JP2018091805A - 光学検査装置の評価方法 - Google Patents
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Abstract
Description
〔1〕 光学検査装置に搭載された光学系の光学性能を評価するための光学検査装置の評価方法であって、
前記光学系に発生する収差の種類、大きさ又はその組み合わせに応じて、それぞれシミュレーションにより得られる光学像の特徴量を算出するステップと、
前記光学検査装置の実際に得られる光学像の特徴量を算出するステップと、
前記収差の種類毎に前記シミュレーション得られた光学像の特徴量と、前記光学検査装置の実際に得られた光学像の特徴量とを比較し、前記光学系が持つ収差を評価するステップとを含むことを特徴とする光学検査装置の評価方法。
〔2〕 前記シミュレーションにおいて、前記収差の種類毎に前記光学系のフォーカス変化に対する前記光学像の変化を、前記光学像の特徴量として数値化することを特徴とする前記〔1〕に記載の光学検査装置の評価方法。
〔3〕 前記シミュレーションにより、前記光学系の点像分布関数(PSF)と同等の光学像を得ることを特徴とする前記〔1〕又は〔2〕に記載の光学検査装置の評価方法。
〔4〕 前記シミュレーションには、時間領域差分(FDTD)法を用いることを特徴とする前記〔1〕〜〔3〕の何れか一項に記載の光学検査装置の評価方法。
本発明の一実施形態に係る光学検査装置の評価方法では、図1中に示すステップS1〜S3に従って、光学検査装置に搭載された光学系の光学性能を評価する。なお、図1は、本実施形態の光学検査装置の評価方法を説明するためのステップ図である。
すなわち、本発明は、上述したコマ収差、非点収差、球面収差といった特徴量に限らず、様々な特徴量を持つ光学系に対して、上記シミュレーションによりその光学系の特徴量を求め、光学検査装置から実際に得られる特徴量と比較することで、実際の光学検査装置が持つ光学系の光学性能を評価することが可能である。
実施例1では、実際に上記本発明の評価方法を用いて、光学検査装置に搭載された光学系の光学性能の評価を行った。
光学検査装置の照明角度分布は、粒子の画像の対称性に影響を与える。この照明角度分布による対称性の変化は、収差による対称性の変化とは分離することが望ましい。
Claims (4)
- 光学検査装置に搭載された光学系の光学性能を評価するための光学検査装置の評価方法であって、
前記光学系に発生する収差の種類、大きさ又はその組み合わせに応じて、それぞれシミュレーションにより得られる光学像の特徴量を算出するステップと、
前記光学検査装置の実際に得られる光学像の特徴量を算出するステップと、
前記収差の種類毎に前記シミュレーション得られた光学像の特徴量と、前記光学検査装置の実際に得られた光学像の特徴量とを比較し、前記光学系が持つ収差を評価するステップとを含むことを特徴とする光学検査装置の評価方法。 - 前記シミュレーションにおいて、前記収差の種類毎に前記光学系のフォーカス変化に対する前記光学像の変化を、前記光学像の特徴量として数値化することを特徴とする請求項1に記載の光学検査装置の評価方法。
- 前記シミュレーションにより、前記光学系の点像分布関数(PSF)と同等の光学像を得ることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学検査装置の評価方法。
- 前記シミュレーションには、時間領域差分(FDTD)法を用いることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の光学検査装置の評価方法。
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2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, JPN7021000029, 15 March 2016 (2016-03-15), pages 17 - 18, ISSN: 0004424274 * |
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