JP2018094664A - End material removal apparatus - Google Patents

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生芳 高松
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an end material removal apparatus that prevents an end material separated from a substrate from causing operation failure of a separating mechanism of the substrate.SOLUTION: An end material removal apparatus 1 includes: a first conveyance unit 110 for supporting and conveying a substrate 10; a second conveyance unit 120 for receiving the substrate 10 carried-out from the first conveyance unit 110, and supporting and conveying the substrate 10; a separating unit 200 disposed between the first conveyance unit 110 and the second conveyance unit 120, for separating a projecting portion of the substrate 10 which projects in a space between the first conveyance unit 110 and the second conveyance unit 120; and a holding unit 300 for holding the projecting part from a front side in a conveyance direction of the substrate 10, when the projecting part becoming an end material 11 by the separating unit 200 projects from a first conveyance unit 110 side, and for holding the projecting part from a rear side in the conveyance direction of the substrate 10 when the projecting part becoming the end material 11 projects from a second conveyance unit 120 side.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、基板から分断された端材を除去する端材除去装置に関する。   The present invention relates to an end material removing apparatus that removes an end material separated from a substrate.

一般に、液晶表示パネルなどを製造する製造工程には、マザー基板と呼ばれる大面積の基板から所望の大きさのユニット基板を切り出す分断工程が含まれる。この場合、マザー基板には、隣り合うユニット基板の間、または、マザー基板の周辺などに、余分な領域が設けられている。このため、上記の分断工程においてユニット基板が切り出される際に、この余分な領域が端材となる。端材は、マザー基板から分断された後、マザー基板の受け台等から落下される(たとえば、特許文献1)。   Generally, a manufacturing process for manufacturing a liquid crystal display panel or the like includes a dividing process of cutting out a unit substrate of a desired size from a large-area substrate called a mother substrate. In this case, the mother board is provided with an extra area between adjacent unit boards or around the mother board. For this reason, when a unit board | substrate is cut out in said dividing process, this excess area | region becomes an end material. After the end material is separated from the mother substrate, the end material is dropped from a cradle or the like of the mother substrate (for example, Patent Document 1).

特開2002−338284号公報JP 2002-338284 A

しかしながら、上記のように端材が分断された後そのまま落下すると、基板受け台の下方に配置されたスクライブユニットのベアリングなどに端材が入り込むことが起こり得る。これにより、スクライブユニットの動作不良などが生じる場合があった。   However, when the end material is divided as described above and dropped as it is, the end material may enter a bearing of a scribe unit disposed below the substrate cradle. As a result, a malfunction of the scribe unit may occur.

本発明は、かかる問題を解決するためになされたものであり、基板から分断された端材が、基板の分断機構等の動作不良を引き起こすことを抑制することを目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and it is an object of the present invention to suppress an end material cut from a substrate from causing malfunction of a substrate cutting mechanism or the like.

本発明の主たる態様は、端材除去装置に関する。本態様に係る端材除去装置は、基板を支持して搬送する第1搬送部と、前記第1搬送部から搬出された前記基板を受け入れるとともに、前記基板を支持して搬送する第2搬送部と、前記第1搬送部と前記第2搬送部との間に配置され、前記第1搬送部と前記第2搬送部との間の空間に突出する前記基板の突出部分を分断する分断部と、前記分断部によって端材となる前記突出部分が前記第1搬送部側から突出する場合は前記基板の搬送方向前側から前記突出部分を把持し、前記端材となる前記突出部分が前記第2搬送部側から突出する場合は前記基板の搬送方向後ろ側から前記突出部分を把持する把持部と、を備える。   A main aspect of the present invention relates to a scrap material removing apparatus. The scrap material removing apparatus according to this aspect includes a first transport unit that supports and transports a substrate, and a second transport unit that receives and transports the substrate unloaded from the first transport unit. And a dividing unit that is arranged between the first transfer unit and the second transfer unit and divides a protruding portion of the substrate protruding into a space between the first transfer unit and the second transfer unit. When the projecting portion serving as an end material protrudes from the first transport portion side by the dividing portion, the projecting portion serving as the end material is gripped from the front side in the transport direction of the substrate. When projecting from the transport unit side, the gripping unit grips the projecting portion from the rear side in the transport direction of the substrate.

本態様に係る端材除去装置によれば、分断された端材が把持部によって把持されているため、端材が落下して装置の機構部等に入り込むことがない。よって、端材が原因となる装置の動作不良を抑制できる。   According to the end material removing apparatus according to this aspect, since the divided end material is gripped by the grip portion, the end material does not fall and enter the mechanism portion or the like of the device. Therefore, it is possible to suppress the malfunction of the apparatus caused by the scrap material.

本態様に係る端材除去装置において、前記把持部は、前記搬送方向前側および前記搬送方向後ろ側の両方から前記突出部分を把持すべく、把持の向きが180°回転可能に支持部に支持される構成とされ得る。この構成によれば、把持部を1つだけ設ければよいため、把持部を小型化できる。よって、第1搬送部と第2搬送部との間の空間に円滑に把持部を位置付けることができる。   In the scrap material removing apparatus according to this aspect, the gripping portion is supported by a support portion so that the gripping direction can be rotated 180 ° so as to grip the protruding portion from both the front side in the transport direction and the rear side in the transport direction. It can be set as a structure. According to this configuration, since only one gripping portion needs to be provided, the gripping portion can be reduced in size. Therefore, the gripping part can be positioned smoothly in the space between the first transport part and the second transport part.

この場合、本態様に係る端材除去装置は、前記支持部を昇降させる昇降部と、前記支持部を前記基板の搬送方向に移送する移送部と、を備える構成とされ得る。こうすると、第1搬送部と第2搬送部との間の空間を広げることなく、把持部の把持の方向を円滑に変えることができる。   In this case, the edge material removing apparatus according to this aspect may include a lifting unit that moves the support unit up and down, and a transfer unit that transfers the support unit in the transport direction of the substrate. If it carries out like this, the direction of holding of a holding part can be changed smoothly, without expanding the space between the 1st conveyance part and the 2nd conveyance part.

また、本態様に係る端材除去装置は、前記支持部を昇降させ、且つ、前記搬送方向に移送する際に、前記把持部による把持の向きを変える構成とされ得る。   Further, the end material removing apparatus according to this aspect may be configured to change the direction of gripping by the gripping portion when the support portion is moved up and down and transferred in the transport direction.

また、本態様に係る端材除去装置は、前記分断部よりも下の位置にあるときに、前記把持部による把持を解除して、前記把持部に把持された前記端材を、回収部に廃棄する構成とされ得る。こうすると、分断部に端材が入り込むことを確実に抑止できる。   Further, when the end material removing apparatus according to this aspect is located below the dividing portion, the end material removed by the grip portion is released to the collection portion. It can be configured to be discarded. If it carries out like this, it can suppress reliably that an end material enters into a parting part.

この場合、本態様に係る端材除去装置は、前記把持部が前記突出部分の把持位置から下降する工程において、前記把持部による把持を解除して、前記把持部に把持された前記端材を、前記回収部に廃棄する構成とされ得る。こうすると、端材を把持し続ける経路を短くできるため、端材の移送時に誤って端材が把持部から落下することを抑制できる。   In this case, the end material removing apparatus according to this aspect releases the gripping by the gripping portion and removes the end material gripped by the gripping portion in the step in which the gripping portion is lowered from the gripping position of the protruding portion. , It can be configured to be discarded in the recovery unit. If it carries out like this, since the path | route which continues holding | grip an end material can be shortened, it can suppress that an end material falls from a holding part accidentally at the time of transfer of an end material.

また、本態様に係る端材除去装置において、前記分断部は、前記分断動作において前記基板にスクライブラインを形成し、前記把持部は、前記分断動作後に前記突出部分の把持位置から移動して、前記端材を前記基板から分離させる構成とされ得る。こうすると、分断動作によっては端材が分離されないため、分断動作において端材が落下することを抑止できる。   Further, in the scrap material removing apparatus according to this aspect, the dividing unit forms a scribe line on the substrate in the dividing operation, and the gripping unit moves from the gripping position of the protruding portion after the dividing operation, The end material may be separated from the substrate. If it carries out like this, since a scrap will not be isolate | separated by a parting operation | movement, it can suppress that a part cuts in a parting operation | movement.

本態様に係る端材除去装置は、前記分断部が前記突出部分に対する分断動作を行う際に、前記把持部が前記突出部分を把持する構成とされ得る。こうすると、分断時にも端材となる突出部分が把持されるため、端材が落下することをより確実に抑止できる。   The end material removing apparatus according to this aspect may be configured such that the gripping portion grips the protruding portion when the dividing portion performs a cutting operation on the protruding portion. If it carries out like this, since the protrusion part used as an end material will be hold | gripped also at the time of parting, it can suppress more reliably that an end material falls.

以上のとおり、本発明によれば、基板から分断された端材が、基板の分断機構等の動作不良を引き起こすことを抑制することが可能な端材除去装置を提供できる。   As described above, according to the present invention, it is possible to provide an end material removing apparatus capable of suppressing the operation of an end material divided from a substrate from causing a malfunction of a substrate cutting mechanism or the like.

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。   The effects and significance of the present invention will become more apparent from the following description of embodiments. However, the embodiment described below is merely an example when the present invention is implemented, and the present invention is not limited to what is described in the following embodiment.

図1は、実施形態に係る端材除去装置をY軸負方向に見た場合の構成を模式的に示す側面図である。FIG. 1 is a side view schematically showing a configuration when the edge material removing device according to the embodiment is viewed in the negative Y-axis direction. 図2は、実施形態に係る端材除去装置を上から見た場合の構成を模式的に示す平面図である。FIG. 2 is a plan view schematically showing a configuration when the end material removing apparatus according to the embodiment is viewed from above. 図3は、実施形態に係る端材除去装置の一部をX軸負方向に見た場合の構成を模式的に示す側面図である。FIG. 3 is a side view schematically showing a configuration when a part of the end material removing device according to the embodiment is viewed in the negative X-axis direction. 図4は、実施形態に係る端材除去装置の動作を模式的に示す側面図である。FIG. 4 is a side view schematically showing the operation of the scrap material removing apparatus according to the embodiment. 図5は、実施形態に係る端材除去装置の動作を模式的に示す側面図である。FIG. 5 is a side view schematically showing the operation of the scrap material removing apparatus according to the embodiment. 図6は、実施形態に係る端材除去装置の動作を模式的に示す側面図である。FIG. 6 is a side view schematically showing the operation of the end material removing apparatus according to the embodiment. 図7は、実施形態に係る端材除去装置の動作を模式的に示す側面図である。FIG. 7 is a side view schematically showing the operation of the end material removing apparatus according to the embodiment. 図8は、実施形態に係る端材除去装置の動作を模式的に示す側面図である。FIG. 8 is a side view schematically showing the operation of the end material removing apparatus according to the embodiment. 図9は、実施形態に係る端材除去装置の動作を模式的に示す側面図である。FIG. 9 is a side view schematically showing the operation of the scrap material removing apparatus according to the embodiment. 図10は、実施形態に係る端材除去装置の動作を模式的に示す側面図である。FIG. 10 is a side view schematically showing the operation of the scrap material removing apparatus according to the embodiment. 図11は、実施形態に係る端材除去装置の動作を模式的に示す側面図である。FIG. 11 is a side view schematically showing the operation of the scrap material removing apparatus according to the embodiment. 図12は、実施形態に係る端材除去装置の動作を模式的に示す側面図である。FIG. 12 is a side view schematically showing the operation of the scrap material removing apparatus according to the embodiment. 図13は、実施形態に係る端材除去装置の動作を模式的に示す側面図である。FIG. 13 is a side view schematically showing the operation of the scrap material removing apparatus according to the embodiment. 図14は、実施形態に係る端材除去装置の動作を模式的に示す側面図である。FIG. 14 is a side view schematically showing the operation of the end material removing apparatus according to the embodiment. 図15は、実施形態に係る端材除去装置の動作を模式的に示す側面図である。FIG. 15 is a side view schematically showing the operation of the scrap material removing apparatus according to the embodiment. 図16は、実施形態に係る端材除去装置の動作を模式的に示す側面図である。FIG. 16 is a side view schematically showing the operation of the scrap material removing apparatus according to the embodiment. 図17は、実施形態に係る端材除去装置の動作を模式的に示す側面図である。FIG. 17 is a side view schematically showing the operation of the scrap material removing apparatus according to the embodiment. 図18は、実施形態に係る端材除去装置の動作を模式的に示す側面図である。FIG. 18 is a side view schematically showing the operation of the scrap material removing apparatus according to the embodiment. 図19は、実施形態に係る端材除去装置の構成を示すブロック図である。FIG. 19 is a block diagram illustrating a configuration of the offcut removal device according to the embodiment. 図20(a)、(b)は、変更例に係る端材除去装置の一部をY軸負方向に見た場合の構成を模式的に示す側面図である。FIGS. 20A and 20B are side views schematically showing a configuration when a part of the end material removing device according to the modified example is viewed in the negative Y-axis direction. 図21は、変更例に係る端材除去装置を上から見た場合の構成を模式的に示す平面図である。FIG. 21 is a plan view schematically showing a configuration when the edge material removing device according to the modified example is viewed from above.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するXYZ軸が付記されている。X−Y平面は水平面に平行で、Z軸正方向は鉛直下方向である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In each figure, XYZ axes orthogonal to each other are added for convenience. The XY plane is parallel to the horizontal plane, and the positive Z-axis direction is the vertically downward direction.

図1は、端材除去装置1をY軸負方向に見た場合の構成を模式的に示す側面図である。   FIG. 1 is a side view schematically showing a configuration when the end material removing apparatus 1 is viewed in the negative Y-axis direction.

端材除去装置1は、第1搬送部110と、第2搬送部120と、分断部200と、把持部300と、支持部400と、昇降部500と、移送部600と、回収部710、720と、を備える。   The scrap material removing apparatus 1 includes a first transport unit 110, a second transport unit 120, a dividing unit 200, a gripping unit 300, a support unit 400, an elevating unit 500, a transfer unit 600, a recovery unit 710, 720.

第1搬送部110と第2搬送部120は、ベルトコンベアにより構成される。第1搬送部110は、基板10を支持して搬送する。第2搬送部120は、第1搬送部110から搬出された基板10を受け入れるとともに、基板10を支持して搬送する。基板10の搬送方向は、X軸正方向である。   The 1st conveyance part 110 and the 2nd conveyance part 120 are comprised by the belt conveyor. The first transport unit 110 supports and transports the substrate 10. The second transport unit 120 receives the substrate 10 unloaded from the first transport unit 110 and supports and transports the substrate 10. The conveyance direction of the substrate 10 is the X axis positive direction.

分断部200は、第1搬送部110と第2搬送部120との間に配置されている。分断部200は、第1搬送部110と第2搬送部120の間の空間に突出する基板10の突出部分を分断する。分断部200は、上下に並ぶ一対のスクライブユニット210を備える。上側のスクライブユニット210は、基板10の上面にスクライブラインを形成し、下側のスクライブユニット210は、基板10の下面にスクライブラインを形成する。分断部200は、アーチ状の支持部材によって支持されており、図1には、便宜上、一対のスクライブユニット210のY軸正側およびY軸負側に位置する支持部材の図示が省略されている。また、分断部200の下側は、把持部300と昇降部500とがX軸方向に移動する際に通る空間201が設けられている。   The dividing unit 200 is disposed between the first transport unit 110 and the second transport unit 120. The dividing unit 200 divides the protruding portion of the substrate 10 protruding into the space between the first transfer unit 110 and the second transfer unit 120. The dividing unit 200 includes a pair of scribe units 210 arranged vertically. The upper scribe unit 210 forms a scribe line on the upper surface of the substrate 10, and the lower scribe unit 210 forms a scribe line on the lower surface of the substrate 10. The dividing portion 200 is supported by an arch-shaped support member. In FIG. 1, illustration of support members positioned on the Y axis positive side and the Y axis negative side of the pair of scribe units 210 is omitted for convenience. . In addition, a space 201 through which the gripping unit 300 and the lifting unit 500 move in the X-axis direction is provided below the dividing unit 200.

スクライブユニット210は、カッターホイール211と、昇降機構212と、支持部材213と、支持部材213と、レール214と、ボールネジ215と、を備える。カッターホイール211は、昇降機構212に設けられたホイールホルダに、回転可能となるよう取り付けられている。昇降機構212は、カッターホイール211を昇降させる。昇降機構212は、支持部材213に設置されている。レール214は、Y軸方向に延びており、支持部材213は、レール214に沿ってY軸方向に移動可能となるようレール214に支持されている。ボールネジ215は、Y軸方向に延びており、支持部材213をY軸方向に移動させる。ボールネジ215に接続された図示しないモータが駆動されることにより、支持部材213がY軸方向に移動される。   The scribe unit 210 includes a cutter wheel 211, an elevating mechanism 212, a support member 213, a support member 213, a rail 214, and a ball screw 215. The cutter wheel 211 is attached to a wheel holder provided in the lifting mechanism 212 so as to be rotatable. The lifting mechanism 212 moves the cutter wheel 211 up and down. The elevating mechanism 212 is installed on the support member 213. The rail 214 extends in the Y-axis direction, and the support member 213 is supported by the rail 214 so as to be movable along the rail 214 in the Y-axis direction. The ball screw 215 extends in the Y-axis direction, and moves the support member 213 in the Y-axis direction. By driving a motor (not shown) connected to the ball screw 215, the support member 213 is moved in the Y-axis direction.

スクライブ動作時には、基板10が第1搬送部110と第2搬送部120によって、一対のスクライブユニット210の間に位置づけられる。次に、上側の昇降機構212が、上側のカッターホイール211を下降させ、このカッターホイール211を基板10に押し付ける。同時に、下側の昇降機構212が、下側のカッターホイール211を上昇させ、このカッターホイール211を基板10に押し付ける。この状態で、支持部材213がY軸方向に移送される。これにより、基板10の上面および下面に、Y軸に平行なスクライブラインが形成される。なお、後述するように基板10を分断して基板10の端部から端材11を切り離す際には、通常のスクライブラインの形成時に比べて、カッターホイール211が基板10に強く押し付けられる。これにより、基板10に形成されるスクライブラインが深くなるため、端材11の切り離しを円滑に行うことができる。   During the scribe operation, the substrate 10 is positioned between the pair of scribe units 210 by the first transfer unit 110 and the second transfer unit 120. Next, the upper lifting mechanism 212 lowers the upper cutter wheel 211 and presses the cutter wheel 211 against the substrate 10. At the same time, the lower lifting mechanism 212 raises the lower cutter wheel 211 and presses the cutter wheel 211 against the substrate 10. In this state, the support member 213 is transferred in the Y-axis direction. Thereby, scribe lines parallel to the Y axis are formed on the upper and lower surfaces of the substrate 10. As will be described later, when the substrate 10 is divided and the end material 11 is separated from the end portion of the substrate 10, the cutter wheel 211 is pressed more strongly against the substrate 10 than when a normal scribe line is formed. Thereby, since the scribe line formed in the board | substrate 10 becomes deep, the end material 11 can be cut off smoothly.

把持部300は、基板10の突出部分を把持する。把持部300は、一対の把持部材311と、一対の軸312と、一対の弾性体313と、収容部材314と、を備える。把持部材311は、軸312に固定されている。軸312は、Y軸方向に延びており、軸312の中心軸を回転の中心として回転可能となるよう収容部材314に支持されている。把持部材311は、モータ322(図3参照)によって軸312が回転されることにより、軸312を回転の中心として回転する。2つの把持部材311は、互いに異なる方向に回転する。弾性体313は、把持部材311の端部に設置されており、弾性を有するとともに摩擦力を高める部材(たとえば、ゴム等)により構成されている。なお、図2を参照して説明するように、把持部300は、Y軸方向に3つ設けられている。   The grip part 300 grips the protruding portion of the substrate 10. The gripping unit 300 includes a pair of gripping members 311, a pair of shafts 312, a pair of elastic bodies 313, and a housing member 314. The gripping member 311 is fixed to the shaft 312. The shaft 312 extends in the Y-axis direction, and is supported by the housing member 314 so as to be rotatable about the central axis of the shaft 312. When the shaft 312 is rotated by the motor 322 (see FIG. 3), the gripping member 311 rotates around the shaft 312. The two gripping members 311 rotate in different directions. The elastic body 313 is installed at the end of the gripping member 311 and is configured by a member (for example, rubber) that has elasticity and increases frictional force. Note that, as will be described with reference to FIG. 2, three gripping units 300 are provided in the Y-axis direction.

支持部400は、把持部300がY軸方向を回転の中心として回転可能となるよう把持部300を支持している。支持部400は、軸401と支持部材402、403を備える。把持部300の収容部材314は、軸401に固定されている。軸401は、Y軸方向に延びており、軸401の中心軸を回転の中心として回転可能となるよう支持部材402に支持されている。把持部300の収容部材314は、モータ411(図3参照)によって軸401が回転されることにより、軸401を回転の中心として回転する。軸401は、1つの把持部300に対して1つ設けられている。支持部材402は、1つの軸401に対して2つ設けられている。支持部材403は、Y軸方向に延びており、支持部材402の下端を支持している。   The support unit 400 supports the grip unit 300 so that the grip unit 300 can rotate about the Y-axis direction as a center of rotation. The support unit 400 includes a shaft 401 and support members 402 and 403. The housing member 314 of the grip unit 300 is fixed to the shaft 401. The shaft 401 extends in the Y-axis direction, and is supported by the support member 402 so as to be rotatable about the central axis of the shaft 401 as the center of rotation. The housing member 314 of the gripping unit 300 rotates about the shaft 401 as the center of rotation when the shaft 401 is rotated by a motor 411 (see FIG. 3). One shaft 401 is provided for one grip portion 300. Two support members 402 are provided for one shaft 401. The support member 403 extends in the Y-axis direction and supports the lower end of the support member 402.

昇降部500は、レール501と支持部材502を備えている。レール501は、支持部材403のY軸正側およびY軸負側において1つずつ設けられている。支持部材502は、Y軸方向に延びている。2本のレール501は、支持部材502の上面に設置されている。支持部400は、2本のレール501に沿ってZ軸方向に移動可能となるよう2本のレール501に支持されている。昇降部500は、モータ513(図3参照)により、支持部400をレール501に沿ってZ軸方向に昇降させる。   The elevating unit 500 includes a rail 501 and a support member 502. One rail 501 is provided on each of the Y-axis positive side and the Y-axis negative side of the support member 403. The support member 502 extends in the Y-axis direction. The two rails 501 are installed on the upper surface of the support member 502. The support part 400 is supported by the two rails 501 so as to be movable in the Z-axis direction along the two rails 501. The elevating unit 500 elevates the support unit 400 in the Z-axis direction along the rail 501 by a motor 513 (see FIG. 3).

移送部600は、X軸方向に延びた2本のレール601を備える。2本のレール501は、Y軸方向に並んでいる。移送部600は、モータ613(図2参照)により、昇降部500をレール601に沿ってX軸方向に移送する。   The transfer unit 600 includes two rails 601 extending in the X-axis direction. The two rails 501 are arranged in the Y axis direction. The transfer unit 600 transfers the elevating unit 500 along the rail 601 in the X-axis direction by a motor 613 (see FIG. 2).

回収部710は、第2搬送部120のX軸負側の端部の真下付近に設置されており、回収部720は、第1搬送部110のX軸正側の端部の真下付近に設置されている。回収部710、720は、上部が上方向に開放されており、端材11(図9、17参照)を収容する。   The collection unit 710 is installed near the lower end of the second transport unit 120 on the X axis negative side, and the recovery unit 720 is installed near the lower end of the first transport unit 110 on the X axis positive side. Has been. The collection units 710 and 720 are open at the top and house the end material 11 (see FIGS. 9 and 17).

図2は、端材除去装置1を上から見た場合の構成を模式的に示す平面図である。   FIG. 2 is a plan view schematically showing a configuration when the scrap material removing apparatus 1 is viewed from above.

カッターホイール211は、レール214(図1参照)に沿ってY軸方向に移動する。把持部300は、支持部材403の上面側において、Y軸方向に3つ配置されている。移送部600は、ベルト611と、一対のプーリ612と、モータ613と、を備える。ベルト611は、一対のプーリ612に架けられている。一対のプーリ612は、間隔を開けてX軸方向に並ぶように配置されている。X軸負側のプーリ612は、第1搬送部110のX軸正側の端部の真下付近に配置されており、X軸正側のプーリ612は、第2搬送部120のX軸負側の端部の真下付近に配置されている。モータ613の駆動軸は、X軸負側のプーリ612に接続されている。昇降部500の支持部材502の下面は、ベルト611に固定されている。モータ613が駆動されると、ベルト611がX軸方向に移動し、ベルト611に固定された昇降部500がX軸方向に移送される。   The cutter wheel 211 moves in the Y-axis direction along the rail 214 (see FIG. 1). Three grip portions 300 are arranged in the Y-axis direction on the upper surface side of the support member 403. The transfer unit 600 includes a belt 611, a pair of pulleys 612, and a motor 613. The belt 611 is hung on a pair of pulleys 612. The pair of pulleys 612 are arranged so as to be aligned in the X-axis direction with a gap therebetween. The X-axis negative pulley 612 is disposed near the X-axis positive side end of the first transport unit 110, and the X-axis positive pulley 612 is the X-axis negative side of the second transport unit 120. It is arranged just under the end of the. The drive shaft of the motor 613 is connected to the pulley 612 on the X axis negative side. The lower surface of the support member 502 of the elevating unit 500 is fixed to the belt 611. When the motor 613 is driven, the belt 611 moves in the X-axis direction, and the elevating unit 500 fixed to the belt 611 is transferred in the X-axis direction.

図3は、端材除去装置1の一部をX軸負方向に見た場合の構成を模式的に示す側面図である。   FIG. 3 is a side view schematically showing a configuration when a part of the scrap material removing device 1 is viewed in the negative X-axis direction.

把持部300は、収容部材314の内部に、2つのギア321と、モータ322と、を備える。ギア321は、2つの軸312にそれぞれ固定されており、2つのギア321は互いに噛み合っている。モータ322の駆動軸は、2つの軸312のうち、一方の軸312に接続されている。   The gripping unit 300 includes two gears 321 and a motor 322 inside the housing member 314. The gears 321 are fixed to the two shafts 312 respectively, and the two gears 321 mesh with each other. The drive shaft of the motor 322 is connected to one of the two shafts 312.

モータ322が駆動されると、モータ322の駆動軸が接続された軸312がY軸まわりに回転する。このとき、2つのギア321は互いに噛み合っているため、一方の軸312の回転に合わせて、他方の軸312も回転する。これにより、2つの把持部材311が、それぞれ設置された軸312を回転の中心として回転する。また、このとき、ギア321の回転方向は互いに逆方向となるため、把持部材311の先端部分は、互いに近づけられ、または、互いに離間する。把持部材311の先端部分が互いに近づけられることによって、一対の把持部材311により基板10の突出部分が把持される。把持部材311の先端部分が互いに離間することによって、一対の把持部材311により把持された端材11(図9、17参照)が離される。   When the motor 322 is driven, the shaft 312 to which the drive shaft of the motor 322 is connected rotates around the Y axis. At this time, since the two gears 321 mesh with each other, the other shaft 312 also rotates in accordance with the rotation of one shaft 312. As a result, the two gripping members 311 rotate around the shafts 312 installed as the centers of rotation. At this time, since the rotation directions of the gears 321 are opposite to each other, the tip portions of the gripping members 311 are brought close to each other or separated from each other. The protruding portions of the substrate 10 are gripped by the pair of gripping members 311 by bringing the tip portions of the gripping members 311 closer to each other. When the tip portions of the gripping members 311 are separated from each other, the end material 11 (see FIGS. 9 and 17) gripped by the pair of gripping members 311 is released.

支持部400は、3つの把持部300にそれぞれ対応するモータ411を備える。モータ411は、支持部材402に設置されており、モータ411の駆動軸は、軸401に接続されている。モータ411が駆動されると、軸401に固定された把持部300が軸401を回転の中心として回転する。   The support unit 400 includes motors 411 corresponding to the three gripping units 300, respectively. The motor 411 is installed on the support member 402, and the drive shaft of the motor 411 is connected to the shaft 401. When the motor 411 is driven, the grip portion 300 fixed to the shaft 401 rotates about the shaft 401 as a center of rotation.

昇降部500は、ベルト511と、一対のプーリ512と、モータ513と、固定部材514と、を備える。ベルト511は、一対のプーリ512に架けられている。一対のプーリ512は、間隔を開けてZ軸方向に並ぶように配置されている。モータ513の駆動軸は、Z軸正側のプーリ512に接続されている。固定部材514は、ベルト511と、支持部400の支持部材403とを接続している。モータ513が駆動されると、ベルト511がZ軸方向に移動し、ベルト511に固定された支持部400がZ軸方向に昇降する。   The elevating unit 500 includes a belt 511, a pair of pulleys 512, a motor 513, and a fixing member 514. The belt 511 is hung on a pair of pulleys 512. The pair of pulleys 512 are arranged so as to be aligned in the Z-axis direction with a gap therebetween. The drive shaft of the motor 513 is connected to the pulley 512 on the positive side of the Z axis. The fixing member 514 connects the belt 511 and the support member 403 of the support unit 400. When the motor 513 is driven, the belt 511 moves in the Z-axis direction, and the support part 400 fixed to the belt 511 moves up and down in the Z-axis direction.

次に、図4〜18を参照して、端材除去装置1の動作について説明する。   Next, the operation of the scrap material removing apparatus 1 will be described with reference to FIGS.

図4に示すように、まず、把持部300が、分断部200と第2搬送部120との間の空間において、搬送される基板10と同じ高さに位置付けられる。そして、第1搬送部110に支持された基板10が、第1搬送部110によりX軸正方向に搬送され、第1搬送部110と第2搬送部120の間の空間に突出させられる。第1搬送部110から突出した基板10の突出部分が、把持部300の把持部材311まで移動すると、把持部材311が軸312を中心として回転される。これにより、図4に示すように、基板10の突出部分が、把持部材311により把持される。   As shown in FIG. 4, first, the gripping unit 300 is positioned at the same height as the substrate 10 to be transported in the space between the dividing unit 200 and the second transport unit 120. Then, the substrate 10 supported by the first transport unit 110 is transported in the X-axis positive direction by the first transport unit 110 and protruded into the space between the first transport unit 110 and the second transport unit 120. When the protruding portion of the substrate 10 protruding from the first transport unit 110 moves to the gripping member 311 of the gripping unit 300, the gripping member 311 is rotated about the shaft 312. Thereby, as shown in FIG. 4, the protruding portion of the substrate 10 is held by the holding member 311.

続いて、図5に示すように、通常のスクライブラインの形成時に比べて強い力で、上側のカッターホイール211が、基板10の上面に押し付けられ、下側のカッターホイール211が、基板10の下面に押し付けられる。この状態で、一対のカッターホイール211が、Y軸方向に移送される。これにより、基板10の上面と下面には、Y軸に平行であり、かつ、深いスクライブラインが形成される。ここで、このスクライブラインの形成によって基板10は完全に分断されておらず、スクライブラインよりもX軸正側に位置する基板10は、スクライブラインよりもX軸負側に位置する基板10と僅かに繋がっている。   Subsequently, as shown in FIG. 5, the upper cutter wheel 211 is pressed against the upper surface of the substrate 10 with a stronger force than when a normal scribe line is formed, and the lower cutter wheel 211 is pressed against the lower surface of the substrate 10. Pressed against. In this state, the pair of cutter wheels 211 are transferred in the Y-axis direction. Thus, deep scribe lines that are parallel to the Y axis are formed on the upper and lower surfaces of the substrate 10. Here, the substrate 10 is not completely divided by the formation of the scribe line, and the substrate 10 positioned on the X axis positive side with respect to the scribe line is slightly different from the substrate 10 positioned on the X axis negative side with respect to the scribe line. It is connected to.

続いて、図6に示すように、一対のカッターホイール211が基板10から離される。そして、昇降部500が、移送部600によりX軸正方向に僅かに移送され、支持部400が、昇降部500によりZ軸正方向に僅かに移送される。これにより、把持部300が、右下へと所定の距離だけ移動される。この動作により、基板10が、分断部200によって形成されたスクライブラインにおいて分断され、把持部300により把持された基板10の突出部分が端材11となる。端材11は不要であるため、この後の動作により回収部710に廃棄される。   Subsequently, as shown in FIG. 6, the pair of cutter wheels 211 is separated from the substrate 10. The elevating unit 500 is slightly transferred in the positive direction of the X axis by the transfer unit 600, and the support unit 400 is slightly transferred in the positive direction of the Z axis by the elevating unit 500. As a result, the grip 300 is moved to the lower right by a predetermined distance. By this operation, the substrate 10 is divided at the scribe line formed by the dividing portion 200, and the protruding portion of the substrate 10 held by the holding portion 300 becomes the end material 11. Since the end material 11 is unnecessary, it is discarded by the recovery unit 710 by the subsequent operation.

続いて、図7に示すように、Y軸負方向に見て軸401が時計回りに90°回転されることにより、把持部300が、Y軸負方向に見て時計回りに90°回転される。これにより、把持部300に把持された端材11が上方向に持ち上げられる。   Subsequently, as shown in FIG. 7, when the shaft 401 is rotated 90 ° clockwise as viewed in the negative Y-axis direction, the gripping unit 300 is rotated 90 ° clockwise as viewed in the negative Y-axis direction. The Thereby, the end material 11 gripped by the grip portion 300 is lifted upward.

続いて、図8に示すように、支持部400が、昇降部500によりZ軸正方向に移送される。これにより、端材11を把持する把持部300が下方向に移送される。   Subsequently, as shown in FIG. 8, the support part 400 is transferred in the positive direction of the Z axis by the elevating part 500. Thereby, the holding part 300 which holds the end material 11 is transferred downward.

続いて、図9に示すように、Y軸負方向に見て軸401が時計回りに90°回転されることにより、把持部300が、Y軸負方向に見て時計回りに90°回転される。これにより、把持部300に把持された端材11が、回収部710の上方に位置付けられる。そして、把持部材311が軸312を中心として回転される。これにより、図9に示すように、端材11が、把持部300から離れ、回収部710に回収される。   Subsequently, as shown in FIG. 9, when the shaft 401 is rotated 90 ° clockwise as viewed in the Y-axis negative direction, the gripping unit 300 is rotated 90 ° clockwise as viewed in the Y-axis negative direction. The Thereby, the end material 11 gripped by the gripping unit 300 is positioned above the collection unit 710. Then, the gripping member 311 is rotated around the shaft 312. As a result, as shown in FIG. 9, the end material 11 is separated from the gripping portion 300 and is recovered by the recovery portion 710.

続いて、図10に示すように、昇降部500が、移送部600によりX軸負方向に所定の距離だけ移送される。これにより、把持部300と、支持部400と、昇降部500とが、第1搬送部110と分断部200との間の空間に位置付けられる。なお、このとき、把持部300と、支持部400と、昇降部500とは、分断部200の下に位置する空間201を通って、分断部200のX軸正側からX軸負側へと移送される。   Subsequently, as shown in FIG. 10, the elevating unit 500 is transported by a predetermined distance in the negative direction of the X axis by the transport unit 600. Thereby, the gripping unit 300, the support unit 400, and the elevating unit 500 are positioned in the space between the first transport unit 110 and the dividing unit 200. At this time, the gripping part 300, the support part 400, and the elevating part 500 pass through the space 201 located below the dividing part 200, from the X axis positive side of the dividing part 200 to the X axis negative side. Be transported.

なお、図9、10に示すように、把持部300が、分断部200よりも下に位置付けられると、第1搬送部110と第2搬送部120により基板10がX軸正方向に搬送され、順次、分断部200が、基板10の上面と下面にY軸に平行なスクライブラインを形成する。この場合、通常の強さでカッターホイール211が基板10に押し付けられる。   As shown in FIGS. 9 and 10, when the gripping unit 300 is positioned below the dividing unit 200, the substrate 10 is transported in the X-axis positive direction by the first transport unit 110 and the second transport unit 120. The dividing part 200 sequentially forms scribe lines parallel to the Y axis on the upper and lower surfaces of the substrate 10. In this case, the cutter wheel 211 is pressed against the substrate 10 with normal strength.

スクライブラインの形成において基板10がX軸正方向に搬送されたことにより、基板10のX軸負側の端部が分断部200の位置まで搬送されると、図11に示すように、支持部400が、昇降部500によりZ軸負方向に所定の距離だけ移送される。これにより、把持部300が、第1搬送部110と分断部200との間の空間において、搬送される基板10と同じ高さに位置付けられる。   When the substrate 10 is transported in the positive direction of the X-axis in forming the scribe line, when the end on the negative side of the X-axis of the substrate 10 is transported to the position of the dividing portion 200, as shown in FIG. 400 is transferred by the elevating unit 500 by a predetermined distance in the negative Z-axis direction. Thereby, the gripping unit 300 is positioned at the same height as the substrate 10 to be transported in the space between the first transport unit 110 and the dividing unit 200.

続いて、図12に示すように、第2搬送部120に支持された基板10が、第2搬送部120によりX軸負方向に搬送される。第2搬送部120から突出した基板10の突出部分が、把持部300の把持部材311まで移動すると、把持部材311が軸312を中心として回転される。これにより、図12に示すように、基板10の突出部分が、把持部材311により把持される。   Subsequently, as illustrated in FIG. 12, the substrate 10 supported by the second transport unit 120 is transported by the second transport unit 120 in the negative X-axis direction. When the protruding portion of the substrate 10 protruding from the second transport unit 120 moves to the gripping member 311 of the gripping unit 300, the gripping member 311 is rotated about the shaft 312. Thereby, as shown in FIG. 12, the protruding portion of the substrate 10 is gripped by the gripping member 311.

続いて、図13に示すように、通常のスクライブラインの形成時に比べて強い力で、上側のカッターホイール211が、基板10の上面に押し付けられ、下側のカッターホイール211が、基板10の下面に押し付けられる。この状態で、一対のカッターホイール211が、Y軸方向に移送される。これにより、基板10の上面と下面には、Y軸に平行であり、かつ、深いスクライブラインが形成される。この場合も、このスクライブラインの形成によって基板10は完全に分断されておらず、スクライブラインよりもX軸負側に位置する基板10は、スクライブラインよりもX軸正側に位置する基板10と僅かに繋がっている。   Subsequently, as shown in FIG. 13, the upper cutter wheel 211 is pressed against the upper surface of the substrate 10 with a stronger force than when a normal scribe line is formed, and the lower cutter wheel 211 is moved to the lower surface of the substrate 10. Pressed against. In this state, the pair of cutter wheels 211 are transferred in the Y-axis direction. Thus, deep scribe lines that are parallel to the Y axis are formed on the upper and lower surfaces of the substrate 10. Also in this case, the substrate 10 is not completely divided by the formation of the scribe line, and the substrate 10 positioned on the X axis negative side with respect to the scribe line is different from the substrate 10 positioned on the X axis positive side with respect to the scribe line. Slightly connected.

続いて、図14に示すように、一対のカッターホイール211が基板10から離される。そして、昇降部500が、移送部600によりX軸負方向に僅かに移送され、支持部400が、昇降部500によりZ軸正方向に僅かに移送される。これにより、把持部300が、左下へと所定の距離だけ移動される。この動作により、基板10が、分断部200によって形成されたスクライブラインにおいて分断され、把持部300により把持された基板10が端材11となる。端材11は不要であるため、この後の動作により回収部720に廃棄される。   Subsequently, as shown in FIG. 14, the pair of cutter wheels 211 is separated from the substrate 10. The elevating unit 500 is slightly transferred in the negative X-axis direction by the transfer unit 600, and the support unit 400 is slightly transferred in the Z-axis positive direction by the elevating unit 500. As a result, the grip 300 is moved to the lower left by a predetermined distance. By this operation, the substrate 10 is divided at the scribe line formed by the dividing portion 200, and the substrate 10 held by the holding portion 300 becomes the end material 11. Since the end material 11 is unnecessary, it is discarded by the recovery unit 720 by the subsequent operation.

続いて、図15に示すように、Y軸負方向に見て軸401が反時計回りに90°回転されることにより、把持部300が、Y軸負方向に見て反時計回りに90°回転される。これにより、把持部300に把持された端材11が上方向に持ち上げられる。   Subsequently, as shown in FIG. 15, when the shaft 401 is rotated 90 ° counterclockwise when viewed in the negative Y-axis direction, the gripping unit 300 is rotated 90 ° counterclockwise when viewed in the negative Y-axis direction. It is rotated. Thereby, the end material 11 gripped by the grip portion 300 is lifted upward.

続いて、図16に示すように、支持部400が、昇降部500によりZ軸正方向に所定の距離だけ移送される。これにより、端材11を把持する把持部300が下方向に移送される。   Subsequently, as shown in FIG. 16, the support part 400 is moved by a predetermined distance in the positive direction of the Z axis by the elevating part 500. Thereby, the holding part 300 which holds the end material 11 is transferred downward.

続いて、図17に示すように、Y軸負方向に見て軸401が反時計回りに90°回転されることにより、把持部300が、Y軸負方向に見て反時計回りに90°回転される。これにより、把持部300に把持された端材11が、回収部720の上方に位置付けられる。そして、把持部材311が軸312を中心として回転される。これにより、図17に示すように、端材11が、把持部300から離れ、回収部720に回収される。   Subsequently, as shown in FIG. 17, when the shaft 401 is rotated 90 ° counterclockwise when viewed in the negative Y-axis direction, the gripping portion 300 is rotated 90 ° counterclockwise when viewed in the negative Y-axis direction. It is rotated. Thereby, the end material 11 gripped by the gripping unit 300 is positioned above the collection unit 720. Then, the gripping member 311 is rotated around the shaft 312. As a result, as shown in FIG. 17, the end material 11 is separated from the gripping unit 300 and is collected by the collecting unit 720.

X軸負側の端材11が取り除かれた基板10は、第2搬送部120によりX軸正方向に搬送され、端材除去装置1のX軸正側に位置するブレイク装置(図示せず)によって、スクライブラインに沿って基板10が分断される。   The substrate 10 from which the end material 11 on the X-axis negative side has been removed is transported in the X-axis positive direction by the second transport unit 120, and is a break device (not shown) located on the X-axis positive side of the end material removing apparatus 1. Thus, the substrate 10 is divided along the scribe line.

続いて、図18に示すように、昇降部500が、移送部600によりX軸正方向に所定の距離だけ移送される。これにより、把持部300と、支持部400と、昇降部500とが、分断部200と第1搬送部110との間の空間に位置付けられる。この場合も、把持部300と、支持部400と、昇降部500とは、分断部200の下に位置する空間201を通って、分断部200のX軸負側からX軸正側へと移送される。   Subsequently, as shown in FIG. 18, the elevating unit 500 is transported by a predetermined distance in the X-axis positive direction by the transport unit 600. Thereby, the gripping unit 300, the support unit 400, and the elevating unit 500 are positioned in the space between the dividing unit 200 and the first transport unit 110. Also in this case, the gripping unit 300, the support unit 400, and the elevating unit 500 are transferred from the X-axis negative side of the dividing unit 200 to the X-axis positive side through the space 201 positioned below the dividing unit 200. Is done.

その後、支持部400が、昇降部500により上方向に移送され、把持部300が、図4と同様、搬送される基板10と同じ高さに位置付けられる。そして、図4〜18と同様の動作が行われ、第1搬送部110によって新たに搬送された基板10から、搬送方向前側の端材11および搬送方向後ろ側の端材11が取り除かれ、それぞれ、回収部710、720に廃棄される。   Thereafter, the support unit 400 is moved upward by the elevating unit 500, and the gripping unit 300 is positioned at the same height as the substrate 10 to be transported, as in FIG. 4 to 18 are performed, the end material 11 on the front side in the transport direction and the end material 11 on the rear side in the transport direction are removed from the substrate 10 newly transported by the first transport unit 110, respectively. , Discarded in the collection units 710 and 720.

図19は、端材除去装置1の構成を示すブロック図である。   FIG. 19 is a block diagram illustrating a configuration of the scrap material removing apparatus 1.

端材除去装置1は、図1〜3に示した第1搬送部110と、第2搬送部120と、分断部200と、把持部300と、支持部400と、昇降部500と、移送部600と、を備える。また、端材除去装置1は、上記構成に加えて、制御部1aを備える。   The scrap material removing apparatus 1 includes the first transport unit 110, the second transport unit 120, the dividing unit 200, the gripping unit 300, the support unit 400, the lifting unit 500, and the transfer unit illustrated in FIGS. 600. Moreover, in addition to the said structure, the end material removal apparatus 1 is provided with the control part 1a.

分断部200は、スクライブラインを形成するための一対のスクライブユニット210を含んでいる。把持部300は、把持部材311を回転させるためのモータ322を含んでいる。支持部400は、把持部300を回転させるためのモータ411を含んでいる。昇降部500は、支持部400を昇降させるためのモータ513を含んでいる。移送部600は、昇降部500を移送するためのモータ613を含んでいる。   The dividing part 200 includes a pair of scribe units 210 for forming a scribe line. The gripping unit 300 includes a motor 322 for rotating the gripping member 311. The support part 400 includes a motor 411 for rotating the grip part 300. The elevating unit 500 includes a motor 513 for elevating the support unit 400. The transfer unit 600 includes a motor 613 for transferring the elevating unit 500.

制御部1aは、演算処理部と記憶部を含む。演算処理部は、たとえば、CPU、MPUなどにより構成される。記憶部は、たとえば、フラッシュメモリ、ハードディスクなどにより構成される。制御部1aは、記憶部に記憶されたプログラムに従って、端材除去装置1の各部から信号を受信し、端材除去装置1の各部を制御する。   The control unit 1a includes an arithmetic processing unit and a storage unit. The arithmetic processing unit is configured by, for example, a CPU, an MPU, and the like. The storage unit is configured by, for example, a flash memory or a hard disk. The control unit 1a receives signals from each part of the scrap material removing apparatus 1 according to a program stored in the storage unit, and controls each part of the scrap material removing apparatus 1.

<実施形態の効果>
本実施形態によれば、以下の効果が奏される。
<Effect of embodiment>
According to this embodiment, the following effects are produced.

把持部300は、図4に示すように、分断部200によって端材11となる基板10の突出部分が、第1搬送部110側から突出する場合、基板10の搬送方向前側から基板10の突出部分を把持する。また、把持部300は、図12に示すように、分断部200によって端材11となる基板10の突出部分が、第2搬送部120側から突出する場合、基板10の搬送方向後ろ側から基板10の突出部分を把持する。このように、分断部200による分断動作の際に、基板10のX軸正側の端部から分断される端材11と、基板10のX軸負側の端部から分断される端材11とが、把持部300によって把持される。したがって、端材11が落下して装置の機構部等(たとえば、スクライブユニット210のレール214やボールネジ215)に入り込むことがない。よって、端材11が原因となる装置の動作不良を抑制できる。   As shown in FIG. 4, when the protruding portion of the substrate 10 that becomes the end material 11 protrudes from the first transfer unit 110 side by the dividing unit 200, the holding unit 300 protrudes from the front side of the transfer direction of the substrate 10. Grab the part. In addition, as shown in FIG. 12, when the protruding portion of the substrate 10 that becomes the end material 11 protrudes from the second transfer unit 120 side by the dividing unit 200, the gripping unit 300 is formed from the rear side in the transfer direction of the substrate 10. Grip 10 protruding parts. Thus, during the cutting operation by the dividing unit 200, the end material 11 that is divided from the end on the X axis positive side of the substrate 10 and the end material 11 that is divided from the end on the X axis negative side of the substrate 10. Are gripped by the gripping unit 300. Therefore, the end material 11 does not fall and enter the mechanical part or the like (for example, the rail 214 or the ball screw 215 of the scribe unit 210). Therefore, the malfunction of the apparatus caused by the end material 11 can be suppressed.

把持部300は、搬送方向前側および搬送方向後ろ側の両方から基板10の突出部を把持すべく、把持の向きが180°回転可能に支持部400に支持されている。たとえば、図4に示すように、基板10が第1搬送部110側から突出している場合、把持部300の把持の向きはX軸負方向とされ、図12に示すように、基板10が第2搬送部120側から突出している場合、把持部300の把持の向きはX軸正方向とされる。このように、把持の向きが180°反転可能であると、搬送方向前側および搬送方向後ろ側の両方から基板10の突出部分を把持するために、把持部300を1つだけ設ければよいため、端材除去装置1に設ける把持部300を小型化できる。よって、第1搬送部110と第2搬送部120との間の空間に円滑に把持部300を位置付けることができる。   The gripping unit 300 is supported by the support unit 400 so that the gripping direction can be rotated by 180 ° in order to grip the protruding portion of the substrate 10 from both the front side in the transport direction and the rear side in the transport direction. For example, as shown in FIG. 4, when the substrate 10 protrudes from the first transport unit 110 side, the gripping direction of the gripping unit 300 is the negative X-axis direction, and as shown in FIG. 2 When projecting from the conveying unit 120 side, the gripping direction of the gripping unit 300 is the X-axis positive direction. As described above, if the gripping direction can be reversed by 180 °, only one gripping part 300 needs to be provided in order to grip the protruding portion of the substrate 10 from both the front side in the transport direction and the rear side in the transport direction. The grip 300 provided in the end material removing apparatus 1 can be downsized. Therefore, the gripping unit 300 can be positioned smoothly in the space between the first transport unit 110 and the second transport unit 120.

支持部400は、把持部300を支持しており、昇降部500は、支持部400を昇降させ、移送部600は、昇降部500を基板10の搬送方向に移送する。このように、支持部400を昇降させる昇降部500と、支持部400を搬送方向に移送する移送部600とが設けられると、第1搬送部110と第2搬送部120との間の空間を広げることなく、把持部300の把持の方向を円滑に変えることができる。   The support unit 400 supports the grip unit 300, the elevating unit 500 elevates the support unit 400, and the transfer unit 600 transfers the elevating unit 500 in the transport direction of the substrate 10. As described above, when the elevating unit 500 that raises and lowers the support unit 400 and the transfer unit 600 that transfers the support unit 400 in the transport direction, a space between the first transport unit 110 and the second transport unit 120 is provided. The direction of gripping the gripping part 300 can be changed smoothly without spreading.

基板10のX軸正側の端部から分断された端材11は、図9に示すように、分断部200よりも下の位置にあるときに、把持部300による把持が解除され、回収部710に廃棄される。また、基板10のX軸負側の端部から分断された端材11は、図17に示すように、分断部200よりも下の位置にあるときに、把持部300による把持が解除され、回収部720に廃棄される。これにより、分断部200に端材11が入り込むことを確実に抑止できる。   As shown in FIG. 9, when the end material 11 divided from the X-axis positive end of the substrate 10 is at a position below the dividing unit 200, the gripping by the gripping unit 300 is released, and the collection unit 710 is discarded. Further, as shown in FIG. 17, when the end material 11 divided from the X-axis negative side end portion of the substrate 10 is at a position below the dividing portion 200, the holding by the holding portion 300 is released, Discarded in the collection unit 720. Thereby, it can suppress reliably that the end material 11 enters into the parting part 200. FIG.

把持部300が基板10の突出部分の把持位置から下降する工程において、把持部300による把持が解除され、把持部300に把持された端材11が回収部710、720に廃棄される。把持部300が下降する工程とは、図6、14に示すように端材11の分断が行われた後、昇降部500によって把持部300が下方向に移動され、移送部600によってX軸方向に移送される直前までの工程のことである。これにより、把持部300が端材11を把持し続ける経路を短くできるため、端材11の移送時に誤って端材11が把持部300から落下することを抑制できる。   In the process in which the gripping part 300 is lowered from the gripping position of the protruding portion of the substrate 10, the gripping by the gripping part 300 is released, and the end material 11 gripped by the gripping part 300 is discarded in the collecting parts 710 and 720. The step of lowering the gripping part 300 means that after the end material 11 is divided as shown in FIGS. 6 and 14, the gripping part 300 is moved downward by the elevating part 500, and the transfer part 600 moves the X-axis direction. It is the process up to just before being transferred to. Thereby, since the path | route which the holding | grip part 300 continues holding | grip the end material 11 can be shortened, it can suppress that the end material 11 falls from the holding part 300 accidentally at the time of the transfer of the end material 11. FIG.

分断部200は、図5を参照して説明したように、分断動作において基板10にスクライブラインを形成する。その後、把持部300は、図5に示す基板10の突出部分の把持位置から、図6に示す位置に移動して、基板10から端材11を分離させる。同様に、分断部200は、図13を参照して説明したように、分断動作において基板10にスクライブラインを形成する。その後、把持部300は、図13に示す基板10の突出部分の把持位置から、図14に示す位置に移動して、基板10から端材11を分離させる。このように、分断部200の分断動作によっては端材11が分離されず、把持部300が図6、14の位置に移動することにより端材11が切り離される。これにより、分断動作において端材11が落下することを抑止できる。   As described with reference to FIG. 5, the dividing unit 200 forms a scribe line on the substrate 10 in the dividing operation. Thereafter, the holding unit 300 moves from the holding position of the protruding portion of the substrate 10 illustrated in FIG. 5 to the position illustrated in FIG. 6, and separates the end material 11 from the substrate 10. Similarly, the dividing unit 200 forms a scribe line on the substrate 10 in the dividing operation as described with reference to FIG. Thereafter, the holding unit 300 moves from the holding position of the protruding portion of the substrate 10 illustrated in FIG. 13 to the position illustrated in FIG. 14, and separates the end material 11 from the substrate 10. Thus, the end material 11 is not separated by the dividing operation of the dividing portion 200, and the end material 11 is separated by moving the gripping portion 300 to the position of FIGS. Thereby, it can control that end material 11 falls in parting operation.

分断部200が、基板10の突出部分に対する分断動作を行う際に、把持部300は、図5、13に示すように、基板10の突出部分を把持する。このように、分断部200の分断動作時にも基板10の突出部分が把持されるため、端材11が落下することをより確実に抑止できる。   When the dividing unit 200 performs the dividing operation on the protruding portion of the substrate 10, the holding unit 300 holds the protruding portion of the substrate 10 as shown in FIGS. Thus, since the protrusion part of the board | substrate 10 is hold | gripped also at the time of the cutting | disconnection operation | movement of the parting part 200, it can suppress more reliably that the end material 11 falls.

<変更例>
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら制限されるものではなく、また、本発明の実施形態も上記以外に種々の変更が可能である。
<Example of change>
Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made to the embodiment of the present invention other than the above.

たとえば、上記実施形態では、回収部710、720が分断部200よりも下に設けられ、把持部300は、端材11を把持した状態で下降し、端材11を回収部710、720に廃棄した。しかしながら、これに限らず、回収部710、720が分断部200よりも上に設けられ、把持部300は、端材11を把持した状態で上昇し、端材11を回収部710、720に廃棄してもよい。この場合、たとえば、把持部300は、端材11を廃棄した後、分断部200の上側を通ってX軸方向に移送される。この場合においても、上記実施形態と同様、把持部300により端材11が把持されて回収部710、720に廃棄されるため、端材11が落下して装置の機構部等に入り込むことが抑制される。   For example, in the above-described embodiment, the collection units 710 and 720 are provided below the dividing unit 200, the gripping unit 300 is lowered while gripping the end material 11, and the end material 11 is discarded into the recovery unit 710 and 720. did. However, the present invention is not limited to this, and the collection units 710 and 720 are provided above the dividing unit 200, and the gripping unit 300 rises while gripping the end material 11, and discards the end material 11 into the recovery unit 710 and 720. May be. In this case, for example, the gripping part 300 is transferred in the X-axis direction through the upper side of the dividing part 200 after discarding the end material 11. Even in this case, the end material 11 is gripped by the gripping unit 300 and discarded to the collection units 710 and 720, so that the end material 11 is prevented from falling and entering the mechanical unit of the apparatus, as in the above embodiment. Is done.

ただし、この変更例では、分断部200よりも上の位置において把持部300による端材11の把持が解除されることになるため、分断部200に端材11が入り込む可能性が高くなる。したがって、上記実施形態のように、回収部710、720は分断部200よりも下に設けられるのが好ましい。   However, in this modified example, since the gripping of the end material 11 by the gripping unit 300 is released at a position above the dividing portion 200, the possibility that the end material 11 enters the dividing portion 200 is increased. Therefore, it is preferable that the collection units 710 and 720 are provided below the dividing unit 200 as in the above embodiment.

また、上記実施形態では、把持部300が、軸401を回転の中心として180°回転することにより、第1搬送部110側から突出した基板10と、第2搬送部120側から突出した基板10とを把持した。しかしながら、これに限らず、把持部300が、搬送方向に向けられた一対の把持部材と、搬送方向と反対に向けられた一対の把持部材とを備えてもよい。この場合、第1搬送部110側から突出した基板10は、搬送方向の反対に向けられた一対の把持部材により把持され、把持部300の下降とX軸負方向への移動を経て、端材11が回収部720に回収される。第2搬送部120側から突出した基板10は、搬送方向に向けられた一対の把持部材により把持され、把持部300の下降とX軸正方向への移動を経て、端材11が回収部710に回収される。   Further, in the above-described embodiment, the gripping unit 300 rotates 180 degrees about the axis 401 as the center of rotation, thereby causing the substrate 10 protruding from the first transfer unit 110 side and the substrate 10 protruding from the second transfer unit 120 side. And gripped. However, the present invention is not limited to this, and the gripping unit 300 may include a pair of gripping members oriented in the transport direction and a pair of gripping members oriented opposite to the transport direction. In this case, the substrate 10 protruding from the first transport unit 110 side is gripped by a pair of gripping members directed in the opposite direction of the transport direction, and after passing through the lowering of the grip unit 300 and moving in the negative direction of the X-axis, the end material 11 is recovered by the recovery unit 720. The substrate 10 protruding from the second transport unit 120 side is gripped by a pair of gripping members directed in the transport direction, and the end material 11 is recovered by the recovery unit 710 after the grip unit 300 is lowered and moved in the X-axis positive direction. To be recovered.

この変更例では、把持部300のX軸正側とX軸負側にそれぞれ一対の把持部材が突出するため、把持部300がX軸方向に大きくなる。また、上記実施形態に比べて、把持部300が端材11を把持し続ける経路が長くなるため、端材11の移送時に誤って端材11が把持部300から落下する可能性が高くなる。したがって、把持部300を小型化し、端材11が落下する可能性を低くするには、上記実施形態のように、把持部300が180°回転するのが好ましい。   In this modified example, since the pair of gripping members protrude on the X-axis positive side and the X-axis negative side of the gripper 300, the gripper 300 becomes larger in the X-axis direction. Further, as compared with the above-described embodiment, since the path where the gripping part 300 continues to grip the end material 11 becomes longer, the possibility that the end material 11 accidentally falls from the gripping part 300 when the end material 11 is transferred increases. Therefore, in order to reduce the size of the gripping part 300 and reduce the possibility that the end material 11 falls, it is preferable that the gripping part 300 rotates 180 ° as in the above-described embodiment.

あるいは、この変更例において、分断された端材11は、分断部200の真下に設けられた回収部により回収されてもよい。この場合、把持部300が端材11を把持し続ける経路は上記実施形態と同様に短いものの、端材11を把持する方向と端材11を離す方向とが同じであるため、分断部200に端材11が入り込む可能性が高くなる。したがって、上記実施形態のように、把持部300が180°回転し、端材11を把持する方向と端材11を離す方向とが、反対方向であるのが好ましい。   Alternatively, in this modified example, the divided end material 11 may be collected by a collection unit provided directly below the division unit 200. In this case, although the path where the gripping part 300 continues to grip the end material 11 is short as in the above-described embodiment, the direction in which the end material 11 is gripped and the direction in which the end material 11 is separated are the same. The possibility that the end material 11 enters is increased. Therefore, as in the above-described embodiment, it is preferable that the gripping portion 300 is rotated 180 °, and the direction in which the end material 11 is gripped and the direction in which the end material 11 is separated are opposite directions.

また、上記実施形態では、把持部300が180°回転したが、把持部300が回転することに代えて、図20(a)、(b)に示すように、把持部材311が180°回転してもよい。この変更例では、軸401が省略され、把持部300の収容部材314が、支持部材402に固定されている。また、把持部材311の端部には、上側と下側の両方に弾性体313が設置されている。   Moreover, in the said embodiment, although the holding part 300 rotated 180 degrees, it replaces with the rotation of the holding part 300, and as shown to Fig.20 (a), (b), the holding member 311 rotates 180 degrees. May be. In this modified example, the shaft 401 is omitted, and the housing member 314 of the grip portion 300 is fixed to the support member 402. Further, an elastic body 313 is provided on both the upper side and the lower side at the end of the gripping member 311.

この変更例では、第1搬送部110側から突出した基板10は、図20(a)の状態で、把持部材311によって把持され、把持部300の下降とX軸負方向への移動を経て、端材11が回収部720に回収される。続いて、一対の把持部材311が、図20(a)の状態から、さらに開く方向へと回転され、図20(b)に示す状態とされる。そして、第2搬送部120側から突出した基板10は、図20(b)の状態で、把持部材311によって把持され、把持部300の下降とX軸正方向への移動を経て、端材11が回収部710に回収される。   In this modified example, the substrate 10 protruding from the first transport unit 110 side is gripped by the gripping member 311 in the state of FIG. 20A, and after passing through the gripping unit 300 descending and moving in the negative X-axis direction, The end material 11 is collected by the collection unit 720. Subsequently, the pair of gripping members 311 is further rotated in the opening direction from the state of FIG. 20A to be in the state shown in FIG. And the board | substrate 10 which protruded from the 2nd conveyance part 120 side is hold | gripped by the holding member 311 in the state of FIG.20 (b), and the end material 11 passes through the downward movement of the holding part 300 and a movement to a X-axis positive direction. Is recovered by the recovery unit 710.

図20(a)、(b)に示す変更例では、把持部300を回転させるための機構を設ける必要がないため、把持部300の小型化を実現できる。ただし、上記実施形態に比べて、把持部300が端材11を把持し続ける経路が長くなるため、端材11が落下する可能性を低くするには、上記実施形態のように、把持部300が180°回転するのが好ましい。   In the modified examples shown in FIGS. 20A and 20B, it is not necessary to provide a mechanism for rotating the gripping unit 300, so that the gripping unit 300 can be downsized. However, since the path where the gripping part 300 continues to grip the end material 11 becomes longer than in the above embodiment, the gripping part 300 is reduced as in the above embodiment in order to reduce the possibility of the end material 11 falling. Is preferably rotated 180 °.

また、上記実施形態では、図3に示したように、モータ322により軸312が回転させられることにより、把持部材311が開閉した。また、モータ411により軸401が回転させられることにより、把持部300が支持部400に対して回転した。しかしながら、これに限らず、軸312がベルトに架けられ、このベルトの他端がプーリに架けられ、モータによりプーリが回転させられることにより、把持部材311が開閉させられてもよい。同様に、軸401がベルトに架けられ、このベルトの他端がプーリに架けられ、モータによりプーリが回転させられることにより、把持部300が支持部400に対して回転させられてもよい。   Moreover, in the said embodiment, as shown in FIG. 3, when the axis | shaft 312 was rotated by the motor 322, the holding member 311 opened and closed. In addition, the grip portion 300 is rotated with respect to the support portion 400 by rotating the shaft 401 by the motor 411. However, the present invention is not limited thereto, and the gripping member 311 may be opened and closed by the shaft 312 being hung on a belt, the other end of the belt being hung on a pulley, and the pulley being rotated by a motor. Similarly, the gripping unit 300 may be rotated with respect to the support unit 400 by the shaft 401 being hung on a belt, the other end of the belt being hung on a pulley, and the pulley being rotated by a motor.

また、上記実施形態では、把持部材311の開閉と、把持部300の回転と、支持部400の上下方向の移送と、昇降部500のX軸方向への移送とが、モータを駆動源として行われた。しかしながら、駆動源はモータに限らず、たとえば、エアシリンダーであってもよい。また、把持部材311の開閉と、把持部300の回転とが、別々のモータを駆動源として行われたが、1つのモータを駆動源として行われてもよい。   In the above embodiment, the opening and closing of the gripping member 311, the rotation of the gripping unit 300, the vertical transfer of the support unit 400, and the transfer of the lifting unit 500 in the X-axis direction are performed using a motor as a drive source. It was broken. However, the drive source is not limited to a motor, and may be an air cylinder, for example. Further, the opening / closing of the gripping member 311 and the rotation of the gripping unit 300 are performed using separate motors as drive sources, but may be performed using one motor as a drive source.

また、上記実施形態では、端材11を切り離す直前に行われるスクライブラインの形成において、基板10は完全に分断されないが、これに限らず、基板10は完全に分断されてもよい。上記実施形態では、図4、12に示したように、あらかじめ基板10の突出部分が把持部300により把持されているため、端材11を切り離す直前に行われるスクライブラインの形成において基板10が完全に分断されたとしても、端材11が落下することが抑止される。なお、スクライブラインの形成の後で把持部300による把持が行われる場合には、端材11の落下を防止するために、上記実施形態と同様、基板10は完全に分断されないのが好ましい。   Moreover, in the said embodiment, in formation of the scribe line performed just before cutting off the end material 11, the board | substrate 10 is not divided completely, but it is not restricted to this, The board | substrate 10 may be completely divided. In the above embodiment, as shown in FIGS. 4 and 12, since the protruding portion of the substrate 10 is gripped by the gripping portion 300 in advance, the substrate 10 is completely formed in the formation of the scribe line performed immediately before the end material 11 is cut off. Even if divided, the end material 11 is prevented from falling. In addition, when the holding | grip part 300 is held after formation of a scribe line, in order to prevent fall of the end material 11, it is preferable that the board | substrate 10 is not completely divided like the said embodiment.

また、上記実施形態では、上下に一対のスクライブユニット210が設けられたが、いずれか一方のスクライブユニット210のみが設けられてもよい。たとえば、上側のスクライブユニット210のみが設けられてもよい。   Moreover, in the said embodiment, although a pair of scribe unit 210 was provided up and down, only one of the scribe units 210 may be provided. For example, only the upper scribe unit 210 may be provided.

また、上記実施形態では、第1搬送部110および第2搬送部120がベルトコンベアにより構成されたが、これに限らず、図21に示すように、第1搬送部110は、2つのベルトコンベア111と、3つのテーブル112とを備え、第2搬送部120は、2つのベルトコンベア121と、3つのテーブル122とを備えてもよい。テーブル112、122の上面には、基板10を吸着するための多数の孔が設けられている。図示しない空圧源によって、テーブル112、122の孔に圧力が付与される。スクライブラインの形成の際には、テーブル112、122の孔に負圧が付与されることにより、基板10がテーブル112に吸着される。   Moreover, in the said embodiment, although the 1st conveyance part 110 and the 2nd conveyance part 120 were comprised by the belt conveyor, as shown in FIG. 21, the 1st conveyance part 110 has two belt conveyors. 111 and three tables 112, and the second transport unit 120 may include two belt conveyors 121 and three tables 122. A large number of holes for adsorbing the substrate 10 are provided on the upper surfaces of the tables 112 and 122. Pressure is applied to the holes of the tables 112 and 122 by an air pressure source (not shown). When the scribe line is formed, the substrate 10 is adsorbed to the table 112 by applying a negative pressure to the holes of the tables 112 and 122.

また、上記実施形態では、分断部200は、スクライブラインを形成するスクライブユニット210を備えたが、これに代えて、ブレイクバーによりスクライブラインを押さえてブレイクする構成を備えてもよい。この場合、端材除去装置1の上流の装置においてスクライブラインが形成され、スクライブラインが形成された基板10が、第1搬送部110によってX軸正方向に搬送される。そして、把持部300が基板10のX軸正側またはX軸負側の端部を把持した状態で、分断部200のブレイクバーによって、スクライブラインに沿って基板10が分断される。この場合も、基板10から切り離された端材11は、把持部300によって把持されて、回収部710、720に廃棄される。   Moreover, in the said embodiment, although the parting part 200 was provided with the scribe unit 210 which forms a scribe line, it may replace with this and may be equipped with the structure which presses a scribe line with a break bar and breaks. In this case, a scribe line is formed in an apparatus upstream of the scrap material removing apparatus 1, and the substrate 10 on which the scribe line is formed is transported in the X-axis positive direction by the first transport unit 110. Then, the substrate 10 is divided along the scribe line by the break bar of the dividing unit 200 in a state where the holding unit 300 holds the X-axis positive side or the X-axis negative side end of the substrate 10. Also in this case, the end material 11 cut off from the substrate 10 is gripped by the gripping unit 300 and discarded to the collection units 710 and 720.

1 端材除去装置
10 基板
11 端材
110 第1搬送部
120 第2搬送部
200 分断部
300 把持部
400 支持部
500 昇降部
600 移送部
710、720 回収部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 End material removal apparatus 10 Board | substrate 11 End material 110 1st conveyance part 120 2nd conveyance part 200 Dividing part 300 Gripping part 400 Support part 500 Lifting part 600 Transfer part 710,720 Recovery part

Claims (8)

基板を支持して搬送する第1搬送部と、
前記第1搬送部から搬出された前記基板を受け入れるとともに、前記基板を支持して搬送する第2搬送部と、
前記第1搬送部と前記第2搬送部との間に配置され、前記第1搬送部と前記第2搬送部との間の空間に突出する前記基板の突出部分を分断する分断部と、
前記分断部によって端材となる前記突出部分が前記第1搬送部側から突出する場合は前記基板の搬送方向前側から前記突出部分を把持し、前記端材となる前記突出部分が前記第2搬送部側から突出する場合は前記基板の搬送方向後ろ側から前記突出部分を把持する把持部と、を備える、
ことを特徴とする端材除去装置。
A first transport unit for supporting and transporting the substrate;
A second transport unit that receives the substrate unloaded from the first transport unit and supports and transports the substrate;
A dividing unit that is arranged between the first transfer unit and the second transfer unit and divides a protruding portion of the substrate protruding into a space between the first transfer unit and the second transfer unit;
When the projecting portion serving as an end material projects from the first transport unit side by the dividing portion, the projecting portion serving as the end material is gripped from the front side in the transport direction of the substrate, and the projecting portion serving as the end material serves as the second transport. A gripping part for gripping the projecting part from the rear side in the transport direction of the substrate when projecting from the part side,
An end material removing apparatus characterized by the above.
前記把持部は、前記搬送方向前側および前記搬送方向後ろ側の両方から前記突出部分を把持すべく、把持の向きが180°回転可能に支持部に支持されている、請求項1に記載の端材除去装置。   2. The end according to claim 1, wherein the gripping portion is supported by a support portion so that a gripping direction can be rotated by 180 ° so as to grip the protruding portion from both the front side in the transport direction and the rear side in the transport direction. Material removal device. 前記支持部を昇降させる昇降部と、前記支持部を前記基板の搬送方向に移送する移送部と、を備える、請求項2に記載の端材除去装置。   The end material removing apparatus according to claim 2, comprising: an elevating unit that elevates and lowers the support unit; and a transfer unit that transfers the support unit in a conveyance direction of the substrate. 前記支持部を昇降させ、且つ、前記搬送方向に移送する際に、前記把持部による把持の向きを変える、請求項3に記載の端材除去装置。   The edge material removing apparatus according to claim 3, wherein when the support portion is moved up and down and transferred in the transport direction, a gripping direction by the gripping portion is changed. 前記分断部よりも下の位置にあるときに、前記把持部による把持を解除して、前記把持部に把持された前記端材を、回収部に廃棄する、請求項3または4に記載の端材除去装置。   5. The end according to claim 3, wherein when the gripping portion is located below the dividing portion, the gripping by the gripping portion is released, and the end material gripped by the gripping portion is discarded in the recovery portion. Material removal device. 前記把持部が前記突出部分の把持位置から下降する工程において、前記把持部による把持を解除して、前記把持部に把持された前記端材を、前記回収部に廃棄する、請求項5に記載の端材除去装置。   The step of lowering the gripping portion from the gripping position of the protruding portion releases the gripping by the gripping portion and discards the end material gripped by the gripping portion to the collecting portion. Scrap material removal equipment. 前記分断部は、前記分断動作において前記基板にスクライブラインを形成し、
前記把持部は、前記分断動作後に前記突出部分の把持位置から移動して、前記端材を前記基板から分離させる、請求項3ないし6の何れか一項に記載の端材除去装置。
The dividing part forms a scribe line on the substrate in the dividing operation,
The end material removing apparatus according to any one of claims 3 to 6, wherein the grip portion moves from a grip position of the protruding portion after the dividing operation to separate the end material from the substrate.
前記分断部が前記突出部分に対する分断動作を行う際に、前記把持部が前記突出部分を把持する、請求項1ないし7の何れか一項に記載の端材除去装置。   The edge material removal apparatus according to any one of claims 1 to 7, wherein the gripping part grips the protruding part when the dividing part performs a cutting operation on the protruding part.
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