JP2018094664A - End material removal apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、基板から分断された端材を除去する端材除去装置に関する。 The present invention relates to an end material removing apparatus that removes an end material separated from a substrate.
一般に、液晶表示パネルなどを製造する製造工程には、マザー基板と呼ばれる大面積の基板から所望の大きさのユニット基板を切り出す分断工程が含まれる。この場合、マザー基板には、隣り合うユニット基板の間、または、マザー基板の周辺などに、余分な領域が設けられている。このため、上記の分断工程においてユニット基板が切り出される際に、この余分な領域が端材となる。端材は、マザー基板から分断された後、マザー基板の受け台等から落下される(たとえば、特許文献1)。 Generally, a manufacturing process for manufacturing a liquid crystal display panel or the like includes a dividing process of cutting out a unit substrate of a desired size from a large-area substrate called a mother substrate. In this case, the mother board is provided with an extra area between adjacent unit boards or around the mother board. For this reason, when a unit board | substrate is cut out in said dividing process, this excess area | region becomes an end material. After the end material is separated from the mother substrate, the end material is dropped from a cradle or the like of the mother substrate (for example, Patent Document 1).
しかしながら、上記のように端材が分断された後そのまま落下すると、基板受け台の下方に配置されたスクライブユニットのベアリングなどに端材が入り込むことが起こり得る。これにより、スクライブユニットの動作不良などが生じる場合があった。 However, when the end material is divided as described above and dropped as it is, the end material may enter a bearing of a scribe unit disposed below the substrate cradle. As a result, a malfunction of the scribe unit may occur.
本発明は、かかる問題を解決するためになされたものであり、基板から分断された端材が、基板の分断機構等の動作不良を引き起こすことを抑制することを目的とする。 The present invention has been made to solve such a problem, and it is an object of the present invention to suppress an end material cut from a substrate from causing malfunction of a substrate cutting mechanism or the like.
本発明の主たる態様は、端材除去装置に関する。本態様に係る端材除去装置は、基板を支持して搬送する第1搬送部と、前記第1搬送部から搬出された前記基板を受け入れるとともに、前記基板を支持して搬送する第2搬送部と、前記第1搬送部と前記第2搬送部との間に配置され、前記第1搬送部と前記第2搬送部との間の空間に突出する前記基板の突出部分を分断する分断部と、前記分断部によって端材となる前記突出部分が前記第1搬送部側から突出する場合は前記基板の搬送方向前側から前記突出部分を把持し、前記端材となる前記突出部分が前記第2搬送部側から突出する場合は前記基板の搬送方向後ろ側から前記突出部分を把持する把持部と、を備える。 A main aspect of the present invention relates to a scrap material removing apparatus. The scrap material removing apparatus according to this aspect includes a first transport unit that supports and transports a substrate, and a second transport unit that receives and transports the substrate unloaded from the first transport unit. And a dividing unit that is arranged between the first transfer unit and the second transfer unit and divides a protruding portion of the substrate protruding into a space between the first transfer unit and the second transfer unit. When the projecting portion serving as an end material protrudes from the first transport portion side by the dividing portion, the projecting portion serving as the end material is gripped from the front side in the transport direction of the substrate. When projecting from the transport unit side, the gripping unit grips the projecting portion from the rear side in the transport direction of the substrate.
本態様に係る端材除去装置によれば、分断された端材が把持部によって把持されているため、端材が落下して装置の機構部等に入り込むことがない。よって、端材が原因となる装置の動作不良を抑制できる。 According to the end material removing apparatus according to this aspect, since the divided end material is gripped by the grip portion, the end material does not fall and enter the mechanism portion or the like of the device. Therefore, it is possible to suppress the malfunction of the apparatus caused by the scrap material.
本態様に係る端材除去装置において、前記把持部は、前記搬送方向前側および前記搬送方向後ろ側の両方から前記突出部分を把持すべく、把持の向きが180°回転可能に支持部に支持される構成とされ得る。この構成によれば、把持部を1つだけ設ければよいため、把持部を小型化できる。よって、第1搬送部と第2搬送部との間の空間に円滑に把持部を位置付けることができる。 In the scrap material removing apparatus according to this aspect, the gripping portion is supported by a support portion so that the gripping direction can be rotated 180 ° so as to grip the protruding portion from both the front side in the transport direction and the rear side in the transport direction. It can be set as a structure. According to this configuration, since only one gripping portion needs to be provided, the gripping portion can be reduced in size. Therefore, the gripping part can be positioned smoothly in the space between the first transport part and the second transport part.
この場合、本態様に係る端材除去装置は、前記支持部を昇降させる昇降部と、前記支持部を前記基板の搬送方向に移送する移送部と、を備える構成とされ得る。こうすると、第1搬送部と第2搬送部との間の空間を広げることなく、把持部の把持の方向を円滑に変えることができる。 In this case, the edge material removing apparatus according to this aspect may include a lifting unit that moves the support unit up and down, and a transfer unit that transfers the support unit in the transport direction of the substrate. If it carries out like this, the direction of holding of a holding part can be changed smoothly, without expanding the space between the 1st conveyance part and the 2nd conveyance part.
また、本態様に係る端材除去装置は、前記支持部を昇降させ、且つ、前記搬送方向に移送する際に、前記把持部による把持の向きを変える構成とされ得る。 Further, the end material removing apparatus according to this aspect may be configured to change the direction of gripping by the gripping portion when the support portion is moved up and down and transferred in the transport direction.
また、本態様に係る端材除去装置は、前記分断部よりも下の位置にあるときに、前記把持部による把持を解除して、前記把持部に把持された前記端材を、回収部に廃棄する構成とされ得る。こうすると、分断部に端材が入り込むことを確実に抑止できる。 Further, when the end material removing apparatus according to this aspect is located below the dividing portion, the end material removed by the grip portion is released to the collection portion. It can be configured to be discarded. If it carries out like this, it can suppress reliably that an end material enters into a parting part.
この場合、本態様に係る端材除去装置は、前記把持部が前記突出部分の把持位置から下降する工程において、前記把持部による把持を解除して、前記把持部に把持された前記端材を、前記回収部に廃棄する構成とされ得る。こうすると、端材を把持し続ける経路を短くできるため、端材の移送時に誤って端材が把持部から落下することを抑制できる。 In this case, the end material removing apparatus according to this aspect releases the gripping by the gripping portion and removes the end material gripped by the gripping portion in the step in which the gripping portion is lowered from the gripping position of the protruding portion. , It can be configured to be discarded in the recovery unit. If it carries out like this, since the path | route which continues holding | grip an end material can be shortened, it can suppress that an end material falls from a holding part accidentally at the time of transfer of an end material.
また、本態様に係る端材除去装置において、前記分断部は、前記分断動作において前記基板にスクライブラインを形成し、前記把持部は、前記分断動作後に前記突出部分の把持位置から移動して、前記端材を前記基板から分離させる構成とされ得る。こうすると、分断動作によっては端材が分離されないため、分断動作において端材が落下することを抑止できる。 Further, in the scrap material removing apparatus according to this aspect, the dividing unit forms a scribe line on the substrate in the dividing operation, and the gripping unit moves from the gripping position of the protruding portion after the dividing operation, The end material may be separated from the substrate. If it carries out like this, since a scrap will not be isolate | separated by a parting operation | movement, it can suppress that a part cuts in a parting operation | movement.
本態様に係る端材除去装置は、前記分断部が前記突出部分に対する分断動作を行う際に、前記把持部が前記突出部分を把持する構成とされ得る。こうすると、分断時にも端材となる突出部分が把持されるため、端材が落下することをより確実に抑止できる。 The end material removing apparatus according to this aspect may be configured such that the gripping portion grips the protruding portion when the dividing portion performs a cutting operation on the protruding portion. If it carries out like this, since the protrusion part used as an end material will be hold | gripped also at the time of parting, it can suppress more reliably that an end material falls.
以上のとおり、本発明によれば、基板から分断された端材が、基板の分断機構等の動作不良を引き起こすことを抑制することが可能な端材除去装置を提供できる。 As described above, according to the present invention, it is possible to provide an end material removing apparatus capable of suppressing the operation of an end material divided from a substrate from causing a malfunction of a substrate cutting mechanism or the like.
本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。 The effects and significance of the present invention will become more apparent from the following description of embodiments. However, the embodiment described below is merely an example when the present invention is implemented, and the present invention is not limited to what is described in the following embodiment.
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するXYZ軸が付記されている。X−Y平面は水平面に平行で、Z軸正方向は鉛直下方向である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In each figure, XYZ axes orthogonal to each other are added for convenience. The XY plane is parallel to the horizontal plane, and the positive Z-axis direction is the vertically downward direction.
図1は、端材除去装置1をY軸負方向に見た場合の構成を模式的に示す側面図である。 FIG. 1 is a side view schematically showing a configuration when the end material removing apparatus 1 is viewed in the negative Y-axis direction.
端材除去装置1は、第1搬送部110と、第2搬送部120と、分断部200と、把持部300と、支持部400と、昇降部500と、移送部600と、回収部710、720と、を備える。
The scrap material removing apparatus 1 includes a
第1搬送部110と第2搬送部120は、ベルトコンベアにより構成される。第1搬送部110は、基板10を支持して搬送する。第2搬送部120は、第1搬送部110から搬出された基板10を受け入れるとともに、基板10を支持して搬送する。基板10の搬送方向は、X軸正方向である。
The
分断部200は、第1搬送部110と第2搬送部120との間に配置されている。分断部200は、第1搬送部110と第2搬送部120の間の空間に突出する基板10の突出部分を分断する。分断部200は、上下に並ぶ一対のスクライブユニット210を備える。上側のスクライブユニット210は、基板10の上面にスクライブラインを形成し、下側のスクライブユニット210は、基板10の下面にスクライブラインを形成する。分断部200は、アーチ状の支持部材によって支持されており、図1には、便宜上、一対のスクライブユニット210のY軸正側およびY軸負側に位置する支持部材の図示が省略されている。また、分断部200の下側は、把持部300と昇降部500とがX軸方向に移動する際に通る空間201が設けられている。
The dividing
スクライブユニット210は、カッターホイール211と、昇降機構212と、支持部材213と、支持部材213と、レール214と、ボールネジ215と、を備える。カッターホイール211は、昇降機構212に設けられたホイールホルダに、回転可能となるよう取り付けられている。昇降機構212は、カッターホイール211を昇降させる。昇降機構212は、支持部材213に設置されている。レール214は、Y軸方向に延びており、支持部材213は、レール214に沿ってY軸方向に移動可能となるようレール214に支持されている。ボールネジ215は、Y軸方向に延びており、支持部材213をY軸方向に移動させる。ボールネジ215に接続された図示しないモータが駆動されることにより、支持部材213がY軸方向に移動される。
The
スクライブ動作時には、基板10が第1搬送部110と第2搬送部120によって、一対のスクライブユニット210の間に位置づけられる。次に、上側の昇降機構212が、上側のカッターホイール211を下降させ、このカッターホイール211を基板10に押し付ける。同時に、下側の昇降機構212が、下側のカッターホイール211を上昇させ、このカッターホイール211を基板10に押し付ける。この状態で、支持部材213がY軸方向に移送される。これにより、基板10の上面および下面に、Y軸に平行なスクライブラインが形成される。なお、後述するように基板10を分断して基板10の端部から端材11を切り離す際には、通常のスクライブラインの形成時に比べて、カッターホイール211が基板10に強く押し付けられる。これにより、基板10に形成されるスクライブラインが深くなるため、端材11の切り離しを円滑に行うことができる。
During the scribe operation, the
把持部300は、基板10の突出部分を把持する。把持部300は、一対の把持部材311と、一対の軸312と、一対の弾性体313と、収容部材314と、を備える。把持部材311は、軸312に固定されている。軸312は、Y軸方向に延びており、軸312の中心軸を回転の中心として回転可能となるよう収容部材314に支持されている。把持部材311は、モータ322(図3参照)によって軸312が回転されることにより、軸312を回転の中心として回転する。2つの把持部材311は、互いに異なる方向に回転する。弾性体313は、把持部材311の端部に設置されており、弾性を有するとともに摩擦力を高める部材(たとえば、ゴム等)により構成されている。なお、図2を参照して説明するように、把持部300は、Y軸方向に3つ設けられている。
The
支持部400は、把持部300がY軸方向を回転の中心として回転可能となるよう把持部300を支持している。支持部400は、軸401と支持部材402、403を備える。把持部300の収容部材314は、軸401に固定されている。軸401は、Y軸方向に延びており、軸401の中心軸を回転の中心として回転可能となるよう支持部材402に支持されている。把持部300の収容部材314は、モータ411(図3参照)によって軸401が回転されることにより、軸401を回転の中心として回転する。軸401は、1つの把持部300に対して1つ設けられている。支持部材402は、1つの軸401に対して2つ設けられている。支持部材403は、Y軸方向に延びており、支持部材402の下端を支持している。
The
昇降部500は、レール501と支持部材502を備えている。レール501は、支持部材403のY軸正側およびY軸負側において1つずつ設けられている。支持部材502は、Y軸方向に延びている。2本のレール501は、支持部材502の上面に設置されている。支持部400は、2本のレール501に沿ってZ軸方向に移動可能となるよう2本のレール501に支持されている。昇降部500は、モータ513(図3参照)により、支持部400をレール501に沿ってZ軸方向に昇降させる。
The elevating
移送部600は、X軸方向に延びた2本のレール601を備える。2本のレール501は、Y軸方向に並んでいる。移送部600は、モータ613(図2参照)により、昇降部500をレール601に沿ってX軸方向に移送する。
The
回収部710は、第2搬送部120のX軸負側の端部の真下付近に設置されており、回収部720は、第1搬送部110のX軸正側の端部の真下付近に設置されている。回収部710、720は、上部が上方向に開放されており、端材11(図9、17参照)を収容する。
The
図2は、端材除去装置1を上から見た場合の構成を模式的に示す平面図である。 FIG. 2 is a plan view schematically showing a configuration when the scrap material removing apparatus 1 is viewed from above.
カッターホイール211は、レール214(図1参照)に沿ってY軸方向に移動する。把持部300は、支持部材403の上面側において、Y軸方向に3つ配置されている。移送部600は、ベルト611と、一対のプーリ612と、モータ613と、を備える。ベルト611は、一対のプーリ612に架けられている。一対のプーリ612は、間隔を開けてX軸方向に並ぶように配置されている。X軸負側のプーリ612は、第1搬送部110のX軸正側の端部の真下付近に配置されており、X軸正側のプーリ612は、第2搬送部120のX軸負側の端部の真下付近に配置されている。モータ613の駆動軸は、X軸負側のプーリ612に接続されている。昇降部500の支持部材502の下面は、ベルト611に固定されている。モータ613が駆動されると、ベルト611がX軸方向に移動し、ベルト611に固定された昇降部500がX軸方向に移送される。
The
図3は、端材除去装置1の一部をX軸負方向に見た場合の構成を模式的に示す側面図である。 FIG. 3 is a side view schematically showing a configuration when a part of the scrap material removing device 1 is viewed in the negative X-axis direction.
把持部300は、収容部材314の内部に、2つのギア321と、モータ322と、を備える。ギア321は、2つの軸312にそれぞれ固定されており、2つのギア321は互いに噛み合っている。モータ322の駆動軸は、2つの軸312のうち、一方の軸312に接続されている。
The
モータ322が駆動されると、モータ322の駆動軸が接続された軸312がY軸まわりに回転する。このとき、2つのギア321は互いに噛み合っているため、一方の軸312の回転に合わせて、他方の軸312も回転する。これにより、2つの把持部材311が、それぞれ設置された軸312を回転の中心として回転する。また、このとき、ギア321の回転方向は互いに逆方向となるため、把持部材311の先端部分は、互いに近づけられ、または、互いに離間する。把持部材311の先端部分が互いに近づけられることによって、一対の把持部材311により基板10の突出部分が把持される。把持部材311の先端部分が互いに離間することによって、一対の把持部材311により把持された端材11(図9、17参照)が離される。
When the
支持部400は、3つの把持部300にそれぞれ対応するモータ411を備える。モータ411は、支持部材402に設置されており、モータ411の駆動軸は、軸401に接続されている。モータ411が駆動されると、軸401に固定された把持部300が軸401を回転の中心として回転する。
The
昇降部500は、ベルト511と、一対のプーリ512と、モータ513と、固定部材514と、を備える。ベルト511は、一対のプーリ512に架けられている。一対のプーリ512は、間隔を開けてZ軸方向に並ぶように配置されている。モータ513の駆動軸は、Z軸正側のプーリ512に接続されている。固定部材514は、ベルト511と、支持部400の支持部材403とを接続している。モータ513が駆動されると、ベルト511がZ軸方向に移動し、ベルト511に固定された支持部400がZ軸方向に昇降する。
The elevating
次に、図4〜18を参照して、端材除去装置1の動作について説明する。 Next, the operation of the scrap material removing apparatus 1 will be described with reference to FIGS.
図4に示すように、まず、把持部300が、分断部200と第2搬送部120との間の空間において、搬送される基板10と同じ高さに位置付けられる。そして、第1搬送部110に支持された基板10が、第1搬送部110によりX軸正方向に搬送され、第1搬送部110と第2搬送部120の間の空間に突出させられる。第1搬送部110から突出した基板10の突出部分が、把持部300の把持部材311まで移動すると、把持部材311が軸312を中心として回転される。これにより、図4に示すように、基板10の突出部分が、把持部材311により把持される。
As shown in FIG. 4, first, the
続いて、図5に示すように、通常のスクライブラインの形成時に比べて強い力で、上側のカッターホイール211が、基板10の上面に押し付けられ、下側のカッターホイール211が、基板10の下面に押し付けられる。この状態で、一対のカッターホイール211が、Y軸方向に移送される。これにより、基板10の上面と下面には、Y軸に平行であり、かつ、深いスクライブラインが形成される。ここで、このスクライブラインの形成によって基板10は完全に分断されておらず、スクライブラインよりもX軸正側に位置する基板10は、スクライブラインよりもX軸負側に位置する基板10と僅かに繋がっている。
Subsequently, as shown in FIG. 5, the
続いて、図6に示すように、一対のカッターホイール211が基板10から離される。そして、昇降部500が、移送部600によりX軸正方向に僅かに移送され、支持部400が、昇降部500によりZ軸正方向に僅かに移送される。これにより、把持部300が、右下へと所定の距離だけ移動される。この動作により、基板10が、分断部200によって形成されたスクライブラインにおいて分断され、把持部300により把持された基板10の突出部分が端材11となる。端材11は不要であるため、この後の動作により回収部710に廃棄される。
Subsequently, as shown in FIG. 6, the pair of
続いて、図7に示すように、Y軸負方向に見て軸401が時計回りに90°回転されることにより、把持部300が、Y軸負方向に見て時計回りに90°回転される。これにより、把持部300に把持された端材11が上方向に持ち上げられる。
Subsequently, as shown in FIG. 7, when the
続いて、図8に示すように、支持部400が、昇降部500によりZ軸正方向に移送される。これにより、端材11を把持する把持部300が下方向に移送される。
Subsequently, as shown in FIG. 8, the
続いて、図9に示すように、Y軸負方向に見て軸401が時計回りに90°回転されることにより、把持部300が、Y軸負方向に見て時計回りに90°回転される。これにより、把持部300に把持された端材11が、回収部710の上方に位置付けられる。そして、把持部材311が軸312を中心として回転される。これにより、図9に示すように、端材11が、把持部300から離れ、回収部710に回収される。
Subsequently, as shown in FIG. 9, when the
続いて、図10に示すように、昇降部500が、移送部600によりX軸負方向に所定の距離だけ移送される。これにより、把持部300と、支持部400と、昇降部500とが、第1搬送部110と分断部200との間の空間に位置付けられる。なお、このとき、把持部300と、支持部400と、昇降部500とは、分断部200の下に位置する空間201を通って、分断部200のX軸正側からX軸負側へと移送される。
Subsequently, as shown in FIG. 10, the elevating
なお、図9、10に示すように、把持部300が、分断部200よりも下に位置付けられると、第1搬送部110と第2搬送部120により基板10がX軸正方向に搬送され、順次、分断部200が、基板10の上面と下面にY軸に平行なスクライブラインを形成する。この場合、通常の強さでカッターホイール211が基板10に押し付けられる。
As shown in FIGS. 9 and 10, when the
スクライブラインの形成において基板10がX軸正方向に搬送されたことにより、基板10のX軸負側の端部が分断部200の位置まで搬送されると、図11に示すように、支持部400が、昇降部500によりZ軸負方向に所定の距離だけ移送される。これにより、把持部300が、第1搬送部110と分断部200との間の空間において、搬送される基板10と同じ高さに位置付けられる。
When the
続いて、図12に示すように、第2搬送部120に支持された基板10が、第2搬送部120によりX軸負方向に搬送される。第2搬送部120から突出した基板10の突出部分が、把持部300の把持部材311まで移動すると、把持部材311が軸312を中心として回転される。これにより、図12に示すように、基板10の突出部分が、把持部材311により把持される。
Subsequently, as illustrated in FIG. 12, the
続いて、図13に示すように、通常のスクライブラインの形成時に比べて強い力で、上側のカッターホイール211が、基板10の上面に押し付けられ、下側のカッターホイール211が、基板10の下面に押し付けられる。この状態で、一対のカッターホイール211が、Y軸方向に移送される。これにより、基板10の上面と下面には、Y軸に平行であり、かつ、深いスクライブラインが形成される。この場合も、このスクライブラインの形成によって基板10は完全に分断されておらず、スクライブラインよりもX軸負側に位置する基板10は、スクライブラインよりもX軸正側に位置する基板10と僅かに繋がっている。
Subsequently, as shown in FIG. 13, the
続いて、図14に示すように、一対のカッターホイール211が基板10から離される。そして、昇降部500が、移送部600によりX軸負方向に僅かに移送され、支持部400が、昇降部500によりZ軸正方向に僅かに移送される。これにより、把持部300が、左下へと所定の距離だけ移動される。この動作により、基板10が、分断部200によって形成されたスクライブラインにおいて分断され、把持部300により把持された基板10が端材11となる。端材11は不要であるため、この後の動作により回収部720に廃棄される。
Subsequently, as shown in FIG. 14, the pair of
続いて、図15に示すように、Y軸負方向に見て軸401が反時計回りに90°回転されることにより、把持部300が、Y軸負方向に見て反時計回りに90°回転される。これにより、把持部300に把持された端材11が上方向に持ち上げられる。
Subsequently, as shown in FIG. 15, when the
続いて、図16に示すように、支持部400が、昇降部500によりZ軸正方向に所定の距離だけ移送される。これにより、端材11を把持する把持部300が下方向に移送される。
Subsequently, as shown in FIG. 16, the
続いて、図17に示すように、Y軸負方向に見て軸401が反時計回りに90°回転されることにより、把持部300が、Y軸負方向に見て反時計回りに90°回転される。これにより、把持部300に把持された端材11が、回収部720の上方に位置付けられる。そして、把持部材311が軸312を中心として回転される。これにより、図17に示すように、端材11が、把持部300から離れ、回収部720に回収される。
Subsequently, as shown in FIG. 17, when the
X軸負側の端材11が取り除かれた基板10は、第2搬送部120によりX軸正方向に搬送され、端材除去装置1のX軸正側に位置するブレイク装置(図示せず)によって、スクライブラインに沿って基板10が分断される。
The
続いて、図18に示すように、昇降部500が、移送部600によりX軸正方向に所定の距離だけ移送される。これにより、把持部300と、支持部400と、昇降部500とが、分断部200と第1搬送部110との間の空間に位置付けられる。この場合も、把持部300と、支持部400と、昇降部500とは、分断部200の下に位置する空間201を通って、分断部200のX軸負側からX軸正側へと移送される。
Subsequently, as shown in FIG. 18, the elevating
その後、支持部400が、昇降部500により上方向に移送され、把持部300が、図4と同様、搬送される基板10と同じ高さに位置付けられる。そして、図4〜18と同様の動作が行われ、第1搬送部110によって新たに搬送された基板10から、搬送方向前側の端材11および搬送方向後ろ側の端材11が取り除かれ、それぞれ、回収部710、720に廃棄される。
Thereafter, the
図19は、端材除去装置1の構成を示すブロック図である。 FIG. 19 is a block diagram illustrating a configuration of the scrap material removing apparatus 1.
端材除去装置1は、図1〜3に示した第1搬送部110と、第2搬送部120と、分断部200と、把持部300と、支持部400と、昇降部500と、移送部600と、を備える。また、端材除去装置1は、上記構成に加えて、制御部1aを備える。
The scrap material removing apparatus 1 includes the
分断部200は、スクライブラインを形成するための一対のスクライブユニット210を含んでいる。把持部300は、把持部材311を回転させるためのモータ322を含んでいる。支持部400は、把持部300を回転させるためのモータ411を含んでいる。昇降部500は、支持部400を昇降させるためのモータ513を含んでいる。移送部600は、昇降部500を移送するためのモータ613を含んでいる。
The dividing
制御部1aは、演算処理部と記憶部を含む。演算処理部は、たとえば、CPU、MPUなどにより構成される。記憶部は、たとえば、フラッシュメモリ、ハードディスクなどにより構成される。制御部1aは、記憶部に記憶されたプログラムに従って、端材除去装置1の各部から信号を受信し、端材除去装置1の各部を制御する。
The
<実施形態の効果>
本実施形態によれば、以下の効果が奏される。
<Effect of embodiment>
According to this embodiment, the following effects are produced.
把持部300は、図4に示すように、分断部200によって端材11となる基板10の突出部分が、第1搬送部110側から突出する場合、基板10の搬送方向前側から基板10の突出部分を把持する。また、把持部300は、図12に示すように、分断部200によって端材11となる基板10の突出部分が、第2搬送部120側から突出する場合、基板10の搬送方向後ろ側から基板10の突出部分を把持する。このように、分断部200による分断動作の際に、基板10のX軸正側の端部から分断される端材11と、基板10のX軸負側の端部から分断される端材11とが、把持部300によって把持される。したがって、端材11が落下して装置の機構部等(たとえば、スクライブユニット210のレール214やボールネジ215)に入り込むことがない。よって、端材11が原因となる装置の動作不良を抑制できる。
As shown in FIG. 4, when the protruding portion of the
把持部300は、搬送方向前側および搬送方向後ろ側の両方から基板10の突出部を把持すべく、把持の向きが180°回転可能に支持部400に支持されている。たとえば、図4に示すように、基板10が第1搬送部110側から突出している場合、把持部300の把持の向きはX軸負方向とされ、図12に示すように、基板10が第2搬送部120側から突出している場合、把持部300の把持の向きはX軸正方向とされる。このように、把持の向きが180°反転可能であると、搬送方向前側および搬送方向後ろ側の両方から基板10の突出部分を把持するために、把持部300を1つだけ設ければよいため、端材除去装置1に設ける把持部300を小型化できる。よって、第1搬送部110と第2搬送部120との間の空間に円滑に把持部300を位置付けることができる。
The
支持部400は、把持部300を支持しており、昇降部500は、支持部400を昇降させ、移送部600は、昇降部500を基板10の搬送方向に移送する。このように、支持部400を昇降させる昇降部500と、支持部400を搬送方向に移送する移送部600とが設けられると、第1搬送部110と第2搬送部120との間の空間を広げることなく、把持部300の把持の方向を円滑に変えることができる。
The
基板10のX軸正側の端部から分断された端材11は、図9に示すように、分断部200よりも下の位置にあるときに、把持部300による把持が解除され、回収部710に廃棄される。また、基板10のX軸負側の端部から分断された端材11は、図17に示すように、分断部200よりも下の位置にあるときに、把持部300による把持が解除され、回収部720に廃棄される。これにより、分断部200に端材11が入り込むことを確実に抑止できる。
As shown in FIG. 9, when the
把持部300が基板10の突出部分の把持位置から下降する工程において、把持部300による把持が解除され、把持部300に把持された端材11が回収部710、720に廃棄される。把持部300が下降する工程とは、図6、14に示すように端材11の分断が行われた後、昇降部500によって把持部300が下方向に移動され、移送部600によってX軸方向に移送される直前までの工程のことである。これにより、把持部300が端材11を把持し続ける経路を短くできるため、端材11の移送時に誤って端材11が把持部300から落下することを抑制できる。
In the process in which the
分断部200は、図5を参照して説明したように、分断動作において基板10にスクライブラインを形成する。その後、把持部300は、図5に示す基板10の突出部分の把持位置から、図6に示す位置に移動して、基板10から端材11を分離させる。同様に、分断部200は、図13を参照して説明したように、分断動作において基板10にスクライブラインを形成する。その後、把持部300は、図13に示す基板10の突出部分の把持位置から、図14に示す位置に移動して、基板10から端材11を分離させる。このように、分断部200の分断動作によっては端材11が分離されず、把持部300が図6、14の位置に移動することにより端材11が切り離される。これにより、分断動作において端材11が落下することを抑止できる。
As described with reference to FIG. 5, the dividing
分断部200が、基板10の突出部分に対する分断動作を行う際に、把持部300は、図5、13に示すように、基板10の突出部分を把持する。このように、分断部200の分断動作時にも基板10の突出部分が把持されるため、端材11が落下することをより確実に抑止できる。
When the
<変更例>
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら制限されるものではなく、また、本発明の実施形態も上記以外に種々の変更が可能である。
<Example of change>
Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made to the embodiment of the present invention other than the above.
たとえば、上記実施形態では、回収部710、720が分断部200よりも下に設けられ、把持部300は、端材11を把持した状態で下降し、端材11を回収部710、720に廃棄した。しかしながら、これに限らず、回収部710、720が分断部200よりも上に設けられ、把持部300は、端材11を把持した状態で上昇し、端材11を回収部710、720に廃棄してもよい。この場合、たとえば、把持部300は、端材11を廃棄した後、分断部200の上側を通ってX軸方向に移送される。この場合においても、上記実施形態と同様、把持部300により端材11が把持されて回収部710、720に廃棄されるため、端材11が落下して装置の機構部等に入り込むことが抑制される。
For example, in the above-described embodiment, the
ただし、この変更例では、分断部200よりも上の位置において把持部300による端材11の把持が解除されることになるため、分断部200に端材11が入り込む可能性が高くなる。したがって、上記実施形態のように、回収部710、720は分断部200よりも下に設けられるのが好ましい。
However, in this modified example, since the gripping of the
また、上記実施形態では、把持部300が、軸401を回転の中心として180°回転することにより、第1搬送部110側から突出した基板10と、第2搬送部120側から突出した基板10とを把持した。しかしながら、これに限らず、把持部300が、搬送方向に向けられた一対の把持部材と、搬送方向と反対に向けられた一対の把持部材とを備えてもよい。この場合、第1搬送部110側から突出した基板10は、搬送方向の反対に向けられた一対の把持部材により把持され、把持部300の下降とX軸負方向への移動を経て、端材11が回収部720に回収される。第2搬送部120側から突出した基板10は、搬送方向に向けられた一対の把持部材により把持され、把持部300の下降とX軸正方向への移動を経て、端材11が回収部710に回収される。
Further, in the above-described embodiment, the
この変更例では、把持部300のX軸正側とX軸負側にそれぞれ一対の把持部材が突出するため、把持部300がX軸方向に大きくなる。また、上記実施形態に比べて、把持部300が端材11を把持し続ける経路が長くなるため、端材11の移送時に誤って端材11が把持部300から落下する可能性が高くなる。したがって、把持部300を小型化し、端材11が落下する可能性を低くするには、上記実施形態のように、把持部300が180°回転するのが好ましい。
In this modified example, since the pair of gripping members protrude on the X-axis positive side and the X-axis negative side of the
あるいは、この変更例において、分断された端材11は、分断部200の真下に設けられた回収部により回収されてもよい。この場合、把持部300が端材11を把持し続ける経路は上記実施形態と同様に短いものの、端材11を把持する方向と端材11を離す方向とが同じであるため、分断部200に端材11が入り込む可能性が高くなる。したがって、上記実施形態のように、把持部300が180°回転し、端材11を把持する方向と端材11を離す方向とが、反対方向であるのが好ましい。
Alternatively, in this modified example, the divided
また、上記実施形態では、把持部300が180°回転したが、把持部300が回転することに代えて、図20(a)、(b)に示すように、把持部材311が180°回転してもよい。この変更例では、軸401が省略され、把持部300の収容部材314が、支持部材402に固定されている。また、把持部材311の端部には、上側と下側の両方に弾性体313が設置されている。
Moreover, in the said embodiment, although the holding
この変更例では、第1搬送部110側から突出した基板10は、図20(a)の状態で、把持部材311によって把持され、把持部300の下降とX軸負方向への移動を経て、端材11が回収部720に回収される。続いて、一対の把持部材311が、図20(a)の状態から、さらに開く方向へと回転され、図20(b)に示す状態とされる。そして、第2搬送部120側から突出した基板10は、図20(b)の状態で、把持部材311によって把持され、把持部300の下降とX軸正方向への移動を経て、端材11が回収部710に回収される。
In this modified example, the
図20(a)、(b)に示す変更例では、把持部300を回転させるための機構を設ける必要がないため、把持部300の小型化を実現できる。ただし、上記実施形態に比べて、把持部300が端材11を把持し続ける経路が長くなるため、端材11が落下する可能性を低くするには、上記実施形態のように、把持部300が180°回転するのが好ましい。
In the modified examples shown in FIGS. 20A and 20B, it is not necessary to provide a mechanism for rotating the
また、上記実施形態では、図3に示したように、モータ322により軸312が回転させられることにより、把持部材311が開閉した。また、モータ411により軸401が回転させられることにより、把持部300が支持部400に対して回転した。しかしながら、これに限らず、軸312がベルトに架けられ、このベルトの他端がプーリに架けられ、モータによりプーリが回転させられることにより、把持部材311が開閉させられてもよい。同様に、軸401がベルトに架けられ、このベルトの他端がプーリに架けられ、モータによりプーリが回転させられることにより、把持部300が支持部400に対して回転させられてもよい。
Moreover, in the said embodiment, as shown in FIG. 3, when the axis |
また、上記実施形態では、把持部材311の開閉と、把持部300の回転と、支持部400の上下方向の移送と、昇降部500のX軸方向への移送とが、モータを駆動源として行われた。しかしながら、駆動源はモータに限らず、たとえば、エアシリンダーであってもよい。また、把持部材311の開閉と、把持部300の回転とが、別々のモータを駆動源として行われたが、1つのモータを駆動源として行われてもよい。
In the above embodiment, the opening and closing of the gripping
また、上記実施形態では、端材11を切り離す直前に行われるスクライブラインの形成において、基板10は完全に分断されないが、これに限らず、基板10は完全に分断されてもよい。上記実施形態では、図4、12に示したように、あらかじめ基板10の突出部分が把持部300により把持されているため、端材11を切り離す直前に行われるスクライブラインの形成において基板10が完全に分断されたとしても、端材11が落下することが抑止される。なお、スクライブラインの形成の後で把持部300による把持が行われる場合には、端材11の落下を防止するために、上記実施形態と同様、基板10は完全に分断されないのが好ましい。
Moreover, in the said embodiment, in formation of the scribe line performed just before cutting off the
また、上記実施形態では、上下に一対のスクライブユニット210が設けられたが、いずれか一方のスクライブユニット210のみが設けられてもよい。たとえば、上側のスクライブユニット210のみが設けられてもよい。
Moreover, in the said embodiment, although a pair of
また、上記実施形態では、第1搬送部110および第2搬送部120がベルトコンベアにより構成されたが、これに限らず、図21に示すように、第1搬送部110は、2つのベルトコンベア111と、3つのテーブル112とを備え、第2搬送部120は、2つのベルトコンベア121と、3つのテーブル122とを備えてもよい。テーブル112、122の上面には、基板10を吸着するための多数の孔が設けられている。図示しない空圧源によって、テーブル112、122の孔に圧力が付与される。スクライブラインの形成の際には、テーブル112、122の孔に負圧が付与されることにより、基板10がテーブル112に吸着される。
Moreover, in the said embodiment, although the
また、上記実施形態では、分断部200は、スクライブラインを形成するスクライブユニット210を備えたが、これに代えて、ブレイクバーによりスクライブラインを押さえてブレイクする構成を備えてもよい。この場合、端材除去装置1の上流の装置においてスクライブラインが形成され、スクライブラインが形成された基板10が、第1搬送部110によってX軸正方向に搬送される。そして、把持部300が基板10のX軸正側またはX軸負側の端部を把持した状態で、分断部200のブレイクバーによって、スクライブラインに沿って基板10が分断される。この場合も、基板10から切り離された端材11は、把持部300によって把持されて、回収部710、720に廃棄される。
Moreover, in the said embodiment, although the
1 端材除去装置
10 基板
11 端材
110 第1搬送部
120 第2搬送部
200 分断部
300 把持部
400 支持部
500 昇降部
600 移送部
710、720 回収部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 End
Claims (8)
前記第1搬送部から搬出された前記基板を受け入れるとともに、前記基板を支持して搬送する第2搬送部と、
前記第1搬送部と前記第2搬送部との間に配置され、前記第1搬送部と前記第2搬送部との間の空間に突出する前記基板の突出部分を分断する分断部と、
前記分断部によって端材となる前記突出部分が前記第1搬送部側から突出する場合は前記基板の搬送方向前側から前記突出部分を把持し、前記端材となる前記突出部分が前記第2搬送部側から突出する場合は前記基板の搬送方向後ろ側から前記突出部分を把持する把持部と、を備える、
ことを特徴とする端材除去装置。 A first transport unit for supporting and transporting the substrate;
A second transport unit that receives the substrate unloaded from the first transport unit and supports and transports the substrate;
A dividing unit that is arranged between the first transfer unit and the second transfer unit and divides a protruding portion of the substrate protruding into a space between the first transfer unit and the second transfer unit;
When the projecting portion serving as an end material projects from the first transport unit side by the dividing portion, the projecting portion serving as the end material is gripped from the front side in the transport direction of the substrate, and the projecting portion serving as the end material serves as the second transport. A gripping part for gripping the projecting part from the rear side in the transport direction of the substrate when projecting from the part side,
An end material removing apparatus characterized by the above.
前記把持部は、前記分断動作後に前記突出部分の把持位置から移動して、前記端材を前記基板から分離させる、請求項3ないし6の何れか一項に記載の端材除去装置。 The dividing part forms a scribe line on the substrate in the dividing operation,
The end material removing apparatus according to any one of claims 3 to 6, wherein the grip portion moves from a grip position of the protruding portion after the dividing operation to separate the end material from the substrate.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111421676A (en) * | 2019-01-09 | 2020-07-17 | 三星钻石工业股份有限公司 | End material removing device |
KR20210096974A (en) * | 2020-01-29 | 2021-08-06 | 주식회사 탑 엔지니어링 | End material removing unit |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109093857B (en) * | 2018-07-03 | 2020-05-26 | 常州大学 | Cutting machine based on double-sided stress concentration |
KR20200144167A (en) * | 2019-06-17 | 2020-12-29 | 주식회사 탑 엔지니어링 | Dummy removing unit |
KR102176872B1 (en) * | 2020-05-07 | 2020-11-10 | 주식회사 탑 엔지니어링 | End material removing device |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002057192A1 (en) * | 2001-01-17 | 2002-07-25 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. | Separator and separating system |
JP2006334919A (en) * | 2005-06-02 | 2006-12-14 | Corning Japan Kk | Parting unit for board, parting device having parting unit, and parting equipment having parting device |
JP2012250871A (en) * | 2011-06-01 | 2012-12-20 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | Substrate dividing apparatus |
JP2012250385A (en) * | 2011-06-01 | 2012-12-20 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | Substrate disruption apparatus |
JP2016007844A (en) * | 2014-06-26 | 2016-01-18 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | Scribe device |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3916884B2 (en) | 2001-05-17 | 2007-05-23 | 東芝三菱電機産業システム株式会社 | Glass plate edge material removal and product partial separation apparatus and method for liquid crystal |
-
2016
- 2016-12-12 JP JP2016240498A patent/JP2018094664A/en active Pending
-
2017
- 2017-08-02 TW TW106126024A patent/TW201821379A/en unknown
- 2017-08-30 KR KR1020170110439A patent/KR20180067403A/en not_active Application Discontinuation
- 2017-08-30 CN CN201710769740.5A patent/CN108227258A/en not_active Withdrawn
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002057192A1 (en) * | 2001-01-17 | 2002-07-25 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. | Separator and separating system |
JP2006334919A (en) * | 2005-06-02 | 2006-12-14 | Corning Japan Kk | Parting unit for board, parting device having parting unit, and parting equipment having parting device |
JP2012250871A (en) * | 2011-06-01 | 2012-12-20 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | Substrate dividing apparatus |
JP2012250385A (en) * | 2011-06-01 | 2012-12-20 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | Substrate disruption apparatus |
JP2016007844A (en) * | 2014-06-26 | 2016-01-18 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | Scribe device |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111421676A (en) * | 2019-01-09 | 2020-07-17 | 三星钻石工业股份有限公司 | End material removing device |
CN111421676B (en) * | 2019-01-09 | 2024-04-19 | 三星钻石工业股份有限公司 | End material removing device |
KR20210096974A (en) * | 2020-01-29 | 2021-08-06 | 주식회사 탑 엔지니어링 | End material removing unit |
KR102341797B1 (en) | 2020-01-29 | 2021-12-21 | 주식회사 탑 엔지니어링 | End material removing unit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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TW201821379A (en) | 2018-06-16 |
KR20180067403A (en) | 2018-06-20 |
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