JP2018097985A

JP2018097985A - ヒーター

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Publication number: JP2018097985A
Application number: JP2016239764A
Authority: JP
Inventors: 智之長谷川; Tomoyuki Hasegawa; 建治千葉; Kenji Chiba
Original assignee: Japan Unix Co Ltd
Current assignee: Japan Unix Co Ltd
Priority date: 2016-12-09
Filing date: 2016-12-09
Publication date: 2018-06-21
Also published as: CN108235464A

Abstract

【課題】ボビンに対するヒーター線の取り付けを簡単に行うことができるヒーターを提供する。【解決手段】電気抵抗発熱式の電熱線を発熱体として用いたヒーターであって、このヒーターが、電気絶縁性を有する柱状の外形を成すボビン１１と、通電により発熱するヒーター線２０とを有し、該ヒーター線２０は、互いに並行する２本の線条からなっていて、該２本の線条が、前記ボビン１１の外周に互いの位相をずらして螺旋状に巻かれると共に、そのヒーター線２０における螺旋の巻始め端で相互に連ならせる。【選択図】図２

Description

本発明は、電気抵抗発熱式の電熱線を発熱体として用いたヒーターに関するものである。

例えば、半導体チップ等の電子部品のはんだ付けを行う場合、ヒーターが取り付けられたはんだ鏝が使用されている。このヒーターは、前記はんだ鏝の先端部分に内蔵され、該ヒーターを発熱させることにより、はんだ鏝の鏝先部が加熱されてはんだ付けが行われるように成っている。この種のヒーターは、一般に、特許文献１に開示されているように構成されている。

前記特許文献１に開示されたはんだ鏝用ヒーターは、該文献１の図１及び図２に示すように、電気絶縁性の円柱形状のボビン２と、ボビン２に取り付けられた電気抵抗発熱式の電熱線（ヒーター線）８とを有している。
前記ヒーター線８は、ボビン２の外周面に螺旋巻きされていると共に、該ヒーター線８の巻き始端が、ボビン２の先端側（文献１の図１及び図２の左側）の導孔１０を通じて、該ボビン２の基端側（文献１の図１及び図２の右側）の端面に開口する一方の発熱体用挿通孔９から導出され、また、ヒーター線８の巻き終端が、ボビン２の基端側の導孔１０を通じて、該ボビン２の基端面に開口する他方の発熱体用挿通孔９から導出されている。このようにして、前記ヒーター線８が、ボビン２に取り付けられ、不図示の電源に接続されるように成っている。

ところが、前記従来のヒータ−においては、前記ヒーター線８が、比較的硬い素材で形成されているため、該ヒーター線８を折り曲げながらボビン２に形成された細い発熱体用挿通孔９に通す作業は、困難なものであった。

実開昭６１−８８６８４号公報

本発明は、前述のような事情に鑑みて為されたもので、その技術的課題は、ボビンに対するヒーター線の取り付けを簡単に行うことできるヒーターを提供することにある。

前記目的を達成するため、本発明のヒーターは、電気絶縁性を有する柱状のボビンと、通電により発熱するヒーター線とを有し、該ヒーター線は、互いに並行する２本の線条からなっていて、該２本の線条が、前記ボビンの外周に互いの位相をずらして螺旋状に巻かれると共に、螺旋の巻始め端で相互に連なっていることを特徴とする。

本発明の具体的構成態様によれば、前記ヒーター線には螺旋状の巻き癖がつけられ、前記ボビンにおける前記ヒーター線が巻かれる部分から基端部までの外径は、前記ヒーター線の螺旋の内径よりも小さく形成され、前記ヒーター線の螺旋の内部に前記ボビンを基端部側から挿入することにより、該ヒーター線が前記ボビンに取り付けられている。

本発明においては、前記ヒーター線は、１本の線材を２つに折り曲げることにより形成されていることが好ましい。

また、本発明において、前記ヒーター線における２本の線条の螺旋の巻終わり端には、ボビンの外部を延びる通電用のリード線が、該ボビンの外部でそれぞれ接続されている。

本発明において、前記ヒーターは、温度センサーを有し、該温度センサーは、異種の金属線を互いに接合し、接合箇所を温度検出部とした熱電対から成っていて、前記温度検出部に、前記金属線より熱伝導性に優れた金属素材から成る熱伝導体が取り付けられていることでもよい。

本発明のヒーターによれば、ヒーター線が、互いに並行する２本の線条からなっていて、これら２本の線条が、前記ボビンの外周に互いの位相をずらして螺旋状に巻かれると共に、その螺旋の巻始め端で相互に連なった状態で前記ボビンの外周に取り付けられているため、前記ヒーター線を、従来のように、ボビンに形成した細い挿通孔に挿通する作業を一切行う必要がなく、ボビンに対するヒーター線の取り付け作業を簡単に行うことができる。

第１実施形態のヒーターをはんだ鏝に内蔵した状態の要部断面図である。第１実施形態のヒーターを示す正面図である。第１実施形態のヒーターに用いるボビンの右側面図である。前記ボビンの左側面図である。温度センサーを示す分解斜視図である。第１実施形態のヒーターをヒーターケースに収容し、それをはんだ鏝に内蔵した状態を示す要部断面図である。前記ヒーターケースにヒーターを収容する前の状態を示す概略斜視図である。第１実施形態におけるボビンの変形例を示す正面図である。第２実施形態のヒーターをはんだ鏝に内蔵した状態の要部断面図である。第２実施形態のヒーターを示す側面図である。シーズヒーターを示す斜視図である。

以下に、本発明に係るヒーターについて、図面を用いて詳細に説明する。
図１及び図２は、前記ヒーター１０Ａの第１実施形態を示すものである。このヒーター１０Ａは、はんだ鏝１Ａの先端部分に内蔵した状態で使用するもので、該ヒーター１０Ａを発熱させることで、はんだ鏝１Ａの先端にある鏝先部２を加熱し、はんだ付けを行うように構成されている。なお、本実施形態で示すヒーター１０Ａは、自動はんだ付け装置に用いられるはんだ鏝に内蔵してもよく、或いは、手動操作式の手持ちのはんだ鏝に内蔵してもよい。

図１に示すように、前記はんだ鏝１Ａは、ステンレス等の金属からなる筒状の鏝胴部３と、この鏝胴部３に連結された前記鏝先部２と、鏝先部２を加熱する前記ヒーター１０Ａとを有している。前記鏝先部２は、はんだ付け作業を行うための先端部２ａを有し、この先端部２ａは、次第に先が細くなる先端形状を成している。
また、鏝先部２の内部には、前記ヒーター１０Ａを収容する為の収容部４が設けられている。前記収容部４は、鏝胴部３側に設けられた円形の断面形状を有する第１収容部４ａと、該第１収容部４ａよりも前方（先端部２ａ側）に位置して、内径が第１収容部４ａの内径よりも小さい第２収容部４ｂとを有している。前記第２収容部４ｂの先端は、深さ方向（図１において左側）に向けて先窄まり状を成す円錐面状に形成されている。なお、鏝胴部３には、前記はんだ鏝１Ａが手動のものであれば柄が取り付けられ、自動式であればロボットハンド等が取り付けられる。

前記ヒーター１０Ａは、柱状を成して軸Ｌ方向に延びるボビン１１と、通電により発熱する前記ヒーター線２０と、鏝先部２の先端部２ａの温度を検出する温度センサ３０とを有している。

前記ボビン１１は、セラミック等の電気絶縁性を有する単一の素材によって一体に形成されたもので、丸棒状の主体部１２と、この主体部１２の軸Ｌ方向の一端側（先端側）だけに形成されたフランジ部１３とを有している。前記主体部１２は、その外周に前記ヒーター線２０が巻かれた部分であって、該主体部１２の先端側から基端側にかけて同一径に形成されている。また、前記フランジ部１３は、主体部１２と同心円状に配された薄板円環状に形成されている。

前記ボビン１１の構成をさらに説明すると、該ボビン１１は、前記フランジ部１３からさらに前方（図１及び図２の左側）に突出する突出部１４を有している。前記突出部１４は、前記主体部１２よりも小径の略丸棒状に形成されていて、前記主体部１２及びフランジ部１３と同心円状に配されている。また、図２又は図３に示すように、この突出部１４の先端面には断面略コ字状の凹溝１５が、該突出部１４を直径方向に横切るように形成されている。この凹溝１５の溝幅は略均一幅に形成され、その溝深さは、前記突出部１４の軸線Ｌ方向長さ（フランジ部１３からの突出長さ）の略半分程度と成っている。

また、図１−図４に示すように、ボビン１１の内部には、該ボビン１１を軸Ｌ方向に貫通する一対のセンサ取付孔１６ａ，１６ｂが形成されている。このセンサ取付孔１６ａ，１６ｂは、前記温度センサー３０を形成する２つの金属線３１，３２を挿通するためのもので、該センサ取付孔１６ａ，１６ｂの一端は、前記主体部１２の基端側の端面に開口し、他端は、突出部１４における前記凹溝１５の溝底１５ａに開口している。

次いで、前記ヒーター線２０について説明する。
図２のように、前記ヒーター線２０は、互いに並行する２本の線条２０Ａ，２０Ｂからなっている。そして、これら２本の線条２０Ａ，２０Ｂが、前記ボビン１１の外周に、互いの位相をずらして螺旋状に巻かれると共に、その螺旋の巻始め端２０ａで相互に連なっている。前記ヒーター線２０は、分断された２本の線条２０Ａと２０Ｂとを、ボビン１１に巻いたあと接続しても良いが、本実施形態では、図２に示すように、単一の線条を二つに折り曲げ、その折曲部を、前記螺旋の巻始め端２０ａとして前記ボビン１１の主体部１２の先端側に配し、その状態で、該主体部１２の基端側に向けて二重螺旋状に巻付けられている。

また、前記２本の線条２０Ａ，２０Ｂの巻き終わり端２０ｂは、前記主体部１２の外周面上で、周方向に略１８０°異なる位置からそれぞれ後方側（鏝胴部３側）に延びており、該巻終わり端２０ｂには、前記ボビン１１の外部を延びる通電用のリード線２１，２１が、該ボビン１１の外部でそれぞれ接続され、このリード線２１，２１によって不図示の電源に接続されるようになっている。前記ヒーター線２０に対するリード線２１の接続手段としては、例えば、レーザー溶接等のスポット溶接が採用され、図１及び図２の符号２２は、ヒーター線２０とリード線２１とを点接合して成る接続部を示している。なお、前記ヒーター線２０を構成する線材としては、例えば、電気抵抗で発熱するニクロム線等を用いることができる。また、前記リード線２１，２１には、例えば、銅線を芯線としたものにニッケルめっきを施したニッケルめっき銅線等を用いることができる。

前記ヒーター線２０はこのようにしてボビン１１に取り付けられているので、従来のように、前記ボビン１１に、ヒーター線２０を挿通するための孔を穿設したり、該ヒーター線２０をそのような孔に折り曲げながら挿通する作業を必要とせず、該ヒーター線２０のボビン１１への取付けが非常に簡単になる。

前記ヒーター線２０は、ボビン１１に巻き付けることによって該ボビン１１に取り付けても良いが、本実施形態では、前記ヒーター線２０に予め螺旋状の巻き癖を付けておき、螺旋形状が維持されたこのヒーター線２０の螺旋の中空部に、前記ボビン１１の主体部１２をその基端側から挿入し、折曲部２０ａを、前記フランジ部１３に当たるか近接する位置まで相対的に移動させることにより、ボビン１１にヒーター線２０を取り付けている。この場合、ボビン１１における前記ヒーター線２０が巻かれる部分から基端部までの外径（即ち、主体部１２の外径）は、ヒーター線２０の螺旋の内径よりも小さく形成される。これにより、前記ヒーター線２０をボビン１１に巻く手間が省かれ、その取り付けが一層容易になる。

前記温度センサー３０は、図５に示すように、異なる２種の金属線３１，３２の先端側を接合して成る熱電対であり、この接合部分が温度検出部３３として形成されている。この温度センサー３０の端子（金属線３１，３２の基端側）は、不図示の制御装置に接続されていて、該制御装置で前記鏝先部２（先頭部２ａ）の温度が計測されると共に、計測された温度情報に基づいてヒーター線２０を流れる電流が制御され、鏝先部２の先頭部２ａの温度が調整される。

前記温度検出部３３の外面には、図１、図２、図５に示すように、前記２種の金属線３１，３２の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有する熱伝導体３４が取り付けられている。この熱伝導体３４には、例えば、銀や銅、金、アルミニウム等のような熱伝導率に優れた金属が使用される。本実施形態では、円筒等の中空状をした熱伝導体３４の内部に前記温度検出部３３を収容し、該熱伝導体３４を側面方向に押圧することによりかしめて温度検出部３３に圧着している。そうすることで、図２に概略的に示したように、該熱伝導体３４は潰れて扁平化し、温度検出部３３に対して直接密着した状態で取り付けられるため、温度検出部３３の全体が該熱伝導体３４によって覆われることになる。

また、前記熱伝導体３４は、ダイヤモンド粉末から成る無機粒子を成分とする伝熱層でコーティングすることが望ましい。このように、前記熱伝導体３４の表面に優れた熱伝導率を有するダイヤモンド粉末を配設することで、該熱伝導体３４の伝熱性がより高めることができる。熱伝導体３４に伝熱層をコーティングする場合、例えば、アルコール系溶剤中にダイヤモンド粉末を練り込み、ダイヤモンド粉末が混合された混合溶液を熱伝導体３４に付着させる。それから、上記熱伝導体３４を常温にて自然乾燥させることで、該熱伝導体３４の表面に上記伝熱層がコーティングされる。なお、一般的にダイヤモンドは、約６００℃付近から黒鉛化が始まり、それよりも高温になると次第に炭化していく物性を有しているが、通常はんだ鏝は、ダイヤモンドの炭化温度よりも低い約５００℃以下程度で使用されるので、ダイヤモンド粉末が炭化することなく、前記伝熱層による高い熱伝導性が維持される。なお、アルコール系溶剤としては、例えば、セラミック材料の粉末を混ぜた高耐熱セラミック接着剤が用いられる。また、前記ダイヤモンド粉末の粒度やアルコール系溶剤に対する配分量、混合溶液の乾燥時間等は、温度センサー３０を使用する環境等により適宜決定される。

前記温度センサー３０をボビン１１に取り付ける場合、図１及び図２に示すように、一方の金属線３１を、前記凹溝１５の溝底１５ａに開口する一方の前記センサ取付孔１６ａ内に挿通し、主体部１２の基端側の端面から延出させる。これと同様に、他方の金属線３２も、前記溝底１５ａに開口する他方のセンサ取付孔１６ｂ内に挿通して、主体部１２の基端側の端面から延出させる。そして、前記熱伝導体３４で被覆された温度検出部３３を、前記突出部１４の凹溝１５内に配設することで、前記ボビン１１に温度センサー３０が取り付けられる。このとき、前記熱伝導体３４は、前記凹溝１５から非突出状態で該凹溝１５内に収容されている。

前記の如く、ボビン１１にヒーター線２０と温度センサー３０とが取り付けられたヒーター１０Ａは、図１に示すように、前記収容部４の第１収容部４ａに、該ボビン１１の主体部１２及びフランジ部１３が収容されると共に、第２収容部４ｂに、該ボビン１１の突出部１４の収容され、前記突出部１４は、先端面が前記第２収容部４ｂの傾斜する底壁（図１の左側）に突き当たっている。このように、第１収容部４ａよりもさらに前方に形成された第２収容部４ｂに、前記温度センサー３０を有する突出部１４が収容され、該温度センサー３０が、はんだ付け作業を行う前記鏝先部２の先頭部２ａにより近い位置に配されていることにより、実際の先頭部２ａの温度がより正確に、応答性良く検出される。

また、前記収容部４には、前記ボビン１１の回りの隙間を埋めるように、例えば、セラミック、マグネシア、アルミナ等からなる粉末状をした電気絶縁性の充填材１７が充填されている。それにより、主体部１２の外周に螺旋巻きされたヒーター線２０が、前記第１収容部４ａの内周面に対して非接触の状態に保持される。前記充填材１７は、突出部１４の凹溝１５内にも流入し、前記温度センサー３０の温度検出部３３及び熱伝導体３４の周りを埋めている。

また、収容部４内において、前記主体部１２の基端側には、該収容部４の開口を封止するための電気絶縁性の蓋材１８が取り付けられている。蓋材１８は、円形の薄板状を成しており、中心部に穿設された中心孔１８ａと、この中心孔１８ａの周りに穿設された２つの通孔１８ｂ，１８ｂと有している。そして、前記中心孔１８ａを通って、主体部１２の基端側が鏝胴部３の内部空間まで延びていると共に、一対の通孔１８ｂ，１８ｂを通って、ヒーター線２０の巻き終端２０ｂ側の２本の線条が、該鏝胴部３の内部空間に延びている。このようにして、はんだ鏝１Ａの先端部分に、前記ヒーター１０Ａが内蔵されている。

また、前記温度センサー３０は、その温度検出部３３に、高い熱伝導率を有する熱伝導体３４が取り付けられていることで、該温度検出部３３に対する熱の伝導が高められているため、測定対象箇所である鏝先部２（先端部２ａ）の温度の変化に応答性良く追従でき、前記温度センサー３０による温度測定精度の向上が図られる。

本発明のヒーター１０Ａは、図６及び図７に示すように、筒状のヒーターケース４０に収容してカートリッジ化し、ヒーターケース４０ごと前記鏝先部２の収容部４に収容することもできる。この例では、前記ヒーターケース４０はステンレス等の金属で形成され、その外径は、前記収容部４の第１収容部４ａの内径よりも僅かに小さく形成されている。また、ヒーターケース４０の先端（図６、図７の左側）に、前記ボビン１１の突出部１４が挿通される挿通孔４１が設けられ、ヒーターケース４０を前記収容部４ａ内に収容した状態で、前記挿通孔４１を通じて、前記突出部１４が第２収容部４ｂ内に収容されるように成っている。

前記ヒーターケース４０の内部には、ヒーター１０Ａとヒーターケース４０とを絶縁する為の前記充填材１７が充填され、ヒーターケース４０の基端部（図６、図７の右側）には、該ヒーターケース４０の開口を閉塞する蓋材４２が取り付けられている。図７に示すように、この蓋材４２には、板厚方向に貫通する４つの通孔４２ａ，４２ｂが設けられ、そのうち、図の上下に位置する一対の通孔４２ａ，４２ａから、前記ヒーター線２０が鏝胴部３内に導出され、図の左右に位置する一対の通孔４２ｂ，４２ｂから、前記温度センサー３０の金属線３１，３２が鏝胴部３内に導出されている（図６参照）。この図６及び図７の例では、ヒーターケース４０が収容部４から取り外し可能に成っていて、該ヒーターケース４０ごと交換することで、前記ヒーター１０Ａも取り替えられるように成っている。

なお、第１実施形態のヒーター１０Ａでは、前記ボビン１１の突出部１４に凹溝１５を設け、当該凹溝１５内部に、温度センサー３０の温度検出部３３（熱伝導体３４）を収容しているが、図８の変形例に示すように、突出部１４の先端に凹溝１５を設けることなく、前記突出部１４の先端面を、平坦な面として形成し、この平坦面上に温度検出部３３を配することも可能である。この場合には、温度検出部３３（熱伝導体３４）が鏝先部２に接触することによって測定温度に誤差を生じることもあるが、前記制御装置の制御回路で誤差を補償することができる。

図９及び図１０は、本発明のヒーターの第２実施形態を示すもので、この第２実施形態のヒーター１０Ｂが、前記第１実施形態のヒーター１０Ａと相違する点は、ボビン５０が、筒状のインナーボビン６０と、その外側に嵌合された筒状のアウターボビン７０とから成っている点である。

前記インナーボビン６０は、軸Ｌ方向に略同一径を成して延びる部材であって、このインナーボビン６０の内部に、前記軸Ｌ方向に延びる一対のセンサ取付孔１６ａ，１６ｂが形成され、該インナーボビン６０の先端に前記凹溝１５が設けられており、該凹溝１５の溝底１５ａに、前記センサ取付孔１６ａ，１６ｂが開口している。
前記温度センサー３０は、２つの金属線３１，３２を、凹溝１５側からセンサ取付孔１６ａ，１６ｂに挿通して、これら金属線３１，３２を、当該センサ取付孔１６ａ，１６ｂを通じてインナーボビン６０の基端側（図９及び図１０の右側）から導出させ、温度検出部３３及び熱伝導体３５を前記凹溝１５内に収容することにより、前記インナーボビン６０に取り付けられている。

一方、アウターボビン７０は、前記インナーボビン６０より長さが短く形成されていて、このアウターボビン７０の外周面に前記ヒーター線２０が取り付けられている。該ヒーター線２０は、第１実施形態と同様に、アウターボビン７０の先端側に折曲部２０ａ（巻き始端）を配置した状態で、該アウターボビン７０の外周に２重螺旋状に巻回され、その螺旋の巻き終端２０ｂが、アウターボビン７０の外部を通じて鏝胴部３側に導出されている。

前記ヒーター１０Ｂのインナーボビン６０及びアウターボビン７０の重なった部分は、前記収容部４の第１収容部４ａに収容されていると共に、前記凹溝１５が設けられたインナーボビン６０の先端側は第２収容部４ｂに収容されている。前記収容部４にボビン５０を収容した状態で、第２収容部４ｂの底壁に、インナーボビン６０における先端面が突き当たっている。また、前記収容部４には、第１実施形態と同じく、電気絶縁性の充填材１７が充填されると共に、該収容部４の開口縁に、該開口を封止する前記蓋材１８が取り付けられている。そして、蓋材１８に設けられた中心孔１８ａを介して、前記インナーボビン６０及びアウターボビン７０の重なった部分が鏝胴部３の内部空間に導出され、アウターボビン７０の外周に巻かれたヒーター線２０の巻き終端２０ｂ側が、該蓋材１８の一対の通孔１８ｂ，１８ｂを介して鏝胴部３の内部へと延びている。このようにして、はんだ鏝１Ｂの先端部分に、第２実施形態のヒーター１０Ｂが内蔵される。

以上、本発明に係るヒーターについて説明してきたが、本発明は前記実施形態に限定されることなく、特許請求の範囲の趣旨を逸脱しない範囲で様々な設計変更が可能であることは言うまでもない。
温度センサー３０が取り付けられた前記熱伝導体３４は、筒状をしたものを前記温度検出部３３に対してかしめ付けることで取り付けられているが、これに限らず、例えば、金属素材を溶接やろう付け等により取り付けてもよい。
また、鏝先部２の温度を検出する必要がなければ、前記温度センサー３０を省略することもできる。
また、図６及び図７に示す例では、前記ヒーターケース４０は、その先端に挿通孔４１を有しているが、図１１に示すように、挿通孔４１を設けることなく、前記基端部のみが開口する有底筒状のものとし、その内部に前記ヒーター１０Ａを収容してカートリッジ化（完全封入化）したシーズヒーターとすることも可能である。このように形成したシーズヒーターは、はんだ鏝に内蔵して使用するだけでなく、例えば、管等の容器に絶縁状態で収容して、それを水や油等を加熱する投げ込みヒーターとして用いたり、或いは、成形装置等の金型加熱用ヒーターとして用いることもでき、使用環境等に合わせた処理を行うことで複数の用途に用いることができる。

１０Ａ，１０Ｂヒーター
１１，５０ボビン
２０ヒーター線
２０ａ巻始め端（折曲部）
２０ｂ巻終わり端
３０温度センサー
３１，３２金属線
３３温度検出部
３４熱伝導体

Claims

電気絶縁性を有する柱状のボビンと、通電により発熱するヒーター線とを有し、該ヒーター線は、互いに並行する２本の線条からなっていて、該２本の線条が、前記ボビンの外周に互いの位相をずらして螺旋状に巻かれると共に、螺旋の巻始め端で相互に連なっていることを特徴とするヒーター。
前記ヒーター線には螺旋状の巻き癖がつけられ、前記ボビンにおける前記ヒーター線が巻かれる部分から基端部までの外径は、前記ヒーター線の螺旋の内径よりも小さく形成され、前記ヒーター線の螺旋の内部に前記ボビンを基端部側から挿入することにより、該ヒーター線が前記ボビンに取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のヒーター。
前記ヒーター線は、１本の線材を２つに折り曲げることにより形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のヒーター。
前記ヒーター線における２本の線条の螺旋の巻終わり端には、ボビンの外部を延びる通電用のリード線が、該ボビンの外部でそれぞれ接続されていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載のヒーター。
前記ヒーターは、温度センサーを有し、該温度センサーは、異種の金属線を互いに接合して、接合箇所を温度検出部とした熱電対から成っていて、前記温度検出部に、前記金属線より熱伝導性に優れた金属素材から成る熱伝導体が取り付けられていることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載のヒーター。