつ所定の供給方向へ送られる。

キャリアテープは、テープ剥離機構によりカバーテープが剥離されることで、ベーステープに収容されている部品２８を部品移載部１８により移載可能な状態となる。部品２８は、キャリアテープの所定の供給方向への送りにより、ガイドレール上の基板搬送部１４側の端部における所定の部品移載位置Ｌに位置した後、部品移載部１８により吸着されて、基板２０に向けて移載される。

部品移載部１８は、所定の部品移載位置Ｌから部品２８を、所定の部品装着位置に位置決めされる基板２０に向けて移載する装置である。部品移載部１８は、Ｙ軸スライダ５０と、Ｘ軸スライダ５２と、装着ヘッド５４と、を有している。

Ｙ軸スライダ５０は、ガイドレール５６により支持されている。ガイドレール５６は、基板搬送部１４による基板２０の搬送方向Ｘに直交する方向（以下、直交方向Ｙと称す。）に延びており、基板搬送部１４の上方に配設されている。Ｙ軸スライダ５０は、直交方向Ｙに向けて移動可能である。Ｙ軸スライダ５０は、Ｙ軸サーボモータ（図示せず）に接続されている。Ｙ軸スライダ５０は、Ｙ軸サーボモータの駆動によりガイドレール５６に沿って直交方向Ｙへ位置移動される。

Ｘ軸スライダ５２は、Ｙ軸スライダ５０に搬送方向Ｘに向けて移動可能に取り付けられている。Ｘ軸スライダ５２は、Ｙ軸スライダ５０に固定されたＸ軸サーボモータ（図示せず）に接続されている。Ｘ軸スライダ５２は、Ｘ軸サーボモータの駆動により搬送方向Ｘへ位置移動される。

Ｘ軸スライダ５２には、装着ヘッド５４が取り付けられている。装着ヘッド５４は、部品２８を吸着可能な吸着ノズル６０を保持している。吸着ノズル６０は、部品供給部１６の所定の部品移載位置Ｌに位置する部品２８を負圧などを用いてノズル先端（具体的には、ノズル下端）に吸着すると共に、その吸着した部品２８をその吸着解除により所定の部品装着位置に位置決めされた基板２０に装着する保持具である。装着ヘッド５４は、ヘッド昇降機６２に接続されている。ヘッド昇降機６２は、搬送方向Ｘ及び直交方向Ｙの双方に直交する上下方向Ｚに昇降可能である。装着ヘッド５４及び吸着ノズル６０は、ヘッド昇降機６２の昇降により上下方向Ｚに昇降される。

Ｘ軸スライダ５２には、マークカメラ６４が取り付けられている。マークカメラ６４は、所定の部品装着位置に位置決めされている基板２０の基準マークや後述の治具台の基準マークなどを上方から撮像して、位置基準情報を取得し、又は、所定の部品移載位置Ｌに到達した部品２８を上方から撮像して、部品位置情報を取得する。部品位置情報は、吸着ノズル６０への部品２８の吸着時にその吸着ノズル６０の位置制御や姿勢制御に用いられる。また、位置基準情報は、吸着ノズル６０に吸着した部品２８の基板２０への装着時やその部品２８の特性測定時にその吸着ノズル６０の位置制御や姿勢制御に用いられる。

部品移載部１８の基台には、パーツカメラ６６が取り付けられている。パーツカメラ６６は、吸着ノズル６０により吸着されている部品２８を下方から撮像して、その部品２８の姿勢情報などを取得する。この姿勢情報は、装着ヘッド５４の吸着ノズル６０に吸着した部品２８の基板２０への装着時などにその吸着ノズル６０の位置制御や姿勢制御に用いられる。

（２．部品特性測定装置の構成）
部品装着機１２は、また、図１に示す如く、部品特性測定装置１０を備えている。部品特性測定装置１０は、基板２０に装着する部品２８の電気的特性を測定する装置である。部品２８の電気的特性としては、抵抗素子の抵抗値やコンデンサの容量，コイルのインダクタンスなどがある。部品特性測定装置１０による測定対象となる部品２８は、例えば、端子間隔が比較的狭い０２０１サイズから端子間隔が比較的広い０６０３サイズまでの範囲内のものである。

部品２８は、図２に示す如く、本体部２８ａと、端子部２８ｂと、を有している。本体部２８ａは、部品２８の電気的特性を示す素子本体の部位である。端子部２８ｂは、本体部２８ａから外部へ突出する電極部位である。端子部２８ｂは、部品２８に２箇所設けられており、それら２個で一対の端子部を構成する。一対の端子部２８ｂは、本体部２８ａを挟んで両側に配置されている。尚、部品２８の２箇所の端子部２８ｂはそれぞれ、本体部２８ａから、その本体部２８ａを挟む方向に対して直交する方向へ僅かに飛び出ているのが、部品特性測定装置１０の測定用端子との接触を確保するうえで好ましい。

部品特性測定装置１０は、図３に示す如く、治具台７０と、測定用端子７２と、保持部材７４と、負圧装置７６と、を備えている。治具台７０は、部品移載部１８の基台に取り付け固定されており、測定用端子７２及び保持部材７４が載置される載置台である。治具台７０は、直方体形状に形成されており、電気的絶縁性を有する樹脂などにより構成されている。治具台７０の上面は、水平に形成されている。治具台７０の上面には、基準マークが記されている。この基準マークは、部品２８の端子部２８ｂを測定用端子７２に接続させる際における吸着ノズル６０の位置制御や姿勢制御などに用いられる。

測定用端子７２は、部品２８の端子部２８ｂが接触する金属端子である。測定用端子７２は、図４に示す如く、治具台７０の上面上に載置されている。測定用端子７２は、接着剤などにより治具台７０に保持されている。測定用端子７２は、２個設けられており、それら２個で一組の測定用端子を構成する。この一対の測定用端子７２は、少なくとも絶縁距離だけ離れて配置されている。一対の測定用端子７２には、部品２８の２箇所の端子部２８ｂに電圧を印加してその部品２８の電気的特性を測定するために、所定電圧が印加される。尚、上記の治具台７０に記される基準マークは、測定用端子７２の角部などの特徴部分であってよい。

一対の測定用端子７２は、測定対象となるすべての部品２８（すなわち、部品２８の複数のサイズ）に対応した大きさ及び形状を有している。各測定用端子７２は、何れのサイズの部品２８でもその端子部２８ｂが接触できるようにパッド状に形成された一枚板であり、例えば図５に示す如く台形状に形成されている。一対の測定用端子７２は、互いに所定の隙間７８を空けて離間している。この隙間７８の大きさＳは、サイズが最も小さい部品２８の本体部２８ａの大きさに合わせたものであり、その本体部２８ａの大きさよりも僅かに大きくなるように設定されている。

保持部材７４は、表面側に部品２８を保持する保持台である。尚、部品２８は、保持時、その端子部２８ｂが一対の測定用端子７２に接触していればよく、その本体部２８ａなどが保持部材７４の表面に接触している必要は無い。また、保持部材７４の表面の高さ位置は、測定用端子７２の表面の高さ位置と一致していてもよいし、低くてもよい。保持部材７４は、治具台７０の上面上に載置されている。保持部材７４は、接着剤などにより治具台７０に保持されている。

保持部材７４は、一対の測定用端子７２の隙間７８の大きさＳに対応した大きさ及び形状を有している。保持部材７４は、その隙間７８に嵌るように形成されている。すなわち、一対の測定用端子７２は、互いに保持部材７４を挟んだ位置に配置されている。保持部材７４は、エアが通過できるように多通気孔部材により形成されている。保持部材７４を構成する多通気孔部材は、測定対象の部品２８のうちサイズが最も小さいものが通過できない大きさを少なくとも有する通気孔が形成された部材である。この多通気孔部材は、例えば、セラミックなどの多孔質材であってもよいし、また、板状金属などに貫通する孔が多数開けられた部材であってもよい。

負圧装置７６は、保持部材７４の裏面側に負圧を導く装置である。負圧装置７６は、真空ポンプ８０と、負圧通路８２と、を有している。真空ポンプ８０は、回転駆動により負圧を発生するポンプである。負圧通路８２は、一端が真空ポンプ８０に接続されかつ他端が治具台７０の下面に接続される配管であって、真空ポンプ８０の発生した負圧を保持部材７４の裏面側に導く通路である。負圧通路８２の他端は、治具台７０の下面のうち保持部材７４が載置される位置に対向する位置に接続されている。

治具台７０には、連通孔８４が設けられている。連通孔８４は、保持部材７４が載置される位置の下方かつ負圧通路８２が接続される位置の上方に形成されている。連通孔８４は、保持部材７４の下面と負圧通路８２の他端とを連通する孔である。真空ポンプ８０の回転駆動により発生した負圧は、負圧通路８２及び治具台７０の連通孔８４を介して、保持部材７４の裏面側に導かれる。保持部材７４の裏面側に負圧が導かれると、多通気孔部材により形成されたその保持部材７４の通気孔を通してその保持部材７４の表面側にも負圧が導かれるので、その負圧による吸引力により、その保持部材７４の表面側において部品２８がその２箇所の端子部２８ｂが一対の測定用端子７２に接触された状態で保持されて固定される。

部品特性測定装置１０は、また、測定部８６を備えている。測定部８６は、一対の測定用端子７２にそれぞれ接続されている。測定部８６は、一対の測定用端子７２に所定電圧を印加すると共に、その電圧印加状態においてその一対の測定用端子７２に端子部２８ｂが接触する部品２８の電気的特性を測定するＬＣＲメータである。例えば、部品２８が抵抗素子であればその抵抗値を測定する。また、部品２８がコンデンサであればその容量を測定する。

（３．部品装着機及び部品特性測定装置の動作）
次に、部品装着機１２の動作について説明する。部品装着機１２は、制御部９０により制御される。具体的には、制御部９０には、部品装着機１２における、基板搬送部１４の駆動部、部品供給部１６の駆動部、部品移載部１８の駆動部（特に、Ｙ軸スライダ５０、Ｘ軸スライダ５２、ヘッド昇降機６２）、マークカメラ６４、パーツカメラ６６などが電気的に接続されている。制御部９０は、これらの駆動部などの動作を制御することが可能である。制御部９０による制御は、マークカメラ６４の撮像結果やパーツカメラ６６の撮像結果、部品装着機１２を用いた基板２０の生産計画、基板に装着する部品の順序を含む生産ジョブ、部品装着機１２の稼動状況などに基づいて行われる。尚、生産計画には、複数種類の基板２０の生産計画が含まれると共に、その基板２０の生産計画に合わせて使用する部品２８の種類や数を示した使用計画が含まれる。この生産計画は、逐次更新される。また、制御部９０は、上記した部品特性測定装置１０の測定部８６に電気的に接続されている。

部品装着機１２において、基板搬送部１４は、部品未装着の基板２０を所定の部品装着位置まで搬送すると共に、部品供給部１６は、基板２０に装着する部品２８を所定の部品移載位置Ｌまで供給する。そして、部品移載部１８の装着ヘッド５４は、吸着ノズル６０にて、その所定の部品移載位置Ｌにおいて部品２８を吸着し、その後、その部品２８を上記所定の部品装着位置にある基板２０に装着する。

部品２８が装着されて基板２０の生産が進むと、リール３０に巻回されているキャリアテープ内の部品２８の数が少なくなる。また、基板２０に装着する部品２８の種類が新たなバージョンのものへ変更されることがある。更に、キャリアテープに収容されている部品２８の不具合等が生じていることが発見されることがある。これらの場合、リール３０自体、そのリール３０を保持するテープフィーダ３２、そのテープフィーダ３２を保持する載置台３４が、新たなものに交換される。

上記の交換後、部品２８が基板２０に装着される前に、その部品２８の電気的特性が部品特性測定装置１０により測定される。そして、この測定結果に基づいて、その部品２８が適正な電気的特性を示しているか否か、リール３０の交換などが適切に行われたか否かが判別される。

具体的には、上記の交換後、制御部９０は、まず、交換対象に設定された部品２８を特定して、その部品２８が保持されているリール３０及びテープフィーダ３２を特定する。そして、制御部９０は、図６に示すルーチン中ステップＳ１００において、装着ヘッド５４の吸着ノズル６０を交換後の部品２８の部品移載位置Ｌの上方に移動させ、その吸着ノズル６０にその部品２８を吸着させる。その後、吸着ノズル６０に吸着した部品２８をパーツカメラ６６の上方に移動させ、そのパーツカメラ６６によりその部品２８を撮像させる。この撮像は、制御部９０に、吸着ノズル６０の軸中心に対する部品２８の端子部２８ｂの位置を検出させるためである。制御部９０は、パーツカメラ６６の撮像結果に基づいて部品２８の端子部２８ｂの位置を検出する。そしてその後、吸着ノズル６０に吸着した部品２８を部品特性測定装置１０の上方に移動させる。

制御部９０は、部品２８を部品特性測定装置１０の上方に移動させた後、マークカメラ６４により治具台７０に記された基準マークを撮像させる。尚、このマークカメラ６４による基準マークの撮像は、上記のパーツカメラ６６による部品２８の撮像と同タイミングで行われるものであってよい。基準マークと治具台７０の上面上の測定用端子７２との相対的な位置関係は、予め制御部９０に接続する記憶部９２に記憶されている。制御部９０は、ステップＳ１０２において、マークカメラ６４の撮像結果に基づいて基準マークの位置を検出したうえで、記憶部９２に記憶されている上記の相対的な位置関係に従って、治具台７０上の測定用端子７２の位置を特定する。

制御部９０は、吸着ノズル６０に対する部品２８の端子部２８ｂの位置と、治具台７０上の測定用端子７２の位置とに基づいて、その部品２８を治具台７０上において載置すべき位置を特定して、その部品２８を吸着する吸着ノズル６０及び装着ヘッド５４をその治具台７０の載置すべき位置の上方に移動させる。この移動は、例えば、吸着ノズル６０に吸着されている部品２８のサイズが何れのサイズであっても、その部品２８の中心が治具台７０上の保持部材７４の中心と一致するように行われる。

そして、制御部９０は、ステップＳ１０４において、装着ヘッド５４をヘッド昇降機６２により下降させて、吸着ノズル６０に吸着している部品２８をその治具台７０における保持部材７４の表面側に載置させる。この載置は、部品２８の中心が治具台７０上の保持部材７４の中心と一致して、その部品２８の２箇所の端子部２８ｂが治具台７０上の一対の測定用端子７２に接触するように行われる。制御部９０は、部品２８の治具台７０への載置が完了した後、吸着ノズル６０による部品２８の吸着を解除する。

制御部９０は、負圧装置７６の真空ポンプ８０に電気的に接続されている。制御部９０は、部品２８を治具台７０の上面上に載置させた後、ステップＳ１０６において、真空ポンプ８０を回転駆動させる。真空ポンプ８０が回転駆動されると、負圧通路８２及び連通孔８４に負圧が発生して、保持部材７４の裏面側に負圧が導かれる。保持部材７４は通気孔が形成された多通気孔部材により形成されているので、保持部材７４の裏面側に負圧が導かれた場合、その通気孔を通してその保持部材７４の表面側にも負圧が導かれる。この場合、治具台７０上の保持部材７４の表面側に載置された部品２８は、負圧吸引力により、その端子部２８ｂが一対の測定用端子７２に接触された状態で保持部材７４側へ吸引されることで保持固定される。

次に、制御部９０は、ステップＳ１０８において、部品２８が真空ポンプ８０による負圧吸引力により保持固定されることで部品２８の２箇所の端子部２８ｂと一対の測定用端子７２との電気的な接続が確保されている状態で、その部品２８の電気的特性を測定部８６に測定させる。測定部８６は、制御部９０からの測定指令を受けた場合、保持部材７４の表面側に保持された部品２８の電気的特性を測定する。

具体的には、測定部８６は、一対の測定用端子７２に所定電圧を印加する。一対の測定用端子７２に所定電圧が印加されると、部品２８の２箇所の端子部２８ｂ間にその所定電圧が印加される。測定部８６は、部品２８への電圧印加状態においてその部品２８の電気的特性を測定する。測定部８６は、保持部材７４の表面側に保持されている部品２８の電気的特性の測定後、その測定結果を制御部９０へ送る。

部品２８の電気的特性は、部品２８の種類ごとやサイズごとに異なる。上記の記憶部９２は、部品２８の種類ごとやサイズごとにその電気的特性を記憶している。制御部９０は、測定部８６からの部品２８の電気的特性を示す結果を受信すると、その測定した電気的特性を、記憶部９２に記憶している交換対象として設定している部品２８が示すべき電気的特性と比較する。そして、両電気的特性が異なる場合は、交換後の部品２８が誤った部品であると判定する。この場合は、ライン作業者などにその交換後の部品２８が誤っている旨を知らせる表示などが行われることで、再交換が促される。一方、両電気的特性が一致した或いは略一致した場合は、交換後の部品２８が適切な部品であると判定する。この場合は、その交換後の部品２８を用いた基板生産が実施される。

制御部９０は、保持部材７４の表面側に保持されている部品２８の電気的特性の測定後、ステップＳ１１０において、その電気的特性が測定された部品２８自体を廃棄する。この廃棄は、部品特性測定装置１０が備える廃棄ボックスへ当該部品２８を廃棄するものであってよい。また、この廃棄は、例えば、圧縮空気を送ることが可能なノズルなどで治具台７０上に正圧を送ることで当該部品２８を吹き飛ばして廃棄するものであってもよいし、また、治具台７０上をブラシなどで掃くことにより当該部品２８を飛ばして廃棄するものであってもよい。

制御部９０は、交換後の部品２８が適切な部品であると判定した場合において、電気的特性が測定された部品２８の廃棄を行った後、ステップＳ１１２において、その部品２８と同じ部品２８を用いた基板生産を開始する。この場合は、交換後の部品２８の吸着→装着が繰り返されることで基板２０が生産される。

このように、本実施形態においては、部品特性測定装置１０により部品２８の電気的特性を測定するために、その部品２８を、吸着ノズル６０による吸着保持から解除させたうえで、その端子部２８ｂが治具台７０上の一対の測定用端子７２に接触された状態で負圧装置７６による負圧吸引力により保持部材７４側に保持固定することができる。一対の測定用端子７２は、測定対象となる部品２８の複数のサイズに対応した大きさ及び形状を有しており、何れのサイズの部品２８でも２箇所の端子部２８ｂが接触可能に形成されている。保持部材７４は、一対の測定用端子７２の間にある隙間７８に嵌るように形成されており、測定対象の部品２８のうちサイズが最も小さいものが通過できない大きさを少なくとも有する通気孔が形成された多通気孔部材により形成されている。

このため、負圧吸引力による部品２８の保持部材７４側への保持固定を、測定対象となるすべてのサイズの部品２８に対応して適切に行うことができる。従って、測定対象の部品２８のサイズによらずその部品２８を保持部材７４側に対して安定して保持することができるので、部品２８の電気的特性の測定を精度よく行うことができる。

また、本実施形態においては、測定対象となる部品２８の電気的特性を測定するために、部品特性測定装置１０に一対の測定用端子７２が設けられており、その特性測定のために設けられる測定用端子７２は２個一組だけである。この一対の測定用端子７２は、測定対象となる部品２８の複数のサイズに対応してパッド状に形成されている。このため、部品２８の特性測定のための一対の測定用端子７２を、測定対象となる部品２８の複数のサイズごとに別々に設けることは不要であるので、測定用端子７２の占める領域の拡大や測定用端子７２と測定部８６とを繋ぐ配線の複雑化を招くのを回避することができ、部品特性測定装置１０の小型化及び簡素化を図ることができる。また、測定対象の部品２８のサイズに合わせて測定用端子７２を変えることは不要であるので、複数サイズの部品２８の電気的特性の測定を、測定用端子７２を移動させることなく実現することができる。

更に、本実施形態においては、一対の測定用端子７２が互いに保持部材７４を挟んだ位置に配置されており、その一対の測定用端子７２及び保持部材７４が治具台７０上に保持されている。この治具台７０には、保持部材７４の裏面側に負圧装置７６による負圧を導く負圧通路８２が接続されている。このため、この構造によれば、一対の測定用端子が保持部材７４の上面上に配置されている対比構造に比べて、部品２８の保持時に部品２８の下面と保持部材７４の上面との間の隙間を小さくすることができるので、部品２８を保持部材７４の上面側に保持する負圧吸引力を大きくすることができ、或いは、部品２８を保持部材７４の上面側に保持するうえで負圧を発生させる真空ポンプ８０の性能を下げることができる。

（３．上記実施形態の効果）
以上、説明したことから明らかなように、本実施形態の部品特性測定装置１０は、一対の端子部２８ｂを有する部品２８の一対の端子部２８ｂが接触する一対の測定用端子７２と、多通気孔部材により形成され、表面側に部品２８を保持可能な保持部材７４と、保持部材７４の裏面側に負圧を導くことにより、一対の端子部２８ｂを一対の測定用端子７２に接触させた状態で部品２８を保持部材７４の表面側に保持させる負圧装置７６と、を備える。

この構成によれば、負圧装置７６により保持部材７４の裏面側に導かれた負圧により、その保持部材７４の表面側に部品２８をその一対の端子部２８ｂが一対の測定用端子７２に接触した状態で保持させることができる。このため、負圧による部品２８の保持部材７４側への保持を、測定対象となるすべてのサイズの部品２８に対応して適切に行うことができる。従って、測定対象の部品２８のサイズによらずその部品２８を保持部材７４側に対して安定して保持することができる。

また、部品特性測定装置１０において、一対の測定用端子７２は、部品２８の複数のサイズに対応した大きさ及び形状を有する一組の測定用端子である。この構成によれば、部品２８の特性測定のための一対の測定用端子７２を、測定対象となる部品２８の複数のサイズごとに別々に設けることは不要である。このため、測定用端子７２の占める領域が拡大するのを回避することができ、測定用端子７２と測定部８６とを繋ぐ配線が複雑化するのを回避することができる。

また、部品特性測定装置１０において、一対の測定用端子７２は、互いに保持部材７４を挟んだ位置に配置されている。部品特性測定装置１０は、一対の測定用端子７２及び保持部材７４を保持すると共に、該保持部材７４の裏面側に負圧装置７６による負圧を導く負圧通路８２が接続される治具台７０を更に備える。この構成によれば、部品２８の保持時に部品２８の下面と保持部材７４の上面との間の隙間を小さくすることができるので、部品２８を保持部材７４の上面側に保持する負圧吸引力を大きくすることができ、或いは、部品２８を保持部材７４の上面側に保持するうえで負圧を発生させる真空ポンプ８０の性能を下げることができる。

（４．第一変形形態）
ところで、上記の実施形態においては、一対の測定用端子７２が、測定対象となるすべての部品２８（すなわち、部品２８の複数のサイズ）に対応した大きさ及び形状を有しており、各測定用端子７２が、何れのサイズの部品２８でもその端子部２８ｂが接触できるようにパッド状に形成されており、２個で一組の測定用端子を構成している。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、一対の測定用端子７２が、部品２８の複数のサイズごとに設けられ、その複数のサイズに対応して別々に設けられていてもよい。

尚、一対の測定用端子７２が部品２８の複数のサイズごとに設けられる場合は、図７に示す如く、サイズごとの一対の測定用端子７２がすべて、一つの保持部材７４を中心にして配置されるものとし、その一つの保持部材７４を挟んだ位置に配置されるものとしてもよい。この変形形態によれば、測定用端子７２の占める領域が広範囲に亘るのをできるだけ回避することができる。

また、図８に示す如く、サイズごとの一対の測定用端子７２がそれぞれ、個別の保持部材７４を中心にして配置されるものとし、その個別の保持部材７４を挟んだ位置に配置されるものとしてもよい。この変形形態によれば、部品２８のサイズが大きいほど、一対の測定用端子７２に挟まれる領域に配置される保持部材７４の大きさを拡大することができる。このため、部品２８の負圧吸引をその部品２８のサイズに応じた領域に亘って行うことができるので、負圧吸引による部品保持の確実性を向上させることができる。

尚、図８に示す場合、治具台７０に記される基準マークと測定用端子７２との相対的な位置関係は、各部品サイズに対応した測定用端子７２ごとに定められ、記憶部９２に記憶されている。この場合、制御部９０は、部品２８を部品特性測定装置１０の上方に移動させて、マークカメラ６４により治具台７０に記された基準マークを撮像させた後、吸着ノズル６０に吸着している部品２８のサイズに対応したその部品２８を載置すべき測定用端子７２の位置を特定して、その部品２８の移動制御を行う。例えば図９に示す如く、０２０１サイズの部品２８が吸着ノズル６０に吸着されているときは、その部品２８を載置すべき測定用端子７２の位置として、基準マークに対する座標（Ｘ１，Ｙ１）が特定され、その座標に向けて位置制御が行われる。また、０６０３サイズの部品２８が吸着ノズル６０に吸着されているときは、その部品２８を載置すべき測定用端子７２の位置として、基準マークに対する座標（Ｘ４，Ｙ４）が特定され、その座標に向けて位置制御が行われる。従って、測定対象の部品２８のサイズに合わせて、部品２８を載置すべき保持部材７４、及び、端子部２８ｂを接触させるべき測定用端子７２を選択することができる。

（５．第二の変形形態）
上記の実施形態においては、一対の測定用端子７２が互いに保持部材７４を挟んだ位置に配置され、一対の測定用端子７２及び保持部材７４が治具台７０上に互いに並んで保持されている。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、図１０に示す如く、一対の測定用端子７２が保持部材７４の表面上に配置されるものとし、その一対の測定用端子７２が載置された保持部材７４が治具台７０上に保持されるものとしてもよい。この変形形態によれば、測定用端子７２の大きさや一対の測定用端子７２間の隙間７８の大きさを変えることなく、保持部材７４の占める領域を拡大することができる。また、保持部材７４の領域拡大に合わせて治具台７０の連通孔８４の断面積を拡大することとしてもよい。このため、サイズの小さい部品２８からサイズの大きい部品２８まで保持部材７４の上面側に保持する負圧吸引力を確保することができる。

また、この変形形態においては、一対の測定用端子７２が、図１１に示す如く、測定対象となるすべての部品２８（すなわち、部品２８の複数のサイズ）に対応した大きさ及び形状を有するものであってもよいが、部品２８の複数のサイズごとに設けられ、その複数のサイズに対応して別々に設けられていてもよい。この場合は、図１２に示す如く、サイズごとの一対の測定用端子７２がすべて、一つの保持部材７４を中心にして配置されるものとし、その一つの保持部材７４を挟んだ位置に配置されるものとしてもよい。この変形形態によれば、測定用端子７２の占める領域が広範囲に亘るのをできるだけ回避することができる。また、図１３に示す如く、サイズごとの一対の測定用端子７２がそれぞれ、個別の保持部材７４を中心にして配置されるものとし、その個別の保持部材７４を挟んだ位置に配置されるものとしてもよい。

（６．第三の変形形態）
また、上記の実施形態並びに第一及び第二の変形形態においては、保持部材７４が治具台７０の上面上に載置されている。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、図１４に示す如く、治具台７０に保持部材７４を保持可能な収容穴１００を設け、その収容穴１００に保持部材７４を収容して保持することとしてもよい。この場合、保持部材７４は、収容穴１００の底面１００ａに接着剤などにより固定されて保持されればよい。

上記の構造において、治具台７０の連通孔８４は、収容穴１００の底面１００ａに開口する孔である。保持部材７４のうち連通孔８４上に配置される部位は、部品２８を吸引する負圧吸引力の発生に大きく寄与するが、保持部材７４のうち収容穴１００の底面１００ａ上に配置される部位は、その負圧吸引力の発生にあまり寄与しない。そこで、この第三の変形形態においては、図１４及び図１５に示す如く、保持部材７４の表面に部品２８が保持される領域以外の領域をマスクする被覆部材１０２を配置することとしてもよい。この被覆部材１０２は、保持部材７４の表面のうち部品２８が保持される領域を除く、特に収容穴１００の底面１００ａ上に配置される部位の全部や一部を覆うものである。この構成によれば、保持部材７４自体のサイズが大きくても、部品２８の負圧吸引に寄与しない不要部位を被覆部材１０２によりマスクすることができるので、部品２８の保持力低下を抑えることができる。

（７．その他）
また、上記の実施形態においては、保持部材７４を治具台７０に保持することとしている。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、保持部材７４を直接に部品移載部１８の基台に取り付け固定することとしてもよい。また、部品特性測定装置１０による測定対象となる部品２８として、例えば、端子間隔が比較的狭い０２０１サイズから端子間隔が比較的広い０６０３サイズまでの範囲内のものを用いることとした。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、その部品２８として、０２０１サイズよりも小さいものに適用することとしてもよいし、また、０６０３サイズよりも大きいものに適用することとしてもよい。

尚、本発明は、上述した実施形態や変形形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更を施すことが可能である。

１０：部品特性測定装置、１２：部品装着機、２０：基板、２８：電子部品、２８ａ：本体部、２８ｂ：端子部、６０：吸着ノズル、６４：マークカメラ、７０：治具台、７２：測定用端子、７４：保持部材、７６：負圧装置、８０：真空ポンプ、８２：負圧通路、８４：連通孔、８６：測定部、９０：制御部、９２：記憶部、１０２：被覆部材。

Claims (6)

1. 一対の端子部を有する電子部品の前記一対の端子部が接触する一対の測定用端子と、
   多通気孔部材により形成され、表面側に前記電子部品を保持可能な保持部材と、
   前記保持部材の裏面側に負圧を導くことにより、前記一対の端子部を前記一対の測定用端子に接触させた状態で前記電子部品を前記保持部材の表面側に保持させる負圧装置と、
   を備える、部品特性測定装置。
2. 前記一対の測定用端子は、前記電子部品の複数のサイズに対応した大きさ及び形状を有する一組の測定用端子である、請求項１に記載の部品特性測定装置。
3. 前記一対の測定用端子は、前記電子部品の複数のサイズに対応して別々に設けられている、請求項１に記載の部品特性測定装置。
4. 前記部品特性測定装置は、前記保持部材の前記表面における前記電子部品が保持される領域以外の領域をマスクする被覆部材を更に備える、請求項１乃至３の何れか一項に記載の部品特性測定装置。
5. 前記一対の測定用端子は、前記保持部材の表面上に配置されており、
   前記部品特性測定装置は、前記保持部材を保持すると共に、該保持部材の裏面側に前記負圧装置による負圧を導く負圧通路が接続される治具台を更に備える、請求項１乃至４の何れか一項に記載の部品特性測定装置。
6. 前記一対の測定用端子は、互いに前記保持部材を挟んだ位置に配置されており、
   前記部品特性測定装置は、前記一対の測定用端子及び前記保持部材を保持すると共に、該保持部材の裏面側に前記負圧装置による負圧を導く負圧通路が接続される治具台を更に備える、請求項１乃至４の何れか一項に記載の部品特性測定装置。

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